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JPH0864732A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

Info

Publication number
JPH0864732A
JPH0864732A JP6202335A JP20233594A JPH0864732A JP H0864732 A JPH0864732 A JP H0864732A JP 6202335 A JP6202335 A JP 6202335A JP 20233594 A JP20233594 A JP 20233594A JP H0864732 A JPH0864732 A JP H0864732A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
integrated circuit
semiconductor integrated
cooling member
circuit device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6202335A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazushi Hatauchi
和士 畑内
Haruo Shimamoto
晴夫 島本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP6202335A priority Critical patent/JPH0864732A/ja
Priority to US08/466,929 priority patent/US5548482A/en
Publication of JPH0864732A publication Critical patent/JPH0864732A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367Cooling facilitated by shape of device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/40Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
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    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/40Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
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    • H01L25/10Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices having separate containers
    • H01L25/105Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】放熱フィンを基板と水平な方向の寸法の違うも
のに変更した場合でも柔軟に対応でき、また電子部品の
基板の水平方向と垂直方向の両方向の寸法の変動に柔軟
に対応でき、さらに電子部品からの発熱の放熱能力をよ
り向上させることができ、互いに高さ寸法が比較的大き
く異なる複数の電子部品に対して一つの冷却部材で十分
に対応できる半導体集積回路装置を提供する。 【構成】電子部品1の上面に熱伝導性樹脂又は熱伝導性
油脂4を介して対向する冷却部材と、基板2にはんだ付
けされ、前記冷却部材の外周部の一部をそれぞれ支持す
る少なくとも2つの熱伝導体5a,5bと、を含んでい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、基板に半導体集積回
路素子などの電子部品と該電子部品の冷却装置とを搭載
した半導体集積回路装置の改善に関する。
【0002】
【従来の技術】図11は従来の基板に搭載された半導体
集積回路素子などの電子部品とその冷却装置とを備えた
半導体集積回路装置の一例を示す図である。図11に示
すように、従来は、基板2に搭載された電子部品1に放
熱フィン3などの冷却部材を取り付ける際、接着剤8な
どを使用して接合していた。しかしながら、この方式で
は、放熱フィン3を電子部品1から取り外す際、両者を
破壊する恐れがある。また、放熱フィン3をネジによっ
て基板に固定する場合(例えば特開平5−243439
号)は、このネジを外すことにより放熱フィン3を電子
部品1から破壊することなく取り外すことができる。し
かしながら、このネジを使う場合は、基板2にネジ穴を
設けなければならず、そのネジ穴の存在により基板の装
着密度の向上が阻害されてしまうという問題がある。
【0003】これらの問題を解決するため、最近は、半
導体パッケージの上面に熱伝導性グリースなどの熱伝導
性油脂又は熱伝導性樹脂を介して放熱フィンを取付け、
この放熱フィンを、基板に固定された固定板の下面に取
り付けられたバネで下方に押圧しながら支持するように
した構成も提案されている(例えば特開平5−8268
8号)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のよう
