JPH05264834A - 導波路型光部品 - Google Patents
導波路型光部品Info
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- JPH05264834A JPH05264834A JP4062032A JP6203292A JPH05264834A JP H05264834 A JPH05264834 A JP H05264834A JP 4062032 A JP4062032 A JP 4062032A JP 6203292 A JP6203292 A JP 6203292A JP H05264834 A JPH05264834 A JP H05264834A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 全体の素子長が短く、かつ波長平坦性が優れ
ていて、分岐結合器として有用な導波路光部品を提供す
る。 【構成】 少なくとも2個の方向性結合器を有する導波
路型光部品において、2本の光導波路の伝搬定数がいず
れも同じ値である方向性結合器A,A’と2本の光導波
路の伝搬定数が互いに異なった値である方向性結合器B
とが直列に接続されている導波路型光部品。 【効果】 波長1.3〜1.65μmにおける結合効率を0
〜50%の範囲内で得ることができ、素子長は短くても
波長平坦性に優れている。
ていて、分岐結合器として有用な導波路光部品を提供す
る。 【構成】 少なくとも2個の方向性結合器を有する導波
路型光部品において、2本の光導波路の伝搬定数がいず
れも同じ値である方向性結合器A,A’と2本の光導波
路の伝搬定数が互いに異なった値である方向性結合器B
とが直列に接続されている導波路型光部品。 【効果】 波長1.3〜1.65μmにおける結合効率を0
〜50%の範囲内で得ることができ、素子長は短くても
波長平坦性に優れている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は方向性結合器を有する導
波路型光部品に関し、更に詳しくは、波長依存性が少な
い導波路型光部品に関する。
波路型光部品に関し、更に詳しくは、波長依存性が少な
い導波路型光部品に関する。
【0002】
【従来の技術】光通信網を整備するときには、導波路型
光部品が必須の要素として組み込まれ、2本の光導波路
をエバネッセント結合可能な状態に平行配置して成る方
向性結合器は、結合効率が光の波長に大きく依存すると
いう問題がある。例えば、通信光として、波長1.3μm
の光を用いた場合と波長1.55μmの光を用いた場合と
では、方向性結合器の結合効率は全く異なった様相を示
している。
光部品が必須の要素として組み込まれ、2本の光導波路
をエバネッセント結合可能な状態に平行配置して成る方
向性結合器は、結合効率が光の波長に大きく依存すると
いう問題がある。例えば、通信光として、波長1.3μm
の光を用いた場合と波長1.55μmの光を用いた場合と
では、方向性結合器の結合効率は全く異なった様相を示
している。
【0003】このような方向性結合器の備える問題を解
決するために、マッハツェンダ型干渉計を応用した分岐
結合器が提案されている。この分岐結合器は、図2で示
したように、リード部dに接続する光導波路a1と光導
波路a2 とから成る方向性結合器aおよびリード部d’
に接続する光導波路b1 と光導波路b2 とから成る方向
性結合器bの間に、位相差を設けるために、曲がり光導
波路c1 と光導波路c2 とから成る移相部cを配置した
構造のものである。この分岐結合器は、方向性結合器
a,bの構成や移相部cの特性を適宜設定することによ
り、ある光の波長域で略一定の結合効率を得ることがで
きる。
決するために、マッハツェンダ型干渉計を応用した分岐
結合器が提案されている。この分岐結合器は、図2で示
したように、リード部dに接続する光導波路a1と光導
波路a2 とから成る方向性結合器aおよびリード部d’
に接続する光導波路b1 と光導波路b2 とから成る方向
性結合器bの間に、位相差を設けるために、曲がり光導
波路c1 と光導波路c2 とから成る移相部cを配置した
構造のものである。この分岐結合器は、方向性結合器
a,bの構成や移相部cの特性を適宜設定することによ
り、ある光の波長域で略一定の結合効率を得ることがで
きる。
【0004】例えば、各光導波路のコアとクラッドの比
屈折率差が0.25%となるように全ての光導波路を石英
ガラスで構成し、路幅,路高を全ての光導波路でそれぞ
れ8μmとし、方向性結合器aでは、光導波路a1 ,a
2 間のピッチ13μm,長さ1415μm,方向性結合
器bでは、光導波路b1 ,b2 間のピッチ13μm,長
さ920μmとし、かつ移相部cにおける曲がり光導波
路c1 と光導波路c2間の経路差を0.595μmに設定
した図2の分岐結合器の場合、Marcatile 法による計算
(リード部での結合は無視する)によれば、波長1.3〜
1.65μmにおける結合効率として19.5±2.1%とい
う値が得られる。
屈折率差が0.25%となるように全ての光導波路を石英
ガラスで構成し、路幅,路高を全ての光導波路でそれぞ
れ8μmとし、方向性結合器aでは、光導波路a1 ,a
