JPH07153576A - Organic electroluminescent panel - Google Patents
Organic electroluminescent panelInfo
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- JPH07153576A JPH07153576A JP5300037A JP30003793A JPH07153576A JP H07153576 A JPH07153576 A JP H07153576A JP 5300037 A JP5300037 A JP 5300037A JP 30003793 A JP30003793 A JP 30003793A JP H07153576 A JPH07153576 A JP H07153576A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は有機電界発光パネルに関
するものであり、詳しくは、有機化合物からなる発光層
に電界をかけて光を放出する薄膜型デバイスに関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent panel, and more particularly, to a thin film type device which emits light by applying an electric field to a light emitting layer made of an organic compound.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、薄膜型の電界発光(EL)素子と
しては、無機材料のII−VI族化合物半導体であるZn
S、CaS、SrS等に、発光中心であるMnや希土類
元素(Eu、Ce、Tb、Sm等)をドープしたものが
一般的であるが、上記の無機材料から作製したEL素子
は、 1)交流駆動が必要(50〜1000Hz)、 2)駆動電圧が高い(〜200V)、 3)フルカラー化が困難(特に青色が問題)、 4)周辺駆動回路のコストが高い、 という問題点を有している。2. Description of the Related Art Conventionally, as a thin film type electroluminescent (EL) element, Zn which is a II-VI group compound semiconductor of an inorganic material has been used.
It is general that S, CaS, SrS, etc. are doped with Mn or a rare earth element (Eu, Ce, Tb, Sm, etc.), which is the emission center, but the EL element made from the above inorganic material is 1). AC drive is required (50 to 1000 Hz), 2) high drive voltage (up to 200 V), 3) full colorization is difficult (especially blue is a problem), and 4) peripheral drive circuit costs are high. ing.
【0003】しかし、近年、上記問題点の改良のため、
有機薄膜を用いたEL素子の開発が行われるようになっ
た。特に、発光効率を高めるために電極からのキャリア
ー注入の効率向上を目的とした電極種類の最適化を行
い、芳香族ジアミンからなる有機正孔輸送層と8−ヒド
ロキシキノリンのアルミニウム錯体からなる発光層を設
けた有機電界発光素子の開発(Appl.Phys.L
ett.,51巻,913頁,1987年参照)によ
り、従来のアントラセン等の単結晶を用いたEL素子と
比較して発光効率の大幅な改善がなされている。However, in recent years, in order to improve the above problems,
EL devices using organic thin films have been developed. In particular, the electrode type was optimized to improve the efficiency of carrier injection from the electrode in order to increase the luminous efficiency, and an organic hole transport layer made of an aromatic diamine and a light emitting layer made of an aluminum complex of 8-hydroxyquinoline. Of an organic electroluminescence device provided with a light emitting diode (Appl. Phys. L
ett. , 51, p. 913, 1987), the luminous efficiency is significantly improved as compared with a conventional EL device using a single crystal such as anthracene.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記のような有機電界
発光素子をディスプレイパネルとして用いるためには、
一般にマトリクスアドレス方式(特開平2−66873
号公報、電気通信学会技術研究報告,OME89−4
6,37,1989年参照)が採用されるが、画素数の
増加にともない、輝度がデューティの減少とともに減少
したり(電気通信学会技術研究報告,OME88−4
7,35,1988年参照)、クロストークが起きたり
する。そこで、有機電界発光素子をアクティブ・マトリ
クス回路で駆動することが考えられるが、これまでに開
示されている方法(特開平2−148687公報参照)
では、一つ一つの有機電界発光素子に複数のMOSトラ
ンジスタからなるメモリ素子を接続してデジタル信号で
輝度の制御を行うことから、有機電界発光素子と同一基
板上にこれらの回路を実装することは、開口率が小さく
なり、多大な配線を必要とすることから非常に困難であ
る。このために、有機電界発光素子とアクティブ・マト
リクス回路を同一基板上に設けたパネルが考えられる
(特願平5−116208号参照)。このパネルにおい
ては、透明電極である陽極とアクティブ・マトリクス回
路は同一基板上にあるので、XYのマトリクスに配置さ
れた各陽極と外部駆動回路との接続は、前記基板上の周
囲に予め形成された配線パターンによりなされる。もう
一方の電極である陰極はXYのマトリクス構造をとる必
要がなく、ベタの構造でよいが、全画素の駆動電流は陰
極に集まってくるので、前記基板周囲の狭い隙間を利用
して外部回路との電気的接続をとることには、電流量か
ら考えて問題があった。In order to use the above organic electroluminescent device as a display panel,
Generally, a matrix address method (Japanese Patent Laid-Open No. 2-66873)
Publication, Technical Report of IEICE, OME89-4
6, 37, 1989) is adopted, but the brightness decreases as the duty decreases with the increase in the number of pixels (Technical Research Report of the Institute of Electrical Communication, OME88-4).
7, 35, 1988), crosstalk occurs. Therefore, it is conceivable to drive the organic electroluminescent element by an active matrix circuit, but the method disclosed so far (see Japanese Patent Laid-Open No. 2-148687).
In order to control the brightness with a digital signal by connecting a memory element composed of a plurality of MOS transistors to each organic electroluminescent element, mount these circuits on the same substrate as the organic electroluminescent element. Is very difficult because the aperture ratio becomes small and a large amount of wiring is required. Therefore, a panel in which an organic electroluminescent device and an active matrix circuit are provided on the same substrate is conceivable (see Japanese Patent Application No. 5-116208). In this panel, since the anode, which is a transparent electrode, and the active matrix circuit are on the same substrate, the connection between each anode arranged in the XY matrix and the external drive circuit is formed in advance around the substrate. It is made by the wiring pattern. The other electrode, the cathode, need not have an XY matrix structure and may have a solid structure. However, since the driving currents of all pixels are collected in the cathode, an external circuit is formed by utilizing the narrow gap around the substrate. There was a problem in terms of the amount of current to make an electrical connection with.