な従来の半導体集積回路装置では、固定板は放熱フィン
を四方及び上方から支持するようにしているので、一つ
の固定板はそれに対応した寸法の放熱フィンにしか使用
できない。一般に、半導体パッケージなどの電子部品及
びそれに対応する放熱フィンの寸法、特に基板と水平な
方向の寸法は様々である。そのため、放熱フィンの種類
を違う寸法のものに変更した場合、変更後の放熱フィン
に適合する固定板がないなどの問題や、ある場合でもそ
の固定板を探して取り替える面倒があるなどの問題があ
る。
【0005】また従来の半導体集積回路装置において
は、電子部品及び放熱フィンは基板と水平な方向だけで
なくそれと垂直な方向でも様々な寸法のものがあるが、
この電子部品の水平方向と垂直方向の両方向の寸法の変
動になかなか柔軟に対応できない、という問題がある。
【0006】また従来の半導体集積回路装置において
は、近年の電子部品の大規模集積化に伴い、電子部品か
らの発熱を十分に効率的に放熱することが難しいという
問題がある。
【0007】さらに従来の半導体集積回路装置において
は、互いに高さ寸法が比較的大きく異なる複数の電子部
品に対して一つの冷却部材で十分に対応できないという
問題がある。
【0008】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたもので、その第1の目的は、冷却部材の種類
を基板と水平な方向の寸法の違うものに変更した場合で
も柔軟に対応できる電子部品の冷却装置を備えた半導体
集積回路装置を提供することである。
【0009】またその第2の目的は、冷却部材の水平方
向と垂直方向の両方向の寸法の変動に柔軟に対応できる
電子部品の冷却装置を備えた半導体集積回路装置を提供
することである。
【0010】またその第3の目的は、電子部品からの発
熱の放熱能力をより向上させることができる電子部品の
冷却装置を備えた半導体集積回路装置を提供することで
ある。
【0011】さらにその第4の目的は、互いに高さ寸法
が比較的大きく異なる複数の電子部品に対して一つの冷
却部材で十分に対応できる電子部品の冷却装置を備えた
半導体集積回路装置を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明による半導体集積
回路装置は、電子部品の上面に熱伝導性樹脂又は熱伝導
性油脂を介して対向する冷却部材と、基板にはんだ付け
され、前記冷却部材の外周部の一部をそれぞれ支持する
少なくとも2つの熱伝導体と、を含んでいる。
【0013】また、前記熱伝導体と冷却部材との間に
は、弾性部材が介在しているのがよい。
【0014】また、前記熱伝導体には、前記冷却部材の
基板に対してほぼ水平な一方向への移動を可能にするた
めの切欠きが形成されているのがよい。
【0015】また、前記熱伝導体の少なくとも1つは、
基板のサーマルビアの上にはんだ付けされていることが
望ましい。
【0016】また、前記1つの冷却部材は、互いに高さ
寸法の異なる複数の電子部品に対向しており、且つ、こ
れらの電子部品の中の比較的高さ寸法の小さいものと冷
却部材との間には、スペーサが介設されているのがよ
い。
【0017】さらに、前記1つの冷却部材は、互いに高
さ寸法の異なる複数の電子部品に対向しており、且つ、
この冷却部材の下面の前記複数の電子部品の中の比較的
高さ寸法の小さいものに対向する部分は、この電子部品
に近づく方向に突出しているのが望ましい。
【0018】
【作用】上述のように構成された電子部品の冷却装置を
備えた半導体集積回路装置では、電子部品と冷却部材と
は熱伝導性樹脂又は熱伝導性油脂を介して互いに対向さ
せられており、従来のように接着剤などにより固定され
てはいない。よって、電子部品から冷却部材の取り外し
が容易で、電子部品の交換時又は検査時に電子部品を破
壊する恐れがなく、また電子部品及び冷却部材の再利用
が可能になる。また、前記冷却部材は、その外周部の一
部が、前記2つの熱伝導体により、それぞれ支持される
ようになっている。よって、冷却部材の基板と水平な方
向の寸法の変動があっても、前記熱伝導体の基板へのは
んだ付け位置を変更することにより柔軟に対応できる。
【0019】また、前記熱伝導体と冷却部材との間に弾
性部材を介設することにより、電子部品の基板と垂直な
方向の高さ寸法の変動があっても、この弾性部材の変形
によりその寸法の変動を吸収できる。
【0020】また、前記熱伝導体に、前記冷却部材を基
板に対してほぼ水平な一方向に移動させるための切欠き
を形成することにより、検査時や基板のパターン改造時
などのように冷却部材のみを取り外す必要がある場合
に、熱伝導体を基板に固定するはんだを溶融することな
く、冷却部材のみを切欠きを介して移動させて取り除く
ことができる。
【0021】また、前記熱伝導体の少なくとも1つを基
板のサーマルビアの上にはんだ付けすることにより、電
子部品からの発熱が冷却部材からだけでなく熱伝導体を
経てこのサーマルビアからも放熱されるので、冷却装置
の放熱能力をより一層向上させることができる。
【0022】また、前記冷却部材を互いに高さ寸法の異
なる複数の電子部品に対向させ、且つこれらの電子部品
の中の比較的高さ寸法の小さいものと冷却部材との間に
スペーサを介設させることにより、互いに高さ寸法が比
較的大きく異なる複数の電子部品に対しても、一つの冷
却部材で十分に対応できるようになる。
【0023】さらに、前記冷却部材を互いに高さ寸法の
異なる複数の電子部品に対向させ、且つ、この冷却部材
の下面の前記複数の電子部品の中の比較的高さ寸法の小
