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JPH06302135A - Method and device for positioning head of information storage disk device, method and device for writing servo information, slider, slider supporting member and magnetic disk device - Google Patents

Method and device for positioning head of information storage disk device, method and device for writing servo information, slider, slider supporting member and magnetic disk device

Info

Publication number
JPH06302135A
JPH06302135A JP8628993A JP8628993A JPH06302135A JP H06302135 A JPH06302135 A JP H06302135A JP 8628993 A JP8628993 A JP 8628993A JP 8628993 A JP8628993 A JP 8628993A JP H06302135 A JPH06302135 A JP H06302135A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slider
carriage
head
displacement
detecting means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8628993A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yukio Yamamoto
幸生 山本
Takashi Yoshida
吉田  隆
Marutomo Gotou
丸朋 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP8628993A priority Critical patent/JPH06302135A/en
Publication of JPH06302135A publication Critical patent/JPH06302135A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

PURPOSE:To precisely position a slider on a disk even if vibration is exserted without deteriorating the mechanical resonant characteristic and to write servo information with high quality. CONSTITUTION:An optical pickup 12 is exactly positioned by means of a positioning device 13 for optical pickup, the optical pick up 12 detects a relative position between itself and a slider 2 without being optically in contact with the slider by means of a diffraction groove 18 formed on the rear surface of the slider 2 and outputs a relative position error signal xd from a position error detecting circuit 14. The relative position error signal xd is inputted to a VCM control circuit 6, a VCM 5 is controlled so that the position error xd is held within a prescribed target value, the slider 2 follows up the optical pickup 12 while moving a carriage 4 and the servo information of a disk device 1 rotating a head is exactly positioned on a disk 100 to be recorded without deteriorating the mechanical resonant characteristic of an actuator.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ディスク装
置や光磁気ディスク装置等の情報記憶ディスク装置にお
けるヘッド位置決め方法及びその装置に関し、さらに、
かかる位置決め方法を用いてディスク上にサーボ情報書
き込むためのサーボ情報書き込み方法及び書き込み装置
及びスライダ、スライダ支持部材、磁気ディスク装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a head positioning method and device for an information storage disk device such as a magnetic disk device or a magneto-optical disk device, and
The present invention relates to a servo information writing method and a writing device for writing servo information on a disk using such a positioning method, a slider, a slider support member, and a magnetic disk device.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置や光磁気ディスク装置
等の、いわゆる記録用ディスクを用いた情報記憶ディス
ク装置においては、磁気ヘッドをディスク上の目的のト
ラックに位置決めするために、サーボ情報が使用されて
いる。一般に、このサーボ情報は、サーボライタと呼ば
れる別個のヘッドを用いて外部から書き込まれるか、あ
るいは、磁気ディスク装置自体の書き込みヘッドを用い
て書き込まれる。近年、情報記憶機器の記録密度の高密
度化に伴い、情報記憶ディスク装置においても、サーボ
情報専用のディスク面を持つサーボ面サーボより、デー
タ面の一部にサーボ情報を書き込むデータ面サーボが主
流となってきており、それに伴い、サーボ情報も後者の
方法によりデータ面の一部に書き込まれるようになって
いる。
2. Description of the Related Art In an information storage disk device using a so-called recording disk such as a magnetic disk device or a magneto-optical disk device, servo information is used to position a magnetic head on a target track on the disk. ing. In general, this servo information is externally written using a separate head called a servo writer, or is written using the write head of the magnetic disk device itself. In recent years, with the increase in recording density of information storage devices, data surface servos that write servo information on a part of the data surface are more mainstream than servo surface servos that have a disk surface dedicated to servo information, even in information storage disk devices. As a result, servo information is also written on a part of the data surface by the latter method.

【0003】また、小型磁気ディスクでは、内部のスペ
ースの関係から、ヘッド及びキャリッジの駆動には、キ
ャリッジを回転軸を中心に回転させるロータリ型アクチ
ュエータが多く採用されている。従来、ヘッドの位置決
めは、高分解能なレーザ測長計によってキャリッジの一
点の位置を検出し、これを目標位置と一致させるように
アクチュエータを駆動することにより行っている。
Further, in the case of a small magnetic disk, a rotary type actuator for rotating the carriage about a rotation axis is often used for driving the head and the carriage because of the internal space. Conventionally, positioning of the head is performed by detecting the position of one point of the carriage by a high-resolution laser length meter and driving an actuator so as to match the position with the target position.

【0004】ところで、レーザ測長計でキャリッジの位
置を測定するには、測定点にレーザ光を反射させるため
のミラーを設置する必要がある。しかしながら、このミ
ラーにより、アクチュエータの機構共振周波数が低下
し、さらに、ミラー取付部で発生する機構共振が加わる
ため、位置決めサーボループのゼロクロス周波数を下げ
る必要があり、これがヘッドの位置決め精度を低下させ
ていた。さらに、外部に他のアクチュエータとレーザ測
長計を備え、外部アクチュエータと内部のアクチュエー
タとを連結し、外部アクチュエータをレーザ測長計で位
置決めすることによってヘッドを所定の位置に移動させ
る外部駆動方式によるヘッドの位置決め方式において
は、外部アクチュエータ及びその連結による機構共振特
性の大幅な劣化は、より重大な問題となっている。
By the way, in order to measure the position of the carriage with the laser length meter, it is necessary to install a mirror for reflecting the laser beam at the measuring point. However, since this mirror lowers the mechanical resonance frequency of the actuator and further adds the mechanical resonance generated at the mirror mounting portion, it is necessary to lower the zero-cross frequency of the positioning servo loop, which lowers the positioning accuracy of the head. It was Further, another actuator and a laser length meter are provided outside, the external actuator is connected to the internal actuator, and the head is moved to a predetermined position by positioning the external actuator with the laser length meter. In the positioning method, the significant deterioration of the mechanical resonance characteristics due to the external actuator and its connection has become a more serious problem.

【0005】このようなアクチュエータの機構共振特性
の劣化に対して、例えば特開平2−134778号公報
に記載のように、針状電極を登載した補助アクチュエー
タを位置決めし、この針状電極とヘッドを位置決めする
主アクチュエータの間に流れるトンネル電流もしくは電
界放射電流を検出してその値を一定に保つことにより、
主アクチュエータと補助アクチュエータの相対位置を一
定に保つように主アクチュエータを制御する方法などが
提案されている。しかしながら、針状電極を介して主ア
クチュエータとの間に流れるトンネル電流もしくは電界
放射電流を検出して主アクチュエータを正確に位置決め
することは、現実的には難しく、そのため、アクチュエ
ータの機構共振特性の劣化を防ぐには未だ不十分であっ
た。
For such deterioration of the mechanical resonance characteristic of the actuator, an auxiliary actuator having a needle-shaped electrode mounted thereon is positioned as described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-134778, and the needle-shaped electrode and the head are connected to each other. By detecting the tunnel current or field emission current flowing between the main actuators to be positioned and keeping the value constant,
A method of controlling the main actuator so as to keep the relative position of the main actuator and the auxiliary actuator constant has been proposed. However, it is practically difficult to accurately position the main actuator by detecting the tunnel current or the field emission current flowing between the main actuator and the needle-shaped electrode, and therefore the mechanical resonance characteristic of the actuator is deteriorated. Was still insufficient to prevent.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ディス
クを回転させるためのスピンドルモータ等に起因する振
動は、キャリッジの回転軸に伝達されてキャリッジ及び
ヘッドを振動させる。上記の従来のヘッド位置決め方式
では、このような振動に対してもキャリッジの位置測定
点を目標位置に静止させるように制御する。従って、キ
ャリッジの回転軸から伝わる振動は、静止させられたキ
ャリッジの位置測定点を支点として伝達され、ヘッドは
静止せずに振動する。このヘッドに伝達される振動は、
キャリッジの位置測定点の場所によって、逆相になった
り増幅されたりする。ヘッドが振動すると、書き込むサ
ーボ情報の位置がずれる。このようなサーボ情報により
トラックの位置決めを行うと、隣接トラック間の間隔が
一定せず、隣接トラックのデータの干渉によってデータ
の再生エラーが発生する恐れがある。さらに、今後、磁
気ディスク装置の高記録密度化に伴ってさらにトラック
間隔が狭くなることが予想され、上記問題点の解決は、
より重要な課題になる。
By the way, the vibration caused by the spindle motor or the like for rotating the magnetic disk is transmitted to the rotary shaft of the carriage to vibrate the carriage and the head. In the above-described conventional head positioning method, the position measurement point of the carriage is controlled to stand still at the target position even with such vibration. Therefore, the vibration transmitted from the rotary shaft of the carriage is transmitted with the position measurement point of the carriage that is stationary as a fulcrum, and the head vibrates without stopping. The vibration transmitted to this head is
Depending on the position of the carriage position measurement point, the phase may be reversed or amplified. When the head vibrates, the position of servo information to be written shifts. If the tracks are positioned by such servo information, the interval between the adjacent tracks is not constant, and there is a possibility that a data reproduction error occurs due to the interference of the data on the adjacent tracks. Furthermore, in the future, it is expected that the track spacing will become narrower as the recording density of the magnetic disk device becomes higher.
It becomes a more important issue.

