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JPH09280211A - 流体圧シリンダ装置 - Google Patents

流体圧シリンダ装置

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Publication number
JPH09280211A
JPH09280211A JP8093786A JP9378696A JPH09280211A JP H09280211 A JPH09280211 A JP H09280211A JP 8093786 A JP8093786 A JP 8093786A JP 9378696 A JP9378696 A JP 9378696A JP H09280211 A JPH09280211 A JP H09280211A
Authority
JP
Japan
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piston
chamber
spring
housing
pressure
Prior art date
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Application number
JP8093786A
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English (en)
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JP3667870B2 (ja
Inventor
Keitaro Yonezawa
慶多朗 米澤
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Kosmek KK
Original Assignee
Kosmek KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Kosmek KK filed Critical Kosmek KK
Priority to JP09378696A priority Critical patent/JP3667870B2/ja
Priority to TW086221041U priority patent/TW342895U/zh
Priority to KR1019970012176A priority patent/KR100488442B1/ko
Priority to DE69725375T priority patent/DE69725375T2/de
Priority to EP97201025A priority patent/EP0802330B1/en
Priority to US08/840,810 priority patent/US5876025A/en
Publication of JPH09280211A publication Critical patent/JPH09280211A/ja
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    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
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    • F15B15/14Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F15B15/1423Component parts; Constructional details
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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    • B25B5/06Arrangements for positively actuating jaws
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B25B5/06Arrangements for positively actuating jaws
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    • B25B5/062Arrangements for positively actuating jaws with fluid drive with clamping means pivoting around an axis parallel to the pressing direction