さいものに対向する部分をこの電子部品に近づく方向に
突出させることにより、互いに高さ寸法が比較的大きく
異なる複数の電子部品に対しても、一つの冷却部材で十
分に対応できるようになる。
【0024】
【実施例】
実施例1.以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図1はこの発明の一実施例である電子部品の冷却装
置を備えた半導体集積回路装置を示す斜視図、図2はそ
の断面図である。これらの図において、1はIC、LS
Iなどの電子部品、2は電子部品1を搭載する基板、3
は電子部品1に取り付けられた放熱フィン、4は電子部
品1と放熱フィン3との間に介在され、両者間の熱伝導
を確保する熱伝導性樹脂もしくは熱伝導性油脂、5aは
放熱フィン3の4つの端部のうちの一方の側の2つの端
部を下方に押え支持する熱伝導体、5bは放熱フィン3
の4つの端部のうちの前記一方の側に対向する他方の側
の2つの端部を下方に押え支持する熱伝導体、6はこれ
らの熱伝導体5a,5bを基板2に接合するはんだであ
る。
【0025】次に上記の実施例において熱伝導体5a,
5bが放熱フィン3を押える機構について説明する。
今、電子部品1に対してその上面に熱伝導性樹脂もしく
は熱伝導性油脂4を塗布し、さらにその上面に放熱フィ
ン3を取り付ける。そしてその放熱フィン3の両側方か
ら熱伝導体5a及び5bを、放熱フィン3の4つの端部
すべてを押さえられるように設置する。そして、熱伝導
体5a,5bの脚部すなわち基板2と接する部分を、基
板2にはんだ6で接合する。
【0026】本実施例では、前述のように放熱フィン3
を押さえる熱伝導体5a,5bは、基板2とはんだ6で
接合されている。そのため、熱伝導体を取り付けるため
に基板に穴をあける必要がなく、また、はんだ6を溶融
することにより熱伝導体5a,5bを基板2から容易に
取り外すことができ、さらにこの熱伝導体5a,5b及
び放熱フィン3を再利用することもできる。
【0027】また本実施例では、ICやLSI等の電子
部品1に対して、接着剤ではなく熱伝導性樹脂もしくは
熱伝導性油脂4を介して放熱フィン3を取り付けている
ので、電子部品1から放熱フィン3の取り外しが容易に
できる。よって、電子部品1の交換時または検査時に電
子部品1及び放熱フィン3の分離に伴う破壊を危惧する
必要がない。
【0028】また本実施例では、電子部品1と放熱フィ
ン3との間に熱伝導性樹脂もしくは熱伝導性油脂4を介
しているので、この熱伝導性樹脂もしくは熱伝導性油脂
4の塗布量により、電子部品1、放熱フィン3、そして
放熱フィン3を押さえる熱伝導体5a,5bの間の水平
度誤差を吸収することができる。
【0029】また本実施例では、放熱フィン3を押さえ
る熱伝導体5a,5bは、放熱フィン3と接しているこ
とから放熱フィン3と共に放熱機能を発揮するので、冷
却装置全体の放射能力を向上させることができる。
【0030】また本実施例では、放熱フィン3を押さえ
支持するために、2つの熱伝導体5a,5bが、放熱フ
ィン3の4つの端部のうちの互いに対向する2つの端部
をそれぞれ含む互いに向かい合う2つの辺を、それぞれ
押さえるようにしている。この2つの熱伝導体5a,5
bは、互いに対向するように基板2にはんだ付けされる
ので、互いの距離はその対向する方向(図1の矢印A−
B方向)に任意に調整することが可能である。よって、
本実施例では、放熱フィン3の寸法が基板2にほぼ水平
な1方向(図1の矢印A−B方向)に変更されても柔軟
に対応できる。
【0031】実施例2.図3は本発明の実施例2を示す
ものである。図3の実施例では、放熱フィン3は4つの
熱伝導体(図3では、符号15a,15b,15cで示
す3つが図示されている)により支持されている。この
4つの熱伝導体は、放熱フィン3の4隅の端部をそれぞ
れ押さえて放熱フィン3を支持している。これらの4つ
の熱伝導体の相互間の基板2と水平な方向の距離は、熱
伝導体の相互の位置関係を変更することにより任意に変
更できる。よって本実施例によれば、放熱フィン3の基
板2と水平な方向の寸法の変更が生じた場合でも、前記
4つの熱伝導体の相互の位置関係を変更することによ
り、柔軟に対応することができる。
【0032】なお、この実施例2では、4つの熱伝導体
により放熱フィン3の4つの端部をそれぞれ押さえ支持
するようにしているが、本発明はこれに限られるもので
はなく、例えば4つのの熱伝導体により放熱フィン3の
4つの各辺をそれぞれ押さえ支持するようにしてもよ
い。あるいは、2つの熱伝導体により放熱フィン3の4
つの各辺の中の互いに対向する2つの辺のみをそれぞれ
押さえ支持するようにしてもよい。
【0033】実施例3.図4は本発明の実施例3を示す
ものである。図4の実施例では、図1に示す2つの熱伝
導体5a,5bの放熱フィン3を押圧する部分の下面に
それぞれコイルばね7が取り付けられ、放熱フィン3と
の間に介設されている。コイルばね7の取り付け位置
は、放熱フィン3の四隅に対向する熱伝導体5a,5b
の下面、あるいは放熱フィン3を押さえられる任意の箇
所である。
【0034】一般にICやLSI等の電子部品1には、
様々な高さのものがあり、放熱フィン3の厚さも一定値
ではない。本実施例によれば、これらに起因する高低差
に対してそれぞれの高さの熱伝導体を使用する必要がな
く、熱伝導体に取り付けたコイルばね7によりその高低
差を吸収することができる。さらに、コイルばね7の弾
力性により、電子部品1、放熱フィン3、そして放熱フ