【0007】本発明の目的は、上記の従来技術における
問題点に鑑み、すなわち、アクチュエータの機構共振特
性を低下させることなく、磁気ディスクを回転駆動する
スピンドルモータ等に起因する振動にも拘らずスライダ
上の磁気ヘッドをディスク上に正確に位置決めすること
の可能な情報記憶ディスク装置とそのスライダヘッドの
位置決め方法とその装置、さらに、これを利用したサー
ボ情報書き込み方法及び装置を提供するものである。
The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems in the prior art, namely, without reducing the mechanical resonance characteristics of the actuator, despite the vibration caused by the spindle motor or the like that rotationally drives the magnetic disk. (EN) An information storage disk device capable of accurately positioning the above magnetic head on a disk, a slider head positioning method and its device, and a servo information writing method and device using the same.

【0008】さらには、外部からキャリッジに振動が加
わってもヘッドを一定の位置に位置決めして常に高品質
なサーボ情報を書き込むことが可能なサーボ情報書き込
み方法及び書き込み装置を提供することを目的としてい
る。
Further, it is an object of the present invention to provide a servo information writing method and a writing device which can always write high quality servo information by positioning the head at a fixed position even if vibration is applied to the carriage from the outside. There is.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、情報記憶ディスク装置において、
回転するディスク状記録媒体上に、ヘッドを搭載したス
ライダを位置決めするための情報記憶ディスク装置のヘ
ッド位置決め方法であって、前記スライダを前記ディス
ク状記録媒体上を移動可能に支持するキャリッジとは個
別に、前記キャリッジより高精度で正確な位置決めが可
能な位置決め手段により、スライダ変位検出手段を正確
に位置決めし、当該正確に位置決めされたスライダ変位
検出手段により光学的に非接触で前記スライダとの相対
位置を検出し、当該検出された相対位置情報により前記
スライダを位置決めする情報記憶ディスク装置のヘッド
位置決め方法が提案されている。
In order to achieve the above object, according to the present invention, in an information storage disk device,
A head positioning method of an information storage disk device for positioning a slider having a head mounted on a rotating disk-shaped recording medium, the method comprising: a carriage for supporting the slider movably on the disk-shaped recording medium; Further, the slider displacement detecting means is accurately positioned by the positioning means capable of more accurate and accurate positioning than the carriage, and the slider displacement detecting means which is accurately positioned relative to the slider in an optically non-contact manner. There has been proposed a head positioning method for an information storage disk device which detects a position and positions the slider based on the detected relative position information.

【0010】また、本発明によれば、キャリッジ駆動手
段により、キャリッジによってディスク状記録媒体上を
移動可能に支持されたヘッドを搭載したスライダを位置
決めし、前記ヘッドによって前記ディスク状記録媒体に
サーボ情報を書き込むサーボ情報書き込み方法におい
て、前記スライダの変位を非接触で検出するスライダ変
位検出手段を前記ディスク状記録媒体から離れた位置で
正確に位置決めし、前記スライダ変位検出手段からの出
力に基づいて前記キャリッジ駆動手段を駆動することに
よって前記キャリッジを移動し、前記スライダ変位検出
手段と前記スライダの相対位置誤差を所定の目標値に保
つことにより、前記ヘッドを位置決めするサーボ情報書
き込み方法が提案されている。
Further, according to the present invention, the carriage driving means positions a slider carrying a head movably supported on the disk-shaped recording medium by the carriage, and the head drives the servo information on the disk-shaped recording medium. In the servo information writing method, the slider displacement detecting means for detecting the displacement of the slider in a non-contact manner is accurately positioned at a position distant from the disk-shaped recording medium, and the slider displacement detecting means detects the displacement based on an output from the slider displacement detecting means. There has been proposed a servo information writing method for positioning the head by moving the carriage by driving a carriage driving means and maintaining a relative position error between the slider displacement detecting means and the slider at a predetermined target value. .

【0011】さらに、本発明の上記目的を達成するため
の装置として、回転するディスク状記録媒体上に、ヘッ
ドを搭載したスライダをキャリッジによって位置決めす
る情報記憶ディスク装置のヘッド位置決め装置であっ
て、前記キャリッジを駆動するためのキャリッジ駆動手
段と、前記キャリッジとは個別に配置され、前記キャリ
ッジと同様の移動態様で移動可能で、かつ、前記キャリ
ッジよりも高精度で正確に位置決めを行うことが可能な
位置決め手段と、前記位置決め手段に取り付けられて正
確な位置決めが行われ、かつ、前記スライダとの相対位
置誤差を非接触で検出するスライダ変位検出手段と、前
記スライダ変位検出手段からの相対位置誤差情報に基づ
いて前記キャリッジ駆動手段を駆動しながら前記スライ
ダを前記ディスク状記録媒体上に正確に位置決めする情
報記憶ディスク装置のヘッド位置決め装置が提案され
る。
Further, as a device for achieving the above object of the present invention, there is provided a head positioning device for an information storage disk device, wherein a slider having a head mounted thereon is positioned by a carriage on a rotating disk-shaped recording medium. The carriage driving means for driving the carriage and the carriage are separately arranged, can be moved in the same movement mode as the carriage, and can be positioned with higher precision and accuracy than the carriage. Positioning means, slider displacement detection means attached to the positioning means for accurate positioning, and detecting relative position error with the slider in a non-contact manner, and relative position error information from the slider displacement detection means Drive the carriage drive means based on Head positioning device of the information storage disk device to accurately position on the recording medium is proposed.

【0012】また、上記と同様に本発明の目的を達成す
るための装置として、サーボ情報が書き込まれる記録媒
体と、前記記録媒体にサーボ情報を書き込むヘッドと、
前記ヘッドを搭載したスライダと、前記スライダを前記
記録媒体上に移動可能に支持するキャリッジと、前記キ
ャリッジを駆動する第1のキャリッジ駆動手段と、前記
スライダの相対位置を非接触に検出するスライダ変位検
出手段と、前記スライダ変位センサを位置決めするスラ
イダ変位検出手段を正確に位置決めする手段と、前記ス
ライダ変位検出手段からの出力を所定の目標値に保つよ
うに前記キャリッジ駆動手段を制御する制御回路とから
なるサーボ情報書き込み装置が提案されている。
Further, similar to the above, as an apparatus for achieving the object of the present invention, a recording medium on which servo information is written, a head for writing servo information on the recording medium,
A slider on which the head is mounted, a carriage that movably supports the slider on the recording medium, a first carriage driving unit that drives the carriage, and a slider displacement that detects the relative position of the slider in a non-contact manner. A detecting means; a means for accurately positioning the slider displacement detecting means for positioning the slider displacement sensor; and a control circuit for controlling the carriage driving means so as to maintain an output from the slider displacement detecting means at a predetermined target value. A servo information writing device has been proposed.

【0013】さらに、本発明によれば、キャリッジ位置
検出手段を設け、前記スライダが前記スライダ変位検出
手段の検出範囲の外にあるときには、このキャリッジ位
置検出手段により検出されるキャリッジの絶対位置情報
に基づいて前記キャリッジ駆動手段を駆動することによ
り、前記キャリッジに取り付けられたスライダのヘッド
を位置決めをする。
Further, according to the present invention, the carriage position detecting means is provided, and when the slider is out of the detection range of the slider displacement detecting means, the absolute position information of the carriage detected by the carriage position detecting means is used. By driving the carriage driving means based on the above, the head of the slider attached to the carriage is positioned.

【0014】加えて、本発明によれば、さらに、前記デ
ィスク状記録媒体の変位を検出する手段を設けており、
この記録媒体変位検出手段からの出力によって、前記デ
ィスク状記録媒体自体の変位をも加味したより正確なス
ライダヘッド位置決めを可能にしている。
In addition, according to the present invention, means for detecting the displacement of the disk-shaped recording medium is further provided,
The output from the recording medium displacement detecting means enables more accurate slider head positioning in consideration of the displacement of the disk-shaped recording medium itself.

【0015】そして、本発明によれば、前記スライダと
の相対位置を検出するための前記スライダ変位検出手段
は、光学的手段により非接触で、前記スライダとの相対
位置誤差を検出する。
Further, according to the present invention, the slider displacement detecting means for detecting the relative position with respect to the slider detects the relative position error with the slider in a non-contact manner by the optical means.

【0016】[0016]

【作用】上述の本発明により提案された情報記憶ディス
ク装置のヘッド位置決め方法及びその装置、並びに、そ
れを利用したサーボ情報書き込み方法及び書き込み装置
によれば、まず、ヘッドを搭載したスライダの変位を非
接触で検出するためのスライダ変位検出手段を正確に位
置決めし、その後、前記スライダ変位検出手段からの出
力を所定の目標値に保つように、すなわち、それらの相
対位置に基づいてキャリッジを駆動しながら、もって、
前記スライダを正確に位置付けされたスライダ変位検出
手段に追従させるようにしたことにより、アクチュエー
タとしての機構共振特性が劣化せず、また、キャリッジ
に伝わる外乱変位による位置検出誤差がなくなり、ヘッ
ドを正確に位置決めすることが可能になる。
According to the head positioning method and apparatus for the information storage disk apparatus proposed by the present invention and the servo information writing method and writing apparatus using the same, the displacement of the slider on which the head is mounted is first corrected. Accurately positioning the slider displacement detection means for non-contact detection, and then maintaining the output from the slider displacement detection means at a predetermined target value, that is, driving the carriage based on their relative positions. While,
By making the slider follow the slider displacement detecting means accurately positioned, the mechanism resonance characteristics as an actuator are not deteriorated, and the position detection error due to the disturbance displacement transmitted to the carriage is eliminated, and the head is accurately It becomes possible to position.