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F15B2211/705Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor characterised by the type of output members or actuators
    • F15B2211/7051Linear output members

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 雰囲気中の水溶性切削油や水分等の液体がシ
リンダ孔内に侵入するのを防止して、流体圧シリンダ装
置を長期間にわたってメンテナンスフリーにする。 【解決手段】 ハウジング7のシリンダ孔9にピストン
11を保密状に挿入する。そのピストン11の上側に形
成したバネ室17を呼吸路41によって上記ハウジング
7の外側空間へ連通させ、同上ピストン11の下側に形
成した作動室18に対して圧力流体を供給・排出可能に
構成する。上記バネ室17内に装着したクランプ用バネ
21によって上記ピストン11を介してクランプ部材4
をクランプ位置Xへ付勢する。上記の呼吸路41に逆止
弁座45と逆止弁室とを順に設けて、その逆止弁室に挿
入した逆止部材47を逆止バネによって上記の逆止弁座
45に閉止接当させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、呼吸路を設けた
流体圧シリンダ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、流体圧シリンダ装置は、ハウジ
ングのシリンダ孔にピストンを挿入して、そのピストン
の一端側に形成した第1室を呼吸路によってハウジング
の外側空間へ連通し、上記ピストンの他端側に形成した
第2室に対して圧力流体を供給・排出させるようになっ
ている。
【0003】そして、上記の第2室へ圧力流体を供給す
ると、ピストンが第1室を収縮させて同上の第1室の内
圧を上昇させるので、その第1室の空気が呼吸路を通っ
てハウジングの外部へ流出される。これとは逆に、上記
の第2室から圧力流体を排出すると、バネの付勢力によ
って上記ピストンが第1室を膨張させるので、その第1
室の内圧が大気圧力よりも低下し、ハウジング外の雰囲
気が上記の呼吸路を通って第1室へ流入する。
【0004】従来では、上記の呼吸路の途中部に金網製
のフィルタや焼結金属製のフィルタを装着していた。こ
れにより、ハウジング外の雰囲気が呼吸路を通るとき
に、その雰囲気中の塵埃や切り粉等の異物が上記フィル
タによって捕捉され、その異物がハウジング内へ侵入す
ることを阻止できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記フィル
タは、塵埃や切り粉等の固体状の異物を捕捉できるが、
液体や気体を捕捉できない。このため、腐食性の液体や
気体を含む雰囲気中で流体圧シリンダ装置を使用すると
次の問題が生じる。例えば、水溶性切削油を使用するN
C旋盤のワーク用クランプ手段に上記の流体圧シリンダ
装置を利用した場合には、そのシリンダ装置の周囲に多
量の水溶性切削油が飛散されるうえ、雰囲気中にも霧状
の水滴が多量に含まれる。
【0006】上記の水溶性切削油や霧状の水滴は、ハウ
ジング外の雰囲気が呼吸孔を通ってハウジング内へ流入
するときに、上記フィルタを容易に通過してハウジング
内へ侵入する。その侵入した水溶性切削油や水滴は、ハ
ウジング内で劣化・変質してシリンダ孔の摺動面やピス
トンの摺動面を腐食させるので、ピストンがスムーズに
摺動できなくなる。その結果、流体圧シリンダ装置が短
期間で使用できなくなる。本発明の目的は、腐食性の液
体や気体を含む雰囲気下でも流体圧シリンダ装置を長期
間にわたって良好に使用できるようにすることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項1の発明は、例えば、図1から図5、又は図
6に示すように、流体圧シリンダ装置を次のように構成
した。即ち、ハウジング7のシリンダ孔9にピストン1
1を挿入して、そのピストン11の一端側に形成した第
1室17を呼吸路41によって上記ハウジング7の外側
空間へ連通させ、同上ピストン11の他端側に形成した
第2室18に対して圧力流体を供給・排出可能に構成
し、上記ピストン11を上記の他端側へ付勢するバネ2
1を設け、上記の呼吸路41に逆止弁座45を設け、上
記ハウジング7の外側から上記の逆止弁座45に弾性的
に閉止接当される逆止部材47を設けた。
【0008】なお、上記の逆止部材47を逆止弁座45
に弾性的に接当させる手段としては、逆止部材47をバ
ネやゴム等の弾性体によって付勢する場合と、その逆止
部材47を弾性体によって構成してそれ自体の弾性力を
利用する場合とが考えられる。
【0009】請求項2の発明は、例えば、同上の図1か
ら図5に示すように、上記の請求項1の構成に次の構成
を加えたものである。即ち、前記ピストン11にクラン
プ部材4を連結し、前記の第1室17内に装着した前記
