JPH0938961A - Substrate cutting apparatus - Google Patents
Substrate cutting apparatusInfo
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- JPH0938961A JPH0938961A JP19300695A JP19300695A JPH0938961A JP H0938961 A JPH0938961 A JP H0938961A JP 19300695 A JP19300695 A JP 19300695A JP 19300695 A JP19300695 A JP 19300695A JP H0938961 A JPH0938961 A JP H0938961A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は基板切断装置に係り、た
とえば、液晶表示基板を構成するガラス透明基板を切断
するための基板切断装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate cutting device, for example, a substrate cutting device for cutting a glass transparent substrate which constitutes a liquid crystal display substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】たとえば液晶表示基板は、液晶を介して
互いに対向配置される一対のガラス透明基板を備える
が、その製造の過程において該ガラス透明基板を所定の
大きさに精度よく切断する工程が必須となる。2. Description of the Related Art For example, a liquid crystal display substrate is provided with a pair of glass transparent substrates which are arranged to face each other with a liquid crystal in between. Mandatory.
【0003】このガラス透明基板の切断にあっては、た
とえば硬質の金属あるいはダイヤモンド等が構成される
スクライブホィールを切断個所に沿って圧力をかけなが
ら回転させることによってスクライブを入れ、その後、
該スクライブに剪断力を作用させるようにしている。In cutting the glass transparent substrate, for example, a scribe wheel made of hard metal or diamond is rotated by applying pressure along the cutting point, and then the scribe is inserted.
A shearing force is applied to the scribe.
【0004】そして、従来のスクライブホィールはその
軸受となる孔に挿入されるホィールピンを介してホルダ
に支持された構成をなし、このホルダはそれに連結させ
た駆動機構によってガラス透明基板の切断個所に沿って
移動されるような構成となっている。The conventional scribe wheel has a structure in which it is supported by a holder through a wheel pin which is inserted into a hole which serves as a bearing of the scribe wheel, and the holder is attached to a cutting portion of the glass transparent substrate by a driving mechanism connected thereto. It is configured to be moved along.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された基板切断装置は、切断すべきガラス基板
面に対してその垂直面にスクライブホィールが常時位置
づけられることはなく、該垂直面に対して若干ながら揺
動してしまい、これにより精度のよい切断を達し得ない
ということが指摘されるに至った。However, in the substrate cutting apparatus having such a structure, the scribe wheel is not always positioned on the surface perpendicular to the glass substrate surface to be cut, and the glass substrate surface is to be cut. It has been pointed out that precise cutting cannot be achieved due to the slight swinging.
【0006】すなわち、該スクライブホィールの軸受と
なる孔とこの孔に挿入されるホィールピンとの間の間隙
が上述した弊害を生じさせる原因となっていた。That is, the gap between the hole serving as the bearing of the scribe wheel and the wheel pin inserted into the hole has been a cause of the above-mentioned adverse effects.
【0007】なお、この場合において、ホルダを介して
スクライブホィールのガラス基板に対する圧力を増大さ
せた場合、該スクライブホィールの軸受とホィールピン
との一点での摩擦力が増大する結果、該スクライブホィ
ールのガラス基板に対する滑りが生じ、連続したスクラ
イブが形成されないと言った問題も生じていた。In this case, when the pressure on the glass substrate of the scribe wheel is increased through the holder, the frictional force at one point between the bearing of the scribe wheel and the wheel pin increases, and as a result, the glass of the scribe wheel is increased. There was also a problem that a continuous scribe was not formed due to slippage on the substrate.
【0008】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、切断すべき基板面に対し
てその垂直面にスクライブホィールが常時位置づけら
れ、これにより精度のよい切断を達し得る基板切断装置
を提供することにある。The present invention has been made under the above circumstances, and an object thereof is to always position a scribe wheel on a surface perpendicular to a substrate surface to be cut, so that accurate cutting can be achieved. An object of the present invention is to provide a substrate cutting device that can reach the target.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.
