JP7577287B1 - Method for producing recycled perfluoro (co)polymer and method for producing recycled material - Google Patents
Method for producing recycled perfluoro (co)polymer and method for producing recycled material Download PDFInfo
- Publication number
- JP7577287B1 JP7577287B1 JP2024054593A JP2024054593A JP7577287B1 JP 7577287 B1 JP7577287 B1 JP 7577287B1 JP 2024054593 A JP2024054593 A JP 2024054593A JP 2024054593 A JP2024054593 A JP 2024054593A JP 7577287 B1 JP7577287 B1 JP 7577287B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- perfluoro
- polymer
- recycled
- crosslinking
- producing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 title claims abstract description 101
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 97
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims abstract description 108
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 21
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 14
- 125000002560 nitrile group Chemical group 0.000 claims description 14
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 23
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 16
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 16
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- -1 alkyl vinyl ether Chemical compound 0.000 description 11
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 11
- 229920006169 Perfluoroelastomer Polymers 0.000 description 9
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 8
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 7
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- RRZIJNVZMJUGTK-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoro-2-(1,2,2-trifluoroethenoxy)ethene Chemical compound FC(F)=C(F)OC(F)=C(F)F RRZIJNVZMJUGTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(prop-2-enyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound C=CCN1C(=O)N(CC=C)C(=O)N(CC=C)C1=O KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N Oxazole Chemical compound C1=COC=N1 ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 5
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 5
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 4
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 description 4
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MSTZGVRUOMBULC-UHFFFAOYSA-N 2-amino-4-[2-(3-amino-4-hydroxyphenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]phenol Chemical compound C1=C(O)C(N)=CC(C(C=2C=C(N)C(O)=CC=2)(C(F)(F)F)C(F)(F)F)=C1 MSTZGVRUOMBULC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 3
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical compound C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- BLTXWCKMNMYXEA-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoro-2-(trifluoromethoxy)ethene Chemical compound FC(F)=C(F)OC(F)(F)F BLTXWCKMNMYXEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole-2-thiol Chemical compound C1=CC=C2SC(S)=NC2=C1 YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YFGKDYFYYPZZLE-UHFFFAOYSA-N 2-anilino-6-sulfanyl-1,3-dihydrotriazine-4-thione Chemical compound N1C(S)=CC(=S)NN1NC1=CC=CC=C1 YFGKDYFYYPZZLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 150000001411 amidrazones Chemical class 0.000 description 2
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- SFZULDYEOVSIKM-UHFFFAOYSA-N chembl321317 Chemical compound C1=CC(C(=N)NO)=CC=C1C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)C(=N)NO)O1 SFZULDYEOVSIKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N ethenoxyethane Chemical compound CCOC=C FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 2
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- WRXCBRHBHGNNQA-UHFFFAOYSA-N (2,4-dichlorobenzoyl) 2,4-dichlorobenzenecarboperoxoate Chemical compound ClC1=CC(Cl)=CC=C1C(=O)OOC(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1Cl WRXCBRHBHGNNQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVQMJJQUGGVLEP-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxy 2-ethylhexaneperoxoate Chemical compound CCCCC(CC)C(=O)OOOC(C)(C)C FVQMJJQUGGVLEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QEQBMZQFDDDTPN-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxy benzenecarboperoxoate Chemical compound CC(C)(C)OOOC(=O)C1=CC=CC=C1 QEQBMZQFDDDTPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXYKVVLTXXXVRT-UHFFFAOYSA-N (4-chlorobenzoyl) 4-chlorobenzenecarboperoxoate Chemical compound C1=CC(Cl)=CC=C1C(=O)OOC(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1 OXYKVVLTXXXVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NOBYOEQUFMGXBP-UHFFFAOYSA-N (4-tert-butylcyclohexyl) (4-tert-butylcyclohexyl)oxycarbonyloxy carbonate Chemical compound C1CC(C(C)(C)C)CCC1OC(=O)OOC(=O)OC1CCC(C(C)(C)C)CC1 NOBYOEQUFMGXBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RIPYNJLMMFGZSX-UHFFFAOYSA-N (5-benzoylperoxy-2,5-dimethylhexan-2-yl) benzenecarboperoxoate Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(C)(C)CCC(C)(C)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 RIPYNJLMMFGZSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLKRGXCGFRXRNQ-SNAWJCMRSA-N (z)-3-carbonoperoxoyl-4,4-dimethylpent-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)/C=C(C(C)(C)C)\C(=O)OO BLKRGXCGFRXRNQ-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 1
- KHXKESCWFMPTFT-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,2,2,3,3-heptafluoro-3-(1,2,2-trifluoroethenoxy)propane Chemical compound FC(F)=C(F)OC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F KHXKESCWFMPTFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NALFRYPTRXKZPN-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(tert-butylperoxy)-3,3,5-trimethylcyclohexane Chemical compound CC1CC(C)(C)CC(OOC(C)(C)C)(OOC(C)(C)C)C1 NALFRYPTRXKZPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZRRRFSJFQTGGB-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-triazinane-2,4,6-trithione Chemical compound S=C1NC(=S)NC(=S)N1 WZRRRFSJFQTGGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPJPKEMZYOAIRN-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(2-methylprop-2-enyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound CC(=C)CN1C(=O)N(CC(C)=C)C(=O)N(CC(C)=C)C1=O MPJPKEMZYOAIRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPJGAEWUPXWFPL-UHFFFAOYSA-N 1-[3-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1=CC=CC(N2C(C=CC2=O)=O)=C1 IPJGAEWUPXWFPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJELTSYBAHKXRW-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-triallyloxy-1,3,5-triazine Chemical compound C=CCOC1=NC(OCC=C)=NC(OCC=C)=N1 BJELTSYBAHKXRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(tert-butylperoxy)-2,5-dimethylhexane Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)CCC(C)(C)OOC(C)(C)C DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JGBAASVQPMTVHO-UHFFFAOYSA-N 2,5-dihydroperoxy-2,5-dimethylhexane Chemical compound OOC(C)(C)CCC(C)(C)OO JGBAASVQPMTVHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylpropan-2-ylperoxy)propan-2-ylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOMSTRJEWDASHF-UHFFFAOYSA-N 2-(cyclohexylamino)-6-sulfanyl-1,3-dihydrotriazine-4-thione Chemical compound N1C(S)=CC(=S)NN1NC1CCCCC1 QOMSTRJEWDASHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXCOSFGSSXUTEZ-UHFFFAOYSA-N 