JPH06213929A - Manufacture of probe head of inspecting apparatus and the probe head - Google Patents
Manufacture of probe head of inspecting apparatus and the probe headInfo
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- JPH06213929A JPH06213929A JP703393A JP703393A JPH06213929A JP H06213929 A JPH06213929 A JP H06213929A JP 703393 A JP703393 A JP 703393A JP 703393 A JP703393 A JP 703393A JP H06213929 A JPH06213929 A JP H06213929A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、多数のプローブ針を微
細なピッチで有する検査装置のプローブヘッドの製造方
法および検査装置のプローブヘッドに関し、より詳しく
は液晶表示パネル等の被検査体の多数の電極にプローブ
針を接触させてその電気的特性を検査するために使用さ
れる検査装置のプローブヘッドの製造方法およびこの製
造方法によって作製される検査装置のプローブヘッドに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a probe head of an inspection device having a large number of probe needles at a fine pitch and a probe head of the inspection device, and more particularly to a large number of inspected objects such as liquid crystal display panels. The present invention relates to a method of manufacturing a probe head of an inspection device used for inspecting the electrical characteristics of the electrode by bringing a probe needle into contact with the electrode, and a probe head of the inspection device manufactured by this manufacturing method.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルの歩留りを向上し、その
コストダウンを図るためには、製作後の液晶表示パネル
の検査を行い、TFT等の不良に起因する絵素欠陥やゲ
ートバスラインやソースバスラインの断線等に起因する
線欠陥が検出されると、不良の液晶表示パネルを修正工
程に搬送して修正作業を行えばよい。2. Description of the Related Art In order to improve the yield of a liquid crystal display panel and reduce its cost, the liquid crystal display panel after manufacturing is inspected, and pixel defects, gate bus lines and sources caused by defects such as TFTs are inspected. When a line defect due to a disconnection of the bus line or the like is detected, the defective liquid crystal display panel may be transported to a repairing process to perform the repairing work.
【0003】ここで、TFTの不良や各バスラインの断
線は、これらの部分、すなわち液晶表示パネル上の複数
の電極にプローブヘッドに装備された多数のプローブ針
を接触させ、検査対象の電極の電気的特性を検知するこ
とによりその有無が検出される。Here, when the TFT is defective or each bus line is broken, a large number of probe needles mounted on the probe head are brought into contact with these portions, that is, a plurality of electrodes on the liquid crystal display panel, and the electrodes to be inspected are checked. The presence or absence thereof is detected by detecting the electrical characteristics.
【0004】図7(a)、(b)は、この種のプローブ
ヘッドの従来例を示す。図7(a)に示すプローブヘッ
ドは、直方体状の絶縁体101の下面に矩形状をなす多
数の金属片102、102…を所定のピッチdで相互に
平行に配列した構造になっている。FIGS. 7A and 7B show a conventional example of this type of probe head. The probe head shown in FIG. 7A has a structure in which a large number of rectangular metal pieces 102, 102 ... Are arranged parallel to each other at a predetermined pitch d on the lower surface of a rectangular parallelepiped insulator 101.
【0005】また、図7(b)に示すプローブヘッド
は、同様の絶縁体111の一端面上に、2種類、かつ多
数の金属針(以下プローブ針と称する)112、112
…、113、113…をその基端を該一端面に接触させ
た状態で所定のピッチdで配列し、その後、接着剤、樹
脂等を用いて各プローブ針112、112…、113、
113…を絶縁体に固定した構造になっている。The probe head shown in FIG. 7 (b) has two kinds and a large number of metal needles (hereinafter referred to as probe needles) 112, 112 on one end face of a similar insulator 111.
..., 113, 113, ... are arranged at a predetermined pitch d with their base ends in contact with the one end face, and then each probe needle 112, 112, ..., 113, using an adhesive, a resin, or the like.
113 is fixed to an insulator.
【0006】なお、これらの従来例において、金属片1
02、プローブ針112、113の配列は、例えば専用
の治具を用いて機械的に行われていた。In these conventional examples, the metal piece 1
02 and the probe needles 112 and 113 were mechanically arranged using, for example, a dedicated jig.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
配列方法では、ピッチdが200μm以下の微小な値に
なると、ピッチdを精度よく維持して金属片102、1
02…、プローブ針112、112…、113、113
…を配列することが困難になる。However, in the above arrangement method, when the pitch d becomes a very small value of 200 μm or less, the pitch d is accurately maintained and the metal pieces 102, 1
02 ..., probe needles 112, 112 ..., 113, 113
It becomes difficult to arrange ...