【0010】すなわち、切断されるべく基板面に当接さ
せるスクライブホィールがその回転軸であるホィールピ
ンを介してホルダに支持された構成からなる基板切断装
置において、スクライブホィールの両脇にそれぞれホル
ダとの間にローラを備え、これら各ローラはスクライブ
ホィールを押圧させて該スクライブホィールとともに回
転し、かつ、その回転とともに外周面は前記基板面に常
時接触していることを特徴とするものである。That is, in a substrate cutting apparatus having a structure in which a scribe wheel to be brought into contact with the surface of a substrate to be cut is supported by a holder via a wheel pin which is its rotation shaft, the holder is provided on each side of the scribe wheel. Rollers are provided between the rollers, the rollers rotate together with the scribe wheels by pressing the scribe wheels, and the outer peripheral surface is always in contact with the substrate surface with the rotation.
【0011】[0011]
【作用】このように構成した基板切断装置は、スクライ
ブホィールの両脇にそれぞれホルダとの間に備えられた
各ローラは、該スクライブホィールを押圧させて該スク
ライブホィールとともに回転するようになっている。In the substrate cutting apparatus thus constructed, each roller provided between the holder and the holder on each side of the scribe wheel is adapted to press the scribe wheel and rotate together with the scribe wheel. .
【0012】このため、スクライブホィールは切断すべ
きガラス基板面に対してその垂直面に常時位置づけられ
るようになり、該垂直面に対して若干ながら揺動してし
まうことはなくなる。したがって、これにより精度のよ
い切断を達し得ることができるようになる。For this reason, the scribe wheel is always positioned on the surface perpendicular to the glass substrate surface to be cut, and does not swing slightly with respect to the vertical surface. Therefore, it becomes possible to achieve accurate cutting.
【0013】また、前記各ローラは、その回転とともに
外周面は前記基板面に常時接触している。このことか
ら、ホルダを介してスクライブホィールのガラス基板に
対する圧力を増大させても、該スクライブホィールはガ
ラス基板に対して常時回転でき、これによる連続したス
クライブを形成することができるようになる。The outer peripheral surface of each of the rollers is always in contact with the substrate surface as the roller rotates. Therefore, even if the pressure of the scribe wheel on the glass substrate is increased through the holder, the scribe wheel can always rotate with respect to the glass substrate, and continuous scribes can be formed.
【0014】[0014]
【実施例】図2は、本発明による基板切断装置の一実施
例を示す概略構成図である。同図は、液晶表示基板を構
成するガラス透明基板を切断するための基板切断装置を
示している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 2 is a schematic block diagram showing an embodiment of a substrate cutting apparatus according to the present invention. The figure shows a substrate cutting device for cutting a glass transparent substrate that constitutes a liquid crystal display substrate.
【0015】同図において、まず、ベース1があり、こ
のベース1のほぼ中央の上面には定盤2が配置され、こ
の定盤2上には液晶表示基板の製造過程にあるガラス透
明基板3が図示しない吸着機構によって定位値に配置さ
れるようになっている。In FIG. 1, first, there is a base 1, and a surface plate 2 is disposed on the upper surface of the center of the base 1, and on the surface plate 2, a glass transparent substrate 3 in the process of manufacturing a liquid crystal display substrate. Is arranged at a localization value by an adsorption mechanism (not shown).
【0016】ガラス透明基板3は、図3に示すように、
矩形状をなし、その周辺部を除く中央部(図中点線で囲
まれた部分)に配線層、電極、あるいはスイッチング素
子等が形成された後に、該点線に沿って切断されるよう
になっているものである。なお、図3においては一つの
ガラス透明基板3に対して一つの液晶表示基板に相当す
る基板を切断するものであるが、これに限定されること
はなく、複数の液晶表示基板に相当する基板を切断でき
るものであってもよいことはいうまでもない。The glass transparent substrate 3, as shown in FIG.