2-(dibutylamino)-6-sulfanyl-1,3-dihydrotriazine-4-thione Chemical compound CCCCN(CCCC)N1NC(S)=CC(=S)N1 HXCOSFGSSXUTEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZOCKHCXCJYKTM-UHFFFAOYSA-N 2-(diethylamino)-6-sulfanyl-1,3-dihydrotriazine-4-thione Chemical compound CCN(CC)N1NC(S)=CC(=S)N1 WZOCKHCXCJYKTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDJBUGDCQMHTSX-UHFFFAOYSA-N 2-(hexylamino)-6-sulfanyl-1,3-dihydrotriazine-4-thione Chemical compound CCCCCCNN1NC(S)=CC(=S)N1 CDJBUGDCQMHTSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KECOIASOKMSRFT-UHFFFAOYSA-N 2-amino-4-(3-amino-4-hydroxyphenyl)sulfonylphenol Chemical compound C1=C(O)C(N)=CC(S(=O)(=O)C=2C=C(N)C(O)=CC=2)=C1 KECOIASOKMSRFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLGOBIIKXFNGQR-UHFFFAOYSA-N 2-amino-4-[9-(3-amino-4-hydroxyphenyl)fluoren-9-yl]phenol Chemical compound C1=C(O)C(N)=CC(C2(C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C32)C=2C=C(N)C(O)=CC=2)=C1 NLGOBIIKXFNGQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPFKVVLZVUUQGV-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(3,4-diaminophenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]benzene-1,2-diamine Chemical compound C1=C(N)C(N)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(N)C(N)=C1 CPFKVVLZVUUQGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQILCMONWYJNFP-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(3-amino-4-anilinophenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]-1-n-phenylbenzene-1,2-diamine Chemical compound NC1=CC(C(C=2C=C(N)C(NC=3C=CC=CC=3)=CC=2)(C(F)(F)F)C(F)(F)F)=CC=C1NC1=CC=CC=C1 GQILCMONWYJNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUWALQFSJIMLKR-UHFFFAOYSA-N 4-[2-[3-amino-4-(benzylamino)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]-1-n-benzylbenzene-1,2-diamine Chemical compound NC1=CC(C(C=2C=C(N)C(NCC=3C=CC=CC=3)=CC=2)(C(F)(F)F)C(F)(F)F)=CC=C1NCC1=CC=CC=C1 QUWALQFSJIMLKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIBKGSSQQAVTLM-UHFFFAOYSA-N 4-[2-[3-amino-4-(ethylamino)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]-1-n-ethylbenzene-1,2-diamine Chemical compound C1=C(N)C(NCC)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(NCC)C(N)=C1 PIBKGSSQQAVTLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JGMQEXIDVPFWHK-UHFFFAOYSA-N 4-[2-[3-amino-4-(methylamino)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]-1-n-methylbenzene-1,2-diamine Chemical compound C1=C(N)C(NC)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(NC)C(N)=C1 JGMQEXIDVPFWHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWSQPRSYFPOVBX-UHFFFAOYSA-N 4-[2-[3-amino-4-(propylamino)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]-1-n-propylbenzene-1,2-diamine Chemical compound C1=C(N)C(NCCC)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(NCCC)C(N)=C1 IWSQPRSYFPOVBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 1
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical group C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- 229920002449 FKM Polymers 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical class CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006057 Non-nutritive feed additive Substances 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical group C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 231100000987 absorbed dose Toxicity 0.000 description 1
- 239000000370 acceptor Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001409 amidines Chemical group 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZTNYDWTDTYXQC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-ynyl) benzene-1,4-dicarboxylate Chemical compound C#CCOC(=O)C1=CC=C(C(=O)OCC#C)C=C1 HZTNYDWTDTYXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N bisphenol AF Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(O)C=C1 ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N di-tert-butyl peroxide Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFZSMODLJJCVPP-UHFFFAOYSA-N dibenzothiazol-2-yl disulfide Chemical compound C1=CC=C2SC(SSC=3SC4=CC=CC=C4N=3)=NC2=C1 AFZSMODLJJCVPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PPSZHCXTGRHULJ-UHFFFAOYSA-N dioxazine Chemical compound O1ON=CC=C1 PPSZHCXTGRHULJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000840 ethylene tetrafluoroethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000010169 landfilling Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920009441 perflouroethylene propylene Polymers 0.000 description 1
- 229920011301 perfluoro alkoxyl alkane Polymers 0.000 description 1
- 125000005062 perfluorophenyl group Chemical group FC1=C(C(=C(C(=C1F)F)F)F)* 0.000 description 1
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- FOWDZVNRQHPXDO-UHFFFAOYSA-N propyl hydrogen carbonate Chemical compound CCCOC(O)=O FOWDZVNRQHPXDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- MHSKRLJMQQNJNC-UHFFFAOYSA-N terephthalamide Chemical compound NC(=O)C1=CC=C(C(N)=O)C=C1 MHSKRLJMQQNJNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNWOTXLVRDKNJA-UHFFFAOYSA-N tert-butylperoxybenzene Chemical compound CC(C)(C)OOC1=CC=CC=C1 PNWOTXLVRDKNJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CRHIAMBJMSSNNM-UHFFFAOYSA-N tetraphenylstannane Chemical compound C1=CC=CC=C1[Sn](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 CRHIAMBJMSSNNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003606 tin compounds Chemical class 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBXWFLISHPUINY-UHFFFAOYSA-N triphenyltin Chemical compound C1=CC=CC=C1[Sn](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 SBXWFLISHPUINY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRPURDFRFHUDSP-UHFFFAOYSA-N tris(prop-2-enyl) benzene-1,2,4-tricarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=C(C(=O)OCC=C)C(C(=O)OCC=C)=C1 GRPURDFRFHUDSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003249 vinylidene fluoride hexafluoropropylene elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000004073 vulcanization Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
【課題】架橋した架橋パーフルオロ（共）重合体の架橋サイトを再生する再生パーフルオロ（共）重合体を製造する方法であって、該架橋サイトを再生する際のパーフルオロ（共）重合体の質量減少を抑制しつつ、簡便な方法で十分に架橋サイトを再生することができる、再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法を提供すること。【解決手段】架橋サイトを有するパーフルオロ（共）重合体が架橋した架橋パーフルオロ（共）重合体を、不活性ガス雰囲気下で熱処理することで、前記架橋サイトを再生する工程を含む、再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法。【選択図】なし[Problem] To provide a method for producing a regenerated perfluoro(co)polymer that regenerates crosslinking sites of a crosslinked crosslinked perfluoro(co)polymer, which can sufficiently regenerate crosslinking sites in a simple manner while suppressing mass loss of the perfluoro(co)polymer when regenerating the crosslinking sites. [Solution] A method for producing a regenerated perfluoro(co)polymer, which includes a step of heat-treating a crosslinked perfluoro(co)polymer obtained by crosslinking a perfluoro(co)polymer having crosslinking sites under an inert gas atmosphere to regenerate the crosslinking sites. [Selected Figure] None
Description
本発明は、再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法および再生材の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing recycled perfluoro (co)polymers and a method for producing recycled materials.
