[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP3293486B2 - Vibrating gyro - Google Patents

Vibrating gyro

Info

Publication number
JP3293486B2
JP3293486B2 JP23724496A JP23724496A JP3293486B2 JP 3293486 B2 JP3293486 B2 JP 3293486B2 JP 23724496 A JP23724496 A JP 23724496A JP 23724496 A JP23724496 A JP 23724496A JP 3293486 B2 JP3293486 B2 JP 3293486B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrating body
electrode
vibrating
piezoelectric substrate
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP23724496A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH1062178A (en
Inventor
本 克 己 藤
床 信 行 石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP23724496A priority Critical patent/JP3293486B2/en
Publication of JPH1062178A publication Critical patent/JPH1062178A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3293486B2 publication Critical patent/JP3293486B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は振動ジャイロに関
し、特にたとえば、カメラの手振れ防止、カーナビゲー
ションシステム、ポインティングデバイスなどに使用さ
れる振動ジャイロに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating gyroscope, and more particularly to a vibrating gyroscope used for a camera shake prevention, a car navigation system, a pointing device, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は従来の振動ジャイロの一例を示す
斜視図である。振動ジャイロ1は、振動体2を含む。振
動体2は、第1の圧電体基板3および第2の圧電体基板
4を接着することによって形成される。第1の圧電体基
板3および第2の圧電体基板4は、矢印で示すように、
互いに逆向きの厚み方向に分極される。
2. Description of the Related Art FIG . 5 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyroscope. The vibrating gyroscope 1 includes a vibrating body 2. The vibrating body 2 is formed by bonding the first piezoelectric substrate 3 and the second piezoelectric substrate 4 together. The first piezoelectric substrate 3 and the second piezoelectric substrate 4 are, as indicated by arrows,
Polarized in opposite thickness directions.

【0003】第1の圧電体基板3の外側主面には、分割
された電極5が形成される。電極5は、第1の圧電体基
板3の長手方向に延びる溝によって、幅方向に2分割さ
れている。さらに、電極5は、振動体2のノード点付近
において第1の圧電体基板3の幅方向に延びる2つの溝
によって、長手方向に3分割されている。つまり、電極
5は、6つの部分に分割されている。さらに、第2の圧
電体基板4の外側主面の全面に、別の電極6が形成され
る。振動体2のノード点付近において、電極6と支持台
7上の支持ピン8とが接続される。支持ピン8は、図6
に示すように、たとえば半田付けや接着剤などによっ
て、電極6に取り付けられている。
[0003] On the outer main surface of the first piezoelectric substrate 3, divided electrodes 5 are formed. The electrode 5 is divided into two in the width direction by grooves extending in the longitudinal direction of the first piezoelectric substrate 3. Further, the electrode 5 is divided into three in the longitudinal direction by two grooves extending in the width direction of the first piezoelectric substrate 3 near the node point of the vibrating body 2. That is, the electrode 5 is divided into six parts. Further, another electrode 6 is formed on the entire outer main surface of the second piezoelectric substrate 4. Near the node point of the vibrating body 2, the electrode 6 and the support pin 8 on the support 7 are connected. The support pins 8 are shown in FIG.
As shown in the figure, the electrode 6 is attached to the electrode 6 by, for example, soldering or an adhesive.

【0004】この振動ジャイロ1では、電極5の長手方
向の中央部にある2つの電極部分5a,5bと、それに
対向する電極6との間に、駆動信号が印加される。第1
の圧電体基板3および第2の圧電体基板4は、互いに逆
向きに分極されているため、振動体2はバイモルフ構造
となっており、駆動信号によって振動体2が電極5,6
形成面に直交する向きに屈曲振動する。このとき、振動
体2は、その長手方向の両端から少し内側にある2つの
ノード点を中心として屈曲振動する。このとき、電極部
分5a,5bからは同じ信号が出力されるため、これら
の電極部分5a,5bから出力される信号の差をとれ
ば、2つの出力信号が相殺されて0となる。
In the vibrating gyroscope 1, a drive signal is applied between two electrode portions 5a and 5b located at the center in the longitudinal direction of the electrode 5 and the electrode 6 opposed thereto. First
Since the piezoelectric substrate 3 and the second piezoelectric substrate 4 are polarized in directions opposite to each other, the vibrating body 2 has a bimorph structure, and the vibrating body 2 has the electrodes 5 and 6 by a drive signal.
Bending vibration occurs in a direction perpendicular to the forming surface. At this time, the vibrating body 2 bends and vibrates around two node points slightly inside from both ends in the longitudinal direction. At this time, since the same signal is output from the electrode portions 5a and 5b, if the difference between the signals output from these electrode portions 5a and 5b is obtained, the two output signals are canceled and become 0.