It has a rectangular shape, and after the wiring layer, electrodes, switching elements, etc. are formed in the central part (the part surrounded by the dotted line in the figure) excluding its peripheral part, it is cut along the dotted line. There is something. In addition, in FIG. 3, a substrate corresponding to one liquid crystal display substrate is cut with respect to one glass transparent substrate 3, but the present invention is not limited to this, and a substrate corresponding to a plurality of liquid crystal display substrates. Needless to say, it may be capable of cutting.
【0017】ここで、定盤2はベース1の下方に配置さ
れたモータ3の駆動によって回転できるようになってい
る。これは、図3に示す点線のうちx方向に平行な点線
に沿ったスクライブを形成した後に、y方向に平行な点
線に沿ったスクライブを行う際に、ガラス透明基板3を
90°回転させるためである。Here, the surface plate 2 can be rotated by driving a motor 3 arranged below the base 1. This is because the glass transparent substrate 3 is rotated by 90 ° when the scribe line is formed along the dotted line parallel to the x direction among the dotted lines shown in FIG. 3 and then the scribe line is formed along the dotted line parallel to the y direction. Is.
【0018】ガラス透明基板3の上方には、スクライブ
ホィール5を備えるホルダ6が移動体7に固定されてお
り、この移動体7は支持体8に支持されている。A holder 6 having a scribe wheel 5 is fixed to a moving body 7 above the glass transparent substrate 3, and the moving body 7 is supported by a supporting body 8.
【0019】前記移動体7は、支持体8に備えられたモ
ータ9の駆動によって回転するウォーム9Aによって、
図中x方向に移動させることができるようになってい
る。また、支持体8は、ベース1に備えられたモータ1
0の駆動によって、図中y方向に移動させることができ
るようになっている。The moving body 7 is moved by a worm 9A which is rotated by the driving of a motor 9 provided on the support body 8.
It can be moved in the x direction in the figure. Further, the support 8 is the motor 1 provided on the base 1.
By driving 0, it can be moved in the y direction in the figure.
【0020】これにより、前記スクライブホィール5
は、ガラス透明基板3の上方において任意の個所に位置
づけることができるようになっている。As a result, the scribe wheel 5 is
Can be positioned at any position above the glass transparent substrate 3.
【0021】さらに、移動体7は、それに備えられたモ
ータ11によって、スクライブホィール5を備えるホル
ダ6を図中z方向に移動させることができるようになっ
ている。Further, the movable body 7 can move the holder 6 provided with the scribe wheel 5 in the z direction in the figure by a motor 11 provided therein.
【0022】すなわち、前記ホルダ6はスライダ12に
直接固定され、このスライダ12は移動体7に取り付け
られたガイド13に案内されて図中y方向に移動できる
ようになっている。That is, the holder 6 is directly fixed to the slider 12, and the slider 12 can be moved in the y direction in the figure by being guided by the guide 13 attached to the moving body 7.
【0023】前記スライダ12は、前記モータ11の駆
動による−z方向の力をエアーシリンダ14を介して伝
達されるようになっている。The slider 12 is adapted to transmit a force in the −z direction generated by driving the motor 11 via an air cylinder 14.
【0024】このようにスライダ12の下降によって、
スクライブホィール5はガラス透明基板3に当接される
ようになる。なお、この場合におけるスクライブホィー
ル5のガラス透明基板3に対する当接は、前記エアーシ
リンダ14の弾力機能によってガラス透明基板3に衝撃
を与えることなく当接できることになる。By lowering the slider 12 in this manner,
The scribe wheel 5 comes into contact with the glass transparent substrate 3. In this case, the scribe wheel 5 can be brought into contact with the glass transparent substrate 3 without impact on the glass transparent substrate 3 due to the elastic function of the air cylinder 14.
