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JPH0617295Y2 - 基板受け渡し装置 - Google Patents

基板受け渡し装置

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Publication number
JPH0617295Y2
JPH0617295Y2 JP1987181716U JP18171687U JPH0617295Y2 JP H0617295 Y2 JPH0617295 Y2 JP H0617295Y2 JP 1987181716 U JP1987181716 U JP 1987181716U JP 18171687 U JP18171687 U JP 18171687U JP H0617295 Y2 JPH0617295 Y2 JP H0617295Y2
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JP
Japan
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substrate
cassette
transfer device
tunnel
placing member
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JP1987181716U
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正美 大谷
雅美 西田
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、例えば、半導体ウエハやフォトマスクといっ
た各種の基板を製造する場合において、いわゆるダブル
ローダ構成やダブルアンローダ構成のように、各種の処
理ユニットの供給側または排出側それぞれの基板搬送路
に沿った複数箇所に基板を収容するとか、いわゆるバッ
ファ構成のように、処理ユニットでの故障発生や工程変
更に際して一時的に基板を収容する、などのために用い
られる基板受け渡し装置に関し、詳しくは、基板搬送路
の途中に設けられて基板を通過させるトンネル部と、基
板収容カセットを取り外し可能に載置するカセット受け
部とを備え、前記トンネル部と前記カセット受け部とを
一体的に昇降可能に構成した基板受け渡し装置に関す
る。
〈従来の技術〉 この種の基板受け渡し装置としては、従来、特開昭５６
−１１６６３０号公報に開示されたものが知られてい
る。
この従来例では、エアーの噴射によって搬送するように
構成された基板搬送手段の基板搬送路の途中箇所に、基
板を収容する基板収容カセットが昇降可能に設けられ、
その基板収容カセットの下部に、基板を通過させるトン
ネル部が付設されるとともに、トンネル部にエアーコン
ベア機構が備えられている。
この構成により、通常時には、トンネル部を基板搬送路
の高さに位置させ、エアー力によって基板をトンネル部
内に搬送し、トンネル部内において、基板をエアーコン
ベア機構によって浮上させ、かつ、その基板に引き続い
てエアー力を作用させて受け渡し、連続した空気流に乗
って基板を搬送していくようになっている。
一方、基板収容カセットから基板を取り出す場合とか、
処理ユニットでの故障発生や工程変更に起因して基板収
容カセットに基板を収容する場合などには、基板収容カ
セットを下降してその所定部分を基板搬送路に対応する
ように位置させ、基板を基板収容カセットから取り出し
たり、基板収容カセットに収容したりするようになって
いる。
〈考案が解決しようとする問題点〉 しかしながら、このような従来構成によれば、基板の搬
送を空気流によって行っているため、この空気流に起因
して微細な塵埃が基板に付着され、製品の品質が低下す
るとともに、不良品が発生して歩留りが悪くなる欠点が
あった。
本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、エアーの噴射によらずに基板を受け渡すようにし
て、塵埃付着に起因する品質低下を回避できながら、そ
の受け渡し状態でも基板収容カセットを容易に交換でき
て作業性を向上できるとともに制御構成を簡単にできる
ようにすることを目的とする。
〈問題点を解決するための手段〉 本考案は、このような目的を達成するために、基板搬送
路の途中に設置される基板受け渡し装置であって、基板
収容カセットを取り外し可能に載置するカセット受け部
の下に、基板を通過させるトンネル部が形成され、前記
トンネル部と前記カセット受け部とを一体的に昇降可能
に構成した基板受け渡し装置において、 前記トルネル部内または基板収容カセット内へ基板を搬
送する供給側搬送装置と、 前記トルネル部内または基板収容カセット内から基板を