【0005】振動体2の軸を中心として回転すると、振
動体2の屈曲振動の向きに直交する向きにコリオリ力が
働く。そのため、振動体2の屈曲振動の方向が変わり、
電極部分5a,5bの出力信号が変化する。つまり、一
方の電極部分5aからの出力信号がコリオリ力に対応し
て増加すると、他方の電極部分5bからの出力信号はコ
リオリ力に対応して減少する。したがって、これらの電
極部分5a,5bからの出力信号の差をとれば、コリオ
リ力に対応した信号のみを得ることができる。このよう
に、電極部分5a,5bの出力信号の差を測定すること
によって、振動ジャイロ1に加わった回転角速度を検出
することができる。
When the vibrator 2 rotates about its axis, a Coriolis force acts in a direction orthogonal to the direction of the bending vibration of the vibrator 2. Therefore, the direction of the bending vibration of the vibrating body 2 changes,
The output signals of the electrode portions 5a and 5b change. That is, when the output signal from one electrode portion 5a increases according to the Coriolis force, the output signal from the other electrode portion 5b decreases according to the Coriolis force. Therefore, if a difference between the output signals from the electrode portions 5a and 5b is obtained, only a signal corresponding to the Coriolis force can be obtained. Thus, by measuring the difference between the output signals of the electrode portions 5a and 5b, the rotation angular velocity applied to the vibrating gyroscope 1 can be detected.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このような振動ジャイ
ロ1では、振動体2の屈曲振動がダンピングされないよ
うに、支持ピン8はできるだけ柔軟に変形するように設
計される。支持ピン8の剛性が高くなると、振動体2の
屈曲振動がダンピングされ、角速度センサとしての感度
やオフセットの安定性が損なわれる。逆に、支持ピン8
の柔軟性が高くなると、角速度センサとしての性能は向
上するが、強い衝撃が加わると支持ピン8の弾性限界を
越えてしまい、変形してしまうという問題がある。
In such a vibrating gyroscope 1, the supporting pin 8 is designed to be deformed as flexibly as possible so that the bending vibration of the vibrating body 2 is not damped. When the rigidity of the support pin 8 increases, the bending vibration of the vibrating body 2 is damped, and the sensitivity as an angular velocity sensor and the stability of the offset are impaired. Conversely, support pins 8
When the flexibility is increased, the performance as an angular velocity sensor is improved. However, when a strong impact is applied, the elasticity of the support pin 8 is exceeded and the support pin 8 is deformed.

【0007】それゆえに、この発明の主たる目的は、高
性能で、かつ強い耐衝撃性を有する振動ジャイロを提供
することである。
[0007] Therefore, a main object of the present invention is to provide a vibrating gyroscope having high performance and strong impact resistance.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明は、屈曲振動を
する振動体と、振動体を支持するための支持台と、振動
体の側面において接続されるとともに、該接続部から振
動体の長手方向に直交する方向に伸びて形成され、端部
が支持台に固定された導電材料からなる支持ピンと、振
動体との接続部において、振動体の側面から突出するよ
うに支持ピンに一体に形成される突起と、突起を支持台
に固定するための軟性樹脂とを含む、振動ジャイロであ
る。この振動ジャイロにおいて、振動体は、互いに接合
された2つの圧電体基板の外側主面に対向電極が形成さ
れ、電極の少なくとも一方が分割された構造とすること
ができる。
SUMMARY OF THE INVENTION This invention comprises a vibrator that the bending vibration, a support base for supporting the vibrating body, the vibrating
Connected on the side of the body and shaken from the connection
It is formed to extend in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the moving body,
A support pin made of conductive material fixed to the support
At the connection with the moving body, it protrudes from the side of the vibrating body.
And protrusions formed integrally with the urchin support pins, and a soft resins for fixing the projection to the support, a vibrating gyroscope. In this vibrating gyroscope, the vibrating body may have a structure in which opposing electrodes are formed on outer main surfaces of two piezoelectric substrates bonded to each other, and at least one of the electrodes is divided.