【0008】また、図7(b)に示すプローブヘッドに
おいては、一旦固定した後にピッチdの修正を行うこと
が可能であるが、この修正作業は、プローブ針112、
113の先端面(液晶表示パネルの電極との接触面)を
ピッチdに合わせるために、その先端部をピッチのずれ
を修正する方向に捩ることにより行われる。このため、
修正作業に長時間を要し、プローブヘッドのコストアッ
プを招来していた。In the probe head shown in FIG. 7 (b), the pitch d can be corrected after once fixed, but this correction work is performed by the probe needle 112,
In order to adjust the tip end surface of 113 (contact surface with the electrodes of the liquid crystal display panel) to the pitch d, the tip end portion is twisted in a direction for correcting the pitch deviation. For this reason,
The correction work required a long time, resulting in an increase in the cost of the probe head.
【0009】また、プローブ針112、113を捩る
と、その高さ寸法が変化するため、各プローブ針11
2、113の捩り量の違いによって、各プローブ針11
2、113の高さ寸法にバラツキを生じる。更には、プ
ローブ針一本一本の傾きが異なるため、機械的な特性が
不均一となり、検査対象の電極に対する接触不良等の不
具合を引き起こす原因になる。When the probe needles 112 and 113 are twisted, the height of the probe needles 112 and 113 changes.
Depending on the difference in the twist amount between 2 and 113, each probe needle 11
The height dimension of 2,113 varies. Further, since the probe needles have different inclinations, the mechanical characteristics become non-uniform, which causes a problem such as poor contact with the electrode to be inspected.
【0010】このような理由により、実質的に修正作業
を行うことが困難であり、従来構造では、プローブ針が
微細なピッチで精度よく配列されたプローブヘッドを得
ることができなかったのが実情である。For these reasons, it is practically difficult to carry out the correction work, and in the conventional structure, it was not possible to obtain a probe head in which the probe needles were accurately arranged at a fine pitch. Is.
【0011】本発明はこのような従来技術の問題点を解
決するものであり、多数のプローブ針を微細なピッチで
精度良く配列することができ、かつ接触不良を生じるこ
となく検査対象の電極に確実に接触させることができ、
結果的に精度の良い検査が可能になると共に、大幅なコ
ストダウンが可能になる検査装置のプローブヘッドの製
造方法およびこの製造方法によって作製される検査装置
のプローブヘッドを提供することを目的とする。The present invention solves the problems of the prior art as described above. It is possible to arrange a large number of probe needles with a fine pitch with high precision, and to provide an electrode to be inspected without contact failure. You can make sure contact,
An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a probe head of an inspection device, which enables a highly accurate inspection as a result, and a significant cost reduction, and a probe head of the inspection device manufactured by this manufacturing method. .
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明の検査装置のプロ
ーブヘッドの製造方法は、被検査体上の電極に複数のプ
ローブ針を接触させて該被検査体の電気的特性を検査す
る検査装置のプローブヘッドの製造方法において、少な
くとも後に該電極に接触される部分に導電性物質を有す
る素材をエッチング等の化学的処理又はレーザ加工等の
物理的処理によって分断加工し、複数のプローブ針を形
成する工程と、該プローブ針の基端側に絶縁性のハウジ
ングを固定する工程とを含んでおり、そのことにより上
記目的が達成される。A method of manufacturing a probe head of an inspection apparatus according to the present invention is an inspection apparatus for inspecting an electrical characteristic of an inspection object by bringing a plurality of probe needles into contact with electrodes on the inspection object. In the method of manufacturing a probe head, a material having a conductive substance at least in a portion which comes into contact with the electrode later is divided by a chemical treatment such as etching or a physical treatment such as laser processing to form a plurality of probe needles. And a step of fixing an insulative housing to the base end side of the probe needle, whereby the above object is achieved.
【0013】また、本発明の検査装置のプローブヘッド
は、被検査体上の電極に複数のプローブ針を接触させて
該被検査体の電気的特性を検査する検査装置のプローブ
ヘッドにおいて、該プローブ針が、少なくとも該電極に
対する接触面が導電性を有する素材を分断加工して形成
されたものであり、そのことにより上記目的が達成され
る。The probe head of the inspection device of the present invention is the probe head of the inspection device for inspecting the electrical characteristics of the inspection object by bringing a plurality of probe needles into contact with the electrodes on the inspection object. The needle is formed by cutting a material having conductivity at least the contact surface with respect to the electrode, thereby achieving the above object.
【0014】好ましくは、一体の導電性物質で前記素材
を構成する。[0014] Preferably, the material is made of an integral conductive material.
