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JPH09159406A - 光学式センサ装置 - Google Patents

光学式センサ装置

Info

Publication number
JPH09159406A
JPH09159406A JP34678995A JP34678995A JPH09159406A JP H09159406 A JPH09159406 A JP H09159406A JP 34678995 A JP34678995 A JP 34678995A JP 34678995 A JP34678995 A JP 34678995A JP H09159406 A JPH09159406 A JP H09159406A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light receiving
light
optical sensor
sensor device
detected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP34678995A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshimasa Osumi
吉正 大角
Hayami Hosokawa
速美 細川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
Priority to JP34678995A priority Critical patent/JPH09159406A/ja
Publication of JPH09159406A publication Critical patent/JPH09159406A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学式センサ装置において、簡単な構成によ
り、投光部と受光部との間の広い範囲に亘って、物体が
有るか否か、物体の位置、大きさ等を正確に検知するこ
とができるようにする。 【解決手段】 受光部22を構成するファイバ群が、出
射範囲内の1次元的な方向に対してその受光面(A)
(B)の面積が変化するように形成されており、投光部
21と受光部22との間に侵入した物体の位置によって
受光量が異なるようにした。この受光量の変化に基づい
て、物体の有無、個数、1次元的な位置、大きさ等を正
確に検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ある一定範囲内に
おいて、物体の有無、位置、大きさ等を光学的に検出す
る光学式センサ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の光学式センサ装置において、一定
範囲内の物体の検出に用いられるものの構成を図19乃
至図21に示す。これらの光学式センサ装置は、いずれ
も投光部と受光部とが検知対象物に対して透過型配置構
成とされ、図19(a)に示す装置においては、投光側
で光源1〜6が複数配置され、受光側で各光源1〜6に
対応して受光素子1〜6が配置れている。この投光側と
受光側との間の検出可能エリア内に物体が入り、受光素
子の1つでも遮光状態になると、エリア内に物体ありと
検知する。同図(b)は光源による投光と受光素子によ
る受光のタイミングを示す。
【0003】また、図20は、投光部の光源と受光部の
受光素子をそれぞれ1つとし、投光ファイバ7とプリズ
ムシート8を用いて平行光を出射し、同じくプリズムシ
ート9と受光ファイバ10を用いて平行光を受光素子に
導く構成のものである。図21は、1つの光源11から
光をスリット12等を用いて平行光にして出射し、CC
D13を用いて受光するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図19
に示す構成では、多くの光源や受光素子及びアンプが必
要であって、構成が大掛かりとなり、コスト高となり、
また、光源や受光素子の間隔により検出の分解能が決ま
り、高分解能とすることは困難である。また、図20に
示す構成では、物体の有無のみを検出し、位置、幅など
は検出できないという問題がある。また、図21に示す
構成では、CCDを用いていることから、製造コストが
かかるのに加え、大きな距離範囲に対応することが困難
である。
【0005】本発明は、このような従来の問題点に着目
してなされたものであり、受光部に受光ファイバ群を用
いて、その受光面積を少なくとも1次元方向に変化させ
ることにより、ある一定範囲内における物体の有無、位
置、大きさ等を明確に検知することができる光学式セン