【0009】振動体の側面から突出するように支持ピン
に形成された突起が、軟性樹脂によって支持台に固定さ
れているため、突起は軟性樹脂で包まれ、突起のない支
持ピンを軟性樹脂で固定した場合に比べて、突起と軟性
樹脂との接触面積が大きい。そのため、突起と軟性樹脂
との間に大きい接着力を得ることができる。導電材料で
形成された支持ピンに突起を形成すれば、支持ピンを振
動体への信号の入出力用として用いることができる。2
つの圧電体基板を接合して振動体を形成することによ
り、バイモルフ構造とすることができ、振動体を効率よ
く屈曲振動させることができる。
[0009] Since the projection formed on the support pin so as to protrude from the side surface of the vibrating body is fixed to the support base by the soft resin, the projection is wrapped with the soft resin, and the support pin without the projection is provided. Is larger in contact area between the protrusions and the soft resin than when is fixed with the soft resin. Therefore, a large adhesive force can be obtained between the protrusion and the soft resin. If a projection is formed on a support pin formed of a conductive material, the support pin can be used for inputting / outputting a signal to / from the vibrating body. 2
By joining two piezoelectric substrates to form a vibrating body, a bimorph structure can be obtained, and the vibrating body can be flexibly vibrated efficiently.

【0010】[0010]

【発明の効果】この発明によれば、大きい接着力を得る
ことができるため、大きい衝撃が加わっても、支持ピン
に形成された突起が軟性樹脂から外れにくい。しかも、
支持ピンが軟性樹脂で固定されているため、振動体の屈
曲振動がダンピングされにくく、良好な特性を得ること
ができる。また、導電材料で形成された支持ピンを用い
れば、大きい支持強度を得ることができるとともに、信
号入出力用としても用いることができる。さらに、振動
体をバイモルフ構造とすることにより、振動体を効率よ
く屈曲振動させることができるため、良好な特性を得る
ことができる。
According to the present invention, since a large adhesive force can be obtained, even when a large impact is applied, the projections formed on the support pins are not easily detached from the soft resin . Moreover,
Since the support pins are fixed with the soft resin, the bending vibration of the vibrating body is not easily damped, and good characteristics can be obtained. In addition, if a support pin formed of a conductive material is used, a large support strength can be obtained, and the support pin can be used for signal input / output. Furthermore, since the vibrating body has a bimorph structure, the vibrating body can be efficiently bent and vibrated, so that good characteristics can be obtained.

【0011】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】図1はこの発明の振動ジャイロの
一例を示す斜視図である。振動ジャイロ10は、振動体
12を含む。振動体12は、第1の圧電体基板14およ
び第2の圧電体基板16を含む。第1の圧電体基板14
および第2の圧電体基板16としては、たとえば圧電セ
ラミックやLiNbO3 ,LiTaO3 などの単結晶な
どが用いられる。第1の圧電体基板14および第2の圧
電体基板16は、接合層18で接合される。接合層18
の材料としては、たとえばエポキシ樹脂などが用いられ
る。第1の圧電体基板14と第2の圧電体基板16と
は、図1の矢印に示すように、互いに逆向きの厚み方向
に分極される。したがって、振動体12は、バイモルフ
構造となる。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of a vibrating gyroscope according to the present invention. The vibrating gyroscope 10 includes a vibrating body 12. The vibrating body 12 includes a first piezoelectric substrate 14 and a second piezoelectric substrate 16. First piezoelectric substrate 14
As the second piezoelectric substrate 16, for example, a piezoelectric ceramic or a single crystal such as LiNbO 3 or LiTaO 3 is used. The first piezoelectric substrate 14 and the second piezoelectric substrate 16 are joined by a joining layer 18. Bonding layer 18
For example, an epoxy resin or the like is used. The first piezoelectric substrate 14 and the second piezoelectric substrate 16 are polarized in opposite thickness directions, as indicated by arrows in FIG. Therefore, the vibrating body 12 has a bimorph structure.

【0013】第1の圧電体基板14の外側主面には、第
1の電極20が形成される。第1の電極20には、第1
の圧電体基板14の長手方向に延びる溝22aと、第1
の圧電体基板14の幅方向に延びる2つの溝22bとが
形成される。溝22bは、振動体12が屈曲振動すると
きのノード点に対応する部分、つまり第1の圧電体基板
14の長手方向の両端から少し内側に入った部分に形成
される。これらの溝22a,22bによって、第1の電
極20が6つの電極部分20a,20b,20c,20
d,20eおよび20fに分割される。さらに、第2の
圧電体基板16の外側主面には、その全面に第2の電極
24が形成される。
A first electrode 20 is formed on the outer main surface of the first piezoelectric substrate 14. The first electrode 20 has the first
A groove 22a extending in the longitudinal direction of the piezoelectric substrate 14;
And two grooves 22b extending in the width direction of the piezoelectric substrate 14 are formed. The groove 22b is formed at a portion corresponding to a node point when the vibrating body 12 performs flexural vibration, that is, a portion slightly inside from both ends in the longitudinal direction of the first piezoelectric substrate 14. By these grooves 22a and 22b, the first electrode 20 is divided into six electrode portions 20a, 20b, 20c and 20.
d, 20e and 20f. Further, a second electrode 24 is formed on the entire outer main surface of the second piezoelectric substrate 16.