【0015】また、好ましくは、導電性の物質と非導電
性の物質を組み合わせて前記素材を構成する。Further, preferably, the material is constituted by combining a conductive substance and a non-conductive substance.
【0016】また、好ましくは、前記分断加工をエッチ
ング等の化学的処理によって行う。また、好ましくは、
前記分断加工をレーザ加工等の物理的処理によって行
う。また、好ましくは、前記プローブ針の先端部を補強
する。Further, preferably, the cutting process is performed by a chemical treatment such as etching. Also, preferably,
The dividing process is performed by a physical process such as laser processing. Also, preferably, the tip portion of the probe needle is reinforced.
【0017】この補強としては、分断前の前記素材の該
当箇所を曲げ加工する剛性的な補強が好ましい。As the reinforcement, it is preferable to perform a rigid reinforcement by bending the corresponding portion of the material before the division.
【0018】また、好ましくは、分断後に曲げ加工をし
て剛性的に補強する。Further, preferably, after the division, a bending process is performed to reinforce in rigidity.
【0019】また、好ましくは、前記プローブ針の先端
部の幅寸法を基端部の幅寸法よりも細くして弾性補強す
る。Further, preferably, the width dimension of the tip portion of the probe needle is made smaller than the width dimension of the base end portion to elastically reinforce.
【0020】また、好ましくは、前記プローブ針の少な
くとも先端部の断面形状を接触面側に凸にして剛性的に
補強する。Preferably, at least the tip of the probe needle has a cross-sectional shape that is convex toward the contact surface side to reinforce it rigidly.
【0021】また、好ましくは、前記素材の基端部を分
断した後、絶縁性の固定材により固定し、その後、先端
部を分断して前記プローブ針を形成する。[0021] Preferably, the base end portion of the material is divided and then fixed by an insulating fixing material, and then the tip end portion is divided to form the probe needle.
【0022】また、好ましくは、前記固定材として樹脂
を用いる。Further, preferably, a resin is used as the fixing material.
【0023】また、好ましくは、前記プローブ針の少な
くとも先端部外周を導電性膜で覆う。Further, preferably, at least the outer periphery of the tip of the probe needle is covered with a conductive film.
【0024】[0024]
【作用】上記のように、必要に応じて予めプローブ針の
形状に合わせて曲げ加工等を行った素材、例えば金属板
をエッチング等の化学的処理又はレーザ加工等の物理的
処理によって分断すると、等ピッチで配列された多数の
プローブ針を得ることができる。すなわち、この製造方
法によれば、多数のプローブヘッドを機械的に配列する
といった煩わしい作業を要することなく、配列ピッチが
等ピッチのプローブ針を得ることができる。As described above, if a material, such as a metal plate, which has been bent in advance according to the shape of the probe needle as necessary, is divided by a chemical treatment such as etching or a physical treatment such as laser machining, A large number of probe needles arranged at equal pitch can be obtained. That is, according to this manufacturing method, it is possible to obtain probe needles having an equal arrangement pitch without requiring a troublesome work such as mechanically arranging a large number of probe heads.
【0025】また、加工精度を管理するだけで、配列ピ
ッチが微小ピッチのプローブ針を実現できる。Further, it is possible to realize a probe needle having an arrangement pitch of a fine pitch simply by controlling the processing accuracy.
【0026】また、曲げ加工等によりプローブ針の先端
部を機械的に補強しておくと、プローブヘッドの寿命お
よび信頼性の向上が図れる。If the tip of the probe needle is mechanically reinforced by bending or the like, the life and reliability of the probe head can be improved.
【0027】[0027]
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below.
【0028】(実施例1)図1〜図3は本発明検査装置
のプローブヘッドの実施例1を示す。図1に示すよう
に、このプローブヘッドPHは、直方体のハウジング4
の下面に多数のプローブ針2、2…を配列した概略構造
になっている。ハウジング4の長手方向に設けられた各
プローブ針2、2…は相互に平行に、かつ等ピッチで配
列されている。これらのプローブ針2、2…は図2に示
す金属板1を分断加工して作製される。金属板1として
は、例えばベリリウム銅板が用いられる。(Embodiment 1) FIGS. 1 to 3 show Embodiment 1 of the probe head of the inspection apparatus of the present invention. As shown in FIG. 1, the probe head PH includes a rectangular parallelepiped housing 4
Has a schematic structure in which a large number of probe needles 2, 2, ... The probe needles 2, 2, ... Provided in the longitudinal direction of the housing 4 are arranged parallel to each other and at equal pitches. These probe needles 2, 2, ... Are manufactured by cutting the metal plate 1 shown in FIG. As the metal plate 1, for example, a beryllium copper plate is used.
