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KR20090111655A - Probe Unit for inspected the Flat Panel Display Device - Google Patents

Probe Unit for inspected the Flat Panel Display Device Download PDF

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Publication number
KR20090111655A
KR20090111655A KR1020080037366A KR20080037366A KR20090111655A KR 20090111655 A KR20090111655 A KR 20090111655A KR 1020080037366 A KR1020080037366 A KR 1020080037366A KR 20080037366 A KR20080037366 A KR 20080037366A KR 20090111655 A KR20090111655 A KR 20090111655A
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KR
South Korea
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flat panel
panel display
display device
assembly
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Application number
KR1020080037366A
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Korean (ko)
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백종수
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(주)이노웍스
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Abstract

PURPOSE: A probe unit for inspecting a flat panel display device is provided to minimize the deviation of a probe block and a TCP block by aligning the probe block and the TCP block to an accurate position and fastening them with an anchor bolt. CONSTITUTION: In a probe unit for inspecting a flat panel display device, slits(36,38) are fitted to a pad pitch of a flat panel display device and are slid by a certain depth. Contact probes(37) of a certain length are arranged as many as the number of pads to be tested at the arranged slits. The contact plate probe holds a needle so that the needle has a certain length.

Description

평판표시소자 검사용 프로브 조립체{Probe Unit for inspected the Flat Panel Display Device}Probe Unit for inspected the Flat Panel Display Device

도 1은 본 발명의 프로브 블록 조립체 사시도,1 is a perspective view of a probe block assembly of the present invention,

도 2는 종래 기술의 프로브 블록과 TCP블록의 분해도2 is an exploded view of a probe block and a TCP block of the prior art;

도 3는 본 발명의 프로브와 TCP블록의 분해도Figure 3 is an exploded view of the probe and the TCP block of the present invention

도 4는 본 발명의 프로브와 TCP 블록의 조립체4 is an assembly of the probe and the TCP block of the present invention

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Explanation of symbols for the main parts of the drawings

2, 11, 41 프로브 블록 조정기2, 11, 41 probe block regulator

1, 15, 35, 45 프로브 블록1, 15, 35, 45 probe block

3, 19, 30, 46 TCP 블록3, 19, 30, 46 TCP blocks

4, 21, 39, 47. 연성회로 기판4, 21, 39, 47. Flexible Circuit Board

5, 22, 42. 고정볼트5, 22, 42. Fixing bolt

12,13, 44 정렬 핀12,13,44 alignment pin

14, 20, 31, 34. 정렬 홀14, 20, 31, 34. Alignment hole

16, 37. 탐침16, 37.Probe

17, 40. 구동 IC17, 40.Drive IC

32. 체결 나사32. Fastening screw

33. 체결부33. Fasteners

36,38. 정렬 슬릿36,38. Alignment slit

본 발명은 평판표시소자 검사용 프로브, 이를 구비한 프로브 조립체에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 미세가공 기술에 의한 일렬 정렬공정에 의해 재현성 및 생산성이 뛰어난 평판표시소자 검사용 프로브 블록, 이를 구비한 프로브 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a probe for inspecting a flat panel display device, a probe assembly having the same, and more particularly, a probe block for inspecting a flat panel display device having excellent reproducibility and productivity by a line alignment process by a micromachining technology, and a probe having the same. To an assembly.

일반적으로, TFT-LCD, PDP, OLED등은 평판디스플레이의 일종으로써, 무수히 많은 셀로 이루어진 화소가 배열되어 소정의 크기를 갖고 있다.In general, TFT-LCD, PDP, OLED, etc. are a kind of flat panel display, in which pixels composed of a myriad of cells are arranged and have a predetermined size.

내부 구조는 소자마다 특징이 있지만 영상 신호를 인가하는 영상신호 전극 및 구동 회로는 공통으로 구비되어 있다. 평판표시소자는 제조를 완료한 후, 평판 표시소자의 패드 전극에 프로브 조립체의 프로브를 접촉하여 전기신호를 인가함으로써 평판표시소자의 정상 유무를 확인하여 불량 표시소자를 조기에 제거하는 테스트(Test)공정을 진행하고 있다.Although the internal structure is characteristic for each element, the video signal electrode and the driving circuit for applying the video signal are provided in common. After the flat panel display device is manufactured, a test is performed to remove the defective display device early by checking whether the flat panel display device is normal by applying an electrical signal by contacting the probe of the probe assembly to the pad electrode of the flat panel display device. The process is in progress.