2 間のピッチ13μm,長さ1415μm,方向性結合
器bでは、光導波路b1 ,b2 間のピッチ13μm,長
さ920μmとし、かつ移相部cにおける曲がり光導波
路c1 と光導波路c2間の経路差を0.595μmに設定
した図2の分岐結合器の場合、Marcatile 法による計算
(リード部での結合は無視する)によれば、波長1.3〜
1.65μmにおける結合効率として19.5±2.1%とい
う値が得られる。
【0005】また、図3で示したような分岐結合器も知
られている。この分岐結合器は、伝搬定数が異なる2本
の直線光導波路c'1,c'2から成る部分c’を図のよう
に接続配置することにより、全体として方向性結合器型
にしたものである。ここで、部分c’における光導波路
c'1とc'2の伝搬定数を相違させるためには、通常、光
導波路c'1とc'2との路高や路幅を相違させるという手
段が講じられている。
られている。この分岐結合器は、伝搬定数が異なる2本
の直線光導波路c'1,c'2から成る部分c’を図のよう
に接続配置することにより、全体として方向性結合器型
にしたものである。ここで、部分c’における光導波路
c'1とc'2の伝搬定数を相違させるためには、通常、光
導波路c'1とc'2との路高や路幅を相違させるという手
段が講じられている。
【0006】例えば、各光導波路のコアとクラッドの屈
折率差が0.25%となるように全ての光導波路を石英ガ
ラスで構成し、光導波路c'2の路高と路幅をそれぞれ8
μm,7.26μmとし、光導波路c'1の路高と路幅をそ
れぞれ8μm,8.74μmとし、光導波路間のピッチを
14μm,光導波路c'1およびc'2の光導波路の全長を
3030μmに設定した図3の分岐結合器の場合には、
波長1.3〜1.65μmにおける結合効率として19.7±
7.0%という値が上記計算法から得られる。
折率差が0.25%となるように全ての光導波路を石英ガ
ラスで構成し、光導波路c'2の路高と路幅をそれぞれ8
μm,7.26μmとし、光導波路c'1の路高と路幅をそ
れぞれ8μm,8.74μmとし、光導波路間のピッチを
14μm,光導波路c'1およびc'2の光導波路の全長を
3030μmに設定した図3の分岐結合器の場合には、
波長1.3〜1.65μmにおける結合効率として19.7±
7.0%という値が上記計算法から得られる。
【0007】これらの導波路型光部品は各種の方法で製
造されている。例えば、Si基板の上に、火炎堆積法,
真空蒸着法,プラズマCVD法,ゾルーゲル法などによ
って、通常厚みが20μm程度の下部クラッド層,厚み
が8μm程度のコア層をこの順序で形成し、ついで、コ
ア層にホトリソグラフィー法と反応性イオンエッチング
法などを適用して所定パターンとなるようにコア層の不
要部分を除去して光導波路を形成したのち、その光導波
路パターンを下部クラッド層と同じ屈折率の上部クラッ
ド層によって埋設する。このとき、例えばコア層の形成
時には、TiO 2 やGeO2 を所定量添加して上・下部
クラッド層よりも高屈折率とし、その比屈折率差が0.2
5%程度となるように設定される。
造されている。例えば、Si基板の上に、火炎堆積法,
真空蒸着法,プラズマCVD法,ゾルーゲル法などによ
って、通常厚みが20μm程度の下部クラッド層,厚み
が8μm程度のコア層をこの順序で形成し、ついで、コ
ア層にホトリソグラフィー法と反応性イオンエッチング
法などを適用して所定パターンとなるようにコア層の不
要部分を除去して光導波路を形成したのち、その光導波
路パターンを下部クラッド層と同じ屈折率の上部クラッ
ド層によって埋設する。このとき、例えばコア層の形成
時には、TiO 2 やGeO2 を所定量添加して上・下部
クラッド層よりも高屈折率とし、その比屈折率差が0.2
5%程度となるように設定される。
【0008】なお、光部品の製造方法は上記方法に限定
されるべきものではなく、様々な手段が公知となってい
る。また、光導波路の構造も、上記のような埋込導波路
に限定されるものではなく、リッジ光導波路や拡散光導
波路など任意の光導波路構造を採用することが可能であ
る。さらに光導波路の構成材料も、石英のみならず、多
成分ガラスや強誘電体材料,化合物半導体,高分子材料
など、様々な材料を使用することが可能である。
されるべきものではなく、様々な手段が公知となってい
る。また、光導波路の構造も、上記のような埋込導波路
に限定されるものではなく、リッジ光導波路や拡散光導
波路など任意の光導波路構造を採用することが可能であ
る。さらに光導波路の構成材料も、石英のみならず、多
成分ガラスや強誘電体材料,化合物半導体,高分子材料
など、様々な材料を使用することが可能である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の分岐結合器には次のような問題がある。まず、
図2で示した分岐結合器においては、リード部d,d’
を除いた全体の素子長は、例えば、曲がり光導波路c1
の曲がり半径を50mmに設定した場合、約6.4mmにまで
なる。したがって、この分岐結合器は、形状の小型化,
素子要素の集積化という点で不利である。
た従来の分岐結合器には次のような問題がある。まず、
図2で示した分岐結合器においては、リード部d,d’
