[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPH0818287A - Electronic part mounting device - Google Patents

Electronic part mounting device

Info

Publication number
JPH0818287A
JPH0818287A JP6151919A JP15191994A JPH0818287A JP H0818287 A JPH0818287 A JP H0818287A JP 6151919 A JP6151919 A JP 6151919A JP 15191994 A JP15191994 A JP 15191994A JP H0818287 A JPH0818287 A JP H0818287A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
fin
substrate
vacuum suction
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6151919A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroaki Sakamoto
博明 坂本
Hitoshi Odajima
均 小田島
Katsuhisa Tanaka
勝久 田中
Masato Matsuoka
真人 松岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP6151919A priority Critical patent/JPH0818287A/en
Publication of JPH0818287A publication Critical patent/JPH0818287A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable vacuum suction and attraction of a fin part by performing vacuum suction and attraction handling for it while keeping its opening part which easily chips and generates cracks when handled by a mechanical chuck method closed airtightly from an upper surface and right and left. CONSTITUTION:A fin 2 is attached to an upper surface of an electronic part 1. The fin 2 is constructed to effectively emit heat from the electronic part 1 and has a large surface area. When such a fin 2 is attracted, vacuum state is not generated just by vacuum suction from an upper surface of the fin 2 alone because of right and left opening parts of the fin 2 in a surface on the fin 2. As a countermeasure for this problem, right and left opening parts of the fin 2 of an electronic part 6 with a fin is closed by a soft sheet 19. The upper surface is further closed by a main suction block 11 and the fin is vacuum sucked and attracted from a tube.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フィン付電子部品を基
板に搭載する電子部品搭載に係り、特にフィン付電子部
品を真空吸着する事が出来る真空吸着ヘッド及び真空吸
着ヘッドを搭載した電子部品搭載装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to mounting electronic parts with finned electronic parts mounted on a substrate, and more particularly to a vacuum suction head capable of vacuum-sucking finned electronic parts and an electronic part equipped with the vacuum suction head. Onboard equipment.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は従来の電子部品のチャックヘッド
の様子を示した図である。図5において201は電子部
品であり、207は表面に搭載する基板である。チャッ
クヘッドの先端にはラバーで出来た吸着盤202があ
り、その下に電子部品201がある。この状態で真空吸
引パイプ205より真空吸引すると吸着盤202と電子
部品201の間のスキマ206が真空状態になり電子部
品201が真空吸引され吸着される。電子部品201が
基板207に接触するとアーム204が下降し、圧縮ス
プリング203が圧縮されて一定量の力が加圧される構
造となっている。基板207の上には仮固定液(図面上
には図示していない。)があり、電子部品201が搭載
されたならば仮固定液により電子部品201が基板20
7上よりズレない構成になっている。
2. Description of the Related Art FIG. 5 is a view showing a state of a conventional chuck head for electronic parts. In FIG. 5, 201 is an electronic component, and 207 is a substrate mounted on the surface. At the tip of the chuck head, there is a suction plate 202 made of rubber, and below that is the electronic component 201. When vacuum suction is performed from the vacuum suction pipe 205 in this state, the gap 206 between the suction plate 202 and the electronic component 201 is in a vacuum state, and the electronic component 201 is vacuum suctioned and suctioned. When the electronic component 201 comes into contact with the substrate 207, the arm 204 descends, the compression spring 203 is compressed, and a certain amount of force is applied. There is a temporary fixer (not shown in the drawing) on the substrate 207, and if the electronic component 201 is mounted, the electronic fixer 201 can be applied to the substrate 20 by the temporary fixer.
It has a structure that does not deviate from above 7.

【0003】電子部品搭載装置における基板への搭載方
法に関する従来技術として、例えば特開平5−1910
92号公報がある。この従来技術は、電子部品上の放熱
体を角形スカートで完全に包み込み、更に角形スカート
の4側面と電子部品の上面とを密接させ真空状態にし、
吸着する方法である。
As a conventional technique relating to a method of mounting an electronic component on a substrate, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 5-1910 is available.
There is No. 92 publication. In this prior art, the radiator on the electronic component is completely wrapped with a rectangular skirt, and further four side surfaces of the rectangular skirt and the upper surface of the electronic component are brought into close contact with each other to form a vacuum state.
It is a method of adsorption.

【0004】又、従来技術として放熱体のみを真空吸引
して、ハンドリングする方法はみあたらない。
Further, as a conventional technique, a method of vacuum suction of only a radiator to handle it has not been found.