サ装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、投光部から受光部に向けて所定の範囲に光
を出射し、物体がその出射範囲内にある場合には受光部
でその光量変化を検出して、物体の有無、位置、大きさ
等を検出する光学式センサ装置において、受光部は受光
ファイバ群から成り、この受光ファイバ群の受光面積
が、出射範囲内の少なくとも1次元的な方向に対して変
化するように形成されているものである。
【0007】上記構成によれば、受光部を構成するファ
イバ群が、出射範囲内の1次元的な方向に対してその受
光面積が変化するように形成されており、投光部と受光
部との間に侵入した物体の位置によって受光量が異なる
ので、簡単な構成により、物体の有無、個数、1次元的
な位置、大きさ等を明確に検出することができる。
【0008】また、上記において、受光部が、前記の受
光ファイバ群の受光面積が一方向に変化しているもの
と、それとは逆方向に変化しているものとの組み合わせ
により構成されていてもよい。この構成によれば、物体
の位置が変わると、2つの受光ファイバ群の受光量変化
は逆方向に変化するので、より明確に物体の有無、位置
等を検出することができる。
【0009】また、上記において、受光部は、前記の受
光ファイバ群の受光面積が一方向に変化しているもの
と、受光面積が変化していないものとの組み合わせによ
り構成されているものであってもよい。この構成におい
ても、上記と同等の作用が得られる。
【0010】また、上記において、受光部の受光ファイ
バ群の受光面積の変化に対応して投光部による投光量を
変化させてもよい。この構成によれば、物体の有無によ
る受光部での受光量変化は大きくなり、検出感度が高く
なる。
【0011】また、本発明は、請求項1乃至4のいずれ
かに記載の光学式センサ装置における投光部と受光部と
が、液状物の垂れ下がり位置を挟むようにして設けら
れ、液状物の液切れを検知する検査装置である。また、
本発明は、同光学式センサ装置における投光部と受光部
とが、検知対象物の搬送部を挟むようにして設けられ、
搬送されてくる検知対象物の高さを検知し、基準高さと
の違いから該検知対象物の適否を検知する検査装置であ
る。さらにまた、本発明は、同光学式センサ装置におけ
る投光部と受光部とが検知対象物の搬送部を挟むように
して設けられ、搬送されてくる検知対象物を該装置によ
り検知したときに、検知対象物を一定位置で停止させる
搬送物検出装置である。これらの構成においては、搬送
されてくる検知対象物の切れ、高さ、又は位置を正確に
検出でき、検知対象物の異状を検査し、又は検知対象物
を所望の位置に停止させることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施の
形態を図面を参照して説明する。 (第1実施例)図1(a)は、第1実施例による光学式
センサ装置の構成図であり、投光部と受光部による検出
エリア範囲を示している。同図(b)は1次元方向にお
ける受光面積の変化が互いに逆になった受光部の正面
図、(c)は物体が無い場合の、一方の受光部の受光面
における1次元方向に対する受光量の変化を示す図、
(d)は他方の受光面における1次元方向に対する受光
量の変化を示す図である。図2(a)は検出エリア内に
物体が存在するときの光の流れを示す図、(b)は
(a)のときの一方の受光面の1次元方向に対する受光
量の変化を示す図、(c)は(a)のときの他方の受光
面の1次元方向に対する受光量の変化を示す図であり、
(d)は検出エリア内に上記(a)とは異なる位置に物
体が存在するときの光の流れを示す図、(e)は(d)
のときの一方の受光面の1次元方向に対する受光面積の
変化を示す図、(f)は(d)のときの他方の受光面の
1次元方向に対する受光面積の変化を示す図であり、
【0013】光学式センサ装置は、投光部21と受光部
22とがある距離をおいて対向して配置され、投光部2
1は受光部22に向けて一定の範囲Sに平行光を出射し
て、検出対象物(ワークとも言う)M(図2)がその出
射範囲S内にある場合には、受光部22でその光量変化
を検出する。この検出信号に基づき、後述する判別回路
(図3)により、ワークMの有無、個数、1次元的な位
置、大きさ、高さ、幅等を認識する。投光部21は、複
数のファイバが束ねられた1本のバンドルファイバFC
が用いられ、その先端部は、予め設定した出射範囲S内
に平行に光を出射できるように配置されている。バンド
ルファイバFCの他端側には発光素子等でなる光源(図
3参照)が配置されている。
【0014】受光部22は、複数のファイバが束ねられ
てなる2本のバンドルファイバFA,FB(ファイバ
群)が用いられ、各バンドルファイバFA,FBの先端