【0005】本発明者等は上記実状に鑑み、同一基板上
に有機電界発光素子とそのアクティブ・マトリクス駆動
回路を備えた有機電界発光パネルを提供することを目的
とする。In view of the above situation, the present inventors have an object to provide an organic electroluminescent panel having an organic electroluminescent element and an active matrix driving circuit thereof on the same substrate.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】即ち、本発明の要旨は、
基板上に、陽極及び陰極により挟持された有機発光層か
らなる有機電界発光素子と、有機電界発光素子を駆動す
るためのアクティブ・マトリクス回路とを設けた有機電
界発光パネルであって、前記陰極は、基板、有機電界発
光素子及びアクティブ・マトリクス回路とを被っている
パネルの匡体部分と電気的に接続されていることを特徴
とする有機電界発光パネルに存する。The summary of the present invention is as follows.
What is claimed is: 1.An organic electroluminescent panel comprising an organic electroluminescent device comprising an organic luminescent layer sandwiched by an anode and a cathode, and an active matrix circuit for driving the organic electroluminescent device, the organic electroluminescent panel comprising: , An organic electroluminescent panel characterized in that it is electrically connected to a casing portion of the panel covering the substrate, the organic electroluminescent element and the active matrix circuit.
【0007】以下、本発明の有機電界発光パネルについ
て添付図面に従い説明する。図1は本発明に用いられる
一般的な有機電界発光素子の構造例を模式的に示す断面
図であり、1は基板、2は陽極、3は正孔輸送層、4は
発光層、5は陰極を各々表わす。基板1は有機電界発光
素子の支持体となるものであり、石英やガラスの板等が
用いられる。The organic electroluminescent panel of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a structural example of a general organic electroluminescent device used in the present invention, where 1 is a substrate, 2 is an anode, 3 is a hole transport layer, 4 is a light emitting layer, and 5 is Each represents a cathode. The substrate 1 serves as a support for the organic electroluminescence device, and a quartz or glass plate or the like is used.
【0008】基板1上には陽極2が設けられるが、この
陽極としては通常、金、銀、パラジウム、白金等の金
属、インジウム及び/又はスズの酸化物(ITOと以下
略す)等の金属酸化物やヨウ化銅、あるいは、ポリ(3
−メチルチオフェン)等の導電性高分子等により構成さ
れる。陽極2の上に設けられる正孔輸送層3に用いられ
る化合物としては、例えば、特開昭59−194393
号公報及び米国特許第4,175,960号の第13〜
14欄に記載されているN,N’−ジフェニル−N,
N’−(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル
−4,4’−ジアミン:1,1’−ビス(4−ジ−p−
トリルアミノフェニル)シクロヘキサン:4,4’−ビ
ス(N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ)ビフ
ェニル等の芳香族アミン系化合物、特開平2−3115
91号公報に記載されているヒドラゾン化合物、米国特
許第4,950,950号公報に記載されているシラザ
ン化合物、キナクリドン化合物等が挙げられる。これら
の化合物は、単独で用いてもよいし、必要に応じて、各
々、混合して用いてもよい。上記の化合物以外に、ポリ
ビニルカルバゾールやポリシラン(Appl.Phy
s.Lett.,59巻,2760頁,1991年参
照)等の高分子材料が挙げられる。An anode 2 is provided on the substrate 1. As the anode, a metal such as gold, silver, palladium, platinum or the like, or a metal oxide such as an oxide of indium and / or tin (abbreviated as ITO hereinafter) is usually used. Object or copper iodide, or poly (3
-Methylthiophene) and other conductive polymers. Examples of the compound used for the hole transport layer 3 provided on the anode 2 include JP-A-59-194393.
No. 13 to U.S. Pat. No. 4,175,960.
N, N′-diphenyl-N, described in column 14
N '-(3-methylphenyl) -1,1'-biphenyl-4,4'-diamine: 1,1'-bis (4-di-p-
Tolylaminophenyl) cyclohexane: 4,4′-bis (N- (1-naphthyl) -N-phenylamino) biphenyl and other aromatic amine compounds, JP-A-2-3115
The hydrazone compound described in Japanese Patent No. 91, the silazane compound, the quinacridone compound, and the like described in US Pat. No. 4,950,950. These compounds may be used alone, or may be used as a mixture if necessary. In addition to the above compounds, polyvinylcarbazole and polysilane (Appl.Phy
s. Lett. , 59, p. 2760, 1991).
【0009】発光層4に用いられる材料としては、テト
ラフェニルブタジエン等の芳香族化合物(特開昭57−
51781号公報参照)、8−ヒドロキシキノリンのア
ルミニウム錯体等の金属錯体(特開昭59−19439
3号公報参照)、シクロペンタジエン誘導体(特開平2
−289675号公報参照)、ペリノン誘導体(特開平
2−289676号公報参照)、オキサジアゾール誘導
体(特開平2−216791号公報参照)、ビススチリ
ルベンゼン誘導体(特開平1−245087号公報、特
開平2−222484号公報参照)、ペリレン誘導体
(特開平2−189890号公報、特開平3−791号
公報参照)、クマリン化合物(特開平2−191694
号公報、特開平3−792号公報参照)、希土類錯体
(特開平1−256584号公報参照)、ジスチリルピ
ラジン誘導体(特開平2−252793号公報参照)、
p−フェニレン化合物(特開平3−33183号公
報)、チアジアゾロピリジン誘導体(特開平3−372
92号公報参照)、ピロロピリジン誘導体(特開平3−
37293号公報参照)、ナフチリジン誘導体(特開平
3−203982号公報参照)等が挙げられる。As a material used for the light emitting layer 4, an aromatic compound such as tetraphenyl butadiene (see JP-A-57-57).
No. 51781), a metal complex such as an aluminum complex of 8-hydroxyquinoline (JP-A-59-19439).
3), a cyclopentadiene derivative (Japanese Patent Laid-Open No. Hei 2)
-289675), perinone derivative (see JP-A-2-289676), oxadiazole derivative (see JP-A-2-216791), bis-styrylbenzene derivative (JP-A 1-245087, JP-A 1-245087). 2-222484), perylene derivatives (see JP-A-2-189890, JP-A-3-791), and coumarin compounds (JP-A-2-191694).
JP-A No. 3-792), a rare earth complex (see JP-A 1-256584), a distyrylpyrazine derivative (see JP-A-2-252793),
p-phenylene compound (JP-A-3-33183), thiadiazolopyridine derivative (JP-A-3-372)
92), pyrrolopyridine derivative (JP-A-3-
37293) and naphthyridine derivatives (see JP-A-3-203982).