이와 같은 평판표시소자의 테스트는, 프로브 조립체를 구비한 프로빙 장치를 이용하여 이루어지고, 이와 같은 프로빙장치의 프로브 조립체는, 니들(Needle) 타입, 블레이드(Blade) 타입 및 필름(Film) 타입, 멤스(MEMS) 타입 등과 같이 다양한 형태로 개발 사용되고 있다.The test of the flat panel display device is performed by using a probing apparatus having a probe assembly, and the probe assembly of the probing apparatus includes a needle type, a blade type, a film type, and a MEMS. It is developed and used in various forms such as (MEMS) type.

그런데 최근에 평판표시소자가 고집적화됨에 따라 평판표시소자의 패턴의 선폭이 극도로 작아지고 있으며 생산 수율을 관리하기 위해 반복 재현성 및 신뢰성이 확보된 프로브 조립체를 필요로 하고 있다. 따라서, 평판표시소자의 파인 피치(Fine pitch)에 대응이 가능함과 동시에 재현성 및 신뢰성, 생산성이 뛰어난 프로브 조립체의 개발이 절실히 요구되고 있다. 종래의 기술에서 니들 타입의 경우 니들을 소정의 길이로 정렬한 후 에폭시와 같은 접착제를 이용하여 고정한 후 사용하기 때문에 작업 시간이 오래 걸려 생산량을 증가하는데 문제가 있으며 많은 노동력을 요구하고 있다. 그리고 블레이드 타입은 미세 가공된 부품을 많이 사용하여 재료비 부담 및 미세 정렬에 필요한 숙련된 많은 조립인원이 필요하게 된다. 필름 타입과 멤스 타입은 이물질에 의한 접촉 불량이 자주 발생할 수 있으며 테스트 준비 작업에 있어서 탐침이 보이지 않는 문제로 인해 테스트 준비 시간이 많이 걸리는 문제점이 있다. 이러한 문제점들을 보완한 제품이 절실하게 요구되고 있는 실정이다. 이러한 문제점들은 미세 피치화되면서 프로브 블록(15)의 탐침과(16) 구동 IC의 패드를(18) 일대일 대응시킴에 한계점이 있기 때문이다. 특히 일대일 대응이 어려운 이유는 프로브 블록 조립체의 조정기(11)의 정렬핀(12, 13) 각각에 프로브 블록과 TCP블록을 정렬 고정하기 때문이다. 먼저, TCP 블록(19)은 정렬홀(20)을 조정기의 정렬 핀(8)에 정렬 고정되고 프로브 블록은(15) 정렬홀(14)을 기준으로 조정기의 정렬핀(12)에 정렬 고정되게 된다. 이러한 정렬 방법은 조정기의 정렬 핀(12, 13) 이 공차 없이 정확한 위치에 가공 조립되었을 경우 적합한 구조이다. 그리고 미세한 공차에 의한 조립은 분해 조립시 항상 일대일 일치의 조립이 될 수 없다. 이것은 테스트 준비작업의 어려움을 가져오고 또한 이것은 많은 시간과 노력이 필요로 하게 되는 문제점이 있다. 종래의 기술에서 모든 프로브 블록 조립체가 개별적인 정렬 핀 및 홀로 구성되어 있기 때문에 미세 피치화의 실현에 문제점이 있다.However, recently, as the flat panel display device is highly integrated, the line width of the pattern of the flat panel display device is extremely small, and a probe assembly having a repeatable reproducibility and reliability is required to manage the production yield. Accordingly, there is an urgent need to develop a probe assembly capable of coping with fine pitch of a flat panel display device, and having excellent reproducibility, reliability, and productivity. In the prior art, since the needle type is used after aligning the needle to a predetermined length and then fixing the needle using an adhesive such as epoxy, it takes a long time to increase production and requires a lot of labor. In addition, the blade type requires a lot of skilled assembly personnel required for material cost burden and fine alignment by using a lot of finely processed parts. The film type and the MEMS type have a problem in that a poor contact due to a foreign material often occurs and a test preparation time takes a lot due to a problem in which the probe is not visible in the test preparation work. There is an urgent need for products that compensate for these problems. These problems are due to a limitation in the one-to-one correspondence between the probe of the probe block 15 and the pad 18 of the driving IC while being finely pitched. In particular, the one-to-one correspondence is difficult because the probe block and the TCP block are aligned and fixed to each of the alignment pins 12 and 13 of the adjuster 11 of the probe block assembly. First, the TCP block 19 is aligned and fixed to the alignment pin 20 of the regulator and the probe block (15) to the alignment pin 12 of the regulator relative to the alignment hole (14). do. This alignment method is suitable when the alignment pins 12 and 13 of the adjuster are machined and assembled in the correct position without tolerances. And assembling by fine tolerance cannot always be one-to-one matching assembly during disassembly and assembly. This leads to difficulties in test preparation, and this also requires a lot of time and effort. In the prior art, since all probe block assemblies are composed of individual alignment pins and holes, there is a problem in realizing fine pitching.