部は、個別に複数のファイバにバラされて、図1(b)
に示すように、受光面積が出射範囲S内の1次元的な方
向に対して変化するように形成されている。具体的に
は、一方のバンドルファイバFA側のファイバ群が、出
射範囲Sを光を受ける側から矩形の面としてとらえたと
きの対角線で分断される一方の面に、出射範囲S内の矢
印Xに示す1次元的な方向に対し受光面(A)の面積が
増加するように配置されている。他方のバンドルファイ
バFB側のファイバ群が、前記対角線で分断される他方
の面に、1次元的な方向に対して受光面(B)の面積が
減少するように配置されている。このように、投光面と
受光面とは、何れも同じ大きさの矩形を有するが、受光
面は、矩形の出射範囲Sを対角線方向に2つに分断して
仕切った2つの略三角形状の受光面(A),(B)の組
み合わせで成る。図1(b)のXで示す1次元的な方向
が、図示しないワークの進行方向である。バンドルファ
イバFA,FBの他端側には受光素子(図3参照)が配
置されている。
【0015】このように、投光面と受光面とは、何れも
同じ大きさの矩形を有するが、受光面は、矩形の出射範
囲Sを対角線方向に2つに分断して仕切った2つの略三
角形状の受光面(A),(B)の組み合わせで構成され
ている。図1(b)のXで示す1次元的な方向が、ワー
クMの進行方向である。図1(c)(d)に示すよう
に、ワークMが出射範囲内に無いときには、X方向の何
れの位置においても、受光量Aと受光量Bの割合の合計
は1、すなわちA/B=1の数式が常に成り立つ。それ
に対して、ワークMが出射範囲内に有るときは、図2
(b)(c)及び(e)(f)に示すように、出射光の
一部はワークMによって遮られて受光されない。そのた
め、受光量が0の部分が出現する。そして、ワークMが
X方向の何処の位置に有るかによって、A1,B1はそ
れぞれA,Bと異なる値となり、図示のようにワークの
位置が変化した場合、A1>A2,B1<B2となり、
A1/B1とA2/B2とは異なる値となる。従って、
この受光量の変化をとらえることにより、ワークMのX
方向位置の検出が可能となる。なお、ワークMの幅又は
大きさは、受光量が0の幅によって検出できる。
【0016】図3は光学式センサ装置の回路ブロック図
である。発振回路25により出力されたパルス信号は、
投光パルス発生回路26で投光パルス信号に変換され、
この信号は光源27で直線光に変換された後、ファイバ
群FCを経て投光部21であるファイバ端から投光され
るようになっている。投光された直線光は、受光部22
のファイバ群FA,FBの受光面で受光され、受光され
た直線光は各受光素子28A,28Bによってパルス信
号に変換され、この変換された信号は各ピークホールド
回路29A,29Bによってピーク値が検出され、その
ピーク値からなる信号は演算回路30から信号処理回路
31に至り、ここで、予め設定されている位置データの
テーブルを位置データ32を参照して演算を行い、それ
によりワークの位置等が判断され、この判断値が信号に
変換されて弁別回路33に与えられ、しきい値34と比
較して弁別され、その結果が信号出力されるようになっ
ている。
【0017】また、前記投光パルス信号は各ピークホー
ルド回路29A,29Bにも送信され、これにより投光
部21から出力される信号と受光部22で入力される信
号の同期が取られるようになっている。各ピークホール
ド29A,29Bで受信された各信号は、各しきい値3
5A,35Bによってその値の有無がチェックされた
後、各弁別回路36A,36Bで弁別された後、OR回
路37にて各信号の有無情報が信号処理回路31に入力
されるようになっている。なお、信号処理回路31から
出力される信号を、そのままリニア出力する回路構成に
しても構わない。
【0018】図4(a)(b)(c)は、受光部22の
ファイバ群の結束手法を示す図である。受光部22は、
これを構成する2本のバンドルファイバFA,FBの先
端部を、一旦個々のファイバにバラした後、これを、
(a)に示すように、前記各受光面(A),(B)とな
る直角三角形状に成形した樹脂枠40内に押し込み、続
いて、(b)に示すように、その外形部分を熱収縮等に
よって圧縮し、受光面が形成されるように、ファイバ群
の束の先端部を切断して面を揃え、この面を研磨する。
そして、受光部22のホルダ41で固定して出来上が
る。
【0019】(第2実施例)次に、光学式センサ装置の
第2実施例について説明する。図5(a)は光学式セン
サ装置の第2実施例による構成図、(b)はその受光部
の正面図であり、1次元方向における受光面積を変化さ
せている。同図(c)は検出エリア内にワークMが存在
するときの光の流れを示す図、(d)は(c)のときの
受光面の1次元方向に対する受光量の変化を示す図であ
