JPH09159559A - 不揮発性メモリ搭載型圧力センサ - Google Patents
不揮発性メモリ搭載型圧力センサInfo
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- JPH09159559A JPH09159559A JP31503895A JP31503895A JPH09159559A JP H09159559 A JPH09159559 A JP H09159559A JP 31503895 A JP31503895 A JP 31503895A JP 31503895 A JP31503895 A JP 31503895A JP H09159559 A JPH09159559 A JP H09159559A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧力センサを活用する計測器との一体セット
補正調整の為の検査設備を不要にする。 【解決手段】 非通電になっても個々の特性が不揮発性
メモリ３に記憶された圧力センサである為、圧力センサ
を活用する計測器などの制御装置に予め圧力・電気出力
特性の理想特性に合わせ込む自動補正機能を組み込んで
おけば、圧力センサと組み合わせるだけで不揮発性メモ
リに記憶されたデータを読み出すことにより圧力・電気
出力特性の精度の高い計測器などの制御装置が出来る。
補正調整の為の検査設備を不要にする。 【解決手段】 非通電になっても個々の特性が不揮発性
メモリ３に記憶された圧力センサである為、圧力センサ
を活用する計測器などの制御装置に予め圧力・電気出力
特性の理想特性に合わせ込む自動補正機能を組み込んで
おけば、圧力センサと組み合わせるだけで不揮発性メモ
リに記憶されたデータを読み出すことにより圧力・電気
出力特性の精度の高い計測器などの制御装置が出来る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気やガスなどの
圧力を検出する圧力センサの構成に関し、特に圧力セン
サ自体の個々のデータを記憶させる機能を具備した不揮
発性メモリ搭載型の圧力センサに関するものである。
圧力を検出する圧力センサの構成に関し、特に圧力セン
サ自体の個々のデータを記憶させる機能を具備した不揮
発性メモリ搭載型の圧力センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、空気やガスなどの圧力を検出する
圧力センサは、図４に示すように歪み抵抗素子１ａ，１
ｂ，１ｃ，１ｄなどをブリッジ構成にした圧力感知部１
と増幅回路２からなり、受圧口６を有するケース７に内
蔵されており、増幅回路２は圧力感知部１の信号入力端
子２ａおよび２ｂと、電源端子２ｃおよびＧＮＤ端子２
ｄと出力端子２ｅとからなり、外部接続用の電源端子５
ａ，出力端子５ｂ，ＧＮＤ端子５ｄを設けて圧力を電気
信号に変換して出力電圧（例えばアナログ電圧出力）と
して出力するように構成されている。
圧力センサは、図４に示すように歪み抵抗素子１ａ，１
ｂ，１ｃ，１ｄなどをブリッジ構成にした圧力感知部１
と増幅回路２からなり、受圧口６を有するケース７に内
蔵されており、増幅回路２は圧力感知部１の信号入力端
子２ａおよび２ｂと、電源端子２ｃおよびＧＮＤ端子２
ｄと出力端子２ｅとからなり、外部接続用の電源端子５
ａ，出力端子５ｂ，ＧＮＤ端子５ｄを設けて圧力を電気
信号に変換して出力電圧（例えばアナログ電圧出力）と
して出力するように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、圧力感知部１と増幅回路２の各々の部品特
性のバラツキにより圧力・電気出力特性（例えばアナロ
グ電圧出力）の関係において、図５の圧力・出力電圧特
性図に示すように、ａやｂやｃのように出力電圧特性
（傾斜特性）のバラツキ幅が大きくなったり、又図６に
示すように温度・出力電圧特性がｄやｅやｆなど直線性
が得られないほど、圧力センサとしての特性が部品毎に
異なる為に、圧力センサを活用する計測器などの制御装
置としての圧力精度が目的を達することが出来ないこと
がある。その為に圧力センサ自体ではその圧力・電気出
力特性および温度・出力電圧特性を得るためには、バラ
ツキ幅の少ないものおよび直線性のよいものだけを使用
するなどをして圧力センサを選別して使用しており、圧
力センサの生産歩留まりが悪く圧力センサ自体が高価に
なる。又、計測器などの制御装置でその特性を得る為
に、圧力センサにその都度通電して圧力・出力電圧特性
との関連から一体セットで特性補正調整をするなどの対
応をして使用することが必要となり、非常に高価な補正
調整用の検査生産設備が必要になるという課題があっ
た。
の構成では、圧力感知部１と増幅回路２の各々の部品特
性のバラツキにより圧力・電気出力特性（例えばアナロ
グ電圧出力）の関係において、図５の圧力・出力電圧特
性図に示すように、ａやｂやｃのように出力電圧特性
（傾斜特性）のバラツキ幅が大きくなったり、又図６に
