JPH0938961A - 基板切断装置 - Google Patents
基板切断装置Info
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- JPH0938961A JPH0938961A JP19300695A JP19300695A JPH0938961A JP H0938961 A JPH0938961 A JP H0938961A JP 19300695 A JP19300695 A JP 19300695A JP 19300695 A JP19300695 A JP 19300695A JP H0938961 A JPH0938961 A JP H0938961A
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- JP
- Japan
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- wheel
- scribe wheel
- substrate
- scribe
- transparent substrate
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 切断すべき基板面に対してその垂直面にスク
ライブホィールが常時位置づけられ、これにより精度の
よい切断を行う。 【構成】 切断されるべく基板面に当接させるスクライ
ブホィールがその回転軸であるホィールピンを介してホ
ルダに支持された構成からなる基板切断装置において、
スクライブホィールの両脇にそれぞれホルダとの間にロ
ーラを備え、これら各ローラはスクライブホィールを押
圧させて該スクライブホィールとともに回転し、かつ、
その回転とともに外周面は前記基板面に常時接触してい
る。
ライブホィールが常時位置づけられ、これにより精度の
よい切断を行う。 【構成】 切断されるべく基板面に当接させるスクライ
ブホィールがその回転軸であるホィールピンを介してホ
ルダに支持された構成からなる基板切断装置において、
スクライブホィールの両脇にそれぞれホルダとの間にロ
ーラを備え、これら各ローラはスクライブホィールを押
圧させて該スクライブホィールとともに回転し、かつ、
その回転とともに外周面は前記基板面に常時接触してい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板切断装置に係り、た
とえば、液晶表示基板を構成するガラス透明基板を切断
するための基板切断装置に関する。
とえば、液晶表示基板を構成するガラス透明基板を切断
するための基板切断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば液晶表示基板は、液晶を介して
互いに対向配置される一対のガラス透明基板を備える
が、その製造の過程において該ガラス透明基板を所定の
大きさに精度よく切断する工程が必須となる。
互いに対向配置される一対のガラス透明基板を備える
が、その製造の過程において該ガラス透明基板を所定の
大きさに精度よく切断する工程が必須となる。
【０００３】このガラス透明基板の切断にあっては、た
とえば硬質の金属あるいはダイヤモンド等が構成される
スクライブホィールを切断個所に沿って圧力をかけなが
ら回転させることによってスクライブを入れ、その後、
該スクライブに剪断力を作用させるようにしている。
とえば硬質の金属あるいはダイヤモンド等が構成される
スクライブホィールを切断個所に沿って圧力をかけなが
ら回転させることによってスクライブを入れ、その後、
該スクライブに剪断力を作用させるようにしている。
【０００４】そして、従来のスクライブホィールはその
軸受となる孔に挿入されるホィールピンを介してホルダ
に支持された構成をなし、このホルダはそれに連結させ
た駆動機構によってガラス透明基板の切断個所に沿って
移動されるような構成となっている。
軸受となる孔に挿入されるホィールピンを介してホルダ
に支持された構成をなし、このホルダはそれに連結させ
た駆動機構によってガラス透明基板の切断個所に沿って
移動されるような構成となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された基板切断装置は、切断すべきガラス基板
面に対してその垂直面にスクライブホィールが常時位置
づけられることはなく、該垂直面に対して若干ながら揺
動してしまい、これにより精度のよい切断を達し得ない
ということが指摘されるに至った。
うに構成された基板切断装置は、切断すべきガラス基板
面に対してその垂直面にスクライブホィールが常時位置
づけられることはなく、該垂直面に対して若干ながら揺
動してしまい、これにより精度のよい切断を達し得ない
ということが指摘されるに至った。
【０００６】すなわち、該スクライブホィールの軸受と
なる孔とこの孔に挿入されるホィールピンとの間の間隙
が上述した弊害を生じさせる原因となっていた。
なる孔とこの孔に挿入されるホィールピンとの間の間隙
が上述した弊害を生じさせる原因となっていた。