【0005】又、ロボットハンド等によるメカチャック
方式では、フィンがカケたりクラックし易いのでハンド
リングは不可である。
Further, in the mechanical chuck system using a robot hand or the like, handling is not possible because the fins are easily cracked or cracked.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】電子部品の中でも熱量
が多く発生するものは図2に図示している様に、電子部
品1の上面に凹凸形状のフィン2を設置し、電子部品1
の発熱をフィン2に伝導し、冷却性を良くしていた。し
たがって、吸着盤をフィン2の凹凸形状の上面に吸着さ
せる従来形の構造の真空吸着ヘッドでは、吸着盤下面と
フィン2の凹凸上面との間に凹面は大気解放している為
に真空が発生しないので、フィン付電子部品6を真空吸
引し、吸着する事が出来ないという問題点があった。
Among electronic components that generate a large amount of heat, as shown in FIG. 2, the fins 2 having an uneven shape are installed on the upper surface of the electronic component 1, and the electronic component 1 is
The heat generated in (1) was conducted to the fins 2 to improve the cooling property. Therefore, in the vacuum suction head having the conventional structure in which the suction plate is sucked onto the uneven upper surface of the fin 2, a vacuum is generated because the concave surface is open to the atmosphere between the lower surface of the suction plate and the uneven upper surface of the fin 2. Therefore, there is a problem that the finned electronic component 6 cannot be sucked by vacuum suction.

【0007】本発明は、この問題点に対して考案された
ものであり、フィン付電子部品6の特にフィン2の部分
を真空吸引し吸着出来る事を目的としている。
The present invention was devised to solve this problem, and it is an object of the present invention to vacuum and suck the fins 2 of the electronic component 6 with fins, in particular.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、フィン
付電子部品のフィンの表面に真空状態を作りハンドリン
グする事が出来る真空吸着ヘッドが提供される。
According to the present invention, there is provided a vacuum suction head capable of creating and handling a vacuum state on the surface of the fin of the finned electronic component.

【0009】又、本発明によれば、真空吸着ヘッドによ
り真空吸引されたフィン付電子部品のエッジと、フィン
付電子部品を搭載する基板のエッジを計測する画像処理
装置が提供され更に、計測しズレが発生していたならば
その位置補正を行なう事が出来る位置補正機構が提供さ
れる。
Further, according to the present invention, there is provided an image processing apparatus for measuring an edge of a finned electronic component vacuum-sucked by a vacuum suction head and an edge of a substrate on which the finned electronic component is mounted. Provided is a position correction mechanism that can correct the position of the misalignment if it has occurred.

【0010】更に本発明によれば、基板に搭載する際フ
ィン付電子部品に毎回一定量の加圧を与え、毎回安定し
た位置精度を出す事が出来る加圧調整機構が提供され
る。
Further, according to the present invention, there is provided a pressure adjusting mechanism capable of applying a fixed amount of pressure to the finned electronic component each time when it is mounted on a substrate and providing stable position accuracy every time.

【0011】[0011]

【作用】上記目的を達成する為に本発明は、フィン付電
子部品のフィンの凹凸形状の開口部を上面と左右から塞
ぎ、密閉した状態でフィン付電子部品のフィンを真空吸
着ヘッドにより真空吸引する。フィン付電子部品のエッ
ジと、フィン付電子部品を搭載する基板のエッジをCC
Dカメラにより撮影する。それぞれのエッジのズレを画
像処理装置により計測し、ズレが発生していたならばX
Yテーブルとθテーブルによりズレの位置補正を行な
う。位置補正を行った後、フィン付電子部品を基板に搭
載する際、毎回一定量の加圧を与える。
In order to achieve the above object, the present invention closes the concave and convex openings of the fins of the electronic component with fins from the upper surface and the left and right, and in a sealed state, the fins of the electronic component with fins are vacuum-sucked by a vacuum suction head. To do. CC the edge of the finned electronic component and the edge of the board on which the finned electronic component is mounted.
Take a picture with the D camera. The deviation of each edge is measured by the image processing device, and if there is deviation, X
The misalignment position is corrected by the Y table and the θ table. After performing the position correction, a fixed amount of pressure is applied every time the finned electronic component is mounted on the substrate.