【0017】また、外部からの衝撃等により、スライダ
がスライダ変位センサ検出範囲外に移動したときに、キ
ャリッジ位置による位置決めに切り替えることにより、
アクチュエータの暴走を防ぐことができる。
Further, when the slider moves out of the slider displacement sensor detection range due to an impact from the outside or the like, by switching the positioning to the carriage position,
The runaway of the actuator can be prevented.

【0018】さらに、記録媒体の変位に追従させてスラ
イダを位置決めすることにより、記録媒体の変位に関わ
らず正確な位置にサーボ情報を記録することができる。
Further, by positioning the slider so as to follow the displacement of the recording medium, the servo information can be recorded at an accurate position regardless of the displacement of the recording medium.

【0019】そして、光学パターンもしくは発光素子や
受光素子を使用して光学的に非接触で相対位置を検出す
ることにより、アクチュエータの機構共振特性を悪化さ
せずに、ヘッドを搭載したスライダを正確に位置決めす
ることができる。
The optical pattern or the light emitting element or the light receiving element is used to optically detect the relative position in a non-contact manner to accurately adjust the slider on which the head is mounted without deteriorating the mechanical resonance characteristics of the actuator. Can be positioned.

【0020】[0020]

【実施例】以下、本発明の実施例について、添付の図面
を参照しながら説明する。図1は、本発明のサーボ情報
書き込み方法及び書き込み装置を採用した磁気ディスク
装置、特に、磁気ディスク装置のディスク上にサーボ情
報を書き込むサーボトラックライタ部分の構成を示す図
である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a magnetic disk device that employs the servo information writing method and the writing device of the present invention, and in particular, a servo track writer portion that writes servo information on a disk of the magnetic disk device.

【0021】図において、サーボトラックライタは、デ
ータ及びサーボ情報が記録面上に書き込まれる複数枚の
ディスクを積層したディスク装置1と、上記ディスク装
置1にデータと共にサーボ情報を書き込むためのヘッド
を登載したスライダ2と、このスライダ2を上記ディス
ク装置1上に押し付けるためのロードアーム3と、上記
ロードアーム3を介してスライダ2を支持しながらディ
スク装置1上の任意の位置に位置付けするためのキャリ
ッジ4と、このキャリッジ4を駆動するためのVCM
(ボイスコイルモータ)5と、位置誤差xdの値に応じ
て上記VCM 6の駆動電流iを制御するVCM制御回
路6と、上記スライダ2上のヘッドを用いてディスク装
置1上にサーボ情報を書き込むサーボ情報書き込み回路
7(なおここでは、上記スライダ2のヘッドを用いてデ
ィスク装置1上にデータを書き込むデータ書き込み回路
は図示されていない)とから構成されている。
In the figure, a servo track writer is provided with a disk device 1 in which a plurality of disks in which data and servo information are written on a recording surface are stacked, and a head for writing servo information together with data in the disk device 1. Slider 2, a load arm 3 for pressing the slider 2 onto the disk device 1, and a carriage for positioning the slider 2 at an arbitrary position on the disk device 1 while supporting the slider 2 via the load arm 3. 4 and a VCM for driving this carriage 4
(Voice coil motor) 5, VCM control circuit 6 for controlling drive current i of VCM 6 according to the value of position error xd, and head on slider 2 are used to write servo information on disk device 1. The servo information writing circuit 7 (here, the data writing circuit for writing data on the disk device 1 using the head of the slider 2 is not shown).

【0022】また、ディスク装置1の複数枚のディスク
を積層して保持するスピンドル8は、スピンドルを回転
させるスピンドルモータ9に連結されており、さらに、
このスピンドルモータ9を一定回転で駆動させるスピン
ドルモータ駆動回路10に接続されている。ここで、符
号11は、全体の動作を制御するMPU(マイクロプロ
セッサ)を、符号12は、上記スライダ2の背面に取り
付けられ、後に詳細に説明する回折溝を検出する光ピッ
クアップを、符号13は、上記光ピックアップ12を移
動させて正確に位置決めすることが可能な光ピックアッ
プ位置決め装置(回転部13Aとアーム13Bとより成
る)であり、さらに、図中の符号14は、光ピックアッ
プ12の出力から位置誤差xdを検出する位置誤差検出
回路、そして、符号19は、サーボ情報を書き込むとき
の基準となるクロックを発生するクロックヘッドであ
る。回転部13Aとキャリッジ4との回転中心は互いに
同一軸上に位置決めされ、両者は別々の駆動系(6と1
1とを指す)で同様の態様で動作するようになってい
る。
The spindle 8 of the disk device 1 for stacking and holding a plurality of disks is connected to a spindle motor 9 for rotating the spindle.
It is connected to a spindle motor drive circuit 10 which drives the spindle motor 9 at a constant rotation. Here, reference numeral 11 is an MPU (microprocessor) for controlling the entire operation, reference numeral 12 is an optical pickup attached to the back surface of the slider 2 for detecting a diffraction groove, which will be described in detail later, and reference numeral 13 is. Is an optical pickup positioning device (comprising a rotating portion 13A and an arm 13B) capable of moving and accurately positioning the optical pickup 12, and reference numeral 14 in the drawing denotes an output of the optical pickup 12. A position error detection circuit that detects the position error xd, and a reference numeral 19 is a clock head that generates a clock that serves as a reference when writing servo information. The centers of rotation of the rotary unit 13A and the carriage 4 are positioned on the same axis, and they are separated by different drive systems (6 and 1).
1) and operates in a similar manner.

【0023】すなわち、上記ディスク装置1では、複数
枚のディスクを積層したスピンドル8は、スピンドルモ
ータ9によって回転駆動されている。このスピンドルモ
ータ9は、スピンドルモータ駆動回路10によって駆動
されており、これによって一定の回転数に保たれてい
る。一方、スライダ2は、ロードアーム3を介してキャ
リッジ4に支持されており、このキャリッジ4は、上記
VCM5によって駆動されることにより、ディスク装置
1のディスク面上を移動する。
That is, in the disc device 1, the spindle 8 in which a plurality of discs are stacked is rotationally driven by the spindle motor 9. The spindle motor 9 is driven by a spindle motor drive circuit 10 and is thus kept at a constant rotation speed. On the other hand, the slider 2 is supported by a carriage 4 via a load arm 3, and the carriage 4 is driven by the VCM 5 to move on the disk surface of the disk device 1.

【0024】ここで、本発明のサーボ情報の書き込み方
法によれば、まず、光ピックアップ位置決め装置13
は、光ピックアップ12を上記スライダ2と同一の回転
軸上でかつ同一半径上を移動し、これによって、光ピッ
クアップ12を、ディスク装置1の複数枚のディスクの
中のサーボ情報を書き込むためのディスク100(本実
施例では、このサーボ情報書き込み用のディスクは、上
記ディスク装置1の複数枚のディスクの最上層のディス
クとなっている。)上の所定の位置に、正確に位置決め
する。
Here, according to the servo information writing method of the present invention, first, the optical pickup positioning device 13 is provided.
Moves the optical pickup 12 on the same rotation axis and on the same radius as the slider 2 so that the optical pickup 12 causes the optical pickup 12 to write servo information in a plurality of disks of the disk device 1. 100 (according to the present embodiment, this servo information writing disk is the uppermost disk of the plurality of disks of the disk device 1) and is accurately positioned at a predetermined position.

【0025】一方、上記のスライダ2の背面には、図2
に示すように、回折溝18が形成されており、これによ
り、スライダ2の位置は、上記光ピックアップ12によ
ってこの回折溝18の位置を検出することにより、その
正確な位置が位置決めされる。すなわち、位置誤差検出
回路14では、光ピックアップ12の出力から、光ピッ
クアップ12とスライダ2との相対位置誤差xdを検出
する。VCM制御回路6は、検出した位置誤差xdの値
に応じてキャリッジ4を駆動するVCM5の駆動電流i
を制御し、位置誤差xdが零、つまりスライダ2が光ピ
ックアップ12の真下にくるようにキャリッジ4を駆動
し、スライダ2上のヘッドを位置決めする。
On the other hand, on the back surface of the slider 2 shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the diffraction groove 18 is formed, and thus the position of the slider 2 is accurately positioned by detecting the position of the diffraction groove 18 by the optical pickup 12. That is, the position error detection circuit 14 detects the relative position error xd between the optical pickup 12 and the slider 2 from the output of the optical pickup 12. The VCM control circuit 6 drives the carriage 4 according to the value of the detected position error xd.
The carriage 4 is driven so that the position error xd is zero, that is, the slider 2 is directly below the optical pickup 12, and the head on the slider 2 is positioned.

【0026】クロックヘッド19は、ディスク100の
記録領域外に、最初に一定周波数のクロック信号を1回
転分書き込み、サーボ情報を書き込むときにそのクロッ
ク信号を再生する。サーボ情報書き込み回路7は、スラ
イダ2が目標位置に位置決めされた状態で、スライダ2
上のヘッドを用いて、クロックヘッド19で再生された
クロック信号に同期して、ディスク100にサーボ情報
を書き込む。
The clock head 19 first writes a clock signal of a constant frequency for one rotation outside the recording area of the disk 100, and reproduces the clock signal when writing servo information. The servo information writing circuit 7 operates when the slider 2 is positioned at the target position.
The upper head is used to write servo information on the disk 100 in synchronization with the clock signal reproduced by the clock head 19.