バネ21の付勢力によって上記のクランプ部材4をクラ
ンプ位置Xへ移動させるのに対して、前記の第2室18
へ供給した圧力流体によって上記ピストン11を介して
同上クランプ部材4をアンクランプ位置Yへ移動させる
ように構成した。
【0010】請求項3の発明は、例えば図6に示すよう
に、前記の請求項1の構成に次の構成を加えたものであ
る。即ち、前記ピストン11にクランプ部材4を連結
し、前記の第2室18へ供給した圧力流体によって上記
ピストン11を介して上記クランプ部材4をクランプ位
置Xへ移動させるのに対して、前記の第1室17内に装
着した前記バネ21の付勢力によって同上クランプ部材
4をアンクランプ位置へ移動させるように構成した。
【0011】
【作用効果】請求項1の発明は、例えば、図1から図
5、又は図6に示すように、次の作用効果を奏する。第
2室18へ圧力流体を供給すると、ピストン11が第1
室17を収縮させてその内圧を上昇させるので、その第
1室17内の空気等の流体が逆止部材47を押し開いて
ハウジング7の外部へ流出される。これとは逆に、上記
の第2室18から圧力流体を排出すると、バネ21の付
勢力によって上記の第1室17が膨張されるので、同上
の第1室17の内圧が低下していく。すると、上記の逆
止部材47が上記ハウジング7の内外の差圧力と閉弁用
の弾性力(ここでは図5中の逆止バネ48の付勢力)との
合力によって逆止弁座45に閉止接当された状態に保た
れるので、ハウジング7の外部の雰囲気が第1室17内
へ侵入することを阻止できる。
【0012】このため、上記ハウジング7の周囲に多量
の水溶性切削油が飛散されたり雰囲気中に霧状の水滴が
多量に含まれている場合であっても、これら水溶性切削
油や霧状の水滴が上記の第1室17内へ侵入しない。こ
れと同様に、雰囲気中に腐食性の気体が存在する場合で
あっても、その腐食性の気体が第1室17へ侵入するの
を上記の逆止部材47によって阻止できる。従って、シ
リンダ孔9の摺動面やピストン11の摺動面を長期間に
わたって良好な状態に保つことができ、流体圧シリンダ
装置を長期間にわたってメンテナンスフリーで使用でき
る。
【0013】本発明は、上記の逆止部材47の作動によ
って、さらに次の効果を奏する。上記シリンダ装置を長
期間にわたって使用すると、ピストン11のシール部材
24の摩耗や膨潤などによって、前記の第2室18へ供
給された圧力流体が第1室17へリークしていく。しか
し、そのリークした圧力流体は、第1室17が収縮操作
された時に逆止部材47を押し開いてハウジング7の外
部へ排出されるので、上記の第1室17内に貯溜されな
い。このため、その第1室17が異常に圧力上昇するの
を防止して、シリンダ装置を長期間にわたって良好に駆
動できる。
【0014】なお、第2室18へ供給される圧力流体が
圧油等の液体である場合には、さらに次の作用効果を奏
する。即ち、その第2室18から第1室17へリークし
た液体を逆止部材47から自動的に排出できるので、第
1室17内に液体が充満されるのを防止できる。その結
果、そのリークした液体によってシリンダ装置がロック
されてしまうのを防止できる。
【0015】請求項2又は請求項3の発明は、例えば、
同上の図1から図5、又は図6に示すように、次の作用
効果を奏する。ハウジング7の外部の腐食性の液体や気
体が第1室17内へ侵入することを逆止部材47によっ
て阻止できるので、その第1室17内に装着したバネ2
1が腐食されるのを防止できる。このため、そのバネ2
1によってピストン11を長期間にわたって強力かつ確
実に駆動できる。
【0016】なお、上記シリンダ装置の組み立て時に第
1室17の壁面やバネ21に潤滑油を塗布した場合にお
いて、上述したように、ハウジング7の外部の液体が第
1室17内へ侵入するのを阻止できるので、その侵入し
た液体によって塗布した潤滑油が劣化されることを防止
でき、また、その侵入した液体によって上記の潤滑油が
外部へ連れ出されるのを防止できる。このため、上記の
潤滑油によってシリンダ装置をスムーズに駆動すること
と、長期間のメンテナンスフリーを実現することとを両
立できる。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明の第1実施形態を図1から
図5に基づいて説明する。この第1実施形態は、本発明
に係るシリンダ装置を利用したバネ式クランプ装置を示
している。まず、図1と図4及び図5によって上記クラ
ンプ装置の構成を説明する。図1は、クランプ状態の縦
断面図である。図4は平面図である。図5は、上記の図
1中の矢印V部分の詳細図である。
【0018】テーブル1の上面に載置したワークピース
2がクランプ装置3のクランプ部材4によって固定され
る。そのクランプ部材4は、上下方向へ延びるロッド5
と、その上部に固定したアーム6とによって構成され
る。そのアーム6の先端部分に押ボルト6aが高さ調節
可能に固定される。なお、上記クランプ装置3のハウジ
ング7は、4本のボルト8によって上記テーブル1に固