【0014】このような振動体12を作製するには、た
とえば大きい2枚の圧電体基板をエポキシ樹脂などで接
合して積層基板を形成し、一方の圧電体基板上に形成さ
れた電極に所定の間隔で溝を形成したのち、ダイシング
カットなどによって積層基板を切断すればよい。
In order to manufacture such a vibrating body 12, for example, two large piezoelectric substrates are joined with an epoxy resin or the like to form a laminated substrate, and predetermined electrodes are formed on one of the piezoelectric substrates. After the grooves are formed at the intervals, the laminated substrate may be cut by dicing or the like.

【0015】さらに、第2の電極24上には、図2に示
すように、金属などの導電材料で形成した支持ピン32
が形成される。支持ピン32は、振動体12の長手方向
に直交する方向に伸びるように形成される。支持ピン3
2の中央部には、突起26が形成され、突起26形成部
が振動体12に形成された第2の電極24に半田付けさ
れる。振動体12の屈曲振動については後述するが、突
起26は振動体12の屈曲振動のノード点に対応する部
分に配置され、振動体12の側面から突出するようにし
て支持ピン32に形成される。突起26としては、たと
えば支持ピン32と一体に形成されたL字状の金属片が
用いられる。なお、突起26と第2の電極24との接続
は接着剤などを用いてもよい。そして、支持ピン32の
端部は、支持台28に固定される。このとき、図3に示
すように、支持台28には、突起26に対応する間隔
で、軟性樹脂30が形成される。軟性樹脂30として
は、たとえばシリコン樹脂などが用いられる。この軟性
樹脂30によって突起26が包まれ、振動体12は支持
台28上に固定される。
Further, as shown in FIG. 2, a support pin 32 made of a conductive material such as a metal is provided on the second electrode 24.
Is formed. The support pins 32 are arranged in the longitudinal direction of the vibrating body 12.
Is formed so as to extend in a direction perpendicular to the direction. Support pin 3
2, a protrusion 26 is formed at the center, and a protrusion 26 forming portion is formed.
Is soldered to the second electrode 24 formed on the vibrating body 12.
It is. Although the bending vibration of the vibrating body 12 will be described later, the protrusion 26 is arranged at a portion corresponding to a node point of the bending vibration of the vibrating body 12 so as to protrude from the side surface of the vibrating body 12.
Formed on the support pin 32. As the protrusion 26, for example, an L-shaped metal piece formed integrally with the support pin 32 is used.
Used. The connection between the projection 26 and the second electrode 24
May use an adhesive or the like. And of the support pin 32
The end is fixed to the support 28. At this time, as shown in FIG. 3, the soft resin 30 is formed on the support 28 at intervals corresponding to the protrusions 26. As the soft resin 30 , for example, a silicon resin is used. This softness
The protrusion 26 is covered with the resin 30 , and the vibrating body 12 is fixed on the support 28.

【0016】この振動ジャイロ10を使用するには、図
4に示すように、第1の電極20の長手方向の中央部に
ある2つの電極部分20a,20bに抵抗40,42が
接続される。これらの抵抗40,42と第2の電極24
との間には、発振回路44が接続される。発振回路44
は、たとえば増幅回路と位相補正回路とを含み、第2の
電極24から出力される信号が発振回路44に帰還され
る。そして、増幅回路および位相補正回路によって、帰
還された信号のレベルおよび位相が調整され、第1の電
極20の電極部分20a,20bに与えられる。
In order to use the vibrating gyroscope 10, as shown in FIG. 4, resistors 40 and 42 are connected to two electrode portions 20a and 20b at the center of the first electrode 20 in the longitudinal direction. These resistors 40 and 42 and the second electrode 24
The oscillation circuit 44 is connected between the two. Oscillation circuit 44
Includes, for example, an amplifier circuit and a phase correction circuit, and a signal output from the second electrode 24 is fed back to the oscillation circuit 44. Then, the level and phase of the returned signal are adjusted by the amplifier circuit and the phase correction circuit, and are supplied to the electrode portions 20a and 20b of the first electrode 20.