る。
【0020】この実施例の光学式センサ装置は、図5
(a)に示すように、受光部22にバンドルファイバF
Bが用いられており、前述の第1実施例と同様、個々の
ファイバを一旦バラした後、先端部を直角三角形状に結
束されて受光面(B)を形成しているが、図5(b)に
示すように、第1実施例の受光面(A)に相当する直角
三角形状の面にはファイバ面が形成されず、1次元方向
Xに向かうに従って受光量が減少する構成としたもので
ある。
【0021】この構成の場合、例えば、図5(c)に示
すように、出射範囲S内にワークMが位置すると、図5
(d)に示すように、受光量が0である部分が表れ、こ
れによりワークMの有無が検出でき、また、受光量が0
である部分の幅からワークMの幅が検出でき、また、ワ
ークMの位置によって受光量B1が変化するので、これ
からワークMの位置を検出できる。本実施例によれば、
受光部の構成が簡単になる。
【0022】(第3実施例)次に、光学式センサ装置の
第3実施例について説明する。本実施例の光学式センサ
装置は、図6(a)に示すように、受光部22が2本の
バンドルファイバFB,FDによって構成されており、
(b)に示すように、受光面積がX方向に変化していて
矩形を対角線で仕切った2つの直角三角形の面のうちの
一方の受光面(B)に相当するバンドルファイバFB
と、面積が変化していない受光面(D)に相当するバン
ドルファイバFDとの組み合わせにより構成されてい
る。バンドルファイバFBは、第1実施例のバンドルフ
ァイバFBと同じものである。なお、前記の矩形を対角
線で仕切った2つの直角三角形のうちの他方の面に相当
する部分には受光面は形成していない。
【0023】図6(c)には、出射範囲S内にワークが
存在する場合の受光面(D)のX方向での受光量D1
を、図6(d)には、同場合の受光面(B)のX方向で
の受光量B1を示す。受光量D1はワークの幅により変
動するので、それより幅を検出できる。受光量B1はワ
ークの位置、幅により変動するので、受光量D1のデー
タから幅情報を固定すれば、位置情報を正確に検出可能
となる。
【0024】その点、上述の第1又は第2実施例におい
ては、ワークの幅が変わると、位置を誤検出することが
ある。すなわち、図7(a)(b)には、第1又は第2
実施例におけるワークが太い(広幅の)ときと、ワーク
が細い(狭幅の)ときのX方向での受光面(A)(B)
の受光量変化を示す(ワークが太いときを破線で、ワー
クが細いときを一点鎖線)。そして、ワークが太いとき
の各受光面(A)(B)での受光量変化をA1,B1と
し、ワークが細いときの各受光面(A)(B)での受光
量変化をA2,B2とする。いま、ワークがX方向の中
心にあって、X1=X0 /2のとき、A1/B1=A2
/B2という計算式により、正確な位置情報が判断でき
る。それに対して、X1≠X0 /2のときは、A1/B
1≠A2/B2という計算式により、ワークの太さによ
り位置情報に誤りがあることが判断できる。
【0025】上記第3実施例では、まず、受光面(C)
の受光量からワークの幅を検出し、次に、受光面(B)
の受光量からワークの位置情報を検出し、これを先の幅
情報で補正することにより、正確な情報を得ることがで
きることになる。
【0026】次に、図8は、上記第3実施例の光学式セ
ンサ装置の回路ブロック図である。発振回路25により
出力されたパルス信号は、投光パルス発生回路26で投
光パルス信号に変換され、この信号は光源である発光素
子27で直線光に変換された後、ファイバ群FCを経て
投光部21であるファイバ端から投光されるようになっ
ている。投光された直線光は、受光部22のファイバF
D,FBで受光され、受光された直線光は、各受光素子
28D,28Bによってパルス信号に変換された後、各
ピークホールド回路29D,29Bによってそのピーク
値が検出される。このピーク値を受信した判別回路50
は幅情報テーブル51を参照してワークの幅を判別す
る。また、ピークホールド回路29Bで捕らえられたピ
ーク値はそのまま判別回路52に送信される。判別回路
52は、位置情報テーブル53を参照すると共に前記の
幅情報に基づきワークの位置情報を出力する。この位置
情報はしきい値34により弁別回路33にて弁別され出
力されるようになっている。
【0027】(第4実施例)次に、光学式センサ装置の
第4実施例について説明する。この実施例の光学式セン
サ装置は、図9(a)に示すように、投光部21と受光
部22とに、バンドルファイバFC,FA,FBが用い
られており、バンドルファイバFCの投光側端は、コネ
クタ55を介して複数の小束のファイバ群56に接続さ
れ、対する受光側のバンドルファイバFA,FBの受光
端は、1つのコネクタ57を介して投光側のファイバ群