【0027】MPU11は、サーボトラックライタ全体
の制御を行う。すなわち、サーボ情報の書き込み動作に
ついて説明すると、MPU11は、最初に、スピンドル
モータ駆動回路10に指令を送ってスピンドルモータ9
を起動させ、回転数が安定するのを待ち、クロックヘッ
ド19でクロック信号を1回転分書き込む。次に、スラ
イダ2を最内周もしくは最外周の初期位置に移動させ、
その後、光ピックアップ12をスライダ2上まで移動さ
せ、これにより、スライダ2を光ピックアップ12に追
従した状態にする。スライダ2が追従状態になったら、
追従が外れないような速度及び加速度で光ピックアップ
12を所定位置に移動させ、スライダ2を位置決めし、
サーボ情報書き込み回路7に指令を送って、クロックヘ
ッド19で再生されるクロック信号に同期しながらディ
スク100にサーボ情報を書き込む。1トラック分のサ
ーボ情報を書き込みが終了したら、次の位置に光ピック
アップを移動させる。このようにして、スライダ2の位
置決めとサーボ情報の書き込みを繰り返し、全てのトラ
ックにサーボ情報を書き込んだら、スピンドルモータ9
を停止し、ディスク装置1へのサーボ情報の書き込みを
終了する。
The MPU 11 controls the entire servo track writer. That is, to explain the servo information writing operation, the MPU 11 first sends a command to the spindle motor drive circuit 10 to send the spindle motor 9
Is started, and until the rotation speed stabilizes, the clock signal is written by the clock head 19 for one rotation. Next, move the slider 2 to the innermost or outermost initial position,
After that, the optical pickup 12 is moved onto the slider 2 so that the slider 2 follows the optical pickup 12. When the slider 2 is in the follow-up state,
The slider 2 is positioned by moving the optical pickup 12 to a predetermined position at a speed and an acceleration so that the tracking is not lost.
A command is sent to the servo information writing circuit 7 to write the servo information on the disk 100 in synchronization with the clock signal reproduced by the clock head 19. After writing the servo information for one track, the optical pickup is moved to the next position. In this way, the positioning of the slider 2 and the writing of the servo information are repeated, and when the servo information is written in all the tracks, the spindle motor 9
To stop writing servo information to the disk device 1.

【0028】すなわち、本発明によれば、図1に示すの
ような構成において、光ピックアップ12を正確に位置
決めし、キャリッジ4を駆動してスライダ2を光ピック
アップ12に追従させるように位置決めをすることによ
り、アクチュエータの機構共振特性を低下させず、キャ
リッジ4に振動が加わっても、スライダ2上のヘッドを
ディスク100上の一定の位置に正確に位置決めがで
き、これによって、高品質なサーボ情報の書き込みが可
能になる。以下、さらに具体的に説明を加える。
That is, according to the present invention, in the configuration as shown in FIG. 1, the optical pickup 12 is accurately positioned, and the carriage 4 is driven so that the slider 2 follows the optical pickup 12. As a result, the mechanical resonance characteristics of the actuator are not deteriorated, and the head on the slider 2 can be accurately positioned at a fixed position on the disk 100 even if the carriage 4 is vibrated, whereby high-quality servo information can be obtained. Can be written. Hereinafter, a more specific description will be added.

【0029】上記の図2には、スライダ2上に構成した
回折溝18と光ピックアップ12の関係が図示されてい
る。光ピックアップ12は回折溝18に向けてレーザ光
を放射し、回折溝18からの反射光を検出し、もって回
折溝18と光ピックアップ12との相対変位を検出す
る。このような光ピックアップ12と回折溝18を用い
た位置決め方法は、例えば光ディスクのトラッキング方
式として公知であり、また、光ディスクのトラッキング
方式としては、例えばプッシュプル法等がある。このプ
ッシュプル法は、回折溝18からの1次回折光を、後に
詳述する2分割フォトディテクタ(PD)で受光し、こ
のPDの出力差から位置誤差を検出するものである。こ
の場合、回折溝18の深さは、レーザの波長λに対しλ
/8にする。これにより、光ディスクでは、トラッキン
グ精度±0.1μm以下を達成している。また、光ピッ
クアップ12は、フォーカシング機能をも備えており、
これにより、スライダ2の上下動に追従して、常に回折
溝18に照射するレーザビームの焦点を合わせることが
できる。
FIG. 2 shows the relationship between the diffraction groove 18 formed on the slider 2 and the optical pickup 12. The optical pickup 12 emits a laser beam toward the diffraction groove 18, detects the reflected light from the diffraction groove 18, and thus detects the relative displacement between the diffraction groove 18 and the optical pickup 12. Such a positioning method using the optical pickup 12 and the diffractive groove 18 is known, for example, as an optical disk tracking method, and as an optical disk tracking method, there is, for example, a push-pull method. In the push-pull method, the first-order diffracted light from the diffraction groove 18 is received by a two-divided photodetector (PD), which will be described in detail later, and the position error is detected from the output difference of the PD. In this case, the depth of the diffraction groove 18 is λ with respect to the wavelength λ of the laser.
/ 8. As a result, the tracking accuracy of the optical disc is ± 0.1 μm or less. The optical pickup 12 also has a focusing function,
As a result, the laser beam applied to the diffraction groove 18 can always be focused by following the vertical movement of the slider 2.

【0030】また、図2において、スライダ2の背面上
には複数の回折溝18を形成しているが、これは外部か
らの衝撃などによってスライダ2が光ピックアップ12
の検出範囲外に移動してしまい、これによってキャリッ
ジ4が暴走することから防ぐためである。つまり、回折
溝18を複数にすることにより、光ピックアップ12の
検出範囲が広がるので、キャリッジ4が暴走する可能性
が低下する。
Further, in FIG. 2, a plurality of diffraction grooves 18 are formed on the back surface of the slider 2, but this is because the slider 2 has an optical pickup 12 due to an impact from the outside.
This is to prevent the carriage 4 from running out of control because the carriage 4 moves out of the detection range. That is, since the detection range of the optical pickup 12 is widened by providing the plurality of diffraction grooves 18, the possibility that the carriage 4 may run away is reduced.

【0031】図3には、上記スライダ2の背面の回折溝
18の断面形状(図3(A))と、光ピックアップ12
により検出され、位置誤差検出回路14から出力される
位置誤差信号xd(図3(B))との関係の一例を示
す。この図からも明らかなように、衝撃によってスライ
ダ2が移動しても、光ピックアップ12の検出範囲であ
れば、移動した時に横切った位置誤差信号xdのピーク
の数を計数しておき、そのピークpの数だけ逆方向に移
動することにより元の位置に復帰することが出来る。ま
た、回折溝18はキャリッジ4の長手方向にも十分長く
形成されており、これによって、磁気ディスク装置の各
部品の寸法誤差やサーボトラックライタへの取り付け位
置誤差などによって光ピックアップ12とスライダ2の
キャリッジ回転半径方向の相対位置がずれても、光ピッ
クアップ12のビームが回折溝18から外れないように
なっている。
FIG. 3 shows the sectional shape of the diffraction groove 18 on the back surface of the slider 2 (FIG. 3A) and the optical pickup 12.
An example of the relationship with the position error signal xd (FIG. 3 (B)) detected by the position error detection circuit 14 is shown. As is clear from this figure, even if the slider 2 moves due to an impact, if it is within the detection range of the optical pickup 12, the number of peaks of the position error signal xd crossed when the slider 2 moves is counted, and the peaks thereof are counted. It is possible to return to the original position by moving in the opposite direction by the number of p. The diffractive groove 18 is also formed long enough in the longitudinal direction of the carriage 4, so that the optical pickup 12 and the slider 2 may be different from each other due to a dimensional error of each component of the magnetic disk device, an error in a mounting position on the servo track writer, and the like. Even if the relative position in the carriage rotation radius direction is displaced, the beam of the optical pickup 12 is prevented from coming off the diffraction groove 18.

【0032】なお、上記に説明したスライダ2は、半導
体の製造と同様な方法によって製造されるので、回折溝
18の形成についても、その製造工程の途中で、例えば
エッチング等の方法を用いて加工することにより、スラ
イダ2の背面上に高精度に形成することが出来る。
Since the slider 2 described above is manufactured by a method similar to that for manufacturing a semiconductor, the diffraction groove 18 is also processed during the manufacturing process by using a method such as etching. By doing so, it can be formed on the back surface of the slider 2 with high precision.

【0033】図4は、上記図2に示した実施例とは異な
り、回折溝18を、スライダ2の背面上ではなく、スラ
イダ2が固定されるロードアーム3の一部の表面上に形
成した例を示す図である。近年、スライダ2の低浮上化
等に対応して、スライダ2の形状は小形化する傾向にあ
り、そのため、スライダの表面に回折溝18を設置する
スペースを確保できなくなることが考えられる。そのよ
うな場合には、図4に示すように、ロードアーム3等の
スライダ2を支持する部材の一部の表面上のヘッドに近
い位置に回折溝18を形成すればよい。
In FIG. 4, unlike the embodiment shown in FIG. 2, the diffraction groove 18 is formed not on the back surface of the slider 2 but on a part of the surface of the load arm 3 to which the slider 2 is fixed. It is a figure which shows an example. In recent years, the shape of the slider 2 has tended to become smaller in response to lower flying height of the slider 2 and the like, so that it may be impossible to secure a space for installing the diffraction groove 18 on the surface of the slider. In such a case, as shown in FIG. 4, the diffraction groove 18 may be formed at a position close to the head on the surface of a part of the member supporting the slider 2 such as the load arm 3.