ィン3を押さえる熱伝導体5a,5bの間の水平度誤差
を吸収することができる。また、コイルばね7に熱伝導
性の良い材料を用いることで放熱フィン3から熱伝導体
への熱伝導を促し、冷却装置全体の放熱効果を向上させ
ることができる。
【0035】なお、この実施例3では、図1に示す2つ
の熱伝導体5a,5bにそれぞれコイルばね7を設けた
例を示しているが、このばね7を、図3で示すような4
つの熱伝導体にそれぞれ設けるようにしてもよいことは
もちろんである。
【0036】実施例4.図5は本発明の実施例4を示す
ものである。図5の実施例では、2つの熱伝導体5a,
5bの放熱フィン3を押圧する部分の下面にそれぞれS
字状板ばね17が取り付けられ、これが熱伝導体5a,
5bと放熱フィン3との間に介設されている。このS字
状板ばね17は、熱伝導性の良好な材料で形成されてい
る。よって、この実施例4によっても、実施例3で前述
したのと同様の作用効果を奏することができる。
【0037】実施例5.図6は本発明の実施例5を示す
ものである。図6の実施例では、図1に示す電子部品の
冷却装置の2つの熱伝導体5a,5bの互いに対向する
2つの端部にそれぞれ、図示のような切欠き5cを形成
している。これにより、放熱フィン3は、切欠き5cの
方向(図6の矢印Cの方向)へ移動できるようになるの
で、検査時や放熱フィン3の交換時などに放熱フィン3
のみを電子部品1から分離させてこの矢印Cの方向に移
動させて取り出すことが可能になる。
【0038】実施例6.図7は本発明の実施例6を示す
ものである。図7の実施例では、図3に示す電子部品の
冷却装置の4つの熱伝導体の中の2つの熱伝導体15
a,15bの互いに対向する端部に、それぞれ切欠き1
5eを形成している。これにより、放熱フィン3は、切
欠き15eの方向(図7の矢印Dの方向)に移動可能と
なるので、放熱フィン3のみを電子部品1から分離させ
てこの矢印Dの方向に移動させて取り出すことが可能に
なる。
【0039】実施例7.図8は本発明の実施例7を示す
ものである。図8の実施例では、図1に示す電子部品の
冷却装置の熱伝導体5a,5bの脚部を、基板2のサー
マルビア2aの上に、はんだ付けするようにしている。
これにより、電子部品1からの発熱は、放熱フィン3か
ら放熱されるのみでなく、放熱フィン3から熱伝導体5
a,5bを経て前記サーマルビア2aからも放熱される
ので、この実施例による電子部品の冷却装置を備えた半
導体集積回路装置の全体の放熱能力をより一層向上させ
られるようになる。
【0040】実施例8.図9は本発明の実施例8を示す
ものである。図9の実施例では、互いに高さ寸法の異な
る複数の電子部品1に対して放熱フィン3を、少なくと
も1つの熱伝導性の良好なスペーサ9を介して、熱伝導
性樹脂もしくは熱伝導性油脂4により接合し、さらに放
熱フィン3を押さえる2つの熱伝導体5a,5bを基板
2にはんだ6で固定したものである。すなわち、放熱フ
ィン3の寸法を水平方向に大型化し、基板2に搭載した
寸法の異なる複数の電子部品1の上面に熱伝導性樹脂も
しくは熱伝導性油脂4を塗布し、1つの放熱フィン3と
複数の電子部品1とを接合している。
【0041】一般的には、このように複数の電子部品1
の放熱に一つの放熱フィン3を使用する場合、複数の電
子部品1の相互の高さ寸法の違いは、熱伝導性樹脂もし
くは熱伝導性油脂4の塗布量を調節することで吸収でき
ることが少なくない。しかし、その高さ寸法の相違が大
きくなると、この塗布量の調整では間に合わない場合が
ある。そのような場合のため、本実施例では、高さ寸法
の比較的小さい電子部品1と放熱フィン3との間に、ス
ペーサ9を介在させ、このスペーサ9と熱伝導性樹脂も
しくは熱伝導性油脂4とを介して、複数の電子部品1と
放熱フィン3との接合を行うようにしている。このよう
に、スペーサ9を介在させることにより、一つの放熱フ
ィン3で高さ寸法のかなり異なる複数の電子部品1の放
熱を行うことができるようになる。
【0042】実施例9.図10は本発明の実施例9を示
すものである。図10の実施例では、互いに高さ寸法の
かなり異なる複数の電子部品1に対し、少なくとも1つ
の放熱フィン3を、熱伝導性樹脂もしくは熱伝導性油脂
4を介して接合し、さらに放熱フィン3を押さえる2つ
の熱伝導体5a,5bを基板2にはんだ6で固定したも
のである。すなわち本実施例では、放熱フィン3の高さ
寸法の比較的小さい電子部品1の対向している下面を、
その電子部品1の方向に突出させるようにしている。こ
のように、放熱フィン3の高さ寸法の小さい電子部品1
に対向する部分を突出させて成る突出部3a,3bに、
実施例8のスペーサ9とほぼ同様な作用を行わせてい
る。よって、この実施例9によっても実施例8と同様の
効果を奏することができる。
【0043】
【発明の効果】上述のように構成された電子部品の冷却
装置を備えた半導体集積回路装置では、電子部品と冷却
部材とは熱伝導性樹脂又は熱伝導性油脂を介して互いに
対向させられており、従来のように接着剤などにより固
定されてはいない。よって、電子部品から冷却部材の取
り外しが容易で、電子部品の交換時又は検査時に電子部
品を破壊する恐れがなく、また電子部品及び冷却部材の
再利用が可能になる。また、前記冷却部材は、その外周
部の一部が、前記2つの熱伝導体により、それぞれ支持
されるようになっている。よって、冷却部材の基板と水
平な方向の寸法の変動があっても、前記熱伝導体の基板
へのはんだ付け位置を変更することにより柔軟に対応で
きる。
【0044】また、前記熱伝導体と冷却部材との間に弾