従来より、シール材は、各種用途に幅広く使用されており、これらの用途の中でも、シール材に最も負荷のかかるシール材の用途の一例として、半導体製造装置等に使用されるシール材が挙げられる。 Traditionally, sealing materials have been used in a wide variety of applications, and one example of an application that places the greatest strain on sealing materials is that used in semiconductor manufacturing equipment.
このようなシール材としては、耐プラズマ性や耐ラジカル性に優れるシール材を得ることができることから、フルオロエラストマー（ＦＫＭ）や、パーフルオロエラストマー（ＦＦＫＭ）などの架橋性フルオロエラストマーが使用されており、特に高温や過酷な化学薬品が使用される場合等においては、ＦＦＫＭが使用されている。 Cross-linkable fluoroelastomers such as fluoroelastomers (FKM) and perfluoroelastomers (FFKM) are used as such sealing materials because they have excellent plasma resistance and radical resistance, and FFKM is used in particular when high temperatures or harsh chemicals are used.
前記のような架橋性フルオロエラストマー製のシール材は、通常、該架橋性フルオロエラストマーに、架橋剤や架橋助剤などの添加剤を配合して得られたエラストマー組成物を用い、このエラストマー組成物を成形、架橋することでシール材として使用されている。 Sealing materials made of crosslinkable fluoroelastomers as described above are usually made by blending additives such as a crosslinking agent and a crosslinking aid with the crosslinkable fluoroelastomer to produce an elastomer composition, which is then molded and crosslinked to form the sealing material.
前記シール材は、一般の成形品と同様に、成形時の屑（バリ）や不良品、使用済の成形品等の処理が必要になることがある。しかしながら、架橋したフルオロエラストマーは、その優れた特性がかえって化学的処理等の妨げとなり、また、燃焼させると腐食性分解物を生じ、サーマルリサイクルも容易ではないことから、これまでは埋め立て等により廃棄していた。 As with general molded products, the above-mentioned sealing materials may require disposal of molding waste (burrs), defective products, used molded products, etc. However, the excellent properties of crosslinked fluoroelastomers actually hinder chemical processing, and they produce corrosive decomposition products when burned, making thermal recycling difficult. Therefore, they have traditionally been disposed of by landfilling, etc.
しかし、近年、埋め立て量の削減等による環境保護、資源の有効活用等に対する高意識化に伴い、従来廃棄していた架橋フルオロエラストマーを再利用する方法の開発が要求されている。 However, in recent years, with growing awareness of environmental protection through the reduction of landfill waste and the efficient use of resources, there is a demand for the development of methods to reuse crosslinked fluoroelastomers that were previously discarded.
このような架橋フルオロエラストマーを再利用する方法として、例えば、特許文献１には、架橋された含フッ素ポリマーを、活性水素を有する化合物の超臨界流体または亜臨界流体中で脱架橋する方法が開示されている。
また、特許文献２には、加硫フッ素ゴムを空気中で加熱処理する方法が開示されている。
As a method for reusing such crosslinked fluoroelastomers, for example, Patent Document 1 discloses a method in which a crosslinked fluoropolymer is decrosslinked in a supercritical fluid or subcritical fluid of a compound having active hydrogen.
Moreover, Patent Document 2 discloses a method of heat treating vulcanized fluororubber in air.
しかし、超臨界流体または亜臨界流体を用いる前記特許文献１に記載の方法は、処理が容易ではなく、簡便に実施することができないため改良の余地があった。
また、本発明者が鋭意検討した結果、前記特許文献２に記載の方法では、加硫フッ素ゴムの脱加硫（架橋サイトの再生）が十分に起こらず、また、前記加熱処理により加硫フッ素ゴムの分解等が起こり、加熱処理前後のフッ素ゴムの質量減少率が大きくなることが分かった。
However, the method described in Patent Document 1, which uses a supercritical fluid or a subcritical fluid, is not easy to process and cannot be carried out conveniently, so there is room for improvement.
Furthermore, as a result of intensive research by the present inventors, it has been found that the method described in Patent Document 2 does not sufficiently devulcanize the vulcanized fluororubber (regenerate crosslinking sites), and that the heat treatment causes decomposition of the vulcanized fluororubber, resulting in a large mass loss rate of the fluororubber before and after the heat treatment.
本発明は以上のことに鑑みてなされた発明であり、架橋した架橋パーフルオロ（共）重合体の架橋サイトを再生する再生パーフルオロ（共）重合体を製造する方法であって、該架橋サイトを再生する際のパーフルオロ（共）重合体の質量減少を抑制しつつ、簡便な方法で十分に架橋サイトを再生することができる、再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above, and aims to provide a method for producing a regenerated perfluoro(co)polymer that regenerates the crosslinking sites of a crosslinked crosslinked perfluoro(co)polymer, and that can sufficiently regenerate the crosslinking sites in a simple manner while suppressing the mass loss of the perfluoro(co)polymer when regenerating the crosslinking sites.
本発明者が、前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、下記構成例によれば、前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成した。
本発明の構成例は以下の通りである。
As a result of intensive research by the present inventors to solve the above problems, they found that the above problems can be solved by the following configuration examples, and completed the present invention.
A configuration example of the present invention is as follows.