【0034】以上に述べた2つの変形例によれば、スラ
イダ2の背面あるいはロードアーム3の一部に回折溝1
8を形成することにより、外部からの衝撃によってスラ
イダ2が多少変位しても、光ピックアップ12の検出範
囲に幅があるので、安定してスライダ2上のヘッドの位
置決めが出来ることとなる。
According to the two modified examples described above, the diffraction groove 1 is formed on the back surface of the slider 2 or a part of the load arm 3.
By forming 8, the head on the slider 2 can be stably positioned because the detection range of the optical pickup 12 has a width even if the slider 2 is slightly displaced by an external impact.

【0035】ところで、本発明では、必ずしもスライダ
2上には、上記回折溝の様に、特別に光学パターンを構
成する必要はなく、例えば、スライダ2の形状の特徴を
利用してもよい。例えば、図5には、スライダのエッジ
を光学パターンとして利用した一実施例が示されてい
る。この実施例では、図にも示すように、スライダ2の
背面側に配置した、例えばLED(レーザーダイオー
ド)等の発光素子20からの光を反射させ、その反射光
を受光素子21で受ける。この発光素子20からの光が
スライダ2のエッジの部分にかかると、エッジから外れ
た光は受光素子21に入力されず、そのため、受光素子
21の出力からスライダ2の変位を検出することが出来
る。ただし、スライダ2のエッジは十分な精度で加工し
ておく必要があり、また、スライダ2の背面が光を反射
しない場合には、予め鏡面加工を施しておく必要があ
る。また、このエッジはスライダ2のエッジに限らず、
例えばロードアーム3など他の部分のエッジでもよく、
また、エッジの代わりに光の反射率の異なる部分を用い
ることも可能である。さらに、受光素子21は十分な大
きさを備え、スライダ2の多少の位置ずれに影響されな
いようにしておく。また、受光素子21としては、既述
のフォトディテクタ(PD)に代えて、例えばラインセ
ンサやエリアセンサを用いて、エッジの位置を検出する
ようにしてもよい。
By the way, in the present invention, it is not always necessary to form a special optical pattern on the slider 2 like the above-mentioned diffraction groove, and for example, the characteristic of the shape of the slider 2 may be used. For example, FIG. 5 shows an embodiment in which the edge of the slider is used as an optical pattern. In this embodiment, as shown in the drawing, light from a light emitting element 20 such as an LED (laser diode) arranged on the back side of the slider 2 is reflected and the reflected light is received by a light receiving element 21. When the light from the light emitting element 20 impinges on the edge portion of the slider 2, the light deviating from the edge is not input to the light receiving element 21, and therefore the displacement of the slider 2 can be detected from the output of the light receiving element 21. . However, the edge of the slider 2 needs to be processed with sufficient accuracy, and if the back surface of the slider 2 does not reflect light, it needs to be mirror-finished in advance. Further, this edge is not limited to the edge of the slider 2,
For example, it may be the edge of another part such as the load arm 3,
Further, instead of the edge, it is also possible to use a portion having different light reflectance. Further, the light receiving element 21 has a sufficient size so as not to be affected by a slight displacement of the slider 2. Further, as the light receiving element 21, a line sensor or an area sensor may be used instead of the above-described photo detector (PD) to detect the edge position.

【0036】続いて、図6は、上述の実施例とは反対
に、発光素子20をスライダ2側に設け、これによって
スライダ2と光ピックアップ12との間の位置関係の検
出を行う他の変形例を示している。すなわち、この他の
変形例によれば、スライダ2の一辺に突出して設けられ
た発光素子20から放射される光を、光ピックアップ1
2の受光素子21で受ける。この受光素子21は2分割
されており、2つの受光部分からの出力の差分により、
発光素子20つまりスライダ2と光ピックアップ12と
の間の相対変位を検出することができる。なお、発光素
子21は、スライダ2の最上部もしくは最下部に設けら
れており、出射された光はヘッドの搭載された面とは反
対側の面から、磁気ディスク装置の外部に向かう方向に
向けて放射されるようになっている。
Contrary to the above embodiment, FIG. 6 shows another modification in which the light emitting element 20 is provided on the slider 2 side to detect the positional relationship between the slider 2 and the optical pickup 12. An example is shown. That is, according to this modification, the light emitted from the light emitting element 20 provided on one side of the slider 2 so as to project therefrom emits light emitted by the optical pickup 1.
It is received by the second light receiving element 21. The light receiving element 21 is divided into two, and the difference between the outputs from the two light receiving portions causes
The relative displacement between the light emitting element 20, that is, the slider 2 and the optical pickup 12 can be detected. The light emitting element 21 is provided on the uppermost part or the lowermost part of the slider 2, and the emitted light is directed from the surface opposite to the surface on which the head is mounted toward the outside of the magnetic disk device. Is being emitted.

【0037】しかしながら、この発光素子20が光を放
射する方向は、上記の実施例に述べる様に、必ずしも背
面方向に限定されるものではなく、受光素子21が発光
素子20から放射された光を受光する方向であれば任意
でよく、例えば図7に示すように、スライダ2の側面方
向に光を放射するようにしてもよく、その場合、発光素
子20もスライダ2の側方に配置される。このように、
発光素子20も、スライダ2と同様に、その位置に対応
しながら任意の位置に設けることができる。また、図8
に示すように、受光素子21をスライダ2の背面上に取
り付け、その上方に発光素子20が来るように外部に配
置してもよい。
However, the direction in which the light emitting element 20 emits light is not necessarily limited to the back direction as described in the above embodiment, and the light receiving element 21 emits the light emitted from the light emitting element 20. Any direction may be used as long as it receives light. For example, as shown in FIG. 7, light may be emitted in the side direction of the slider 2. In that case, the light emitting element 20 is also arranged on the side of the slider 2. . in this way,
Similarly to the slider 2, the light emitting element 20 can be provided at any position corresponding to the position. Also, FIG.
As shown in, the light receiving element 21 may be mounted on the back surface of the slider 2 and arranged outside so that the light emitting element 20 is located above it.

【0038】次に、図9は、本発明の第2の実施例にお
けるサーボトラックライタの構成を示す図である。この
図9においても、上記図1で示したと同じ構成部品は同
じ符号で示されており、さらに、図中の符号15は、キ
ャリッジ4の位置を検出するためのスケールを、符号1
6は、上記のスケール15を読み出すための固定された
位置センサを、そして、符号17は、上記の位置センサ
16の出力からキャリッジ4の位置を検出するキャリッ
ジ位置検出回路を示している。
Next, FIG. 9 is a diagram showing the structure of a servo track writer according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 9 as well, the same components as those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and the reference numeral 15 in the drawing indicates a scale for detecting the position of the carriage 4, the reference numeral 1
Reference numeral 6 denotes a fixed position sensor for reading the scale 15 described above, and reference numeral 17 denotes a carriage position detection circuit for detecting the position of the carriage 4 from the output of the position sensor 16.

【0039】以上に述べた構成において、磁気ディスク
装置内に固定されている位置センサ16は、キャリッジ
4上に配置されたスケール15の移動からキャリッジ4
の変位を出力する。その後、このキャリッジ4の変位
は、キャリッジ位置検出回路17で電気信号に変換され
て出力される。例えば、外部からの衝撃によりスライダ
2が光ピックアップ12の検出範囲を外れたときには、
VCM制御回路6は内部の制御回路を切り換えて、前記
キャリッジ4の検出された位置(キャリッジ位置信号)
によってVCM5の駆動を制御し、もって、スライダ2
上のヘッドの位置決めを行う。
In the above-mentioned structure, the position sensor 16 fixed in the magnetic disk device is moved by the movement of the scale 15 arranged on the carriage 4 to cause the carriage 4 to move.
The displacement of is output. After that, the displacement of the carriage 4 is converted into an electric signal by the carriage position detection circuit 17 and output. For example, when the slider 2 is out of the detection range of the optical pickup 12 due to an impact from the outside,
The VCM control circuit 6 switches the internal control circuit to detect the position of the carriage 4 (carriage position signal).
The drive of the VCM 5 is controlled by the
Position the upper head.

【0040】本実施例によれば、スライダ2が光ピック
アップ12の検出範囲外にあっても、暴走することなく
安定な位置決めが可能になる。そのことから、また、回
折溝18の数を低減することができる。さらに、スライ
ダ2を移動させるときには、キャリッジ位置によってV
CM5を駆動することにより、光ピックアップ12に追
従させて移動させるよりは安定であり、同時に、移動時
間を短縮することができる。しかしながら、スライダ2
の終的な位置決めは、光ピックアップ12と回折溝18
とによって行うので、キャリッジ4の位置の検出精度は
粗くてもよく、例えばトラックピッチの1/2程度でよ
い。
According to the present embodiment, even if the slider 2 is out of the detection range of the optical pickup 12, stable positioning is possible without runaway. Therefore, the number of diffraction grooves 18 can be reduced. Furthermore, when moving the slider 2, V
Driving the CM 5 is more stable than moving the optical pickup 12 while following it, and at the same time, the moving time can be shortened. However, slider 2
The final positioning of the optical pickup 12 and the diffraction groove 18
Therefore, the detection accuracy of the position of the carriage 4 may be rough, for example, about 1/2 of the track pitch.