【０００７】なお、この場合において、ホルダを介して
スクライブホィールのガラス基板に対する圧力を増大さ
せた場合、該スクライブホィールの軸受とホィールピン
との一点での摩擦力が増大する結果、該スクライブホィ
ールのガラス基板に対する滑りが生じ、連続したスクラ
イブが形成されないと言った問題も生じていた。
スクライブホィールのガラス基板に対する圧力を増大さ
せた場合、該スクライブホィールの軸受とホィールピン
との一点での摩擦力が増大する結果、該スクライブホィ
ールのガラス基板に対する滑りが生じ、連続したスクラ
イブが形成されないと言った問題も生じていた。
【０００８】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、切断すべき基板面に対し
てその垂直面にスクライブホィールが常時位置づけら
れ、これにより精度のよい切断を達し得る基板切断装置
を提供することにある。
れたものであり、その目的は、切断すべき基板面に対し
てその垂直面にスクライブホィールが常時位置づけら
れ、これにより精度のよい切断を達し得る基板切断装置
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００１０】すなわち、切断されるべく基板面に当接さ
せるスクライブホィールがその回転軸であるホィールピ
ンを介してホルダに支持された構成からなる基板切断装
置において、スクライブホィールの両脇にそれぞれホル
ダとの間にローラを備え、これら各ローラはスクライブ
ホィールを押圧させて該スクライブホィールとともに回
転し、かつ、その回転とともに外周面は前記基板面に常
時接触していることを特徴とするものである。
せるスクライブホィールがその回転軸であるホィールピ
ンを介してホルダに支持された構成からなる基板切断装
置において、スクライブホィールの両脇にそれぞれホル
ダとの間にローラを備え、これら各ローラはスクライブ
ホィールを押圧させて該スクライブホィールとともに回
転し、かつ、その回転とともに外周面は前記基板面に常
時接触していることを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】このように構成した基板切断装置は、スクライ
ブホィールの両脇にそれぞれホルダとの間に備えられた
各ローラは、該スクライブホィールを押圧させて該スク
ライブホィールとともに回転するようになっている。
ブホィールの両脇にそれぞれホルダとの間に備えられた
各ローラは、該スクライブホィールを押圧させて該スク
ライブホィールとともに回転するようになっている。
【００１２】このため、スクライブホィールは切断すべ
きガラス基板面に対してその垂直面に常時位置づけられ
るようになり、該垂直面に対して若干ながら揺動してし
まうことはなくなる。したがって、これにより精度のよ
い切断を達し得ることができるようになる。
きガラス基板面に対してその垂直面に常時位置づけられ
るようになり、該垂直面に対して若干ながら揺動してし
まうことはなくなる。したがって、これにより精度のよ
い切断を達し得ることができるようになる。
【００１３】また、前記各ローラは、その回転とともに
外周面は前記基板面に常時接触している。このことか
ら、ホルダを介してスクライブホィールのガラス基板に
対する圧力を増大させても、該スクライブホィールはガ
ラス基板に対して常時回転でき、これによる連続したス
クライブを形成することができるようになる。
外周面は前記基板面に常時接触している。このことか
ら、ホルダを介してスクライブホィールのガラス基板に
対する圧力を増大させても、該スクライブホィールはガ
ラス基板に対して常時回転でき、これによる連続したス
クライブを形成することができるようになる。
【００１４】
【実施例】図２は、本発明による基板切断装置の一実施
例を示す概略構成図である。同図は、液晶表示基板を構
成するガラス透明基板を切断するための基板切断装置を
示している。
例を示す概略構成図である。同図は、液晶表示基板を構
成するガラス透明基板を切断するための基板切断装置を
示している。
【００１５】同図において、まず、ベース１があり、こ
のベース１のほぼ中央の上面には定盤２が配置され、こ
の定盤２上には液晶表示基板の製造過程にあるガラス透
明基板３が図示しない吸着機構によって定位値に配置さ
れるようになっている。
のベース１のほぼ中央の上面には定盤２が配置され、こ
の定盤２上には液晶表示基板の製造過程にあるガラス透
明基板３が図示しない吸着機構によって定位値に配置さ
れるようになっている。
【００１６】ガラス透明基板３は、図３に示すように、
矩形状をなし、その周辺部を除く中央部（図中点線で囲
まれた部分）に配線層、電極、あるいはスイッチング素
子等が形成された後に、該点線に沿って切断されるよう
になっているものである。なお、図３においては一つの
ガラス透明基板３に対して一つの液晶表示基板に相当す
る基板を切断するものであるが、これに限定されること
はなく、複数の液晶表示基板に相当する基板を切断でき
