JPH0764599B2 - 耐久性の優れた熱線反射性を有する光学体 - Google Patents
耐久性の優れた熱線反射性を有する光学体Info
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- JPH0764599B2 JPH0764599B2 JP63319395A JP31939588A JPH0764599B2 JP H0764599 B2 JPH0764599 B2 JP H0764599B2 JP 63319395 A JP63319395 A JP 63319395A JP 31939588 A JP31939588 A JP 31939588A JP H0764599 B2 JPH0764599 B2 JP H0764599B2
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は各種光学的機能を有する耐久性の優れた光学体
に関する。
に関する。
［従来の技術］ 従来からガラス、プラスチックなどの透明基板に薄膜を
形成して光学的機能を付加したものとして、ミラー、熱
線反射ガラス、低放射ガラス、干渉フィルター、カメラ
レンズやメガネレンズの反射防止コートなどがある。
形成して光学的機能を付加したものとして、ミラー、熱
線反射ガラス、低放射ガラス、干渉フィルター、カメラ
レンズやメガネレンズの反射防止コートなどがある。
通常のミラーでは、無電解メッキ法でAgが、または真空
蒸着法、スパッタリング法などでAlやCrなどが形成され
る。これらの中でCr膜は比較的丈夫なのでコート面か露
出した表面鏡としても一部用いられている。
蒸着法、スパッタリング法などでAlやCrなどが形成され
る。これらの中でCr膜は比較的丈夫なのでコート面か露
出した表面鏡としても一部用いられている。
熱線反射ガラスは、酸化チタンや酸化錫などがスプレー
法、CVD法あるいは浸漬法などで形成されてきた。最近
では、金属膜、窒化膜、錫をドープした酸化インジウム
（ITO）などがスパッタリング法でガラス板面に形成さ
れたものが熱線反射ガラスとして使われるようになって
きた。スパッタリング法は膜厚コントロールが容易で且
つ複数の膜を連続して形成でき、透明酸化膜と組み合せ
て、透過率、反射率、色調などを設計することが可能で
ある。このため意匠性を重視する建築用などに需要が伸
びている。
法、CVD法あるいは浸漬法などで形成されてきた。最近
では、金属膜、窒化膜、錫をドープした酸化インジウム
（ITO）などがスパッタリング法でガラス板面に形成さ
れたものが熱線反射ガラスとして使われるようになって
きた。スパッタリング法は膜厚コントロールが容易で且
つ複数の膜を連続して形成でき、透明酸化膜と組み合せ
て、透過率、反射率、色調などを設計することが可能で
ある。このため意匠性を重視する建築用などに需要が伸
びている。
室内の暖房機や壁からの輻射熱を室内側ち反射する低放
射ガラス（低放射率ガラス）は、銀を酸化亜鉛で挟んだ
ZnO/Ag/AnOの３層系またはZnO/Ag/ZnO/Ag/ZnOの５層系
（特願昭61−280644号参照）などの構成を持ち、複層ガ
ラスか合わせガラスの形で使われる。近年ヨーロッパの
寒冷地での普及が目ざましい。
射ガラス（低放射率ガラス）は、銀を酸化亜鉛で挟んだ
ZnO/Ag/AnOの３層系またはZnO/Ag/ZnO/Ag/ZnOの５層系
（特願昭61−280644号参照）などの構成を持ち、複層ガ
ラスか合わせガラスの形で使われる。近年ヨーロッパの
寒冷地での普及が目ざましい。
レンズなどの反射防止コートは、酸化チタン、酸化ジル
コニウムなどの高屈折率膜と酸化シリコン、フッ化マグ
ネシウムなどの低屈折率膜を交互に積層している。通常
は真空蒸着法が用いられ、成膜時は基板加熱をして耐擦
傷性の向上を図っている。
コニウムなどの高屈折率膜と酸化シリコン、フッ化マグ
ネシウムなどの低屈折率膜を交互に積層している。通常
は真空蒸着法が用いられ、成膜時は基板加熱をして耐擦
傷性の向上を図っている。
［発明が解決しようとする課題］ 表面鏡や、単板の熱線反射ガラス及びレンズなどの反射
防止コートなどは、コートされた膜が空気中に露出した
状態で使用される。このため、化学的な安定性や耐摩耗
性に優れていなければならない。一方、低放射ガラスで
も複層ガラスまたは合わせガラスになる前の運搬や取り
扱い時の傷などにより不良品が発生する。このため安定