【0017】また、第1の電極20の電極部分20a,
20bは、差動回路46の入力端に接続される。差動回
路46の出力端は、同期検波回路48に接続される。同
期検波回路48では、たとえば発振回路44の信号に同
期して、差動回路46の出力信号が検波される。同期検
波回路48は平滑回路50に接続され、さらに平滑回路
50は増幅回路52に接続される。
The electrode portions 20a of the first electrode 20,
20b is connected to the input terminal of the differential circuit 46. The output terminal of the differential circuit 46 is connected to the synchronous detection circuit 48. In the synchronous detection circuit 48, for example, the output signal of the differential circuit 46 is detected in synchronization with the signal of the oscillation circuit 44. The synchronous detection circuit 48 is connected to a smoothing circuit 50, and the smoothing circuit 50 is connected to an amplifier circuit 52.

【0018】この振動ジャイロ10は、発振回路44に
よって自励振駆動される。このとき、振動体12はバイ
モルフ構造であるため、第1の圧電体基板14がその主
面に平行する向きに延びたとき、第2の圧電体基板16
はその主面に平行する向きに縮む。逆に、第1の圧電体
基板14がその主面に平行する向きに縮んだとき、第2
の圧電体基板16はその主面に平行する向きに延びる。
そのため、振動体12は、第1および第2の電極20,
24形成面に直交する向きに屈曲振動する。
The vibrating gyroscope 10 is self-excited and driven by an oscillation circuit 44. At this time, since the vibrating body 12 has a bimorph structure, when the first piezoelectric substrate 14 extends in a direction parallel to its main surface, the second piezoelectric substrate 16
Shrinks in a direction parallel to its main surface. Conversely, when the first piezoelectric substrate 14 shrinks in a direction parallel to its main surface,
The piezoelectric substrate 16 extends in a direction parallel to its main surface.
Therefore, the vibrating body 12 includes the first and second electrodes 20,
The flexural vibration is made in a direction perpendicular to the surface on which the C.24 is formed.

【0019】回転角速度が加わっていないとき、電極部
分20a,20bから出力される信号は同じであり、差
動回路46で相殺されるため、差動回路46からは信号
が出力されない。振動体12の軸を中心として回転する
と、屈曲振動の向きに直交する向きにコリオリ力が働
く。このコリオリ力により、振動体12の屈曲振動の向
きが変わる。そのため、電極部分20a,20bから出
力される信号が変わる。たとえば、電極部分20aから
出力される信号が大きくなったとき、電極部分20bか
ら出力される信号は小さくなる。したがって、差動回路
46から、2つの電極部分20a,20bの出力信号の
差が得られる。電極部分20a,20bの出力信号の変
化は、振動体12の屈曲振動の向きの変化、すなわちコ
リオリ力に対応している。したがって、差動回路46か
らは、コリオリ力に対応したレベルの信号が出力され
る。
When the rotational angular velocity is not applied, the signals output from the electrode portions 20a and 20b are the same and are canceled by the differential circuit 46, so that no signal is output from the differential circuit 46. When rotated about the axis of the vibrating body 12, Coriolis force acts in a direction orthogonal to the direction of the bending vibration. The direction of the bending vibration of the vibrating body 12 changes due to the Coriolis force. Therefore, the signals output from the electrode portions 20a and 20b change. For example, when the signal output from the electrode portion 20a increases, the signal output from the electrode portion 20b decreases. Therefore, the difference between the output signals of the two electrode portions 20a and 20b is obtained from the differential circuit 46. The change in the output signals of the electrode portions 20a and 20b corresponds to the change in the direction of the bending vibration of the vibrating body 12, that is, the Coriolis force. Therefore, a signal having a level corresponding to the Coriolis force is output from the differential circuit 46.

