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JPH0676355A - 情報記録媒体 - Google Patents

情報記録媒体

Info

Publication number
JPH0676355A
JPH0676355A JP4225961A JP22596192A JPH0676355A JP H0676355 A JPH0676355 A JP H0676355A JP 4225961 A JP4225961 A JP 4225961A JP 22596192 A JP22596192 A JP 22596192A JP H0676355 A JPH0676355 A JP H0676355A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
recording
recording layer
recording medium
information
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4225961A
Other languages
English (en)
Inventor
Naomasa Nakamura
直正 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP4225961A priority Critical patent/JPH0676355A/ja
Publication of JPH0676355A publication Critical patent/JPH0676355A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】高感度で短いパルス幅、高い周波数で記録でき
る情報記録媒体を、さらには耐食性にも優れた情報記録
媒体を提供しようとするものである。 【構成】基板1上に記録用光ビームの照射により情報を
記録する記録層を形成してなる情報記録媒体において、
前記記録層が基板1側から第1の記録層3と第2の記録
層4からなり、かつ、第2の記録層4上に放熱層(冷却
層)5,5′を設けたものである。第1の記録層3の下
部と放熱層5,5′の上部の少なくとも一方に形成され
た無機誘電体からなる保護層2,6を設けたものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザービーム、電子
線ビーム等の照射により記録層に光学的特性の変化を生
じさせて情報の記録を行ない、かつ、この光学的特性変
化を検出して情報を再生する情報記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の情報記録媒体として、基
板上に低融点の金属、半金属または有機物からなる記録
層を積層しレーザー光を照射して記録層に孔を形成する
ことにより情報を記録するものがある。しかしながら、
この孔形成方式では、レーザ−光による孔の形状制御が
し難いという欠点がある。また、この欠点が解消される
情報記憶媒体として、記録層の相転移により情報を記録
するものがある。
【0003】この相転移を利用した記録材料としては、
例えば特開昭50−46317号公報で開示されるよう
なTeOx や、特開昭57−159692号公報で開示
されるようなSb2 Se3 /Bi2 Te3 の二層構造の
ものが知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、二層構
造の層転移方式では、片方の層が熱を吸収しその熱の熱
伝導によりもう一方の層を相転移させるため記録感度が
低く、短いパルス幅、高い周波数で記録することが難し
い。したがって、高い転送レートで記録および読み出し
をすることができないといった欠点があった。
【0005】本発明は、上記事情に基づきなされたもの
で、第1の目的とするところは、高感度で短いパルス
幅、高い周波数で記録できる情報記録媒体を提供しよう
とするものである。また、第2の目的とするところは、
耐食性にも優れた情報記録媒体を提供しようとするもの
である。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記第1の目
的を達成すべく第1の手段として、基板上に記録用光ビ
ームの照射により情報を記録する記録層を形成してなる
情報記録媒体において、前記記録層が基板側からTe を
含む第1の記録層とTe を含む第2の記録層からなり、
かつ、第2の記録層上に放熱層を設けたものである。
【0007】また、上記第2の目的を達成すべく第2の