【0012】これにより本発明は、フィン付電子部品を
吸着ハンドリングし搭載する基板上に位置ズレを起こす
事なく、毎回安定したフィン付電子部品の搭載方法が提
供される。
Thus, the present invention provides a stable method of mounting a finned electronic component every time without attracting and handling the finned electronic component on the substrate on which it is mounted.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明の実施例を図1,図2,図3,
図4を用いて説明する。図2は真空吸着ヘッド10とフ
ィン付電子部品6の斜視図である。電子部品1の上面に
は図の様なフィン2が付いている。このフィン2は電子
部品1からの熱を効率良く発熱する構造となっており表
面積が多くなっている。この様なフィン2を吸着する場
合、フィン2の上面からだけの真空吸引だけだとフィン
2上の表面には左右にフィン2の開口部がある為に真空
状態が発生しない。よってこれを防ぐ為の対策として、
軟質シート19によりフィン付電子部品6のフィン2の
左右の開口部を塞ぐ。更に上面はメイン吸引ブロック1
1により塞ぎ、チューブA12より真空吸引し吸着す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a perspective view of the vacuum suction head 10 and the finned electronic component 6. A fin 2 as shown in the figure is attached to the upper surface of the electronic component 1. The fin 2 has a structure that efficiently generates heat from the electronic component 1 and has a large surface area. When such a fin 2 is sucked, if only vacuum suction from the upper surface of the fin 2 is performed, a vacuum state does not occur because the surface of the fin 2 has openings of the fin 2 on the left and right. Therefore, as a measure to prevent this,
The soft sheet 19 closes the left and right openings of the fin 2 of the finned electronic component 6. Furthermore, the upper surface is the main suction block 1
It is closed by 1, and is suctioned by vacuum suction from the tube A12.

【0014】この一連の動作を図3(a),図3
(b),図3(c),図3(d)において説明する。図
3(a)は真空吸着ヘッド10がフィン付電子部品6の
上面にあり、これからチャックしょうとしている図を示
す。左右の軟質シート19はサブ吸引ブロックB13,
サブ吸引ブロックC15上面によるチューブB14,チ
ューブC16により伝わった真空によりサブ吸引ブロッ
クB13,サブ吸引ブロックC15下面の開口部に真空
吸引され吸着されている。
This series of operations is shown in FIGS.
This will be described with reference to (b), FIG. 3 (c) and FIG. 3 (d). FIG. 3A shows a diagram in which the vacuum suction head 10 is on the upper surface of the finned electronic component 6 and is about to be chucked. The left and right soft sheets 19 are the sub suction blocks B13,
The vacuum transmitted by the tubes B14 and C16 by the upper surface of the sub-suction block C15 is vacuum-sucked and adsorbed by the openings of the lower surfaces of the sub-suction block B13 and the sub-suction block C15.

【0015】左右の軟質シート19をサブ吸引ブロック
B13,サブ吸引ブロックC15に真空吸引し吸着する
理由は、フィン付電子部品6の上面に真空吸着ヘッド1
0を下降させる時真空吸着ヘッド10の左右の2枚の軟
質シート19の設置されている幅とフィン付電子部品6
のフィン2の幅が同じに製作されているからである。よ
って左右の2枚の軟質シート19を開き、フィン2の幅
よりも広い状態にして下降する。
The reason why the left and right soft sheets 19 are vacuum-sucked and sucked by the sub-suction block B13 and the sub-suction block C15 is that the vacuum suction head 1 is attached to the upper surface of the finned electronic component 6.
When 0 is lowered, the width of the two soft sheets 19 on the left and right of the vacuum suction head 10 and the finned electronic component 6 are set.
This is because the fins 2 have the same width. Therefore, the two left and right soft sheets 19 are opened to be wider than the width of the fins 2 and lowered.

【0016】図3(b)は真空吸着ヘッド10がフィン
付電子部品6をハンドリングする為に、下降した様子を
示す。この様に軟質シート19は、真空吸着ヘッド10
がフィン付電子部品6のフィン2に接触する瞬間迄サブ
吸引ブロックB13,サブ吸引ブロックC15により真
空吸引保持されており、軟質シート19がフィン付電子
部品6のフィン2に接触する恐れはない。
FIG. 3B shows a state in which the vacuum suction head 10 is lowered to handle the finned electronic component 6. As described above, the soft sheet 19 is used for the vacuum suction head 10.
Is sucked and held by the sub-suction block B13 and the sub-suction block C15 until the moment when the sheet comes into contact with the fin 2 of the finned electronic component 6, and there is no fear that the soft sheet 19 comes into contact with the fin 2 of the finned electronic component 6.