を除いた全体の素子長は、例えば、曲がり光導波路c1
の曲がり半径を50mmに設定した場合、約6.4mmにまで
なる。したがって、この分岐結合器は、形状の小型化,
素子要素の集積化という点で不利である。
【0010】一方、図3で示した分岐結合器の場合、各
光導波路は全て直線状であるため、リード部d,d’を
除いた素子長を約3.0mmにまで短縮することはできる
が、しかし、導波光の波長平坦性は図2で示した分岐結
合器の場合に比べて劣化するという問題がある。このよ
うに、従来の分岐結合器においては、短い素子長で平坦
な波長特性を得るということが実現されていない。
光導波路は全て直線状であるため、リード部d,d’を
除いた素子長を約3.0mmにまで短縮することはできる
が、しかし、導波光の波長平坦性は図2で示した分岐結
合器の場合に比べて劣化するという問題がある。このよ
うに、従来の分岐結合器においては、短い素子長で平坦
な波長特性を得るということが実現されていない。
【0011】本発明は、上記した問題を解決し、図3で
示した分岐結合器と同程度の素子長を有し、しかも図2
で示した分岐結合器と同程度の波長平坦性を実現するこ
とができる導波路型光部品の提供を目的とする。
示した分岐結合器と同程度の素子長を有し、しかも図2
で示した分岐結合器と同程度の波長平坦性を実現するこ
とができる導波路型光部品の提供を目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、少なくとも2個の方向性結
合器を有する導波路型光部品において、2本の光導波路
の伝搬定数がいずれも同じ値である方向性結合器Aと、
2本の光導波路の伝搬定数が互いに異なった値である方
向性結合器Bとが直列に接続されていることを特徴とす
る導波路型光部品が提供される。
ために、本発明においては、少なくとも2個の方向性結
合器を有する導波路型光部品において、2本の光導波路
の伝搬定数がいずれも同じ値である方向性結合器Aと、
2本の光導波路の伝搬定数が互いに異なった値である方
向性結合器Bとが直列に接続されていることを特徴とす
る導波路型光部品が提供される。
【0013】
【作用】本発明の導波路型光部品においては、方向性結
合器Bの結合部における各光導波路の伝搬定数が相違し
ているので、これが図2における移相部cの役割りを果
たす。また、方向性結合器Bの結合部における各光導波
路間では光の結合が起こるため、この方向性結合器Bは
他の方向性結合器Aにおける結合部の機能を一部補完す
ることになる。
合器Bの結合部における各光導波路の伝搬定数が相違し
ているので、これが図2における移相部cの役割りを果
たす。また、方向性結合器Bの結合部における各光導波
路間では光の結合が起こるため、この方向性結合器Bは
他の方向性結合器Aにおける結合部の機能を一部補完す
ることになる。
【0014】そして、この方向性結合器Bは図2の移相
部cのような長さを必要としないため、全体の素子長を
大幅に短縮することができる。
部cのような長さを必要としないため、全体の素子長を
大幅に短縮することができる。
【0015】
【実施例】以下に、本発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。図1は、伝搬定数が同じである光導波路A
1 とA2 ,光導波路A'1とA'2を有する2個の方向性結
合器A,A’の間に、互いに異なる伝搬定数を有する光
導波路B1 と光導波路B2とを有する1個の方向性結合
器Bが、光導波路A1 −光導波路B1 −光導波路A'1,
光導波路A2 −光導波路B2 −光導波路A'2のように各
光導波路を直列に接続することにより配置されている。
て説明する。図1は、伝搬定数が同じである光導波路A
1 とA2 ,光導波路A'1とA'2を有する2個の方向性結
合器A,A’の間に、互いに異なる伝搬定数を有する光
導波路B1 と光導波路B2とを有する1個の方向性結合
器Bが、光導波路A1 −光導波路B1 −光導波路A'1,
光導波路A2 −光導波路B2 −光導波路A'2のように各
光導波路を直列に接続することにより配置されている。
【0016】ここで、光導波路B1 と光導波路B2 の伝
搬定数を相違させるための方法は格別限定されるもので
はなく、例えば、従来と同じように、光導波路B1 ,B
2 を同じ石英ガラスで構成し、その路幅または路高を相
違させることによって実現することができる。また、G
e添加のコアを有する石英光導波路の場合には、一方の
光導波路に対して伝搬定数を相違させたい他方の光導波
路の部分に紫外線などを照射してコア屈折率を増加させ
るという方法も可能である。例えば、140/OFC’
92/Wednesday Poster, 論文番号WK1では、KrF を
用いたエキマレーザ(波長249nm)の100mJ/
cm2 /パルスの紫外光を50パルス照射すると、上記G
e含有石英コアの屈折率は約2×10-6程度増加すると
いう報告がなされている。
搬定数を相違させるための方法は格別限定されるもので
はなく、例えば、従来と同じように、光導波路B1 ,B
2 を同じ石英ガラスで構成し、その路幅または路高を相
違させることによって実現することができる。また、G