56と同数の複数の小束のファイバ群58(イ、ロ、
ハ、ニ)に接続されている。この小束のファイバ群58
(イ、ロ、ハ、ニ)は、図9(b)に示すように、バン
ドルファイバFA,FBを構成するファイバとの接続数
(含有比)を1次元方向に対して変化するように構成し
たものである。なお、このように構成された投光部21
及び受光部22は、図9の(a)に示すように、1次元
方向に対して、定間隔毎に対向して並べられる。
【0028】この構成によると、上述した第1〜第3の
実施例において投光部と受光部のファイバが密であるこ
とによる出射範囲の狭さを、離散的に粗にすることによ
ってカバーでき、この結果、大きな範囲での検出に対応
できる。なお、検出処理は第1〜3実施例の場合と略同
様である。
【0029】(第5実施例)次に、光学式センサ装置の
第5実施例について説明する。図10(a)(b)は、
第5実施例の光学式センサ装置における投光部21の側
面図及び正面図である。投光部21のバンドルファイバ
FCの先端部は、一旦バラされて複数の小束のファイバ
群59に結束され、これら小束のファイバ群59は1次
元方向に対して1列に並べられてホルダ60によって保
持された、簡単な構成のものになっている。なお、平行
光を投光できるように、図示しないレンズを用いた構成
であってもよい。この構成によると、投光部21を簡単
に作成でき、1次元方向におけるワークの位置とその幅
が検出できる。
【0030】(第6実施例)次に、光学式センサ装置の
第6実施例について説明する。この光学式センサ装置
は、受光部22に特徴があり、図11(a)(b)に示
すように、2種の構成のものがある。すなわち、前述し
た第1,2実施例の受光部22では、受光面積を変化さ
せていく手段として、受光面積(A),(B)の比が異
なっていく外形に、同じ径のファイバを入れて作成して
いたが、本実施例では図11の(a)又は(b)に示す
ように、ファイバの径自体を変化させることにより、受
光面積を変化させるようにしたものである。なお、ここ
にいうファイバの径の変化とは、ファイバの結束数を変
化させたものと、ファイバ自体の径が異なるものとの何
れかであることをいう。この構成によれば、必要なファ
イバの数が減ることにより、組み立て時の取扱い性が向
上する。
【0031】上記第6実施例の光学式センサ装置の変形
例による受光部22を図12(a)(b)に示す。この
受光部22は、受光側の2本のバンドルファイバFA,
FBに、コネクタ57を介して、径の異なる複数本のフ
ァイバをそれぞれ少なくとも2本ずつ組み合わせて、受
光量が順に変化するように構成したファイバ組(イ、
ロ、ハ、ニ)を接続したものである。すなわち、この変
形例は、2本のバンドルファイバFA,FBのファイバ
への接続構成比を一次元方向に変化させたものであり、
第4実施例の受光部に対応させたものである。
【0032】(第7実施例)次に、光学式センサ装置の
第7実施例について図13を参照して説明する。第7実
施例の光学式センサ装置は、投光部に特徴があり、前述
の第2実施例における受光部への対応ができるようにし
たものである。すなわち、第2実施例においてはワーク
の位置により受光部22での受光量は変化するが、この
位置の違いによる受光量の変動幅を大きくするために、
投光部にも変化を付けたものである。図13には投光量
分布と受光面積分布とをグラフ化して示しており、受光
面積の小さい地点の投光量を小さくし、受光面積が大き
くなるにつれて投光量も大きくしている。ワークによっ
て遮られる光量は、投光量(単位長当り)×受光面積で
あるので、上記構成により、ワークの位置による遮られ
る光量変化が実施例2の場合よりも大きくなり、感度が
良くなる。
【0033】さらに、投光側の投光量を離散的に変化さ
せ、上記第4実施例に対応させた例を図14(a)
(b)に示す。投光部21のバンドルファイバFCに、
コネクタ55を介して、外径は同じであるが内径のファ
イバ部の径の異なる複数本の投光ファイバ(イ)(ロ)
(ハ)(ニ)を、受光量が順に変化するように一次元方
向に離散的に並べたものを接続したものである。
【0034】(第8実施例)次に、上記各実施例のいず
れかの光学式センサ装置の適用例について図15を参照
して説明する。本例は、搬送されてくる検知対象物を光
学式センサ装置により検知して一定位置で停止させる搬
送物検出装置であり、具体的には、シール貼付装置であ
る。図15(a)に示すように、このシール貼着装置6
1は、搬送ライン62上に載置されたシート(例えばク
レジットカード)63は矢印64方向に搬送され、この
搬送途上の上方には、シール65を剥離可能な状態で貼
付したロール紙66と、シール65を吸着してシート6
3の定位置に搬送して貼着させるものである。シール6