【0029】後にハウジング4が固定される各プローブ
針2、2…の基端側は平行のハウジング固定部2bにな
っている。これに対して各プローブ針2、2…の先端側
には、下向きに凸になった曲げ加工が施されている。こ
の曲げ加工は、図2に示す金属板1の段階で行われ、曲
げ加工部はプローブ針2に弾性を付与する補強部2aと
して機能する。すなわち、このような曲げ加工を施す
と、その部分の機械的な剛性が向上するので、プローブ
針2の寿命および信頼性を向上できる。The proximal ends of the probe needles 2, 2 ... On which the housing 4 is fixed later are parallel housing fixing portions 2b. On the other hand, the tip end side of each probe needle 2, 2, ... Is bent downward to be convex. This bending process is performed at the stage of the metal plate 1 shown in FIG. 2, and the bending part functions as a reinforcing part 2 a that imparts elasticity to the probe needle 2. That is, when such bending is performed, the mechanical rigidity of that portion is improved, so that the life and reliability of the probe needle 2 can be improved.
【0030】このプローブヘッドPHは、以下の工程を
経て作製される。まず、図2に示すように、矩形状の金
属板1の先端側を曲げ加工し、先端側に下向きの凸部1
aを形成する。この凸部1aは後にエッチングにより分
断されて、複数の補強部2a、2a…となる(図1参
照)。This probe head PH is manufactured through the following steps. First, as shown in FIG. 2, the tip side of a rectangular metal plate 1 is bent, and a downwardly projecting portion 1 is formed on the tip side.
a is formed. This convex portion 1a is later divided by etching to be a plurality of reinforcing portions 2a, 2a ... (See FIG. 1).
【0031】次に、図3に示すように、フォトレジスト
を用いて加工パターンを現像し、続いて、エッチング液
を用いて金属板1の基端側をエッチング加工し、これに
より基端側に幅方向に均等間隔で複数本(図示例では4
本)の開口2c、2c…が形成されたハウジング固定部
2bを作製する。開口2cは金属板1の長手方向に長い
スリット状をなしており、開口2cおよびその幅方向の
両側縁部を含む部分のピッチdは、例えば、80μmに
設定されている。また、開口2cの基端は、ハウジング
固定部2aの基端よりも若干内側に偏位した位置にあ
る。Next, as shown in FIG. 3, a processing pattern is developed using a photoresist, and then the base end side of the metal plate 1 is etched using an etching solution, whereby the base end side is etched. Multiple lines at equal intervals in the width direction (4 in the illustrated example
The housing fixing portion 2b having the openings 2c, 2c ... Is formed. The opening 2c has a long slit shape in the longitudinal direction of the metal plate 1, and the pitch d of the portion including the opening 2c and both side edges in the width direction thereof is set to 80 μm, for example. The base end of the opening 2c is located slightly inward of the base end of the housing fixing portion 2a.
【0032】次に、ハウジング接続部2bの上に樹脂等
の絶縁体をモールドしてハウジング4を形成する。これ
により、金属板1とハウジング4が固定される。このと
き、ハウジング固定部2aの基端末はハウジング4から
若干突出している。続いて、エッチング加工により、ハ
ウジング固定部2aの基端部、すなわち突出部を図3に
示すA−A’線に沿って切断する。Next, an insulator such as resin is molded on the housing connecting portion 2b to form the housing 4. Thereby, the metal plate 1 and the housing 4 are fixed. At this time, the base end of the housing fixing portion 2 a slightly projects from the housing 4. Then, by etching, the base end portion of the housing fixing portion 2a, that is, the protruding portion is cut along the line AA 'shown in FIG.
【0033】次に、金属板1の先端側をエッチング加工
し、配列ピッチがd’(例えば、80μm)のプローブ
針2を形成する。すなわち、金属板1の先端側をエッチ
ングにより分断加工して複数本のプローブ針2、2…を
形成する。今少し具体的に説明すると、基端側の開口2
cと連通するようにして先端側に開口を形成し、残存部
にプローブ針2、2…を形成する。以上の工程を経て本
実施例1のプローブヘッドPHが作製される。なお、ハ
ウジング固定部2bの基端末には、図示しない検査装置
本体の電気配線が接続される。Next, the tip side of the metal plate 1 is etched to form the probe needles 2 having an arrangement pitch d '(for example, 80 μm). That is, the tip side of the metal plate 1 is divided by etching to form a plurality of probe needles 2, 2. To be more specific, the opening 2 on the base end side
An opening is formed on the tip side so as to communicate with c, and probe needles 2, 2, ... Are formed on the remaining portion. The probe head PH of the first embodiment is manufactured through the above steps. In addition, the electric wiring of the inspection device body (not shown) is connected to the base terminal of the housing fixing portion 2b.