【0017】図3(c)では軟質シート19がフィン付
電子部品6のフィン2の左右の開口部に接触した状態を
示す。ここでは、左右の2枚の軟質シート19を真空吸
引しているサブ吸引ブロックB13,サブ吸引ブロック
C15の真空状態を解除する。次にメイン吸引ブロック
11上面にあるチューブA12より真空吸引を開始する
と、フィン付電子部品6のフィン2の開口部上面からの
真空が開口部の左右に伝達し、左右の2枚の軟質シート
19がフィン2の開口部の左右に密着する。これによ
り、フィン付電子部品6のフィン2の上面と左右の開口
部がそれぞれ真空吸着ヘッド10のメイン吸引ブロック
11の下面と、左右の2枚の軟質シート19により塞が
れ、気密性が保たれる、よって真空吸引でき吸着する事
が出来る。
FIG. 3C shows a state where the soft sheet 19 is in contact with the left and right openings of the fin 2 of the finned electronic component 6. Here, the vacuum state of the sub-suction block B13 and the sub-suction block C15 which are vacuum-sucking the two left and right soft sheets 19 is released. Next, when vacuum suction is started from the tube A12 on the upper surface of the main suction block 11, the vacuum from the upper surface of the opening of the fin 2 of the finned electronic component 6 is transmitted to the left and right of the opening, and the two soft sheets 19 on the left and right are provided. Adhere to the left and right sides of the opening of the fin 2. As a result, the upper surface and the left and right openings of the fins 2 of the finned electronic component 6 are closed by the lower surface of the main suction block 11 of the vacuum suction head 10 and the two left and right soft sheets 19, respectively, and airtightness is maintained. Therefore, it can be sucked in vacuum and can be adsorbed.

【0018】図3(d)では、真空吸着ヘッド10によ
りフィン付電子部品6のフィン2を真空吸引し吸着し持
ち上げた状態を示す。
FIG. 3D shows a state in which the fin 2 of the finned electronic component 6 is vacuum-sucked, sucked and lifted by the vacuum suction head 10.

【0019】図1は本発明の電子部品搭載装置の全体構
成図を示す。ここでは各ユニットの働きを説明する。ベ
ース52は4本の除振アジャスター51により支えられ
ており、水平に設置されている。ベース52上にはスタ
ンド53が設置されておりZ方向の駆動源としてZ軸シ
リンダ54と、垂直に降下させる為の案内ガイドA55
があり、更に微調整用にマイクロメータヘッド58と引
張スプリング60と案内ガイドB61が設置されてい
る。更にサブベース59が降下していく時の衝撃,振動
を除く為にショックアブソーバ57と任意の位置に停止
する事ができるストッパ56が設けられている。
FIG. 1 shows an overall configuration diagram of an electronic component mounting apparatus of the present invention. Here, the function of each unit will be described. The base 52 is supported by four vibration isolation adjusters 51 and is installed horizontally. A stand 53 is installed on the base 52, and a Z-axis cylinder 54 as a drive source in the Z direction and a guide guide A55 for vertically descending.
Further, a micrometer head 58, a tension spring 60, and a guide guide B61 are installed for fine adjustment. Further, a shock absorber 57 and a stopper 56 that can be stopped at an arbitrary position are provided in order to eliminate shock and vibration when the sub base 59 descends.

【0020】図3(a)〜図3(d)で説明した動作に
よりフィン付電子部品6をチャックしたならば、Z軸シ
リンダ54を駆動源として、案内ガイドA55によりフ
ィン付電子部品6を搭載する基板101の2〜3(mm)
手前迄降下してくる。この時基板101上にはディスペ
ンサ等(図示なし)により仮固定液100が塗布してあ
り、基板101上に搭載したフィン付電子部品6の位置
ズレを防ぐ。基板101上面の2〜3(mm)迄降下して
きたならば、マイクロメータヘッド58を回転させ降下
し基板101に接触させる。この時、案内ガイドB61
により垂直に降下してくる。又ブラケット62には引張
スプリング60が取り付けてあり、Z方向には自由に上
下の微調整が行える構造となっている。
When the finned electronic component 6 is chucked by the operation described with reference to FIGS. 3A to 3D, the finned electronic component 6 is mounted by the guide guide A55 using the Z-axis cylinder 54 as a drive source. 2-3 (mm) of substrate 101
It descends to the front. At this time, the temporary fixer 100 is applied on the substrate 101 by a dispenser or the like (not shown) to prevent the finned electronic component 6 mounted on the substrate 101 from being displaced. When it is lowered to 2 to 3 (mm) on the upper surface of the substrate 101, the micrometer head 58 is rotated to be lowered and brought into contact with the substrate 101. At this time, guide guide B61
Comes down vertically. A tension spring 60 is attached to the bracket 62 so that fine adjustment can be freely performed in the Z direction.

