JPH063167A - エンコーダー - Google Patents
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- JPH063167A JPH063167A JP4184506A JP18450692A JPH063167A JP H063167 A JPH063167 A JP H063167A JP 4184506 A JP4184506 A JP 4184506A JP 18450692 A JP18450692 A JP 18450692A JP H063167 A JPH063167 A JP H063167A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 環境変化に影響されずに移動体の移動情報を
高精度に検出することができるトルボット干渉を利用し
たエンコーダーを得ること。 【構成】 一定周期の格子より成る光学スケールを設け
た移動体の該光学スケールのうちの第１スケールに入射
し、回折された光束を該光学スケールのうちの第２スケ
ールに入射させ、該第２スケールで光変調された光束を
受光した受光手段からの信号を用いて該移動体の移動情
報を検出する際、該第１スケールからの回折光のうち＋
１次又は−１次回折光を遮断又は減衰させる光調整手段
を該第１スケールと第２スケールとの間の光路中に配置
し、主に０次光と−１次回折光又は０次光と＋１次回折
光により該第２スケール上に該第１スケールと同じ格子
ピッチの強度分布の光学像を形成するようにしたこと。
高精度に検出することができるトルボット干渉を利用し
たエンコーダーを得ること。 【構成】 一定周期の格子より成る光学スケールを設け
た移動体の該光学スケールのうちの第１スケールに入射
し、回折された光束を該光学スケールのうちの第２スケ
ールに入射させ、該第２スケールで光変調された光束を
受光した受光手段からの信号を用いて該移動体の移動情
報を検出する際、該第１スケールからの回折光のうち＋
１次又は−１次回折光を遮断又は減衰させる光調整手段
を該第１スケールと第２スケールとの間の光路中に配置
し、主に０次光と−１次回折光又は０次光と＋１次回折
光により該第２スケール上に該第１スケールと同じ格子
ピッチの強度分布の光学像を形成するようにしたこと。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はエンコーダーに関し、特
に円筒状物体の外周面又は内周面上に又は平板面上に凹
凸形状の透光性の格子を複数個、周期的に設けた光学ス
ケールを有する移動体に光束を入射させ、該光学スケー
ルを介した光束を利用することにより、該移動体の移動
情報を検出するようにしたロータリーエンコーダーやリ
ニアーエンコーダー等のエンコーダーに関するものであ
る。
に円筒状物体の外周面又は内周面上に又は平板面上に凹
凸形状の透光性の格子を複数個、周期的に設けた光学ス
ケールを有する移動体に光束を入射させ、該光学スケー
ルを介した光束を利用することにより、該移動体の移動
情報を検出するようにしたロータリーエンコーダーやリ
ニアーエンコーダー等のエンコーダーに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来よりフロッピーディスクの駆動等の
コンピューター機器、プリンター等の事務機器、あるい
はＮＣ工作機械、更にはＶＴＲのキャプステンモーター
や回転ドラム等の回転機構の回転速度や回転速度の変動
量又は直線移動物体の変動量を検出する為の手段として
光電的なロータリーエンコーダーやリニアーエンコーダ
ーが利用されてきている。
コンピューター機器、プリンター等の事務機器、あるい
はＮＣ工作機械、更にはＶＴＲのキャプステンモーター
や回転ドラム等の回転機構の回転速度や回転速度の変動
量又は直線移動物体の変動量を検出する為の手段として
光電的なロータリーエンコーダーやリニアーエンコーダ
ーが利用されてきている。
【０００３】図９は特開昭６１−１０７１６号公報や特
開平１−１７６９１４号公報で提案されている所謂トル
ボット干渉を利用したロータリーエンコーダーの要部概
略図である。
開平１−１７６９１４号公報で提案されている所謂トル
ボット干渉を利用したロータリーエンコーダーの要部概
略図である。
【０００４】同図において１は半導体レーザであり、波
長λの可干渉性光束を発する。２は半導体レーザー１か
らの発散光束を平行光束に変換するコリメーターレンズ
系であり、半導体レーザ１とコリメーターレンズ系２と
で光照射手段ＬＲが構成されている。３は円筒状の内周
面に複数のＶ溝を周期的に設けた透光性の格子部を有し
た光学スケールであり、矢印に示す方向に回転してい
る。
長λの可干渉性光束を発する。２は半導体レーザー１か
らの発散光束を平行光束に変換するコリメーターレンズ
系であり、半導体レーザ１とコリメーターレンズ系２と
で光照射手段ＬＲが構成されている。３は円筒状の内周
面に複数のＶ溝を周期的に設けた透光性の格子部を有し
た光学スケールであり、矢印に示す方向に回転してい
る。
【０００５】光学スケール３は透光性の光学材料より成
っている。光学スケール３を挟んで光照射手段ＬＲと対
向する位置には、受光手段４を構成する３つのフォトデ
ィテクタ４ａ，４ｂ，４ｃが配置されている。そして各
フォトディテクタの出力は信号処理回路５に接続されて
いる。信号処理回路５はパルスのカウント回路、回転方
向の判別回路、信号内挿処理回路等を有している。
っている。光学スケール３を挟んで光照射手段ＬＲと対
向する位置には、受光手段４を構成する３つのフォトデ
ィテクタ４ａ，４ｂ，４ｃが配置されている。そして各
フォトディテクタの出力は信号処理回路５に接続されて
いる。信号処理回路５はパルスのカウント回路、回転方
向の判別回路、信号内挿処理回路等を有している。
【０００６】同図のロータリーエンコーダーは光照射手