【0010】陰極5は発光層4に電子を注入する役割を
果たす。陰極4として用いられる材料は、効率よく電子
注入を行なうために仕事関数の低い金属が好ましく、ス
ズ、マグネシウム、インジウム、アルミニウム、銀等の
適当な金属又はそれらの合金が用いられる。第1図に示
した構造以外にも、以下に示すような層構成の有機電界
発光素子が本発明に用いられる。The cathode 5 plays a role of injecting electrons into the light emitting layer 4. The material used as the cathode 4 is preferably a metal having a low work function in order to efficiently inject electrons, and an appropriate metal such as tin, magnesium, indium, aluminum, silver or an alloy thereof is used. Besides the structure shown in FIG. 1, an organic electroluminescent device having the following layer structure is used in the present invention.
【0011】[0011]
【表1】陽極/有機発光層/陰極 陽極/高分子からなる有機発光層/陰極 陽極/高分子に分散させた有機発光層/陰極 陽極/正孔輸送層/有機電子輸送性発光層/陰極 陽極/有機正孔輸送性発光層/有機電子輸送層/陰極 陽極/正孔輸送層/有機電子輸送性発光層/電子輸送層
/陰極 次に、本発明における有機電界発光素子を駆動するアク
ティブ・マトリクス回路について説明する。[Table 1] Anode / organic luminescent layer / cathode Anode / polymer organic luminescent layer / cathode Anode / polymer dispersed organic luminescent layer / cathode Anode / hole transport layer / organic electron transport luminescent layer / cathode Anode / organic hole-transporting light-emitting layer / organic electron-transporting layer / cathode Anode / hole-transporting layer / organic electron-transporting light-emitting layer / electron-transporting layer / cathode Next, an active layer for driving the organic electroluminescent device of the invention is formed. The matrix circuit will be described.
【0012】本発明の有機電界発光パネルは、XYのマ
トリクスに配置された有機電界発光素子からなる画素に
対して、X方向に1ラインずつ選択し、Y方向の電極か
ら各画素の表示信号を与え、X方向の選択信号は1ライ
ンずつ操作され、一巡して全画面を表示する方式であ
る。このパネルにおいては、各画素の回路上にメモリ機
能をもたせるようにした。なぜなら液晶の場合とは異な
り、選択時(ある画素の走査電極がONとなり、表示信
号が与えられている状態)のみに電流を流しただけで
は、選択された瞬間だけ画素が発光することになり、画
面全体として連続した表示はできないからである。そこ
で回路上に選択時から画面を一巡して次の選択時までの
間、表示状態を維持するためのメモリが必要となる。そ
して、電流駆動が可能な回路とする。具体的には、通
常、液晶用の駆動回路と比較して、素子に流れる電流密
度は1000倍以上となる。In the organic electroluminescent panel of the present invention, one line in the X direction is selected for each pixel composed of the organic electroluminescent elements arranged in the XY matrix, and the display signal of each pixel is selected from the electrode in the Y direction. The selection signal in the X direction is operated line by line, and the entire screen is displayed in one cycle. In this panel, each pixel circuit has a memory function. This is because, unlike the case of liquid crystal, if a current is passed only during selection (the scanning electrode of a certain pixel is ON and a display signal is being applied), the pixel will emit light only at the selected moment. , Because the entire screen cannot be displayed continuously. Therefore, it is necessary to provide a memory on the circuit for maintaining the display state from the time of selection to the time of the next selection after making a round of the screen. Then, a circuit that can be driven by current is used. Specifically, the current density flowing through the device is usually 1000 times or more that of a drive circuit for liquid crystal.
【0013】以上が基本的な回路の機能であるが、さら
に表示パネルとしてコントラストが十分に大きいこと、
画面の開口率が大きいこと、クロストークがないこと等
がさらに考慮される。図2に一画素分の薄膜トランジス
タ(TFT)とコンデンサとからなるアクティブ・マト
リクス駆動回路を示す。本回路では各画素毎に2つのT
FT(TFT1、TFT2)と1つのコンデンサ(C)
から構成され、電流駆動とメモリ性を実現している。駆
動信号用に2つの電極(SCAN電極、DATA電極)
があり液晶用と類似しているが、その他に電流供給用と
してCOM電極があり、常に電圧が印加されている点が
異なっている。The above is the basic circuit function, but the contrast is sufficiently large as a display panel.
Further consideration is given to the large aperture ratio of the screen and the absence of crosstalk. FIG. 2 shows an active matrix drive circuit including a thin film transistor (TFT) for one pixel and a capacitor. This circuit uses two Ts for each pixel.
FT (TFT1, TFT2) and one capacitor (C)
It realizes current drive and memory performance. Two electrodes (SCAN electrode, DATA electrode) for driving signals
However, it is similar to that for liquid crystal, but is different in that there is a COM electrode for supplying current, and voltage is always applied.
【0014】以下に素子の動作を説明する。図2の回路
図上ではTFTをFETとして表現しているが、TFT
は基本的にはMOS−FETと類似した構造・動作であ
り、ゲート電位によりソース・ドレイン電極間のスイッ
チ動作を行うことができる。駆動のための信号の与え方
は、1ライン毎に選択し、選択されたライン中の各画素
毎にONかOFFかの信号を与える。選択するための電
極がSCAN電極であり、信号を与える電極がDATA
電極である。いま、選択状態すなわちSCAN信号(S
CAN電極の入力信号)がHIGHの時、TFT1はO
N状態になり、中間電極FEの電位はDATA信号がH
IGHならHIGHに、LOWならLOWとなる。従っ
て、DATA信号がHIGHならTFT2はONとな
り、出力電位(画素電極の電位)はHIGHとなる。ま
た、DATA信号がLOWならばTFT2はOFFとな
り、出力電位はLOWとなる。その後、SCAN信号が
LOW、すなわち、非選択状態になった時、TFT1は
OFFとなるが、中間電極FEの電位はコンデンサCに
より保持されて変化せず、DATA信号が変化しても出
力電位の状態は変化しない。出力電位が変化するのは、
再びこの画素を含むラインが選択状態、つまり、SCA
N信号がHIGHになり、以前とは異なった信号がDA
TA電極に与えられた時である。この回路により、電流
駆動型であってもアクティブ・マトリクス方式の駆動が
可能となる。The operation of the device will be described below. Although the TFT is expressed as an FET in the circuit diagram of FIG.