【0021】平行板バネ70には、歪ゲージ71が取り
付けられており、荷重が掛かった時に歪ゲージ71より
発生する微小電圧を変換器72により荷重の値に変換す
る表示カウンター73が設置されている。すなわち、フ
ィン付電子部品6が基板101に接触し更には、押圧を
掛ける時に今いくらの荷重が掛かっているのかを知る事
が出来る。又これにより毎回一定圧の荷重を掛ける事が
出来る。尚平行板バネ70は荷重が作用してきた時上下
方向に平行に移動出来る構造となっている。
A strain gauge 71 is attached to the parallel leaf spring 70, and a display counter 73 for converting a minute voltage generated by the strain gauge 71 into a load value by a converter 72 when a load is applied. There is. That is, it is possible to know how much load is being applied when the finned electronic component 6 comes into contact with the substrate 101 and is further pressed. Also, this allows a constant pressure load to be applied every time. The parallel leaf spring 70 has a structure capable of moving in parallel in the vertical direction when a load is applied.

【0022】図2の真空吸着ヘッド10にある、通光穴
A17,通光穴B18はメイン吸引ブロック11とサブ
吸引ブロックB13,サブ吸引ブロックC15との境目
を中心として円状の穴が開いている。この2箇所の通光
穴A17,通光穴B18はフィン付電子部品6のフィン
2のエッジA3,エッジB4の真上の位置にある。点線
で示した円は通光穴A17に相当する位置5を示す。
In the vacuum suction head 10 of FIG. 2, the light passage holes A17 and the light passage holes B18 are circular holes centered on the boundary between the main suction block 11 and the sub suction blocks B13 and C15. There is. The two light passing holes A17 and B18 are located directly above the edges A3 and B4 of the fin 2 of the finned electronic component 6. The circle indicated by the dotted line indicates the position 5 corresponding to the light passing hole A17.

【0023】よって図1に示すハロゲンランプ74は真
空吸着ヘッド10の通光穴A17,通光穴B18と同じ
位置の真上の位置に配置されている。このハロゲンラン
プ74の光源が真空吸着ヘッド10の通光穴A17,通
光穴B18を通過していきフィン付電子部品6のフィン
2のエッジA3,エッジB4に照射される。スコープ8
2では、暗視野の画像としてフィン付電子部品6のフィ
ン2のエッジA3,エッジB4が取り込まれる。
Therefore, the halogen lamp 74 shown in FIG. 1 is arranged at a position right above the light passing holes A17 and B18 of the vacuum suction head 10. The light source of the halogen lamp 74 passes through the light passing hole A17 and the light passing hole B18 of the vacuum suction head 10 and is applied to the edges A3 and B4 of the fin 2 of the finned electronic component 6. Scope 8
In 2, the edges A3 and B4 of the fin 2 of the finned electronic component 6 are captured as a dark-field image.

【0024】真空吸着ヘッド10のメイン吸引ブロック
11とサブ吸引ブロックB13,サブ吸引ブロックC1
5の真空吸引力はエジェクター75により得られる。エ
ジェクター75は図に示す様に、圧縮空気を圧空チュー
ブ76から入れるとエジェクター75内部でディフュー
ザ効果により真空が発生する構成となっている。これに
より連結されている真空チューブ78により真空吸引す
る。又、排出空気は図の排空チューブ77より排出され
る。
The main suction block 11, the sub suction block B13, and the sub suction block C1 of the vacuum suction head 10
The vacuum suction force of 5 is obtained by the ejector 75. As shown in the figure, the ejector 75 is configured to generate a vacuum inside the ejector 75 by the diffuser effect when compressed air is introduced from the compressed air tube 76. Vacuum suction is performed by the vacuum tube 78 connected thereby. Further, the exhaust air is exhausted from the exhaust tube 77 in the figure.