るものであってもよいことはいうまでもない。
矩形状をなし、その周辺部を除く中央部（図中点線で囲
まれた部分）に配線層、電極、あるいはスイッチング素
子等が形成された後に、該点線に沿って切断されるよう
になっているものである。なお、図３においては一つの
ガラス透明基板３に対して一つの液晶表示基板に相当す
る基板を切断するものであるが、これに限定されること
はなく、複数の液晶表示基板に相当する基板を切断でき
るものであってもよいことはいうまでもない。
【００１７】ここで、定盤２はベース１の下方に配置さ
れたモータ３の駆動によって回転できるようになってい
る。これは、図３に示す点線のうちｘ方向に平行な点線
に沿ったスクライブを形成した後に、ｙ方向に平行な点
線に沿ったスクライブを行う際に、ガラス透明基板３を
９０°回転させるためである。
れたモータ３の駆動によって回転できるようになってい
る。これは、図３に示す点線のうちｘ方向に平行な点線
に沿ったスクライブを形成した後に、ｙ方向に平行な点
線に沿ったスクライブを行う際に、ガラス透明基板３を
９０°回転させるためである。
【００１８】ガラス透明基板３の上方には、スクライブ
ホィール５を備えるホルダ６が移動体７に固定されてお
り、この移動体７は支持体８に支持されている。
ホィール５を備えるホルダ６が移動体７に固定されてお
り、この移動体７は支持体８に支持されている。
【００１９】前記移動体７は、支持体８に備えられたモ
ータ９の駆動によって回転するウォーム９Ａによって、
図中ｘ方向に移動させることができるようになってい
る。また、支持体８は、ベース１に備えられたモータ１
０の駆動によって、図中ｙ方向に移動させることができ
るようになっている。
ータ９の駆動によって回転するウォーム９Ａによって、
図中ｘ方向に移動させることができるようになってい
る。また、支持体８は、ベース１に備えられたモータ１
０の駆動によって、図中ｙ方向に移動させることができ
るようになっている。
【００２０】これにより、前記スクライブホィール５
は、ガラス透明基板３の上方において任意の個所に位置
づけることができるようになっている。
は、ガラス透明基板３の上方において任意の個所に位置
づけることができるようになっている。
【００２１】さらに、移動体７は、それに備えられたモ
ータ１１によって、スクライブホィール５を備えるホル
ダ６を図中ｚ方向に移動させることができるようになっ
ている。
ータ１１によって、スクライブホィール５を備えるホル
ダ６を図中ｚ方向に移動させることができるようになっ
ている。
【００２２】すなわち、前記ホルダ６はスライダ１２に
直接固定され、このスライダ１２は移動体７に取り付け
られたガイド１３に案内されて図中ｙ方向に移動できる
ようになっている。
直接固定され、このスライダ１２は移動体７に取り付け
られたガイド１３に案内されて図中ｙ方向に移動できる
ようになっている。
【００２３】前記スライダ１２は、前記モータ１１の駆
動による−ｚ方向の力をエアーシリンダ１４を介して伝
達されるようになっている。
動による−ｚ方向の力をエアーシリンダ１４を介して伝
達されるようになっている。
【００２４】このようにスライダ１２の下降によって、
スクライブホィール５はガラス透明基板３に当接される
ようになる。なお、この場合におけるスクライブホィー
ル５のガラス透明基板３に対する当接は、前記エアーシ
リンダ１４の弾力機能によってガラス透明基板３に衝撃
を与えることなく当接できることになる。
スクライブホィール５はガラス透明基板３に当接される
ようになる。なお、この場合におけるスクライブホィー
ル５のガラス透明基板３に対する当接は、前記エアーシ
リンダ１４の弾力機能によってガラス透明基板３に衝撃
を与えることなく当接できることになる。
【００２５】なお、図示していないが、移動体７には、
この移動体７に対するスライダ１２の移動から停止がな
された際を検知するセンサが備えられており、このセン
サの検知によってモータ１１の駆動を自動的に停止させ
るようになっている。これにより、スクライブホィール
５がその下降（−ｙ方向移動）によってガラス透明基板
３に当接した際に自動的に該下降が停止されるようにな
っている。しかも、エアーシリンダ１４の機能によって
スクライブホィール５のガラス透明基板３に対する押圧
力は一定に保持されるようになっている。
この移動体７に対するスライダ１２の移動から停止がな
された際を検知するセンサが備えられており、このセン
サの検知によってモータ１１の駆動を自動的に停止させ
るようになっている。これにより、スクライブホィール
５がその下降（−ｙ方向移動）によってガラス透明基板
３に当接した際に自動的に該下降が停止されるようにな
っている。しかも、エアーシリンダ１４の機能によって
スクライブホィール５のガラス透明基板３に対する押圧
力は一定に保持されるようになっている。
【００２６】なお、エアーシリンダ１４内の空気量は自
由に変更できるようになっており、これにより、スクラ
イブホィール５のガラス透明基板３に対する押圧力を任
意の値に設定できるようになっている。