【0020】差動回路46の出力信号は、同期検波回路
48において、発振回路44の信号に同期して検波され
る。このとき、差動回路46の出力信号の正部分のみま
たは負部分のみが検波される。同期検波回路48で検波
された信号は、平滑回路50で平滑され、さらに増幅回
路52で増幅される。したがって、増幅回路52の出力
信号を測定することにより、振動ジャイロ10に加わっ
た回転角速度を検出することができる。
The output signal of the differential circuit 46 is detected by a synchronous detection circuit 48 in synchronization with the signal of the oscillation circuit 44. At this time, only the positive part or only the negative part of the output signal of the differential circuit 46 is detected. The signal detected by the synchronous detection circuit 48 is smoothed by the smoothing circuit 50 and further amplified by the amplification circuit 52. Therefore, by measuring the output signal of the amplifier circuit 52, the rotational angular velocity applied to the vibrating gyroscope 10 can be detected.

【0021】回転角速度の向きが逆の場合、振動体12
の屈曲振動の向きの変化も逆になり、電極部分20a,
20bの出力信号の変化は逆となる。そのため、差動回
路46から出力される信号は逆位相となり、同期検波回
路48で検波される信号も逆極性となる。そのため、増
幅回路52からの出力信号の極性も逆となる。したがっ
て、増幅回路52の出力信号の極性から、回転角速度の
方向を検出することができる。
When the direction of the rotational angular velocity is reversed, the vibrating body 12
The change in the direction of the bending vibration of the electrode portion is also reversed, and the electrode portions 20a,
The change of the output signal of 20b is reversed. Therefore, the signal output from the differential circuit 46 has the opposite phase, and the signal detected by the synchronous detection circuit 48 also has the opposite polarity. Therefore, the polarity of the output signal from the amplifier circuit 52 is also reversed. Therefore, the direction of the rotational angular velocity can be detected from the polarity of the output signal of the amplifier circuit 52.

【0022】この振動ジャイロ10では、振動体12が
突起26および軟性樹脂30を介して支持台28に固定
されている。しかも、突起26は軟性樹脂30に包まれ
るようにして固定されている。そのため、突起26と
性樹脂30との接触面積は大きく、大きい接着力を得る
ことができる。ここで、突起26がなければ、軟性樹脂
30支持ピン32および振動体12の側面に不定形に
接着され、その接着面積が大きければ大きいほど振動は
ダンピングされ、小さければ小さいほど強度が低下す
る。つまり、ばらつきの大きな製品となってしまう。一
方、突起26が形成された支持ピン32は一定形状で振
動体12に固着されており、かつ、突起26と軟性樹脂
30との接着面積も大きくとれるため、振動ジャイロ1
0に大きい衝撃が加わっても、突起26が軟性樹脂30
から外れにくい。しかも、突起26が軟性樹脂30で固
されているため、振動体12の屈曲振動がダンピング
されにくく、良好な感度を有する振動ジャイロ10を得
ることができる。つまり、良好な特性を有し、しかも耐
衝撃性のある振動ジャイロ10を得ることができる。
In the vibrating gyroscope 10, the vibrating body 12 is fixed to a support 28 via a projection 26 and a soft resin 30 . Moreover, collision force 26 is fixed so as to be wrapped in soft resin 30. Therefore, the protrusion 26 and the soft
The contact area with the conductive resin 30 is large, and a large adhesive force can be obtained. Here, if there is no protrusion 26, a soft resin
Numeral 30 is irregularly adhered to the support pins 32 and the side surfaces of the vibrating body 12, and the vibration is damped as the bonding area is increased, and the strength is reduced as the adhesion area is decreased. That is, the product has large variations. On the other hand, the support pin 32 on which the projection 26 is formed is fixed to the vibrating body 12 in a fixed shape, and the projection 26 and the soft resin
Since the bonding area with the gyro 30 is large, the vibration gyro 1
Even subjected to any large shock to 0, the projection 26 is soft resin 30
It is hard to come off. Moreover, the protrusion 26 is fixed with the soft resin 30.
As a result, the bending vibration of the vibrating body 12 is hardly damped, and the vibration gyro 10 having good sensitivity can be obtained. That is, it is possible to obtain the vibration gyro 10 having good characteristics and having impact resistance.

【0023】また、この振動ジャイロ10では、支持ピ
ン32が導電材料で形成されていることにより、支持ピ
ン32を信号入出力用として用いることができる。その
ため、第2の電極24にリード線などを接続する必要が
ない。
In this vibrating gyroscope 10, the supporting pin
Since the pins 32 are formed of a conductive material, the support pins
Can be used for signal input / output. That
Therefore, it is necessary to connect a lead wire or the like to the second electrode 24.
Absent.