【0041】さらに、図10には、本発明の第3の実施
例になるサーボトラックライタの構成が示されている。
この図10においても、上記図1で示したと同じ構成部
品は同じ符号で示されており、さらに、図中の符号22
は、レーザ測長器であり、ディスク100の変位xmを
検出する。このレーザ測長器22で検出されたディスク
変位xmは、VCM制御回路6に入力され、上記光ピッ
クアップ12により検出されて位置誤差検出回路14か
ら出力される位置誤差xdとの差によってVCM5を駆
動する。すなわち、レーザ測長器22で検出されたディ
スク変位xmに基づいて、前記光ピックアップ12から
位置誤差xdの目標値を変化させる。
Further, FIG. 10 shows the structure of a servo track writer according to a third embodiment of the present invention.
In FIG. 10 as well, the same components as those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and the reference numeral 22 in the figure is used.
Is a laser length measuring device for detecting the displacement xm of the disk 100. The disc displacement xm detected by the laser length measuring device 22 is input to the VCM control circuit 6, and the VCM 5 is driven by the difference from the position error xd detected by the optical pickup 12 and output from the position error detection circuit 14. To do. That is, the target value of the position error xd is changed from the optical pickup 12 based on the disc displacement xm detected by the laser length measuring device 22.

【0042】従って、スライダ2はディスク100に追
従するよう移動するため、ディスク100の変位に関わ
らず正確な位置にサーボ情報を書き込める。ただし、レ
ーザ測長器22からの出力xmには、ディスク100の
形状による成分も含まれているため、最初にディスク1
00の形状を測定しておき、出力xmから除去する必要
がある。また、実際にはサーボ情報が多少振動していて
も、回転に同期している振動であれば、トラックピッチ
が一定に保たれるため許容される場合もある。その場合
には、レーザ測長器の出力xmを複数回転分測定して平
均化し、その値を出力xmから除去することにより、回
転に同期していない成分のみにスライダ2を追従させる
ようにすればよい。
Therefore, since the slider 2 moves so as to follow the disc 100, the servo information can be written at an accurate position regardless of the displacement of the disc 100. However, since the output xm from the laser length-measuring device 22 also includes a component depending on the shape of the disc 100, the disc 1 is first recorded.
It is necessary to measure the shape of 00 and remove it from the output xm. In addition, even if the servo information actually vibrates to some extent, the vibration may be acceptable as long as the vibration is synchronized with the rotation because the track pitch is kept constant. In that case, the output xm of the laser length measuring device is measured for a plurality of rotations and averaged, and the value is removed from the output xm so that the slider 2 can follow only the component that is not synchronized with the rotation. Good.

【0043】上記に述べた種々の実施例においては、そ
の回折溝18を例えばエッチング等の方法によって形成
しているが、これに代え、例えばスライダ2やロードア
ーム3に樹脂等をコーティングを施し、その後、光ディ
スクを製造するようにスタンピングによって形成するこ
とも可能であり、あるいは、別に製造した回折溝を後で
取り付けてもよい。
In the various embodiments described above, the diffraction groove 18 is formed by, for example, a method such as etching, but instead of this, for example, the slider 2 or the load arm 3 is coated with a resin or the like, Then, it can be formed by stamping so as to manufacture an optical disk, or a separately manufactured diffraction groove may be attached later.

【0044】また、上述した光学パターン及び光学セン
サは、回折溝18と光ピックアップ12に限定されるも
のではなく、その他の光学式の位置検出方式のものを採
用してもよい。さらに、光ピックアップ12や位置セン
サ16の発光素子から放射される光は、可視光に限ら
ず、赤外光や紫外光でもよく、また、レーザビーム等の
ようなコヒーレント光である必要もない。
Further, the above-mentioned optical pattern and optical sensor are not limited to the diffraction groove 18 and the optical pickup 12, and other optical type position detecting system may be adopted. Further, the light emitted from the light emitting element of the optical pickup 12 or the position sensor 16 is not limited to visible light, but may be infrared light or ultraviolet light, and need not be coherent light such as a laser beam.

【0045】ところで、上記実施例によるヘッドの位置
決めし、磁気ディスク装置内部に固定ヘッドを設置し、
その固定ヘッドをクロックヘッドとしてサーボ情報の書
き込みに使用することにより、クリーンルームの外での
サーボ情報の書き込みが可能となる。その場合、ケース
のスライダ2の検出範囲の部分は、透明な窓にする。
By the way, the head according to the above embodiment is positioned, and the fixed head is installed inside the magnetic disk drive.
By using the fixed head as a clock head for writing servo information, the servo information can be written outside the clean room. In that case, a transparent window is provided in the detection range of the slider 2 of the case.

【0046】尚、以上の各実施例ではデータ面サーボの
例としたが、サーボ面サーボの例にも適用できる。
In each of the above embodiments, the data surface servo is used as an example, but the invention can be applied to the servo surface servo.

【0047】[0047]

【発明の効果】本発明によれば、ヘッドを搭載したスラ
イダの変位を非接触で検出するスライダ変位検出手段と
しての光ピックアップを、位置決め装置で正確に位置決
めし、この光ピックアップからの出力である相対位置誤
差を所定の目標値に保つように、キャリッジを駆動して
前記スライダを前記光ピックアップに対して追従させる
ので、アクチュエータの機構共振特性が劣化せず、ま
た、キャリッジに伝わる外乱変異による位置検出誤差が
なく、ヘッドを正確に位置決めできるという技術的にも
優れた効果を発揮する。
According to the present invention, an optical pickup as a slider displacement detecting means for detecting the displacement of a slider carrying a head in a non-contact manner is accurately positioned by a positioning device, and the output from this optical pickup is obtained. Since the carriage is driven to cause the slider to follow the optical pickup so that the relative position error is maintained at a predetermined target value, the mechanical resonance characteristic of the actuator does not deteriorate, and the position due to the disturbance variation transmitted to the carriage. It has a technically excellent effect that the head can be accurately positioned without any detection error.

【0048】また、上記の本発明によれば、外部からの
衝撃等によりスライダが前記光ピックアップの検出範囲
外に移動しても、キャリッジの絶対位置による位置決め
を行うことにより、アクチュエータの暴走を防ぐことが
できる。
Further, according to the present invention described above, even if the slider moves out of the detection range of the optical pickup due to an impact from the outside or the like, the positioning is performed by the absolute position of the carriage to prevent the runaway of the actuator. be able to.

【0049】さらに、上記の本発明によれば、回転する
ディスク状記録媒体自体の変位に追従させてスライダを
位置決めすることにより、記録媒体の変位に関わらず常
に正確な位置にサーボ情報が記録でき、もって、高品質
のサーボ情報を得ることが可能になる。
Further, according to the present invention described above, by positioning the slider so as to follow the displacement of the rotating disk-shaped recording medium itself, it is possible to always record servo information at an accurate position regardless of the displacement of the recording medium. Therefore, it becomes possible to obtain high-quality servo information.

【0050】また、ヘッドを搭載したスライダの変位を
非接触で検出するスライダ変位検出手段として、光学パ
ターン、もしくは、発光素子や受光素子を利用したこと
によりて、アクチュエータの機構共振特性を悪化させず
に、ヘッドを搭載したスライダの変位を非接触でも正確
に検出することが出来、高品質のサーボ情報をディスク
状に記録することができる。
Further, since the optical displacement or the light emitting element or the light receiving element is used as the slider displacement detecting means for detecting the displacement of the slider carrying the head in a non-contact manner, the mechanical resonance characteristic of the actuator is not deteriorated. In addition, the displacement of the slider on which the head is mounted can be accurately detected without contact, and high-quality servo information can be recorded on a disk.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】磁気ディスク装置においてディスク上にサーボ
情報を書き込むため、本発明を利用してスライダの位置
決めを行うサーボトラックライタの構成を示すブロック
図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a servo track writer that positions a slider by using the present invention in order to write servo information on a disk in a magnetic disk device.

【図2】スライダ上に構成した回折溝と光ピックアップ
を示す上記サーボトラックライタの一部拡大斜視図であ
る。
FIG. 2 is a partially enlarged perspective view of the servo track writer showing a diffraction groove and an optical pickup formed on a slider.

【図3】前記回折溝と位置誤差信号との関係の例を示す
図である。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a relationship between the diffraction groove and a position error signal.

【図4】前記回折溝をロードアーム上に構成した変形例
を示す一部拡大斜視図である。
FIG. 4 is a partially enlarged perspective view showing a modification in which the diffraction groove is formed on a load arm.

【図5】スライダのエッジを光学パターンとして利用し
た変形例を示す一部拡大斜視図である。
FIG. 5 is a partially enlarged perspective view showing a modified example in which the edge of the slider is used as an optical pattern.

【図6】上記スライダに発光素子を設けて位置検出を行
う変形例を示す一部拡大図である。
FIG. 6 is a partially enlarged view showing a modification example in which a light emitting element is provided on the slider to detect a position.

【図7】上記スライダに発光素子を設けて位置検出を行
う他の変形例を示す一部拡大斜視図である。
FIG. 7 is a partially enlarged perspective view showing another modified example in which a light emitting element is provided on the slider to detect the position.

【図8】上記スライダに受光素子を設けて位置検出を行
うさらに他の変形例を示す一部拡大斜視図である。
FIG. 8 is a partially enlarged perspective view showing still another modification in which a light receiving element is provided on the slider to detect the position.