Has basically the same structure and operation as the MOS-FET, and can switch between the source and drain electrodes by the gate potential. The method of giving a signal for driving is selected for each line, and an ON or OFF signal is given for each pixel in the selected line. The electrodes for selection are SCAN electrodes, and the electrodes that give signals are DATA.
It is an electrode. Now, the selected state, that is, the SCAN signal (S
When the input signal of the CAN electrode is HIGH, the TFT1 is
The N state is set, and the potential of the intermediate electrode FE is H when the DATA signal is H.
If it is IGH, it becomes HIGH, and if it is LOW, it becomes LOW. Therefore, if the DATA signal is HIGH, the TFT 2 is turned ON and the output potential (pixel electrode potential) becomes HIGH. If the DATA signal is LOW, the TFT2 is turned off and the output potential is LOW. After that, when the SCAN signal becomes LOW, that is, in the non-selected state, the TFT1 is turned off, but the potential of the intermediate electrode FE is held by the capacitor C and does not change, and even if the DATA signal changes, the output potential The state does not change. The output potential changes
Again, the line containing this pixel is in the selected state, that is, SCA
The N signal becomes HIGH, and a different signal from before is DA
It is when applied to the TA electrode. With this circuit, it is possible to drive an active matrix system even if it is a current drive type.
【0015】以上の回路を開口率を考慮して基板上に具
体化したのものを図3に示す。同図には4回路分のパタ
ーンを示してある。本発明のアクティブ・マトリクス回
路に用いられるTFTの材料としては、非晶質シリコン
(a−Si)、多結晶シリコン(poly−Si)、セ
レン化カドミウム(CdSe)が挙げられる。TFT構
造としては、逆スタガ型と呼ばれるものが好ましくは採
用される。FIG. 3 shows the above circuit embodied on a substrate in consideration of the aperture ratio. In the figure, patterns for four circuits are shown. Examples of the material of the TFT used in the active matrix circuit of the present invention include amorphous silicon (a-Si), polycrystalline silicon (poly-Si), and cadmium selenide (CdSe). As the TFT structure, what is called an inverted stagger type is preferably adopted.
【0016】代表的な例として、逆スタガ型構造のa−
SiTFTを図4に示す。ガラス基板6の上にa−Si
TFTは形成される。ゲート電極7としては、Mo、T
a、Al、Crやそれらの積層膜又は合金等が用いられ
る。ゲート電極は、通常、電子ビーム蒸着法やスパッタ
法により形成される。ゲート絶縁膜8としては、シリコ
ン窒化膜(SiNx )が用いられ、その上にi型a−S
i層9とn+ 型a−Si層10が積層される。シリコン
窒化膜(SiNx )、i型a−Si層及びn+型a−S
i層は、通常、プラズマCVD法により連続して形成さ
れる。n+ 型a−Si層10に窓を形成した後に、ソー
ス及びドレイン電極11a、11bを形成する。ソー
ス、ドレイン電極としてはゲート電極と同様の金属が使
用される。上記のa−SiTFTにおいては、ゲート電
位によりi型a−Si半導体層表面に電荷が誘起され、
その電荷の有無によりソース・ドレイン電極間のスイッ
チ動作を行う。n+ 型a−Siは電極への電荷の移動を
円滑にするためのコンタクト層である。As a typical example, an inverted stagger type a-
The SiTFT is shown in FIG. A-Si on the glass substrate 6
The TFT is formed. As the gate electrode 7, Mo, T
A, Al, Cr, a laminated film or alloy thereof, or the like is used. The gate electrode is usually formed by an electron beam evaporation method or a sputtering method. A silicon nitride film (SiN x ) is used as the gate insulating film 8, and the i-type aS
The i layer 9 and the n + type a-Si layer 10 are stacked. Silicon nitride film (SiN x ), i-type a-Si layer and n + -type a-S
The i layer is usually continuously formed by the plasma CVD method. After forming the window in the n + type a-Si layer 10, the source and drain electrodes 11a and 11b are formed. The same metal as the gate electrode is used for the source and drain electrodes. In the above a-Si TFT, electric charges are induced on the surface of the i-type a-Si semiconductor layer by the gate potential,
A switch operation between the source and drain electrodes is performed depending on the presence or absence of the charge. The n + type a-Si is a contact layer for facilitating the transfer of charges to the electrodes.