e添加のコアを有する石英光導波路の場合には、一方の
光導波路に対して伝搬定数を相違させたい他方の光導波
路の部分に紫外線などを照射してコア屈折率を増加させ
るという方法も可能である。例えば、140/OFC’
92/Wednesday Poster, 論文番号WK1では、KrF を
用いたエキマレーザ(波長249nm)の100mJ/
cm2 /パルスの紫外光を50パルス照射すると、上記G
e含有石英コアの屈折率は約2×10-6程度増加すると
いう報告がなされている。
【0017】したがって、上記手段を利用すれば、光導
波路B1 と光導波路B2 の伝搬定数を任意に相違させる
ことができる。更に、ニオブ酸リチウム結晶で構成され
ている光導波路の場合、ここに所定値の電圧を印加する
とその光導波路の屈折率が大きく変化することが知られ
ている。したがって、光導波路B1 と光導波路B2 を上
記素材で構成しそのいずれかに上記電圧印加を行うこと
により、光導波路B1 と光導波路B2 の間の伝搬定数を
相違させることができる。
波路B1 と光導波路B2 の伝搬定数を任意に相違させる
ことができる。更に、ニオブ酸リチウム結晶で構成され
ている光導波路の場合、ここに所定値の電圧を印加する
とその光導波路の屈折率が大きく変化することが知られ
ている。したがって、光導波路B1 と光導波路B2 を上
記素材で構成しそのいずれかに上記電圧印加を行うこと
により、光導波路B1 と光導波路B2 の間の伝搬定数を
相違させることができる。
【0018】また、光導波路の構成材料が半導体である
場合、そこに所定値の電流を注入すると、光導波路の屈
折率低下が引き起こされるので、光導波路B1 ,B2 を
いずれも半導体で構成し、そのいずれか一方に電流注入
すれば、両光導波路間の伝搬定数を相違させることがで
きる。更には、リッジ型光導波路のように、コア部が素
子の表面近傍に存在する場合には、なんらかの異種材料
を前記光導波路の上に装荷すれば、その部分の等価屈折
率が変化するので、光導波路B1 ,B2 の一方に上記処
置を施すことにより、両光導波路間の伝搬定数を相違さ
せることができる。
場合、そこに所定値の電流を注入すると、光導波路の屈
折率低下が引き起こされるので、光導波路B1 ,B2 を
いずれも半導体で構成し、そのいずれか一方に電流注入
すれば、両光導波路間の伝搬定数を相違させることがで
きる。更には、リッジ型光導波路のように、コア部が素
子の表面近傍に存在する場合には、なんらかの異種材料
を前記光導波路の上に装荷すれば、その部分の等価屈折
率が変化するので、光導波路B1 ,B2 の一方に上記処
置を施すことにより、両光導波路間の伝搬定数を相違さ
せることができる。
【0019】図1の光部品において、リード部D,Dの
光導波路を含めて全ての光導波路を、コアとクラッドと
の比屈折率差が0.25%となるように石英ガラスで構成
して本発明の光部品を製造した。このとき、光導波路A
1 ,A2 ,A'1,A'2の路高と路幅はいずれも8μm,
8μmとし、光導波路B1 の路高,路幅はいずれも8μ
m,7μm、光導波路B2 の路高,路幅はいずれも8μ
m,9μmとした。また、方向性結合器Aにおける結合
部の長さは1500μm,方向性結合器A’における結
合部の長さは520μm,方向性結合器Bにおける結合
部の長さは1850μmとした。
光導波路を含めて全ての光導波路を、コアとクラッドと
の比屈折率差が0.25%となるように石英ガラスで構成
して本発明の光部品を製造した。このとき、光導波路A
1 ,A2 ,A'1,A'2の路高と路幅はいずれも8μm,
8μmとし、光導波路B1 の路高,路幅はいずれも8μ
m,7μm、光導波路B2 の路高,路幅はいずれも8μ
m,9μmとした。また、方向性結合器Aにおける結合
部の長さは1500μm,方向性結合器A’における結
合部の長さは520μm,方向性結合器Bにおける結合
部の長さは1850μmとした。
【0020】この光部品では、Marcatile 法で計算(リ
ード部D,Dでの結合は無視する)すると、波長1.3〜
1.65μmにおける結合効率は20.0±1.9%という値
が得られる。ここで、リード部D,Dの曲がり光導波路
の曲がり半径を50mmに設定すると、リード部D,Dで
は光の結合が生じ、リード部1個当りの結合量は、方向
性結合器の結合部の長さ0.3〜0.4mmに相当する結合量
であるということが知られている。
ード部D,Dでの結合は無視する)すると、波長1.3〜
1.65μmにおける結合効率は20.0±1.9%という値
が得られる。ここで、リード部D,Dの曲がり光導波路
の曲がり半径を50mmに設定すると、リード部D,Dで
は光の結合が生じ、リード部1個当りの結合量は、方向
性結合器の結合部の長さ0.3〜0.4mmに相当する結合量
であるということが知られている。
【0021】そこで、方向性結合器Aにおける結合部の
長さを1150μm,方向性結合器A’における結合部
の長さを170μmに設定したことを除いては、前記と
同じ態様で、再度、図1に示した構造の光部品を製造し
た。得られた光部品の結合効率は、波長1.3〜1.65μ
mに対し21±2%であった。このときのリード部を除
く素子長は約3.2mmであった。
長さを1150μm,方向性結合器A’における結合部