【0025】なお、図示していないが、移動体7には、
この移動体7に対するスライダ12の移動から停止がな
された際を検知するセンサが備えられており、このセン
サの検知によってモータ11の駆動を自動的に停止させ
るようになっている。これにより、スクライブホィール
5がその下降(−y方向移動)によってガラス透明基板
3に当接した際に自動的に該下降が停止されるようにな
っている。しかも、エアーシリンダ14の機能によって
スクライブホィール5のガラス透明基板3に対する押圧
力は一定に保持されるようになっている。Although not shown, the moving body 7 includes
A sensor is provided to detect when the slider 12 is stopped from moving with respect to the moving body 7, and the drive of the motor 11 is automatically stopped by the detection of this sensor. As a result, when the scribe wheel 5 comes into contact with the glass transparent substrate 3 by its descending (movement in the -y direction), the descending is automatically stopped. Moreover, due to the function of the air cylinder 14, the pressing force of the scribe wheel 5 on the glass transparent substrate 3 is kept constant.
【0026】なお、エアーシリンダ14内の空気量は自
由に変更できるようになっており、これにより、スクラ
イブホィール5のガラス透明基板3に対する押圧力を任
意の値に設定できるようになっている。The amount of air in the air cylinder 14 can be freely changed so that the pressing force of the scribe wheel 5 on the transparent glass substrate 3 can be set to an arbitrary value.
【0027】そして、ガラス透明基板3に対するスクラ
イブホィール5の当接後は、モータ9あるいはモータ1
0の駆動によって移動体7を所望の方向に移動させるこ
とによって該ガラス透明基板3上にスクライブを形成す
るようになっている。After the scribe wheel 5 is brought into contact with the transparent glass substrate 3, the motor 9 or the motor 1 is used.
A scribe is formed on the glass transparent substrate 3 by moving the moving body 7 in a desired direction by driving 0.
【0028】図1は、ガラス透明基板3に対して当接し
ているスクライブホィール5とこのスクライブホィール
5を軸支するホルダ6の詳細を示す構成図である。同図
(a)は図2においてそのy方向から観た一部破断図、
同図(b)はx方向から観た一部断面図である。FIG. 1 is a block diagram showing the details of a scribe wheel 5 which is in contact with the glass transparent substrate 3 and a holder 6 which pivotally supports the scribe wheel 5. 2A is a partially cutaway view seen from the y direction in FIG.
FIG. 6B is a partial cross-sectional view as seen from the x direction.
【0029】同図において、スクライブホィール5はダ
イヤモンドから構成され、その中心軸に相当する部分は
孔開けがなされ、その孔には硬質の金属からなるホィー
ルピン15が挿入されている。そして、このホィールピ
ン15の各両端はそれぞれホルダ6に軸支されている
が、特にベアリング軸受16を介して軸支されている。In the figure, the scribe wheel 5 is made of diamond, a portion corresponding to the central axis thereof is bored, and a wheel pin 15 made of a hard metal is inserted into the hole. Both ends of the wheel pin 15 are rotatably supported by the holder 6, respectively, and particularly mediated by bearing bearings 16.
【0030】さらに、スクライブホィール5の両脇にそ
れぞれホルダ6との間にたとえばゴム材からなる補助ロ
ーラ17が前記ホィールピン15に貫通されて備えられ
ている。これら各補助ローラ17はスクライブホィール
5を押圧させて該スクライブホィール5とともに回転で
きるようになっている。補助ローラ17の前記ベアリン
グ軸受16に対する接触は、該ベアリング軸受16のう
ちの回転部分のみに限定されており、これにより、補助
ローラ17はスクライブホィール5とともに容易に回転
できるようになっている。このことから、スクライブホ
ィール5は切断すべきガラス透明基板3の面に対してそ
の垂直面に常時位置づけられるようになり、該垂直面に
対して若干ながら揺動してしまうことはなくなる。した
がって、これにより精度のよい切断を達し得ることがで
きるようになる。Further, auxiliary rollers 17 made of, for example, a rubber material are provided on both sides of the scribe wheel 5 between the scribe wheel 5 and the holder 6 so as to penetrate the wheel pins 15. Each of these auxiliary rollers 17 can press the scribe wheel 5 and rotate together with the scribe wheel 5. The contact of the auxiliary roller 17 with the bearing bearing 16 is limited only to the rotating portion of the bearing bearing 16, and thus the auxiliary roller 17 can easily rotate together with the scribe wheel 5. As a result, the scribe wheel 5 is always positioned on the surface perpendicular to the surface of the glass transparent substrate 3 to be cut, and does not swing slightly with respect to the vertical surface. Therefore, it becomes possible to achieve accurate cutting.