5をシート63に貼着させるには、搬送されてくるシー
ト63を一旦定位置で停止させる必要があり、このシー
ト63の定位置停止のための検出を、本光学式センサ装
置70で行っている。本センサ装置70は、停止される
シート63の先端部の上方にその投光部21が設置さ
れ、その直下の搬送ライン62下にその受光部22が設
置され、投光部21から受光部22に向けて、搬送方向
に幅のある直線光71が出射されており、この直線光7
1の一部をシート63の先端部で遮断する際に、その遮
断量が一定値に達すると受光部22がこれを検出し、こ
の検出信号に基づいて、図示しない本センサ装置70の
回路内において搬送ライン62を一旦停止させる信号を
出力するものである。
【0035】図15(b)(e)は、上記の出射光とシ
ート63の先端部との関係を、シール貼着装置61を横
から見て示している。先ず、図15(b)に示すよう
に、シート63の先端部が直線光71の半分近くまで遮
断する位置に達すると、例えば、図1の(c)(d)に
示す第1実施例の受光部22のように受光量の比率が互
いに反比例するA,Bの2つの受光面を有するものであ
れば、図15(c)(d)に示すように受光量はA1,
B1となり、双方の受光量(受光面積)比を判別するこ
とにより、搬送方向での位置が算出される。仮に、図1
5(e)に示すように、シート63の先端部が直線光7
1の半分以上を遮断する位置に達するようになれば、図
15(f)(g)に示すように、受光量はA2,B2と
なり、その受光量(受光面積)比が大きく変化する。こ
こに、A1/B1≠A2/B2であり、これより、上記
両者の判別が可能である。そして、例えば、図15
(b)の状態はOKであり、(e)の状態はNGとす
る。このように、搬送ラインに本発明の光学式センサ装
置を適用すると、シート63の先端部の位置が正確に検
出・判別できる大きな利点がある。
【0036】(第9実施例)次に、上記各実施例のいず
れかの光学式センサ装置を、流体の液切れを検出する装
置に適用した例について図16を参照して説明する。こ
の液切れ検出装置72は、ホッパー73内に収容されて
いる液状ゴム74がホッバー73下部のディスペンサー
から下方に定量ずつ垂れさせる場合に、液状ゴム74の
垂れに液切れがないかを確認する必要があり、本発明の
光学式センサ装置70はこれに対応させるべく、液状ゴ
ム74の垂下途上に出射光が横切るように、その投光部
21と受光部22とを対向させて備えたものである。こ
のようにすると、液状ゴム74の液切れだけでなく、液
状ゴム74の流量幅や位置も同時に検出・判別でき、そ
れらを所望の状態に制御することができる利点もある。
勿論、このような検出手法は、液状ゴムに限らず、あら
ゆる分野での流体の検出に適用可能で、特に、細い線状
の物の検出に好適である。
【0037】(第10実施例)次に、上記各実施例のい
ずれかの光学式センサ装置を、ワークの高さ検出に適用
した例について図17を参照して説明する。図17
(a)は、搬送ライン76上にワーク(本例においては
粘着ロールテープ77)が載置され、搬送ライン76に
より粘着ロールテープ77を次工程に搬送する過程を示
しており、本発明の光学式センサ装置70は、この過程
において、粘着ロールテープ77が適正な幅(高さh)
で切断されているが否かを検出するためのものである。
搬送ライン76上の両横方向に、投光素子78と受光素
子79とからなる1組の同期センサ80を、当該センサ
の出射光が搬送ライン76上を直交するように設置する
一方、本発明のセンサ装置70を、その出射光が、搬送
ライン76上を直交し、且つ搬送ライン76の上方向の
幅、特に粘着ロールテープ77の途中面からその上端よ
り高い位置に至る幅をもって出射できるように、搬送ラ
イン76の両横方向に投光部21と受光部22とを対向
させて設けたものである。
【0038】よって、粘着ロールテープ77の基準品の
高さ位置をセンサ装置70の判別回路に記憶させておく
ことで、粘着ロールテープ77の先端部が同期センサ8
0で検出される位置に達すると、光学式センサ装置70
による出射光は、粘着ロールテープ77の中央をとらえ
ており、この位置において、粘着ロールテープ77の高
さ(厚さ)が適正であれば、図17(b)に示すよう
に、一定量の受光が受光部22で得られるので、良品で
あることが判明し、粘着ロールテープ77の高さ(厚
さ)が適正でない不良品であれば、図17(c)に示す
ように、受光量が一定値よりも少であったり、また、図
示していないが受光量が一定値よりも大きくなるので、
不良品であることが判明する。なお、不良品であれば、
図示していない搬送ライン76の横のアーム等で不良品
を搬送ライン上からはね除ける。
【0039】(第11実施例)次に、上記各実施例のい