取り出す取り出し側搬送装置と、 前記トンネル部内に設けられ、前記トンネル部内に搬送
された基板を一時的に載置する基板載置部材と、 前記供給側搬送装置によって前記基板載置部材の上方に
基板が搬送されたとき、前記基板載置部材だけを上昇さ
せることにより前記基板載置部材上に基板を受け取ら
せ、次いで、前記基板載置部材だけを下降させることに
より前記基板載置部材上の基板を前記取り出し側搬送装
置に移載させる、基板載置部材の昇降機構とを備えて構
成する。
〈作用〉 上記構成によれば、トンネル部内で基板を受け渡す際に
は、基板載置部材を下降させた状態で、その基板載置部
材上まで、供給側搬送装置によって基板を搬送し、その
状態で基板載置部材のみを上昇して基板を基板載置部材
上に載置し、しかる後に、その状態で基板載置部材を下
降し、基板載置部材から取り出し側搬送装置上に基板を
載置させ、基板を搬送していき、そして、これらの受け
渡し途中などにおいては、昇降動作するのは基板載置部
材だけであってカセット受け部は動かないから、適宜、
基板収容カセットをカセット受け部から取り外し、ある
いは、基板収容カセットをカセット受け部にセットする
ことができる。
〈実施例〉 以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
第１図は、本考案の基板受け渡し装置の実施例の斜視図
である。
本実施例に係る基板受け渡し装置は、基板受け渡し装置
本体１と、供給側搬送装置２と取り出し側搬送装置３と
からなる基板搬送手段とによって構成されている。基板
受け渡し装置本体１は、前記基板搬送手段の基板搬送路
Ａの途中個所に設けられている。
基板受け渡し装置本体１は、一対のガイドロッド４，４
と第１の昇降機構５を介して駆動昇降可能に基台６に取
り付けられた支持枠７と、支持枠７に設けられたカセッ
ト受け部とトンネル部１３とを含んでいる。
すなわち、支持枠７の上部にはトンネル部１３の底板１
０が取り付けられ、その底板１０の上部にスペーサ１１
…を介してカセット受け部を構成する天板８が支持され
ており、底板１０と天板８との間に、基板１２を通過さ
せるトンネル部１３が形成されている。また、天板８上
の所定位置に基板収容カセット９を取り外し可能に載置
固定しうるようになっている。
また、支持枠７には、両ガイドロッド４，４間に位置さ
せて雌ねじ部材１４が連接され、その雌ねじ部材１４に
ネジ軸１５が螺合され、そのネジ軸１５が基台６に回転
のみ自在に取り付けられるとともに、基台６に取り付け
られた昇降用電動モータ１６とネジ軸１５とが伝動ベル
ト１７を介して連動連結され、これらの雌ねじ部材１４
とネジ軸１５と昇降用電動モータ１６と伝動ベルト１７
とにより、昇降用電動モータ１６の駆動回転に伴い、基
板収容カセット９およびトンネル部１３を一体的に駆動
昇降するように前記第１の昇降機構５が構成されてい
る。
前記供給側搬送装置２および取り出し側搬送装置３それ
ぞれは、基台６に設けられた搬送用電動モータ１８に第
１アーム１９の一端側が一体回転自在に取り付けられる
とともに、その第１アーム１９の他端側に、規制ベルト
を介して第１アーム１９と反対方向に回転するように第
２アーム２１が取り付けられ、かつ、第２アーム２１の
先端に基板裏面を吸引支持するための空気吸引による吸
引口２２が形成されて構成され、第２アーム２１の先端
に、空気吸引によって基板１２を吸着保持するととも
に、搬送用電動モータ１８の駆動回転により第２アーム
２１を第１アーム１９に対して屈伸させ、第２アーム２
１の先端が水平移動して、トンネル部１３へ出入りする
ようになっている。
前記トンネル部１３内には、第２図の要部の斜視図に示
すように、円盤２３上の３箇所に支持突起２４…を突設
した基板載置部材２５が設けられ、この基板載置部材２
５に第２の昇降機構２６が連動連結され、供給側搬送装
置２によって搬送された基板１２を支持突起２４…上に
一時的に載置させ、しかる後に、支持突起２４…上に載
置された基板１２を取り出し側搬送装置３により取り出
して搬送していくように構成されている。
支持突起２４…それぞれは、第３図に示すように、円盤
２３に貫通状態で取り付けられたネジ軸２７の先端に軟
質樹脂などのキャップ２８を取り付けて構成され、基板
１２を載置したときに基板１２を傷付けないようになっ
ている。
ネジ軸２７…それぞれの下端側は、底板１０を貫通して
下方に突出され、その先端に取り付けられたバネ受け２
９と底板１０との間に圧縮コイルスプリング３０が介装
され、円盤２３を底板１０に近づく側に、即ち、下方側
に変位するように付勢されている。
底板１０の下面に軸受部材３１が取り付けられるととも
に、その軸受部材３１にアーム３２の中間箇所が揺動可
能に連結され、アーム３２の一端側には、円盤２３の下
面のほぼ円中心箇所に当接するようにローラ３３が回転
自在に取り付けられ、一方、アーム３２の他端側には、
当て板部３４が一体連接されている。
