JPH0522070A - 縦水晶振動子 - Google Patents
縦水晶振動子Info
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- JPH0522070A JPH0522070A JP3170150A JP17015091A JPH0522070A JP H0522070 A JPH0522070 A JP H0522070A JP 3170150 A JP3170150 A JP 3170150A JP 17015091 A JP17015091 A JP 17015091A JP H0522070 A JPH0522070 A JP H0522070A
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- oscillation
- arms
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- vertical crystal
- arm
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- Pending
Links
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 10
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 13
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- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0595—Holders or supports the holder support and resonator being formed in one body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 等価インダクタンスと等価直列抵抗の小さい
縦水晶振動子を提供することにある。 【構成】 ４本以上の振動腕を有し各振動腕は先端部付
近で接続されるように形成される。
縦水晶振動子を提供することにある。 【構成】 ４本以上の振動腕を有し各振動腕は先端部付
近で接続されるように形成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は４本以上の振動腕を有す
る振動部と支持部をエッチング法によって、一体に形成
した縦水晶振動子に関する。特に、小型化、低消費電力
化の要求の強いＩＣカード、ポケットベルや移動体無線
等の携帯機器の基準信号源として最適な新形状の縦水晶
振動子に関する。
る振動部と支持部をエッチング法によって、一体に形成
した縦水晶振動子に関する。特に、小型化、低消費電力
化の要求の強いＩＣカード、ポケットベルや移動体無線
等の携帯機器の基準信号源として最適な新形状の縦水晶
振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】振動部と支持部をエッチング法によっ
て、一体に形成された従来の縦水晶振動子は、振動腕が
１本であるために、等価直列抵抗Ｒ1 を小さくするには
限界があった。
て、一体に形成された従来の縦水晶振動子は、振動腕が
１本であるために、等価直列抵抗Ｒ1 を小さくするには
限界があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の縦水晶振動子は
振動腕が１本であるために、質量が小さく、水晶の異方
性から生じるエッチング加工による形状の非対称性が振
動に悪影響を与えていた。そのために、振動子の支持に
よる振動漏れが大きく、Ｒ1 上昇が生じるなど極めて重
要な課題が残されていた。又、等価インダクタンスＬ1
が大きく、発振の起動特性が劣るという課題が同時に残
されていた。それ故、Ｒ1 とＬ1 の小さい縦水晶振動子
が所望されていた。
振動腕が１本であるために、質量が小さく、水晶の異方
性から生じるエッチング加工による形状の非対称性が振
動に悪影響を与えていた。そのために、振動子の支持に
よる振動漏れが大きく、Ｒ1 上昇が生じるなど極めて重
要な課題が残されていた。又、等価インダクタンスＬ1
が大きく、発振の起動特性が劣るという課題が同時に残
されていた。それ故、Ｒ1 とＬ1 の小さい縦水晶振動子
が所望されていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】それ故、本発明では以下
の方法で課題を解決するものである。すなわち、振動部
と支持部をエッチング法によって、一体に形成した縦水
晶振動子において、該振動部は４本以上の振動腕を有し
各振動腕は先端部付近で接続されるように構成すること
により課題を解決している。
の方法で課題を解決するものである。すなわち、振動部
と支持部をエッチング法によって、一体に形成した縦水
晶振動子において、該振動部は４本以上の振動腕を有し
各振動腕は先端部付近で接続されるように構成すること
により課題を解決している。
【０００５】
【作用】このように、本発明は４本以上の振動腕と支持
部から構成されている。振動腕４本以上は当然１本より
重く、保有するポテンシャルエネルギーも大きくなる。
従って、支持部による振動腕への抵抗力は１本当たりに
換算すると小さくなる。同時に、電磁エネルギーが大き
くなる。それ故、等価直列抵抗Ｒ1 と等価インダクタン
スＬ1 の小さい縦水晶振動子が得られる。
部から構成されている。振動腕４本以上は当然１本より
重く、保有するポテンシャルエネルギーも大きくなる。
従って、支持部による振動腕への抵抗力は１本当たりに
換算すると小さくなる。同時に、電磁エネルギーが大き
くなる。それ故、等価直列抵抗Ｒ1 と等価インダクタン
スＬ1 の小さい縦水晶振動子が得られる。
【０００６】
【実施例】次に、本発明を実施例に基づいて具体的に述
べる。図１は、本発明の縦水晶振動子形状の一実施例を
示す平面図である。振動子１は振動部２とブリッジ部４
を介して接続されている支持部３から構成されている。
更に、振動部２は６本の振動腕２’をひずみのほとんど
起こらない位置、すなわち、振動腕２’の先端部で接続
部８によって接続され、穴１０を形成する構造を成して
いる。本実施例では振動腕２’は６本の場合について説
明したが、４本以上であれば何本でも良い。又、支持部
３は振動部２の振動エネルギーを振動部内部に更に閉じ
込める構造をなし、ブリッジ部４と接続される屈曲部５
と穴９を作るようにその両端を介して接続されるフレー
ム６とマウント部７から構成されている。更に、６本の
振動腕２’には同方向に振動するように、エッチング面
に励振電極（図示されていない）が配置されている。
べる。図１は、本発明の縦水晶振動子形状の一実施例を
