[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPH08178671A - Piezoelectric vibration gyroscope - Google Patents

Piezoelectric vibration gyroscope

Info

Publication number
JPH08178671A
JPH08178671A JP6324322A JP32432294A JPH08178671A JP H08178671 A JPH08178671 A JP H08178671A JP 6324322 A JP6324322 A JP 6324322A JP 32432294 A JP32432294 A JP 32432294A JP H08178671 A JPH08178671 A JP H08178671A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric vibrator
piezoelectric
vibration
vibrator
circuit board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6324322A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiromichi Kobayashi
広道 小林
Koichi Shuda
浩一 習田
Masahiko Takahashi
正彦 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokin Corp
Original Assignee
Tokin Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokin Corp filed Critical Tokin Corp
Priority to JP6324322A priority Critical patent/JPH08178671A/en
Publication of JPH08178671A publication Critical patent/JPH08178671A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

PURPOSE: To downsize a gyroscope and allow the surface mounting by adhering and fixing, to a circuit board, a cylindrical piezoelectric vibrator having a soft elastic body adhered and fixed onto the nodal point or nodal line of vibration. CONSTITUTION: Since a molding 20 of soft elastic body is adhered and fixed onto the nodal point or nodal line of vibration of a cylindrical piezoelectric vibrator 1, and this vibrator 1 provided with the molding 20 is adhered and fixed to a circuit board 18, the board 18 is used also as a piezoelectric vibrator holder to minimize the height and the connecting area. The vibrator 1 is connected to a lead wire connecting terminal 23 on the board 18 by a lead wire 22, the mounting part of a piezoelectric vibration gyroscope driving and detecting circuit and the vibrator 1 are mounted on one surface of the board 18, and a through-hole for a surface mounting terminal 19 is provided on the board end surface to form a power supply and signal taking terminal. For the IC of the mounting part on the board 18, a bare chip part 21 is wire-bonded, and coated with a mold resin 24, whereby the area of the mounting part is minimized.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カメラ一体型VTRの
手振れ防止や自動車のナビゲーションシステムなどに用
いられるジャイロスコープの内、特に圧電振動子の超音
波振動を用いた、いわゆる圧電振動ジャイロに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a so-called piezoelectric vibrating gyroscope using ultrasonic vibration of a piezoelectric vibrator, among gyroscopes used for camera shake prevention of a camera-integrated VTR and navigation systems of automobiles.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電振動ジャイロは振動している物体
(以後、この励振する振動の方向をX方向と記す。)に
回転角速度が与えられると、その振動(励振)方向と直
角な方向(以後、この振動の方向をY方向と記す。)に
コリオリ力を生ずるという力学現象を利用したジャイロ
スコープである。一方の振動を励振した状態で、振動子
を回転させると、前述のコリオリ力の作用によりこの振
動と直角な方向に力が働き、他方の振動が励振される。
この振動の大きさは入力側の振動の大きさ及び回転角速
度に比例するため、入力電圧を一定にした状態で、この
振動の大きさに比例した出力電圧の大きさから回転角速
度の大きさを求めることができる。
2. Description of the Related Art A piezoelectric vibrating gyroscope, when a rotating angular velocity is applied to a vibrating object (hereinafter, the direction of this exciting vibration is referred to as the X direction), a direction perpendicular to the vibrating (exciting) direction (hereinafter , And the direction of this vibration is referred to as the Y direction.) Is a gyroscope that utilizes a mechanical phenomenon that a Coriolis force is generated in the Y direction. When one of the vibrations is excited and the vibrator is rotated, the Coriolis force causes a force to act in a direction perpendicular to the vibration, and the other vibration is excited.
Since the magnitude of this vibration is proportional to the magnitude of the vibration on the input side and the rotational angular velocity, the magnitude of the rotational angular velocity can be changed from the magnitude of the output voltage proportional to the magnitude of this vibration with the input voltage kept constant. You can ask.

【0003】図2(a)は、圧電振動ジャイロに用いら
れる圧電振動子の構造概略図である。
FIG. 2A is a schematic structural view of a piezoelectric vibrator used in a piezoelectric vibrating gyro.

