JPH07181031A - 測定用補助台 - Google Patents
測定用補助台Info
- Publication number
- JPH07181031A JPH07181031A JP32385593A JP32385593A JPH07181031A JP H07181031 A JPH07181031 A JP H07181031A JP 32385593 A JP32385593 A JP 32385593A JP 32385593 A JP32385593 A JP 32385593A JP H07181031 A JPH07181031 A JP H07181031A
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- Japan
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- measured
- measurement
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 軽い力で被測定物および測定器のいずれか一
方を移動させることができ、熱や傷などの問題も解消で
きる測定用補助台を提供する。 【構成】 被測定物Ｗおよびハイトゲージ２のいずれか
一方を載置する載置面１２が形成された台本体１１の下
面に複数のエアーパッド２１を設ける。載置面１２にハ
イトケージ２を載せた状態において、エアーパッド２１
から定盤１の上面に向けてエアーを噴出すると、エアー
パッド２１が定盤１の上面から所定量だけ浮上されるか
ら、軽い力で台本体１１を移動させることができる。台
本体１１を移動させながら、ハイトゲージ２の電気マイ
クロメータ３を被測定物Ｗの測定点に順次接触させ、そ
のときの値を読取り、これらの測定値を基に平面度を求
める。
方を移動させることができ、熱や傷などの問題も解消で
きる測定用補助台を提供する。 【構成】 被測定物Ｗおよびハイトゲージ２のいずれか
一方を載置する載置面１２が形成された台本体１１の下
面に複数のエアーパッド２１を設ける。載置面１２にハ
イトケージ２を載せた状態において、エアーパッド２１
から定盤１の上面に向けてエアーを噴出すると、エアー
パッド２１が定盤１の上面から所定量だけ浮上されるか
ら、軽い力で台本体１１を移動させることができる。台
本体１１を移動させながら、ハイトゲージ２の電気マイ
クロメータ３を被測定物Ｗの測定点に順次接触させ、そ
のときの値を読取り、これらの測定値を基に平面度を求
める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定用補助台に関す
る。詳しくは、定盤上において、被測定物および測定器
のいずれか一方を他方に対して移動させながら測定を行
う際に用いられる測定用補助台に関する。
る。詳しくは、定盤上において、被測定物および測定器
のいずれか一方を他方に対して移動させながら測定を行
う際に用いられる測定用補助台に関する。
【０００２】
【背景技術】たとえば、被測定物の平面度を測定する場
合、図７に示す方法により測定が行われている。 定盤１上に被測定物Ｗとともにハイトゲージ２を載置
し、そのハイトゲージ２に組み込まれた変位検出器、た
とえば、電気マイクロメータ３を被測定物Ｗの測定面に
接触させる。 被測定物Ｗを手でＸ方向へ移動させながら順次次の測
定点に電気マイクロメータ３を接触させ、そのときの値
を読み取る。 一列目の測定点での測定が終了したのち、被測定物Ｗ
を手でＹ方向へ所定ピッチ移動させ、この列について前
記の測定を繰り返す。 これらの測定値を基に平面度を求める。
合、図７に示す方法により測定が行われている。 定盤１上に被測定物Ｗとともにハイトゲージ２を載置
し、そのハイトゲージ２に組み込まれた変位検出器、た
とえば、電気マイクロメータ３を被測定物Ｗの測定面に
接触させる。 被測定物Ｗを手でＸ方向へ移動させながら順次次の測
定点に電気マイクロメータ３を接触させ、そのときの値
を読み取る。 一列目の測定点での測定が終了したのち、被測定物Ｗ
を手でＹ方向へ所定ピッチ移動させ、この列について前
記の測定を繰り返す。 これらの測定値を基に平面度を求める。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の測定
方法では、被測定物Ｗを手で定盤１上をすべらせながら
移動させなければならないから、被測定物Ｗが大重量の
場合、被測定物Ｗを簡単に移動させることができず、測
定者に過大な労力を強いるうえ、測定作業にも時間がか
かる。また、被測定物Ｗを移動させる際、手で被測定物
Ｗを押しながら移動させているため、手の熱が被測定物
Ｗに伝わり熱膨張するという問題がある また、移動時にあっては、被測定物Ｗはハイトゲージ２
の電気マイクロメータ３および定盤１と接した状態で移
動するため、被測定物Ｗおよび定盤１に傷がつくという
問題もある。
方法では、被測定物Ｗを手で定盤１上をすべらせながら
移動させなければならないから、被測定物Ｗが大重量の
場合、被測定物Ｗを簡単に移動させることができず、測
定者に過大な労力を強いるうえ、測定作業にも時間がか
かる。また、被測定物Ｗを移動させる際、手で被測定物
Ｗを押しながら移動させているため、手の熱が被測定物
Ｗに伝わり熱膨張するという問題がある また、移動時にあっては、被測定物Ｗはハイトゲージ２
の電気マイクロメータ３および定盤１と接した状態で移
動するため、被測定物Ｗおよび定盤１に傷がつくという
問題もある。
【０００４】ここに、本発明の目的は、このような従来
の問題を解消し、軽い力で被測定物および測定器のいず
れか一方を他方に対して移動させることができ、しか
も、熱や傷などの問題も解消できる測定用補助台を提供
することにある。
の問題を解消し、軽い力で被測定物および測定器のいず
れか一方を他方に対して移動させることができ、しか
も、熱や傷などの問題も解消できる測定用補助台を提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明は、定
盤上において、被測定物および測定器のいずれか一方を
他方に対して移動させながら測定を行う際に用いられる
測定用補助台であって、上面に前記被測定物および測定
器のいずれか一方を載置する載置面が形成された台本体
と、この台本体の下面に設けられ前記定盤の上面に向け
てエアーを噴出する複数のエアーパッドとを備えたこと
を特徴とする。また、前記台本体には前記各エアーパッ
ドにエアーを供給するエアー供給装置が設けられている
ことを特徴とする。また、前記台本体と各エアーパッド
との間には高さ調整機構が設けられていることを特徴と
する。
盤上において、被測定物および測定器のいずれか一方を
他方に対して移動させながら測定を行う際に用いられる
測定用補助台であって、上面に前記被測定物および測定
器のいずれか一方を載置する載置面が形成された台本体
と、この台本体の下面に設けられ前記定盤の上面に向け
てエアーを噴出する複数のエアーパッドとを備えたこと
を特徴とする。また、前記台本体には前記各エアーパッ
ドにエアーを供給するエアー供給装置が設けられている
ことを特徴とする。また、前記台本体と各エアーパッド
との間には高さ調整機構が設けられていることを特徴と
する。
【０００６】
【作用】測定にあたっては、台本体上面の載置面に被測
定物および測定器のいずれか一方を載置するとともに、
定盤上にいずれか他方を載置する。たとえば、台本体上
面の載置面に測定器（たとえば、ハイトゲージなど）
を、定盤上に被測定物を載置する。この状態において、
エアーパッドから定盤の上面に向けてエアーを噴出する
と、エアーパッドが定盤の上面から所定量だけ浮上され
るから、軽い力で台本体を移動させることができる。台
本体を移動させながら、測定器の測定子（たとえば、ハ
イトゲージの電気マイクロメータ）を被測定物の測定点
に順次接触させ、そのときの値を読み取り、これらの測
定値を基に平面度を求める。
定物および測定器のいずれか一方を載置するとともに、
定盤上にいずれか他方を載置する。たとえば、台本体上
面の載置面に測定器（たとえば、ハイトゲージなど）
を、定盤上に被測定物を載置する。この状態において、
エアーパッドから定盤の上面に向けてエアーを噴出する
と、エアーパッドが定盤の上面から所定量だけ浮上され
るから、軽い力で台本体を移動させることができる。台
本体を移動させながら、測定器の測定子（たとえば、ハ
イトゲージの電気マイクロメータ）を被測定物の測定点
に順次接触させ、そのときの値を読み取り、これらの測
定値を基に平面度を求める。
【０００７】また、台本体に各エアーパッドにエアーを
供給するエアー供給装置を設けるようにすれば、各エア
ーパッドにエアーを供給する配管を外部から取らなくて
もよいから、その配管が邪魔になることがなく台本体を
自由に移動させることができる。また、台本体と各エア
ーパッドとの間に高さ調整機構を設けるようにすれば、
台本体の載置面を定盤と平行に調整することができるか
ら、台本体の載置面に被測定物を載せた状態で移動させ
ながら測定を行うこともできる。
供給するエアー供給装置を設けるようにすれば、各エア
ーパッドにエアーを供給する配管を外部から取らなくて
もよいから、その配管が邪魔になることがなく台本体を
自由に移動させることができる。また、台本体と各エア
ーパッドとの間に高さ調整機構を設けるようにすれば、
台本体の載置面を定盤と平行に調整することができるか
ら、台本体の載置面に被測定物を載せた状態で移動させ
ながら測定を行うこともできる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。第１実施例 第１実施例を図１〜図５に示す。本実施例の測定用補助
台Ａは、図１に示すように、台本体１１と、この台本体
１１の下面四隅に装着されたエアーパッド２１と、この
各エアーパッド２１と台本体１１との間に設けられた高
さ調整機構３１とから構成されている。
説明する。第１実施例 第１実施例を図１〜図５に示す。本実施例の測定用補助
台Ａは、図１に示すように、台本体１１と、この台本体
１１の下面四隅に装着されたエアーパッド２１と、この
各エアーパッド２１と台本体１１との間に設けられた高
さ調整機構３１とから構成されている。
【０００９】前記台本体１１は、平面から見て矩形状に
形成されているとともに、その上面に前記被測定物およ
び測定器のいずれか一方を載置する載置面１２が形成さ
れている。載置面１２は、平面度が高精度に出された平
滑面に形成されている。
形成されているとともに、その上面に前記被測定物およ
び測定器のいずれか一方を載置する載置面１２が形成さ
れている。載置面１２は、平面度が高精度に出された平
滑面に形成されている。
【００１０】前記各エアーパッド２１は、図２に示す如
く、上面中央に球面状の凹部２２を、下面に前記定盤１
の上面に向けてエアーを噴出する複数条のエアー噴出溝
２３をそれぞれ備え、かつ、内部にこれらのエアー噴出
溝２３にエアーを供給するエアー供給溝２４が形成され
ている。エアー供給溝２４には、図３に示す如く、エア
ー配管２５およびエアー分配器２６を通じて図示しない
エアー供給源（コンプレッサなど）が接続されている。
なお、エアー配管２５の途中には、エアーを供給、遮断
するエアースイッチ２７が設けられている。エアースイ
ッチ２７は、台本体１１の一側面に固定されている。
く、上面中央に球面状の凹部２２を、下面に前記定盤１
の上面に向けてエアーを噴出する複数条のエアー噴出溝
２３をそれぞれ備え、かつ、内部にこれらのエアー噴出
溝２３にエアーを供給するエアー供給溝２４が形成され
ている。エアー供給溝２４には、図３に示す如く、エア
ー配管２５およびエアー分配器２６を通じて図示しない
エアー供給源（コンプレッサなど）が接続されている。
なお、エアー配管２５の途中には、エアーを供給、遮断
するエアースイッチ２７が設けられている。エアースイ
ッチ２７は、台本体１１の一側面に固定されている。
【００１１】前記各高さ調整機構３１は、図２に示す如
く、台本体１１の下面四隅に固着された固定プレート３
２と、この固定プレート３２に上下方向へ進退自在に螺
合されかつ下端が前記各エアーパッド２１の凹部２２に
接触する凸球面に形成された高さ調整ボルト３３と、こ
の高さ調整ボルト３３を固定プレート３２に対して所定
高さ位置に固定するナット３４とから構成されている。
く、台本体１１の下面四隅に固着された固定プレート３
２と、この固定プレート３２に上下方向へ進退自在に螺
合されかつ下端が前記各エアーパッド２１の凹部２２に
接触する凸球面に形成された高さ調整ボルト３３と、こ
の高さ調整ボルト３３を固定プレート３２に対して所定
高さ位置に固定するナット３４とから構成されている。
【００１２】次に、本実施例の作用を説明する。測定に
あたっては、図４に示すように、定盤１上に被測定物Ｗ
とともに本実施例の測定用補助台Ａを載置し、その測定
用補助台Ａの上、つまり、載置面１２に測定器、ここで
はハイトゲージ２を載置する。こののち、エアースイッ
チ２７をオンする。すると、エアー供給源（コンプレッ
サなど）からの高圧エアーがエアー配管２５およびエア
ー分配器２６を通じて各エアーパッド２１のエアー噴出
溝２３から定盤１の上面に向けて噴出されるから、エア
ーパッド２１が定盤１の上面から所定量だけ浮上され
る。
あたっては、図４に示すように、定盤１上に被測定物Ｗ
とともに本実施例の測定用補助台Ａを載置し、その測定
用補助台Ａの上、つまり、載置面１２に測定器、ここで
はハイトゲージ２を載置する。こののち、エアースイッ
チ２７をオンする。すると、エアー供給源（コンプレッ
サなど）からの高圧エアーがエアー配管２５およびエア
ー分配器２６を通じて各エアーパッド２１のエアー噴出
溝２３から定盤１の上面に向けて噴出されるから、エア
ーパッド２１が定盤１の上面から所定量だけ浮上され
る。
【００１３】この状態において、ハイトゲージ２の電気
マイクロメータ３を被測定物Ｗの測定面に接するように
スライダ４を支柱５に対して高さ調整したのち、台本体
１１を手で押しながら移動させる。このとき、エアーパ
ッド２１が定盤１の上面から所定量だけ浮上されている
から、軽い力で移動させることができる。台本体１１を
移動させながら、電気マイクロメータ３を被測定物Ｗの
測定点に順次接触させ、そのときの値を読み取る。最後
に、これらの測定値を基に平面度を求める。
マイクロメータ３を被測定物Ｗの測定面に接するように
スライダ４を支柱５に対して高さ調整したのち、台本体
１１を手で押しながら移動させる。このとき、エアーパ
ッド２１が定盤１の上面から所定量だけ浮上されている
から、軽い力で移動させることができる。台本体１１を
移動させながら、電気マイクロメータ３を被測定物Ｗの
測定点に順次接触させ、そのときの値を読み取る。最後
に、これらの測定値を基に平面度を求める。
【００１４】また、図５に示すように、定盤１上にハイ
トゲージ２とともに本実施例の測定用補助台Ａを載置
し、その測定用補助台Ａの上、つまり、載置面１２に被
測定物Ｗを載置し、この状態において、台本体１１を移
動させながら、被測定物Ｗの測定点を電気マイクロメー
タ３に接触させるようにしても、同様に測定することが
できる。なお、この場合には、予め、台本体１１の載置
面１２が定盤１と平行になるように、各高さ調整機構３
１を調整しておけばよい。
トゲージ２とともに本実施例の測定用補助台Ａを載置
し、その測定用補助台Ａの上、つまり、載置面１２に被
測定物Ｗを載置し、この状態において、台本体１１を移
動させながら、被測定物Ｗの測定点を電気マイクロメー
タ３に接触させるようにしても、同様に測定することが
できる。なお、この場合には、予め、台本体１１の載置
面１２が定盤１と平行になるように、各高さ調整機構３
１を調整しておけばよい。
【００１５】従って、第１実施例によれば、定盤１上に
おいて、被測定物Ｗおよびハイトゲージ２のいずれか一
方を他方に対して移動させながら測定を行う際、被測定
物Ｗおよびハイトゲージ２のいずれか一方を台本体１１
に載置し、その台本体１１をエアーによって定盤１上か
ら浮上させながらいずれか他方に対して移動させること
ができるから、軽い力で台本体１１を移動させることが
できる。
おいて、被測定物Ｗおよびハイトゲージ２のいずれか一
方を他方に対して移動させながら測定を行う際、被測定
物Ｗおよびハイトゲージ２のいずれか一方を台本体１１
に載置し、その台本体１１をエアーによって定盤１上か
ら浮上させながらいずれか他方に対して移動させること
ができるから、軽い力で台本体１１を移動させることが
できる。
【００１６】このこと、つまり、台本体１１がエアーに
よって定盤１上から浮上しながら移動しているから、定
盤１上に傷などをつける虞れがない。しかも、この際、
台本体１１を手で押しながら移動させればよいから、つ
まり、手で被測定物Ｗを直接押しながら移動させなくて
もよいから、手の熱による被測定物Ｗへの悪影響がな
い。
よって定盤１上から浮上しながら移動しているから、定
盤１上に傷などをつける虞れがない。しかも、この際、
台本体１１を手で押しながら移動させればよいから、つ
まり、手で被測定物Ｗを直接押しながら移動させなくて
もよいから、手の熱による被測定物Ｗへの悪影響がな
い。
【００１７】また、台本体１１と各エアーパッド２１と
の間に高さ調整機構３１を設けたので、この高さ調整機
構３１によって台本体１１の載置面１２を定盤１と平行
に調整することができるから、台本体１１の載置面１２
に被測定物Ｗを載せた状態で移動させながら測定を行う
こともできる。
の間に高さ調整機構３１を設けたので、この高さ調整機
構３１によって台本体１１の載置面１２を定盤１と平行
に調整することができるから、台本体１１の載置面１２
に被測定物Ｗを載せた状態で移動させながら測定を行う
こともできる。
【００１８】第２実施例 第２実施例を図６に示す。なお、同図の説明にあたっ
て、第１実施例と同一構成要件については、同一符号を
付し、その説明を省略もしくは簡略化する。本実施例の
測定用補助台Ｂは、図６に示すように、台本体１１の下
面に前記各エアーパッド２１にエアーを供給するエアー
供給装置４１が設けられている。エアー供給装置４１
は、コンプレーサ４２と、このコンプレッサ４２を駆動
させるバッテリ４３とから構成されている。コンプレー
サ４２からの高圧エアーは、配管４３を通じて前記エア
ースイッチ２７に与えられ、そこから前記エアー配管２
５およびエアー分配器２６を通じて各エアーパッド２１
に供給される。
て、第１実施例と同一構成要件については、同一符号を
付し、その説明を省略もしくは簡略化する。本実施例の
測定用補助台Ｂは、図６に示すように、台本体１１の下
面に前記各エアーパッド２１にエアーを供給するエアー
供給装置４１が設けられている。エアー供給装置４１
は、コンプレーサ４２と、このコンプレッサ４２を駆動
させるバッテリ４３とから構成されている。コンプレー
サ４２からの高圧エアーは、配管４３を通じて前記エア
ースイッチ２７に与えられ、そこから前記エアー配管２
５およびエアー分配器２６を通じて各エアーパッド２１
に供給される。
【００１９】従って、第２実施例によれば、第１実施例
で述べた効果に加え、各エアーパッド２１にエアーを供
給する配管を外部から取らなくてもよいから、その配管
が邪魔になることがなく台本体１１を自由に移動させる
ことができる。なお、測定時にコンプレッサ４２の振動
が問題になる場合には、データ読取時にコンプレッサ４
２を一時的に停止させることにより解決できる。
で述べた効果に加え、各エアーパッド２１にエアーを供
給する配管を外部から取らなくてもよいから、その配管
が邪魔になることがなく台本体１１を自由に移動させる
ことができる。なお、測定時にコンプレッサ４２の振動
が問題になる場合には、データ読取時にコンプレッサ４
２を一時的に停止させることにより解決できる。
【００２０】なお、上記各実施例では、ハイトゲージ２
に電気マイクロメータ３を取り付けて被測定物Ｗの平面
度を測定する例について説明したが、電気マイクロメー
タ３に限らず、インジケータやリニアゲージなどを取り
付けて測定することもできる。測定の項目に関しても、
被測定物Ｗの平面度に限らず、直角度なども測定でき
る。
に電気マイクロメータ３を取り付けて被測定物Ｗの平面
度を測定する例について説明したが、電気マイクロメー
タ３に限らず、インジケータやリニアゲージなどを取り
付けて測定することもできる。測定の項目に関しても、
被測定物Ｗの平面度に限らず、直角度なども測定でき
る。
【００２１】また、上記各実施例では、測定器としてハ
イトゲージ２を用いた例について説明したが、本発明
は、この例に限られない。三次元測定機などにも適用で
きる。たとえば、測定アームが横に突出した横型三次元
測定機の横に被測定物を載置し、この被測定物を横型三
次元測定機によって測定する場合において、被測定物を
本発明の測定用補助台上に載置しながら姿勢を変えるよ
うにすることもできる。
イトゲージ２を用いた例について説明したが、本発明
は、この例に限られない。三次元測定機などにも適用で
きる。たとえば、測定アームが横に突出した横型三次元
測定機の横に被測定物を載置し、この被測定物を横型三
次元測定機によって測定する場合において、被測定物を
本発明の測定用補助台上に載置しながら姿勢を変えるよ
うにすることもできる。
【００２２】
【発明の効果】以上の通り、本発明の測定用補助台によ
れば、エアーによって台本体を定盤上から浮上させなが
ら移動させるようにしたので、軽い力で被測定物および
測定器のいずれか一方を他方に対して移動させることが
でき、しかも、熱や傷などの問題も解消できるという効
果が期待できる。
れば、エアーによって台本体を定盤上から浮上させなが
ら移動させるようにしたので、軽い力で被測定物および
測定器のいずれか一方を他方に対して移動させることが
でき、しかも、熱や傷などの問題も解消できるという効
果が期待できる。
【図１】本発明の測定用補助台の第１実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】図１の III−III 線断面図である。
【図４】同上実施例の測定状態の一例を示す図である。
【図５】同上実施例の測定状態の他の例を示す図であ
る。
る。
【図６】本発明の測定用補助台の第２実施例を示す断面
図である。
図である。
【図７】従来の測定方法を示す斜視図である。
１ 定盤 ２ ハイトゲージ（測定器） ３ 電気マイクロメータ １１ 台本体 １２ 載置面 ２１ エアーパッド ３１ 高さ調整機構 ４１ エアー供給装置
Claims (3)
- 【請求項１】定盤上において、被測定物および測定器の
いずれか一方を他方に対して移動させながら測定を行う
際に用いられる測定用補助台であって、 上面に前記被測定物および測定器のいずれか一方を載置
する載置面が形成された台本体と、この台本体の下面に
設けられ前記定盤の上面に向けてエアーを噴出する複数
のエアーパッドとを備えたことを特徴とする測定用補助
台。 - 【請求項２】請求項１に記載の測定用補助台において、
前記台本体には前記各エアーパッドにエアーを供給する
エアー供給装置が設けられていることを特徴とする測定
用補助台。 - 【請求項３】請求項１または請求項２に記載の測定用補
助台において、前記台本体と各エアーパッドとの間には
高さ調整機構が設けられていることを特徴とする測定用
補助台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32385593A JPH07181031A (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | 測定用補助台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32385593A JPH07181031A (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | 測定用補助台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07181031A true JPH07181031A (ja) | 1995-07-18 |
Family
ID=18159342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32385593A Pending JPH07181031A (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | 測定用補助台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07181031A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1584894A1 (en) | 2004-04-08 | 2005-10-12 | Mitutoyo Corporation | Mount table, surface texture measuring machine and surface texture measuring method |
| JP2006030119A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Hidetada Kawaguchi | 静圧気体軸受を用いた計測器支持台、計測器 |
| JP2013040802A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-28 | Sakurai Iron Works Ltd | 真円度測定機 |
| KR102424927B1 (ko) * | 2021-10-05 | 2022-07-22 | 인덕대학교 산학협력단 | 아스팔트 혼합물 공시체의 높이 측정장치 |
-
1993
- 1993-12-22 JP JP32385593A patent/JPH07181031A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2005300248A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Mitsutoyo Corp | 載置テーブル、表面性状測定機および表面性状測定方法 |
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