手段として、基板上に記録用光ビームの照射により情報
を記録する記録層を形成してなる情報記録媒体におい
て、前記基板と、この基板上に形成されたTe を含む第
1の記録層と、この第1の記録層上に形成されたTe を
含む第2の記録層と、この第2の記録層上に形成された
放熱層と、前記第1の記録層の下部と前記放熱層の上部
の少なくとも一方に形成された無機誘電体からなる保護
層とを具備してなる構成としたものである。
【0008】
【作用】第1の手段の情報記録媒体においては、第1の
記録層と第2の記録層とはTeを含むため容易にそれぞ
れレ−ザ光を吸収するため、低いエネルギで両層の溶融
単一層化が可能である。この時、記録層溶融後の余分な
熱エネルギは放熱層(冷却層)により効率良く放熱され
るため、レーザによる加熱部以外の領域(記録膜の面内
方向へのしみだし)を変化させることがない。このため
レーザの形状に沿ったきれいな記録マークを形成するこ
とができる。
【0009】第2の手段の情報記録媒体においては、上
記第1の作用に加え、無機誘電体からなる保護層により
記録層を腐食する物質の浸入を防止でき耐食性に優れた
ものとすることができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明を図面を参照して説明する。ま
ず、図1を参照して本発明の情報記録媒体の一実施例を
説明する。
【0011】この情報記録媒体100は、アクリル樹脂
やポリカーボネート樹脂などからなるプラスチック基板
やガラス基板よりなる基板1上に、第1の保護層2と、
第1の記録層3と、第2の記録層4と、放熱層(冷却
層)5と、第2の保護層6とを順次積層した構成となっ
ている。
【0012】第1及び第2の保護層2,6は,金属また
は半金属の酸化物、窒化物、硫化物及びこれらの混合物
等の無機誘電体が用いられ、特にはSiO2 ,SiN,
ZnS、Al2 3 ,MgF2 などが良い。膜厚は50
00オングストロ−ム以下が好ましく、特に1000オ
ングストロ−ム以下が適している。第1の記録層3と第
2の記録層4は、Te含む合金組成からなる。
【0013】Teを含む合金はそれぞれ半導体レーザー
で記録可能な融点(500〜600℃)を持ち、かつ、
非晶質状態も安定である(保存安定性が良い)。また、
半導体レーザー光をよく吸収する。その中でも第1の記
録層3は、Ge,Sb,In,Snなどを含むTe合金
が適しており、第2の記録層4はBiを含むTe合金が
適している。放熱層(冷却層)5は、Al,Au,C
u,Ti,Ni,Crなどの金属、またはこれらの合金
が適している。
【0014】さらに、図2に示すように、放熱層(冷却
層)5は、これらAl,Au,Cu,Ti,Ni,Cr
などの金属または合金8を、無機誘電体7中に混合物と
して用いても良い。膜厚は記録用に用いられる線速に依
存するが特に1000オングストロ−ム以下が好まし
い。
【0015】しかして、このような層構成を有する情報
記録媒体100に対しての記録は、基板1を通したレー
ザー光10により行われる。一般に、この光源としては
半導体レーザーが用いられる。レーザー光10により加
熱された部分Aは両層の融点以上まで加熱され単一層に
変換される。
【0016】本発明の層構成の場合、第1の記録層3と
第2の記録層4とはそれぞれ光を吸収するため、低いエ
ネルギで両層3,4の溶融単一層化が可能である。この
時、記録層溶融後の余分な熱エネルギは放熱層(冷却
層)5により効率良く放熱されるため、レーザー光10
による加熱部以外の領域を変化させることがない。すな
わち、記録膜の面内方向への浸み出しがないため、レー
ザー光10の形状に沿ったきれいな記録マークを形成す
ることができる。
【0017】さらに、本発明の情報記録媒体100,
(100′)は、第1の記録層3と第2の記録層4の上
に放熱層(冷却層)5,(5′)が積層されていること
から、この放熱層(冷却層)5,(5′)が記録層3,
4を透過した光を反射する役目も果たしており、レーザ
ー光10の利用効率を向上させる効果も果たしている。
次に、この情報記録媒体100,100′を成膜する成
膜装置について、図3および図4を参照しながら説明す
る。
【0018】図中11は真空容器を示し、この真空容器
11はその底壁に設けられたガス排気ポート12を有し
ている。ガス排気ポート12は排気装置13に接続され
ており、このガス排気ポート12を介して真空容器11
内を排気するようになっている。
【0019】円板状の基板1は支持装置16により、真
空容器11内の上部にその面を水平にして支架されてお
り、成膜中に図示しないモータで支持装置16を回転さ
せることにより基板1を回転駆動させるようになってい