ずれかの光学式センサ装置を、基板等の薄板を吸着して
移送する工程に適用した場合の例について図18を参照
して説明する。図18(a)は、例えばガラスのような
表面が円滑な基板81が多数枚、積み重ねられており、
そこから基板81を1枚ずつ吸着器82によって吸着し
て搬送ライン83上に載置する工程を示している。本発
明の光学式センサ装置70は、この吸着器82により基
板81が1枚ずつ吸着されているか否かを検出できるよ
うに、吸着されて搬送ライン83上に移動する途上であ
って、板厚と直交する方向に幅のある直線光が照射でき
るように、投光部21と受光部22とを備えたものであ
る。
【0040】このように本発明の光学式センサ装置を吸
着移送工程で使用すると、例えば、図18(b)に示す
ように、基板81が適正に1枚吸着されていると、受光
部22においては、第1実施例と同様、図17(c)
(d)に示すように、受光量A1,B1が得られる。一
方、図18(e)に示すように、誤って基板81が例え
ば2枚吸着されていると、図17(f)(g)に示すよ
うに、受光量A2,B2が得られる。ここに、A1/B
1≠A2/B2であるので、誤吸着移送であるか否かを
容易に判別することが可能となる。本例によれば、基板
の1枚、2枚の厚み自体を測定するのではなく、被検知
対象物の幅が変化すると、位置情報が変わることと、基
板が常に同じ位置を通過することを利用して、1枚のと
きの位置情報を記憶させておくことで、その位置情報と
は異なった位置情報が出力されたときには、NGとす
る。こうして、動作が正常に行われているか否かを精度
良く判別することができる。
【0041】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、受光部を
成す受光ファイバ群の受光面積が、出射範囲内の少なく
とも1次元的な方向に対して変化するように形成された
簡単な構成でもって、投光部と受光部との間のある一定
範囲内に侵入し又は存在する物体の位置によって遮光量
つまり受光量が異なり、それに基づいて物体の有無、個
数、1次元的な位置、大きさ等を明確に検出することが
できる。また、従来のCCDを用いた場合等に比べて、
簡単な構成で、安価に、しかも広範囲での位置検出が可
能となる。また、受光ファイバ群の受光面積が一方向に
変化しているものと、それとは逆方向に変化しているも
のとの組み合わせにより構成されていれば、物体の位置
が変わると、2つの受光ファイバ群の受光量変化は逆方
向に変化するので、より明確に物体の有無、位置等を検
出することができる。また、受光ファイバ群の受光面積
が一方向に変化しているものと、受光面積が変化してい
ないものとの組み合わせにより構成されていても、上記
と同等の効果が得られる。また、受光ファイバ群の受光
面積の変化に対応して投光量を変化させてもよく、その
場合、物体の有無による受光部での受光量変化は大きく
なり、検出感度が高くなる。また、本発明は、光学式セ
ンサ装置の投光部と受光部とを液状物の垂れ下がり位
置、又は、検知対象物の搬送部を挟むようにして設ける
ことにより、液状物の垂れ下がりの切れを検査し、又
は、搬送されてくる検知対象物の高さの適否を検査する
検査装置を実現し、さらには、検知対象物が検知された
ときに、該検知対象物を一定位置で停止させる搬送物検
出装置を実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の第1実施例による光学式セン
サ装置の構成図、(b)は受光部の正面図、(c)
(d)は1次元方向に対する受光量の変化を示す図であ
る。
【図2】(a)は検出エリア内に物体が存在するときの
光の流れを示す図、(b)はそのときの一方の受光面の
1次元方向に対する受光量の変化を示す図、(c)は他
方の受光面の1次元方向に対する受光量の変化を示す
図、(d)は検出エリア内に(a)とは異なる位置に物
体が存在するときの光の流れを示す図、(e)は(d)
のときの一方の受光面の1次元方向に対する受光面積の
変化を示す図、(f)は(d)のときの他方の受光面の
1次元方向に対する受光面積の変化を示す図である。
【図3】光学式センサ装置の回路ブロック図である。
【図4】(a)(b)(c)は、受光部のファイバ群の
結束手法を示す図である。
【図5】(a)は光学式センサ装置の第2実施例による
構成図、(b)は受光部の正面図、(c)は検出エリア
内にワークが存在するときの光の流れを示す図、(d)
はそのときの受光面の1次元方向に対する受光量の変化
を示す図である。
【図6】(a)は光学式センサ装置の第3実施例の構成
図、(b)は受光部の正面図、(c)は出射範囲内にワ
ークが存在する場合の受光面(C)のX方向での受光量
を示す図、(d)は同場合の受光面(B)のX方向での