［１］ 架橋サイトを有するパーフルオロ（共）重合体が架橋した架橋パーフルオロ（共）重合体を、不活性ガス雰囲気下で熱処理することで、前記架橋サイトを再生する工程を含む、再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法。 [1] A method for producing a regenerated perfluoro(co)polymer, comprising a step of heat-treating a crosslinked perfluoro(co)polymer obtained by crosslinking a perfluoro(co)polymer having crosslinking sites under an inert gas atmosphere to regenerate the crosslinking sites.
［２］ 前記架橋サイトがニトリル基である、［１］に記載の再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法。 [2] The method for producing a recycled perfluoro (co)polymer according to [1], wherein the crosslinking site is a nitrile group.
［３］ 前記不活性ガスが、窒素ガス、アルゴンガスおよびヘリウムガスから選ばれる少なくとも１種である、［１］または［２］に記載の再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法。 [3] The method for producing a recycled perfluoro (co)polymer according to [1] or [2], wherein the inert gas is at least one selected from nitrogen gas, argon gas, and helium gas.
［４］ 前記架橋サイトを有するパーフルオロ（共）重合体が、該（共）重合体の主鎖に炭素－水素結合を含まない（共）重合体である、［１］～［３］のいずれかに記載の再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法。 [4] The method for producing a recycled perfluoro (co)polymer according to any one of [1] to [3], wherein the perfluoro (co)polymer having the crosslinking site is a (co)polymer that does not contain a carbon-hydrogen bond in the main chain of the (co)polymer.
［５］ ［１］～［４］のいずれかに記載の再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法で得られた再生パーフルオロ（共）重合体を含む再生材形成材料を架橋する工程を含む、再生材の製造方法。 [5] A method for producing a recycled material, comprising a step of crosslinking a recycled material-forming material containing a recycled perfluoro(co)polymer obtained by the method for producing a recycled perfluoro(co)polymer described in any one of [1] to [4].
［６］ 前記再生材形成材料が架橋剤をさらに含む、［５］に記載の再生材の製造方法。 [6] The method for producing a recycled material according to [5], wherein the recycled material-forming material further contains a crosslinking agent.
［７］ 前記再生材形成材料が、未架橋パーフルオロ（共）重合体をさらに含む、［５］または［６］に記載の再生材の製造方法。 [7] The method for producing a recycled material according to [5] or [6], wherein the recycled material-forming material further contains an uncrosslinked perfluoro (co)polymer.
［８］ 前記再生材形成材料中の前記再生パーフルオロ（共）重合体の含有量が、未架橋パーフルオロ（共）重合体１００質量部に対し、０．５質量部以上である、［７］に記載の再生材の製造方法。 [8] The method for producing a recycled material according to [7], wherein the content of the recycled perfluoro (co)polymer in the recycled material-forming material is 0.5 parts by mass or more per 100 parts by mass of uncrosslinked perfluoro (co)polymer.
［９］ 前記再生材がシール材である、［５］～［８］のいずれかに記載の再生材の製造方法。 [9] The method for producing a recycled material according to any one of [5] to [8], wherein the recycled material is a sealing material.
本発明によれば、架橋した架橋パーフルオロ（共）重合体の架橋サイトを再生するにあたり、該架橋サイトを再生する際のパーフルオロ（共）重合体の質量減少を抑制しつつ、簡便な方法で十分に架橋パーフルオロ（共）重合体の架橋サイトを再生することができる。
このように、質量減少を抑制しつつ、十分に架橋パーフルオロ（共）重合体の架橋サイトを再生することができるため、得られる再生パーフルオロ（共）重合体を用いても、バージン品（未架橋パーフルオロ（共）重合体）を用いた場合と同程度の物性（硬度、引張強さ、破断時伸び、圧縮永久ひずみおよび耐プラズマ性）を有する成形体（再生材）を形成することができる。
このため、該再生材は、半導体製造装置用シール材、プラズマ処理装置用シール材等として好適に使用することができる。
According to the present invention, when regenerating the crosslinking sites of a crosslinked crosslinked perfluoro(co)polymer, the crosslinking sites of the crosslinked perfluoro(co)polymer can be sufficiently regenerated by a simple method while suppressing the mass loss of the perfluoro(co)polymer when regenerating the crosslinking sites.
In this way, the crosslinking sites of the crosslinked perfluoro(co)polymer can be sufficiently regenerated while suppressing mass loss, so that even when the resulting regenerated perfluoro(co)polymer is used, a molded product (regenerated material) having physical properties (hardness, tensile strength, elongation at break, compression set, and plasma resistance) comparable to those of a virgin product (uncrosslinked perfluoro(co)polymer) can be formed.
Therefore, the recycled material can be suitably used as a sealing material for semiconductor manufacturing equipment, a sealing material for plasma processing equipment, etc.
≪再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法≫
本発明に係る再生パーフルオロ（共）重合体（以下「本再生品」ともいう。）の製造方法（以下「本再生品の製法」ともいう。）は、架橋サイトを有するパーフルオロ（共）重合体が架橋した架橋パーフルオロ（共）重合体（以下「被再生品」ともいう。）を、不活性ガス雰囲気下で熱処理することで、前記架橋サイトを再生する工程を含む。
<Production method of recycled perfluoro (co)polymer>
The method for producing a recycled perfluoro(co)polymer (hereinafter also referred to as "the recycled product") according to the present invention (hereinafter also referred to as "the method for producing the recycled product") includes a step of heat-treating a crosslinked perfluoro(co)polymer (hereinafter also referred to as "the regenerated product") in an inert gas atmosphere, thereby regenerating the crosslinked sites.
被再生品に架橋サイトが再生したか否かは、例えば、ＦＴ－ＩＲを用いて、被再生品中の架橋サイトの量と、得られた再生品中の架橋サイトの量とを測定することで判断することができる。
本再生品の製法は、得られた再生品を用いて所望の物性を有する再生材を容易に形成することができる等の点から、被再生品中の架橋サイトの含有量を１００％とした場合に、得られる再生品中の架橋サイトの含有量が、好ましくは１５０％以上、より好ましくは２００％以上となるような方法であることが望ましい。
前記架橋サイトの含有量は、ＦＴ－ＩＲを用い、具体的には下記実施例に記載の方法で測定することができる。
Whether or not crosslinking sites have been regenerated in the regenerated product can be determined, for example, by using FT-IR to measure the amount of crosslinking sites in the regenerated product and the amount of crosslinking sites in the obtained regenerated product.