由に変更できるようになっており、これにより、スクラ
イブホィール５のガラス透明基板３に対する押圧力を任
意の値に設定できるようになっている。
【００２７】そして、ガラス透明基板３に対するスクラ
イブホィール５の当接後は、モータ９あるいはモータ１
０の駆動によって移動体７を所望の方向に移動させるこ
とによって該ガラス透明基板３上にスクライブを形成す
るようになっている。
イブホィール５の当接後は、モータ９あるいはモータ１
０の駆動によって移動体７を所望の方向に移動させるこ
とによって該ガラス透明基板３上にスクライブを形成す
るようになっている。
【００２８】図１は、ガラス透明基板３に対して当接し
ているスクライブホィール５とこのスクライブホィール
５を軸支するホルダ６の詳細を示す構成図である。同図
（ａ）は図２においてそのｙ方向から観た一部破断図、
同図（ｂ）はｘ方向から観た一部断面図である。
ているスクライブホィール５とこのスクライブホィール
５を軸支するホルダ６の詳細を示す構成図である。同図
（ａ）は図２においてそのｙ方向から観た一部破断図、
同図（ｂ）はｘ方向から観た一部断面図である。
【００２９】同図において、スクライブホィール５はダ
イヤモンドから構成され、その中心軸に相当する部分は
孔開けがなされ、その孔には硬質の金属からなるホィー
ルピン１５が挿入されている。そして、このホィールピ
ン１５の各両端はそれぞれホルダ６に軸支されている
が、特にベアリング軸受１６を介して軸支されている。
イヤモンドから構成され、その中心軸に相当する部分は
孔開けがなされ、その孔には硬質の金属からなるホィー
ルピン１５が挿入されている。そして、このホィールピ
ン１５の各両端はそれぞれホルダ６に軸支されている
が、特にベアリング軸受１６を介して軸支されている。
【００３０】さらに、スクライブホィール５の両脇にそ
れぞれホルダ６との間にたとえばゴム材からなる補助ロ
ーラ１７が前記ホィールピン１５に貫通されて備えられ
ている。これら各補助ローラ１７はスクライブホィール
５を押圧させて該スクライブホィール５とともに回転で
きるようになっている。補助ローラ１７の前記ベアリン
グ軸受１６に対する接触は、該ベアリング軸受１６のう
ちの回転部分のみに限定されており、これにより、補助
ローラ１７はスクライブホィール５とともに容易に回転
できるようになっている。このことから、スクライブホ
ィール５は切断すべきガラス透明基板３の面に対してそ
の垂直面に常時位置づけられるようになり、該垂直面に
対して若干ながら揺動してしまうことはなくなる。した
がって、これにより精度のよい切断を達し得ることがで
きるようになる。
れぞれホルダ６との間にたとえばゴム材からなる補助ロ
ーラ１７が前記ホィールピン１５に貫通されて備えられ
ている。これら各補助ローラ１７はスクライブホィール
５を押圧させて該スクライブホィール５とともに回転で
きるようになっている。補助ローラ１７の前記ベアリン
グ軸受１６に対する接触は、該ベアリング軸受１６のう
ちの回転部分のみに限定されており、これにより、補助
ローラ１７はスクライブホィール５とともに容易に回転
できるようになっている。このことから、スクライブホ
ィール５は切断すべきガラス透明基板３の面に対してそ
の垂直面に常時位置づけられるようになり、該垂直面に
対して若干ながら揺動してしまうことはなくなる。した
がって、これにより精度のよい切断を達し得ることがで
きるようになる。
【００３１】また、スクライブホィール５とともに回転
する補助ローラ１７は、その外周面がガラス透明基板３
の面に常時接触する径を備えたものとなっている。すな
わち、補助ローラ１７の半径はスクライブホィール５の
それに比べて若干小さくなっている（０．１〜０．３ｍ
ｍの差）。これにより、ホルダ６に過大な圧力がかけら
れたとしても、その圧力は補助ローラ１７のガラス透明
基板３との接触面に分散され、スクライブホィールの軸
受孔とホィールピンとの間で局部的な力が発生するよう
なことはなくなる。そして、ガラス透明基板３に対する
スクライブホィール５の切込み量（０．１〜０．３ｍ
ｍ）が常に一定となるという効果をも奏する。このこと
は、ガラス透明基板３に反りがある場合、スクライブを
行う個所に異物等が付着していた場合等、それらに関係
なく適切なスクライブを行うことができるようになる。
する補助ローラ１７は、その外周面がガラス透明基板３
の面に常時接触する径を備えたものとなっている。すな
わち、補助ローラ１７の半径はスクライブホィール５の
それに比べて若干小さくなっている（０．１〜０．３ｍ
ｍの差）。これにより、ホルダ６に過大な圧力がかけら
れたとしても、その圧力は補助ローラ１７のガラス透明
基板３との接触面に分散され、スクライブホィールの軸
受孔とホィールピンとの間で局部的な力が発生するよう
なことはなくなる。そして、ガラス透明基板３に対する
スクライブホィール５の切込み量（０．１〜０．３ｍ
ｍ）が常に一定となるという効果をも奏する。このこと
は、ガラス透明基板３に反りがある場合、スクライブを
行う個所に異物等が付着していた場合等、それらに関係