受光量を示す図である。
【図7】(a)(b)は、第1又は第2実施例における
ワークが太いときと、ワークが細いときのX方向での受
光面(A)(B)の受光量変化を示す図である。
【図8】第3実施例の光学式センサ装置の回路ブロック
図である。
【図9】(a)は光学式センサ装置の第4実施例による
構成図、(b)はファイバ群を示す図である。
【図10】(a)(b)は第5実施例の光学式センサ装
置における投光部の側面図及び正面図である。
【図11】(a)(b)はそれぞれ光学式センサ装置の
第6実施例による構成図である。
【図12】(a)(b)は第6実施例の光学式センサ装
置の変形例による受光部の構成図である。
【図13】光学式センサ装置の第7実施例による構成図
である。
【図14】(a)(b)は投光側の投光量を離散的に変
化させ、第4実施例に対応させた例を示す構成図であ
る。
【図15】(a)は光学式センサ装置を搬送物検出装置
に適用した場合の構成図、(b)〜(g)はその動作を
説明するための図である。
【図16】光学式センサ装置を流体の液切れを検出する
装置に適用した例を示す構成図である。
【図17】(a)は光学式センサ装置をワークの高さ検
出に適用した例を示す構成図、(b)(c)はその動作
を説明するための図である。
【図18】(a)は光学式センサ装置を基板等の薄板を
吸着して移送する工程に適用した場合の例を示す構成
図、(b)〜(g)はその動作を説明するための図であ
る。
【図19】(a)は従来の光学式センサ装置の構成を示
す図、(b)はその動作を説明するための図である。
【図20】従来の光学式センサ装置の構成を示す図であ
る。
【図21】従来の光学式センサ装置の構成を示す図であ
る。
【符号の説明】
21 投光部 22 受光部 61 シール貼着装置 63 シート(搬送物) 70 光学式センサ装置 (A)(B) 受光面 FA,FB バンドルファイバ FC バンドルファイバ M 検出対象物(ワーク)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 31/12 G01V 9/04 F

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 投光部から受光部に向けて所定の範囲に
    光を出射し、物体がその出射範囲内にある場合には受光
    部でその光量変化を検出して、物体の有無、位置、大き
    さ等を検出する光学式センサ装置において、 前記受光部は受光ファイバ群から成り、この受光ファイ
    バ群の受光面積が、前記出射範囲内の少なくとも1次元
    的な方向に対して変化するように形成されていることを
    特徴とする光学式センサ装置。
  2. 【請求項2】 前記受光部は、前記の受光ファイバ群の
    受光面積が一方向に変化しているものと、それとは逆方
    向に変化しているものとの組み合わせにより構成されて
    いることを特徴とする請求項1に記載の光学式センサ装
    置。
  3. 【請求項3】 前記受光部は、前記の受光ファイバ群の
    受光面積が一方向に変化しているものと、受光面積が変
    化していないものとの組み合わせにより構成されている
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学式センサ装置。
  4. 【請求項4】 前記受光部の受光ファイバ群の受光面積
    の変化に対応して前記投光部による投光量を変化させた
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学式センサ装置。
  5. 【請求項5】 前記請求項1乃至4のいずれかに記載の
    光学式センサ装置における投光部と受光部とが、液状物
    の垂れ下がり位置を挟むようにして設けられ、液状物の
    液切れを検知することを特徴とする検査装置。
  6. 【請求項6】 前記請求項1乃至4のいずれかに記載の
    光学式センサ装置における投光部と受光部とが、検知対
    象物の搬送部を挟むようにして設けられ、搬送されてく
    る検知対象物の高さを検知し、基準高さとの違いから該
    検知対象物の適否を検知することを特徴とする検査装
    置。
  7. 【請求項7】 前記請求項1乃至4のいずれかに記載の
    光学式センサ装置における投光部と受光部とが検知対象
    物の搬送部を挟むようにして設けられ、搬送されてくる
    検知対象物を該装置により検知したときに、検知対象物
    を一定位置で停止させることを特徴とする搬送物検出装
    置。
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