【図9】本発明の第2の実施例になるサーボトラックラ
イタの構成を示すブロック図である。
FIG. 9 is a block diagram showing a configuration of a servo track writer according to a second embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第3の実施例におけるサーボトラッ
クライタの構成を示すブロック図である。
FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of a servo track writer according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ディスク装置 100 ディスク 2 スライダ 4 キャリッジ 5 VCM(ボイスコイルモータ) 12 光ピックアップ 13 光ピックアップ位置決め装置 14 位置誤差検出回路 15 スケール 16 位置センサ 17 キャリッジ位置検出回路 18 回折溝 20 発光素子 21 受光素子 1 disk device 100 disk 2 slider 4 carriage 5 VCM (voice coil motor) 12 optical pickup 13 optical pickup positioning device 14 position error detection circuit 15 scale 16 position sensor 17 carriage position detection circuit 18 diffraction groove 20 light emitting element 21 light receiving element

Claims (26)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転するディスク状記録媒体上に、ヘッ
ドを搭載したスライダを位置決めするための情報記憶デ
ィスク装置のヘッド位置決め方法であって、前記スライ
ダを前記ディスク状記録媒体上を移動可能に支持するキ
ャリッジとは個別に、前記キャリッジより高精度で正確
な位置決めが可能な位置決め手段により、スライダ変位
検出手段を正確に位置決めし、当該正確に位置決めされ
たスライダ変位検出手段により光学的に非接触で前記ス
ライダとの相対位置を検出し、当該検出された相対位置
情報により前記スライダを位置決めすることを特徴とす
る情報記憶ディスク装置のヘッド位置決め方法。
1. A head positioning method for an information storage disk device for positioning a slider having a head mounted on a rotating disk-shaped recording medium, the slider being movably supported on the disk-shaped recording medium. Separately from the carriage to be used, the slider displacement detecting means is accurately positioned by the positioning means capable of higher precision and more accurate positioning than the carriage, and the slider displacement detecting means which is accurately positioned is optically non-contact. A head positioning method for an information storage disk device, comprising: detecting a relative position with respect to the slider, and positioning the slider based on the detected relative position information.
【請求項2】 前記請求項1に記載の情報記憶ディスク
装置のヘッド位置決め方法において、前記スライダ変位
検出手段の正確な位置決めが可能な位置決め手段は上記
キャリッジから離れた位置で、前記ディスク状記録媒体
表面に対しては前記キャリッジが移動するのと同様の態
様で移動可能であり、前記キャリッジは前記スライダ変
位検出手段からの相対位置の誤差情報により、前記スラ
イダが前記スライダ変位検出手段に追従するように移動
することを特徴とする情報記憶ディスク装置のヘッド位
置決め方法。
2. A head positioning method for an information storage disk device according to claim 1, wherein said positioning means capable of accurately positioning said slider displacement detecting means is a position remote from said carriage, said disk-shaped recording medium. The carriage is movable in the same manner as the carriage is moved with respect to the surface, and the slider is made to follow the slider displacement detecting means by the relative position error information from the slider displacement detecting means. A head positioning method for an information storage disk device, characterized in that the head is moved to the position.
【請求項3】 前記請求項1に記載の情報記憶ディスク
装置のヘッド位置決め方法において、前記スライダと前
記スライダ変位検出手段との相対変位を、光学パターン
を利用して検出することを特徴とする情報記憶ディスク
装置のヘッド位置決め方法。
3. A head positioning method for an information storage disk device according to claim 1, wherein the relative displacement between the slider and the slider displacement detecting means is detected by using an optical pattern. Head positioning method for storage disk device.
【請求項4】 キャリッジ駆動手段により、キャリッジ
によってディスク状記録媒体上を移動可能に支持された
ヘッドを搭載したスライダを位置決めし、前記ヘッドに
よって前記ディスク状記録媒体にサーボ情報を書き込む
サーボ情報書き込み方法において、前記スライダの変位
を非接触で検出するスライダ変位検出手段を前記ディス
ク状記録媒体から離れた位置で正確に位置決めし、前記
スライダ変位検出手段からの出力に基づいて前記キャリ
ッジ駆動手段を駆動することによって前記キャリッジを
移動し、前記スライダ変位検出手段と前記スライダの相
対位置誤差を所定の目標値に保つことにより、前記ヘッ
ドを位置決めすることを特徴とするサーボ情報書き込み
方法。
4. A servo information writing method for positioning a slider having a head movably supported on a disk-shaped recording medium by a carriage by means of a carriage driving means and writing servo information on the disk-shaped recording medium by the head. In which the slider displacement detecting means for detecting the displacement of the slider in a non-contact manner is accurately positioned at a position distant from the disk-shaped recording medium, and the carriage driving means is driven based on the output from the slider displacement detecting means. The servo information writing method is characterized in that the head is positioned by moving the carriage to maintain a relative position error between the slider displacement detection means and the slider at a predetermined target value.
【請求項5】 前記請求項4に記載のサーボ情報書き込
み方法において、さらに、前記キャリッジの位置を検出
するキャリッジ位置検出手段を備え、前記スライダが前
記スライダ変位検出手段の検出範囲外にあるときには、
前記キャリッジ位置検出手段によって検出されるキャリ
ッジ位置に基づいて前記キャリッジ駆動手段を駆動する
ことによって前記キャリッジを移動し、前記ヘッドを位
置決めすることを特徴とするサーボ情報書き込み方法。
5. The servo information writing method according to claim 4, further comprising a carriage position detecting means for detecting a position of the carriage, wherein the slider is outside a detection range of the slider displacement detecting means,
A servo information writing method characterized in that the carriage is moved and the head is positioned by driving the carriage driving means based on the carriage position detected by the carriage position detecting means.
【請求項6】 前記請求項4に記載のサーボ情報書き込
み方法において、さらに、前記ディスク状記録媒体のデ
ィスクの変位を検出するディスク変位検出手段を備え、
前記スライダ変位検出手段と前記スライダと間の前記相
対位置誤差の目標値を、前記ディスク変位検出手段によ
り検出されたディスク変位によって変化させることを特
徴とするサーボ情報書き込み方法。
6. The servo information writing method according to claim 4, further comprising a disc displacement detection means for detecting displacement of the disc of the disc-shaped recording medium,
A servo information writing method, wherein a target value of the relative position error between the slider displacement detection means and the slider is changed according to the disk displacement detected by the disk displacement detection means.
【請求項7】 前記請求項4に記載のサーボ情報書き込
み方法において、前記スライダ変位検出手段は、前記ス
ライダの変位を光学的に非接触で検出することを特徴と
するサーボ情報書き込み方法。
7. The servo information writing method according to claim 4, wherein the slider displacement detecting means optically detects the displacement of the slider in a non-contact manner.
【請求項8】 前記請求項5に記載のサーボ情報書き込
み方法において、前記キャリッジ位置検出手段は、前記
キャリッジの位置を光学的に非接触で検出することを特
徴とするサーボ情報書き込み方法。
8. The servo information writing method according to claim 5, wherein the carriage position detecting means optically detects the position of the carriage in a non-contact manner.
【請求項9】 前記請求項6に記載のサーボ情報書き込
み方法において、前記ディスク変位検出手段は、前記デ
ィスク状記録媒体のディスクの変位を光学的に非接触で
検出することを特徴とするサーボ情報書き込み方法。
9. The servo information writing method according to claim 6, wherein the disc displacement detecting means optically detects a disc displacement of the disc-shaped recording medium in a non-contact manner. Writing method.
【請求項10】 前記請求項4に記載のサーボ情報書き
込み方法によってサーボ情報が書き込まれたことを特徴
とする磁気ディスク装置。
10. A magnetic disk drive in which servo information is written by the method for writing servo information according to claim 4.
【請求項11】 回転するディスク状記録媒体上に、ヘ
ッドを搭載したスライダをキャリッジによって位置決め
する情報記憶ディスク装置のヘッド位置決め装置であっ
て、前記キャリッジを駆動するためのキャリッジ駆動手
段と、前記キャリッジとは個別に配置され、前記キャリ
ッジと同様の移動態様で移動可能で、かつ、前記キャリ
ッジよりも高精度で正確に位置決めを行うことが可能な
位置決め手段と、前記位置決め手段に取り付けられて正
確な位置決めが行われ、かつ、前記スライダとの相対位
置誤差を非接触で検出するスライダ変位検出手段と、前
記スライダ変位検出手段からの相対位置誤差情報に基づ
いて前記キャリッジ駆動手段を駆動しながら前記スライ
ダを前記ディスク状記録媒体上に正確に位置決めするこ
とを特徴とする情報記憶ディスク装置のヘッド位置決め
装置。
11. A head positioning device of an information storage disk device for positioning a slider having a head mounted on a rotating disk-shaped recording medium by means of a carriage, the carriage driving means for driving the carriage, and the carriage. And the positioning means, which are separately arranged, are movable in the same movement mode as the carriage, and can perform accurate positioning with higher accuracy than the carriage, and an accurate positioning means attached to the positioning means. Positioning is performed, and slider displacement detection means for detecting relative position error with the slider in a non-contact manner, and the slider while driving the carriage drive means based on relative position error information from the slider displacement detection means Is characterized in that it is accurately positioned on the disk-shaped recording medium. Head positioning device for storage disk device.
【請求項12】 前記請求項11に記載の情報記憶ディ
スク装置のヘッド位置決め装置において、前記キャリッ
ジは、所定の回転軸を中心に回動するロータリー式のキ
ャリッジであり、位置決め手段は、該キャリッジの回転
中心位置と同じ軸上で独立に回転する回転部と、該回転
部に設けられて先端に上記スライダ変位検出手段を取り
付けたアーム部と、より成ることを特徴とする情報記憶
ディスク装置のヘッド位置決め装置。
12. The head positioning device for an information storage disk device according to claim 11, wherein the carriage is a rotary type carriage that rotates about a predetermined rotation axis, and the positioning means is a carriage. A head of an information storage disk device, comprising: a rotating portion that independently rotates on the same axis as the rotation center position; and an arm portion provided on the rotating portion and having the slider displacement detecting means attached to the tip thereof. Positioning device.
