JPH09328680A - 有機ｅｌ素子 - Google Patents
有機ｅｌ素子Info
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- JPH09328680A JPH09328680A JP8149499A JP14949996A JPH09328680A JP H09328680 A JPH09328680 A JP H09328680A JP 8149499 A JP8149499 A JP 8149499A JP 14949996 A JP14949996 A JP 14949996A JP H09328680 A JPH09328680 A JP H09328680A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 有機ＥＬ素子の電荷注入を容易にし、高輝度
を達成し、製造コストを低減する。 【解決手段】 透明電極基板１の上面に透明電極１ａを
形成する。透明電極上に有機物層２を形成する。有機物
層２は、有機物層を構成するバインダー３中に、有機物
発光剤４及び電子輸送性無機物微粒子５及び正孔輸送性
無機物微粒子６を含んでいる。電子輸送性無機物微粒子
５及び正孔輸送性無機物微粒子６として、Ｎ型半導体微
粒子やＰ型半導体微粒子等の半導体が使用できる。この
有機物層２の上に、合金Ａｇ：Ｍｇを蒸着して陰極７を
形成してある。
を達成し、製造コストを低減する。 【解決手段】 透明電極基板１の上面に透明電極１ａを
形成する。透明電極上に有機物層２を形成する。有機物
層２は、有機物層を構成するバインダー３中に、有機物
発光剤４及び電子輸送性無機物微粒子５及び正孔輸送性
無機物微粒子６を含んでいる。電子輸送性無機物微粒子
５及び正孔輸送性無機物微粒子６として、Ｎ型半導体微
粒子やＰ型半導体微粒子等の半導体が使用できる。この
有機物層２の上に、合金Ａｇ：Ｍｇを蒸着して陰極７を
形成してある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機ＥＬ素子に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】有機ＥＬ素子は、対向電極の間に有機発
光体を挾んだ構成からなっており、陽極からは正孔が、
陰極からは電子が注入され、この注入された正孔と電子
が発光体層中で再結合することにより発光するものであ
る。
光体を挾んだ構成からなっており、陽極からは正孔が、
陰極からは電子が注入され、この注入された正孔と電子
が発光体層中で再結合することにより発光するものであ
る。
【０００３】この様な有機ＥＬ素子としては、有機正孔
注入層と有機発光・電子注入層とからなる有機層が２層
のものや、この２層型の有機発光・電子注入層の機能を
さらに分離して有機発光層と有機電子注入層とした３層
型のものなどがある。製造方法としては、これらの各層
を蒸着により成膜するもので、その膜厚は１０００オン
グストローム以下の薄膜である。
注入層と有機発光・電子注入層とからなる有機層が２層
のものや、この２層型の有機発光・電子注入層の機能を
さらに分離して有機発光層と有機電子注入層とした３層
型のものなどがある。製造方法としては、これらの各層
を蒸着により成膜するもので、その膜厚は１０００オン
グストローム以下の薄膜である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような有機化合
物からなる正孔・電子注入層は、本質的に伝導性が低
く、また金属電極からの注入障壁も大きく、そのために
素子の駆動に高い電界強度が必要であるという問題点が
あった。
物からなる正孔・電子注入層は、本質的に伝導性が低
く、また金属電極からの注入障壁も大きく、そのために
素子の駆動に高い電界強度が必要であるという問題点が
あった。
【０００５】そこで有機電子注入層の代わりに、無機半
導体薄膜を用いた素子が提案され、比較的良好な特性が
得られている。しかし、その製造に特別の設備を必要と
することから、コストが高くなり、更に、有機発光層を
破壊せずに無機半導体薄膜を安定して積層することが困
難であるという問題点があった。
導体薄膜を用いた素子が提案され、比較的良好な特性が
得られている。しかし、その製造に特別の設備を必要と
することから、コストが高くなり、更に、有機発光層を
破壊せずに無機半導体薄膜を安定して積層することが困
難であるという問題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明の有機ＥＬ素子における有機物層は、電
荷注入剤としての正孔・電子輸送性無機物微粒子と、有
機発光剤とを含む構成としている。そしてこの構成によ
って有機物層が１層の単純な構造にでき、電荷注入が容
易となり、高輝度が達成できる。そして、有機物層を薄
膜に形成する困難性がなくなり、湿式法によって形成で
きるようになるので、製造コストが安価になる。
ために、本発明の有機ＥＬ素子における有機物層は、電
荷注入剤としての正孔・電子輸送性無機物微粒子と、有
機発光剤とを含む構成としている。そしてこの構成によ
って有機物層が１層の単純な構造にでき、電荷注入が容
易となり、高輝度が達成できる。そして、有機物層を薄
膜に形成する困難性がなくなり、湿式法によって形成で
きるようになるので、製造コストが安価になる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明は、陽極と陰極との間に有
機物層を有し、有機物層に直流電圧を印加することによ
り発光する有機ＥＬ素子において、上記の有機物層は、
有機物発光剤と電子輸送性無機物微粒子又は正孔輸送性
無機物微粒子とを含んでいる。
機物層を有し、有機物層に直流電圧を印加することによ
り発光する有機ＥＬ素子において、上記の有機物層は、
有機物発光剤と電子輸送性無機物微粒子又は正孔輸送性
無機物微粒子とを含んでいる。
【０００８】上記の電子輸送性無機物微粒子又は正孔輸
送性無機物微粒子として半導体を用いることができる。
送性無機物微粒子として半導体を用いることができる。
【０００９】また、上記の電子輸送性無機物微粒子又は
正孔輸送性無機物微粒子の表面に有機物発光剤がコーテ
ィングされていることが好ましい。正孔・電子輸送性無
機物微粒子として、無機電導体である非晶質セレンや、
水素化非晶質ケイ素や、ＳｉＣ，ＣｄＳｅ等を用いるこ
ともできる。
正孔輸送性無機物微粒子の表面に有機物発光剤がコーテ
ィングされていることが好ましい。正孔・電子輸送性無
機物微粒子として、無機電導体である非晶質セレンや、
水素化非晶質ケイ素や、ＳｉＣ，ＣｄＳｅ等を用いるこ
ともできる。
【００１０】上記のように有機物層中に、有機物発光剤
と電子輸送性無機物微粒子又は正孔輸送性無機物微粒子
とを含む構成によって、電荷注入が容易になり、高輝度
を達成できる。また、有機物層を薄膜に形成する必要が
なくなり、製造を容易にして安価に提供できる。
と電子輸送性無機物微粒子又は正孔輸送性無機物微粒子
とを含む構成によって、電荷注入が容易になり、高輝度
を達成できる。また、有機物層を薄膜に形成する必要が
なくなり、製造を容易にして安価に提供できる。
【００１１】
（実施例１）図１は本発明にかかる有機ＥＬ素子を模式
的に示す断面図であり、透明電極基板１の上面には、
金、白金、パラジウム、ＩＴＯ等の金属をスパッタリン
グ又は蒸着などして透明電極１ａが形成してある。透明
電極１ａは、発光を透過させるために、４００ｎｍ以上
の波長領域で透明であることが望ましい。この透明電極
１ａ上に、有機物層２が形成されている。
的に示す断面図であり、透明電極基板１の上面には、
金、白金、パラジウム、ＩＴＯ等の金属をスパッタリン
グ又は蒸着などして透明電極１ａが形成してある。透明
電極１ａは、発光を透過させるために、４００ｎｍ以上
の波長領域で透明であることが望ましい。この透明電極
１ａ上に、有機物層２が形成されている。
【００１２】有機物層２は、有機物層を構成するバイン
ダー３中に、有機物発光剤４及び電子輸送性無機物微粒
子５及び正孔輸送性無機物微粒子６を混在させてある。
電子輸送性無機物微粒子及び正孔輸送性無機物微粒子と
して半導体が使用されている。即ち、電子輸送性無機物
微粒子として粒径約０．３μｍのＮ型半導体微粒子５、
例えば、ａ−Ｓｉが、また正孔輸送性無機物微粒子とし
てＰ型半導体微粒子６、例えば、ａ−Ｓｉやａ−ＳｉＣ
が用いられる。また、有機物発光剤４としては低分子有
機材料であるクマリン５４０が用いられている。これら
をバインダー（高分子有機材料）３であるポリシロキサ
ン中にトルエンを溶媒として分散させた上で、透明電極
基板１の透明電極１ａ上に、キャスト法により成膜する
ことにより、膜厚約１μｍの有機物層２が形成されたも
のである。この場合のＮ型半導体微粒子５とＰ型半導体
微粒子６と有機物発光剤４とバインダー３との重量比
は、３：３：４：０．００４である。実際には、有機物
発光剤４とバインダー３とは混然一体となっており、そ
の中に両微粒子５，６がランダムに点在している。
ダー３中に、有機物発光剤４及び電子輸送性無機物微粒
子５及び正孔輸送性無機物微粒子６を混在させてある。
電子輸送性無機物微粒子及び正孔輸送性無機物微粒子と
して半導体が使用されている。即ち、電子輸送性無機物
微粒子として粒径約０．３μｍのＮ型半導体微粒子５、
例えば、ａ−Ｓｉが、また正孔輸送性無機物微粒子とし
てＰ型半導体微粒子６、例えば、ａ−Ｓｉやａ−ＳｉＣ
が用いられる。また、有機物発光剤４としては低分子有
機材料であるクマリン５４０が用いられている。これら
をバインダー（高分子有機材料）３であるポリシロキサ
ン中にトルエンを溶媒として分散させた上で、透明電極
基板１の透明電極１ａ上に、キャスト法により成膜する
ことにより、膜厚約１μｍの有機物層２が形成されたも
のである。この場合のＮ型半導体微粒子５とＰ型半導体
微粒子６と有機物発光剤４とバインダー３との重量比
は、３：３：４：０．００４である。実際には、有機物
発光剤４とバインダー３とは混然一体となっており、そ
の中に両微粒子５，６がランダムに点在している。
【００１３】この有機物層２の上に、合金Ａｇ：Ｍｇを
蒸着して陰極７としている。このようにして本発明の有
機ＥＬ素子が形成されるもので、この素子に、１０Ｖの
直流電圧をかけたところ、青緑色の発光が得られ、その
時の輝度は約２０００ｃｄ／ｍ2であった。発光は局部
的に薄膜化されたＮ型半導体微粒子５とＰ型半導体微粒
子６とに挟まれた部分（接触界面）で生じるために、従
来のような薄膜形成は必要でなく、また発光に作用する
表面積は厚みの分だけ従来に比して広くなり、その分高
輝度が得られる。
蒸着して陰極７としている。このようにして本発明の有
機ＥＬ素子が形成されるもので、この素子に、１０Ｖの
直流電圧をかけたところ、青緑色の発光が得られ、その
時の輝度は約２０００ｃｄ／ｍ2であった。発光は局部
的に薄膜化されたＮ型半導体微粒子５とＰ型半導体微粒
子６とに挟まれた部分（接触界面）で生じるために、従
来のような薄膜形成は必要でなく、また発光に作用する
表面積は厚みの分だけ従来に比して広くなり、その分高
輝度が得られる。
【００１４】次に、本実施例の有機ＥＬ素子の製造方法
の他の例について説明する。透明電極が形成してある透
明電極基板の上面に有機物層を形成するに際して、先
ず、粒径約０．３μｍのＮ型半導体微粒子、例えば、ａ
−Ｓｉと、Ｐ型半導体微粒子、例えば、ａ−Ｓｉやａ−
ＳｉＣと、有機物発光剤としてクマリン５４０とを、バ
インダー３であるポリシロキサン中にエチルカルビトー
ルを溶媒として分散させて印刷用インクを用意した。印
刷に際してはフレキソ印刷機を使用し、版にはメッシュ
数４００のブチルゴム系のものを用いた。この印刷機
で、透明電極基板の透明電極上に、上記の印刷用インク
で印刷し、約１．４μｍの膜厚の有機物層を形成した。
の他の例について説明する。透明電極が形成してある透
明電極基板の上面に有機物層を形成するに際して、先
ず、粒径約０．３μｍのＮ型半導体微粒子、例えば、ａ
−Ｓｉと、Ｐ型半導体微粒子、例えば、ａ−Ｓｉやａ−
ＳｉＣと、有機物発光剤としてクマリン５４０とを、バ
インダー３であるポリシロキサン中にエチルカルビトー
ルを溶媒として分散させて印刷用インクを用意した。印
刷に際してはフレキソ印刷機を使用し、版にはメッシュ
数４００のブチルゴム系のものを用いた。この印刷機
で、透明電極基板の透明電極上に、上記の印刷用インク
で印刷し、約１．４μｍの膜厚の有機物層を形成した。
【００１５】この有機物層の上に、合金Ａｇ：Ｍｇを蒸