の長さを170μmに設定したことを除いては、前記と
同じ態様で、再度、図1に示した構造の光部品を製造し
た。得られた光部品の結合効率は、波長1.3〜1.65μ
mに対し21±2%であった。このときのリード部を除
く素子長は約3.2mmであった。
【0022】また、方向性結合器Aにおける結合部の長
さを2440μm,方向性結合器A’における結合器の
長さを600μm,方向性結合器Bにおける結合部の長
さを1450μmとして図1で示した光部品を製造し
た。この光部品の計算上の結合効率は、波長1.3〜1.6
μmにおいて50±3.8%になる。ついで、リード部
D,Dにおける光結合を考慮して、方向性結合器Aにお
ける結合部の長さを2090μm,方向性結合器A’に
おける結合器の長さを250μmに設定して再度光部品
を製造した。その結合効率は波長1.3〜1.65μmにお
いて48±4%であった。その素子長は約3.8mmであっ
た。
さを2440μm,方向性結合器A’における結合器の
長さを600μm,方向性結合器Bにおける結合部の長
さを1450μmとして図1で示した光部品を製造し
た。この光部品の計算上の結合効率は、波長1.3〜1.6
μmにおいて50±3.8%になる。ついで、リード部
D,Dにおける光結合を考慮して、方向性結合器Aにお
ける結合部の長さを2090μm,方向性結合器A’に
おける結合器の長さを250μmに設定して再度光部品
を製造した。その結合効率は波長1.3〜1.65μmにお
いて48±4%であった。その素子長は約3.8mmであっ
た。
【0023】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
導波路型光部品は、方向性結合器A,方向性結合器Bを
適宜設定することにより、0〜50%の範囲内で任意の
結合効率を有し、しかも素子長が短くかつ波長平坦性が
優れた分岐結合器として機能する。
導波路型光部品は、方向性結合器A,方向性結合器Bを
適宜設定することにより、0〜50%の範囲内で任意の
結合効率を有し、しかも素子長が短くかつ波長平坦性が
優れた分岐結合器として機能する。
【図1】本発明の導波路光部品例を示す概略図である。
【図2】従来分岐結合器の例を示す概略図である。
【図3】従来分岐結合器の他の例を示す概略図である。
A,A’ 伝搬定数が同じ光導波路を有する方向性結合
器 B 伝搬定数が異なる光導波路を有する方向性結合器 A1 ,A2 ,A'1,A'2,B1 ,B2 光導波路 D リード部
器 B 伝搬定数が異なる光導波路を有する方向性結合器 A1 ,A2 ,A'1,A'2,B1 ,B2 光導波路 D リード部
Claims (2)
- 【請求項1】 少なくとも2個の方向性結合器を有する
導波路型光部品において、2本の光導波路の伝搬定数が
いずれも同じ値である方向性結合器Aと、2本の光導波
路の伝搬定数が互いに異なった値である方向性結合器B
とが直列に接続されていることを特徴とする導波路型光
部品。 - 【請求項2】 前記方向性結合器Aが前記方向性結合器
Bの両端に直列に接続されている請求項1の導波路型光
部品。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4062032A JPH05264834A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 導波路型光部品 |
US08/142,309 US5440656A (en) | 1992-03-18 | 1993-03-17 | Waveguide type optical component having optical coupling sections with different coupling efficiencies |
PCT/JP1993/000314 WO1993019389A1 (en) | 1992-03-18 | 1993-03-17 | Waveguide type optical part |
EP93906782A EP0585468B1 (en) | 1992-03-18 | 1993-03-17 | Waveguide type optical part |
DE69327278T DE69327278T2 (de) | 1992-03-18 | 1993-03-17 | Optisches wellenleiter-bauteil |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4062032A JPH05264834A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 導波路型光部品 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05264834A true JPH05264834A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13188425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4062032A Pending JPH05264834A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 導波路型光部品 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5440656A (ja) |