性部材を介設することにより、電子部品の基板と垂直な
方向の寸法の変動があっても、この弾性部材の変形によ
りその寸法の変動を吸収できる。
【0045】また、前記熱伝導体に、前記冷却部材を基
板に対してほぼ水平な一方向に移動させるための切欠き
を形成することにより、検査時や基板のパターン改造時
など冷却部材のみを取り外す必要が生じた場合に、熱伝
導体を基板に固定するはんだを溶融することなく、冷却
部材のみを切欠きを介して移動させて取り除くことがで
きる。
【0046】また、前記熱伝導体を基板のサーマルビア
の上にはんだ付けすることにより、電子部品からの発熱
が冷却部材からだけでなくこのサーマルビアからも放熱
されるので、放熱能力をより一層向上させることができ
る。
【0047】また、前記冷却部材を互いに高さ寸法の異
なる複数の電子部品に対向させ、且つこれらの電子部品
の中の比較的高さ寸法の小さいものと冷却部材との間に
スペーサを介設させることにより、互いに高さ寸法が比
較的大きく異なる複数の電子部品に対しても、一つの冷
却部材で十分に対応できるようになる。
【0048】さらに、前記冷却部材を互いに高さ寸法の
異なる複数の電子部品に対向させ、且つ、この冷却部材
の下面の前記複数の電子部品の中の比較的高さ寸法の小
さいものに対向する部分をこの電子部品に近づく方向に
突出させることにより、互いに高さ寸法が比較的大きく
異なる複数の電子部品に対しても、一つの冷却部材で十
分に対応できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1を示す斜視図である。
【図2】本発明の実施例1を示す断面図である。
【図3】本発明の実施例2を示す斜視図である。
【図4】本発明の実施例3を示す斜視図である。
【図5】本発明の実施例4を示す断面図である。
【図6】本発明の実施例5を示す斜視図である。
【図7】本発明の実施例6を示す斜視図である。
【図8】本発明の実施例7を示す断面図である。
【図9】本発明の実施例8を示す断面図である。
【図10】本発明の実施例9を示す断面図である。
【図11】従来の半導体集積回路装置を示す断面図であ
る。
【符号の説明】
1 電子部品 2 基板 3 放熱フィン 3a,3b 突出部 4 熱伝導性樹脂又は熱伝導性油脂 5a,5b,15a,15b,15c 熱伝導体 5c,15e 切欠き 6 はんだ 7 コイルばね 9 スペーサ 17 S字状ばね

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板に半導体集積回路素子などの電子部
    品と該電子部品の冷却装置とが搭載された半導体集積回
    路装置において、 前記電子部品の上面に熱伝導性樹脂又は熱伝導性油脂を
    介して対向する冷却部材と、 前記基板にはんだ付けされ、前記冷却部材の外周部の一
    部をそれぞれ支持する少なくとも2つの熱伝導体と、を
    含むことを特徴とする半導体集積回路装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体集積回路装置にお
    いて、前記熱伝導体と冷却部材との間には、弾性部材が
    介在している、ことを特徴とする半導体集積回路装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載の半導体集積回路装
    置において、前記熱伝導体には、前記冷却部材の基板に
    対してほぼ水平な一方向への移動を可能とするための切
    欠きが形成されている、ことを特徴とする半導体集積回
    路装置。
  4. 【請求項4】 請求項1、2又は3記載の半導体集積回
    路装置において、前記熱伝導体の少なくとも1つは、基
    板のサーマルビアの上にはんだ付けされている、ことを
    特徴とする半導体集積回路装置。
  5. 【請求項5】 請求項1から4までのいずれかに記載の
    半導体集積回路装置において、前記1つの冷却部材は、
    互いに高さ寸法の異なる複数の電子部品に対向してお
    り、且つ、これらの電子部品の中の比較的高さ寸法の小
    さいものと冷却部材との間には、スペーサが介設されて
    いる、ことを特徴とする半導体集積回路装置。
  6. 【請求項6】 請求項1から4までのいずれかに記載の
    半導体集積回路装置において、前記1つの冷却部材は、
    互いに高さ寸法の異なる複数の電子部品に対向してお
    り、且つ、この冷却部材の下面の前記複数の電子部品の
    中の比較的高さ寸法の小さいものに対向する部分は、こ
    の電子部品に近づく方向に突出させられている、ことを
    特徴とする半導体集積回路装置。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6621707B2 (en) 1998-08-11 2003-09-16 Fujitsu Limited Liquid-cooled electronic apparatus
JP2008041893A (ja) * 2006-08-04 2008-02-21 Denso Corp 放熱装置
US7595991B2 (en) 2001-06-29 2009-09-29 Intel Corporation Using the wave soldering process to attach motherboard chipset heat sinks