【0025】基板101と真空吸着ヘッド10に吸引さ
れているフィン付電子部品6の位置決めは、仮固定液1
00が塗布される前に基板101上面0.1(mm)の位
置において行われる。
The positioning of the finned electronic component 6 sucked by the substrate 101 and the vacuum suction head 10 is performed by the temporary fixing liquid 1
It is performed at a position of 0.1 (mm) on the upper surface of the substrate 101 before 00 is applied.

【0026】図4は基板101とフィン付電子部品6の
位置補正を行なう前後のモニター画面を示す。図1,図
4において、基板101の基板エッジ24とフィン付電
子部品6のフィン2のフィン付電子部品のエッジ23を
モニター画面25上に写しだし、それぞれのX方向の乖
離20、Y方向の乖離21、θ方向の乖離22を画像処
理装置83により計測する。次ぎにそれぞれのX方向の
乖離20、Y方向の乖離21は、XYテーブル104に
より位置補正を行い、θ方向の乖離22はθテーブル7
9により位置補正を行う。又Zテーブル103は基板1
01の基板エッジ24とCCDカメラ80のスコープ8
2の焦点距離を調整するのにもちいられる。CCDカメ
ラ80先端には、スコープ82が付いており狭い空間内
にも進入していける、更に拡大レンズ81が装備されて
いるので、拡大して観察する事が出来、位置補正を0.
01(mm)単位で行う事が出来る。
FIG. 4 shows a monitor screen before and after the position correction of the board 101 and the finned electronic component 6. In FIG. 1 and FIG. 4, the substrate edge 24 of the substrate 101 and the edge 23 of the finned electronic component of the fin 2 of the finned electronic component 6 are projected on the monitor screen 25, and the deviation 20 in the X direction and the edge 20 in the Y direction are shown. The deviation 21 and the deviation 22 in the θ direction are measured by the image processing device 83. Next, the deviation 20 in the X direction and the deviation 21 in the Y direction are position-corrected by the XY table 104, and the deviation 22 in the θ direction is the θ table 7.
The position is corrected by 9. The Z table 103 is the substrate 1
01 substrate edge 24 and CCD camera 80 scope 8
It is also used to adjust the focal length of 2. At the tip of the CCD camera 80, a scope 82 is attached so that it can enter even a narrow space, and a magnifying lens 81 is also provided, so that it is possible to magnify and observe, and position correction is performed to 0.
It can be done in units of 01 (mm).

【0027】CCDカメラ80により撮影された基板1
01の基板エッジ24とフィン付電子部品6のフィン2
のフィン付電子部品6のエッジ23の映像は、ケーブル
により画像処理装置83に接続され、モニター84上に
映し出される。
Substrate 1 taken by CCD camera 80
01 substrate edge 24 and fin 2 of finned electronic component 6
An image of the edge 23 of the finned electronic component 6 is connected to the image processing device 83 by a cable and is displayed on the monitor 84.

【0028】更に、基板101下のプレート102に
は、基板101の基板エッジ24がCCDカメラ80の
スコープ82により充分観察出来る位の穴が開いてい
る。図中には図示しなかったが、CCDカメラはもう一
台あり、これはフィン付電子部品6のエッジ23の対角
線上の点を観察している事はゆうまでもない。
Further, the plate 102 under the substrate 101 has a hole so that the substrate edge 24 of the substrate 101 can be sufficiently observed by the scope 82 of the CCD camera 80. Although not shown in the figure, there is another CCD camera, and needless to say, this observes a point on the diagonal line of the edge 23 of the finned electronic component 6.

【0029】以上の動作で位置補正を行いフィン付電子
部品6を基板101に接触させ一定の加圧力を掛けて、
真空吸着ヘッド10をフィン付電子部品6の安定した搭
載が毎回行う事が出来る事を特徴とする電子部品搭載装
置である。
The position correction is performed by the above operation, the finned electronic component 6 is brought into contact with the substrate 101, and a constant pressure is applied,
The electronic component mounting apparatus is characterized in that the vacuum suction head 10 can stably mount the electronic component 6 with fins every time.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上説明した様に本発明によれば、フィ
ン付電子部品を真空吸引し吸着し基板上の正確な位置に
毎回安定的に搭載する事ができる。
As described above, according to the present invention, the finned electronic component can be vacuum-sucked and adsorbed to be stably mounted at a correct position on the substrate every time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実地例を示す電子部品搭載装置の全体
概観図である。
FIG. 1 is an overall view of an electronic component mounting apparatus showing a practical example of the present invention.