In view of the fact that the obtained recycled product can be used to easily form a recycled material having desired physical properties, it is desirable for the method for producing the recycled product to be such that, when the content of crosslinking sites in the recycled product is taken as 100%, the content of crosslinking sites in the obtained recycled product is preferably 150% or more, more preferably 200% or more.
The content of the crosslinking sites can be measured by using FT-IR, specifically, by the method described in the examples below.
また、本再生品の製法は、得られた再生品を用いて所望の物性を有する再生材を容易に形成することができる等の点から、前記熱処理による質量減少率、具体的には、下記式（１）で表される質量減少率が、好ましくは２％以下、より好ましくは１％以下となるような方法であることが望ましい。
質量減少率（％）＝[（被再生品の質量－本再生品の質量）／被再生品の質量]×１００ ・・・（１）
In addition, since the method for producing the present recycled product can easily form a recycled material having desired physical properties using the obtained recycled product, it is desirable that the mass reduction rate due to the heat treatment, specifically the mass reduction rate represented by the following formula (1), is preferably 2% or less, more preferably 1% or less.
Mass reduction rate (%) = [(mass of recycled product - mass of main recycled product)/mass of recycled product] x 100 ... (1)
＜被再生品＞
前記被再生品は、架橋サイトを有するパーフルオロ（共）重合体（以下「未架橋パーフルオロ（共）重合体」ともいう。）が架橋した架橋パーフルオロ（共）重合体であって、例えば、従来の未架橋パーフルオロ（共）重合体（バージン品）を用いて形成されたシール材などの（未使用）成形体、その成形体の製造時に生じた屑（バリ）や不良品、使用済の成形体などに含まれる架橋パーフルオロ（共）重合体が挙げられる。
前記使用済み成形体としては、半導体製造装置で使用された使用済み成形体だけでなく、化学プラント、各種産業機器などで使用された使用済み成形体等も挙げられる。
本再生品の製法において、熱処理に供される原料としては、前記架橋パーフルオロ（共）重合体自体を用いてもよく、前記（未使用）成形体、前記屑（バリ）や不良品、前記使用済の成形体を用いてもよい。
<Remanufactured products>
The regenerated product is a crosslinked perfluoro(co)polymer obtained by crosslinking a perfluoro(co)polymer having crosslinking sites (hereinafter also referred to as "uncrosslinked perfluoro(co)polymer"). Examples of the crosslinked perfluoro(co)polymer include (unused) molded products such as sealing materials formed using a conventional uncrosslinked perfluoro(co)polymer (virgin product), scraps (burrs) or defective products generated during the production of such molded products, and crosslinked perfluoro(co)polymers contained in used molded products.
The used compacts include not only those used in semiconductor manufacturing equipment, but also those used in chemical plants, various industrial equipment, and the like.
In the present method for producing recycled products, the raw material to be subjected to heat treatment may be the crosslinked perfluoro (co)polymer itself, the (unused) molded body, the scraps (burrs) or defective products, or the used molded body.
前記被再生品における架橋パーフルオロ（共）重合体は、下記未架橋パーフルオロ（共）重合体（バージン品）を従来公知の方法で架橋した架橋体である。
前記従来公知の方法としては、架橋剤を用いた架橋が挙げられ、該架橋剤としては、用いる未架橋パーフルオロ（共）重合体に応じて適宜選択すればよいが、例えば、パーオキサイド系架橋剤、ビスフェノール系架橋剤、トリアジン系架橋剤、オキサゾール系架橋剤、イミダゾール系架橋剤、チアゾール系架橋剤、アミドキシム系架橋剤、アミドラゾン系架橋剤が挙げられる。つまり、前記被再生品としては、これらの架橋剤に由来する架橋構造およびこれらの架橋構造を形成する際の中間体構造（例：オキサゾール構造を形成する際のアミジン構造）から選ばれる少なくとも１種の架橋構造を有する架橋パーフルオロ（共）重合体が挙げられる。
なお、前記被再生品における架橋の程度は特に制限されず、シール材などの成形体を形成する際と同程度の架橋の程度であればよい。
The crosslinked perfluoro(co)polymer in the regenerated product is a crosslinked product obtained by crosslinking the below-mentioned uncrosslinked perfluoro(co)polymer (virgin product) by a conventionally known method.
The conventionally known method includes crosslinking using a crosslinking agent, and the crosslinking agent can be appropriately selected according to the uncrosslinked perfluoro (co)polymer used, and can include, for example, peroxide-based crosslinking agent, bisphenol-based crosslinking agent, triazine-based crosslinking agent, oxazole-based crosslinking agent, imidazole-based crosslinking agent, thiazole-based crosslinking agent, amidoxime-based crosslinking agent, and amidrazone-based crosslinking agent.In other words, the regenerated product can include at least one crosslinking structure selected from the crosslinking structures derived from these crosslinking agents and the intermediate structures (e.g., amidine structures when forming oxazole structures) when forming these crosslinking structures.
The degree of crosslinking in the recycled product is not particularly limited, and it is sufficient that the degree of crosslinking is the same as that when a molding such as a sealing material is formed.
［未架橋パーフルオロ（共）重合体］
前記未架橋パーフルオロ（共）重合体は、架橋前の、架橋サイトを有するパーフルオロ（共）重合体であり、「バージン品」ということもできる。
前記未架橋パーフルオロ（共）重合体としては、パーフルオロエラストマー（ＦＦＫＭ）が好ましい。
該ＦＦＫＭとしては特に制限されないが、ポリマー主鎖（末端を除く）中に水素原子（炭素－水素結合）を含まないポリマーが好ましく、具体的には、架橋サイトを有するテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）－パーフルオロビニルエーテル系共重合体が挙げられ、ＴＦＥ由来の構成単位と、パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位とを含み、さらに必要により架橋サイト含有モノマー由来の構成単位を含む共重合体が好ましい。
[Uncrosslinked perfluoro (co)polymer]
The uncrosslinked perfluoro(co)polymer is a perfluoro(co)polymer having crosslinking sites before crosslinking, and can also be called a "virgin product."
The uncrosslinked perfluoro (co)polymer is preferably a perfluoroelastomer (FFKM).
The FFKM is not particularly limited, but is preferably a polymer that does not contain a hydrogen atom (carbon-hydrogen bond) in the polymer main chain (excluding the terminals), and specifically includes a tetrafluoroethylene (TFE)-perfluorovinyl ether copolymer having a crosslinking site, and is preferably a copolymer that contains a constitutional unit derived from TFE and a constitutional unit derived from a perfluorovinyl ether, and further contains a constitutional unit derived from a crosslinking site-containing monomer as necessary.