JP2013038209A (ja) * 2011-08-08 2013-02-21 Denso Corp 半導体装置の製造方法および半導体装置
JP2014073951A (ja) * 2012-09-11 2014-04-24 Denso Corp AlNウィスカー、樹脂組成物、油脂組成物及びAlNウィスカーの製造方法
WO2014073528A1 (ja) * 2012-11-06 2014-05-15 三菱電機株式会社 放熱フィンの基板固定構造
JPWO2014148026A1 (ja) * 2013-03-21 2017-02-16 日本電気株式会社 ヒートシンク構造、半導体装置及びヒートシンク搭載方法
CN106538085A (zh) * 2014-07-29 2017-03-22 艾科星科技公司 用于限制散热器的行进距离的设备、系统及方法
WO2017060944A1 (ja) * 2015-10-05 2017-04-13 三菱電機株式会社 電子制御装置

Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0936198A (ja) 1995-07-19 1997-02-07 Hitachi Ltd 真空処理装置およびそれを用いた半導体製造ライン
US5706171A (en) * 1995-11-20 1998-01-06 International Business Machines Corporation Flat plate cooling using a thermal paste retainer
US5699229A (en) * 1996-03-28 1997-12-16 Intel Corporation Compliant hinge clip attachment
US5977622A (en) * 1997-04-25 1999-11-02 Lsi Logic Corporation Stiffener with slots for clip-on heat sink attachment
US5898571A (en) * 1997-04-28 1999-04-27 Lsi Logic Corporation Apparatus and method for clip-on attachment of heat sinks to encapsulated semiconductor packages
JP2000517485A (ja) * 1997-07-01 2000-12-26 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ リード線付素子を有するプリント回路板及びこの素子を固着する方法
KR100320983B1 (ko) 1997-08-22 2002-06-20 포만 제프리 엘 칩조립체및직접적인개방열전도성경로의제공방법
US5966290A (en) * 1997-09-03 1999-10-12 Internatioinal Business Machines Corporation Electronic packages and a method to improve thermal performance of electronic packages
US5917701A (en) * 1997-11-05 1999-06-29 Artesyn Technologies, Inc. Heat sink hold-down clip
US6018460A (en) * 1998-01-13 2000-01-25 Lucent Technologies Inc. Flexible thermal conductor with electromagnetic interference shielding capability for electronic components
US5930116A (en) * 1998-06-12 1999-07-27 Harman International Industries, Incorporated Integrated clamping mechanism
US6064573A (en) * 1998-07-31 2000-05-16 Litton Systems, Inc. Method and apparatus for efficient conduction cooling of surface-mounted integrated circuits
KR100310099B1 (ko) 1998-08-20 2001-12-17 윤종용 반도체집적회로장치용방열장치및그것을구비하는휴대용컴퓨터
US6223970B1 (en) * 1999-05-11 2001-05-01 Yang-Shiau Chen Die set for welding fins and a base plate of a heat sink
US6888722B2 (en) * 1999-12-30 2005-05-03 Intel Corporation Thermal design for minimizing interface in a multi-site thermal contact condition
DE10014992C2 (de) * 2000-03-25 2002-01-31 Bosch Gmbh Robert Sensoranordnung
US6280222B1 (en) * 2000-07-25 2001-08-28 Hon Hai Precision Ind. Co., Ltd. LGA socket with reliable securing mechanism