본 발명의 목적은, 미세 가공 및 미세 정렬 공정을 이용함으로써 평판표시소자 패턴의 파인 피치에 적극 대응할 수 있는 평판표시소자검사용 프로브, 이를 구비한 프로브 조립체를 제공하는 데 있다. Disclosure of Invention An object of the present invention is to provide a probe for inspecting a flat panel display device capable of actively responding to a fine pitch of a flat panel display device pattern by using a fine processing and a fine alignment process, and a probe assembly having the same.

본 발명의 다른 목적은, 미세가공 기술 및 미세 정렬 기술을 이용함으로써 재현성 및 생산성이 뛰어난 평판표시소자 검사용 프로브, 및 이를 구비한 프로브 조립체를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a probe for inspecting a flat panel display device having excellent reproducibility and productivity by using a microfabrication technique and a fine alignment technique, and a probe assembly having the same.

본 발명의 또 다른 목적은 종래의 복잡한 구성물을 없애고 간단한 구조물에 의한 일체형 프로브 조립체를 구성함으로써 테스트 장비에서 최종 정렬 검사공정을 최소화함으로써 작업시간 단축에 의한 원가 절감을 목적으로 하며, 또한 종래의 복잡한 구성물을 제거함으로써 프로브 조립체의 원가 절감 및 테스트 준비 시간을 단축함을 목적으로 하고 있다.Another object of the present invention is to reduce the cost of work by reducing the time required by minimizing the final alignment inspection process in the test equipment by eliminating the conventional complex components and constructing an integrated probe assembly by a simple structure, and also the conventional complex components The purpose of this is to reduce the cost of the probe assembly and shorten the test preparation time.

본 발명의 프로브 및 프로브 조립체의 일측에는 10-100미크론 정도의 미세 접촉 탐 침이(37) 소정의 간격을 유지하는 고정물(36)에 소정의 길이만 노출되어 특정한 간격으로 고정되어 있다. 반대측에는 구동 IC(40)와 연결하기 위해 소정의 간격을 유지하는 고정물에(38) 소정의 길이로 노출되어 연결할 수 있도록 구성되어 있다. 이렇게 양측이 미세 탐침으로 구성된 프로브 블록은(1) 구동 IC를 포함하고 있는 TCP 블록과(3) 일대일 대응되어 하나의 조립체로 구성되어 있다. (도면 4) One side of the probe and probe assembly of the present invention is fixed at a specific interval by exposing only a predetermined length to the fixture 36, which maintains a predetermined interval of the micro-contact probe 37 of about 10-100 microns. On the other side, it is configured to be exposed to a predetermined length and connected to a fixture 38 having a predetermined interval for connecting with the driver IC 40. The probe block composed of the micro probes on both sides is composed of one assembly in a one-to-one correspondence with the TCP block including the driving IC (1). (Fig. 4)

상기와 같이 일체형으로 구성된 프로브 블록과(1) TCP블록은(3) 프로브 조립체 조정기에(2,41) 조립되어 평판 디스플레이 소자를 테스트하게 된다.As described above, the integrated probe block (1) and the TCP block (3) are assembled to the probe assembly regulator (2, 41) to test the flat panel display device.

하기의 기술은 본 발명의 상세한 실시 예이다.The following description is a detailed embodiment of the present invention.

(실시 예 1)(Example 1)

본 발명의 프로브 블록 조립체는 검사하고자 하는 평판 디스플레이 소자의 패드 피치에 맞추어 정렬 슬릿을(36,38) 소정의 깊이로 슬라이싱한다. 이렇게 슬라이싱된 정렬 슬릿에 소정의 길이로 된 접촉 판상 탐침을(37) 검사하고자 하는 소자의 패드 수에 맞게 정렬한다. 접촉 탐침은(37) 니들을 소정의 길이로 고정할 수 있으며 또는 소정의 두께를 갖는 판재를 탐침이 되도록 가공하여 사용할 수 있다.The probe block assembly of the present invention slices the alignment slits 36,38 to a predetermined depth in accordance with the pad pitch of the flat panel display element to be inspected. The sliced alignment slits are aligned with the contact plate-shaped probe 37 having a predetermined length in accordance with the number of pads of the device to be inspected. The contact probe 37 may fix the needle to a predetermined length, or may be used by processing a plate having a predetermined thickness to be a probe.