【0034】このように本実施例1のプローブヘッドP
Hは、1枚の金属板1をエッチングにより分断加工して
プローブ針2、2…を作製するので、プローブ針を機械
的に配列固定する上記の従来例に比べてプローブ針2の
配列ピッチd’の精度を格段に向上できる。また、予め
金属板1を精度良く曲げ加工しておくことにより、全て
のプローブ針2の形状を精度良く揃えることが可能であ
ることとあいまって、従来例のように、その後にプロー
ブ針の針先を捩ってピッチに合わせるといった煩わしい
作業が不要になる。このような理由により、本実施例1
のプローブヘッドPHによれば、各プローブ針2を検査
対象の電極に均一にコンタクトさせることが可能になる
と共に、製作性の向上が図れる。Thus, the probe head P of the first embodiment is
In H, since the probe needles 2, 2, ... Are manufactured by dividing one metal plate 1 by etching, the arrangement pitch d of the probe needles 2 is different from that of the above-mentioned conventional example in which the probe needles are mechanically fixed. The accuracy of 'can be improved significantly. Further, by bending the metal plate 1 with high accuracy in advance, it is possible to accurately align the shapes of all the probe needles 2. The troublesome work of twisting the tip and adjusting to the pitch is unnecessary. For this reason, the first embodiment
According to the probe head PH, the probe needles 2 can be brought into uniform contact with the electrodes to be inspected, and the manufacturability can be improved.
【0035】(実施例2)図4は本発明検査装置のプロ
ーブヘッドの実施例2を示す。この実施例2では、プロ
ーブ針20は先端側に曲げ加工を施さず、ストレートに
形成されている。加えて、プローブ針20の先端は、そ
の幅寸法が基端部よりも狭く加工されており、全体とし
て平面視三角形状をなしている。(Embodiment 2) FIG. 4 shows Embodiment 2 of the probe head of the inspection apparatus of the present invention. In the second embodiment, the probe needle 20 is formed straight without bending the tip side. In addition, the tip end of the probe needle 20 is processed so that its width dimension is narrower than that of the base end portion, and has a triangular shape in plan view as a whole.
【0036】プローブ針20をこのような形状にする
と、針先端が電極にコンタクトされる検査時にプローブ
針20の断面にほぼ均一な曲げモーメントが発生するの
で、基端(針の根元)に応力集中を生じることがない。
すなわち、このような形状にすれば、プローブ針20が
全体として均一に撓み、力が分散されるので、針根元に
過大な応力が生じることがない。この結果、プローブ針
20を塑性変形から有効に保護でき、プローブ針2の寿
命および信頼性を向上できる。When the probe needle 20 has such a shape, a substantially uniform bending moment is generated in the cross section of the probe needle 20 at the time of inspection in which the needle tip is in contact with the electrode, so that stress concentration occurs at the base end (needle root). Does not occur.
That is, with such a shape, the probe needle 20 is uniformly bent as a whole and the force is dispersed, so that excessive stress does not occur at the needle base. As a result, the probe needle 20 can be effectively protected from plastic deformation, and the life and reliability of the probe needle 2 can be improved.
【0037】なお、本実施例2においても、プローブ針
2の基端側に連設されたハウジング固定部20bの上に
ハウジング40が固定される。また、このプローブ針2
0も上記同様にエッチング加工により分断して形成され
る。Also in the second embodiment, the housing 40 is fixed on the housing fixing portion 20b which is continuously provided on the base end side of the probe needle 2. Also, this probe needle 2
Similarly to the above, 0 is also divided and formed by etching.
【0038】(その他の実施例)本発明の適用対象は上
記の実施例1、実施例2に限定されるものではなく、以
下に示す各種の変形が可能である。(Other Embodiments) The application of the present invention is not limited to the above-described first and second embodiments, and various modifications described below are possible.
