JPH0576172U - 赤外線撮像装置 - Google Patents
赤外線撮像装置Info
- Publication number
- JPH0576172U JPH0576172U JP1482892U JP1482892U JPH0576172U JP H0576172 U JPH0576172 U JP H0576172U JP 1482892 U JP1482892 U JP 1482892U JP 1482892 U JP1482892 U JP 1482892U JP H0576172 U JPH0576172 U JP H0576172U
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- optical system
- infrared
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型で作り易い赤外線撮像装置を得る。
【構成】 被写体に対向するように配置されたアフォー
カル光学系4と、アフォーカル光学系4の射出光路中に
配置された2次元の光学的走査系、5、7、9a、9
b、9cと、結像光学系9c、9dと、アフォーカル光
学系4への入射光軸と結像光学系9dの射出光軸とを同
軸とする折曲げミラー16と、結像光学系9dの結像位
置に配置した赤外線検知素子11と、を有し、上記の折
曲げミラーを設けることにより、小型で作り易い赤外線
撮像装置が得られる。
カル光学系4と、アフォーカル光学系4の射出光路中に
配置された2次元の光学的走査系、5、7、9a、9
b、9cと、結像光学系9c、9dと、アフォーカル光
学系4への入射光軸と結像光学系9dの射出光軸とを同
軸とする折曲げミラー16と、結像光学系9dの結像位
置に配置した赤外線検知素子11と、を有し、上記の折
曲げミラーを設けることにより、小型で作り易い赤外線
撮像装置が得られる。
Description
【0001】
本考案は赤外線撮像装置に関するものである。
【0002】
図2は、従来の赤外線撮像装置を示す図で、1は被写体、2は入射光路、3は 入射光軸、4はアフォーカル系レンズ、5は回転軸6の回りに揺動すると共に、 揺動の中心位置においてアフォーカル系レンズ4の射出光路をほぼ90度下方へ 曲げる垂直装置鏡、7は回転軸8の回りに連続回転する、いわゆるポリゴンミラ ーと呼ばれる水平走査鏡、9aは垂直走査鏡の反射光路をほぼ90度折り曲げる 反射鏡は反射鏡9aの反射光路をほぼ90度上方に折り曲げる反射鏡、9b、9 cは反射鏡9bの反射光路を該反射光路に干渉しない程度の角度をもってほぼ同 方向へ反射しかつ水平反射鏡7の手前で集光させる凹面鏡、9dは水平走査鏡7 の反射光を集光し結像させる結像光学系、10は結像光軸、11は結像光学系9 dの結像位置に配設した赤外線検知素子、12は前記赤外線検知素子11を内蔵 した真空容器、12aは赤外線を真空容器内に導くために真空容器の一部に設け た封止ガラス、13は前記赤外線素子11を極低温例えば80K前後に冷却する ための冷凍機である。14は赤外線撮像装置の筐体部であり、特に筐体部14の 一部14aは中央に光路を通す開口が形成され、アフォーカル系レンズ4を他の 倍率のレンズ系と交換できるように着脱自在に構成するマウント部であり、また 、筐体部14の一部14bは、真空容器12を取り付けるために、真空容器12 の外径よりやや大きな内径の開口が形成され、真空容器12のつば部がびす10 0によって固定される真空容器12の取付部である。なお、15は結像光束であ る。
【0003】 次にこの装置の動作について説明する。 被写体1から放射される赤外線は、入射光路2によってアフォーカル光学系レ ンズ4に入射する。 上記アフォーカル光学系レンズ4からの射出光は垂直走査鏡5で光路2をほぼ 90度曲げられた後、反射鏡9a、9bにて180度曲げられ、凹面鏡9cに入 射する。凹面鏡9cは入射光を狭い角度を持って反射し、この反射光は凹面鏡9 cの焦点位置に結像した後、水平走査鏡7に入射する。水平走査鏡7は入射光を 狭い角度を持って反射すると共に、水平方向に走査する。水平走査鏡7の反射光 は結像レンズ9dに入射して赤外線検知素子11上に結像される。そして、垂直 走査のために、垂直走査鏡5は垂直走査鏡回転軸6の回りにイ、ロ方向に回転可 能となっている。また水平走査鏡7は水平走査回転軸8の回りにハ、ニ方向に回 転可能になっている。その結果、赤外線検知素子11上で被写体の像が2次元的 に移動する。
【0004】 赤外線検知素子11は冷凍機13によって所定の温度まで冷却され、入射した 赤外線強度に比例した信号を出力する。 赤外線検知素子11からの信号は、垂直及び水平走査に同期してメモリーに記 憶された後、映像信号に変換される。この映像信号はCRTの如き表示器に入力 され、この表示器に被写体の像が表示される。
【0005】
上記のような従来の赤外線撮像装置では、以下に述べるような問題点があった 。 すなわち、入射光軸3と結像光軸10が図2のように90度に近い所定の角度 を(図2では約100度)を持っており、赤外線検知素子11を内蔵した真空容 器12が装置の上方に突き出すような構成となっており、装置の高さがh2だけ 必要になるため、装置の小型化の障害となっていた。
【0006】 また、真空容器12の取付時の調整及び真空容器12の筐体14aへの取付部 14bの加工も非常にやりづらいものとなっていた。 そこで本考案は、小型で作り易い赤外線撮像装置を得ることを目的とする。
【0007】
上記問題点の解決のために本考案では、赤外線検知素子11と結像光学系9d との間に折り曲げミラー16を配置することにより、入射光軸3と結像光軸10 とを同軸上になるように構成した。
【0008】
上記の如き構成によって、入射光軸3と結像光軸10とが一致し、筐体14の 一部であるマウント部14aと真空容器取付部14bとを平行にすることができ るので、装置の高さがh1(<h2)となり、従来のものより低くなるばかりで なく、アフォーカル系レンズ取付部14aの開口部と真空容器12の筐体14a への取付部14bの開口部とが同軸となるため、加工が比較的容易になると共に 、アフォーカルレンズ系取付部14bの開口部を通して赤外線検知素子11を見 ることができるので、赤外線検知素子11の調整も容易に行なえる。
【0009】