なく適切なスクライブを行うことができるようになる。
【００３２】なお、この実施例では、ホルダ６の一端側
においてホィールピン１５に螺合されている蝶番１８を
外すことによって、ホィールピン１５、スクライブホィ
ール５、および補助ローラ１７等を取り外すことができ
るようになっている。それらに互換性をもたせるように
することにより、ガラス透明基板３の種類に応じた適切
なスクライブを形成しようとする趣旨である。
においてホィールピン１５に螺合されている蝶番１８を
外すことによって、ホィールピン１５、スクライブホィ
ール５、および補助ローラ１７等を取り外すことができ
るようになっている。それらに互換性をもたせるように
することにより、ガラス透明基板３の種類に応じた適切
なスクライブを形成しようとする趣旨である。
【００３３】以上、このような実施例に示した基板切断
装置によれば、スクライブホィール５の両脇にそれぞれ
ホルダ６との間に備えられた各補助ローラ１７は、該ス
クライブホィール５を押圧させて該スクライブホィール
５とともに回転するようになっている。
装置によれば、スクライブホィール５の両脇にそれぞれ
ホルダ６との間に備えられた各補助ローラ１７は、該ス
クライブホィール５を押圧させて該スクライブホィール
５とともに回転するようになっている。
【００３４】このため、スクライブホィール５は切断す
べきガラス透明基板３の面に対してその垂直面に常時位
置づけられるようになり、該垂直面に対して若干ながら
揺動してしまうことはなくなる。したがって、これによ
り精度のよい切断を達し得ることができるようになる。
べきガラス透明基板３の面に対してその垂直面に常時位
置づけられるようになり、該垂直面に対して若干ながら
揺動してしまうことはなくなる。したがって、これによ
り精度のよい切断を達し得ることができるようになる。
【００３５】また、前記各補助ローラ１７は、その回転
とともに外周面は前記ガラス透明基板３の面に常時接触
している。このことから、ホルダ６を介してスクライブ
ホィール５のガラス透明基板３に対する圧力を増大させ
ても、該スクライブホィール５はガラス透明基板３に対
して常時回転でき、これによる連続したスクライブを形
成することができるようになる。
とともに外周面は前記ガラス透明基板３の面に常時接触
している。このことから、ホルダ６を介してスクライブ
ホィール５のガラス透明基板３に対する圧力を増大させ
ても、該スクライブホィール５はガラス透明基板３に対
して常時回転でき、これによる連続したスクライブを形
成することができるようになる。
【００３６】上述したスクライブホィール５はダイヤモ
ンドで構成したものを説明したものであるが、これに限
定されることはなく、硬質の金属で構成したものを用い
てもよい。この場合においても、基本的な構成は変わら
ず、図１に示すように構成してもよいことはいうまでも
ない。
ンドで構成したものを説明したものであるが、これに限
定されることはなく、硬質の金属で構成したものを用い
てもよい。この場合においても、基本的な構成は変わら
ず、図１に示すように構成してもよいことはいうまでも
ない。
【００３７】しかし、スクライブホィール５として硬質
の金属で構成した場合、ホィールピン１５をともに一体
的に構成することができるようになる。このようにした
場合補助ローラ１７を特に設けなくても、スクライブホ
ィール５を切断すべきガラス透明基板３の面に対してそ
の垂直面に常時位置づけられるようにできる効果をもた
せることができる。
の金属で構成した場合、ホィールピン１５をともに一体
的に構成することができるようになる。このようにした
場合補助ローラ１７を特に設けなくても、スクライブホ
ィール５を切断すべきガラス透明基板３の面に対してそ
の垂直面に常時位置づけられるようにできる効果をもた
せることができる。
【００３８】また、スクライブホィール５として硬質の
金属で構成した場合、補助ローラ１７を硬質の金属で構
成するとともに該スクライブホィール５と一体化しても
同様の効果が得られることはいうまでもない。
金属で構成した場合、補助ローラ１７を硬質の金属で構
成するとともに該スクライブホィール５と一体化しても
同様の効果が得られることはいうまでもない。
【００３９】また、本実施例は液晶表示基板を構成する
ガラス透明基板を切断するための装置について説明した
ものであるが、必ずしも液晶表示基板を構成するものに
限定されることはなく、他の電子部品を構成するガラス
透明基板を切断する装置にも適用できることはいうまで
もない。
ガラス透明基板を切断するための装置について説明した
ものであるが、必ずしも液晶表示基板を構成するものに
限定されることはなく、他の電子部品を構成するガラス
透明基板を切断する装置にも適用できることはいうまで
もない。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による基板切断装置によれば、切断すべき基板面
に対してその垂直面にスクライブホィールが常時位置づ
けられ、これにより精度のよい切断を達し得る。