前記パーフルオロビニルエーテルの好適例としては、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）、パーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）が挙げられる。 Suitable examples of the perfluorovinyl ether include perfluoro(alkyl vinyl ether) and perfluoro(alkoxyalkyl vinyl ether).
前記パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）としては、該アルキル基の炭素数が、例えば、１～１０である化合物が挙げられ、具体的には、パーフルオロ（メチルビニルエーテル）、パーフルオロ（エチルビニルエーテル）、パーフルオロ（プロピルビニルエーテル）等が挙げられ、好ましくはパーフルオロ（メチルビニルエーテル）である。 The perfluoro(alkyl vinyl ether) may be a compound in which the alkyl group has, for example, 1 to 10 carbon atoms. Specific examples include perfluoro(methyl vinyl ether), perfluoro(ethyl vinyl ether), and perfluoro(propyl vinyl ether), with perfluoro(methyl vinyl ether) being preferred.
前記パーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）としては、ビニルエーテル基（ＣＦ2＝ＣＦＯ－）に結合する基の炭素数が、例えば、３～１５である化合物が挙げられ、具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
ＣＦ2＝ＣＦＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）ＯＣnＦ2n+1
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2）3ＯＣnＦ2n+1
ＣＦ2＝ＣＦＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ（ＣＦ2Ｏ）mＣnＦ2n+1
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2）2ＯＣnＦ2n+1
これらの式において、ｎはそれぞれ独立に、例えば１～５であり、ｍは、例えば１～３である。
The perfluoro(alkoxyalkyl vinyl ether) may be a compound having, for example, 3 to 15 carbon atoms in the group bonded to the vinyl ether group (CF 2 ═CFO—), and specific examples include the following compounds.
CF 2 =CFOCF 2 CF(CF 3 )OC n F 2n+1
CF 2 =CFO(CF 2 ) 3 OC n F 2n+1
CF 2 =CFOCF 2 CF(CF 3 )O(CF 2 O) m C n F 2n+1
CF 2 =CFO(CF 2 ) 2 OC n F 2n+1
In these formulas, n is, independently, for example, 1 to 5; m is, for example, 1 to 3.
前記架橋サイトとは、架橋反応可能な部位を意味し、例えば、ニトリル基、ハロゲン原子（例：Ｉ、Ｂｒ）、パーフルオロフェニル基が挙げられ、これらの中でも、本発明の効果がより発揮される等の点からニトリル基が好ましい。 The crosslinking site means a site capable of undergoing a crosslinking reaction, and examples of such sites include a nitrile group, a halogen atom (e.g., I, Br), and a perfluorophenyl group. Among these, a nitrile group is preferred because it enhances the effects of the present invention.
架橋サイトとしてニトリル基を有する架橋サイトモノマーとしては、例えば、ニトリル基含有パーフルオロビニルエーテルが挙げられ、具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2）nＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＮ（ｎは、例えば２～４）
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2）nＣＮ（ｎは、例えば２～１２）
ＣＦ2＝ＣＦＯ［ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ］m（ＣＦ2）nＣＮ（ｎは、例えば１～４、ｍは、例えば１～５）
ＣＦ2＝ＣＦＯ［ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ］nＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）ＣＮ（ｎは、例えば０～４）
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＣＮ（ｎは、例えば１～８の整数）
ＣＦ2＝ＣＦＣＦ2（ＯＣＦ2）nＣＮ（ｎは、例えば０～５の整数）
ＣＦ2＝ＣＦＣＦ2（ＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2）m－ＣＮ（ｍは、例えば０～５の整数、ｎは、例えば０～５の整数）
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3））mＯ（ＣＦ2）n－ＣＮ（ｍは、例えば０～５の整数、ｎは、例えば１～８の整数）
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3））m－ＣＮ（ｍは、例えば１～５の整数）
ＣＦ2＝ＣＦＯＣＦ2（ＣＦ（ＣＦ3）ＯＣＦ2）nＣＦ（－ＣＮ）ＣＦ3（ｎは、例えば１～４の整数）
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2）nＯＣＦ（ＣＦ3）－ＣＮ（ｎは、例えば２～５の整数）
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3））nＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）－ＣＮ（ｎは、例えば１～２の整数）
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ）m（ＣＦ2）n－ＣＮ（ｍは、例えば０～５の整数、ｎは、例えば１～３の整数）
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ）mＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）－ＣＮ（ｍは０以上の整数）
ＣＦ2＝ＣＦＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ（ＣＦ2）n－ＣＮ（ｎは１以上の整数）
ＣＦ2＝ＣＦＯＣＦ2ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）ＯＣＦ2－ＣＮ
Examples of crosslinking site monomers having a nitrile group as a crosslinking site include nitrile group-containing perfluorovinyl ethers, and specific examples thereof include the following compounds.