【0039】まず、上記の実施例では、1枚の金属板1
よりプローブ針2およびハウジング固定部2bを分断し
て形成することにしたが、1枚ものの金属板1の代わり
に、図5(a)〜(c)に示すような複合構造の物を用
いることもできる。First, in the above embodiment, one metal plate 1
Therefore, the probe needle 2 and the housing fixing portion 2b are separated from each other, but instead of the single metal plate 1, a composite structure as shown in FIGS. 5A to 5C is used. You can also
【0040】すなわち、図5(a)に示す例では、2種
類の導電性物質からなる板状体11、12を貼り合わせ
た複合構造体10を用いる。また、図5(b)に示す例
では、非導電性物質からなる板状体15を導電性物質か
らなる板状体13、14で上下に挟んだ複合構造体1
0’を用いる。更に、図5(c)に示す例では、図5
(b)とは逆に、導電性物質からなる板状体16を非導
電性物質からなる板状体17、18で上下に挟んだ複合
構造体10’’を用いる。That is, in the example shown in FIG. 5A, the composite structure 10 in which the plate-like bodies 11 and 12 made of two kinds of conductive materials are bonded together is used. Further, in the example shown in FIG. 5B, a composite structure 1 in which plate-like bodies 15 made of a non-conductive substance are vertically sandwiched between plate-like bodies 13 and 14 made of a conductive substance.
0'is used. Furthermore, in the example shown in FIG.
Contrary to (b), a composite structure 10 ″ is used in which the plate-shaped body 16 made of a conductive material is vertically sandwiched by plate-shaped bodies 17, 18 made of a non-conductive material.
【0041】また、導電性物質としては、上記のベリリ
ウム銅板の他に、例えばタングステン、アルミニウム、
ステンレス鋼、銀パラジウム合金等を用いることができ
る。また、ハウジングに対する固定構造については、上
記実施例のものに限定されるものではなく、最終的にプ
ローブ針を固定できる構造であればよく、例えばハウジ
ング固定部を挟持する構造、或はハウジング接続部の下
面にハウジングを固定する構造を他に採用することがで
きる。In addition to the above beryllium copper plate, examples of the conductive material include tungsten, aluminum,
Stainless steel, silver-palladium alloy, etc. can be used. Further, the fixing structure to the housing is not limited to that of the above-mentioned embodiment, and may be any structure capable of finally fixing the probe needle, for example, a structure for sandwiching the housing fixing portion or a housing connecting portion. Another structure that fixes the housing to the lower surface of the can be adopted.
【0042】また、上記の実施例1では、ハウジング固
定部2bのピッチdとプローブ針2の配列ピッチd’を
一致させ、共に一例として80μmとしたが、両ピッチ
d、d’は必ずしも一致させる必要はない。更に、ピッ
チd、d’については、プローブヘッドPHの全体にお
いて、それぞれ均一にする必要はなく、被検査体の電極
パターンの形状に合わせた形状にすればよい。すなわ
ち、例えば検査対象の電極に1つのプローブ針をコンタ
クトさせる実施形態であってもよく、1つの電極に複数
のプローブ針をコンタクトさせる実施形態をとることも
できる。ピッチd’の具体的な数値としては、例えば数
10mmの程度の値をとることもできるし、数100m
m以上の値をとることも可能である。In the first embodiment described above, the pitch d of the housing fixing portion 2b and the arrangement pitch d'of the probe needles 2 are made to coincide with each other, and both are set to 80 μm, but both pitches d and d'necessarily coincide. No need. Furthermore, the pitches d and d ′ do not have to be uniform in the entire probe head PH, but may be formed in a shape that matches the shape of the electrode pattern of the device under test. That is, for example, the embodiment in which one probe needle is brought into contact with the electrode to be inspected may be adopted, or the embodiment in which a plurality of probe needles are brought into contact with one electrode may be adopted. As a specific numerical value of the pitch d ′, for example, a value of about several tens of mm can be used, or several hundred m
It is also possible to take a value of m or more.
【0043】また、接触部となるプローブ針の先端部の
断面形状については、エッチングの時間、或はエッチン
グ溶液の種類等を適宜に選択することにより、図6
(a)、(b)、(c)に示す種々の断面形状のものを
選択することができる。Further, regarding the cross-sectional shape of the tip portion of the probe needle to be the contact portion, by appropriately selecting the etching time, the type of etching solution, etc., FIG.
Various sectional shapes shown in (a), (b) and (c) can be selected.
【0044】因みに、図6(a)では、プローブ針の先
端部21を下側に凸の台形状に形成することにより、断
面係数を大きくしてその剛性を高め、これにより機械的
強度を向上してプローブ針を有効に保護している。ま
た、図6(b)では、プローブヘッドの先端部22を下
側に凸の半円状に形成して同様に機械的強度を向上して
いる。また、図6(c)ではプローブ針の先端部23の
外周に導電性膜24をメッキ・スパッタ等で形成して、
プローブ針の導電性を向上させている。図6(c)によ
れば、検査の信頼性を向上できる。Incidentally, in FIG. 6 (a), the tip 21 of the probe needle is formed in a downward trapezoidal shape to increase the section modulus and increase its rigidity, thereby improving the mechanical strength. And effectively protects the probe needle. Further, in FIG. 6B, the tip portion 22 of the probe head is formed in a semicircular shape that is convex downward, and the mechanical strength is similarly improved. Further, in FIG. 6C, a conductive film 24 is formed on the outer periphery of the tip portion 23 of the probe needle by plating, sputtering, etc.