【図2】真空吸着ヘッドとフィン付電子部品の斜視図で
ある。
FIG. 2 is a perspective view of a vacuum suction head and a finned electronic component.

【図3】真空吸着ヘッドがフィン付電子部品を真空ハン
ドリングする一連の工程を示した図である。
FIG. 3 is a diagram showing a series of steps in which a vacuum suction head vacuum handles electronic components with fins.

【図4】電子部品搭載装置の位置補正機構を説明する図
である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a position correction mechanism of an electronic component mounting device.

【図5】従来の電子部品のハンドリング方法を示した図
である。
FIG. 5 is a diagram showing a conventional electronic component handling method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…電子部品、2…フィン、3…エッジA、4…エッジ
B、5…通光穴Aに相当する位置、6…フィン付電子部
品、10…真空吸着ヘッド、11…メイン吸引ブロッ
ク、12…チューブA、13…サブ吸引ブロックB、1
4…チューブB、15…サブ吸引ブロックC、16…チ
ューブC、17…通光穴B、18…通光穴C、19…軟
質シート、20…X方向の乖離、21…Y方向の乖離、
22…θ方向の乖離、23…フィン付電子部品のエッ
ジ、24…基板のエッジ、25…モニタ画面、51…除
振アジャスター、52…ベース、53…スタンド、54
…Z軸シリンダ、55…案内ガイドA、56…ストッパ
ー、57…ショックアブソーバ、58…マイクロメータ
ヘッド、59…サブベース、60…引張スプリング、6
1…案内ガイドB、62…ブラケット、71…歪ゲー
ジ、72…変換器、73…表示カウンター、74…ハロ
ゲンランプ、75…エジェクター、76…圧縮空気、7
7…排出空気、78…チューブ、79…θテーブル、8
0…CCDカメラ、81…拡大レンズ、82…スコー
プ、83…画像処理装置、84…モニター、100…仮
固定液、101…基板、102…プレート、103…Z
テーブル、104…XYテーブル、201…電子部品、
202…吸着盤、203…圧縮スプリング、204…ア
ーム、205…真空吸引パイプ、206…真空状態、2
07…基板。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electronic component, 2 ... Fin, 3 ... Edge A, 4 ... Edge B, 5 ... Position corresponding to light passing hole A, 6 ... Electronic component with fin, 10 ... Vacuum suction head, 11 ... Main suction block, 12 … Tube A, 13… Sub suction block B, 1
4 ... Tube B, 15 ... Sub suction block C, 16 ... Tube C, 17 ... Light passing hole B, 18 ... Light passing hole C, 19 ... Soft sheet, 20 ... Deviation in X direction, 21 ... Deviation in Y direction,
22 ... Deviation in θ direction, 23 ... Edge of electronic component with fin, 24 ... Edge of substrate, 25 ... Monitor screen, 51 ... Vibration isolation adjuster, 52 ... Base, 53 ... Stand, 54
Z axis cylinder, 55 guide guide A, 56 stopper, 57 shock absorber, 58 micrometer head, 59 subbase, 60 tension spring, 6
1 ... Guide guide B, 62 ... Bracket, 71 ... Strain gauge, 72 ... Transducer, 73 ... Display counter, 74 ... Halogen lamp, 75 ... Ejector, 76 ... Compressed air, 7
7 ... Exhaust air, 78 ... Tube, 79 ... θ table, 8
0 ... CCD camera, 81 ... Magnifying lens, 82 ... Scope, 83 ... Image processing device, 84 ... Monitor, 100 ... Temporary fixative, 101 ... Substrate, 102 ... Plate, 103 ... Z
Table, 104 ... XY table, 201 ... Electronic parts,
202 ... suction plate, 203 ... compression spring, 204 ... arm, 205 ... vacuum suction pipe, 206 ... vacuum state, 2
07 ... substrate.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松岡 真人 神奈川県秦野市堀山下1番地株式会社日立 製作所汎用コンピュータ事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Masato Matsuoka 1 Horiyamashita, Hadano City, Kanagawa Prefecture Hitachi, Ltd. General Computer Division