で耐摩耗性に優れた保護膜も兼ねた光学薄膜が望まれて
いる。
防止コートなどは、コートされた膜が空気中に露出した
状態で使用される。このため、化学的な安定性や耐摩耗
性に優れていなければならない。一方、低放射ガラスで
も複層ガラスまたは合わせガラスになる前の運搬や取り
扱い時の傷などにより不良品が発生する。このため安定
で耐摩耗性に優れた保護膜も兼ねた光学薄膜が望まれて
いる。
耐久性向上のためには通常化学的に安定で透明な酸化膜
が空気側に設けられる。これらの酸化膜としては酸化チ
タン、酸化錫、酸化ジルコニウム、酸化珪素などがあ
り、必要な性能に応じて選択され、使用されてきた。
が空気側に設けられる。これらの酸化膜としては酸化チ
タン、酸化錫、酸化ジルコニウム、酸化珪素などがあ
り、必要な性能に応じて選択され、使用されてきた。
しかし、酸化チタン、酸化ジルコニウムは化学的安定性
に優れているが、結晶質の膜になりやすく表面の凹凸が
大きくなる傾向があり、このため擦ったときの摩擦が大
きくなり耐摩耗性に劣る。
に優れているが、結晶質の膜になりやすく表面の凹凸が
大きくなる傾向があり、このため擦ったときの摩擦が大
きくなり耐摩耗性に劣る。
一方、酸化錫、酸化珪素はそれぞれ酸、アルカリに弱く
長期間の浸漬には耐えない。
長期間の浸漬には耐えない。
このように、単板で使用できる程度の高い耐久性を持っ
た薄膜は知られていない。
た薄膜は知られていない。
［課題を解決するための手段］ 本発明は前述の問題点を解決すべくなされたものであ
り、ガラス基板上に３層からなる光学薄膜が形成された
熱線反射性を有する光学体において、基板側から金属Ｍ
の酸化物膜からなる光学的膜厚1000〜1800Åの第１層、
第１層と同じ金属Ｍの窒化物膜からなる幾何学的膜厚30
〜500Åの第２層、空気側の最外層の酸化タンタル膜か
らなる幾何学的膜厚50〜200Åの第３層が順次形成され
てなることを特徴とする耐久性の優れた熱線反射性を有
する光学体を提供するものである。
り、ガラス基板上に３層からなる光学薄膜が形成された
熱線反射性を有する光学体において、基板側から金属Ｍ
の酸化物膜からなる光学的膜厚1000〜1800Åの第１層、
第１層と同じ金属Ｍの窒化物膜からなる幾何学的膜厚30
〜500Åの第２層、空気側の最外層の酸化タンタル膜か
らなる幾何学的膜厚50〜200Åの第３層が順次形成され
てなることを特徴とする耐久性の優れた熱線反射性を有
する光学体を提供するものである。
第１図は、本発明に係わる光学体の一例の断面図を示す
ものであり、10はガラス基板、11は酸化物の透明誘電体
膜からなる第１層、12は窒化物膜からなる第２層、13は
空気側の最外層となる酸化タンタル膜からなる第３層を
示す。
ものであり、10はガラス基板、11は酸化物の透明誘電体
膜からなる第１層、12は窒化物膜からなる第２層、13は
空気側の最外層となる酸化タンタル膜からなる第３層を
示す。
本発明は詳記したように３層構成よりなるが、第１図の
基板10と第１層11、第１層11と第２層12、又は第２層12
と第３層13との間に１層、又は複数の層を形成して付着
力向上や光学特性の調整の機能、又はその他各種能を持
たしても良い。本発明における最も大きな特徴は、空気
側の最外層に酸化タンタル膜を形成することであり、こ
れによって耐摩耗性と化学的安定性に優れた光学体を可
能にしている。酸化タンタル膜は、耐擦傷性に優れてい
ると同時に、十分な化学的安定性を有しているので耐久
性の優れた光学体の最外層として大変好ましい。
基板10と第１層11、第１層11と第２層12、又は第２層12
と第３層13との間に１層、又は複数の層を形成して付着
力向上や光学特性の調整の機能、又はその他各種能を持
たしても良い。本発明における最も大きな特徴は、空気
側の最外層に酸化タンタル膜を形成することであり、こ
れによって耐摩耗性と化学的安定性に優れた光学体を可
能にしている。酸化タンタル膜は、耐擦傷性に優れてい
ると同時に、十分な化学的安定性を有しているので耐久
性の優れた光学体の最外層として大変好ましい。
かかる酸化タンタル膜は、タンタル、酸素の２成分だけ
に限定されるものではなく、耐久性向上、化学定数調
整、成膜時の安定性、あるいは成膜速度の向上などのた
めに他の成分を含んでいても差し支えない。また本発明
の酸化タンタル膜は必ずしも透明である必要はなく、酸
素欠損の状態の吸収性膜や、一部窒素を含有していても
同様に有効であく。
に限定されるものではなく、耐久性向上、化学定数調
整、成膜時の安定性、あるいは成膜速度の向上などのた
めに他の成分を含んでいても差し支えない。また本発明
の酸化タンタル膜は必ずしも透明である必要はなく、酸
素欠損の状態の吸収性膜や、一部窒素を含有していても
同様に有効であく。
最外層である酸化タンタル膜（第２層３又は第３層13）
の膜厚は、用途に応じて透過色や反射色を考慮して決定
すればよいが、あまり薄いと十分な耐久性が得られない
ため、用途にもよるが、幾何学的膜厚で、50Å以上で用
いられる。
の膜厚は、用途に応じて透過色や反射色を考慮して決定
すればよいが、あまり薄いと十分な耐久性が得られない
ため、用途にもよるが、幾何学的膜厚で、50Å以上で用
いられる。
一方、酸化タンタル膜は比較的屈折率が高いため、あま
り厚くなると干渉効果が生じてきて反射色も強くなる。
特に、自然な色、即ちニュートラル色で低い反射率、か
つ70％以上の可視光線透過率が要求される自動車用ガラ
スに応用するため、酸化タンタル膜３の幾何学的膜厚は
50〜200Åで用いられる。
り厚くなると干渉効果が生じてきて反射色も強くなる。
特に、自然な色、即ちニュートラル色で低い反射率、か
つ70％以上の可視光線透過率が要求される自動車用ガラ
スに応用するため、酸化タンタル膜３の幾何学的膜厚は
50〜200Åで用いられる。
第３層13の膜形成法も特に限定されない。真空蒸着法、
イオンプレーティング法、スパッタリング法などいずれ
も可能であるか、熱線反射ガラスなど、自動車や建築用
などの大面積コーティングが必要な場合は、均一性に優
れる反応性スパッタリング法が好ましい。
イオンプレーティング法、スパッタリング法などいずれ
も可能であるか、熱線反射ガラスなど、自動車や建築用
などの大面積コーティングが必要な場合は、均一性に優
れる反応性スパッタリング法が好ましい。
第２層12としては、例えば窒化チタン、窒化ジルコニウ
ム、窒化ハフニウム、窒化クロム、窒化タンタルなどの
窒化物等が主に選ばれる。
ム、窒化ハフニウム、窒化クロム、窒化タンタルなどの
窒化物等が主に選ばれる。
窒化物膜を用いるため、ガラス界面との付着力を増すた
めに基板と窒化物膜間にもう１層を形成し第１図のよう
な３層構成とすることが有効である。かかる第１層11と
しては、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウ
ム、酸化錫、酸化タンタル、酸化インジウムなどの酸化
物などからなる透明誘電体膜が好ましい。第２層12の窒
化物膜との付着力やスパッタリングでの生産性を考え、
第２層の窒化物膜と同様な元素を含む誘電体膜が用いら
れる。
めに基板と窒化物膜間にもう１層を形成し第１図のよう
な３層構成とすることが有効である。かかる第１層11と
しては、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウ
ム、酸化錫、酸化タンタル、酸化インジウムなどの酸化
物などからなる透明誘電体膜が好ましい。第２層12の窒
化物膜との付着力やスパッタリングでの生産性を考え、
第２層の窒化物膜と同様な元素を含む誘電体膜が用いら
れる。
かかる誘電体膜11の膜厚は、これらの誘電体は屈折率も
大きく、適当な膜厚を選択すれば、干渉効果も利用して
反射率や色調の調節も可能である。干渉効果を利用して
可視域での高透過、低反射を目的とする本発明の熱線反
射ガラスでは、第１層11の膜厚は光学的膜厚で1000〜18
00Åの範囲で調節される。
大きく、適当な膜厚を選択すれば、干渉効果も利用して
反射率や色調の調節も可能である。干渉効果を利用して
可視域での高透過、低反射を目的とする本発明の熱線反
射ガラスでは、第１層11の膜厚は光学的膜厚で1000〜18
00Åの範囲で調節される。
第１層11の屈折率は2.0〜2.5の範囲で選択されるのが望
ましいが、この範囲外でも、光学的膜厚が適正な範囲内
であればよい。又、第２層12の窒化物膜の幾何学的膜厚
は、30〜500Åの範囲で用いられる。500Åを超えると窒
化物膜の吸収が大きくなり過ぎ、透過率が低下するとと
もに、内部応力のため剥離が生じ易くなる。
ましいが、この範囲外でも、光学的膜厚が適正な範囲内
であればよい。又、第２層12の窒化物膜の幾何学的膜厚
は、30〜500Åの範囲で用いられる。500Åを超えると窒
化物膜の吸収が大きくなり過ぎ、透過率が低下するとと
もに、内部応力のため剥離が生じ易くなる。
又、本発明においては、第１図に示したように基板の片
面だけに光学薄膜を形成してもよいし、基板の両面に形
成してもよい。
面だけに光学薄膜を形成してもよいし、基板の両面に形
成してもよい。
［作用］ 本発明における光学体の空気側の最外層、即ち、第１図
第３層13は、酸化タンタル膜からなっており、表面が平
滑で、摩擦抵抗が低く、これによって高い耐久性を有し
ているので、本発明の光学体において、耐摩耗性や耐薬
品性を向上させるための保護層の役割を持つ。更にその
屈折率、膜厚などの調整により、光学的な機能、即ち、
透過率、反射率、色調などの調整機能を有する。
第３層13は、酸化タンタル膜からなっており、表面が平
滑で、摩擦抵抗が低く、これによって高い耐久性を有し
ているので、本発明の光学体において、耐摩耗性や耐薬
品性を向上させるための保護層の役割を持つ。更にその
屈折率、膜厚などの調整により、光学的な機能、即ち、
透過率、反射率、色調などの調整機能を有する。
本発明において最外層以外の層は主に光学的な面での作
用を有し、透過や反射性能などを担っている。
用を有し、透過や反射性能などを担っている。
又、熱線反射性能を有する光学体において、窒化物膜は
熱線反射機能を受け持つものである。又、干渉効果を利
用して可視域での高透過、低反射を目的とした熱線反射
ガラスにおいては、第１図の第２層12は熱線反射機能を
受け持ち、第１層11及び第３層13は、窒化物膜の可視域
での反射を防止する機能を有する。
熱線反射機能を受け持つものである。又、干渉効果を利
用して可視域での高透過、低反射を目的とした熱線反射
ガラスにおいては、第１図の第２層12は熱線反射機能を
受け持ち、第１層11及び第３層13は、窒化物膜の可視域
での反射を防止する機能を有する。
［発明の効果］ 本発明は、基板から見て一番外側、即ち、空気側の最外
層に酸化タンタル膜を用いることにより、化学的安定性
と耐摩耗性に優れた光学体を得ることを可能にするもの
である。これにより従来は使用できなかった苛酷な用途
にも本発明の光学体を使用することができる。
層に酸化タンタル膜を用いることにより、化学的安定性
と耐摩耗性に優れた光学体を得ることを可能にするもの
である。これにより従来は使用できなかった苛酷な用途
にも本発明の光学体を使用することができる。
又、最外層の酸化タンタル膜の幾何学的膜厚を50〜200
Åとすることにより、上述した優れた化学安定性及び耐
摩耗性に加えて、外観がニュートラルで、高透過率、低
反射率の、自動車用に最適な熱線反射ガラスを提供でき
る。
Åとすることにより、上述した優れた化学安定性及び耐
摩耗性に加えて、外観がニュートラルで、高透過率、低
反射率の、自動車用に最適な熱線反射ガラスを提供でき
る。
第１図は、本発明に係わる熱線反射性能を有する光学体
の一例の一部断面図を示す。 11:透明誘電体膜（第１層） 12:窒化膜（第２層） 13:酸化タンタル膜（第３層）
の一例の一部断面図を示す。 11:透明誘電体膜（第１層） 12:窒化膜（第２層） 13:酸化タンタル膜（第３層）
Claims (1)
- 【請求項１】ガラス基板上に３層からなる光学薄膜が形
成された熱線反射性を有する光学体において、基板側か
ら金属Ｍの酸化物膜からなる光学的膜厚1000〜1800Åの
第１層、第１層と同じ金属Ｍの窒化物膜からなる幾何学
的膜厚30〜500Åの第２層、空気側の最外層の酸化タン
タル膜からなる幾何学的膜厚50〜200Åの第３層が順次
形成されてなることを特徴とする耐久性の優れた熱線反
射性を有する光学体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63319395A JPH0764599B2 (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 耐久性の優れた熱線反射性を有する光学体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63319395A JPH0764599B2 (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 耐久性の優れた熱線反射性を有する光学体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02164744A JPH02164744A (ja) | 1990-06-25 |