The conductivity of the probe needle is improved. According to FIG. 6C, the reliability of the inspection can be improved.
【0045】図6(a)、(b)、(c)に示す例にお
いて、プローブ針全体をこのような形状にすることも可
能である。In the example shown in FIGS. 6 (a), 6 (b) and 6 (c), the entire probe needle can be formed in such a shape.
【0046】また、上記の実施例では、エッチングによ
りプローブ針を分断したが、他の化学的処理によって行
ってもよいし、或は金属板等の素材のプローブ針形成部
にレーザビームを照射するレーザ加工によりプローブ針
を分断して形成する物理的な処理によって行うことにし
てもよい。Further, although the probe needle is divided by etching in the above embodiment, it may be performed by another chemical treatment, or the probe needle forming portion of a material such as a metal plate is irradiated with a laser beam. It may be performed by a physical process in which the probe needle is divided by laser processing.
【0047】また、上記実施例1では、分断前に予め金
属板1の先端側を曲げ加工したが、分断後にプローブ針
2の曲げ加工を行うことも可能である。Further, in the first embodiment, the tip side of the metal plate 1 is bent before cutting, but it is also possible to bend the probe needle 2 after cutting.
【0048】[0048]
【発明の効果】以上の本発明によれば、配列ピッチが等
ピッチのプローブ針を有するプローブヘッドを効率よく
得ることができる。従って、製作性の向上が図れ、大幅
なコストダウンが可能になる。しかも、加工精度を管理
するだけで、プローブ針の配列ピッチが200μm以下
の微小ピッチのプローブヘッドを容易に実現できる。As described above, according to the present invention, it is possible to efficiently obtain a probe head having probe needles having an arrangement pitch of equal pitch. Therefore, the manufacturability can be improved and the cost can be significantly reduced. Moreover, by simply managing the processing accuracy, it is possible to easily realize a probe head having a fine pitch in which the array pitch of the probe needles is 200 μm or less.
【0049】また、特に請求項7〜請求項11記載の検
査装置のプローブヘッドによれば、プローブ針が剛性的
に又は弾性的に補強されているので、コンタク性の向
上、寿命の向上が図れ、より一層信頼性を向上できる。In particular, according to the probe head of the inspection device of the seventh to eleventh aspects, since the probe needle is reinforced rigidly or elastically, it is possible to improve the contact property and the life. , The reliability can be further improved.
【0050】また、特に請求項14記載の検査装置のプ
ローブヘッドによれば、プローブ針の導電性を向上で
き、より一層信頼性を向上できる。Further, in particular, according to the probe head of the inspection apparatus of the fourteenth aspect, the conductivity of the probe needle can be improved and the reliability can be further improved.
【図1】本発明プローブヘッドの実施例1を示す斜視
図。FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of a probe head of the present invention.
【図2】プローブ針を形成するための素材である金属板
の先端部を曲げ加工した状態を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a state where a tip end portion of a metal plate which is a material for forming a probe needle is bent.
【図3】エッチングによりハウジング固定部が基端側に
形成された金属板を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing a metal plate on which a housing fixing portion is formed on a base end side by etching.
【図4】本発明プローブヘッドの実施例2を示す斜視
図。FIG. 4 is a perspective view showing a second embodiment of the probe head of the present invention.
【図5】プローブ針を形成するための素材の他の例を示
す斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing another example of a material for forming a probe needle.
【図6】プローブ針の断面構造の他の例を示す断面図。FIG. 6 is a cross-sectional view showing another example of the cross-sectional structure of the probe needle.
【図7】プローブヘッドの従来例を示す斜視図。FIG. 7 is a perspective view showing a conventional example of a probe head.
【図8】プローブ針の修正作業を示す斜視図。FIG. 8 is a perspective view showing a work of correcting a probe needle.