【0017】コンデンサ及び電極交差部はTFT用の絶
縁膜を用い、TFT作製と同時に形成できる構造とす
る。コンデンサは定電位のCOM電極との間で形成され
るために、ノイズに強い回路構成となっている。有機電
界発光パネルの製作工程の例を図5に示す。 (a)下部電極形成工程:ITO画素電極2aとゲート
電極7aのパターニング(電極7bは蓄積用コンデンサ
の電極となる。) (b)a−Si連続成膜工程: SiNx 層8a/i型a−Si層9a/n+ 型a−Si
層10a (c)a−Siパターニング工程:TFT(8b〜10
b)と蓄積用コンデンサ(8c〜10c)An insulating film for a TFT is used for the capacitor and the electrode crossing portion, and the structure can be formed at the same time when the TFT is manufactured. Since the capacitor is formed between the constant potential COM electrode and the constant potential COM electrode, it has a circuit structure resistant to noise. An example of the manufacturing process of the organic electroluminescent panel is shown in FIG. (A) Lower electrode forming step: patterning of the ITO pixel electrode 2a and the gate electrode 7a (the electrode 7b becomes an electrode of the storage capacitor.) (B) a-Si continuous film forming step: SiN x layer 8a / i type a -Si layer 9a / n + type a-Si
Layer 10a (c) a-Si patterning step: TFT (8b to 10)
b) and storage capacitors (8c-10c)
【0018】(d)上部電極形成工程:TFTのソース
電極、ドレイン電極11a、11b及び蓄積用コンデン
サの電極11cの形成 (e)TFTのチャンネル形成:n+ 型a−Si層10
bのエッチオフ (f)アクティブ・マトリクス回路保護用の絶縁膜12
の形成 (g)有機発光層成膜工程:有機発光層13の形成 (h)陰極形成工程:陰極5aの形成 上記絶縁層12に用いられる材料としては、フォトリソ
グラフィによるパターニングが可能で十分な絶縁耐圧を
有するものが使用可能で、具体例としては、シリコン酸
化膜、シリコン窒化膜等が挙げられ、これらの絶縁膜は
CVD法、プラズマCVD法、スパッタ法、蒸着法等に
より形成することができる。無機材料以外では、感光性
樹脂を用いて上記絶縁層を形成することが可能で、この
場合は通常のフォトレジストをパターニングする工程だ
けでよく簡便である。(D) Step of forming upper electrode: formation of source electrodes and drain electrodes 11a and 11b of TFT and electrode 11c of storage capacitor (e) Formation of channel of TFT: n + -type a-Si layer 10
Etch-off of b (f) Insulating film 12 for protecting active matrix circuit
(G) Organic light emitting layer film forming step: formation of organic light emitting layer 13 (h) Cathode forming step: formation of cathode 5a As the material used for the insulating layer 12, patterning by photolithography is possible and sufficient insulation is obtained. A material having a withstand voltage can be used, and specific examples thereof include a silicon oxide film, a silicon nitride film, and the like. These insulating films can be formed by a CVD method, a plasma CVD method, a sputtering method, an evaporation method, or the like. . It is possible to form the insulating layer using a photosensitive resin other than the inorganic material, and in this case, it is sufficient to perform only the step of patterning a normal photoresist, which is simple.
【0019】上記絶縁層12がないと、陰極5aとTF
Tのソース電極11a、ドレイン電極11b、蓄積用コ
ンデンサの電極11cとの間で電界がかかるために不要
なリーク電流が流れたり、絶縁破壊による短絡を起こし
て、結果として、アクティブ・マトリクス回路の動作を
阻害したり、最悪の場合は、アクティブ・マトリクス駆
動を不可能とする。アクティブ・マトリクス回路保護用
の絶縁膜12は、上述のようなリーク電流や絶縁破壊を
防止し、アクティブ・マトリクス回路の完全動作を保証
するものである。Without the insulating layer 12, the cathode 5a and the TF
An electric field is applied between the source electrode 11a, the drain electrode 11b of T and the electrode 11c of the storage capacitor, so that an unnecessary leak current flows or a short circuit due to dielectric breakdown occurs, resulting in the operation of the active matrix circuit. Or, in the worst case, disables active matrix driving. The insulating film 12 for protecting the active matrix circuit prevents the leak current and the dielectric breakdown as described above and guarantees the complete operation of the active matrix circuit.
【0020】上記の工程例では、これまでに開示されて
いるマトリクス構造におけるような陰極5aのパターニ
ングが必要でなく、陰極5aと有機発光層13の形成は
全面一様成膜でよい。従って、有機発光層13を形成し
た後に、有機発光層にダメージを与えるフォトリソグラ
フィプロセスを経ることが避けられ、全体の工程も簡素
化される。In the above process example, patterning of the cathode 5a as in the matrix structure disclosed so far is not necessary, and the cathode 5a and the organic light emitting layer 13 may be formed uniformly over the entire surface. Therefore, it is possible to avoid a photolithography process that damages the organic light emitting layer after forming the organic light emitting layer 13, and the entire process is simplified.
【0021】上記のアクティブ・マトリクス回路を有す
るパネルの平面構造を図6に示す。DATAラインとS
CANラインの外部駆動電源との接続のための配線取り
出しは図6に示したように基板の周辺に密に位置する。
図6には示していないが、COMラインの配線取り出し
も必要である。有機電界発光素子の駆動に必要な電圧は
5〜20V、電流密度は5〜30mA/cm2 であるの
で、各画素に流れる電流が集まる陰極の配線取り出しを
上記基板上に設けようとすると、極めて面積の小さい部
分に設けることになり、この配線部分を通して電流密度
を十分にとることが困難である。FIG. 6 shows a plane structure of a panel having the above active matrix circuit. DATA line and S
Wiring leads for connecting the CAN line to the external drive power source are densely located around the substrate as shown in FIG.
Although not shown in FIG. 6, it is also necessary to take out the wiring of the COM line. Since the voltage required to drive the organic electroluminescent element is 5 to 20 V and the current density is 5 to 30 mA / cm 2, it is extremely difficult to provide a cathode wiring for collecting the current flowing in each pixel on the substrate. Since it is provided in a portion having a small area, it is difficult to obtain a sufficient current density through this wiring portion.
【0022】図7に、陰極25を電気的接続層26を通
して背後の導電性の匡体27に電気的に接続したパネル
構造を示す。匡体27は、エポキシ樹脂やアクリル樹脂
等からなる封止部分28とともに、基板、有機電界発光
素子及びアクティブ・マトリクス回路を被う構成となっ
ている。匡体27の材料としては、導電性と機械的強度
を有するものであれば特に限定されないが、好ましく
は、ステンレス、アルミニウム、同等の金属が挙げられ
る。図7の構造においては、陰極は匡体全体に接地され
ているので、アクティブ・マトリクス回路を通して画素
電極である陽極に印加する電圧は正電位とすればよい。
陰極はパネル全体に電気的に接続されているので、パネ
ル駆動に必要な電流密度は十分に流すことができ、局所
的な発熱等の問題もない。FIG. 7 shows a panel structure in which the cathode 25 is electrically connected to the back conductive casing 27 through the electrical connection layer 26. The casing 27 is configured to cover the substrate, the organic electroluminescent element, and the active matrix circuit together with the sealing portion 28 made of epoxy resin, acrylic resin, or the like. The material of the casing 27 is not particularly limited as long as it has conductivity and mechanical strength, but preferably, stainless steel, aluminum, or an equivalent metal is used. In the structure of FIG. 7, since the cathode is grounded to the entire casing, the voltage applied to the anode which is the pixel electrode through the active matrix circuit may be a positive potential.