基台６に立設したガイド部材３８内を摺動するように上
下方向に摺動自在にロッド３５が設けられ、そのロッド
３５の下端は基台６を貫通して、単動式エアーシリンダ
３６が連動連結されるとともに、ロッド３５の上端側
に、前記当て板部３４に上方から当接する当て板３７が
取り付けられている。
以上の、圧縮コイルスプリング３０による付勢構成、軸
受部材３１、アーム３２、ローラ３３、当て板部３４、
ロッド３５、単動式エアーシリンダ３６および当て板３
７により、単動式エアーシリンダ３６の短縮動作に伴
い、当て板３７の下面が当て板部３４の上面を引き降ろ
して、基板載置部材２５のみを、底板１０に近接した位
置から、それより上方の位置へ上昇駆動するように前記
第２の昇降機構２６が構成されている。
前記天板８は、支持枠７の一側部に蝶番３９を介して揺
動可能に取り付けられており、トンネル部１３内で基板
１２の搬送詰まりを生じたような場合に、トンネル部１
３の上方を大きく開放し、基板１２の取り出しなど、メ
ンテナンスを容易に行うことができるように構成されて
いる。
次に、トンネル部１３内で基板１２を受け渡して搬送し
ていく動作につき、第３図の要部の側面図を用いて詳述
する。
先ず、単動式エアーシリンダ３６が伸長していて基板載
置部材２５が底板１０に近接した下方に位置した状態
で、第３図の（ａ）に示すように、供給側搬送装置２の
第２アーム２１をトンネル部１３内に入り込ませ、その
先端に保持した基板１２が基板載置部材２５上まで搬送
された状態で停止する。
その後、単動式エアーシリンダ３６を短縮させ、ローラ
３３を円盤２３の下面に当接させるとともに、圧縮コイ
ルスプリング３０…の付勢力に抗して押し上げることに
より基板載置部材２５を上昇させ、第３図の（ｂ）に示
すように、支持突起２４…上に基板１２を受け止めて載
置する。
しかる後に、供給側搬送装置２の第２アーム２１をトン
ネル部１３内から退避させ、次いで、取り出し側搬送装
置３の第２アーム２１をトンネル部１３内に入り込ま
せ、第３図の（ｃ）に示すように、その先端を基板載置
部材２５に載置された基板１２の下方に位置させた状態
で停止する。
そして、単動式エアーシリンダ３６を伸長し、ローラ３
３を下方に変位させ、圧縮コイルスプリング３０…の付
勢力により、基板載置部材２５を下降させ、第３図の
（ｄ）に示すように、基板載置部材２５に載置されてい
た基板１２を取り出し側搬送装置３の第２アーム２１に
載置させて吸着保持させ、それに引き続いての変位によ
り、基板１２を取り出していく。
なお、基板収容カセット９から基板１２を取り出した
り、あるいは、逆に基板１２を収容したりする場合に
は、昇降用電動モータ１６を駆動し、基板収容カセット
９を第１図に示した位置よりも降下して、基板収容カセ
ット９の所定箇所が供給側搬送装置２の第２アーム２１
に対応するように変位させ、その状態で、供給側搬送装
置２の第２アーム２１を駆動変位させる。このとき、当
て板部３４と当て板３７との間で当接構成が採用されて
いるため、当て板部３４は当て板３７から下方へ離れる
ので、単動式エアーシリンダ３６に余計な力が作用する
ことはない。
前記供給側搬送装置２および取り出し側搬送装置３それ
ぞれとしては、空気吸引によって基板１２を吸着保持し
ながら搬送する構成に限らず、例えば、基板１２をチャ
ック機構により挟持しながら搬送するように構成しても
良い。また、屈曲する機構により基板を搬送させるに限
定されるものではなく、例えば、レールに案内されて移
動する移動体に基板を支持させて搬送する機構等のよう
に他の機構でも良い。
また、基板載置部材２５を昇降する第２の昇降機構２６
としては、例えば、底板１０の下面に水平方向の軸芯周
りでモータ軸を駆動回転するように電動モータを取り付
け、そのモータ軸に円盤状のカム体を偏芯させて取り付
け、その回転によって円盤２３を押し上げるように構成
するとか、また、第１の昇降機構５と同様に、円盤２３
にネジ軸を螺合させ、そのネジ軸を電動モータで駆動回
転させて円盤２３を昇降するように構成するなど、各種
の構成変形が可能である。
また、基板載置部材２５としては、円盤２３に支持突起
２４…を突設して構成するものに限らず、例えば、円盤
２３自体に凸部を一体的に設けて構成するなど各種の変
形が可能である。
また、上記実施例では、揺動開閉可能な天板８によって
カセット受け部を構成しているが、支持枠７に固定した
天板によって構成しても良い。
〈考案の効果〉 以上説明したように、本考案によれば、トンネル部内に
基板載置部材を設け、その昇降により、供給側搬送装置
によってトンネル部内へ搬送された基板を一時的に載置
するとともに、取り出し側搬送装置に受け渡し、その受
け渡しに空気流を用いないから、空気流に起因して塵埃
が基板に付着することを回避でき、製品の品質を向上で
きるとともに、歩留りを高くすることができる。