1 金属板 2、20 プローブ針 2a 補強部 2b、20b ハウジング固定部 2c 開口 4、40 ハウジング 10、10’、10’’ 複合構造体 21、22、23 プローブ針の先端部 24 導電性膜 PH プローブヘッド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Metal plate 2 and 20 Probe needle 2a Reinforcing part 2b and 20b Housing fixing part 2c Opening 4,40 Housing 10, 10 ', 10' 'Composite structure 21, 22, 23 Probe needle tip part 24 Conductive membrane PH probe head
Claims (14)
接触させて該被検査体の電気的特性を検査する検査装置
のプローブヘッドの製造方法において、 少なくとも後に該電極に接触される部分に導電性物質を
有する素材をエッチング等の化学的処理又はレーザ加工
等の物理的処理によって分断加工し、複数のプローブ針
を形成する工程と、 該プローブ針の基端側に絶縁性のハウジングを固定する
工程とを含む検査装置のプローブヘッドの製造方法。1. A method for manufacturing a probe head of an inspection apparatus, comprising: contacting a plurality of probe needles to an electrode on an object to be inspected to inspect the electrical characteristics of the object to be inspected; A step of forming a plurality of probe needles by subjecting a material having a conductive substance to a chemical treatment such as etching or a physical treatment such as laser processing to form a plurality of probe needles, and an insulating housing on the proximal end side of the probe needles. A method of manufacturing a probe head of an inspection apparatus, the method including a step of fixing.
接触させて該被検査体の電気的特性を検査する検査装置
のプローブヘッドにおいて、 該プローブ針が、少なくとも該電極に対する接触面が導
電性を有する素材を分断加工して形成されたものである
検査装置のプローブヘッド。2. A probe head of an inspection apparatus for inspecting an electrical characteristic of an inspected object by bringing a plurality of probe needles into contact with an electrode on the inspected object, wherein the probe needle has at least a contact surface for the electrode. A probe head for an inspection apparatus, which is formed by cutting a conductive material.
ている請求項2記載の検査装置のプローブヘッド。3. The probe head of the inspection device according to claim 2, wherein the material is made of an integral conductive material.
わせて前記素材が構成されている請求項2記載の検査装
置のプローブヘッド。4. The probe head of the inspection apparatus according to claim 2, wherein the material is formed by combining a conductive substance and a non-conductive substance.
理によって行う請求項2記載の検査装置のプローブヘッ
ド。5. The probe head of the inspection device according to claim 2, wherein the dividing process is performed by a chemical treatment such as etching.
理によって行う請求項2記載の検査装置のプローブヘッ
ド。6. The probe head of the inspection apparatus according to claim 2, wherein the cutting process is performed by a physical process such as laser processing.
項2記載の検査装置のプローブヘッド。7. The probe head of an inspection apparatus according to claim 2, wherein the tip portion of the probe needle is reinforced.
ローブ針を剛性的に補強した請求項7記載の検査装置の
プローブヘッド。8. The probe head of an inspection apparatus according to claim 7, wherein the material before being divided is bent to rigidly reinforce the probe needle.
を剛性的に補強した請求項7記載の検査装置のプローブ
ヘッド。9. The probe head of an inspection apparatus according to claim 7, wherein the probe needle is rigidly reinforced by bending after division.
端部の幅寸法よりも細くして弾性補強した請求項7記載
の検査装置のプローブヘッド。10. A probe head for an inspection apparatus according to claim 7, wherein the width dimension of the tip portion of the probe needle is made smaller than the width dimension of the base end portion to be elastically reinforced.
断面形状を接触面側に凸にして剛性的に補強した請求項
7記載の検査装置のプローブヘッド。11. The probe head of an inspection apparatus according to claim 7, wherein at least a tip end portion of the probe needle has a cross-sectional shape convex toward the contact surface side and is reinforced for rigidity.
性の固定材により固定し、その後、先端部を分断して前
記プローブ針を形成した請求項2記載の検査装置のプロ
ーブヘッド。12. The probe head of an inspection apparatus according to claim 2, wherein the base end portion of the material is divided, fixed by an insulating fixing material, and then the tip portion is divided to form the probe needle.
載の検査装置のプローブヘッド。13. The probe head of the inspection device according to claim 12, wherein the fixing material is resin.
周を導電性膜で覆った請求項2記載の検査装置のプロー
ブヘッド。14. The probe head of the inspection apparatus according to claim 2, wherein at least the outer circumference of the tip of the probe needle is covered with a conductive film.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP703393A JPH06213929A (en) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | Manufacture of probe head of inspecting apparatus and the probe head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP703393A JPH06213929A (en) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | Manufacture of probe head of inspecting apparatus and the probe head |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06213929A true JPH06213929A (en) | 1994-08-05 |
Family
ID=11654733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP703393A Withdrawn JPH06213929A (en) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | Manufacture of probe head of inspecting apparatus and the probe head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06213929A (en) |
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-
1993
- 1993-01-19 JP JP703393A patent/JPH06213929A/en not_active Withdrawn
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