本発明による基板切断装置によれば、切断すべき基板面
に対してその垂直面にスクライブホィールが常時位置づ
けられ、これにより精度のよい切断を達し得る。
【図１】本発明による基板切断装置の一実施例を示す要
部構成図である。
部構成図である。
【図２】本発明による基板切断装置の一実施例を示す概
略構成図である。
略構成図である。
【図３】本発明による基板切断装置による切断対象とな
るガラス透明基板の一実施例を示す平面図である。
るガラス透明基板の一実施例を示す平面図である。
３……ガラス透明基板、５……スクライブホィール、６
……ホルダ、１６……ベアリング軸受、１７……補助ロ
ーラ。
……ホルダ、１６……ベアリング軸受、１７……補助ロ
ーラ。
Claims (6)
- 【請求項１】 切断されるべく基板面に当接させるスク
ライブホィールがその回転軸であるホィールピンを介し
てホルダに支持された構成からなる基板切断装置におい
て、 スクライブホィールの両脇にそれぞれホルダとの間にロ
ーラを備え、これら各ローラはスクライブホィールを押
圧させて該スクライブホィールとともに回転し、かつ、
その回転とともに外周面は前記基板面に常時接触してい
ることを特徴とする基板切断装置。 - 【請求項２】 スクライブホィールはダイヤモンドで構
成されていることを特徴とする請求項１記載の基板切断
装置。 - 【請求項３】 ホイールピンはベアリング軸受を介して
ホルダに軸支されていることを特徴とする請求項２記載
の基板切断装置。 - 【請求項４】 切断されるべく基板面に当接されるスク
ライブホィールがその回転軸であるホィールピンを介し
てホルダに支持された構成からなり、前記スクライブホ
ィールが硬質の金属で形成されている基板切断装置にお
いて、前記ホィールピンはスクライブホィールと一体に
形成されていることを特徴とする基板切断装置。 - 【請求項５】 スクライブホィールの両脇にそれぞれホ
ルダとの間にローラを備え、これら各ローラはスクライ
ブホィールを押圧させて該スクライブホィールとともに
回転し、かつ、その回転とともに外周面は前記基板面に
常時接触していることを特徴とする請求項４記載の基板
切断装置。 - 【請求項６】 ホイールピンはベアリング軸受を介して
ホルダに軸支されていることを特徴とする請求項４ある
いは５記載のうちいずれか記載の基板切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19300695A JPH0938961A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 基板切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19300695A JPH0938961A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 基板切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0938961A true JPH0938961A (ja) | 1997-02-10 |
Family
ID=16300641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19300695A Pending JPH0938961A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 基板切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0938961A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007296832A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Hidekazu Obayashi | 脆性材料用のカッターホイールのチップホルダー |
| CN101992505A (zh) * | 2009-08-21 | 2011-03-30 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
-
1995
- 1995-07-28 JP JP19300695A patent/JPH0938961A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007296832A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Hidekazu Obayashi | 脆性材料用のカッターホイールのチップホルダー |
| CN101992505A (zh) * | 2009-08-21 | 2011-03-30 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
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