また、基板収容カセットを載置しているカセット受け部
をなす天板を静止状態にしたまま基板載置部材のみを昇
降させるだけで、基板を受け渡すことができるから、基
板をトンネル部を通過させている間でも、カセット受け
部に対して、基板収容カセットを容易に取り外したり、
取り付けたりすることができ、基板収容カセットの交換
を容易に行うことができ、基板収容カセットの交換を機
械を用いて自動化するに好適である。
しかも、例えば、トンネル部を通過させるために、カセ
ット受け部を昇降することによって、それと一体に基板
載置部材を昇降する場合であれば、受け渡し時と基板収
容カセットに基板を収容したり、あるいは、基板を取り
出したりする時のいずれかを判断させるとともに、同一
の駆動機構に対して違った昇降を行うように制御しなけ
ればならず、その制御構成が複雑になるが、本考案で
は、カセット受け部と基板載置部材とをそれぞれ個別に
昇降できるから、それぞれ専用の駆動機構に対して個別
の昇降制御を行えば良く、制御構成を簡単にできる。
【図面の簡単な説明】
図面は、本考案に係る基板受け渡し装置の実施例を示
し、第１図は、本考案の基板受け渡し装置の実施例の斜
視図、第２図の要部の斜視図、第３図は、受け渡し動作
の説明に供する要部の側面図である。 １……基板受け渡し装置本体 ８……カセット受け部を構成する天板 ９……基板収容カセット １２……基板 １３……トンネル部 ２５……基板載置部材 ２６……第２の昇降機構 Ａ……基板搬送部
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｈ 3/00 ３０２ 9148−3Ｆ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】基板収容カセットを取り外し可能に載置す
    るカセット受け部の下に、基板を通過させるトンネル部
    が形成され、 前記トンネル部と前記カセット受け部とを一体的に昇降
    可能に構成し、基板搬送路の途中に設置される基板受け
    渡し装置において、 前記トルネル部内または基板収容カセット内へ基板を搬
    送する供給側搬送装置と、 前記トルネル部内または基板収容カセット内から基板を
    取り出す取り出し側搬送装置と、 前記トンネル部内に設けられ、前記トンネル部内に搬送
    された基板を一時的に載置する基板載置部材と、 前記供給側搬送装置によって前記基板載置部材の上方に
    基板が搬送されたとき、前記基板載置部材だけを上昇さ
    せることにより前記基板載置部材上に基板を受け取ら
    せ、次いで、前記基板載置部材だけを下降させることに
    より前記基板載置部材上の基板を前記取り出し側搬送装
    置に移載させる、基板載置部材の昇降機構とを備えたこ
    とを特徴とする基板受け渡し装置。
JP1987181716U 1987-11-27 1987-11-27 基板受け渡し装置 Expired - Lifetime JPH0617295Y2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987181716U JPH0617295Y2 (ja) 1987-11-27 1987-11-27 基板受け渡し装置
US07/275,525 US4923054A (en) 1987-11-27 1988-11-22 Wafer transfer apparatus having an improved wafer transfer portion

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987181716U JPH0617295Y2 (ja) 1987-11-27 1987-11-27 基板受け渡し装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0184434U JPH0184434U (ja) 1989-06-05
JPH0617295Y2 true JPH0617295Y2 (ja) 1994-05-02

Family

ID=16105615

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1987181716U Expired - Lifetime JPH0617295Y2 (ja) 1987-11-27 1987-11-27 基板受け渡し装置

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US (1) US4923054A (ja)
JP (1) JPH0617295Y2 (ja)

Families Citing this family (52)

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