Since the cathode is electrically connected to the entire panel, a sufficient current density required for driving the panel can be supplied, and there is no problem such as local heat generation.
【0023】上記電気的接続層26としては、抵抗率が
低いことは言うに及ばず、陰極25とのコンタクトが良
好にとれ、さらには熱伝導率が高いことが望ましい。抵
抗率としては10Ω・cm以下、好ましくは、1Ω・c
m以下の値が望ましい。陰極とのコンタクトを良くする
ためには、機械的に変形しやすい弾性材料が望ましく、
例えば導電ゴムが挙げられる。導電ゴムは異方性でも等
方性のいずれでもよい。導電ゴムの使用により、陰極を
傷つける危険性も避けることができる。また、導電ゴム
は通常熱伝導率が10-3cal/(cm・sec・℃)
と良好で、アクティブ・マトリクス回路及び有機電界発
光素子からの発熱を匡体27に逃がす作用があり、ヒー
トシンクとしての機能も果たし、素子の長寿命化にも寄
与する。It is desirable that the electrical connection layer 26 has a low resistivity, good contact with the cathode 25, and a high thermal conductivity. The resistivity is 10 Ω · cm or less, preferably 1 Ω · c
A value of m or less is desirable. In order to improve the contact with the cathode, an elastic material that is easily mechanically deformable is desirable,
For example, conductive rubber can be used. The conductive rubber may be anisotropic or isotropic. The use of conductive rubber also avoids the risk of damaging the cathode. In addition, conductive rubber usually has a thermal conductivity of 10 −3 cal / (cm · sec · ° C.).
In addition, it has a function of releasing heat generated from the active matrix circuit and the organic electroluminescent element to the casing 27, and also functions as a heat sink, which contributes to prolonging the life of the element.
【0024】[0024]
【実施例】次に、本発明を実施例によって更に具体的に
説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の
実施例の記載に限定されるものではない。以下に有機電
界発光パネルの製作例を示す。TFT素子の設計として
は、図2に示した回路図において、第1のTFTのゲー
ト長を20μm、ゲート幅を100μmとし、第2のT
FTのゲート長を20μm、ゲート幅を600μmとし
た。画素面積は600μm×600μm、画素間隔は8
00μm×800μmで、開口率を56%とした。EXAMPLES Next, the present invention will be described more specifically by way of examples, but the present invention is not limited to the description of the following examples unless it exceeds the gist. An example of manufacturing an organic electroluminescent panel is shown below. As the design of the TFT element, in the circuit diagram shown in FIG. 2, the gate length of the first TFT is 20 μm, the gate width is 100 μm, and the second T
The gate length of the FT was 20 μm and the gate width was 600 μm. Pixel area is 600μm x 600μm, pixel spacing is 8
The size was 00 μm × 800 μm, and the aperture ratio was 56%.
【0025】以下に各製作工程について説明する。 (a)下部電極形成工程 無アルカリガラス(米国コーニング社製7059)基板
上に、ITOを膜厚120nmスパッタしたもの(シー
ト抵抗〜20Ω/□)を、通常のフォトリソグラフィー
技術と塩酸を用いたウェットエッチングにより画素電極
(陽極)のパターニングを行った。次に電子ビーム蒸着
により、50nmのCr層、80nmのAu層、30n
mのCr層を順次積層し、通常のフォトリソグラフィー
技術と硝酸セリウムとアンモニア水を用いたウェットエ
ッチングによりゲート電極を形成した。Each manufacturing process will be described below. (A) Lower electrode forming step An ITO film having a thickness of 120 nm sputtered (sheet resistance of 20 Ω / □) on a non-alkali glass (7059 manufactured by Corning, USA) substrate was wet using ordinary photolithography technology and hydrochloric acid. The pixel electrode (anode) was patterned by etching. Then, by electron beam evaporation, a Cr layer of 50 nm, an Au layer of 80 nm, 30 n
A Cr layer of m was sequentially laminated, and a gate electrode was formed by a normal photolithography technique and wet etching using cerium nitrate and aqueous ammonia.
【0026】(b)a−Si連続成膜工程 (a)の工程で作製した基板を、プラズマCVD装置に
セットし、以下の表に示す条件でa−Si各層を連続成
膜した。(B) a-Si Continuous Film Formation Step The substrate prepared in the step (a) was set in a plasma CVD apparatus, and a-Si layers were continuously formed under the conditions shown in the table below.
【0027】[0027]
【表2】 [Table 2]
【0028】(c)a−Siパターニング工程 上記のプラズマCVD装置から基板を取り出して、通常
のフォトリソグラフィー技術とSF6 ガスを用いたプラ
ズマエッチングによりa−Siのパターニングを行っ
た。 (d)上部電極形成工程 電子ビーム蒸着により、50nmのCr層と100nm
のAu層とを順次積層し、通常のフォトリソグラフィー
技術とウェットエッチングによりドレイン及びソース電
極を形成した。 (e)n+ a−Si層エッチオフ工程 通常のフォトリソグラフィー技術とSF6 ガスを用いた
プラズマエッチングによりn+ a−Siの層のエッチン
グを行い、チャンネルを形成した。(C) a-Si patterning step The substrate was taken out from the plasma CVD apparatus described above, and a-Si patterning was performed by the usual photolithography technique and plasma etching using SF 6 gas. (D) Upper electrode forming step By electron beam evaporation, Cr layer of 50 nm and 100 nm
The Au layer and the Au layer were sequentially laminated, and the drain and source electrodes were formed by the usual photolithography technique and wet etching. (E) by plasma etching using the n + a-Si layer etching off process ordinary photolithography technique and SF 6 gas is performed to etch the layer of n + a-Si, to form channels.