図1は、この考案の一実施例を示す図である。図1において、図2と同じ部材 には同符号を付して説明を省略する。 図1が図2と異なる点は、結像光学系9dの背後に折り曲げミラー16を配置 して、結像光軸10が入射光軸3と一致する(同軸になる)ように構成したこと である。
【0010】 そして、入射光軸3と同軸になった結像光軸10の結像位置に、真空容器12 の内部に固定された赤外線検知素子11が設けられている。 従って、真空容器12を取り付ける筐体部14bに形成した開口は、アフォー カル光学系レンズ4を取り付けるマウント14aに形成した開口と同軸になる。 また、入射光軸3と結像光軸10とが同軸になるため、真空容器12の長手方 向が入射光軸3の方向に平行になり、装置の高さh1を従来の装置の高さh2よ りも小さくすることができる。
【0011】 このような構成であるから、筐体部14に各光学素子を側面から組み込む際に 、まず、アフォーカル光学系4と赤外線検出素子11とを軸合わせした後、アフ ォーカル光学系4と赤外線検出素子11の位置を基準にして垂直走査鏡5、水平 走査鏡7、反射鏡9a、9b、凹面鏡9c、結像レンズ9d、折曲げミラー16 を位置合わせしながら筐体部14に取り付ける。
【0012】 被写体1からの赤外線は、アフォーカル光学系4を通って垂直反射鏡5に入射 して、その反射方向を90度を中心とした所定の角度範囲内で変化させられ、反 射鏡9a、9bで180度方向を曲げられ、凹面鏡9cに入射する。凹面鏡9c の反射光は、反射鏡9bと結像レンズ9dとの間の狭い空間を通るように集光さ れ、水平走査鏡7に入射する。水平走査鏡7での反射光は走査鏡7の回転により 反射方向が連続的に変化する。水平走査鏡7での反射光は結像レンズ15、折曲 げミラー16によって、封止ガラス12aを透過して赤外線検知素子11上に結 像する。赤外線検知素子11からの信号は、垂直走査鏡5、水平走査鏡7の駆動 信号に対応した同期信号と共に不図示の処理回路に入力され、赤外線の映像信号 が作成される。
【0013】 なお、以上の説明で、垂直走査鏡5、水平走査鏡7、反射鏡9a、9b、凹面 鏡9cは走査光学系を構成するが、この光学系は図示のものに限られないことは 当然である。
【0014】
以上の様に本考案によれば、入射光軸と結像光軸とを同軸に出来るため、赤外 線検知素子を内蔵した真空容器の配置を装置の上方に突き出すことなく構成出来 る。このため、装置全体の高さがh1で済むので、装置の小型化が可能となる。 また、入射光軸と結像光軸とが同軸上であるため、赤外線検知素子を内蔵した 真空容器の位置調整を光学系を取り外した状態で入射光軸方向から行なうことが 出来る。
【0015】 さらに、前記真空容器の取付部分がアフォーカル光学系レンズ取付部分と平行 となるため、加工が容易に行なえる。
【図1】本考案の一実施例の構成図である。
【図2】従来の赤外線撮像装置の構成図である。
1 被写体 2 入射光路 3 入射光軸 4 アフォーカル系レンズ 5 垂直走査鏡 6 垂直走査鏡回転軸 7 水平走査鏡 8 水平走査鏡回転軸 9a、9b 反射鏡 9c 凹面鏡 9d 結像光学系 10 結像光軸 11 赤外線検知素子 12 真空容器 12a 封止ガラス 13 冷凍機 14 筐体部 14a マウント部 14b 真空容器の取付部 15 結像光束 16 折り曲げミラー 100 びす
Claims (1)
- 【請求項1】 被写体に対向するように配置されたアフ
ォーカル光学系と、前記アフォーカル光学系の射出光路
中に配置された2次元の光学的走査系及び結像光学系
と、前記結像光学系の結像位置に配置された赤外線検知
素子と、を有する赤外線撮像装置において、前記結像光
学系と前記赤外線検知素子との間に、前記アフォーカル
光学系への入射光軸と前記結像光学系の射出光軸とを同
軸とする折曲げミラーを配置したことを特徴とする赤外
線撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1482892U JPH0576172U (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 赤外線撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1482892U JPH0576172U (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 赤外線撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0576172U true JPH0576172U (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=11871905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1482892U Pending JPH0576172U (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 赤外線撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0576172U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016152758A1 (ja) * | 2015-03-20 | 2016-09-29 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置、ビーム走査方法、および描画装置 |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP1482892U patent/JPH0576172U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016152758A1 (ja) * | 2015-03-20 | 2016-09-29 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置、ビーム走査方法、および描画装置 |
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