검사 패널과 접촉되는 일측의 반대편은 구동 IC(40)와 연결되어 PCB에 연결되게 구성하였다. 그리고 구동 IC(40)는 프로브 조립체의 일측 핀(37)과 일대일 대응되게 정렬한 후 TCP 블록(30)에 고정 볼트로(32) 고정한다. 그리고 이렇게 구성된 프로브 조립체(45)는 구동 IC를 포함한 TCP블럭은(46) 동일한 위치에 구성된 정렬홀을(44) 기준으로 일치시켜 하나의 구조물로 구성한다. 이렇게 일체형으로 구성된 프로브 블록(45,46) 조립체는 높이 단차를 보상 완충 역할을 하는 조정기에(41) 고 정볼트(42)로 고정하고, 연성 인쇄 회로 기판을(47) 구동 PCB에 연결하여 특정 영상 신호에 해당하는 전기적 신호를 인가하여 검사하고자 하는 패널에 탐침을 접촉하여 패널을 구동시켜 패널을 검사한다. 프로브 블록 조립체를 고정하여 조정하는 조정기(41)에서 고정핀(44)은 프로브 블록(45)과 TCP블럭(46)의 동일한 위치에 구성된 정렬홀에 조립되게 구성한다. 이것은 최소한 2개 이상으로 구성하며 기준이 되는 2개 정렬핀 이외의 정렬핀은 프로브 블록과 TCP블록의 정렬에 기준이 되지 않게 고정핀보다 고정 홀을 크게 구성하는 것이 가공 조립의 공차에 의한 불일치를 줄이 수 있다. 또한 상기의 다수개의 탐침을 소정의 간격으로 고정한 조립체는(1) 식각 또는 도금에 의한 탐침을 형성하여 고정 블록에 조립하여 TCP 블록과(3) 고정볼트를 이용하여 하나의 조립체로 구성할 수 있다.The opposite side of one side in contact with the inspection panel is configured to be connected to the driving IC 40 and connected to the PCB. The driver IC 40 is aligned one-to-one with one pin 37 of the probe assembly and then fixed to the TCP block 30 with a fixing bolt 32. The probe assembly 45 configured as described above is configured as a structure by matching the alignment holes 44 formed at the same position as the TCP block 46 including the driving IC. This one-piece assembly of probe blocks (45, 46) secures the height step to the regulator (41) that secures the compensating buffer (41), and connects the flexible printed circuit board (47) to the drive PCB to The panel is inspected by driving the panel by applying a probe to the panel to be inspected by applying an electrical signal corresponding to the image signal. In the adjuster 41 for fixing and adjusting the probe block assembly, the fixing pin 44 is configured to be assembled in an alignment hole configured at the same position of the probe block 45 and the TCP block 46. It consists of at least two, and the alignment pins other than the two alignment pins, which are the reference, have larger fixing holes than the fixing pins so that the alignment pins do not become a reference for the alignment of the probe block and the TCP block. Can be reduced. In addition, the assembly in which the plurality of probes are fixed at predetermined intervals may be configured as one assembly by using a TCP block and a fixing bolt by assembling a fixed block by forming a probe by etching or plating. .

본 발명의 프로브 및 프로브 조립체는 차츰 미세 피치화되어 가는 평판 디스플레이 소자의 양불 테스트에 대응 적용 가능하며 제작 공정 및 부품 단순화로 테스트 준비 작업 시간 단축과 제조 단가를 낮추는 효과 및 탐침 및 구동 IC의 불량에 따른 수리 또한 가능하여 평판 디스플레이 소자에 따른 응용 확대성이 높아 다양한 소자를 검사할 수 있는 효과를 가져 올 수 있다. The probe and probe assembly of the present invention can be applied to the quantitative test of flat display devices which are gradually fine pitched, and shorten the test preparation time and manufacturing cost by simplifying the manufacturing process and components, and the defect of the probe and the driving IC. According to the present invention, it is possible to repair various devices.

Claims (3)

다수개의 탐침을 소정의 간격으로 고정한 조립체와 구동 IC를 포함한 조립체를 2개 이상의 고정 볼트를 이용하여 하나의 조립체로 구성한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사용 프로브 조립체 Probe assembly for inspection of flat panel display, characterized in that the assembly including a plurality of probes fixed at predetermined intervals and the assembly including the drive IC as a single assembly using two or more fixing bolts 제 1항에 있어서 다수개의 탐침을 소정의 간격으로 고정한 조립체는 판상 탐침을 소정의 간격을 유지한 정렬 구조물에 조립된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사용 프로브 조립체The probe assembly of claim 1, wherein the assembly in which the plurality of probes are fixed at predetermined intervals is assembled to the alignment structure at which the plate-shaped probes are maintained at predetermined intervals. 제 1항에 있어서 다수개의 탐침을 소정의 간격으로 고정한 조립체는 식각 또는 도금에 의한 탐침을 고정 블록으로 조립된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 검사용 프로브 조립체The probe assembly of claim 1, wherein the assembly in which a plurality of probes are fixed at predetermined intervals is assembled with a fixing block of the probe by etching or plating.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101038456B1 (en) * 2009-12-22 2011-06-01 (주)유비프리시젼 Onebody type probe block easy align for lcd inspection equipment

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