【0031】また、スクライブホィール5とともに回転
する補助ローラ17は、その外周面がガラス透明基板3
の面に常時接触する径を備えたものとなっている。すな
わち、補助ローラ17の半径はスクライブホィール5の
それに比べて若干小さくなっている(0.1〜0.3m
mの差)。これにより、ホルダ6に過大な圧力がかけら
れたとしても、その圧力は補助ローラ17のガラス透明
基板3との接触面に分散され、スクライブホィールの軸
受孔とホィールピンとの間で局部的な力が発生するよう
なことはなくなる。そして、ガラス透明基板3に対する
スクライブホィール5の切込み量(0.1〜0.3m
m)が常に一定となるという効果をも奏する。このこと
は、ガラス透明基板3に反りがある場合、スクライブを
行う個所に異物等が付着していた場合等、それらに関係
なく適切なスクライブを行うことができるようになる。Further, the auxiliary roller 17 which rotates together with the scribe wheel 5 has a glass transparent substrate 3 on its outer peripheral surface.
It has a diameter that makes constant contact with the surface. That is, the radius of the auxiliary roller 17 is slightly smaller than that of the scribe wheel 5 (0.1 to 0.3 m).
difference of m). As a result, even if an excessive pressure is applied to the holder 6, the pressure is dispersed on the contact surface of the auxiliary roller 17 with the glass transparent substrate 3, and a local force is exerted between the bearing hole of the scribe wheel and the wheel pin. Will no longer occur. Then, the cut amount of the scribe wheel 5 with respect to the glass transparent substrate 3 (0.1 to 0.3 m
There is also an effect that m) is always constant. This makes it possible to perform appropriate scribing irrespective of the case where the glass transparent substrate 3 is warped, foreign matter or the like is attached to the place where the scribing is performed.
【0032】なお、この実施例では、ホルダ6の一端側
においてホィールピン15に螺合されている蝶番18を
外すことによって、ホィールピン15、スクライブホィ
ール5、および補助ローラ17等を取り外すことができ
るようになっている。それらに互換性をもたせるように
することにより、ガラス透明基板3の種類に応じた適切
なスクライブを形成しようとする趣旨である。In this embodiment, the wheel pin 15, the scribe wheel 5, the auxiliary roller 17 and the like can be removed by removing the hinge 18 screwed to the wheel pin 15 at one end of the holder 6. It is like this. By making them compatible with each other, it is intended to form an appropriate scribe according to the type of the glass transparent substrate 3.
【0033】以上、このような実施例に示した基板切断
装置によれば、スクライブホィール5の両脇にそれぞれ
ホルダ6との間に備えられた各補助ローラ17は、該ス
クライブホィール5を押圧させて該スクライブホィール
5とともに回転するようになっている。As described above, according to the substrate cutting apparatus shown in such an embodiment, the auxiliary rollers 17 provided between the holder 6 and both sides of the scribe wheel 5 press the scribe wheel 5. It is adapted to rotate together with the scribe wheel 5.