【0004】図2(a)において圧電セラミックス円柱
(以下、圧電振動子という。)1の外周面上の円周を6
等分する位置に、長さ方向と平行な6個の帯状電極2〜
7が形成されている。6個の帯状電極2〜7は円周に沿
って一つおきに、その両端を接続電極8−1,8−2に
接続されている。これら帯状電極2〜7は、曲面にスク
リーン印刷で直接形成するか、あるいはメッキ等で全面
に形成したのち、電極の不要部分をフォトエッチングに
より除去することによって容易に製造される。
In FIG. 2A, the circumference on the outer peripheral surface of a piezoelectric ceramic cylinder (hereinafter referred to as a piezoelectric vibrator) 1 is 6
Six strip-shaped electrodes 2 parallel to the length direction at equal positions
7 are formed. The six strip electrodes 2 to 7 are alternately arranged along the circumference, and both ends thereof are connected to the connection electrodes 8-1 and 8-2. These strip electrodes 2 to 7 are easily manufactured by directly forming them on a curved surface by screen printing, or by forming them on the entire surface by plating or the like, and then removing unnecessary portions of the electrodes by photoetching.

【0005】図2(b)は、圧電振動子1の構造断面図
である。前記6個の帯状電極2〜7のうち、円周に沿っ
て一つおきにアース端子2,4,6とし、1個の帯状電
極3を駆動端子、残りの2個の帯状電極5,7を検出端
子とする。
FIG. 2B is a structural sectional view of the piezoelectric vibrator 1. Of the six strip-shaped electrodes 2 to 7, the earth terminals 2, 4 and 6 are alternately arranged along the circumference, one strip-shaped electrode 3 is a drive terminal, and the remaining two strip-shaped electrodes 5 and 7 are provided. Is the detection terminal.

【0006】図3は、従来の圧電ジャイロの構造概略図
である。圧電振動子1は、軟弾性体の接着性を有するシ
リコーンゴム13を介して圧電振動子用ホルダー10に
接着、固定されている。圧電振動子1の1個の駆動端子
と2個の検出端子および共通アース端子はそれぞれリー
ド線12により圧電振動子用ホルダー10の各端子15
に半田付けにより接続される。圧電振動子1を具備した
圧電振動子用ホルダー10は、基板接続端子16と回路
基板9を半田付けにより接続し、その後金属外ケース1
1に挿入し、底面側からシリコーン樹脂14によってモ
ールドされる。尚、17は端子ピンである。
FIG. 3 is a schematic view of the structure of a conventional piezoelectric gyro. The piezoelectric vibrator 1 is bonded and fixed to the piezoelectric vibrator holder 10 via a silicone rubber 13 having a soft elastic adhesive property. One drive terminal, two detection terminals, and a common ground terminal of the piezoelectric vibrator 1 are respectively connected to the terminals 15 of the piezoelectric vibrator holder 10 by the lead wires 12.
It is connected by soldering. In the piezoelectric vibrator holder 10 including the piezoelectric vibrator 1, the board connection terminal 16 and the circuit board 9 are connected by soldering, and then the metal outer case 1
1 and is molded with the silicone resin 14 from the bottom side. Incidentally, 17 is a terminal pin.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】従来の圧電振動ジャイ
ロにおいて圧電振動子1の支持部は、一波長共振で振動
する柱状圧電振動子の振動の節点あるいは節線上を軟弾
性のシリコーンゴムで接着し、このシリコーンゴムを圧
電振動子用ホルダーに接着し、さらにこの圧電振動子用
ホルダーは回路基板に半田付けで固定されるという構成
になっている。
In the conventional piezoelectric vibrating gyro, the supporting portion of the piezoelectric vibrator 1 is bonded with a soft elastic silicone rubber at the vibration nodal points or nodal lines of the columnar piezoelectric vibrator vibrating at one wavelength resonance. The silicone rubber is bonded to the piezoelectric vibrator holder, and the piezoelectric vibrator holder is fixed to the circuit board by soldering.

【0008】このように、従来の支持では圧電振動子
1、シリコーンゴム、ホルダー、回路基板という順番に
構成されることにより高さ方向が大きくなってしまうと
いう問題点があった。
As described above, in the conventional support, there is a problem in that the piezoelectric vibrator 1, the silicone rubber, the holder, and the circuit board are arranged in this order, so that the height direction becomes large.

【0009】また、圧電振動子用ホルダーの寸法により
回路基板上に接続面積を多くとってしまうという問題点
もあった。
There is also a problem in that a large connection area is required on the circuit board depending on the size of the piezoelectric vibrator holder.

【0010】従って、従来の圧電振動ジャイロに対して
は、高さ方向と接続面積について更に小型化が望まれて
いた。
Therefore, further reduction in size in the height direction and connection area has been desired for the conventional piezoelectric vibration gyro.

【0011】本発明の目的は、従来の圧電振動ジャイロ
をより小型化し表面実装を可能とした圧電振動ジャイロ
を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrating gyro which is smaller than the conventional piezoelectric vibrating gyro and can be surface-mounted.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、回転角
速度が与えられると、励振方向と直角な方向にコリオリ
力による振動を生じ、互いに直交する二方向の励振と検
出が可能であるように構成された圧電振動子を用いて構
成された圧電振動ジャイロにおいて、一波長共振で振動
する柱状圧電振動子の振動の節点あるいは節線上に、軟
弾性体を接着固定した後、該軟弾性体を具備した前記柱
状圧電振動子を回路基板に接着固定したことを特徴とす
る圧電振動ジャイロが得られる。
According to the present invention, when a rotational angular velocity is applied, vibration due to Coriolis force is generated in a direction perpendicular to the excitation direction, and it is possible to perform excitation and detection in two directions orthogonal to each other. In a piezoelectric vibrating gyroscope configured by using the piezoelectric vibrator configured as described above, a soft elastic body is bonded and fixed to a vibration node or a nodal line of a columnar piezoelectric vibrator that vibrates at one wavelength resonance, and then the soft elastic body is bonded. A piezoelectric vibrating gyro is obtained in which the columnar piezoelectric vibrator having the above is bonded and fixed to a circuit board.

【0013】また、本発明によれば、更に、他の電子回
路部品を含み、前記回路基板の片面のみに前記柱状圧電
振動子及び前記他の電子回路部品を実装したことを特徴
とする圧電振動ジャイロが得られる。
Further, according to the present invention, a piezoelectric vibration further comprising another electronic circuit component, wherein the columnar piezoelectric vibrator and the other electronic circuit component are mounted only on one surface of the circuit board. You get a gyro.

【0014】更に、本発明によれば、前記回路基板の端
面に、電源及び出力端子部として半割のスルーホールを
設け、該スルーホールにより表面実装を可能としたこと
を特徴とする圧電振動ジャイロが得られる。
Further, according to the present invention, a piezoelectric vibrating gyro is characterized in that a half-divided through hole is provided as an electric power source and an output terminal portion on an end face of the circuit board, and the through hole enables surface mounting. Is obtained.

【0015】[0015]

【作用】本発明の圧電振動ジャイロにおける支持方法を
用いた場合、圧電振動子の支持部は、振動子、軟弾性
体、回路基板という順番に構成され、回路基板が圧電振
動子用ホルダーの役目を兼ねることにより、従来の高さ
方向と接続面積をより小型にすることができる。
When the supporting method of the piezoelectric vibrating gyroscope according to the present invention is used, the supporting portion of the piezoelectric vibrator is composed of the vibrator, the soft elastic body and the circuit board in this order, and the circuit board serves as a holder for the piezoelectric vibrator. By also functioning as above, the conventional height direction and the connection area can be made smaller.

【0016】また、本発明の圧電振動ジャイロは、電子
回路部品および前記柱状圧電振動子を上面のみに実装
し、その回路基板端面の部分に電源および出力端子部と
して半割のスルーホールを作り、この部分を使用するこ
とにより表面実装が可能となる。
In the piezoelectric vibrating gyroscope of the present invention, the electronic circuit component and the columnar piezoelectric vibrator are mounted only on the upper surface, and half-through holes are formed at the end surface of the circuit board as power source and output terminal portions. By using this portion, surface mounting becomes possible.

【0017】[0017]

【実施例】以下、本発明の実施例に係る圧電振動ジャイ
ロについて、図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A piezoelectric vibrating gyroscope according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0018】図1に、本発明の一実施例として、小型S
MD型圧電振動ジャイロの構造概略図を示す。
FIG. 1 shows a small S as an embodiment of the present invention.
The structural schematic diagram of an MD type piezoelectric vibrating gyro is shown.

【0019】本実施例は、回転角速度が与えられると、
励振方向と直角な方向にコリオリ力による振動を生じ、
互いに直交する二方向の励振と検出が可能であるように
構成された圧電振動子を用いて構成された圧電振動ジャ
イロにおいて、一波長共振で振動する柱状圧電振動子の
振動の節点あるいは節線上に、軟弾性体を接着固定した
後、該軟弾性体を具備した前記柱状圧電振動子を回路基
板に接着固定したものである。
In this embodiment, when a rotational angular velocity is given,
Vibration due to Coriolis force is generated in the direction perpendicular to the excitation direction,
In a piezoelectric vibrating gyroscope configured by using a piezoelectric vibrator configured so that it can be excited and detected in two directions orthogonal to each other, on a vibration node or node line of a columnar piezoelectric vibrator that vibrates with one wavelength resonance After the soft elastic body is adhered and fixed, the columnar piezoelectric vibrator provided with the soft elastic body is adhered and fixed to the circuit board.

【0020】また、本実施例では、更に、他の電子回路
部品を含み、前記回路基板の片面のみに前記柱状圧電振
動子及び前記他の電子回路部品を実装している。
Further, in this embodiment, the electronic device further includes other electronic circuit components, and the columnar piezoelectric vibrator and the other electronic circuit components are mounted only on one surface of the circuit board.

【0021】更に、本実施例では、前記回路基板の端面
に、電源及び出力端子部として半割のスルーホールを設
け、該スルーホールにより表面実装を可能としている。
Further, in the present embodiment, a half-divided through hole is provided on the end surface of the circuit board as a power source and output terminal portion, and the through hole enables surface mounting.

【0022】以上の構成を図1に即して具体的に説明す
れば、本実施例では、柱状圧電振動子1の振動の節点あ
るいは節線上に、軟弾性体の成形品20を接着固定した
後、該軟弾性体の成形品20を具備した振動子を回路基
板18に接着固定している。これにより、回路基板18
が圧電振動子用ホルダーの役目を兼ねて、高さ方向と接
続面積を小型にしている。また、固定された柱状圧電振
動子1は、リード線22によって回路基板18上のリー
ド線接続端子23と接続される。回路基板18には、片
面に圧電振動ジャイロ用駆動・検出回路の実装部品およ
び柱状圧電振動子1を実装し、基板端面には表面実装用
の端子19となる半割のスルーホールが設けられ、これ
が電源供給および信号取り出し用の端子となる。前記回
路基板上の実装部品のICはベアチップ部品21をワイ
ヤーボンディングして樹脂24でコーティングすること
で実装部品の面積を小さくしている。その後、金属外ケ
ース25を回路基板18にかぶせて接着し小型SMD型
圧電振動ジャイロを構成する。
The above structure will be specifically described with reference to FIG. 1. In this embodiment, a soft elastic molded product 20 is bonded and fixed to the vibration node or the nodal line of the columnar piezoelectric vibrator 1. After that, the vibrator provided with the molded article 20 of the soft elastic body is adhered and fixed to the circuit board 18. Thereby, the circuit board 18
Also serves as a holder for the piezoelectric vibrator, and makes the height direction and connection area small. The fixed columnar piezoelectric vibrator 1 is connected to the lead wire connection terminal 23 on the circuit board 18 by the lead wire 22. The circuit board 18 is provided with a piezoelectric vibrating gyro drive / detection circuit mounting component and a columnar piezoelectric vibrator 1 mounted on one surface thereof, and a half-divided through hole serving as a surface mounting terminal 19 is provided on an end surface of the circuit board. This serves as a terminal for power supply and signal extraction. In the IC of the mounted component on the circuit board, the bare chip component 21 is wire-bonded and coated with the resin 24 to reduce the area of the mounted component. After that, the outer metal case 25 is placed on the circuit board 18 and bonded to form a small SMD type piezoelectric vibrating gyro.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、回転角
速度が与えられると、励振方向と直角な方向にコリオリ
力による振動を生じ、互いに直交する二方向の励振と検
出が可能であるように構成された圧電振動子を用いて構
成された圧電振動ジャイロにおいて、一波長共振で振動
する柱状圧電振動子の振動の節点あるいは節線上に、軟
弾性体を接着固定した後、該軟弾性体を具備した前記柱
状圧電振動子を回路基板に接着固定したので、小型で薄
型の圧電振動ジャイロが得られる。
As described above, according to the present invention, when a rotational angular velocity is applied, a Coriolis force causes vibration in a direction perpendicular to the excitation direction, and excitation and detection in two directions orthogonal to each other are possible. In a piezoelectric vibrating gyroscope configured by using a piezoelectric vibrator configured as described above, a soft elastic body is bonded and fixed to a vibration node or a nodal line of a columnar piezoelectric vibrator that vibrates at one wavelength resonance, and then the soft elasticity Since the columnar piezoelectric vibrator provided with the body is fixed to the circuit board by adhesion, a small and thin piezoelectric vibration gyro can be obtained.

【0024】また、前記回路基板の片面のみに前記柱状
圧電振動子及び他の電子回路部品を設けたので、カメラ
一体型VTR装置や自動車のナビゲーション装置の装置
基板への表面実装が可能である。
Further, since the columnar piezoelectric vibrator and other electronic circuit parts are provided only on one surface of the circuit board, surface mounting can be performed on the device board of a camera-integrated VTR device or an automobile navigation device.

【0025】更に、前記回路基板の端面に、電源及び出
力端子部として半割のスルーホールを設けたので、該ス
ルーホールにより上述した装置基板への表面実装が容易
になる。
Further, since half-through holes are provided as the power supply and output terminal portions on the end face of the circuit board, the through holes facilitate the surface mounting on the device board.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例に係るSMD型圧電振動ジャ
イロの構造概略図である。
FIG. 1 is a structural schematic diagram of an SMD type piezoelectric vibrating gyro according to an embodiment of the present invention.

【図2】一般的な圧電振動子の構造を示す図であり、
(a)はその圧電振動子の構造概略図、(b)はその圧
電振動子の構造断面図である。
FIG. 2 is a diagram showing a structure of a general piezoelectric vibrator,
(A) is a schematic structural view of the piezoelectric vibrator, and (b) is a structural sectional view of the piezoelectric vibrator.

【図3】従来の圧電振動ジャイロの構造概略図である。FIG. 3 is a schematic structural view of a conventional piezoelectric vibrating gyro.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 圧電振動子 2,4,6 帯状電極(アース端子) 3 帯状電極(駆動端子) 5,7 帯状電極(検出端子) 8−1,8−2 接続電極(アース端子) 9 圧電振動ジャイロ用駆動・検出回
路基板 10 圧電振動子用ホルダー 11 金属外ケース 12 リード線 13 シリコーンゴム 14 シリコーンモールド樹脂 15 リード線接続用ホルダー端子 16 回路基板接続用ホルダー端子 17,23 端子ピン 18 SMD型圧電振動ジャイロ用駆動
・検出回路基板 19 表面実装用端子 20 軟弾性体で成形した支持部 21 ベアチップのIC 22 リード線 23 リード線接続端子 24 モールド樹脂 25 金属外ケース
1 Piezoelectric vibrator 2,4,6 Band-shaped electrode (ground terminal) 3 Band-shaped electrode (driving terminal) 5,7 Band-shaped electrode (detection terminal) 8-1,8-2 Connection electrode (ground terminal) 9 Piezoelectric vibration gyro drive・ Detection circuit board 10 Piezoelectric vibrator holder 11 Metal outer case 12 Lead wire 13 Silicone rubber 14 Silicone mold resin 15 Lead wire connection holder terminal 16 Circuit board connection holder terminal 17,23 Terminal pin 18 SMD type piezoelectric vibration gyro Drive / detection circuit board 19 Surface mounting terminal 20 Support part molded with soft elastic body 21 Bare chip IC 22 Lead wire 23 Lead wire connection terminal 24 Mold resin 25 Metal outer case

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転角速度が与えられると、励振方向と
直角な方向にコリオリ力による振動を生じ、互いに直交
する二方向の励振と検出が可能であるように構成された
圧電振動子を用いて構成された圧電振動ジャイロにおい
て、一波長共振で振動する柱状圧電振動子の振動の節点
あるいは節線上に、軟弾性体を接着固定した後、該軟弾
性体を具備した前記柱状圧電振動子を回路基板に接着固
定したことを特徴とする圧電振動ジャイロ。
1. When a rotation angular velocity is applied, a Coriolis force causes vibration in a direction perpendicular to the excitation direction, and a piezoelectric vibrator configured to be capable of excitation and detection in two directions orthogonal to each other is used. In the configured piezoelectric vibrating gyro, a soft elastic body is bonded and fixed to a node or a line of vibration of a columnar piezoelectric vibrator vibrating with one wavelength resonance, and then the columnar piezoelectric vibrator including the soft elastic body is formed into a circuit. A piezoelectric vibrating gyro that is adhesively fixed to a substrate.
【請求項2】 請求項1記載の圧電振動ジャイロにおい
て、更に、他の電子回路部品を含み、前記回路基板の片
面のみに前記柱状圧電振動子及び前記他の電子回路部品
を実装したことを特徴とする圧電振動ジャイロ。
2. The piezoelectric vibrating gyro according to claim 1, further comprising another electronic circuit component, wherein the columnar piezoelectric vibrator and the other electronic circuit component are mounted only on one surface of the circuit board. Piezoelectric vibration gyro.
【請求項3】 請求項2記載の圧電振動ジャイロにおい
て、前記回路基板の端面に、電源及び出力端子部として
半割のスルーホールを設け、該スルーホールにより表面
実装を可能としたことを特徴とする圧電振動ジャイロ。
3. The piezoelectric vibrating gyro according to claim 2, wherein a half-divided through hole is provided on the end surface of the circuit board as a power source and an output terminal portion, and the through hole enables surface mounting. Piezoelectric vibrating gyro.
JP6324322A 1994-12-27 1994-12-27 Piezoelectric vibration gyroscope Pending JPH08178671A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6324322A JPH08178671A (en) 1994-12-27 1994-12-27 Piezoelectric vibration gyroscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6324322A JPH08178671A (en) 1994-12-27 1994-12-27 Piezoelectric vibration gyroscope

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08178671A true JPH08178671A (en) 1996-07-12

Family

ID=18164503

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6324322A Pending JPH08178671A (en) 1994-12-27 1994-12-27 Piezoelectric vibration gyroscope

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08178671A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1126241A2 (en) * 2000-02-15 2001-08-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibrating gyroscope and electronic apparatus incorporating the same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1126241A2 (en) * 2000-02-15 2001-08-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibrating gyroscope and electronic apparatus incorporating the same
US6532816B2 (en) 2000-02-15 2003-03-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibrating gyroscope and electronic apparatus incorporating the same
EP1126241A3 (en) * 2000-02-15 2003-12-17 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibrating gyroscope and electronic apparatus incorporating the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH07332988A (en) Vibration gyro
JPH08178671A (en) Piezoelectric vibration gyroscope
JPH07167883A (en) Vibration type angular velocity detector
JPH06123629A (en) Piezoelectric vibration gyroscope
JP3668536B2 (en) Piezoelectric vibration gyro
JPH07239235A (en) Supporting member of piezoelectric vibration gyro and assembling method using the same
JP3352201B2 (en) Piezoelectric vibration gyro
JP5277593B2 (en) Angular velocity sensor
JPH09318364A (en) Piezoelectric oscillation gyro
JPH08285609A (en) Oscillator for piezoelectric oscillating gyro
JP2552923Y2 (en) Bending vibrator support
JPH09304081A (en) Vibrator for piezoelectric vibration angle-velocity meter
JP3657073B2 (en) Piezoelectric vibration gyro
JP3293486B2 (en) Vibrating gyro
JP2534964Y2 (en) Surface mount type vibration gyro
JPH09257493A (en) Piezoelectric vibration gyro
JP2001304870A (en) Piezoelectric vibration gyro
JPH07318351A (en) Support structure of vibrator
JPH0814917A (en) Piezoelectric vibration gyro
JPH09218041A (en) Piezo-electric vibration gyroscope
JPH08233580A (en) Piezoelectric vibration gyro
JPH09292230A (en) Piezoelectric vibration gyro
JPH08184446A (en) Piezoelectric vibration gyro
JP2000258167A (en) Oscillator for piezoelectric oscillators and manufacture thereof
JPH08327371A (en) Piezoelectric vibration gyro

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20011205