【0029】上記(a)〜(e)の工程で作製した有機
電界発光パネルのa−SiTFTの特性を評価したとこ
ろ、移動度(μFE)は0.5cm2 /V・sec、し
きい値は3Vであった。 (f)アクティブ・マトリクス回路保護用の絶縁膜形成
工程 アルカリ現像型透明耐熱レジスト材料(新日鉄化学
(株)製;V−259PA)を用いて通常のフォトリソ
グラフィー技術により膜厚1.3μmの絶縁層を形成し
た。 (g)有機電界発光層成膜工程 (f)までの工程で出来上がった駆動回路基板を、メタ
ノールで超音波洗浄、純水で水洗、乾燥窒素で乾燥、U
V/オゾン洗浄を行った後、蒸着部分を限定する密着マ
スクをつけて真空蒸着装置内に設置し、装置内の真空度
が2×10-6Torr以下になるまで油拡散ポンプを用
いて排気した。以下図1に示す構造の有機電界発光素子
部分を作製した。When the characteristics of the a-SiTFT of the organic electroluminescent panel produced in the steps (a) to (e) were evaluated, the mobility (μFE) was 0.5 cm 2 / V · sec and the threshold value was It was 3V. (F) Insulating film forming step for active matrix circuit protection An insulating layer having a film thickness of 1.3 μm is formed by an ordinary photolithography technique using an alkali developing transparent heat-resistant resist material (V-259PA manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.). Was formed. (G) Organic electroluminescent layer forming step The drive circuit board completed in the steps up to (f) is ultrasonically washed with methanol, washed with pure water, dried with dry nitrogen, and U.
After performing V / ozone cleaning, install it in a vacuum vapor deposition device with a contact mask that limits the vapor deposition part, and exhaust using an oil diffusion pump until the degree of vacuum in the device becomes 2 x 10 -6 Torr or less. did. An organic electroluminescence device portion having the structure shown in FIG. 1 was produced below.
【0030】有機正孔輸送層材料として、以下に示す
N,N’−ジフェニル−N,N’−(3−メチルフェニ
ル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(H
1)をセラミックるつぼに入れ、るつぼの周囲のタンタ
ル線ヒーターで加熱して蒸着を行った。As the organic hole transport layer material, the following N, N'-diphenyl-N, N '-(3-methylphenyl) -1,1'-biphenyl-4,4'-diamine (H
1) was placed in a ceramic crucible and heated by a tantalum wire heater around the crucible for vapor deposition.
【0031】[0031]
【化1】 [Chemical 1]
【0032】この時のるつぼの温度は、160〜170
℃の範囲で制御した。蒸着時の真空度は2×10-6To
rrで、蒸着時間3分20秒で膜厚60nmの正孔輸送
層3を得た。次に、発光層4の材料として、以下の構造
式に示すアルミニウムの8−ヒドロキシキノリン錯体A
l(C9H6NO)3 (E1)を上記正孔輸送層3の上に同
様にして蒸着を行なった。The temperature of the crucible at this time is 160 to 170.
The temperature was controlled in the range of ° C. The degree of vacuum during vapor deposition is 2 × 10 -6 To
The hole transport layer 3 having a film thickness of 60 nm was obtained with an rr of vapor deposition time of 3 minutes and 20 seconds. Next, as a material for the light emitting layer 4, an aluminum 8-hydroxyquinoline complex A represented by the following structural formula is used.
l (C 9 H 6 NO) 3 (E1) was vapor-deposited on the hole transport layer 3 in the same manner.
【0033】[0033]
【化2】 [Chemical 2]
【0034】この時のるつぼの温度は230〜270℃
の範囲で制御した。蒸着時の真空度は2×10-6Tor
r、蒸着時間は3分30秒、膜厚は75nmであった。 (h)陰極形成工程 (g)で成膜したものを上記の真空蒸着装置から取り出
して、陰極蒸着部分を限定する密着マスクをつけて別の
真空蒸着装置内に設置し、マグネシウムと銀の合金陰極
を2元同時蒸着法によって膜厚150nmで蒸着した。
蒸着はモリブデンボートを用いて、真空度は3×10-6
Torr、蒸着時間は4分30秒で光沢のある膜が得ら
れた。マグネシウムと銀の原子比は10:1.5であっ
た。The temperature of the crucible at this time is 230 to 270 ° C.
Controlled in the range of. The degree of vacuum during vapor deposition is 2 × 10 -6 Tor
r, the vapor deposition time was 3 minutes and 30 seconds, and the film thickness was 75 nm. (H) Cathode forming step The film formed in (g) is taken out from the above vacuum vapor deposition apparatus, placed in another vacuum vapor deposition apparatus with an adhesion mask that limits the cathode vapor deposition portion, and an alloy of magnesium and silver is formed. The cathode was vapor-deposited with a film thickness of 150 nm by the two-source simultaneous vapor deposition method.
Vapor deposition uses a molybdenum boat and the degree of vacuum is 3 × 10 -6
A glossy film was obtained with Torr and vapor deposition time of 4 minutes and 30 seconds. The atomic ratio of magnesium to silver was 10: 1.5.
【0035】最後に、作製した上記素子を用いて図7に
示す構造のパネルを組み立てた。電気的接続層26とし
ては、信越シリコーン(株)製の導電用シリコーンゴム
EC−A(厚さ0.6mm)を使用した。陰極背面の金
属性匡体としてはステンレス板を用い、アクリル系の接
着剤28を用いてパネルの封止を行った。基板側の電気
配線22はフレキシブル配線23により外部駆動電源と
接続した。上記パネルを、1SCANラインの選択時間
を0.2m秒、選択状態が1巡する時間(フィールド時
間)を10m秒として、入力信号電圧は、DATA信号
とSCAN信号については、LOW=0V、HIGH=
36Vとし、COM信号については25Vとして駆動し
た。各画素の発光の立ち上がり、立ち下がり、及びメモ
リー動作も良好であった。上記の入力信号は100ライ
ン(画面を2分割して駆動する場合)のディスプレイに
おいて、フィールド周波数(画面を書き換える周波数)
を100Hzとした時に相当し、このフィールド周波数
は動画及び静止画の表示が十分に可能な値である。20
0ライン、フィールド周波数50Hzに相当する入力信
号の場合についても同様な測定を行い、満足する動作特
性を得た。Finally, a panel having the structure shown in FIG. 7 was assembled by using the above manufactured element. As the electrical connection layer 26, a conductive silicone rubber EC-A (thickness 0.6 mm) manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd. was used. A stainless steel plate was used as the metallic housing on the back surface of the cathode, and the panel was sealed with an acrylic adhesive 28. The electric wiring 22 on the substrate side was connected to an external drive power source by a flexible wiring 23. In the panel, the selection time for 1 SCAN line is 0.2 msec, the time for one selection state cycle (field time) is 10 msec, and the input signal voltage is LOW = 0 V, HIGH = for the DATA signal and the SCAN signal.