CF2 =CFO( CF2 ) nOCF ( CF3 )CN (n is, for example, 2 to 4)
CF2 =CFO( CF2 ) nCN (n is, for example, 2 to 12)
CF2 =CFO[ CF2CF ( CF3 )O] m ( CF2 ) nCN (n is, for example, 1 to 4, m is, for example, 1 to 5)
CF2 =CFO[ CF2CF ( CF3 )O] nCF2CF ( CF3 )CN (n is , for example, 0 to 4)
CF2 =CF( CF2 ) nCN (n is, for example, an integer of 1 to 8)
CF2 = CFCF2 ( OCF2 ) nCN (n is, for example, an integer of 0 to 5)
CF 2 ═CFCF 2 (OCF(CF 3 )CF 2 ) m —CN (m is, for example, an integer of 0 to 5, and n is, for example, an integer of 0 to 5)
CF2 =CF( OCF2CF ( CF3 )) mO ( CF2 ) n -CN (m is, for example, an integer of 0 to 5, and n is, for example, an integer of 1 to 8)
CF 2 ═CF(OCF 2 CF(CF 3 )) m —CN (wherein m is, for example, an integer of 1 to 5)
CF2 = CFOCF2 (CF( CF3 ) OCF2 ) nCF (-CN) CF3 (n is, for example, an integer of 1 to 4)
CF2 =CFO( CF2 ) nOCF ( CF3 )-CN (n is, for example, an integer of 2 to 5)
CF2 =CF( OCF2CF ( CF3 )) nOCF2CF ( CF3 )-CN (n is, for example, an integer of 1 to 2)
CF2 =CFO( CF2CF ( CF3 )O) m ( CF2 ) n -CN (m is, for example, an integer of 0 to 5, and n is, for example, an integer of 1 to 3)
CF2 =CFO( CF2CF ( CF3 )O) mCF2CF ( CF3 )-CN (m is an integer of 0 or more)
CF2 =CFOCF( CF3 ) CF2O ( CF2 ) n -CN (n is an integer of 1 or more)
CF 2 =CFOCF 2 OCF 2 CF(CF 3 )OCF 2 -CN
架橋サイトとしてハロゲン原子を有する架橋サイト含有モノマーとしては、例えば、ハロゲン基含有パーフルオロビニルエーテルが挙げられ、具体的には、前述のニトリル基含有パーフルオロビニルエーテルの具体例において、ニトリル基をハロゲン原子に置き換えた化合物等が挙げられる。また、ハロゲン原子を有する架橋サイト含有モノマーとしては、例えば、国際公開第２００９／１１９４０９号、特開２００２－９７３２９号公報や特開２００８－５６７３９号公報に記載の化合物も挙げられる。 Examples of crosslinking site-containing monomers having halogen atoms as crosslinking sites include halogen group-containing perfluorovinyl ethers, and specifically, compounds in which the nitrile groups in the specific examples of nitrile group-containing perfluorovinyl ethers described above are replaced with halogen atoms. In addition, examples of crosslinking site-containing monomers having halogen atoms include the compounds described in WO 2009/119409, JP 2002-97329 A, and JP 2008-56739 A.
ＦＦＫＭにおける、ＴＦＥ由来の構成単位の含有量は、好ましくは５０．０～７９．９モル％、パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位の含有量は、好ましくは２０．０～４６．９モル％、架橋サイト含有モノマー由来の構成単位の含有量は、好ましくは０．１～２．０モル％である。 In FFKM, the content of TFE-derived structural units is preferably 50.0 to 79.9 mol%, the content of perfluorovinyl ether-derived structural units is preferably 20.0 to 46.9 mol%, and the content of crosslinking site-containing monomer-derived structural units is preferably 0.1 to 2.0 mol%.
＜熱処理条件等＞
本再生品の製法における熱処理は、不活性ガス雰囲気下で行うことを特徴とする。
熱処理を不活性ガス雰囲気下で行うことで、被再生品から再生品を得る際に、被再生品の分解等を抑制することができ、質量減少を抑制することができ、さらに、架橋サイトの再生量が多い本再生品を容易に得ることができる。
<Heat treatment conditions, etc.>
The heat treatment in the method for producing the regenerated product is characterized by being carried out in an inert gas atmosphere.
By carrying out the heat treatment under an inert gas atmosphere, decomposition of the regenerated product can be suppressed when obtaining a regenerated product from the regenerated product, mass loss can be suppressed, and a regenerated product with a large amount of regenerated crosslinking sites can be easily obtained.
前記不活性ガスの具体例としては、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガスが挙げられ、これらの中でも窒素ガスが好ましい。
前記不活性ガスは、１種を用いてもよく、２種以上を用いてもよい。
前記不活性ガスは、本発明の効果がより発揮される等の点から、酸素が含まれていないガスであるか、酸素を少量含むガスであることが好ましい。
該酸素を少量含むガスとしては、酸素の含有量が多いと被再生品の熱分解が進行しやすいため、酸素の含有量が、全体に対し、好ましくは５体積％未満、より好ましくは３体積％以下、さらに好ましくは１体積％以下であるガスであることが望ましい。
Specific examples of the inert gas include nitrogen gas, argon gas, and helium gas, and among these, nitrogen gas is preferable.
The inert gas may be used alone or in combination of two or more kinds.
In order to more effectively exert the effects of the present invention, the inert gas is preferably a gas that does not contain oxygen or a gas that contains a small amount of oxygen.
As for the gas containing a small amount of oxygen, since a high oxygen content makes it easier for the thermal decomposition of the product to progress, it is desirable for the oxygen content to be less than 5% by volume, more preferably 3% by volume or less, and even more preferably 1% by volume or less, relative to the total.
前記熱処理の際の温度および時間としては、被再生品に架橋サイトが再生するような温度および時間であれば特に制限されない。
前記熱処理の際の温度としては、通常、前記未架橋パーフルオロ（共）重合体（バージン品）を従来公知の方法で架橋する際の温度を超える温度であり、好ましくは３００～４００℃、より好ましくは３２０～３９０℃、さらに好ましくは３５０～３８０℃である。
前記熱処理の際の時間としては、熱処理温度にもよるが、好ましくは３０分～５時間、より好ましくは１～３時間である。
前記熱処理の際の圧力は特に制限されないが、常圧下で行なうことが好ましい。
The temperature and time during the heat treatment are not particularly limited as long as they are such that crosslinking sites are regenerated in the regenerated product.
The temperature in the heat treatment is usually a temperature exceeding the temperature in crosslinking the uncrosslinked perfluoro (co)polymer (virgin product) by a conventionally known method, and is preferably 300 to 400°C, more preferably 320 to 390°C, and even more preferably 350 to 380°C.
The time for the heat treatment varies depending on the heat treatment temperature, but is preferably 30 minutes to 5 hours, more preferably 1 to 3 hours.
The pressure during the heat treatment is not particularly limited, but it is preferable to carry out the heat treatment under normal pressure.
≪再生材の製造方法≫
本発明に係る再生材の製造方法（以下「本再生材の製法」ともいう。）は、前記本再生品の製法で得られた本再生品を含む再生材形成材料を架橋する工程を含む。
本再生材の製法では、不活性ガス雰囲気下で熱処理を行って得られた再生品を用いることで、例えば、空気中で熱処理を行って得られた再生品を用いる場合に比べ、特に耐プラズマ性に優れる再生材を形成することができる。
<Recycled material manufacturing method>
The method for producing a recycled material according to the present invention (hereinafter also referred to as the "method for producing the recycled material") includes a step of crosslinking a recycled material-forming material including the recycled product obtained by the method for producing the recycled product.