【0034】このため、スクライブホィール5は切断す
べきガラス透明基板3の面に対してその垂直面に常時位
置づけられるようになり、該垂直面に対して若干ながら
揺動してしまうことはなくなる。したがって、これによ
り精度のよい切断を達し得ることができるようになる。For this reason, the scribe wheel 5 is always positioned on the surface perpendicular to the surface of the glass transparent substrate 3 to be cut, and does not swing slightly to the vertical surface. Therefore, it becomes possible to achieve accurate cutting.
【0035】また、前記各補助ローラ17は、その回転
とともに外周面は前記ガラス透明基板3の面に常時接触
している。このことから、ホルダ6を介してスクライブ
ホィール5のガラス透明基板3に対する圧力を増大させ
ても、該スクライブホィール5はガラス透明基板3に対
して常時回転でき、これによる連続したスクライブを形
成することができるようになる。The outer peripheral surface of each of the auxiliary rollers 17 is constantly in contact with the surface of the glass transparent substrate 3 as it rotates. From this, even if the pressure of the scribe wheel 5 on the glass transparent substrate 3 is increased through the holder 6, the scribe wheel 5 can always rotate with respect to the glass transparent substrate 3 to form a continuous scribe. Will be able to.
【0036】上述したスクライブホィール5はダイヤモ
ンドで構成したものを説明したものであるが、これに限
定されることはなく、硬質の金属で構成したものを用い
てもよい。この場合においても、基本的な構成は変わら
ず、図1に示すように構成してもよいことはいうまでも
ない。The above-mentioned scribe wheel 5 has been described as being made of diamond, but it is not limited to this, and one made of hard metal may be used. Even in this case, it goes without saying that the basic configuration does not change and the configuration may be as shown in FIG.
【0037】しかし、スクライブホィール5として硬質
の金属で構成した場合、ホィールピン15をともに一体
的に構成することができるようになる。このようにした
場合補助ローラ17を特に設けなくても、スクライブホ
ィール5を切断すべきガラス透明基板3の面に対してそ
の垂直面に常時位置づけられるようにできる効果をもた
せることができる。However, when the scribe wheel 5 is made of a hard metal, the wheel pins 15 can be integrally formed together. In this case, even if the auxiliary roller 17 is not provided, the scribe wheel 5 can be constantly positioned on the surface perpendicular to the surface of the glass transparent substrate 3 to be cut.
【0038】また、スクライブホィール5として硬質の
金属で構成した場合、補助ローラ17を硬質の金属で構
成するとともに該スクライブホィール5と一体化しても
同様の効果が得られることはいうまでもない。Further, when the scribe wheel 5 is made of a hard metal, it goes without saying that the same effect can be obtained even if the auxiliary roller 17 is made of a hard metal and is integrated with the scribe wheel 5.
【0039】また、本実施例は液晶表示基板を構成する
ガラス透明基板を切断するための装置について説明した
ものであるが、必ずしも液晶表示基板を構成するものに
限定されることはなく、他の電子部品を構成するガラス
透明基板を切断する装置にも適用できることはいうまで
もない。Further, although the present embodiment describes the apparatus for cutting the glass transparent substrate which constitutes the liquid crystal display substrate, it is not necessarily limited to the one constituting the liquid crystal display substrate, and other devices can be used. It goes without saying that the invention can also be applied to an apparatus for cutting a glass transparent substrate that constitutes an electronic component.
【0040】[0040]
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による基板切断装置によれば、切断すべき基板面
に対してその垂直面にスクライブホィールが常時位置づ
けられ、これにより精度のよい切断を達し得る。As is apparent from the above description,
According to the substrate cutting apparatus of the present invention, the scribe wheel is always positioned on the surface perpendicular to the surface of the substrate to be cut, thereby achieving accurate cutting.
【図1】本発明による基板切断装置の一実施例を示す要
部構成図である。FIG. 1 is a main part configuration diagram showing an embodiment of a substrate cutting apparatus according to the present invention.