TW484794U (en) * 2000-12-27 2002-04-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Heat sink
US6785137B2 (en) 2002-07-26 2004-08-31 Stmicroelectronics, Inc. Method and system for removing heat from an active area of an integrated circuit device
JP4173014B2 (ja) * 2003-01-17 2008-10-29 富士通株式会社 ヒートシンク及び電子機器の冷却装置及び電子機器
US7726385B2 (en) * 2004-02-23 2010-06-01 International Business Machines Corporation Heat dissipation interface for semiconductor chip structures
JP4433875B2 (ja) * 2004-05-14 2010-03-17 オムロン株式会社 発熱部品の放熱構造と、この放熱構造における放熱部材の製造方法
CN2706794Y (zh) * 2004-06-11 2005-06-29 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 导风装置
KR100708659B1 (ko) * 2005-01-15 2007-04-17 삼성에스디아이 주식회사 지능형 전원 모듈의 방열 구조, 이를 구비한 디스플레이모듈 및 지능형 전원 모듈의 방열판 설치 방법
KR100731482B1 (ko) * 2005-05-31 2007-06-21 삼성에스디아이 주식회사 구동회로기판 및 이를 구비한 평판형 디스플레이 장치
CN1988785A (zh) * 2005-12-23 2007-06-27 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 散热装置
US7498673B2 (en) * 2006-11-21 2009-03-03 International Business Machines Corporation Heatplates for heatsink attachment for semiconductor chips
CN101242723A (zh) * 2007-02-09 2008-08-13 富准精密工业(深圳)有限公司 弹片固定结构及散热模组
US20090152713A1 (en) * 2007-12-18 2009-06-18 Ioan Sauciuc Integrated circuit assembly including thermal interface material comprised of oil or wax
US8115303B2 (en) * 2008-05-13 2012-02-14 International Business Machines Corporation Semiconductor package structures having liquid coolers integrated with first level chip package modules
US20110155360A1 (en) * 2009-12-29 2011-06-30 Kechuan Kevin Liu Surface mount heat sink apparatus
JP5381730B2 (ja) * 2010-01-12 2014-01-08 富士通株式会社 ヒートシンク及びヒートシンク固定方法
US8659169B2 (en) * 2010-09-27 2014-02-25 Xilinx, Inc. Corner structure for IC die
US9591788B2 (en) * 2011-04-13 2017-03-07 Siemens Aktiengesellschaft Coupling system between a waste-heat generator and a waste-heat receiver
DE202012101076U1 (de) * 2011-04-14 2012-04-19 Visteon Global Technologies, Inc. Vorrichtung zum Kühlen von Batterien, insbesondere für Kraftfahrzeuge
JP5779042B2 (ja) * 2011-08-18 2015-09-16 新光電気工業株式会社 半導体装置
US8693200B2 (en) 2012-02-07 2014-04-08 International Business Machines Corporation Semiconductor device cooling module
CN104067388B (zh) * 2012-03-22 2017-02-15 富士电机株式会社 带散热鳍片的半导体模块
US9082743B2 (en) 2013-08-02 2015-07-14 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. 3DIC packages with heat dissipation structures