段ＬＲからの光束を光学スケール３の一領域３ａに入射
させ、該光学スケール３で光変調（回折）した光束を更
に光学スケール３の他の領域３ｂに入射させて光変調
（偏向）させている。そして光学スケール３から射出し
た複数（３つ）の光束を受光手段４で受光し、該受光手
段４からの出力信号を利用して光学スケール３の回転情
報を検出している。
段ＬＲからの光束を光学スケール３の一領域３ａに入射
させ、該光学スケール３で光変調（回折）した光束を更
に光学スケール３の他の領域３ｂに入射させて光変調
（偏向）させている。そして光学スケール３から射出し
た複数（３つ）の光束を受光手段４で受光し、該受光手
段４からの出力信号を利用して光学スケール３の回転情
報を検出している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図３は図９の第１スケ
ール３ａから射出した回折光が第２スケール３ｂに入射
するときの状態を示した説明図である。
ール３ａから射出した回折光が第２スケール３ｂに入射
するときの状態を示した説明図である。
【０００８】スケール３の第１スケール３ａの格子と第
２スケール３ｂの格子の光軸に沿った間隔ｄ（スケール
３の内側の直径）は、格子ピッチをＰ、半導体レーザ１
からの光束の波長をλとしたとき ｄ＝ｎa ×Ｐ2 ／λ （ｎa ＝１，２，３，…） を満足するように設定されている。
２スケール３ｂの格子の光軸に沿った間隔ｄ（スケール
３の内側の直径）は、格子ピッチをＰ、半導体レーザ１
からの光束の波長をλとしたとき ｄ＝ｎa ×Ｐ2 ／λ （ｎa ＝１，２，３，…） を満足するように設定されている。
【０００９】第１スケール３ａからの距離ｎa ×Ｐ2 ／
λ（ｎa ＝１，２，３，…）の位置は第１スケール３ａ
の格子と同じ格子ピッチの強度分布の光学像が鮮明に形
成されるフーリエイメージ面と異なる光軸方向の位置で
は第１スケール３ａの格子と同じ格子ピッチで強度分布
が低下し、高周波成分の低下が目立つコントラストの低
い強度分布の光学像となっている。
λ（ｎa ＝１，２，３，…）の位置は第１スケール３ａ
の格子と同じ格子ピッチの強度分布の光学像が鮮明に形
成されるフーリエイメージ面と異なる光軸方向の位置で
は第１スケール３ａの格子と同じ格子ピッチで強度分布
が低下し、高周波成分の低下が目立つコントラストの低
い強度分布の光学像となっている。
【００１０】この為、例えば外部環境の温度変化等によ
り半導体レーザからの光束の波長λが変化すると第１ス
ケール３ａの格子のフーリエイメージの結像位置と第２
スケール３ｂの格子面とが相対的にズレてくる。そうす
ると受光手段４で検出される検出信号のＳ／Ｎ比が低下
してきて光学スケール３の移動情報の検出精度が低下し
てくるという問題点があった。
り半導体レーザからの光束の波長λが変化すると第１ス
ケール３ａの格子のフーリエイメージの結像位置と第２
スケール３ｂの格子面とが相対的にズレてくる。そうす
ると受光手段４で検出される検出信号のＳ／Ｎ比が低下
してきて光学スケール３の移動情報の検出精度が低下し
てくるという問題点があった。
【００１１】本発明は第１スケールからの回折光のうち
所定次数の回折光を遮断又は減衰させ、主に０次光と−
１次回折光、又は０次光と＋１次回折光の２光束干渉に
より、第２スケール上に、第１スケールと同じ格子ピッ
チの明暗の分布を有した高いコントラストの光学像を形
成することにより鮮明な光学源の得られる光軸方向（直
径方向）の範囲を広げ、例えば半導体レーザからの光束
の波長が変化してもＳ／Ｎ比の高い検出信号が得られ、
移動物体の移動情報（回転情報）を高精度に検出するこ
とができるエンコーダーの提供を目的とする。
所定次数の回折光を遮断又は減衰させ、主に０次光と−
１次回折光、又は０次光と＋１次回折光の２光束干渉に
より、第２スケール上に、第１スケールと同じ格子ピッ
チの明暗の分布を有した高いコントラストの光学像を形
成することにより鮮明な光学源の得られる光軸方向（直
径方向）の範囲を広げ、例えば半導体レーザからの光束
の波長が変化してもＳ／Ｎ比の高い検出信号が得られ、
移動物体の移動情報（回転情報）を高精度に検出するこ
とができるエンコーダーの提供を目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明のエンコーダー
は、一定周期の格子より成る光学スケールを設けた移動
体の該光学スケールのうちの第１スケールに光照射手段
からの光束を照射し、該第１スケールで回折された光束
を該光学スケールのうちの第２スケールに入射させ、該
第２スケールで光変調された光束を受光手段で受光し、
該受光手段からの信号を用いて該移動体の移動情報を検
出する際、該第１スケールからの回折光のうち＋１次回
折光又は−１次回折光を遮断又は減衰させる光調整手段
を該第１スケールと第２スケールとの間の光路中に配置
し、主に０次光と−１次回折光又は０次光と＋１次回折
光により該第２スケール上に該第１スケールと同じ格子
ピッチの強度分布の光学像を形成するようにしたことを
特徴としている。
は、一定周期の格子より成る光学スケールを設けた移動
体の該光学スケールのうちの第１スケールに光照射手段
からの光束を照射し、該第１スケールで回折された光束
を該光学スケールのうちの第２スケールに入射させ、該
第２スケールで光変調された光束を受光手段で受光し、
該受光手段からの信号を用いて該移動体の移動情報を検
出する際、該第１スケールからの回折光のうち＋１次回
折光又は−１次回折光を遮断又は減衰させる光調整手段
を該第１スケールと第２スケールとの間の光路中に配置
し、主に０次光と−１次回折光又は０次光と＋１次回折
光により該第２スケール上に該第１スケールと同じ格子
ピッチの強度分布の光学像を形成するようにしたことを
特徴としている。
【００１３】特に、前記光調整手段は２重回折光学系と
該第１スケールのフーリエ変換面における１次又は−１