EP (1) | EP0585468B1 (ja) |
JP (1) | JPH05264834A (ja) |
DE (1) | DE69327278T2 (ja) |
WO (1) | WO1993019389A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004325474A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-18 | Yokogawa Electric Corp | 高密度積層光集積回路素子 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5647040A (en) * | 1995-12-14 | 1997-07-08 | Corning Incorporated | Tunable optical coupler using photosensitive glass |
JP2008198944A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Fujitsu Ltd | 半導体光集積素子 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4679894A (en) * | 1984-08-20 | 1987-07-14 | Litton Systems, Inc. | Electrically switched fiber optic directional coupler |
US4673270A (en) * | 1985-06-28 | 1987-06-16 | Amp Incorporated | Channel add/drop filter-coupler |
JP2583310B2 (ja) * | 1989-05-31 | 1997-02-19 | 古河電気工業株式会社 | 光導波路型分岐合流器 |
JPH0820653B2 (ja) * | 1989-06-26 | 1996-03-04 | 沖電気工業株式会社 | 導波型光スイッチ |
JPH0381706A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-08 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Δβ型光方向性結合器 |
JPH0419713A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-01-23 | Oki Electric Ind Co Ltd | 導波型光スイッチ |
JP2932742B2 (ja) * | 1991-04-30 | 1999-08-09 | 日本電気株式会社 | 導波路型光デバイス |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP4062032A patent/JPH05264834A/ja active Pending
-
1993
- 1993-03-17 EP EP93906782A patent/EP0585468B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-17 WO PCT/JP1993/000314 patent/WO1993019389A1/ja active IP Right Grant
- 1993-03-17 US US08/142,309 patent/US5440656A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-17 DE DE69327278T patent/DE69327278T2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004325474A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-18 | Yokogawa Electric Corp | 高密度積層光集積回路素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0585468A4 (ja) | 1994-03-23 |
EP0585468A1 (en) | 1994-03-09 |
EP0585468B1 (en) | 1999-12-15 |
US5440656A (en) | 1995-08-08 |
WO1993019389A1 (en) | 1993-09-30 |
DE69327278D1 (de) | 2000-01-20 |
DE69327278T2 (de) | 2000-04-13 |
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