示す平面図である。振動子１は振動部２とブリッジ部４
を介して接続されている支持部３から構成されている。
更に、振動部２は６本の振動腕２’をひずみのほとんど
起こらない位置、すなわち、振動腕２’の先端部で接続
部８によって接続され、穴１０を形成する構造を成して
いる。本実施例では振動腕２’は６本の場合について説
明したが、４本以上であれば何本でも良い。又、支持部
３は振動部２の振動エネルギーを振動部内部に更に閉じ
込める構造をなし、ブリッジ部４と接続される屈曲部５
と穴９を作るようにその両端を介して接続されるフレー
ム６とマウント部７から構成されている。更に、６本の
振動腕２’には同方向に振動するように、エッチング面
に励振電極（図示されていない）が配置されている。
【０００７】その結果、振動子の共振時には、１本の振
動腕と比較して、等価インダクタンスが約１／６倍、等
価容量が約６倍、そして等価直列抵抗Ｒ1 は支持部の設
計に依存するが、約１／６倍となる。振動腕２’がｎ本
の場合には等価インダクタンスは約１／ｎ倍となる。こ
のような構成により、等価インダクタンスが小さくなる
ので、発振時の起動時間が短く（起動特性に優れる）、
かつ、Ｒ1 の低減が図れるとともに、更に、振動エネル
ギーを振動部内部に閉じ込めることができるので、振動
漏れのない優れた縦水晶振動子が得られる。又、本発明
の振動子は複雑な形状をしているが、化学的エッチング
法によって容易に形成できる。
動腕と比較して、等価インダクタンスが約１／６倍、等
価容量が約６倍、そして等価直列抵抗Ｒ1 は支持部の設
計に依存するが、約１／６倍となる。振動腕２’がｎ本
の場合には等価インダクタンスは約１／ｎ倍となる。こ
のような構成により、等価インダクタンスが小さくなる
ので、発振時の起動時間が短く（起動特性に優れる）、
かつ、Ｒ1 の低減が図れるとともに、更に、振動エネル
ギーを振動部内部に閉じ込めることができるので、振動
漏れのない優れた縦水晶振動子が得られる。又、本発明
の振動子は複雑な形状をしているが、化学的エッチング
法によって容易に形成できる。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明においては、
振動部と支持部から成り、且つ、エッチング法によって
一体に形成される新形状の縦水晶振動子を提案すること
により次の著しい効果を有する。 （１）振動腕を４本以上設けることにより、等価インダ
クタンスが１本の時の約１／４倍以下となり 発振時の
起動時間を短くすることができる。 （２）振動腕を４本以上設けることにより、等価直列抵
抗Ｒ1 が１本の時の約１／４倍以下と小さくなる。 （３）本振動子は振動部と支持部をエッチング法によっ
て、一体に形成されるので小型化、薄型化ができる。 （４）支持部の形状を改善することにより、振動漏れの
ない縦水晶振動子が得られる。それ故、マウント部でリ
ード線等に支持、固定してもＲ1 の小さい振動子が得ら
れる。 （５）エッチング法によるバッチ処理ができるので、低
廉化ができる。 （６）片側でリード線等にマウントするので製造が容
易、安価にできる。
振動部と支持部から成り、且つ、エッチング法によって
一体に形成される新形状の縦水晶振動子を提案すること
により次の著しい効果を有する。 （１）振動腕を４本以上設けることにより、等価インダ
クタンスが１本の時の約１／４倍以下となり 発振時の
起動時間を短くすることができる。 （２）振動腕を４本以上設けることにより、等価直列抵
抗Ｒ1 が１本の時の約１／４倍以下と小さくなる。 （３）本振動子は振動部と支持部をエッチング法によっ
て、一体に形成されるので小型化、薄型化ができる。 （４）支持部の形状を改善することにより、振動漏れの
ない縦水晶振動子が得られる。それ故、マウント部でリ
ード線等に支持、固定してもＲ1 の小さい振動子が得ら
れる。 （５）エッチング法によるバッチ処理ができるので、低
廉化ができる。 （６）片側でリード線等にマウントするので製造が容
易、安価にできる。
【図１】本発明の縦水晶振動子形状の一実施例の平面図
である。
である。
１ 振動子 ２ 振動部 ２’振動腕 ３ 支持部 ４ ブリッジ部 ５ 屈曲部 ６ フレーム ７ マウント部 ８ 接続部 ９、１０ 穴
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 振動部と支持部をエッチング法によっ
て、一体に形成した縦水晶振動子において、該振動部は
４本以上の駆動腕を有し、各振動腕は先端部付近で接続
されていることを特徴とする縦水晶振動子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3170150A JPH0522070A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | 縦水晶振動子 |
| DE69206203T DE69206203T2 (de) | 1991-07-10 | 1992-01-22 | Längsquarz-Kristallresonator. |
| EP92300540A EP0522676B1 (en) | 1991-07-10 | 1992-01-22 | Longitudinal quartz crystal resonator |
| US07/824,013 US5218260A (en) | 1991-07-10 | 1992-01-22 | Longitudinal quartz crystal resonator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3170150A JPH0522070A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | 縦水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0522070A true JPH0522070A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=15899608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3170150A Pending JPH0522070A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | 縦水晶振動子 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5218260A (ja) |
| EP (1) | EP0522676B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0522070A (ja) |