定されている。
【0019】上記ハウジング7内に、大径の第1シリン
ダ孔9と小径の第2シリンダ孔(別のシリンダ孔)10と
がほぼ同軸上で上下方向に所定の間隔をあけて設けられ
る。上記の第1シリンダ孔9に環状の第1ピストン11
が保密状に挿入される。その第1ピストン11の筒孔1
1aに上記ロッド5の下部分が旋回自在で保密状に挿入
される。なお、上記ロッド5の伝動フランジ14と上記
の第1ピストン11の下面との間にスラストベアリング
15が装着されている。符号24・25は、それぞれ、
Oリング(封止部材)である。
【0020】上記ハウジング7の上壁7aと上記の第1
ピストン11との間にクランプ用バネ室(第1室)17が
形成されると共に、その第1ピストン11の下側に作動
室(第2室)18が形成される。上記のバネ室17に装着
した第1バネ(クランプ用バネ)21によって上記の第1
ピストン11が下向きに付勢され、その第1ピストン1
1の所定量以上の移動がリング19によって受け止めら
れる。
【0021】同上ハウジング7の下部に、上記の作動室
18に対して旋回操作室26が直列連通状に形成され、
その旋回操作室26に旋回操作手段27が配置される。
その旋回操作手段27は次のように構成される。
【0022】上記の旋回操作室26の中央下部に前記の
第2シリンダ孔10が形成され、その第2シリンダ孔1
0に第2ピストン12が保密状に挿入され、その第2ピ
ストン12から上向きに突設した嵌合フランジ29が上
記の旋回操作室26に嵌入される。そして、前記の第1
ピストン11の環状の受圧面積と上記ロッド5の受圧面
積との合計面積が上記の第2ピストン12の受圧面積よ
りも大きい値に設定されている。
【0023】上記の嵌合フランジ29と上記の第1ピス
トン11との間に形成されている前記の作動室18が、
絞り孔38と上記の旋回操作室26とを通って圧油の給
排口40へ連通される。上記の嵌合フランジ29を第2
バネ22によって上向きに付勢することによって、上記
の第2ピストン12が前記ロッド5へ向けて付勢され
る。
【0024】また、上記の嵌合フランジ29の外周部に
設けたボール30がハウジング7の溝31に嵌入され
る。これらボール30と溝31とによって第2ピストン
12の旋回阻止機構32が構成されている。さらに、上
記の第2ピストン12の上下方向の直進運動を前記ロッ
ド5の旋回運動へ変換するための変換機構33が設けら
れる。その変換機構33は、上記の第2ピストン12か
ら上向きに突設されたシャフト34と、そのシャフト3
4に形成した一対のガイド溝35・35と、各ガイド溝
35に嵌入されると共に前記ロッド5に支持された別の
ボール36とによって構成される。上記シャフト34が
上記ロッド5の下部に挿入されている。また、上記ガイ
ド溝35は、直線部分35aと螺旋部分35bとを備え
ている(図2参照)。
【0025】前記クランプ用バネ室17が第1の呼吸路
41によってハウジング7の外部空間へ連通され、前記
の第2シリンダ孔10の下部空間が第2の呼吸路42に
よってハウジング7の外部空間へ連通される。上記の第
1の呼吸路41に逆止弁43が装着される。主として図
5に示すように、上記の逆止弁43は、直列に配置した
逆止弁座45及び逆止弁室46と、その逆止弁室46に
挿入されたボール状の逆止部材47と、その逆止部材4
7を上記の逆止弁座45に閉止接当させる逆止バネ48
とによって構成される。
【0026】上記の逆止弁室46は、ハウジング7に圧
入固定したスリーブ50の内部空間によって構成されて
いる。そのスリーブ50は、圧入固定されるものに代え
てネジ止め固定されるものであってもよい。なお、上記
スリーブ50を省略して、逆止弁室46をハウジング7
に直接に形成してもよい。上記ボール状の逆止部材47
の材質としては、鋼・ゴム・プラスチック等が考えられ
る。また、その逆止部材47は、ボール形のものに代え
て円板形や円錐形であってもよい。
【0027】さらに、上記の逆止弁43は、リード式の
逆止弁であってもよい。この場合、逆止部材は自己の弾
性力によって逆止弁座に閉止接当される。その逆止弁座
は、ハウジング7の外周面に形成してもよい。なお、上
述した各種の逆止弁を前記の第2の呼吸路42にも設け
てもよい。
【0028】次に、上記クランプ装置の作動を、上記の
図1と図2及び図3によって説明する。図2はアンクラ
ンプ状態を示し、図3は退避状態を示している。なお、
上記の図1から図3において、符号Aは全ストロークを
示し、符号Bはクランプストロークを示し、符号Cは余
裕ストロークを示し、符号Sは旋回ストロークを示して
いる。
【0029】図1のクランプ状態では、作動室18内の
圧油が絞り孔38と旋回操作室26と給排口40とを通
って外部へ排出されている。これにより、第1バネ21
が前記の第1ピストン11を下向きに弾圧し、その第1
ピストン11が前記スラストベアリング15と伝動フラ
ンジ14と介して前記ロッド5を下向きに押圧する。そ