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板上に電子部品を搭載する電子部品搭載
装置において、メカチャック方式でハンドリングを行な
うとカケたりクラックをおこし易いフィンの開口部を上
面と左右から塞ぎ密閉した状態で真空吸引し、吸着ハン
ドリングする事を特徴とする真空吸着ヘッド。
1. In an electronic component mounting apparatus for mounting electronic components on a substrate, vacuum suction is performed in a state where the fin openings that are prone to chipping or cracking when handled by a mechanical chuck method are closed from the top and left and right sides and sealed. Vacuum suction head characterized by suction handling.
【請求項2】基板上に電子部品を搭載する電子部品搭載
装置において、請求項1で記した真空吸着ヘッドにより
真空吸引し、吸着したフィン付電子部品のエッジと基板
のエッジをCCDカメラにより撮影し、それぞれのエッ
ジのズレを画像処理装置により計測し、XYテーブルと
θテーブルによりその位置補正を行なう事を特徴とする
位置補正機構。
2. An electronic component mounting apparatus for mounting an electronic component on a substrate, wherein the edge of the finned electronic component and the edge of the substrate suctioned by the vacuum suction head described in claim 1 are photographed by a CCD camera. Then, the position correction mechanism is characterized in that the deviation of each edge is measured by the image processing device and the position is corrected by the XY table and the θ table.
【請求項3】基板上に電子部品を搭載する電子部品搭載
装置において、請求項1で記した真空吸着ヘッドにより
フィン付電子部品を吸着し基板に搭載する際加圧し、フ
ィン付電子部品に毎回一定量の加圧を与える事を特徴と
する加圧調整機構。
3. An electronic component mounting apparatus for mounting electronic components on a substrate, wherein the electronic component with fins is sucked by the vacuum suction head according to claim 1 and pressure is applied when the electronic component is mounted on the substrate. A pressure adjustment mechanism characterized by giving a certain amount of pressure.
【請求項4】基板上に電子部品を搭載する電子部品搭載
装置において、請求項1から3の機構を備えて構成され
る事を特徴とする電子部品搭載装置。
4. An electronic component mounting apparatus for mounting an electronic component on a substrate, comprising the mechanism according to any one of claims 1 to 3.
JP6151919A 1994-07-04 1994-07-04 Electronic part mounting device Pending JPH0818287A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6151919A JPH0818287A (en) 1994-07-04 1994-07-04 Electronic part mounting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6151919A JPH0818287A (en) 1994-07-04 1994-07-04 Electronic part mounting device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0818287A true JPH0818287A (en) 1996-01-19

Family

ID=15529073

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6151919A Pending JPH0818287A (en) 1994-07-04 1994-07-04 Electronic part mounting device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0818287A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009535278A (en) * 2006-04-28 2009-10-01 トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト Method and machine assembly for handling a workpiece with at least one through opening

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009535278A (en) * 2006-04-28 2009-10-01 トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト Method and machine assembly for handling a workpiece with at least one through opening
US8292277B2 (en) 2006-04-28 2012-10-23 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Methods and systems for workpiece handling

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5296529B2 (en) Method and apparatus for measuring dimensional change of transparent substrate
JP6774714B2 (en) Work stage and exposure equipment
KR20090066226A (en) Apparatus and method for the removal of pellicles from masks
KR102078935B1 (en) Apparatus for Mounting Conductive Ball
KR100638411B1 (en) Mount head and transfer head
JPH07183261A (en) Method for sticking wafer
US10804240B2 (en) Method of mounting conductive ball
US20160001543A1 (en) Bonding device, bonding system, and bonding method
JPH0818287A (en) Electronic part mounting device
JP2515490B2 (en) Method and apparatus for stacking substrates bonded by bonding
WO2017209115A1 (en) Method for mounting die
JP2003282684A (en) Glass board supporting jig
JP2020194192A (en) Method for absorbing and holding workpiece, workpiece stage and exposure apparatus
JP4880521B2 (en) Drawing device
JP3376875B2 (en) Apparatus and method for transferring conductive balls
JPH08313815A (en) Positioning and holding device for substrate member
JPH05218180A (en) Substrate holding device
JP2007324404A (en) Array mask support device
JP2004363399A (en) Die bonding method of electronic component and die bonder
WO2024062801A1 (en) Film forming apparatus and film forming method
JP3954334B2 (en) Substrate straightening device
TWI778206B (en) Stripping device
JP2600892Y2 (en) Sample holder
JPH04106939A (en) Die bonding device
JPH05344284A (en) Picture reader