次のフーリエスペクトル位置を通過する光を遮断又は減
衰させる光学部材とを有していることや、前記光調整手
段は前記±１次回折光のうち所定の入射角で入射してき
た回折光を全反射させる反射面を有したプリズム部材を
有していること等を特徴としている。
該第１スケールのフーリエ変換面における１次又は−１
次のフーリエスペクトル位置を通過する光を遮断又は減
衰させる光学部材とを有していることや、前記光調整手
段は前記±１次回折光のうち所定の入射角で入射してき
た回折光を全反射させる反射面を有したプリズム部材を
有していること等を特徴としている。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の実施例１の要部概略図、図
２，図３，図４，図５は各々図１の一部分の説明図であ
る。
２，図３，図４，図５は各々図１の一部分の説明図であ
る。
【００１５】図中ＬＲは光照射手段であり、半導体レー
ザ１とコリメーターレンズ２とを有している。３は光学
スケールであり、円筒部材３ｃの内周面又は外周面に一
定周期で複数の格子（格子部）３ｄを設けた構成よりな
っている。光学スケール３は透光性の光学材料より成
り、回転体（不図示）の一部として設けられており、回
転体と一体的に回転軸３ｇを中心に回転している。
ザ１とコリメーターレンズ２とを有している。３は光学
スケールであり、円筒部材３ｃの内周面又は外周面に一
定周期で複数の格子（格子部）３ｄを設けた構成よりな
っている。光学スケール３は透光性の光学材料より成
り、回転体（不図示）の一部として設けられており、回
転体と一体的に回転軸３ｇを中心に回転している。
【００１６】格子３ｄは図１，図２に示すように光学ス
ケール３の矢印３ｆで示す回転方向に対して垂直方向
（回転軸３ｇ方向）に長い互いに逆方向に傾けた２つの
傾斜面を有するＶ溝（Ｖ溝部）と円筒状に基づく僅かに
曲率を有した略平面に近い曲面部（以下、「平面部」と
称する）より成っている。
ケール３の矢印３ｆで示す回転方向に対して垂直方向
（回転軸３ｇ方向）に長い互いに逆方向に傾けた２つの
傾斜面を有するＶ溝（Ｖ溝部）と円筒状に基づく僅かに
曲率を有した略平面に近い曲面部（以下、「平面部」と
称する）より成っている。
【００１７】図２（Ａ），（Ｂ）は光学スケール３の格
子の詳細図であり、Ｖ溝部３０ｂ−１，３０ｂ−２と平
面部３０ａが交互に配列されて格子を形成している。円
筒部材３ｃの内側面にＶ溝を等間隔にｎ個、円周方向に
ピッチＰで等間隔に配列している。Ｖ溝幅は１／２・
Ｐ、又Ｖ溝を形成する２つの平面部は各々１／４・Ｐの
幅を有し、各々の傾斜面はＶ溝の底部と中心とを結ぶ直
線に対し各々臨界角以上、本実施例ではθ＝４５°で傾
いている。
子の詳細図であり、Ｖ溝部３０ｂ−１，３０ｂ−２と平
面部３０ａが交互に配列されて格子を形成している。円
筒部材３ｃの内側面にＶ溝を等間隔にｎ個、円周方向に
ピッチＰで等間隔に配列している。Ｖ溝幅は１／２・
Ｐ、又Ｖ溝を形成する２つの平面部は各々１／４・Ｐの
幅を有し、各々の傾斜面はＶ溝の底部と中心とを結ぶ直
線に対し各々臨界角以上、本実施例ではθ＝４５°で傾
いている。
【００１８】光学スケール３の第１スケール（第１領
域）３ａと第２スケール（第２領域）３ｂの光軸８に沿
った間隔ｄ（光学スケール内側の直径）は、本実施例で
は格子ピッチがＰ、波長がλとして、 ｄ＝Ｎ・Ｐ2 ／λ （Ｎは自然数） Ｐ＝πｄ／ｎ （ｎはスリット（Ｖ溝）の総数） を満たすように設定されている。
域）３ａと第２スケール（第２領域）３ｂの光軸８に沿
った間隔ｄ（光学スケール内側の直径）は、本実施例で
は格子ピッチがＰ、波長がλとして、 ｄ＝Ｎ・Ｐ2 ／λ （Ｎは自然数） Ｐ＝πｄ／ｎ （ｎはスリット（Ｖ溝）の総数） を満たすように設定されている。
【００１９】６は光調整手段であり、円筒部材３ｃ内に
収納されており、２重回折光学系（７ａ，７ｂ）と光学
部材７ｃとを有している。光調整手段６は後述するよう
に第１スケール３ａからの回折光のうち＋１次回折光又
は−１次回折光を遮断又は減衰させて、０次光と−１次
回折光又は０次光と＋１次回折光により第２スケール３
ｂ上に第１スケールと同じ格子ピッチの強度分布の光学
像を形成するようにしている。
収納されており、２重回折光学系（７ａ，７ｂ）と光学
部材７ｃとを有している。光調整手段６は後述するよう
に第１スケール３ａからの回折光のうち＋１次回折光又
は−１次回折光を遮断又は減衰させて、０次光と−１次
回折光又は０次光と＋１次回折光により第２スケール３
ｂ上に第１スケールと同じ格子ピッチの強度分布の光学
像を形成するようにしている。
【００２０】４は受光手段であり、光学スケール３で光
変調され射出した３つの光束を各々受光する為の３つの
フォトディテクタ（受光素子）４ａ，４ｂ，４ｃを有し
ている。５は信号処理回路であり、後述するように受光
手段４からの信号を用いて光学スケール３の回転情報を
検出している。
変調され射出した３つの光束を各々受光する為の３つの
フォトディテクタ（受光素子）４ａ，４ｂ，４ｃを有し
ている。５は信号処理回路であり、後述するように受光
手段４からの信号を用いて光学スケール３の回転情報を
検出している。
【００２１】次に本実施例の光調整手段６の構成につい
て説明する。
て説明する。
【００２２】図３は第１スケール３ａからの回折光と第
２スケール３ｂとの関係を示す説明図である。図３にお
いて斜線で示した領域Ｒには第１スケール３ａの格子で
回折した主に０次光と−１次回折光、そして０次光と＋
１回折光の２光束干渉によって第１スケール３ａの格子
と同じ格子ピッチの明暗の分布（光学像）が存在してい
る。このときの明暗の分布は次の理由により半導体レー
ザ１からの光束の波長λの変化の影響を受けない。
２スケール３ｂとの関係を示す説明図である。図３にお
いて斜線で示した領域Ｒには第１スケール３ａの格子で
回折した主に０次光と−１次回折光、そして０次光と＋
１回折光の２光束干渉によって第１スケール３ａの格子
と同じ格子ピッチの明暗の分布（光学像）が存在してい
る。このときの明暗の分布は次の理由により半導体レー
ザ１からの光束の波長λの変化の影響を受けない。
【００２３】第１スケール３ａの格子ピッチＰは不変で
ある。半導体レーザ１からの光束の波長の変化前後にお
ける波長を各々λａ，λｂ、１次回折光又は−１次回折
光の波長の変化前後の回折角を各々θａ，θｂとする
と、 Ｐ＝λａ／ｓｉｎθａ Ｐ＝λｂ／ｓｉｎθｂ となる。
ある。半導体レーザ１からの光束の波長の変化前後にお
ける波長を各々λａ，λｂ、１次回折光又は−１次回折
光の波長の変化前後の回折角を各々θａ，θｂとする
と、 Ｐ＝λａ／ｓｉｎθａ Ｐ＝λｂ／ｓｉｎθｂ となる。
【００２４】又、この２光束干渉の明暗の分布のピッチ
を波長の変化前後においてＴa ，Ｔb とすると、お互い
に角度θａ，θｂで進行しているのでピッチＴa ，Ｔb
は、 Ｔa ＝λａ／ｓｉｎθａ Ｔb ＝λｂ／ｓｉｎθｂ となる。（１），（２）式よりＴa ＝Ｔｂとなり、波長
の変化前後においてこの明暗の分布は不変となる。
を波長の変化前後においてＴa ，Ｔb とすると、お互い
に角度θａ，θｂで進行しているのでピッチＴa ，Ｔb
は、 Ｔa ＝λａ／ｓｉｎθａ Ｔb ＝λｂ／ｓｉｎθｂ となる。（１），（２）式よりＴa ＝Ｔｂとなり、波長
の変化前後においてこの明暗の分布は不変となる。
【００２５】このとき本発明では光調整手段６を用いて
±１次回折光のうち、いずれか一方の回折光を遮断又は
減衰させている。そして第２スケール３ｂの格子に対し
て第１スケール３ａの格子と同じ格子ピッチの明暗の分
布がコントラストを良好に保存しつつ光軸方向（直径方
向）の広い範囲で形成するようにしている。これにより
例えば半導体レーザからの光束の波長が環境変化等で変
化しても検出手段４で検出される信号のＳ／Ｎ比の低下
を防止している。
±１次回折光のうち、いずれか一方の回折光を遮断又は
減衰させている。そして第２スケール３ｂの格子に対し
て第１スケール３ａの格子と同じ格子ピッチの明暗の分
布がコントラストを良好に保存しつつ光軸方向（直径方
向）の広い範囲で形成するようにしている。これにより
例えば半導体レーザからの光束の波長が環境変化等で変
化しても検出手段４で検出される信号のＳ／Ｎ比の低下
を防止している。
【００２６】図４は図１の光調整手段６の要部概略図で
ある。
ある。
【００２７】本実施例では光調整手段６を２重回折光学
系（７ａ，７ｂ）とフィルターより成る光学部材７ｃと
により構成し、±１次回折光のうち一方の回折光を光学
部材７ｃにより遮断又は減衰させている。
系（７ａ，７ｂ）とフィルターより成る光学部材７ｃと
により構成し、±１次回折光のうち一方の回折光を光学
部材７ｃにより遮断又は減衰させている。
【００２８】同図では第１スケール３ａの格子をコヒー
レント光で照明し、フーリエ変換レンズ７ａでこれをフ
ーリエ変換してフーリエスペクトル面ＦＳを得た後、再
度フーリエ変換レンズ７ｂでフーリエ変換して光学像を
第２スケール３ｂの格子面に形成している。
レント光で照明し、フーリエ変換レンズ７ａでこれをフ
ーリエ変換してフーリエスペクトル面ＦＳを得た後、再
度フーリエ変換レンズ７ｂでフーリエ変換して光学像を
第２スケール３ｂの格子面に形成している。
【００２９】フーリエ変換レンズ７ａの焦点距離をｆ1
＋１次回折光又は−１次回折光の回折角をθ、フーリエ
スペクトル面ＦＳでの光軸８からの高さをｈとしたとき
光学部材７ｃで ｈ＝ｆ・ｓｉｎθ の位置を通過する光束を遮断又は減衰させている。
＋１次回折光又は−１次回折光の回折角をθ、フーリエ
スペクトル面ＦＳでの光軸８からの高さをｈとしたとき
光学部材７ｃで ｈ＝ｆ・ｓｉｎθ の位置を通過する光束を遮断又は減衰させている。
【００３０】図５（Ａ）はこのときの光学部材７ｃの説
明図である。同図の光学部材７は光軸８からの高さｈに
相当する領域を光不透過としたフィルターより構成して
いる。
明図である。同図の光学部材７は光軸８からの高さｈに
相当する領域を光不透過としたフィルターより構成して
いる。
【００３１】尚、本実施例においては光学部材７ｃとし
て図５（Ｂ）に示すような光軸８からの高さｈに相当す
る領域を不透過とした光学部材７ｄを用いても良い。
て図５（Ｂ）に示すような光軸８からの高さｈに相当す
る領域を不透過とした光学部材７ｄを用いても良い。
【００３２】次に本実施例におけるエンコーダーとして
の光学スケール３（回転体）の回転情報の検出方法につ
いて説明する。
の光学スケール３（回転体）の回転情報の検出方法につ
いて説明する。
【００３３】半導体レーザ１からの光束はコリメータレ
ンズ系２の位置を調整して収束光に変換され、この収束
光束を光学スケール３の第１スケール（第１領域）３ａ
に入射させる。ここで収束光とした理由は、光学スケー
ル３の側面部は外側面と内側面の曲率差により凹レンズ
相当の屈折力を有する為であり、凸レンズ作用によって
光学スケール３内に進入した光は略平行光になる。
ンズ系２の位置を調整して収束光に変換され、この収束
光束を光学スケール３の第１スケール（第１領域）３ａ
に入射させる。ここで収束光とした理由は、光学スケー
ル３の側面部は外側面と内側面の曲率差により凹レンズ
相当の屈折力を有する為であり、凸レンズ作用によって
光学スケール３内に進入した光は略平行光になる。
【００３４】この収束光束は、第１領域３ａの格子３ｄ
において図２（Ａ）に示すように、格子部３０ａに到達
した光線は格子部３０ａを通過して円筒内に進む。又、
格子部３０ｂ−１面に到達した光線は、傾斜面が臨界角
以上に設定されているので、図に示したように全反射し
て３０ｂ−２面に向けられ、３０ｂ−２面でも全反射す
ることになるので、結局３０ｂ−１面へ到達した光線は
光学スケール３の円筒部材の内部に進入することなく、
略入射方向に戻されることになる。同様に３０ｂ−２面
に到達した光線も全反射を繰り返して戻される。
において図２（Ａ）に示すように、格子部３０ａに到達
した光線は格子部３０ａを通過して円筒内に進む。又、
格子部３０ｂ−１面に到達した光線は、傾斜面が臨界角
以上に設定されているので、図に示したように全反射し
て３０ｂ−２面に向けられ、３０ｂ−２面でも全反射す
ることになるので、結局３０ｂ−１面へ到達した光線は
光学スケール３の円筒部材の内部に進入することなく、
略入射方向に戻されることになる。同様に３０ｂ−２面
に到達した光線も全反射を繰り返して戻される。
【００３５】従って、第１領域３ａにおいてＶ溝を形成
する２つの傾斜面３０ｂ−１，３０ｂ−２の範囲に到達
する光束は、円筒部材内に進入することなく反射され、
格子部３０ａに到達した光線のみが円筒部材の内部に進
むことになる。即ち、第１領域３ａにおいてＶ溝型の格
子３ｄは透過型の振幅回折格子と同様の作用を有する。
する２つの傾斜面３０ｂ−１，３０ｂ−２の範囲に到達
する光束は、円筒部材内に進入することなく反射され、
格子部３０ａに到達した光線のみが円筒部材の内部に進
むことになる。即ち、第１領域３ａにおいてＶ溝型の格
子３ｄは透過型の振幅回折格子と同様の作用を有する。
【００３６】この第１領域３ａの格子３ｄで光束は回折
され、格子の作用により０次、±１次、±２次・・・の
回折光が生じ、０次光及び±１次光の２つ若しくは３つ
の光束同士の干渉の結果、第１領域３ａの格子のフーリ
エ像が光調整手段６を介して光学スケール３の内部に結
像される。本実施例では前述したようにこのとき光調整
手段６により±１次回折光のうち一方の回折光を遮断又
は減衰させている。
され、格子の作用により０次、±１次、±２次・・・の
回折光が生じ、０次光及び±１次光の２つ若しくは３つ
の光束同士の干渉の結果、第１領域３ａの格子のフーリ
エ像が光調整手段６を介して光学スケール３の内部に結
像される。本実施例では前述したようにこのとき光調整
手段６により±１次回折光のうち一方の回折光を遮断又
は減衰させている。
【００３７】第２領域３ｂにおいて面３０ａに入射した
光束は図２（Ｂ）に示すように略垂直入射するため直線
透過してフォトディテクタ（受光素子）４ｃに到達す
る。又、Ｖ溝面を形成する２つの傾斜面３０ｂ−１及び
３０ｂ−２に到達した光線は、各々の面に略４５。の入
射角をもって入射するためそれぞれ異なる方向に大きく
屈折して各々フォトディテクタ４ａ及び４ｂに到達す
る。
光束は図２（Ｂ）に示すように略垂直入射するため直線
透過してフォトディテクタ（受光素子）４ｃに到達す
る。又、Ｖ溝面を形成する２つの傾斜面３０ｂ−１及び
３０ｂ−２に到達した光線は、各々の面に略４５。の入
射角をもって入射するためそれぞれ異なる方向に大きく
屈折して各々フォトディテクタ４ａ及び４ｂに到達す
る。
【００３８】このように第２領域３ｂにおいては、入射
光束に対して異なる方向に傾斜した２つの傾斜面、及び
Ｖ溝とＶ溝の間の平面の合計３種の傾き方向の異なる面
により、光束は３つの方向に別れて進み、各々の面に対
応した位置に設けられた各フォトディテクタ４ａ，４
ｂ，４ｃに到達する。即ち第２領域３ｂにおいてＶ溝格
子は光波波面分割素子として機能する。
光束に対して異なる方向に傾斜した２つの傾斜面、及び
Ｖ溝とＶ溝の間の平面の合計３種の傾き方向の異なる面
により、光束は３つの方向に別れて進み、各々の面に対
応した位置に設けられた各フォトディテクタ４ａ，４
ｂ，４ｃに到達する。即ち第２領域３ｂにおいてＶ溝格
子は光波波面分割素子として機能する。
【００３９】ここで光学スケール３が回転すると各フォ
トディテクタ４ａ，４ｂ，４ｃで検出される光量が変化
する。格子の位置とフーリエ像の位置の相対的変位に応
じ、各フォトディテクタに入射する光量バランスが変化
し、その結果、光学スケール３が反時計廻りに回転した
とすると、図６に示すような光学スケール３の回転に伴
う光量変化が得られる。
トディテクタ４ａ，４ｂ，４ｃで検出される光量が変化
する。格子の位置とフーリエ像の位置の相対的変位に応
じ、各フォトディテクタに入射する光量バランスが変化
し、その結果、光学スケール３が反時計廻りに回転した
とすると、図６に示すような光学スケール３の回転に伴
う光量変化が得られる。
【００４０】ここで横軸は光学スケール３の回転量、縦
軸は受光光量である。記号ａ，ｂ，ｃはそれぞれフォト
ディテクタ４ａ，４ｂ，４ｃに対応している。尚、逆に
光学スケール３が時計廻りに回転した場合はａは４ｂ、
ｂは４ａ、ｃは４ｃの出力となる。この違いによって回
転方向を判別することができる。
軸は受光光量である。記号ａ，ｂ，ｃはそれぞれフォト
ディテクタ４ａ，４ｂ，４ｃに対応している。尚、逆に
光学スケール３が時計廻りに回転した場合はａは４ｂ、
ｂは４ａ、ｃは４ｃの出力となる。この違いによって回
転方向を判別することができる。
【００４１】尚、図６はフーリエ像のコントラストが非
常に高く理想に近い場合の理論的な光量変化の様子を示
したものであり、実際にはフーリエ像のコントラストが
低い為、信号ａ，ｂ，ｃは各々正弦波状となってくる。
本実施例ではこのときの信号ａ，ｂ，ｃを基にして光学
スケール３の回転情報を検出している。
常に高く理想に近い場合の理論的な光量変化の様子を示
したものであり、実際にはフーリエ像のコントラストが
低い為、信号ａ，ｂ，ｃは各々正弦波状となってくる。
本実施例ではこのときの信号ａ，ｂ，ｃを基にして光学
スケール３の回転情報を検出している。
【００４２】図７，図８は各々本発明の実施例２，３の
光学スケール３近傍の要部概略図である。
光学スケール３近傍の要部概略図である。
【００４３】図７（Ａ）の実施例２では第１スケール３
ａからの回折光をフーリエ変換レンズ７ａとミラー７１
を介しフーリエスペクトル面ＦＳに相当する位置に配置
したミラー７２に入射させている。ミラー７２は図１の