It was driven at 36V, and the COM signal was driven at 25V. The rise and fall of the light emission of each pixel and the memory operation were also good. The above input signal is a field frequency (screen rewriting frequency) on a 100-line (when the screen is divided into two) to be driven.
Is set to 100 Hz, and this field frequency is a value at which moving images and still images can be displayed sufficiently. 20
The same measurement was performed for an input signal corresponding to 0 line and a field frequency of 50 Hz, and satisfactory operating characteristics were obtained.
【0036】上記のパネルの駆動において、陰極と匡体
の電気的接続及び熱の放散は良好で長時間の連続駆動に
おいても各画素のスイッチング特性に変化はなく、有機
電界発光素子部分の熱的劣化もなかった。In the driving of the above panel, the electrical connection between the cathode and the casing and the dissipation of heat are good, and the switching characteristics of each pixel do not change even after continuous driving for a long time. There was no deterioration.
【0037】[0037]
【発明の効果】本発明においては、有機電界発光素子と
同一基板に薄膜トランジスタとコンデンサとからなるア
クティブ・マトリクス回路を設けることにより、優れた
表示能力を有する有機電界発光パネルが達成される。従
って、本発明の有機電界発光パネルはフラットパネル・
ディスプレイ(例えばOA用、FA用及びLA用コンピ
ュータや壁掛けテレビ)の分野や計測機器類の表示パネ
ルへの応用が考えられ、その技術的価値は大きいもので
ある。According to the present invention, an organic electroluminescent panel having excellent display capability is achieved by providing an active matrix circuit composed of thin film transistors and capacitors on the same substrate as the organic electroluminescent element. Therefore, the organic electroluminescent panel of the present invention is a flat panel
The field of display (for example, computers for OA, FA and LA, and wall-mounted television) and application to display panels of measuring instruments can be considered, and its technical value is great.
【図1】本発明に用いられる有機電界発光素子の一例を
示した模式断面図。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of an organic electroluminescence device used in the present invention.
【図2】本発明の有機電界発光パネルの駆動用の回路
図。FIG. 2 is a circuit diagram for driving the organic electroluminescent panel of the present invention.
【図3】本発明の有機電界発光パネルのTFT駆動回路
平面図。FIG. 3 is a plan view of a TFT drive circuit of the organic electroluminescence panel of the present invention.
【図4】本発明の有機電界発光パネル駆動回路に用いら
れるTFT構造の例。FIG. 4 is an example of a TFT structure used in an organic electroluminescence panel driving circuit of the present invention.
【図5】本発明の有機電界発光パネルの作製工程例。FIG. 5 shows an example of steps for manufacturing an organic electroluminescence panel of the present invention.
【図6】有機電界発光パネルの配線平面図。FIG. 6 is a wiring plan view of the organic electroluminescence panel.
【図7】本発明の有機電界発光パネルの模式断面図。FIG. 7 is a schematic sectional view of an organic electroluminescence panel of the present invention.
1 基板 2 陽極 2a ITO画素電極 3 正孔輸送層 4 発光層 5,5a 陰極 6 ガラス基板 7a TFTのゲート電極 7b 蓄積用コンデンサの電極 8,8a,8b,8c ゲート絶縁膜 9,9a,9b,9c i層a−Si 10,10a,10b,10c n+ 層a−Si 11a ソース電極 11b ドレイン電極 11c 蓄積用コンデンサの電極 12 アクティブ・マトリクス回路保護用の絶縁層 13 有機発光層 21 基板 22 基板上のDATA、SCAN及びCOMMON
ラインの配線部 23 外部駆動電源との接続配線 24 有機電界発光素子及びアクティブ・マトリクス
回路部 25 陰極 26 電気的接続層 27 パネルの匡体部分 28 パネルの封止部分1 substrate 2 anode 2a ITO pixel electrode 3 hole transport layer 4 light emitting layer 5, 5a cathode 6 glass substrate 7a TFT gate electrode 7b storage capacitor electrode 8, 8a, 8b, 8c gate insulating film 9, 9a, 9b, 9c i layer a-Si 10, 10a, 10b, 10c n + layer a-Si 11a source electrode 11b drain electrode 11c storage capacitor electrode 12 active matrix circuit protection insulating layer 13 organic light emitting layer 21 substrate 22 on substrate DATA, SCAN and COMMON
Line wiring part 23 Connection wiring with external drive power source 24 Organic electroluminescent element and active matrix circuit part 25 Cathode 26 Electrical connection layer 27 Panel part 28 Panel encapsulation part
Claims (2)
た有機発光層からなる有機電界発光素子と、有機電界発
光素子を駆動するためのアクティブ・マトリクス回路と
を設けた有機電界発光パネルであって、前記陰極は、基
板、有機電界発光素子及びアクティブ・マトリクス回路
とを被っているパネルの匡体部分と電気的に接続されて
いることを特徴とする有機電界発光パネル。1. An organic electroluminescence panel comprising an organic electroluminescence device comprising an organic luminescence layer sandwiched by an anode and a cathode, and an active matrix circuit for driving the organic electroluminescence device on a substrate. The organic electroluminescent panel is characterized in that the cathode is electrically connected to a casing portion of the panel covering the substrate, the organic electroluminescent element and the active matrix circuit.
N信号に応じてON、OFFし、DATA信号に応じて
蓄積用コンデンサを充放電する第1の薄膜トランジスタ
と、蓄積用コンデンサからの放電電圧に応じてON、O
FFし、有機電界発光素子の発光、非発光を制御する第
2の薄膜トランジスタとからなる請求項1に記載の有機
電界発光パネル。2. The active matrix circuit is an SCA.
A first thin film transistor that turns on and off according to an N signal and charges and discharges a storage capacitor according to a DATA signal, and turns on and off according to a discharge voltage from the storage capacitor.
The organic electroluminescent panel according to claim 1, comprising a second thin film transistor that performs FF and controls light emission and non-light emission of the organic electroluminescent element.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (1)
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