| JPH0764599B2 true JPH0764599B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=18109697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63319395A Expired - Lifetime JPH0764599B2 (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 耐久性の優れた熱線反射性を有する光学体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0764599B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0818849B2 (ja) * | 1991-08-29 | 1996-02-28 | 日本板硝子株式会社 | 熱線遮蔽ガラス |
| DE69220901T3 (de) * | 1991-10-30 | 2005-01-20 | Asahi Glass Co., Ltd. | Verfahren zur Herstellung eines wärmebehandelten beschichteten Glases |
| US5731053A (en) * | 1992-03-11 | 1998-03-24 | Ds-Chemie Gmbh | Potable liquid container |
| FR2963788B1 (fr) * | 2010-08-10 | 2016-01-22 | Saint Gobain | Vitrage a proprietes antisolaires |
| CN207669894U (zh) * | 2016-12-30 | 2018-07-31 | 佛山市易晟达科技有限公司 | 透明面板及其应用 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57174240A (en) * | 1981-04-22 | 1982-10-26 | Teijin Ltd | Selective beam transmitting laminate |
| DE3311815C3 (de) * | 1983-03-31 | 1997-12-04 | Leybold Ag | Verfahren zum Herstellen von Scheiben |
| DE3543178A1 (de) * | 1985-12-06 | 1987-06-11 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung sowie durch das verfahren hergestellte scheiben |
| US4690871A (en) * | 1986-03-10 | 1987-09-01 | Gordon Roy G | Protective overcoat of titanium nitride films |
| JPS63100043A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-05-02 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 熱線反射ガラス |
| JPH0430040Y2 (ja) * | 1987-10-02 | 1992-07-21 | ||
| JP2722509B2 (ja) * | 1988-08-03 | 1998-03-04 | 日本板硝子株式会社 | 青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製造方法 |
| JPH02149448A (ja) * | 1988-12-01 | 1990-06-08 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 基体色をかえない熱線遮へいガラス |
-
1988
- 1988-12-20 JP JP63319395A patent/JPH0764599B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02164744A (ja) | 1990-06-25 |
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