の結果、クランプ部材4がクランプ位置Xへ切換えら
れ、上記ロッド5の上部に固定した前記アーム6が押ボ
ルト6aを介してワークピース2をテーブル1に押圧す
る。
【0030】上記の図1のクランプ状態から図2のアン
クランプ状態を経て図3の退避状態へ切換えるときに
は、まず、同上の図1のクランプ状態において、前記の
給排口40へ中圧(この実施形態では、14kgf/cm2から28
kgf/cm2程度の圧力)の圧油を供給する。
【0031】すると、図2のアンクランプ状態に示すよ
うに、上記の圧油が給排口40から絞り孔38を通って
作動室18へ供給され、その油圧力が前記ロッド5と第
1ピストン11とに作用する。すると、そのロッド5の
受圧面積に作用する油圧力が伝動フランジ14とスラス
トベアリング15とを順に介して第1ピストン11を上
向きに押し上げると共に、その第1ピストン11の環状
の受圧面積に作用する油圧力が同上の第1ピストン11
を上向きに押し上げる。これにより、上記ロッド5が、
ガイド溝35の直線部分35aとボール36との係合に
従って第1バネ21に抗して上昇され、上記クランプ部
材4がアンクランプ位置Yへ切換えられる。
【0032】なお、上記の第1ピストン11の上昇時
に、クランプ用バネ室17内の圧力が高まると、作動室
18から封止用Oリング24・25を通ってバネ室17
内へリークした圧油や上記バネ室17内の空気が逆止部
材47を押し開いてハウジング7の外部へ流出される。
【0033】次いで、上記の給排口40へ高圧(この実
施形態では、42kgf/cm2から70kgf/cm2程度の圧力)の圧油
を供給する。その高圧油が前記の作動室18へ供給され
ることにより、図3に示すように、前記の第2ピストン
12が前記の第2バネ22に抗して旋回ストロークSだ
け真っすぐに下降される。すると、旋回阻止機構32に
よって旋回が阻止されたシャフト34に対して、前記ロ
ッド5が、前記ガイド溝35の螺旋部分35bとボール
36との係合に従って旋回され、クランプ部材4が退避
位置Zへ切換えられる。
【0034】上記の図3の退避状態から図2のアンクラ
ンプ状態を経て図1のクランプ状態へ切換えるときに
は、まず、図3の退避状態において、作動室18内を高
圧状態(42kgf/cm2から70kgf/cm2程度の圧力)から中圧状
態(14kgf/cm2から28kgf/cm2程度の圧力)へ低下させる。
すると、図2のアンクランプ状態に示すように、前記の
第2ピストン12が前記の第2バネ22によって旋回ス
トロークS(図3参照)だけ上昇される。すると、前記クラ
ンプ部材4が、前記ガイド溝35の螺旋部分35bとボ
ール36と係合に従って旋回されて、図2のアンクラン
プ位置Yへ切換えられる。
【0035】次いで、上記の給排口40から圧油を排出
して、同上の作動室18内を無圧状態へ切換える。する
と、図1に示すように、第1バネ21が前記の第1ピス
トン11と前記スラストベアリング15と伝動フランジ
14とを順に介して前記クランプ部材4を下向きに押圧
し、そのクランプ部材4がクランプ位置Xへ切換えられ
る。
【0036】上記の第1ピストン11の下降時には、ク
ランプ用バネ室17の圧力が大気圧力よりも低下する
が、前記の逆止部材47が逆止弁座45に閉止接当した
状態に保たれるので、ハウジング7の外側空間の水分や
切削油等の液体・空気等の気体・塵埃等の固体がクラン
プ用バネ室17へ侵入しない。このため、前記シリンダ
孔9の腐食を防止して第1ピストン11を長期間にわた
って円滑に駆動できる。
【0037】なお、上記ピストン11の下降工程では、
逆止部材47が閉状態に保たれるため、第1室17内が
負圧になり、その負圧力が上記ピストン11を上昇させ
ようとする。しかし、バネ21の付勢力と比べと上記の
負圧力は極めて小さいので、そのバネ21によって上記
ピストン11が強力に下降駆動される。ちなみに、上記
バネ21の付勢力を400kgfに設定するとともに上記ピス
トン11の受圧面積が12cm2である場合において、仮に
上記の第1室17内が真空(−1kgf/cm2)になっても、
ピストン11に作用する負圧力は、12kgfであって、上
記バネ21の付勢力の3%に過ぎない。従って、上記ピ
ストン11を円滑に下降駆動できるのである。
【0038】上記の第1実施形態は次のように変更可能
である。前記の旋回操作手段27は、上述のピストン作
動式のものに代えて、流体圧モータを利用したり、ソレ
ノイドや電動機等の電動式アクチュエータを利用するも
のであってもよい。
【0039】図6は、第2実施形態を示し、前記の図1
に相当する図である。この図6のクランプ装置3は、バ
ネ復帰式に構成されている点が上記の図1とは異なる
が、その図1と同じ機能の部材に同一の符号を付けて説
明する。
【0040】シリンダ孔9にピストン11がOリング
(封止部材)24によって保密状に挿入され、そのピスト
ン11の上側にクランプ用作動室(第2室)18が形成さ
れるとともに、同上ピストン11の下側にバネ室(第1