示すように温度・出力電圧特性がｄやｅやｆなど直線性
が得られないほど、圧力センサとしての特性が部品毎に
異なる為に、圧力センサを活用する計測器などの制御装
置としての圧力精度が目的を達することが出来ないこと
がある。その為に圧力センサ自体ではその圧力・電気出
力特性および温度・出力電圧特性を得るためには、バラ
ツキ幅の少ないものおよび直線性のよいものだけを使用
するなどをして圧力センサを選別して使用しており、圧
力センサの生産歩留まりが悪く圧力センサ自体が高価に
なる。又、計測器などの制御装置でその特性を得る為
に、圧力センサにその都度通電して圧力・出力電圧特性
との関連から一体セットで特性補正調整をするなどの対
応をして使用することが必要となり、非常に高価な補正
調整用の検査生産設備が必要になるという課題があっ
た。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するもので、空気やガスなどの圧力を検出する圧力セン
サ自体の個々のデータすなわち圧力・電気出力特性（例
えばアナログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を予
め電気信号として記憶させるとともに、その記憶したデ
ータを読み出しできるようにしたものである。この本発
明によれば、圧力センサ自体の生産歩留まり向上と圧力
センサを活用する計測器などの制御装置との一体セット
補正調整の為の検査設備を不要にすることができる。
するもので、空気やガスなどの圧力を検出する圧力セン
サ自体の個々のデータすなわち圧力・電気出力特性（例
えばアナログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を予
め電気信号として記憶させるとともに、その記憶したデ
ータを読み出しできるようにしたものである。この本発
明によれば、圧力センサ自体の生産歩留まり向上と圧力
センサを活用する計測器などの制御装置との一体セット
補正調整の為の検査設備を不要にすることができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の第１手段は、空気やガス
などの圧力を検出する歪み抵抗素子などの圧力感知部と
増幅回路とからなる圧力センサに於いて、増幅回路で得
られた圧力・電気出力特性（例えばアナログ電圧出力）
および温度・出力電圧特性を予め電気信号として不揮発
性メモリ（ＰＲＯＭ）に記憶させ、その記憶したデータ
を読み出し出来るようにしたものである。
などの圧力を検出する歪み抵抗素子などの圧力感知部と
増幅回路とからなる圧力センサに於いて、増幅回路で得
られた圧力・電気出力特性（例えばアナログ電圧出力）
および温度・出力電圧特性を予め電気信号として不揮発
性メモリ（ＰＲＯＭ）に記憶させ、その記憶したデータ
を読み出し出来るようにしたものである。
【０００６】また、本発明の第２手段は、増幅回路で得
られた圧力・電気出力特性（例えばアナログ電圧出力）
および温度・出力電圧特性を予め電気信号として電気的
に記憶データの書き込み及び読み出しを出来るようにす
るとともに記憶データを紫外線消去可能なＥＰＲＯＭと
したものである。
られた圧力・電気出力特性（例えばアナログ電圧出力）
および温度・出力電圧特性を予め電気信号として電気的
に記憶データの書き込み及び読み出しを出来るようにす
るとともに記憶データを紫外線消去可能なＥＰＲＯＭと
したものである。
【０００７】また、本発明の第３手段は、増幅回路で得
られた圧力・電気出力特性（例えばアナログ電圧出力）
および温度・出力電圧特性を予め電気信号として電気的
に記憶データの書き込み及び読み出しを出来るようにす
るとともに記憶データを電気的に消去自在可能なＥ2 Ｐ
ＲＯＭとしたものである。
られた圧力・電気出力特性（例えばアナログ電圧出力）
および温度・出力電圧特性を予め電気信号として電気的
に記憶データの書き込み及び読み出しを出来るようにす
るとともに記憶データを電気的に消去自在可能なＥ2 Ｐ
ＲＯＭとしたものである。
【０００８】本発明は上記した第１手段によれば、各々
の部品特性のバラツキによる圧力・電気出力特性（例え
ばアナログ電圧出力）および温度・出力電圧特性におい
て、非通電になっても個々の特性が不揮発性メモリ（Ｐ
ＲＯＭ）に記憶された圧力センサである為、圧力センサ
を活用する計測器などの制御装置に予め圧力・電気出力
特性の理想特性に合わせ込む自動補正機能を組み込んで
おけば、圧力センサと組み合わせるだけで不揮発性メモ
リ（ＰＲＯＭ）に記憶されたデータを読み出すことによ
り圧力・電気出力特性の精度の高い計測器などの制御装
置が出来る。
の部品特性のバラツキによる圧力・電気出力特性（例え
ばアナログ電圧出力）および温度・出力電圧特性におい
て、非通電になっても個々の特性が不揮発性メモリ（Ｐ
ＲＯＭ）に記憶された圧力センサである為、圧力センサ
を活用する計測器などの制御装置に予め圧力・電気出力
特性の理想特性に合わせ込む自動補正機能を組み込んで
おけば、圧力センサと組み合わせるだけで不揮発性メモ