【0024】 この振動ジャイロ10では、2つの圧電体
基板14,16が接合され、バイモルフ構造となってい
るため、振動体12に効率よく屈曲振動を励振すること
ができる。そのため、良好な特性を有する振動ジャイロ
とすることができる。なお、2つの圧電体基板14,1
6は、必ずしも逆向きに分極する必要はなく、同じ方向
に分極してもよい。この場合、たとえば接合層18を半
田などの金属層で形成し、この接合層18が共通電極と
して用いられ、接合層18からの出力信号が発振回路4
4に帰還される。そして、発振回路44からの信号を第
1の電極20および第の電極24に与えることにより、
振動体12を屈曲振動させることができる。
In the vibrating gyroscope 10, since the two piezoelectric substrates 14 and 16 are joined to form a bimorph structure, the vibrating body 12 can efficiently excite the bending vibration. Therefore, a vibrating gyroscope having good characteristics can be obtained. The two piezoelectric substrates 14, 1
6 need not necessarily be polarized in the opposite direction, but may be polarized in the same direction. In this case, for example, the bonding layer 18 is formed of a metal layer such as solder, and the bonding layer 18 is used as a common electrode.
Returned to 4. Then, by giving a signal from the oscillation circuit 44 to the first electrode 20 and the second electrode 24,
The vibrating body 12 can be flexibly vibrated.

【0025】 また、上述の振動ジャイロ10では、第1
の電極20のみが分割されたが、第2の電極24も同様
に分割されてもよい。このような電極構造であっても、
2つの電極20,24間に駆動信号を与えることによ
り、振動体12を屈曲振動させることができる。この場
合、回転角速度に対応した信号は、第1の電極20の分
割部分から取り出してもよいし、第2の電極24の分割
部分から取り出してもよい。
In the above-described vibrating gyroscope 10, the first
Although only the electrode 20 is divided, the second electrode 24 may be similarly divided. Even with such an electrode structure,
By applying a drive signal between the two electrodes 20 and 24, the vibrating body 12 can be caused to flexurally vibrate. In this case, the signal corresponding to the rotational angular velocity may be extracted from the divided portion of the first electrode 20 or may be extracted from the divided portion of the second electrode 24.

【0026】 さらに、上述の振動ジャイロでは、2つの
圧電体基板をバイモルフ構造にしたが、たとえばエリン
バなどの恒弾性材料で形成した柱状振動体の側面に圧電
素子を形成したものを用いてもよい。このような振動体
であっても、屈曲振動のノード部分に突起を形成し、こ
の突起を軟性樹脂で支持することにより、同様の効果を
得ることができる。
Furthermore, in the vibrating gyroscope described above, although the two piezoelectric substrates bimorph structure, may be used after forming the piezoelectric elements on the side face of the columnar vibrator example formed by a constant elastic material such as elinvar . Even with such a vibrating body, a similar effect can be obtained by forming a projection at a node portion of the bending vibration and supporting the projection with a soft resin.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の振動ジャイロの一例を示す斜視図で
ある。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of a vibrating gyroscope according to the present invention.

【図2】図1に示す振動ジャイロに用いられる振動体と
支持ピンと突起との関係を示す図解図である。
FIG. 2 shows a vibrating body used in the vibrating gyroscope shown in FIG.
FIG. 4 is an illustrative view showing a relationship between a support pin and a protrusion;

【図3】図2に示す振動体を支持台に取り付けた状態を
示す図解図である。
FIG. 3 is an illustrative view showing a state where the vibrating body shown in FIG. 2 is attached to a support base;

【図4】図1に示す振動ジャイロを使用するときの回路
を示すブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a circuit when the vibrating gyroscope shown in FIG. 1 is used.

【図5】 従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。
FIG. 5 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyroscope.

【図6】 図5 に示す従来の振動ジャイロに用いられる振
動体と支持ピンとの関係を示す図解図である。
6 is an illustrative view showing a relationship between a vibrating body and a support pin used in the conventional vibrating gyroscope shown in FIG . 5 ;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 振動ジャイロ 12 振動体 14 第1の圧電体基板 16 第2の圧電体基板 18 接合層 20 第1の電極 22a,22b 溝 24 第2の電極 26 突起 28 支持台 30 軟性樹脂 32 支持ピンDESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vibration gyroscope 12 Vibration body 14 1st piezoelectric substrate 16 2nd piezoelectric substrate 18 Joining layer 20 1st electrode 22a, 22b Groove 24 2nd electrode 26 Projection 28 Support stand 30 Soft resin 32 Support pin