室)17が形成される。上記バネ室17に復帰用バネ2
1が装着される。上記バネ室17の呼吸路41に、前記
の第1実施形態と同様の逆止弁43が装着される。
【0041】圧油の給排口40から上記の作動室18へ
圧油を供給すると、上記バネ21に抗してピストン11
が下降駆動され、そのピストン11に固設したクランプ
部材4がクランプ位置Xへ移動され、押ボルト6aがワ
ークピース2をテーブル1に押圧する。上記ピストン1
1の下降によってバネ室17の内圧が上昇するので、作
動室18から封止用Oリング24を通ってバネ室17内
へリークした圧油や上記バネ室17内の空気が逆止部材
47を押し開いてハウジング7の外部へ流出される。
【0042】これとは逆に、上記の作動室18から圧油
を排出すると、上記バネ21の付勢力によってピストン
11が上昇駆動される。この場合、上記の逆止部材47
が閉じられるためバネ室17が負圧になるが、ピストン
11に作用する負圧力よりも上記バネ21の付勢力を強
力な値に設定することにより、そのピストン11によっ
てクランプ部材4を上側のアンクランプ位置へスムーズ
に駆動できる。
【0043】なお、前記の各実施形態において、前記の
作動室18へ供給される流体は、圧油に代えて、他の種
類の液体や空気等の気体であってもよい。
【0044】また、前記の逆止弁43の逆止バネ48の
付勢力を前記の各実施形態の場合よりも少し強い値に設
定して、前記バネ室(第1室)17内に空気等のガスを所
定の圧力(例えば、1kgf/cm2から数kgf/cm2程度の圧力)
で常時封入するように構成してもよい。この場合、上記
バネ室17内が負圧になるのを阻止できるので、その負
圧力によってバネ21の付勢力が相殺されず、ピストン
11を強力に駆動できるうえ、上記バネ室17に雰囲気
中の異物が侵入するのを確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態を示し、流体圧シリンダ
装置を利用したクランプ装置のクランプ状態の縦断面図
である。
【図2】上記のクランプ装置のアンクランプ状態を示
し、上記の図1に相当する図である。
【図3】同上のクランプ装置の退避状態を示し、同上の
図1に相当する図である。
【図4】上記の図1のクランプ装置の平面図である。
【図5】上記の図1中の矢印V部分の詳細図である。
【図6】本発明の第2実施形態を示し、前記の図1に相
当する図である。
【符号の説明】
4…クランプ部材、7…ハウジング、9…シリンダ孔
(第1シリンダ孔)、11…ピストン(第1ピストン)、1
7…第1室(クランプ用バネ室)、18…第2室(作動
室)、21…バネ(第1バネ)、41…呼吸路(第1の呼吸
路)、45…逆止弁座、47…逆止部材、X…クランプ
位置。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ハウジング(7)のシリンダ孔(9)にピス
    トン(11)を挿入して、そのピストン(11)の一端側に
    形成した第1室(17)を呼吸路(41)によって上記ハウ
    ジング(7)の外側空間へ連通させ、同上ピストン(11)
    の他端側に形成した第2室(18)に対して圧力流体を供
    給・排出可能に構成し、上記ピストン(11)を上記の他
    端側へ付勢するバネ(21)を設け、上記の呼吸路(41)
    に逆止弁座(45)を設け、上記ハウジング(7)の外側か
    ら上記の逆止弁座(45)に弾性的に閉止接当される逆止
    部材(47)を設けて構成した、ことを特徴とする流体圧
    シリンダ装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載した流体圧シリンダ装置
    において、 前記ピストン(11)にクランプ部材(4)を連結し、前記
    の第1室(17)内に装着した前記バネ(21)の付勢力に
    よって上記のクランプ部材(4)をクランプ位置(X)へ移
    動させるのに対して、前記の第2室(18)へ供給した圧
    力流体によって上記ピストン(11)を介して同上クラン
    プ部材(4)をアンクランプ位置(Y)へ移動させるように
    構成した、ことを特徴とする流体圧シリンダ装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載した流体圧シリンダ装置
    において、 前記ピストン(11)にクランプ部材(4)を連結し、前記
    の第2室(18)へ供給した圧力流体によって上記ピスト
    ン(11)を介して上記クランプ部材(4)をクランプ位置
    (X)へ移動させるのに対して、前記の第1室(17)内に
    装着した前記バネ(21)の付勢力によって同上クランプ
    部材(4)をアンクランプ位置へ移動させるように構成し
    た、ことを特徴とする流体圧シリンダ装置。
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