リ（ＰＲＯＭ）に記憶されたデータを読み出すことによ
り圧力・電気出力特性の精度の高い計測器などの制御装
置が出来る。
【０００９】従って、圧力センサ自体の個々の部品バラ
ツキによる特性バラツキ幅を特別に管理する必要がなく
なり、圧力センサ自体の生産歩留まり向上が出来るとと
もに、又圧力センサを活用する計測器などの制御装置で
その圧力精度特性を得る為に、圧力センサにその都度通
電して圧力・出力電圧特性との関連から計測器などの制
御装置との一体セット補正調整用の検査設備が不要とな
り、セットとして安価に出来るようになる。
ツキによる特性バラツキ幅を特別に管理する必要がなく
なり、圧力センサ自体の生産歩留まり向上が出来るとと
もに、又圧力センサを活用する計測器などの制御装置で
その圧力精度特性を得る為に、圧力センサにその都度通
電して圧力・出力電圧特性との関連から計測器などの制
御装置との一体セット補正調整用の検査設備が不要とな
り、セットとして安価に出来るようになる。
【００１０】しかし、第２手段を考えるに際して、第１
手段の不揮発性メモリ（ＰＲＯＭ）の場合は、圧力・電
気出力特性（例えばアナログ電圧出力）および温度・出
力電圧特性を予め電気信号の記憶データとして、圧力・
出力電圧特性の検査設備で得られた特性データを別途マ
スク書き込みあるいは通電書き込みされておく必要があ
り、また、読み出し専用となっている為に圧力センサ自
体と不揮発性メモリ（ＰＲＯＭ）に記憶させるデータが
一対である必要があり、やや高価になる不便があった。
手段の不揮発性メモリ（ＰＲＯＭ）の場合は、圧力・電
気出力特性（例えばアナログ電圧出力）および温度・出
力電圧特性を予め電気信号の記憶データとして、圧力・
出力電圧特性の検査設備で得られた特性データを別途マ
スク書き込みあるいは通電書き込みされておく必要があ
り、また、読み出し専用となっている為に圧力センサ自
体と不揮発性メモリ（ＰＲＯＭ）に記憶させるデータが
一対である必要があり、やや高価になる不便があった。
【００１１】そこで、第２手段の不揮発性メモリ（ＥＰ
ＲＯＭ）によれば、圧力・電気出力特性（例えばアナロ
グ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧力センサ
個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を印加した
状態で不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）の制御端子に制御
信号を入れるだけで、その都度電気的に書き込みが出来
るので、非通電になっても圧力センサ自体の個々の特性
が不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）に記憶された圧力セン
サである為、圧力センサを活用する計測器などの制御装
置に予め圧力・電気出力特性の理想特性に合わせ込む自
動補正機能を組み込んでおけば、圧力センサと組み合わ
せるだけで不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）に記憶された
データを読み出すことにより圧力・電気出力特性の精度
の高い計測器などの制御装置が出来る。
ＲＯＭ）によれば、圧力・電気出力特性（例えばアナロ
グ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧力センサ
個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を印加した
状態で不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）の制御端子に制御
信号を入れるだけで、その都度電気的に書き込みが出来
るので、非通電になっても圧力センサ自体の個々の特性
が不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）に記憶された圧力セン
サである為、圧力センサを活用する計測器などの制御装
置に予め圧力・電気出力特性の理想特性に合わせ込む自
動補正機能を組み込んでおけば、圧力センサと組み合わ
せるだけで不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）に記憶された
データを読み出すことにより圧力・電気出力特性の精度
の高い計測器などの制御装置が出来る。
【００１２】しかし、第３手段を考えるに当たり、記憶
データの消去が紫外線消去タイプである為、データ書き
込み時の失敗時にはその都度紫外線照射によるデータ消
去が必要であり、大変不便となる為、記憶データの書き
込みの為に圧力・出力電圧特性の検査設備で得られた特
性データを別途通電書き込みするなどの生産設備に工夫
が必要となる。
データの消去が紫外線消去タイプである為、データ書き
込み時の失敗時にはその都度紫外線照射によるデータ消
去が必要であり、大変不便となる為、記憶データの書き
込みの為に圧力・出力電圧特性の検査設備で得られた特