【図2】本発明による基板切断装置の一実施例を示す概
略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a substrate cutting device according to the present invention.
【図3】本発明による基板切断装置による切断対象とな
るガラス透明基板の一実施例を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing an example of a glass transparent substrate to be cut by the substrate cutting apparatus according to the present invention.
3……ガラス透明基板、5……スクライブホィール、6
……ホルダ、16……ベアリング軸受、17……補助ロ
ーラ。3 ... Glass transparent substrate, 5 ... Scribe wheel, 6
…… Holder, 16 …… Bearing bearing, 17 …… Auxiliary roller.
Claims (6)
ライブホィールがその回転軸であるホィールピンを介し
てホルダに支持された構成からなる基板切断装置におい
て、 スクライブホィールの両脇にそれぞれホルダとの間にロ
ーラを備え、これら各ローラはスクライブホィールを押
圧させて該スクライブホィールとともに回転し、かつ、
その回転とともに外周面は前記基板面に常時接触してい
ることを特徴とする基板切断装置。1. A substrate cutting device having a structure in which a scribe wheel to be brought into contact with a surface of a substrate to be cut is supported by a holder through a wheel pin which is a rotation shaft of the scribe wheel. Rollers are provided between the rollers, each of the rollers presses the scribe wheel to rotate with the scribe wheel, and
The substrate cutting device, wherein the outer peripheral surface is always in contact with the substrate surface as it rotates.
成されていることを特徴とする請求項1記載の基板切断
装置。2. The substrate cutting apparatus according to claim 1, wherein the scribe wheel is made of diamond.
ホルダに軸支されていることを特徴とする請求項2記載
の基板切断装置。3. The substrate cutting device according to claim 2, wherein the wheel pin is axially supported by the holder via a bearing.
ライブホィールがその回転軸であるホィールピンを介し
てホルダに支持された構成からなり、前記スクライブホ
ィールが硬質の金属で形成されている基板切断装置にお
いて、前記ホィールピンはスクライブホィールと一体に
形成されていることを特徴とする基板切断装置。4. A scribe wheel, which is brought into contact with the surface of the substrate to be cut, is supported by a holder via a wheel pin which is its rotation shaft, and the scribe wheel is made of a hard metal. In the substrate cutting device, the wheel pin is integrally formed with a scribe wheel.
ルダとの間にローラを備え、これら各ローラはスクライ
ブホィールを押圧させて該スクライブホィールとともに
回転し、かつ、その回転とともに外周面は前記基板面に
常時接触していることを特徴とする請求項4記載の基板
切断装置。5. A roller is provided on each side of the scribe wheel between the scribe wheel and the holder, and each roller presses the scribe wheel to rotate together with the scribe wheel, and with the rotation, the outer peripheral surface contacts the substrate surface. The substrate cutting device according to claim 4, wherein the substrate cutting device is in constant contact.
ホルダに軸支されていることを特徴とする請求項4ある
いは5記載のうちいずれか記載の基板切断装置。6. The substrate cutting device according to claim 4, wherein the wheel pin is axially supported by the holder via a bearing.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19300695A JPH0938961A (en) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | Substrate cutting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19300695A JPH0938961A (en) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | Substrate cutting apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0938961A true JPH0938961A (en) | 1997-02-10 |
Family
ID=16300641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19300695A Pending JPH0938961A (en) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | Substrate cutting apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0938961A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007296832A (en) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Hidekazu Obayashi | Tip holder of cutter wheel for brittle materials |
CN101992505A (en) * | 2009-08-21 | 2011-03-30 | 株式会社迪思科 | Cutting device |
-
1995
- 1995-07-28 JP JP19300695A patent/JPH0938961A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007296832A (en) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Hidekazu Obayashi | Tip holder of cutter wheel for brittle materials |
CN101992505A (en) * | 2009-08-21 | 2011-03-30 | 株式会社迪思科 | Cutting device |
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