フィルター７ｃに相当し、図７（Ｂ）に示すように光軸
８からの高さｈに相当する領域７２ａをクロムエッチン
グ又はマスキング等により非反射面又は低反射率面とし
ている。
ａからの回折光をフーリエ変換レンズ７ａとミラー７１
を介しフーリエスペクトル面ＦＳに相当する位置に配置
したミラー７２に入射させている。ミラー７２は図１の
フィルター７ｃに相当し、図７（Ｂ）に示すように光軸
８からの高さｈに相当する領域７２ａをクロムエッチン
グ又はマスキング等により非反射面又は低反射率面とし
ている。
【００４４】これにより＋１次回折光又は−１次回折光
のうち一方の回折光を遮断又は減衰している。そしてミ
ラー７２でミラー７１方向に反射し、ミラー７１で反射
した光束をフーリエ変換レンズ７６により第２スケール
３ｂに導光している。本実施例では以上のような構成に
より実施例１と同様の効果を得ている。
のうち一方の回折光を遮断又は減衰している。そしてミ
ラー７２でミラー７１方向に反射し、ミラー７１で反射
した光束をフーリエ変換レンズ７６により第２スケール
３ｂに導光している。本実施例では以上のような構成に
より実施例１と同様の効果を得ている。
【００４５】図８（Ａ）の実施例３では光調整手段をプ
リズム部材８３より構成して、円筒部材３ｃの内部に設
けている。プリズム部材８３は２つのプリズム８１，８
２（材質の屈折率Ｎｄ）を斜面（８１ｂ，８２ａ）を対
向させて僅かの空気間隔を隔てて配置して構成してい
る。
リズム部材８３より構成して、円筒部材３ｃの内部に設
けている。プリズム部材８３は２つのプリズム８１，８
２（材質の屈折率Ｎｄ）を斜面（８１ｂ，８２ａ）を対
向させて僅かの空気間隔を隔てて配置して構成してい
る。
【００４６】第１スケール３ａからの±１次回折光のう
ち一方の回折光がプリズム８１の斜面８１ｂで全反射す
るように図８（Ｂ）に示すようにプリズム頂角や屈折率
Ｎｄ等の各要素を設定している。
ち一方の回折光がプリズム８１の斜面８１ｂで全反射す
るように図８（Ｂ）に示すようにプリズム頂角や屈折率
Ｎｄ等の各要素を設定している。
【００４７】そして、斜面８１ｂとプリズム８２ａ，８
２ｂを介して、第２スケール３ｂに導光している。これ
により実施例１と同様の効果を得ている。
２ｂを介して、第２スケール３ｂに導光している。これ
により実施例１と同様の効果を得ている。
【００４８】尚、本発明において例えば＋１次回折光の
進行方向に対して逆向きに進む同一の位相を持つ平面波
を発生させて、＋１次回折光を遮断又は減衰させるよう
にしても良い。
進行方向に対して逆向きに進む同一の位相を持つ平面波
を発生させて、＋１次回折光を遮断又は減衰させるよう
にしても良い。
【００４９】
【発明の効果】本発明によれば以上のように第１スケー
ルからの回折光のうち所定次数の回折光を遮断又は減衰
させ、主に０次光を−１次回折光、又は０次光と＋１次
回折光の２光束干渉により、第２スケール上に第１スケ
ールと同じ格子ピッチの明暗の分布を有した高いコント
ラストの光学像を形成することにより鮮明な光学像の得
られる光軸方向（直径方向）の範囲を広げ、例えば半導
体レーザからの光束の波長が変化してもＳ／Ｎ比の高い
検出信号が得られ、移動物体の移動情報（回転情報）を
高精度に検出することができるエンコーダーを達成する
ことができる。
ルからの回折光のうち所定次数の回折光を遮断又は減衰
させ、主に０次光を−１次回折光、又は０次光と＋１次
回折光の２光束干渉により、第２スケール上に第１スケ
ールと同じ格子ピッチの明暗の分布を有した高いコント
ラストの光学像を形成することにより鮮明な光学像の得
られる光軸方向（直径方向）の範囲を広げ、例えば半導
体レーザからの光束の波長が変化してもＳ／Ｎ比の高い
検出信号が得られ、移動物体の移動情報（回転情報）を
高精度に検出することができるエンコーダーを達成する
ことができる。
【図１】 本発明の実施例１の要部概略図
【図２】 図１の一部分の説明図
【図３】 図１の一部分の説明図
【図４】 図１の一部分の説明図
【図５】 図１の一部分の説明図
【図６】 図１の検出手段からの出力信号の説明図
【図７】 本発明の実施例２の要部概略図
【図８】 本発明の実施例３の要部概略図
【図９】 従来のトルボット型のエンコーダーの要部概
略図
略図
１ 半導体レーザ ２ コリメータレンズ ３ 光学スケール ３ａ 第１スケール ３ｂ 第２スケール ３ｃ 円筒部材 ４ 受光手段 ５ 信号処理回路 ６，８３ 光調整手段 ７ｃ フィルター
Claims (4)
- 【請求項１】 一定周期の格子より成る光学スケールを
設けた移動体の該光学スケールのうちの第１スケールに
光照射手段からの光束を照射し、該第１スケールで回折
された光束を該光学スケールのうちの第２スケールに入
射させ、該第２スケールで光変調された光束を受光手段
で受光し、該受光手段からの信号を用いて該移動体の移
動情報を検出する際、該第１スケールからの回折光のう
ち＋１次回折光又は−１次回折光を遮断又は減衰させる
光調整手段を該第１スケールと第２スケールとの間の光
路中に配置し、主に０次光と−１次回折光又は０次光と
＋１次回折光により該第２スケール上に該第１スケール
と同じ格子ピッチの強度分布の光学像を形成するように
したことを特徴とするエンコーダー。 - 【請求項２】 前記光調整手段は２重回折光学系と該第
１スケールのフーリエ変換面における１次又は−１次の
フーリエスペクトル位置を通過する光を遮断又は減衰さ
せる光学部材とを有していることを特徴とする請求項１
のエンコーダー。 - 【請求項３】 前記光調整手段は前記±１次回折光のう
ち所定の入射角で入射してきた回折光を全反射させる反
射面を有したプリズム部材を有していることを特徴とす
る請求項１のエンコーダー。 - 【請求項４】 円筒部材の周囲に一定周期の格子より成
る光学スケールを設けた回転体の該光学スケールのうち
の第１スケールに光照射手段からの光束を照射し、該該