性データを別途通電書き込みするなどの生産設備に工夫
が必要となる。
【００１３】そこで、第３手段の不揮発性メモリ（Ｅ2
ＰＲＯＭ）によれば、圧力・電気出力特性（例えばアナ
ログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧力セン
サ個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を印加し
た状態で不揮発性メモリ（Ｅ 2 ＰＲＯＭ）の制御端子に
制御信号を入れるだけで、その都度電気的に書き込みお
よびデータ消去が出来るので、非通電になっても圧力セ
ンサ自体の個々の特性が不揮発性メモリ（Ｅ2 ＰＲＯ
Ｍ）に記憶された圧力センサである為、ケース内に挿入
したままでデータ消去と書き込みおよび読み出しがさら
に安価に出来るようになる。
ＰＲＯＭ）によれば、圧力・電気出力特性（例えばアナ
ログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧力セン
サ個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を印加し
た状態で不揮発性メモリ（Ｅ 2 ＰＲＯＭ）の制御端子に
制御信号を入れるだけで、その都度電気的に書き込みお
よびデータ消去が出来るので、非通電になっても圧力セ
ンサ自体の個々の特性が不揮発性メモリ（Ｅ2 ＰＲＯ
Ｍ）に記憶された圧力センサである為、ケース内に挿入
したままでデータ消去と書き込みおよび読み出しがさら
に安価に出来るようになる。
【００１４】以下本発明の実施例を図１を参照して説明
する。図１において、１は歪み抵抗素子１ａ，１ｂ，１
ｃ，１ｄなどをブリッジ構成にした圧力感知部で電源接
続端子１ｅおよびＧＮＤ接続端子１ｆを有する。
する。図１において、１は歪み抵抗素子１ａ，１ｂ，１
ｃ，１ｄなどをブリッジ構成にした圧力感知部で電源接
続端子１ｅおよびＧＮＤ接続端子１ｆを有する。
【００１５】２は圧力感知部１の出力電圧信号を増幅す
る増幅回路で、信号入力端子２ａおよび２ｂと、電源端
子２ｃおよびＧＮＤ端子２ｄと出力端子２ｅを有する。
３は出力端子２ｅの増幅出力信号データを記憶する不揮
発性メモリで、書き込み端子３ａと読み込み端子３ｂと
不揮発性メモリの書き込みおよび読み込みを制御する制
御端子３ｃを有しており、電源端子３ｄおよびＧＮＤ端
子３ｅを有する。
る増幅回路で、信号入力端子２ａおよび２ｂと、電源端
子２ｃおよびＧＮＤ端子２ｄと出力端子２ｅを有する。
３は出力端子２ｅの増幅出力信号データを記憶する不揮
発性メモリで、書き込み端子３ａと読み込み端子３ｂと
不揮発性メモリの書き込みおよび読み込みを制御する制
御端子３ｃを有しており、電源端子３ｄおよびＧＮＤ端
子３ｅを有する。
【００１６】１ｅと２ｃおよび３ｄを各々接続して外部
接続用電源端子５ａを設ける。１ｆと２ｄおよび３ｅを
各々接続して外部接続用ＧＮＤ端子５ｄを設ける。読み
込み端子３ｂを接続して外部接続用読み込み端子５ｂ
に、制御端子３ｃを接続して外部接続用制御端子５ｃを
設ける。
接続用電源端子５ａを設ける。１ｆと２ｄおよび３ｅを
各々接続して外部接続用ＧＮＤ端子５ｄを設ける。読み
込み端子３ｂを接続して外部接続用読み込み端子５ｂ
に、制御端子３ｃを接続して外部接続用制御端子５ｃを
設ける。
【００１７】これらを受圧口６と不揮発性メモリ３の記
憶データを消去する為の紫外線照射窓８を有するケース
７に内蔵して本発明の不揮発性メモリ搭載型圧力センサ
を構成し、各々の部品特性のバラツキによる圧力・電気
出力特性（例えばアナログ電圧出力）の関係において、
圧力・出力電圧特性および温度・出力電圧特性に於ける
個別特性データを不揮発性メモリ３の制御端子３ｃを制
御することにより書き込み端子３ａを通して内部メモリ
に記憶させるとともに、制御端子３ｃを制御することに
より読み込み端子３ｂを通して内部メモリに記憶された
個別特性データを読み出すことにより、圧力を電気信号
に変換して出力するように構成させている。
憶データを消去する為の紫外線照射窓８を有するケース
７に内蔵して本発明の不揮発性メモリ搭載型圧力センサ
を構成し、各々の部品特性のバラツキによる圧力・電気
出力特性（例えばアナログ電圧出力）の関係において、
圧力・出力電圧特性および温度・出力電圧特性に於ける
個別特性データを不揮発性メモリ３の制御端子３ｃを制
御することにより書き込み端子３ａを通して内部メモリ
に記憶させるとともに、制御端子３ｃを制御することに
より読み込み端子３ｂを通して内部メモリに記憶された
個別特性データを読み出すことにより、圧力を電気信号
に変換して出力するように構成させている。
【００１８】上記構成において、図２に示すように圧力
感知部１と増幅回路２の各々の部品特性のバラツキによ
り圧力・電気出力特性（例えばアナログ電圧出力）の関
係において、圧力・出力電圧特性（傾斜特性）がＡやＢ
やＣのようにバラツキ幅が大きくなったり、又、図３に
示すように温度・出力電圧特性がＤやＥやＦなど直線性
が得られない場合であっても、各々の個別特性データを