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−43108(JP,A) 特開 平1−250815(JP,A) 特開 平6−221857(JP,A) 特開 平6−249668(JP,A) 特開 平4−353714(JP,A) 特開 平7−332988(JP,A) 実開 平6−46319(JP,U) 実開 平5−87521(JP,U) 実開 平5−73520(JP,U) 実開 平2−107017(JP,U) 実開 平4−124413(JP,U) 実開 平2−101220(JP,U) 米国特許3127775(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01C 19/56 G01P 9/04 Continuation of the front page (56) References JP-A-8-43108 (JP, A) JP-A-1-250815 (JP, A) JP-A-6-221857 (JP, A) JP-A-6-249668 (JP) JP-A-4-353714 (JP, A) JP-A-7-332988 (JP, A) JP-A-6-46319 (JP, U) JP-A-5-87521 (JP, U) JP-A 5-73520 (JP, U) Japanese Utility Model Application No. 2-107017 (JP, U) Japanese Utility Model Application No. 4-124413 (JP, U) Japanese Utility Model Application No. 2-101220 (JP, U) US Patent 3,127,775 (US, A) ( 58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01C 19/56 G01P 9/04

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 屈曲振動をする振動体、 前記振動体を支持するための支持台、前記振動体の側面において接続されるとともに、該接続
部から前記振動体の長手方向に直交する方向に伸びて形
成され、端部が前記支持台に固定された導電材料からな
る支持ピン、 前記振動体との接続部において、前記振動体の側面から
突出するように前記支持ピンに一体に形成される突起、
および前記突起を前記支持台に固定するための軟性樹
含む、振動ジャイロ。
A vibrating body that performs bending vibration; a support base for supporting the vibrating body;
Extending from the portion in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the vibrating body.
And made of a conductive material having an end fixed to the support base.
Support pin, at the connection portion with the vibrating body, from the side of the vibrating body
A projection integrally formed on the support pin so as to project,
And soft resins for securing said protrusions to said support base
Including, vibration gyro.
【請求項2】 前記振動体は、互いに接合された2つの
圧電体基板の外側主面に対向電極が形成され、前記電極
の少なくとも一方が分割された構造である、請求項1
記載の振動ジャイロ。
Wherein said vibrating body is formed a counter electrode to the outer main surface of the two piezoelectric substrates joined together, a structure in which at least one of which is divided in the electrode, the vibration according to claim 1 gyro.
JP23724496A 1996-08-19 1996-08-19 Vibrating gyro Expired - Fee Related JP3293486B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23724496A JP3293486B2 (en) 1996-08-19 1996-08-19 Vibrating gyro

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23724496A JP3293486B2 (en) 1996-08-19 1996-08-19 Vibrating gyro

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1062178A JPH1062178A (en) 1998-03-06
JP3293486B2 true JP3293486B2 (en) 2002-06-17

Family

ID=17012543

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23724496A Expired - Fee Related JP3293486B2 (en) 1996-08-19 1996-08-19 Vibrating gyro

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3293486B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1062178A (en) 1998-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2780643B2 (en) Vibrating gyro
JP3421720B2 (en) Angular velocity detection circuit
JP3211562B2 (en) Piezoelectric vibrator
EP0800058B1 (en) Vibrating gyroscope
JPH03214013A (en) Angular-velocity sensor
JP3000888B2 (en) Vibrating gyro
JP3293486B2 (en) Vibrating gyro
JP3767212B2 (en) Vibration gyro support structure and support method
JP3293487B2 (en) Vibrating gyro
JP2996157B2 (en) Vibrating gyro
JP3291968B2 (en) Vibrating gyro
JP3218702B2 (en) Vibrating gyro
JP3082663B2 (en) Vibrating gyro
JPH07167883A (en) Vibration type angular velocity detector
JPH08247770A (en) Vibration gyroscope
EP0563762B1 (en) Vibratory gyroscope with piezoelectric elements in vicinities of nodal points
JP3286902B2 (en) Vibrator support structure
JP3304722B2 (en) Vibrating gyro
JP3122925B2 (en) Piezoelectric vibrator for piezoelectric vibrating gyroscope
JP3371609B2 (en) Vibrating gyro
JPH10332378A (en) Oscillatory gyroscope
JP3531295B2 (en) Vibrator and piezoelectric vibration angular velocity meter using the same
JP3407635B2 (en) Vibrator for vibrating gyroscope
JP3239529B2 (en) Vibrating gyro
JPH051916A (en) Vibrating gyro

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090405

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090405

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100405

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120405

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130405

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140405

Year of fee payment: 12

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees