JPH0931687A - リードフレーム材の研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】リード自体に変形を生じさせず、効率的にリー
ド表面の凹凸やバリの除去を可能にしたリードフレーム
材の研磨方法を提供すること。 【解決手段】噴射ガン１はノズル１ａを備えており、圧
搾空気Ａと、水と砥粒との混合流体Ｍとは、噴射ガン１
内で混合され、その混合流体は、スリット状に形成され
たノズル１ａから、所定の速度で移動している図示して
いないリードフレーム材に吹き付けられる。このような
吹き付けは、リードフレーム材の表裏両面に対し、少な
くとも各面１回ずつ略垂直方向から行うようにする。砥
粒としてアルミナ粒子、又はアルミナ粒子とガラス玉の
混合材を所定の条件の下に使用すると極めて良い結果が
得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ，ＬＳＩ等の電子
部品に用いられているリードフレームの製造工程中の前
処理方法に関し、特にリードフレーム材表面の凹凸やバ
リの除去に好適な処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】リードフレームの製造方法は、一般に、
先ず、圧延加工によって得た銅合金や鉄合金の板材（フ
ープ材）を、プレス機械で打ち抜くことによってリード
フレーム材を得る。このリードフレーム材は、リードフ
レームごとにリード部等を形成されてはいるが、リード
フレーム単位に完全に切断されてはいない状態のもので
ある。次に、このようなリードフレーム材に対し前処理
を行い、その後、メッキ処理を行い、最後に、リードフ
レーム単位に完全に切断されて完成する。

【０００３】上記の工程において、前処理工程は極めて
重要な工程である。即ち、リードフレーム材には、通常
の場合、圧延加工で発生した表面の０．４〜０．８μｍ
の凹凸部に加え、打ち抜き工程で発生した長さ５〜４０
μｍの各種のバリが存在する。このような表面に直接メ
ッキを施すと、膨れや剥離を生じ、またメッキ厚を均一
に得ることができない。このため、メッキ工程の前には
前処理工程を設け、表面の凹凸や各種のバリを除去する
ことが行われている。

【０００４】このような前処理方法としては幾つかの方
法が提案され、採用されているが、極めて一般的な方法
としては化学研磨法を取り入れたものがある。この方法
は、リードフレーム材を脱脂液に浸漬して脱脂した後、
水洗、化学研磨液への浸漬、水洗を順次行うものであ
る。しかし、この方法は化学研磨液の浴管理が難しく、
しかも一般に液組成が明らかにされていないため、廃液
処理を専門業者に委託せざるを得ず、リードフレームの
製造コストの低減にとって大きな障害となっている。し
かも、表面の凹凸やバリの除去も必ずしも十分とはいえ
ない。

【０００５】上記の欠点を改善した方法として、電解研
磨法を取り入れた前処理方法がある。この電解研磨法は
電流値や極性を任意に選択でき、且つ電解研磨液も自作
が可能であるため、廃液も自社処理が可能となり、化学
研磨法よりもその点で有利である。しかし、この方法は
高価な電源装置を必要とすることと、ロットごとに仕上
がりにむらを生じ易く、しかもリードのストレート部に
発生した片バリや針バリの除去については必ずしも十分
とはいえなかった。

【０００６】上記の二例とは考え方の異なる方法に乾式
ブラスト研磨法がある。この方法は、例えばアルミ粉や
ガラス粉などを高圧空気と共にリードフレーム材に吹き
当てるものである。しかし、この方法では処理後にそれ
らの粒子がリードフレーム材の表面に付着しているため
後処理が必要になることと、ブラスト処理の前に脱脂工
程が不可欠であることから、必ずしも製造コストの低減
には繋がらず、反面、リードフレーム材を変形させてし
まう可能性があり、十分とはいえないものであった。

【０００７】また、別な方法として、ジェットポンプを
用い、５０〜７０気圧の高圧水を吹き付ける方法があ
る。しかし、この方法も脱脂工程を必要とし、必ずしも
コスト低減には寄与しない。しかも、水だけでは十分な
衝撃力を得ることができず、バリの除去も十分ではな
い。特に、リードのストレート部に発生した片バリや針
バリを除去しようとすると水圧を高くせざるを得ず、そ
のためにリードフレーム材を変形させてしまう可能性が
ある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近のリー
ドフレームにおいては、一層の多ピン化が要求されてお
り、リードの先端間隔も、例えば１００μｍというよう
に極めて狭くなってきている。そのため、上記した各方
法では、リードのストレート部に発生した片バリや針バ
リを除去しようとすると、どうしてもリードの表面を過
剰に研磨せざるを得ず、リード形状に乱れを生じさせる
結果となる。

【０００９】この点を改善するために、脱脂液と高圧空
気との混合流体を、リードフレーム材の表裏両面に少な
くとも１回ずつ該表裏面に対して略垂直から吹き当てる
ようにした方法が提案されている。しかし、この方法は
リードのストレート部に発生する片バリや針バリと称す
るバリの除去には有効であるものの、リード表面の凹凸
の除去には十分なものとはなっていない。

【００１０】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたものであって、その目的とするところは、
リード自体に変形を生じさせず、効率的にリード表面の
凹凸やバリの除去を可能にしたリードフレーム材の研磨
方法を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明におけるリードフレーム材の研磨方法は、
砥粒と水と空気との混合流体を準備し、該混合流体を、
リードフレーム材の表裏両面に少なくとも１回ずつ該表
裏面に対して略垂直方向から吹き当てるようにする。ま
た、前記砥粒としては、好ましくは、アルミナ粒子のみ
を用い、該アルミナ粒子を含むスラリー中の粒子濃度を
８０〜８００ｇ／リットルとする。更に、前記砥粒として
は、好ましくは、アルミナ粒子とガラス玉との混合粒を
用い、該混合粒を含むスラリー中のアルミナ粒子濃度を
５〜６００ｇ／リットル，ガラス玉濃度を７０〜７００ｇ／
リットルとする。

【００１２】また、前記砥粒をアルミナ粒子のみとした
場合には、好ましくは、アルミナ粒子の平均粒径の上限
がリード間隔の１／３であり、下限が８μｍであるよう
にする。更に、前記砥粒をアルミナ粒子とガラス玉との
混合粒とした場合には、好ましくは、前記砥粒の平均粒
径の上限がリード間隔の１／３であり、前記アルミナ粒
子の下限が８μｍであり、前記ガラス玉の下限が１０μ
ｍであるようにする。更にまた、リード間隔が１００μ
ｍ前後の場合には、好ましくは、前記アルミナ粒子の平
均粒径が８〜２０μｍであり、前記ガラス玉の平均粒径
が１０〜２０μｍであるようにする。

【００１３】

【作用】本発明は、圧延加工によって得た銅合金や鉄合
金の板材（フープ材）を、プレス機械で打ち抜いて製作
したリードフレーム材に、砥粒と水と空気との混合流体
を、該リードフレーム材の表裏両面に少なくとも１回ず
つ該表裏面に対して略垂直方向から吹き当てるようにす
る。それによって、リード自体に変形を生じさせず、前
工程で発生した凹凸やバリを効率的に除去することがで
きる。その場合、砥粒をアルミナ粒子単独、又はアルミ
ナ粒子とガラス玉との混合とし、砥粒を含むスラリー中
の砥粒濃度を、前者の場合には８０〜８００ｇ／リットル、
後者の場合にはアルミナ粒子を５〜６００ｇ／リットル、ガ
ラス玉を７０〜７００ｇ／リットルとし、砥粒の平均粒径
を、その上限がリード間隔の１／３であり、下限がアル
ミナ粒子の場合は８μｍ、ガラス玉の場合は１０μｍに
することによって、極めて好適な効果が得られる。

【００１４】

【実施例】本発明の実施例を図１乃至図１３を用いて説
明する。先ず最初に、本発明を実施するために用いた設
備の一部とリードフレーム材について説明をしておく。
図１はその設備の一部を概略的に示したものである。こ
の図１において、噴射ガン１には一方から圧搾空気Ａが
供給され、他方からは水と砥粒との混合流体Ｍが供給さ
れる。噴射ガン１は、混合室で混合され且つ加圧された
混合流体Ｍをスリット状のノズル１ａから図示していな
いリードフレーム材に吹き付けるようになっている。

【００１５】リードフレーム材としては、Ｃ７０２５
（銅合金）製であって、厚さ１５０μｍ、幅５０ｍｍ、
長さ２００ｍｍの薄板に、リード間隔１００μｍ、リー
ド幅１００μｍ、ピン（リード）数２０８本のパターン
を打ち抜き加工によって５箇形成したものを用いた。吹
き付け処理は、所定の速度で噴射ガン１とリードフレー
ム材との相対位置を変えながら行い、リードフレーム材
の表裏両面に同じ回数ずつ且つ各面に対して垂直方向か
ら行った。図２にはもう一つの噴射ガン２が示されてい
る。この噴射ガン２のノズル２ａは円形をしているが、
このような噴射ガン２を用いた場合にも、図１の噴射ガ
ン１を用いた場合と殆ど同じ結果が得られた。

【００１６】次に、砥粒の選定についての考察と、それ
を用いた結果について説明する。本発明においては、砥
粒としてアルミナ粒子を用いると好適である。その理由
は、通常のアルミナ粒子は破断面を持っているため、こ
の破断面によってリードフレーム材の表面が切削され、
凹凸を有効に除去できるためである。しかし、リードフ
レーム材の材質やその他の処理条件によってはアルミナ
粒子だけでは切削効果が強すぎる場合がある。その場
合、切削効果を弱めるように処理条件を調節するとバリ
取り効果が激減するが、処理条件を変えず球形のガラス
玉を混合させると、切削効果が弱まり、最適化を図れる
ことが実験上確認された。

【００１７】砥粒を含むスラリー中の砥粒濃度は、砥粒
をアルミナ粒子のみとした場合には８０〜８００ｇ／リッ
トルとし、砥粒をアルミナ粒子とガラス玉との混合とした
場合には、アルミナ粒子を５〜６００ｇ／リットルとし、ガ
ラス玉を７０〜７００ｇ／リットルとするのが好適であるこ
とが実験により分かった。これらの範囲を越えて砥粒量
を多くすると、噴射ガンや配管の磨滅が問題となり、且
つかえって切削効果が減少するという結果となった。ま
た、この範囲より少なくすると十分な切削効果を得られ
ないことが分かった。

【００１８】また、砥粒の平均粒径はリード間隔に依存
する。当然のことながら、粒径がリード間隔よりも大き
ければリード間側面に存在するバリは除去できず、且つ
リードへの衝撃が強くなりすぎてリードに変形をもたら
すことになる。通常は、粒径がリード間隔の１／３より
小さいことが望まれる。その理由は、粒径がリード間隔
より小さくても１／３より大きいと、粒子同士でブリッ
ジが形成され、リード間隔より大きい場合と同様な弊害
が起きるからである。他方、余り小さいと切削効果やバ
リの除去効果が薄く、アルミナ粒子では平均粒径の下限
値を８μｍとし、ガラス玉では１０μｍとするのが好ま
しいことが分かった。

【００１９】更に、本発明を実施するに当たり留意すべ
きことは、リードフレーム材に噴射ガンのノズルより混
合流体を吹き当てる際の諸条件の設定である。それらの
条件としては、リードフレーム材と噴射ガンのノズルと
の間隔、該ノズルより吐出される混合流体の吐出量、混
合流体を構成するための砥粒スラリーの圧力と空気の圧
力、吹き当てられる混合流体の量、リードフレーム材の
処理速度などがある。これらの条件は相互に密接な関連
があるため、それらの条件を各条件単位で特定すること
には意味がなく、量産実施前に十分検討して最適条件に
設定しておく必要がある。

【００２０】次に、いろいろと条件を変えて検討してみ
た試験結果を、本発明の実施例となる１３例と、比較例
となる５例について個々に説明する。尚、それらの説明
に当たって図３乃至図１３を参照することになるが、各
図の（ａ）はバリの除去状況を示し、（ｂ）は処理表面
の平滑度と、パターン部を中心としたリードフレーム材
の変形状況を示している。これらの各図の（ａ）におい
て共通に用いられている記号の意味は次の通りである。 ○：バリが取れたことを示す。 ×：バリが取れなかったことを示す。 △：バリが若干残留したことを示す。 また、各図の（ｂ）において共通に用いられている記号
の意味は次の通りである。 ○：良好な表面が得られたことを示す。 ×：良好な表面が得られなかったことを示す。 △：それらの中間であり、ほぼ良好であることを示す。

【００２１】実施例１ 砥粒として平均粒径８．０μｍのアルミナ粒子を用い、
スラリー中のアルミナ粒子濃度を５３０ｇ／リットルとし、
投射距離、即ち噴射ガン１のノズル１ａとリードフレー
ム材との距離を２０ｍｍとした。また、砥材スラリーを
吐出するポンプの吐出圧を１．２５ｋｇ／ｃｍ² に調整
し、投入空気圧を０．７〜３．０ｋｇ／ｃｍ² とした。
更に、噴射ガン１を固定しリードフレーム材を移動させ
たが、その移動速度は３ｍ／分とした。尚、吹き込んだ
空気の量は１５００リットル／分・ノズルであり、噴射ガン
１のノズル１ａより吹き当てられた空気とスラリーとの
混合物によるリードフレーム材表面での形状は９０ｍｍ
×１．６ｍｍの線状となっていた。

【００２２】この実施結果は図３に示す通りであり、得
られた色調は梨地（二十世紀梨の表面のような状態）、
無光沢であった。この図で分かるように、投入空気圧が
低い場合には吹き当てる回数（投射回数）を多くしてや
ればバリは除去できる。また、投入空気圧を３ｋｇ／ｃ
ｍ² 以上にすると、投射回数と関係なくバリを除去する
ことができるが、表面はかえって荒れてしまい、しかも
投射回数を重ねるにしたがいパターン部における変形が
大きく現れていた。また、投入空気圧が低くても、投射
回数が多くなれば表面は荒れ、パターン部に変形が現れ
た。

【００２３】実施例２ 砥粒として平均粒径１１．５μｍのアルミナ粒子を用い
た外は、全て実施例１と同じ条件で行った。その結果は
図４に示す通りであり、得られた色調は梨地、無光沢で
あった。基本的には実施例１と同じ結果が得られている
が、表面の切削度が高くなり、圧延加工時の傷痕が実施
例１の場合より分かりにくくなっていた。

【００２４】実施例３ 砥粒として平均粒径１４．０μｍのアルミナ粒子を用い
た外は、全て実施例１と同じ条件で行った。その結果は
図５に示す通りであり、得られた色調は梨地、無光沢で
あった。実施例１，２と比較して、良好な表面の得られ
る範囲が狭くなり、条件設定の自由度が失われてきてい
ることが分かる。

【００２５】実施例４ 砥粒として平均粒径２０．０μｍのアルミナ粒子を用い
た外は、全て実施例１と同じ条件で行った。その結果は
図６に示す通りであり、得られた色調は梨地、無光沢で
あったが、梨地が強くなっていた。実施例１〜３と比較
して、良好な表面の得られる範囲が極端に狭くなり、こ
れ以上大きな粒径のアルミナ粒子を用いることが危険で
あることが分かる。尚、この場合でも、投射距離を大き
くすれば、実施例１，２程度の結果を得ることが可能と
思われるが、いずれにしても条件設定の自由度が失われ
てきていることが分かる。

【００２６】実施例５ 砥材として平均粒径１１．５μｍのアルミナ粒子と平均
粒径２０μｍのガラス玉を用い、スリラー中のアルミナ
粒子の濃度を１５０ｇ／リットルとし、ガラス玉の濃度を４
００ｇ／リットルとした外は、全て実施例１と同じ条件で行
った。その結果は図７に示す通りであり、得られた表面
は素材本来の色調に近い色であり、良好な光沢面であっ
たが、所望する良好な表面を得ることのできる条件は比
較的狭い。

【００２７】実施例６ 砥材として平均粒径１４．５μｍのアルミナ粒子と平均
粒径２０μｍのガラス玉を用い、スリラー中のアルミナ
粒子の濃度を１５０ｇ／リットルとし、ガラス玉の濃度を４
００ｇ／リットルとした外は、全て実施例１と同じ条件で行
った。その結果は図８に示す通りであり、実質的に実施
例５と同様な結果が得られた。

【００２８】実施例７ スリラー中のアルミナ粒子の濃度を５００ｇ／リットルとし
た外は、全て実施例５と同じ条件で行った。その結果は
図９に示す通りであり、実質的に実施例５，６と同様な
結果が得られた。

【００２９】実施例８ スリラー中のアルミナ粒子の濃度を５００ｇ／リットルとし
た外は、全て実施例６と同じ条件で行った。その結果は
図１０に示す通りであり、実質的に実施例５，６，７と
同様な結果が得られた。このように、この実施例は実施
例５，６，７と同様に良好な表面を得るための条件は狭
くなっているが、素材本来の色調の光沢面が得られる点
では好ましいといえる。

【００３０】実施例９ 砥粒として平均粒径８．０μｍのアルミナ粒子のみを用
い、スリラー中のアルミナ粒子の濃度を８００ｇ／リットル
と、投入空気圧２ｋｇ／ｃｍ² とし、投射回数を片面に
つき３回とした外は、全て実施例１と同じ条件で行っ
た。その結果は、得られた色調が梨地、無光沢であった
が、所望の表面状態が良好に得られていた。

【００３１】実施例１０ 砥粒として平均粒径２０．０μｍのアルミナ粒子のみを
用い、スリラー中のアルミナ粒子の濃度を４００ｇ／リッ
トルと、投入空気圧２ｋｇ／ｃｍ² とし、投射回数を片面
につき３回とした外は、全て実施例１と同じ条件で行っ
た。その結果は、実施例９と同様に、得られた色調が梨
地、無光沢であったが、所望の表面状態が良好に得られ
ていた。

【００３２】実施例１１ スリラー中のガラス玉の濃度を７００ｇ／リットルとした外
は、全て実施例５と同じ条件で行った。得られた結果
は、実施例５の場合と実質的に同じであった。

【００３３】実施例１２ スリラー中のガラス玉の濃度を７０ｇ／リットルとした外
は、全て実施例５と同じ条件で行った。得られた結果
は、実施例５の場合より若干良くないが、ほぼ同程度と
みなせる状態であった。

【００３４】実施例１３ スリラー中のアルミナ粒子の濃度を５ｇ／リットルとした外
は、全て実施例５と同じ条件で行った。得られた結果
は、実施例５の場合より若干良くないが、実施例１２の
場合と同様に、ほぼ同程度とみなせる状態であった。

【００３５】比較例１ 砥粒として平均粒径１０．０μｍのガラス玉を用いる外
は、全て実施例１と同じ条件で行った。その結果は図１
１に示す通りであり、所望する良好な表面状態を得るこ
とができなかった。

【００３６】比較例２ 砥粒として平均粒径２０．０μｍのガラス玉を用いる外
は、全て実施例１と同じ条件で行った。その結果は図１
２に示す通りであり、良好な表面を得ることができ条件
が極めて狭いことが分かる。また、投入空気圧３ｋｇ／
ｃｍ² で投射回数各面９回の条件で発生するリードフレ
ーム材の反りは、試験した全ての中で最大であった。

【００３７】比較例３ スリラー中のアルミナ粒子の濃度を３ｇ／リットルとした外
は、全て実施例５と同じ条件で行った。得られた結果
は、図１１に示した比較例１の場合よりも幾分悪かっ
た。

【００３８】比較例４ スリラー中のガラス玉の濃度を５０ｇ／リットルとした外
は、全て実施例５と同じ条件で行った。得られた結果
は、実質的に比較例３の場合と同じであり、所望する良
好な表面状態を得ることができなかった。

【００３９】比較例５ スリラー中のアルミナ粒子の濃度を７００ｇ／リットルとし
た外は、全て実施例５と同じ条件で行った。得られた結
果は、図１３に示した通りであり、図１２に示した比較
例２の場合と同様に、その範囲こそ違うものの良好な表
面を得ることができる条件が極めて狭いことが分かる。

【００４０】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、砥粒と
水と空気とを混合し、これをリードフレーム材の表裏両
面に該各面に対して略垂直方向から吹き当てるようにし
たため、衝撃力を適度の強さにでき、リードフレーム材
表面の凹凸とバリを効果的に除去することが可能とな
る。このため、従来の研磨方法のように電解研磨液や化
学研磨液が不要となり、製造コストの低減が可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の各実施例に使用した装置の説明図であ
る。

【図２】図１に示した噴射ガンの他の例を示した説明図
である。

【図３】実施例１の実施結果を示す図であり、（ａ）は
バリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパター
ン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示し
ている。

【図４】実施例２の実施結果を示す図であり、（ａ）は
バリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパター
ン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示し
ている。

【図５】実施例３の実施結果を示す図であり、（ａ）は
バリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパター
ン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示し
ている。

【図６】実施例４の実施結果を示す図であり、（ａ）は
バリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパター
ン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示し
ている。

【図７】実施例５の実施結果を示す図であり、（ａ）は
バリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパター
ン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示し
ている。

【図８】実施例６の実施結果を示す図であり、（ａ）は
バリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパター
ン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示し
ている。

【図９】実施例７の実施結果を示す図であり、（ａ）は
バリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパター
ン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示し
ている。

【図１０】実施例８の実施結果を示す図であり、（ａ）
はバリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパタ
ーン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示
している。

【図１１】比較例１の実施結果を示す図であり、（ａ）
はバリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパタ
ーン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示
している。

【図１２】比較例２の実施結果を示す図であり、（ａ）
はバリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパタ
ーン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示
している。

【図１３】比較例５の実施結果を示す図であり、（ａ）
はバリの除去状況を、（ｂ）は処理表面の平滑度とパタ
ーン部を中心としたリードフレーム材の変形状況とを示
している。

【符号の説明】

１，２ 噴射ガン １ａ，２ａ ノズル Ａ 圧搾空気 Ｍ 混合流体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中野 正 東京都青梅市末広町１−６−１ 住友金属 鉱山株式会社内 (72)発明者 関谷 健助 東京都青梅市末広町１−６−１ 住友金属 鉱山株式会社内 (72)発明者 村山 仁志 東京都青梅市末広町１−６−１ 住友金属 鉱山株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 砥粒と水と空気との混合流体を準備し、
   該混合流体を、リードフレーム材の表裏両面に少なくと
   も１回ずつ該表裏面に対して略垂直方向から吹き当てる
   ようにしたことを特徴とするリードフレーム材の研磨方
   法。
2. 【請求項２】 前記砥粒としてアルミナ粒子を用い、該
   アルミナ粒子を含むスラリー中の粒子濃度を８０〜８０
   ０ｇ／リットルとしたことを特徴とする請求項１に記載のリ
   ードフレーム材の研磨方法。
3. 【請求項３】 前記砥粒の平均粒径の上限がリード間隔
   の１／３であり、下限が８μｍであることを特徴とする
   請求項２に記載のリードフレーム材の研磨方法。
4. 【請求項４】 前記砥粒としてアルミナ粒子とガラス玉
   との混合粒を用い、該混合粒を含むスラリー中のアルミ
   ナ粒子濃度を５〜６００ｇ／リットル，ガラス玉濃度を７０
   〜７００ｇ／リットルとしたことを特徴とする請求項１に記
   載のリードフレーム材の研磨方法。
5. 【請求項５】 前記砥粒の平均粒径の上限がリード間隔
   の１／３であり、前記アルミナ粒子の下限が８μｍであ
   り、前記ガラス玉の下限が１０μｍであることを特徴と
   する請求項４に記載のリードフレーム材の研磨方法。
6. 【請求項６】 前記アルミナ粒子の平均粒径が８〜２０
   μｍであり、前記ガラス玉の平均粒径が１０〜２０μｍ
   であることを特徴とする請求項２又は４に記載のリード
   フレーム材の研磨方法。
7. 【請求項７】 前記リードフレーム材に前記混合流体を
   吹き当てるのにノズルを用い、該リードフレーム材と該
   ノズルとの間隔，該ノズルより吐出される該混合流体の
   吐出圧或いは該混合流体を構成するための砥粒スラリー
   の圧力と空気の圧力，該ノズルより吐出される該混合流
   体の吐出量，及び該リードフレーム材の送り速度を、予
   め求めた所定の値で行うようにしたことを特徴とする請
   求項１乃至６の何れかに記載のリードフレーム材の研磨
   方法。