増幅回路２の出力端子２ｅからの増幅出力信号データと
して、圧力・出力電圧特性Ａと、温度・出力電圧特性Ｅ
を個別に不揮発性メモリ３に書き込み制御信号により記
憶させることが出来る。又、読み込み制御信号により内
部に記憶された圧力・出力電圧特性Ａと、温度・出力電
圧特性Ｅを忠実に読み込み端子から読み出すことが出来
る。
感知部１と増幅回路２の各々の部品特性のバラツキによ
り圧力・電気出力特性（例えばアナログ電圧出力）の関
係において、圧力・出力電圧特性（傾斜特性）がＡやＢ
やＣのようにバラツキ幅が大きくなったり、又、図３に
示すように温度・出力電圧特性がＤやＥやＦなど直線性
が得られない場合であっても、各々の個別特性データを
増幅回路２の出力端子２ｅからの増幅出力信号データと
して、圧力・出力電圧特性Ａと、温度・出力電圧特性Ｅ
を個別に不揮発性メモリ３に書き込み制御信号により記
憶させることが出来る。又、読み込み制御信号により内
部に記憶された圧力・出力電圧特性Ａと、温度・出力電
圧特性Ｅを忠実に読み込み端子から読み出すことが出来
る。
【００１９】この実施例の構成によれば、圧力センサ自
体の個々の部品バラツキによる特性バラツキ幅を特別に
管理する必要がなくなり、圧力センサ自体の生産歩留ま
り向上ができるとともに、又、圧力センサを活用する計
測器などの制御装置でその圧力精度特性を得る為に、圧
力センサにその都度通電して圧力・出力電圧特性との関
連から計測器などの制御装置との一体セット補正調整用
の検査設備が不要となり、セットとして安価に出来るよ
うになる。
体の個々の部品バラツキによる特性バラツキ幅を特別に
管理する必要がなくなり、圧力センサ自体の生産歩留ま
り向上ができるとともに、又、圧力センサを活用する計
測器などの制御装置でその圧力精度特性を得る為に、圧
力センサにその都度通電して圧力・出力電圧特性との関
連から計測器などの制御装置との一体セット補正調整用
の検査設備が不要となり、セットとして安価に出来るよ
うになる。
【００２０】しかし、第１手段の不揮発性メモリ（ＰＲ
ＯＭ）の場合は、圧力・電気出力特性（例えばアナログ
電圧出力）および温度・出力電圧特性を予め電気信号の
記憶データとして、圧力・出力電圧特性の検査設備で得
られた特性データを別途マスク書き込みあるいは通電書
き込みされておく必要があり、また、読み出し専用とな
っている為に圧力センサ自体と不揮発性メモリ（ＰＲＯ
Ｍ）に記憶させるデータが一対である必要があり、やや
高価になる不便があった。
ＯＭ）の場合は、圧力・電気出力特性（例えばアナログ
電圧出力）および温度・出力電圧特性を予め電気信号の
記憶データとして、圧力・出力電圧特性の検査設備で得
られた特性データを別途マスク書き込みあるいは通電書
き込みされておく必要があり、また、読み出し専用とな
っている為に圧力センサ自体と不揮発性メモリ（ＰＲＯ
Ｍ）に記憶させるデータが一対である必要があり、やや
高価になる不便があった。
【００２１】一方、第２手段のＥＰＲＯＭを不揮発性メ
モリ３に使用すれば、圧力・電気出力特性（例えばアナ
ログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧力セン
サ個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を印加し
た状態で不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）３の制御端子３
ｃに制御信号を入れるだけで、その都度電気的に書き込
みが出来るので、非通電になっても圧力センサ自体の個
々の特性が不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）３に記憶され
た圧力センサである為、圧力センサを活用する計測器な
どの制御装置に予め圧力・電気出力特性の理想特性に合
わせ込む自動補正機能を組み込んでおけば、圧力センサ
と組み合わせるだけで不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）３
に記憶されたデータを読み出すことにより圧力・電気出
力特性の精度の高い計測器などの制御装置が出来る。
モリ３に使用すれば、圧力・電気出力特性（例えばアナ
ログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧力セン
サ個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を印加し
た状態で不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）３の制御端子３
ｃに制御信号を入れるだけで、その都度電気的に書き込
みが出来るので、非通電になっても圧力センサ自体の個
々の特性が不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）３に記憶され
た圧力センサである為、圧力センサを活用する計測器な
どの制御装置に予め圧力・電気出力特性の理想特性に合
わせ込む自動補正機能を組み込んでおけば、圧力センサ
と組み合わせるだけで不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）３
に記憶されたデータを読み出すことにより圧力・電気出
力特性の精度の高い計測器などの制御装置が出来る。
【００２２】しかし、記憶データの消去が紫外線消去タ
イプである為、データ書き込み時の失敗時にはその都度
紫外線照射窓８から紫外線照射によるデータ消去が必要
であり、大変不便となる為、記憶データの書き込みの為
に圧力・出力電圧特性の検査設備で得られた特性データ
を別途通電書き込みするなどの生産設備に工夫が必要と
なる。
イプである為、データ書き込み時の失敗時にはその都度
紫外線照射窓８から紫外線照射によるデータ消去が必要
であり、大変不便となる為、記憶データの書き込みの為
に圧力・出力電圧特性の検査設備で得られた特性データ
を別途通電書き込みするなどの生産設備に工夫が必要と
なる。
【００２３】また、第３手段のＥ2 ＰＲＯＭを不揮発性
メモリ３に使用すれば、圧力・電気出力特性（例えばア
ナログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧力セ
ンサ個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を印加
した状態で不揮発性メモリ（Ｅ2 ＰＲＯＭ）３の制御端
子に制御信号を入れるだけで、その都度電気的に書き込
みおよびデータ消去が出来るので、非通電になっても圧
力センサ自体の個々の特性が不揮発性メモリ（Ｅ2 ＰＲ
ＯＭ）３に記憶された圧力センサである為、ケース内に
挿入したままでデータ消去と書き込みおよび読み出しが
さらに安価に出来るようになる。
メモリ３に使用すれば、圧力・電気出力特性（例えばア
ナログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧力セ
ンサ個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を印加
した状態で不揮発性メモリ（Ｅ2 ＰＲＯＭ）３の制御端
子に制御信号を入れるだけで、その都度電気的に書き込
みおよびデータ消去が出来るので、非通電になっても圧
力センサ自体の個々の特性が不揮発性メモリ（Ｅ2 ＰＲ
ＯＭ）３に記憶された圧力センサである為、ケース内に
挿入したままでデータ消去と書き込みおよび読み出しが
さらに安価に出来るようになる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１の
不揮発性メモリ搭載型圧力センサによれば、圧力感知部
と増幅回路の各々の部品特性のバラツキによる圧力・電
気出力特性（例えばアナログ電圧出力）および温度・出
力電圧特性において、非通電になっても個々の特性が不
揮発性メモリ（ＰＲＯＭ）に記憶された圧力センサであ
る為、圧力センサを活用する計測器などの制御装置に予
め圧力・電気出力特性の理想特性に合わせ込む自動補正
機能を組み込んでおけば、圧力センサと組み合わせるだ
けで不揮発性メモリ（ＰＲＯＭ）に記憶されたデータを
読み出すことにより圧力・電気出力特性の精度の高い計
測器などの制御装置が出来る。従って、圧力センサ自体
の個々の部品のバラツキによる特性バラツキ幅を特別に
管理する必要がなくなり、圧力センサ自体の生産歩留ま
り向上が出来るとともに、又圧力センサを活用する計測
器などの制御装置でその圧力精度特性を得る為に、圧力
センサにその都度通電して圧力・出力電圧特性との関連
から計測器などの制御装置との一体セット補正調整用の
検査設備が不要となり、セットとして安価に出来るよう
になる。
不揮発性メモリ搭載型圧力センサによれば、圧力感知部
と増幅回路の各々の部品特性のバラツキによる圧力・電
気出力特性（例えばアナログ電圧出力）および温度・出
力電圧特性において、非通電になっても個々の特性が不
揮発性メモリ（ＰＲＯＭ）に記憶された圧力センサであ
る為、圧力センサを活用する計測器などの制御装置に予
め圧力・電気出力特性の理想特性に合わせ込む自動補正
機能を組み込んでおけば、圧力センサと組み合わせるだ
けで不揮発性メモリ（ＰＲＯＭ）に記憶されたデータを
読み出すことにより圧力・電気出力特性の精度の高い計
測器などの制御装置が出来る。従って、圧力センサ自体
の個々の部品のバラツキによる特性バラツキ幅を特別に
管理する必要がなくなり、圧力センサ自体の生産歩留ま
り向上が出来るとともに、又圧力センサを活用する計測
器などの制御装置でその圧力精度特性を得る為に、圧力
センサにその都度通電して圧力・出力電圧特性との関連
から計測器などの制御装置との一体セット補正調整用の
検査設備が不要となり、セットとして安価に出来るよう
になる。
【００２５】また、本発明の請求項２の不揮発性メモリ
搭載型圧力センサによれば、圧力・電気出力特性（例え
ばアナログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧
力センサ個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を
印加した状態で不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）の制御端
子に制御信号を入れるだけで、その都度電気的に書き込
みが出来るので、非通電になっても圧力センサ自体の個
々の特性が不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）に記憶された
圧力センサである為、圧力センサを活用する計測器など
の制御装置に予め圧力・電気出力特性の理想特性に合わ
せ込む自動補正機能を組み込んでおけば、圧力センサと
組み合わせるだけで不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）に記
憶されたデータを読み出すことにより圧力・電気出力特
性の精度の高い計測器などの制御装置が出来る。
搭載型圧力センサによれば、圧力・電気出力特性（例え
ばアナログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧
力センサ個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を
印加した状態で不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）の制御端
子に制御信号を入れるだけで、その都度電気的に書き込
みが出来るので、非通電になっても圧力センサ自体の個
々の特性が不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）に記憶された
圧力センサである為、圧力センサを活用する計測器など
の制御装置に予め圧力・電気出力特性の理想特性に合わ
せ込む自動補正機能を組み込んでおけば、圧力センサと
組み合わせるだけで不揮発性メモリ（ＥＰＲＯＭ）に記
憶されたデータを読み出すことにより圧力・電気出力特
性の精度の高い計測器などの制御装置が出来る。
【００２６】また、本発明の請求項３の不揮発性メモリ
搭載型圧力センサによれば、圧力・電気出力特性（例え
ばアナログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧
力センサ個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を
印加した状態で不揮発性メモリ（Ｅ2 ＰＲＯＭ）の制御
端子に制御信号を入れるだけで、その都度電気的に書き
込みおよびデータ消去が出来るので、非通電になっても
圧力センサ自体の個々の特性が不揮発性メモリ（Ｅ2 Ｐ
ＲＯＭ）に記憶された圧力センサである為、ケース内に
挿入したままでデータ消去と書き込みおよび読み出しが
さらに安価に出来るようになるという効果がある。
搭載型圧力センサによれば、圧力・電気出力特性（例え
ばアナログ電圧出力）および温度・出力電圧特性を、圧
力センサ個々の記憶データとして、圧力センサに圧力を
印加した状態で不揮発性メモリ（Ｅ2 ＰＲＯＭ）の制御
端子に制御信号を入れるだけで、その都度電気的に書き
込みおよびデータ消去が出来るので、非通電になっても
圧力センサ自体の個々の特性が不揮発性メモリ（Ｅ2 Ｐ
ＲＯＭ）に記憶された圧力センサである為、ケース内に
挿入したままでデータ消去と書き込みおよび読み出しが
さらに安価に出来るようになるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例における不揮発性メモリ搭載
型圧力センサの構成図
型圧力センサの構成図
【図２】同センサの圧力・出力電圧特性図
【図３】同センサの温度・出力電圧特性図
【図４】従来の圧力センサの構成図
【図５】同センサの圧力・出力電圧特性図
【図６】同センサの温度・出力電圧特性図
１ 圧力感知部 ２ 増幅回路 ３ 不揮発性メモリ
Claims (3)
- 【請求項１】圧力を検出する歪み抵抗素子などの圧力感
知部と増幅回路とからなる圧力センサに於いて、前記増
幅回路で得られた圧力・電気出力特性信号を予め電気信
号として不揮発性メモリ（ＰＲＯＭ）に記憶させ、その
記憶したデータを読み出し出来るようにした不揮発性メ
モリ搭載型圧力センサ。 - 【請求項２】増幅回路で得られた圧力・電気出力特性信
号を予め電気信号として電気的に記憶データの書き込み
及び読み出しを出来るようにするとともに前記記憶デー
タを紫外線消去可能なＥＰＲＯＭとした請求項１記載の
不揮発性メモリ搭載型圧力センサ。 - 【請求項３】増幅回路で得られた圧力・電気出力特性信
号を予め電気信号として電気的に記憶データの書き込み
及び読み出しを出来るようにするとともに前記記憶デー
タを電気的に消去自在可能なＥ2 ＰＲＯＭとした請求項