１スケールで回折された光束を該光学スケールのうちの
第２スケールに入射させ、該第２スケールで光変調され
た光束を受光手段で受光し、該受光手段からの信号を用
いて該回転体の回転情報を検出する際、該第１スケール
からの回折光のうち＋１次回折光又は−１次回折光を遮
断又は減衰させる光調整手段を該第１スケールと第２ス
ケールとの間の光路中に配置し、主に０次光と−１次回
折光又は０次光と＋１次回折光により該第２スケール上
に該第１スケールと同じ格子ピッチの強度分布の光学像
を形成するようにしたことを特徴とするエンコーダー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18450692A JP3254737B2 (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | エンコーダー |
| US08/070,996 US5481106A (en) | 1992-06-17 | 1993-06-04 | Encoder with an optical scale and interference of zero and first order diffraction beams |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18450692A JP3254737B2 (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | エンコーダー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063167A true JPH063167A (ja) | 1994-01-11 |
| JP3254737B2 JP3254737B2 (ja) | 2002-02-12 |
Family
ID=16154389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18450692A Expired - Fee Related JP3254737B2 (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | エンコーダー |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5481106A (ja) |
| JP (1) | JP3254737B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101027912B1 (ko) * | 2009-03-27 | 2011-04-12 | (주) 디바이스이엔지 | 엔코더장치 |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3028716B2 (ja) * | 1993-09-29 | 2000-04-04 | キヤノン株式会社 | 光学式変位センサ |
| JPH08210824A (ja) * | 1995-02-07 | 1996-08-20 | Canon Inc | 回転検出装置及び回転制御装置 |
| JPH08219812A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-08-30 | Canon Inc | 変位情報検出装置、変位情報検出用スケール及びこれを用いたドライブ制御装置 |
| EP0729013B1 (en) * | 1995-02-21 | 2002-07-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement detection apparatus and drive control apparatus using the same |
| US6229140B1 (en) | 1995-10-27 | 2001-05-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement information detection apparatus |
| US6151185A (en) * | 1996-09-05 | 2000-11-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Position detecting apparatus, positioning apparatus, and information recording apparatus using the same |
| SG75127A1 (en) | 1997-06-30 | 2000-09-19 | Canon Kk | Displacement information detecting apparatus |
| US6631047B2 (en) | 1997-09-22 | 2003-10-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Interference device, position detecting device, positioning device and information recording apparatus using the same |
| JPH11351813A (ja) | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Canon Inc | 干渉装置及びそれを用いた位置検出装置 |
| JP4365927B2 (ja) | 1999-03-12 | 2009-11-18 | キヤノン株式会社 | 干渉計測装置及び格子干渉式エンコーダ |