着して陰極を形成して、図１に示すのと実質的に同一構
成の素子を製造した。この素子に、１０Ｖの直流電圧を
かけたところ、青緑色の発光が得られ、その時の輝度は
約５００ｃｄ／ｍ2であった。
着して陰極を形成して、図１に示すのと実質的に同一構
成の素子を製造した。この素子に、１０Ｖの直流電圧を
かけたところ、青緑色の発光が得られ、その時の輝度は
約５００ｃｄ／ｍ2であった。
【００１６】（実施例２）次に、図示しないが第２の実
施例について説明する。この実施例において、透明電極
上に形成される有機物層は、粒径約０．３μｍのＮ型半
導体微粒子、例えば、ａ−Ｓｉと、有機物発光剤として
クマリン５４０とを、正孔輸送性を持つバインダーであ
るポリメチルフェニルシラン中にトルエンを溶媒として
分散させた上で、透明電極上にキャスト法により成膜す
ることにより、膜厚約１μｍの有機物層が形成されたも
のである。すなわち、前実施例の正孔輸送性無機物微粒
子（Ｐ型半導体）に代えてバインダー自体に正孔輸送性
を持たせたものである。この場合のＮ型半導体微粒子と
有機物発光剤とバインダーとの重量比は、６：４：０．
００４である。
施例について説明する。この実施例において、透明電極
上に形成される有機物層は、粒径約０．３μｍのＮ型半
導体微粒子、例えば、ａ−Ｓｉと、有機物発光剤として
クマリン５４０とを、正孔輸送性を持つバインダーであ
るポリメチルフェニルシラン中にトルエンを溶媒として
分散させた上で、透明電極上にキャスト法により成膜す
ることにより、膜厚約１μｍの有機物層が形成されたも
のである。すなわち、前実施例の正孔輸送性無機物微粒
子（Ｐ型半導体）に代えてバインダー自体に正孔輸送性
を持たせたものである。この場合のＮ型半導体微粒子と
有機物発光剤とバインダーとの重量比は、６：４：０．
００４である。
【００１７】この有機物層の上に、合金Ａｇ：Ｍｇを蒸
着して陰極としている。このようにして製造された本発
明の有機ＥＬ素子に、１０Ｖの直流電圧をかけたとこ
ろ、青緑色の発光が得られ、その時の輝度は約１８００
ｃｄ／ｍ2であった。
着して陰極としている。このようにして製造された本発
明の有機ＥＬ素子に、１０Ｖの直流電圧をかけたとこ
ろ、青緑色の発光が得られ、その時の輝度は約１８００
ｃｄ／ｍ2であった。
【００１８】（実施例３）図２に第３の実施例を示して
いる。構成上相違点のない部分については図１と同じ符
号を付与している。この実施例で透明電極１ａ上に形成
される有機物層２は、電子輸送性無機物微粒子５及び正
孔輸送性無機物微粒子６の表面に有機物発光剤８をコー
ティングさせて用いている。即ち、シアニン色素の濃厚
水溶液中に、Ｎ型半導体微粒子５、例えば、ａ−Ｓｉ
と、Ｐ型半導体微粒子６、例えば、ａ−Ｓｉやａ−Ｓｉ
Ｃとを浸漬し、それぞれの表面にコーティングした（Ｊ
凝集体を形成せしめた）。
いる。構成上相違点のない部分については図１と同じ符
号を付与している。この実施例で透明電極１ａ上に形成
される有機物層２は、電子輸送性無機物微粒子５及び正
孔輸送性無機物微粒子６の表面に有機物発光剤８をコー
ティングさせて用いている。即ち、シアニン色素の濃厚
水溶液中に、Ｎ型半導体微粒子５、例えば、ａ−Ｓｉ
と、Ｐ型半導体微粒子６、例えば、ａ−Ｓｉやａ−Ｓｉ
Ｃとを浸漬し、それぞれの表面にコーティングした（Ｊ
凝集体を形成せしめた）。
【００１９】Ｊ凝集体について説明すると、色素が数分
子集まって形成される分子集合体であり、いわば、ミニ
マムな結晶体とみなすことができる。ある特殊な構造を
持つシアニン色素などで生じる。そして、この凝集体
は、励起状態での相互作用が強く、共鳴蛍光即ち半値幅
の狭い蛍光を発し、また蛍光量子効率も非常に高いとい
う特徴を持つものである。
子集まって形成される分子集合体であり、いわば、ミニ
マムな結晶体とみなすことができる。ある特殊な構造を
持つシアニン色素などで生じる。そして、この凝集体
は、励起状態での相互作用が強く、共鳴蛍光即ち半値幅
の狭い蛍光を発し、また蛍光量子効率も非常に高いとい
う特徴を持つものである。
【００２０】有機物発光剤８のＪ凝集体を表面に形成せ
しめたＮ型半導体微粒子５とＰ型半導体微粒子６とをバ
インダー３中に分散させた上で、透明電極１ａ上にキャ
スト法により成膜することにより、膜厚約１μｍの有機
物層８が形成されたものである。この場合のＮ型半導体
微粒子５とＰ型半導体微粒子６とバインダー３との重量
比は、３：３：４である。
しめたＮ型半導体微粒子５とＰ型半導体微粒子６とをバ
インダー３中に分散させた上で、透明電極１ａ上にキャ
スト法により成膜することにより、膜厚約１μｍの有機
物層８が形成されたものである。この場合のＮ型半導体
微粒子５とＰ型半導体微粒子６とバインダー３との重量
比は、３：３：４である。
【００２１】この有機物層の上に、合金Ａｇ：Ｍｇを蒸
着して陰極７としている。このようにして製造された本
発明の有機ＥＬ素子に、１０Ｖの直流電圧をかけたとこ
ろ、Ｊ凝集体に特有な半値幅の狭い共鳴蛍光が得られ、
その時の輝度は約２００ｃｄ／ｍ2であった。
着して陰極７としている。このようにして製造された本
発明の有機ＥＬ素子に、１０Ｖの直流電圧をかけたとこ
ろ、Ｊ凝集体に特有な半値幅の狭い共鳴蛍光が得られ、
その時の輝度は約２００ｃｄ／ｍ2であった。
【００２２】第１の実施例のように無機物微粒子表面が
コーティングされていない場合、電子輸送性微粒子と正
孔輸送性微粒子とが直接接触するおそれがある。両微粒
子の間に有機物発光剤が介在していれば発光を生じる
が、このように両微粒子が直接接触して短絡してしまう
とその部分に発光を生じ得ない。そこで本実施例では、
微粒子の表面を有機物発光剤でコーティングすることに
より、両微粒子が直接接触することを防ぎ、このコーテ
ィング部分が発光するようにした。
コーティングされていない場合、電子輸送性微粒子と正
孔輸送性微粒子とが直接接触するおそれがある。両微粒
子の間に有機物発光剤が介在していれば発光を生じる
が、このように両微粒子が直接接触して短絡してしまう
とその部分に発光を生じ得ない。そこで本実施例では、
微粒子の表面を有機物発光剤でコーティングすることに
より、両微粒子が直接接触することを防ぎ、このコーテ
ィング部分が発光するようにした。
【００２３】なお、正孔・電子輸送性無機物微粒子とし
て、無機電導体である非晶質セレンや、水素化非晶質ケ
イ素や、ＳｉＣ，ＣｄＳｅ等を用いることができる。
て、無機電導体である非晶質セレンや、水素化非晶質ケ
イ素や、ＳｉＣ，ＣｄＳｅ等を用いることができる。
【００２４】有機物層の成膜の方法は、上に述べたキャ
スト法やフレキソ印刷法に限られるものでなく、スピン
コート法や、スクリーン印刷法等も可能であり、製造の
容易さの点から湿式の方法を採用することが好ましい。
スト法やフレキソ印刷法に限られるものでなく、スピン
コート法や、スクリーン印刷法等も可能であり、製造の
容易さの点から湿式の方法を採用することが好ましい。
【００２５】
【発明の効果】有機物層中に、電荷注入剤としての正孔
又は電子輸送性無機物微粒子と、有機発光剤とを含む構
成であるので、高い電界強度を要しなくて電極からの電
荷注入が容易である。また、発光は正孔・電子輸送性無
機物微粒子相互間の局部的に薄膜化された接触界面で生
じるために、発光層の表面積が広く得られ、その分高輝
度が得られる。また、有機物層を薄膜化する必要がな
く、１層構造にできるので、製造が容易になり、安価に
提供できる。
又は電子輸送性無機物微粒子と、有機発光剤とを含む構
成であるので、高い電界強度を要しなくて電極からの電
荷注入が容易である。また、発光は正孔・電子輸送性無
機物微粒子相互間の局部的に薄膜化された接触界面で生
じるために、発光層の表面積が広く得られ、その分高輝
度が得られる。また、有機物層を薄膜化する必要がな
く、１層構造にできるので、製造が容易になり、安価に
提供できる。
【００２６】また、電子輸送性無機物微粒子又は正孔輸
送性無機物微粒子の表面に有機物発光剤をコーティング
すると、短絡により発光不能となる部分が生じることが
ない。
送性無機物微粒子の表面に有機物発光剤をコーティング
すると、短絡により発光不能となる部分が生じることが
ない。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】他の実施例を示す断面図である。
【符号の説明】 １ａ 陽極 ２ 有機物層 ４，８ 有機発光剤 ５ 電子輸送性無機物微粒子 ６ 正孔輸送性無機物微粒子 ７ 陰極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平山 巌 東京都墨田区太平四丁目３番９号 セイコ ープレシジョン株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 陽極と陰極との間に有機物層を有し、上
記有機物層に直流電圧を印加することにより発光する有
機ＥＬ素子において、上記有機物層は、有機物発光剤と
電子輸送性無機物微粒子又は正孔輸送性無機物微粒子と
を含むことを特徴とする有機ＥＬ素子。 - 【請求項２】 請求項１において、上記電子輸送性無機
物微粒子又は上記正孔輸送性無機物微粒子は半導体であ
ることを特徴とする有機ＥＬ素子。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、上記電子輸送
性無機物微粒子又は上記正孔輸送性無機物微粒子の表面
に有機物発光剤がコーティングされていることを特徴と
する有機ＥＬ素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14949996A JP3631845B2 (ja) | 1996-06-11 | 1996-06-11 | 有機ｅｌ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14949996A JP3631845B2 (ja) | 1996-06-11 | 1996-06-11 | 有機ｅｌ素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09328680A true JPH09328680A (ja) | 1997-12-22 |
| JP3631845B2 JP3631845B2 (ja) | 2005-03-23 |
Family
ID=15476499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14949996A Expired - Fee Related JP3631845B2 (ja) | 1996-06-11 | 1996-06-11 | 有機ｅｌ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3631845B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001001501A1 (en) * | 1997-02-10 | 2001-01-04 | Quantum Energy Technologies | Electroluminescent device having a structured particle electron conductor |
| WO2002067632A1 (fr) * | 2001-02-21 | 2002-08-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Element lumineux et procede de preparation de ce dernier |
| JP2004095549A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
| WO2004054325A1 (ja) * | 2002-12-12 | 2004-06-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | 発光装置、製造装置、成膜方法、およびクリーニング方法 |
| JP2005294124A (ja) * | 2004-04-01 | 2005-10-20 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置及び有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法ならびに電子機器 |
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