| DE (1) | DE69206203T2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4321949C2 (de) * | 1992-07-03 | 1997-07-10 | Murata Manufacturing Co | Vibratoreinheit |
| DE4322144C2 (de) * | 1992-07-03 | 1997-06-05 | Murata Manufacturing Co | Vibratoreinheit |
| DE4419085C2 (de) * | 1993-05-31 | 1999-09-02 | Murata Manufacturing Co | Chipförmiger Baustein mit piezoelektrischer Resonanz |
| US5621263A (en) * | 1993-08-09 | 1997-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonance component |
| US5648746A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked diezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| US5689220A (en) * | 1993-08-17 | 1997-11-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Laterally coupled piezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| JP3114526B2 (ja) * | 1994-10-17 | 2000-12-04 | 株式会社村田製作所 | チップ型圧電共振部品 |
| JP4301200B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2009-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
| US7841259B2 (en) * | 2006-12-27 | 2010-11-30 | Baker Hughes Incorporated | Methods of forming bit bodies |
| WO2010096439A1 (en) * | 2009-02-17 | 2010-08-26 | Leversense, Llc | Resonant sensors and methods of use thereof for the determination of analytes |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3634787A (en) * | 1968-01-23 | 1972-01-11 | Westinghouse Electric Corp | Electromechanical tuning apparatus particularly for microelectronic components |
| US3488530A (en) * | 1968-04-22 | 1970-01-06 | North American Rockwell | Piezoelectric microresonator |
| JPS5552621A (en) * | 1978-10-11 | 1980-04-17 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Vertical vibration-type piezo-vibrator |
| DE2939844A1 (de) * | 1978-12-21 | 1980-07-10 | Seiko Instr & Electronics | Quarzschwinger |
| US4654663A (en) * | 1981-11-16 | 1987-03-31 | Piezoelectric Technology Investors, Ltd. | Angular rate sensor system |
| FR2521782A1 (fr) * | 1982-02-16 | 1983-08-19 | Centre Electron Horloger | Resonateur piezoelectrique encastrable |
| US4538461A (en) * | 1984-01-23 | 1985-09-03 | Piezoelectric Technology Investors, Inc. | Vibratory angular rate sensing system |
| JPH0279511A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-20 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| JPH0831765B2 (ja) * | 1988-11-17 | 1996-03-27 | セイコー電子工業株式会社 | 縦水晶振動子 |
| JPH0310509A (ja) * | 1989-06-08 | 1991-01-18 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
-
1991
- 1991-07-10 JP JP3170150A patent/JPH0522070A/ja active Pending
-
1992
- 1992-01-22 US US07/824,013 patent/US5218260A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-22 DE DE69206203T patent/DE69206203T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-22 EP EP92300540A patent/EP0522676B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5218260A (en) | 1993-06-08 |
| DE69206203T2 (de) | 1996-04-18 |
| EP0522676A1 (en) | 1993-01-13 |
| EP0522676B1 (en) | 1995-11-22 |
| DE69206203D1 (de) | 1996-01-04 |
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