１記載の不揮発性メモリ搭載型圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31503895A JPH09159559A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 不揮発性メモリ搭載型圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31503895A JPH09159559A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 不揮発性メモリ搭載型圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09159559A true JPH09159559A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18060683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31503895A Pending JPH09159559A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 不揮発性メモリ搭載型圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09159559A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006171158A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Ricoh Co Ltd | トナー濃度センサおよびトナー濃度センサを備えた画像形成装置 |
| JP2007257422A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Yokogawa Electric Corp | 測定装置 |
| JP2007333876A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Ricoh Co Ltd | 現像装置、プロセスユニット及び画像形成装置 |
| JP2010113376A (ja) * | 2010-02-09 | 2010-05-20 | Ricoh Co Ltd | トナー濃度センサおよびトナー濃度センサを備えた画像形成装置 |
| JP2013234885A (ja) * | 2012-05-08 | 2013-11-21 | Azbil Corp | フィールド機器用アダプタおよびフィールド機器 |
| WO2018105227A1 (ja) * | 2016-12-08 | 2018-06-14 | ミネベアミツミ株式会社 | 中継装置および圧力検出装置 |
-
1995
- 1995-12-04 JP JP31503895A patent/JPH09159559A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006171158A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Ricoh Co Ltd | トナー濃度センサおよびトナー濃度センサを備えた画像形成装置 |
| JP4667850B2 (ja) * | 2004-12-14 | 2011-04-13 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
| JP2007257422A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Yokogawa Electric Corp | 測定装置 |
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| JP4701129B2 (ja) * | 2006-06-13 | 2011-06-15 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
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| JP2013234885A (ja) * | 2012-05-08 | 2013-11-21 | Azbil Corp | フィールド機器用アダプタおよびフィールド機器 |
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| JP2018094729A (ja) * | 2016-12-08 | 2018-06-21 | ミネベアミツミ株式会社 | 中継装置および圧力検出装置 |
| US10646918B2 (en) | 2016-12-08 | 2020-05-12 | Minebea Mitsumi Inc. | Relay device and pressure detection device |
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