US9076754B2 (en) 2013-08-02 2015-07-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. 3DIC packages with heat sinks attached to heat dissipating rings
US9583415B2 (en) * 2013-08-02 2017-02-28 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Packages with thermal interface material on the sidewalls of stacked dies
JP5777175B2 (ja) * 2013-10-04 2015-09-09 Necプラットフォームズ株式会社 電子回路基板およびその組立方法
US20150282337A1 (en) 2014-03-28 2015-10-01 Black & Decker Inc. Variable-speed actuator for a power tool
TWM544192U (zh) * 2016-12-20 2017-06-21 Chin Mei Chin Mi Co Ltd 散熱裝置組合結構
US9992912B1 (en) * 2017-01-24 2018-06-05 Lianchun Industrial Co., Ltd. Heat dissipating device combined structure
US10541588B2 (en) 2017-05-24 2020-01-21 Black & Decker Inc. Electronic power module for a power tool having an integrated heat sink
US11948855B1 (en) * 2019-09-27 2024-04-02 Rockwell Collins, Inc. Integrated circuit (IC) package with cantilever multi-chip module (MCM) heat spreader
DE102020112809A1 (de) * 2020-05-12 2021-11-18 Lisa Dräxlmaier GmbH Kühlanordnung
GB2611028A (en) * 2021-09-17 2023-03-29 Aptiv Tech Ltd A method of fitting a cooling device to a circuit board and a circuit board cooling device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03208251A (ja) * 1990-01-11 1991-09-11 Toshiba Lighting & Technol Corp チップレス放電管
JPH04352391A (ja) * 1991-05-29 1992-12-07 Fujitsu Ltd 放熱体の取付構造
JPH05243439A (ja) * 1992-03-03 1993-09-21 Mitsubishi Electric Corp ヒートシンクの取付け機構

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6621707B2 (en) 1998-08-11 2003-09-16 Fujitsu Limited Liquid-cooled electronic apparatus
US7595991B2 (en) 2001-06-29 2009-09-29 Intel Corporation Using the wave soldering process to attach motherboard chipset heat sinks
JP2008041893A (ja) * 2006-08-04 2008-02-21 Denso Corp 放熱装置
JP2013038209A (ja) * 2011-08-08 2013-02-21 Denso Corp 半導体装置の製造方法および半導体装置
JP2014073951A (ja) * 2012-09-11 2014-04-24 Denso Corp AlNウィスカー、樹脂組成物、油脂組成物及びAlNウィスカーの製造方法
WO2014073528A1 (ja) * 2012-11-06 2014-05-15 三菱電機株式会社 放熱フィンの基板固定構造
JPWO2014148026A1 (ja) * 2013-03-21 2017-02-16 日本電気株式会社 ヒートシンク構造、半導体装置及びヒートシンク搭載方法
CN106538085A (zh) * 2014-07-29 2017-03-22 艾科星科技公司 用于限制散热器的行进距离的设备、系统及方法
CN106538085B (zh) * 2014-07-29 2018-12-25 迪讯技术有限责任公司 散热器以及散热器组合件
WO2017060944A1 (ja) * 2015-10-05 2017-04-13 三菱電機株式会社 電子制御装置
JPWO2017060944A1 (ja) * 2015-10-05 2017-11-30 三菱電機株式会社 電子制御装置

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