【請求項13】 前記請求項11に記載の情報記憶ディ
スク装置のヘッド位置決め装置において、前記スライダ
変位検出手段は、光学的に、前記スライダとの相対位置
誤差を非接触で検出することを特徴とする情報記憶ディ
スク装置のヘッド位置決め装置。
13. The head positioning device for an information storage disk device according to claim 11, wherein the slider displacement detection means optically detects a relative position error with the slider in a non-contact manner. Head storage device for information storage disk device.
【請求項14】 前記請求項13に記載の情報記憶ディ
スク装置のヘッド位置決め装置において、前記スライダ
変位検出手段は、光を前記スライダあるいはその近傍に
向かって放射する発光素子と、前記スライダあるいはそ
の近傍で反射された反射光を受光する受光素子とを備え
ていることを特徴とする情報記憶ディスク装置のヘッド
位置決め装置。
14. A head positioning device for an information storage disk device according to claim 13, wherein said slider displacement detecting means emits light toward said slider or its vicinity, and said slider or its vicinity. A head positioning device for an information storage disk device, comprising: a light receiving element that receives the reflected light reflected by.
【請求項15】 前記請求項14に記載の情報記憶ディ
スク装置のヘッド位置決め装置において、前記スライダ
あるいはその近傍には、回析溝を形成したことを特徴と
する情報記憶ディスク装置のヘッド位置決め装置。
15. The head positioning device for an information storage disk device according to claim 14, wherein a diffraction groove is formed in or near the slider.
【請求項16】 前記請求項13に記載の情報記憶ディ
スク装置のヘッド位置決め装置において、前記スライダ
あるいはその近傍の一部に発光素子を設け、一方、前記
スライダ変位検出手段には受光素子を設け、もって、前
記受光素子から前記スライダと前記スライダ変位検出手
段との相対位置誤差を検出するようにしたことを特徴と
する情報記憶ディスク装置のヘッド位置決め装置。
16. The head positioning device for an information storage disk device according to claim 13, wherein a light emitting element is provided on the slider or a portion in the vicinity thereof, while a light receiving element is provided on the slider displacement detection means. Accordingly, the head positioning device of the information storage disk device is characterized in that the relative position error between the slider and the slider displacement detecting means is detected from the light receiving element.
【請求項17】 前記請求項13に記載の情報記憶ディ
スク装置のヘッド位置決め装置において、前記スライダ
あるいはその近傍の一部に受光素子を設け、一方、前記
スライダ変位検出手段には発光素子を設け、もって、前
記受光素子から前記スライダと前記スライダ変位検出手
段との相対位置誤差を検出するようにしたことを特徴と
する情報記憶ディスク装置のヘッド位置決め装置。
17. The head positioning device for an information storage disk device according to claim 13, wherein a light receiving element is provided on the slider or a portion in the vicinity thereof, while a light emitting element is provided on the slider displacement detecting means. Accordingly, the head positioning device of the information storage disk device is characterized in that the relative position error between the slider and the slider displacement detecting means is detected from the light receiving element.
【請求項18】 前記請求項11に記載の情報記憶ディ
スク装置のヘッド位置決め装置において、さらに、前記
キャリッジの絶対位置を検出するキャリッジ位置検出手
段を設け、前記スライダ変位検出手段からの相対位置誤
差情報及び当該キャリッジ位置検出手段で検出したキャ
リッジの絶対位置情報に基づいて、前記キャリッジ駆動
手段を駆動しながら前記スライダを前記ディスク状記録
媒体上に正確に位置決めすることを特徴とする情報記憶
ディスク装置のヘッド位置決め装置。
18. A head positioning device for an information storage disk device according to claim 11, further comprising a carriage position detecting means for detecting an absolute position of said carriage, and relative position error information from said slider displacement detecting means. And an information storage disk device characterized in that the slider is accurately positioned on the disk-shaped recording medium while driving the carriage driving means based on the absolute position information of the carriage detected by the carriage position detecting means. Head positioning device.
【請求項19】 前記請求項18に記載の情報記憶ディ
スク装置のヘッド位置決め装置において、前記キャリッ
ジ位置検出手段は、前記キャリッジの一部表面に取り付
けた光学的パターンを、これに対向して配置した光学素
子によって認識することにより前記キャリッジの絶対的
位置を検出することを特徴とする情報記憶ディスク装置
のヘッド位置決め装置。
19. The head positioning device for an information storage disk device according to claim 18, wherein the carriage position detecting means has an optical pattern attached to a partial surface of the carriage, the optical pattern being opposed to the optical pattern. A head positioning device for an information storage disk device, wherein the absolute position of the carriage is detected by recognizing it by an optical element.
【請求項20】 前記請求項11に記載の情報記憶ディ
スク装置のヘッド位置決め装置において、さらに、前記
回転するディスク状記録媒体の変位を検出する手段を設
けたことを特徴とする情報記憶ディスク装置のヘッド位
置決め装置。
20. The head positioning device for an information storage disk device according to claim 11, further comprising means for detecting a displacement of the rotating disk-shaped recording medium. Head positioning device.
【請求項21】 サーボ情報が書き込まれる記録媒体
と、前記記録媒体にサーボ情報を書き込むヘッドと、前
記ヘッドを搭載したスライダと、前記スライダを前記記
録媒体上に移動可能に支持するキャリッジと、前記キャ
リッジを駆動する第1のキャリッジ駆動手段と、前記ス
ライダの相対位置を非接触に検出するスライダ変位検出
手段と、前記スライダ変位センサを位置決めするスライ
ダ変位検出手段を正確に位置決めする手段と、前記スラ
イダ変位検出手段からの出力を所定の目標値に保つよう
に前記キャリッジ駆動手段を制御する制御回路とからな
るサーボ情報書き込み装置。
21. A recording medium on which servo information is written, a head for writing servo information on the recording medium, a slider on which the head is mounted, a carriage for movably supporting the slider on the recording medium, and First carriage driving means for driving a carriage, slider displacement detecting means for detecting the relative position of the slider in a non-contact manner, means for accurately positioning slider displacement detecting means for positioning the slider displacement sensor, and the slider A servo information writing device comprising: a control circuit for controlling the carriage driving means so that the output from the displacement detecting means is maintained at a predetermined target value.
【請求項22】 前記請求項21に記載のサーボ情報書
き込み装置において、さらに、前記キャリッジの位置を
検出するキャリッジ位置検出手段と、前記キャリッジ位
置検出手段から出力されるキャリッジ位置によって前記
キャリッジ駆動手段を制御する第2の制御回路と、前記
スライダが前記スライダ変位検出手段の検出範囲外にあ
るときには、前記キャリッジ駆動手段を制御する制御回
路を前記第1の制御回路から前記第2の制御回路に切り
替える制御切り替え手段とを備えたことを特徴とするサ
ーボ情報書き込み装置。
22. The servo information writing device according to claim 21, further comprising: a carriage position detecting means for detecting a position of the carriage, and a carriage driving means by a carriage position output from the carriage position detecting means. A second control circuit for controlling and a control circuit for controlling the carriage driving means is switched from the first control circuit to the second control circuit when the slider is out of the detection range of the slider displacement detection means. A servo information writing device comprising: a control switching unit.
【請求項23】 前記請求項21に記載のサーボ情報書
き込み装置において、さらに、前記記録媒体の変位を検
出する記録媒体変位検出手段と、前記記録媒体検出手段
によって検出された記録媒体変位によって、前記スライ
ダ変位検出手段からの出力を保持すべき目標値を変化さ
せる目標値可変手段とを備えたことを特徴とするサーボ
情報書き込み装置。
23. The servo information writing device according to claim 21, further comprising: a recording medium displacement detecting means for detecting displacement of the recording medium; and a recording medium displacement detected by the recording medium detecting means. A servo information writing device, comprising: a target value changing means for changing a target value for holding an output from the slider displacement detecting means.
【請求項24】 光学パターンもしくは発行素子もしく
は受光素子を備えた、ヘッドを搭載したスライダ。
24. A head mounted slider having an optical pattern or an emitting element or a light receiving element.
【請求項25】 ヘッドの近傍に位置するように光学パ
ターンもしくは発行素子もしくは受光素子を備えた、前
記ヘッドを搭載したスライダを支持するスライダ支持部
材。
25. A slider support member for supporting a slider on which the head is mounted, the slider support member having an optical pattern or an emitting element or a light receiving element so as to be located near the head.
【請求項26】 請求項24記載のスライダもしくは請
求項25記載のスライダ支持部材が組み込まれた磁気デ
ィスク装置。
26. A magnetic disk drive incorporating the slider according to claim 24 or the slider support member according to claim 25.
JP8628993A 1993-04-13 1993-04-13 Method and device for positioning head of information storage disk device, method and device for writing servo information, slider, slider supporting member and magnetic disk device Pending JPH06302135A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08315531A (en) * 1995-05-15 1996-11-29 Hitachi Ltd Method for positioning head and writing servo information on disk-like recording medium, magnetic disc drive unit and servo information writing unit therefor, and displacement detection mirror
KR100501690B1 (en) * 1997-09-23 2005-09-30 삼성전자주식회사 Clock signal recording and reading devices and methods in magnetic disk drives and disks therefor
US8437099B2 (en) 2008-04-29 2013-05-07 Seagate Technology Llc Hard disk drive and servo track writing system for the same

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