| US6674066B1 (en) | 1999-04-16 | 2004-01-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Encoder |
| JP2000321021A (ja) | 1999-05-10 | 2000-11-24 | Canon Inc | 干渉装置、変位測定装置、及びそれを用いた情報記録又は／及び再生装置 |
| JP4428781B2 (ja) | 1999-12-28 | 2010-03-10 | キヤノン株式会社 | 光学式ロータリエンコーダ及びモータ制御装置 |
| JP4846909B2 (ja) * | 2000-02-15 | 2011-12-28 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ及び回折格子の変位測定方法 |
| JP4726168B2 (ja) | 2000-04-17 | 2011-07-20 | キヤノン株式会社 | 光学スケール及び光学式エンコーダ |
| JP2001336952A (ja) | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Canon Inc | 測定装置 |
| JP4908764B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2012-04-04 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ |
| JP4928206B2 (ja) * | 2006-09-22 | 2012-05-09 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
| US9018578B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-04-28 | Mitutoyo Corporation | Adaptable resolution optical encoder having structured illumination and spatial filtering |
| US9080899B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-07-14 | Mitutoyo Corporation | Optical displacement encoder having plural scale grating portions with spatial phase offset of scale pitch |
| US8941052B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-01-27 | Mitutoyo Corporation | Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder |
| US9029757B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-05-12 | Mitutoyo Corporation | Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2178529B (en) * | 1985-06-28 | 1989-12-28 | Canon Kk | Optical encoder |
| DE3633574A1 (de) * | 1986-10-02 | 1988-04-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische winkelmesseinrichtung |
| JP2503561B2 (ja) * | 1988-01-05 | 1996-06-05 | 株式会社ニコン | レ―ザ―干渉式エンコ―ダ |
| DE3901534C1 (ja) * | 1989-01-20 | 1990-04-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | |
| JP2683117B2 (ja) * | 1989-10-31 | 1997-11-26 | キヤノン株式会社 | エンコーダー |
| US5323001A (en) * | 1989-12-26 | 1994-06-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Rotary encoder with scale member and interference of zero and first order diffraction beam |
| JP3066923B2 (ja) * | 1991-07-29 | 2000-07-17 | キヤノン株式会社 | エンコーダ及びこれを有するシステム |
-
1992
- 1992-06-17 JP JP18450692A patent/JP3254737B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-06-04 US US08/070,996 patent/US5481106A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101027912B1 (ko) * | 2009-03-27 | 2011-04-12 | (주) 디바이스이엔지 | 엔코더장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3254737B2 (ja) | 2002-02-12 |
| US5481106A (en) | 1996-01-02 |
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