る。
【0020】また、真空容器11内の底部近傍には、基
板1に対向するように、所定元素で形成されたスパッタ
源19,20が配設されており、これら各スパッタには
図示しない高周波電源が接続されている。また、ガス導
入ポート21からスパッタガスとしてArガス22が導
入できるようになっている。
【0021】スパッタ源19,20の上方には、モニタ
−装置25、26が設けられ、各スパッタ源19,20
からのスパッタ量をモニタ−するようになっており、こ
のモニタ−した値により膜厚をコントロールできる。
【0022】この成膜装置によれば、先ず、排気装置1
3により真空容器11内を、例えば、10-6Torr 台の
真空度まで排気する。次いで、ガス導入ポート21より
Arガス22を導入し、排気装置13の排気量を調節し
て真空容器11内を所定の減圧化に保持する。そして、
基板1を回転させつつ順次スパッタ源19、20に所定
の時間電力を印加する。これにより、基板1にこの実施
例の組成の記録層3,4が形成される。次に、この発明
に係わる情報記録媒体100と、放熱層(冷却層)5の
ない従来型の情報記録媒体とを製造して、記録特性を試
験した結果について説明する。 [実施例1(図1に示すもの)]
【0023】真空容器11内にGeTeとBi2 Te3
とSiO2 のスパッタ源19,20を設け、真空容器1
1内を8×10-6Torr まで排気した。次に、Arガス
22を導入し5×10-3Torr に全体の圧力を調節し
た。基板1として十分に洗浄した外径130mm、板厚
1.2mmの円板状ポリカーボネート基板を用い、この基
板1を60rpm で回転しつつモニタ−装置25、26に
よりスパッタ量をモニタ−してスパッタ源19,20に
投入する電力をコントロールした。
【0024】そして、まず、第1の保護層2としてSi
2 を500オングストロ−ム堆積させ、続いて第1の
記録層3としてGeTeを500オングストロ−ム、第
2の記録層4としてBi2 Te3 を600オングストロ
−ム、放熱層(冷却層)5としてTi250オングスト
ロ−ム、第2の保護層SiO2 を500オングストロ−
ム順次積層し、図1に示す情報記録媒体100を作成し
た。 [比較例(従来型のもの)]
【0025】第1の保護層2としてSiO2 を500オ
ングストロ−ム堆積させ、続いて第1の記録層3として
GeTeを500オングストロ−ム、第2の記録層4と
してBi2 Te3 を600オングストロ−ム、第2の保
護層SiO2 を500オングストロ−ム順次積層した。
さらに、この記録層上に保護膜として紫外線硬化樹脂を
約10μmスピンコータによりオーバーコートし、紫外
線を照射して硬化させた。つぎに、上記のような層構成
を有する[実施例1]と[比較例]の情報記録媒体を用
いて試験を行なった。
【0026】図5は試験に用いた装置の概略図である。
試料31はスピンドルモータ32に固定され、所定の回
転数で回転することができる。試料31の上部には試料
上にレーザー光を集光するための光学系33が配置され
ている。半導体レーザー34から出た光は、コリメータ
レンズ35で平行光となりビームスプリッタ36とλ/
4波長板37を通って対物レンズ38により試料31上
に集光する。試料31からの反射光はビームスプリッタ
36で分けられ、検出レンズ39を通って受光器40に
入り検出信号となる。この信号は一方で対物レンズ38
を駆動するための駆動コイル41に電流を流すサーボ系
42にも供給される。この様にして常に試料31との距
離を一定に保ち、試料31上に集光スポットを結像する
ことができる。
【0027】上記の試験装置を用い、記録特性を評価し
た。[実施例1]と[比較例]の2つの試料(情報記録
媒体)31をスピンドルモータ32に固定し、1800
rpmで回転させた。次にこれらの試料31の半径50mm
の位置に記録周波数1〜8MHz,記録パワー17m
W,パルス幅40nsで記録した。その時の[実施例
1]におけるC/N(Carrier/Noize)比を図6に示
し、[比較例]におけるC/N比を図7に示す。これか
ら明らかなように図6で示される本発明の情報記録媒体
100では、高い周波数まで良いC/N比を得られるこ
とがわかる。 [実施例2(図2に示すもの)]
【0028】本実施例では本発明におけるもう一つの情
報記録媒体構成について試験を行なった。[実施例1]
に示したのと同様の方法で、放熱層(冷却層)5′とし
てTi:SiO2 の比が80:20(原子%)、膜厚1
000オングストロ−ムである図2で示す情報記録媒体
100′を作成した。
【0029】この情報記録媒体100′を、前述と同様
の方法でC/N比を測定した結果を図8に示す。これか
ら明らかなように放熱層(冷却層)がTiの場合とほぼ
同様に高い周波数でも良いC〜N比が得られることがわ
かった。
【0030】また、[実施例1]で示した第1の記録層
の下部と放熱層の上部に無機誘電体からなる第1及び第
2の保護層2,6を設けた情報記録媒体100を、60
℃で環境下で500時間放置した基板側の反射率を図9
に示す(初期反射率Roに対して規格化した)。この図
から明らかなように反射率はほとんど変化せず安定であ
ることが確かめられた。このように保護層2,6の両方
あるいは記録層3,4のいずれか一方を設けることで腐
食する物質の浸入を防止でき耐食性に優れたものとする
ことができる。なお、本発明は、本発明の要旨を変えな
い範囲で種々変形実施可能なことは勿論である。
【0031】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明の情報記録媒
体においては、高感度で短いパルス幅、高い周波数で記
録でき、かつた耐食性にすぐれたる十分実用に耐えうる
情報記録媒体を提供することができるといった効果を奏
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である情報記録媒体の断面
図。
【図2】本発明の他の実施例である情報記録媒体の断面
図。
【図3】成膜装置の概略的側面図。
【図4】成膜装置の概略図平面図。
【図5】実用的記録装置の概略図。
【図6】図1に示す情報記録媒体における記録C/N比
を示す図。
【図7】従来型の情報記録媒体における記録C/N比を
示す図。
【図8】図2に示す情報記録媒体における記録C/N比
を示す図。
【図9】図1に示す情報記録媒体における経時的な反射
率を示す図。
【符号の説明】
100,101…情報記録媒体、1…基板、2…第1の
保護層、3…第1の記録層、4…第2の記録層4、5,
5′…放熱層(冷却層)、6…第2の保護層、7…無機
誘電体、8…金属または合金。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に記録用光ビームの照射により情
    報を記録する記録層を形成してなる情報記録媒体におい
    て、 前記記録層が基板側からTe を含む第1の記録層とTe
    を含む第2の記録層からなり、かつ、第2の記録層上に
    放熱層を設けたことを特徴とする情報記録媒体。
  2. 【請求項2】 基板上に記録用光ビームの照射により情
    報を記録する記録層を形成してなる情報記録媒体におい
    て、 前記基板と、 この基板上に形成されたTe を含む第1の記録層と、 この第1の記録層上に形成されたTe を含む第2の記録
    層と、 この第2の記録層上に形成された放熱層と、 前記第1の記録層の下部と前記放熱層の上部の少なくと
    も一方に形成された無機誘電体からなる保護層と、を具
    備してなることを特徴とする情報記録媒体。
JP4225961A 1992-08-25 1992-08-25 情報記録媒体 Pending JPH0676355A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4225961A JPH0676355A (ja) 1992-08-25 1992-08-25 情報記録媒体

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JP4225961A JPH0676355A (ja) 1992-08-25 1992-08-25 情報記録媒体

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JPH0676355A true JPH0676355A (ja) 1994-03-18

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ID=16837601

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JP4225961A Pending JPH0676355A (ja) 1992-08-25 1992-08-25 情報記録媒体

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008533633A (ja) * 2005-03-03 2008-08-21 コミサリア、ア、レネルジ、アトミク 半反射スズ・テルル系合金層を備える光データ記憶媒体

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