In the manufacturing method of this recycled material, a recycled product obtained by heat treatment under an inert gas atmosphere is used, making it possible to form a recycled material that has particularly excellent plasma resistance compared to, for example, a case in which a recycled product obtained by heat treatment in air is used.
＜再生材形成材料＞
前記再生材形成材料は、本再生品を含めば特に制限されず、実質的に本再生品のみからなる材料であってもよいが、必要に応じて、シール材等の成形体に配合されてきた従来公知のその他の成分を含んでいてもよい。
該その他の成分としては、例えば、未架橋パーフルオロ（共）重合体（バージン品）；架橋剤；架橋助剤；エチレン性不飽和結合含有化合物；分子中に２個以上のヒドロシリル基を有する反応性有機珪素化合物；パーフルオロポリエーテル；フッ素オイルなどの非粘着剤；触媒；ポリオール系化合物；前記パーフルオロ（共）重合体以外の（共）重合体（例：フッ素樹脂）；酸化マグネシウム、水酸化カルシウム等の受酸剤；アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジオキサジン系顔料等の有機顔料；加工助剤；加硫促進剤；老化防止剤；酸化防止剤；無機充填材；有機充填材；が挙げられる。
前記その他の成分はそれぞれ、１種のみを用いてもよいし、２種以上を用いてもよい。
<Recycled material forming materials>
The recycled material-forming material is not particularly limited as long as it contains the present recycled product, and may be a material consisting essentially of the present recycled product, but may also contain other components that have been conventionally known and have been blended into molded bodies such as sealing materials, if necessary.
Examples of such other components include uncrosslinked perfluoro (co)polymers (virgin products); crosslinking agents; crosslinking aids; compounds containing ethylenically unsaturated bonds; reactive organosilicon compounds having two or more hydrosilyl groups in the molecule; perfluoropolyethers; non-adhesive agents such as fluorine oils; catalysts; polyol-based compounds; (co)polymers other than the above-mentioned perfluoro (co)polymers (e.g., fluororesins); acid acceptors such as magnesium oxide and calcium hydroxide; organic pigments such as anthraquinone-based pigments, perylene-based pigments, and dioxazine-based pigments; processing aids; vulcanization accelerators; antioxidants; antioxidants; inorganic fillers; and organic fillers.
The other components may each be used alone or in combination of two or more.
［本再生品］
前記再生材形成材料に用いる本再生品は、１種でもよく、２種以上でもよい。
本再生品の使用量は、環境保護および資源の有効活用の点、ならびに、所望の物性を有する再生材を容易に形成することができる点のバランスを考慮すると、前記再生材形成材料１００質量％に対し、好ましくは０．５～６０質量％、より好ましくは１～５０質量％、さらに好ましくは１０～４０質量％である。
また、前記再生材形成材料に未架橋パーフルオロ（共）重合体を用いる場合、本再生品の使用量は、所望の物性を有する再生材を容易に形成することができる等の点から、未架橋パーフルオロ（共）重合体１００質量部に対し、好ましくは０．５質量部以上、より好ましくは０．５～９０質量部、さらに好ましくは１～８０質量部、特に好ましくは１０～７０質量部である。
[Remanufactured product]
The recycled product used for the recycled material forming material may be one type or two or more types.
Considering the balance between environmental protection, effective utilization of resources, and the ease of forming a recycled material having desired physical properties, the amount of the recycled product used is preferably 0.5 to 60% by mass, more preferably 1 to 50% by mass, and even more preferably 10 to 40% by mass, relative to 100% by mass of the recycled material-forming material.
Furthermore, when an uncrosslinked perfluoro(co)polymer is used as the recycled material-forming material, the amount of this recycled product used is preferably 0.5 parts by mass or more, more preferably 0.5 to 90 parts by mass, even more preferably 1 to 80 parts by mass, and particularly preferably 10 to 70 parts by mass, per 100 parts by mass of uncrosslinked perfluoro(co)polymer, from the viewpoint of easily forming a recycled material having desired physical properties, etc.
［未架橋パーフルオロ（共）重合体］
前記再生材形成材料には、成形加工性に優れる再生材形成材料を容易に得ることができ、所望の物性（硬度、引張強さ、破断時伸び、圧縮永久ひずみおよび耐プラズマ性）を有する再生材を容易に形成することができる等の点から、未架橋パーフルオロ（共）重合体（バージン品）を用いることが好ましい。
前記未架橋パーフルオロ（共）重合体としては、前記被再生品の欄に記載の未架橋パーフルオロ（共）重合体と同様の（共）重合体が挙げられる。
なお、前記未架橋パーフルオロ（共）重合体としては、前記再生材形成材料に用いる本再生品に含まれる架橋サイトと異なる架橋サイトを有するパーフルオロ（共）重合体を用いてもよいが、前記再生材形成材料に用いる本再生品に含まれる架橋サイトと同様の架橋サイトを有するパーフルオロ（共）重合体を用いることが好ましい。
[Uncrosslinked perfluoro (co)polymer]
It is preferable to use an uncrosslinked perfluoro (co)polymer (virgin product) as the recycled material-forming material, since a recycled material-forming material with excellent moldability can be easily obtained and a recycled material having desired physical properties (hardness, tensile strength, elongation at break, compression set and plasma resistance) can be easily formed.
Examples of the uncrosslinked perfluoro (co)polymer include the same (co)polymers as the uncrosslinked perfluoro (co)polymers described in the section of the regenerated product.
As the uncrosslinked perfluoro(co)polymer, a perfluoro(co)polymer having a crosslinking site different from the crosslinking site contained in the present recycled product used in the recycled material-forming material may be used, but it is preferable to use a perfluoro(co)polymer having a crosslinking site similar to the crosslinking site contained in the present recycled product used in the recycled material-forming material.
前記再生材形成材料に未架橋パーフルオロ（共）重合体を用いる場合、該未架橋パーフルオロ（共）重合体の使用量は、所望の物性を有する再生材を容易に形成することができる等の点から、前記再生材形成材料１００質量％に対し、好ましくは４０～９９．５質量％、より好ましくは５０～９９質量％、さらに好ましくは５０～９０質量％である。 When an uncrosslinked perfluoro (co)polymer is used as the recycled material-forming material, the amount of the uncrosslinked perfluoro (co)polymer used is preferably 40 to 99.5% by mass, more preferably 50 to 99% by mass, and even more preferably 50 to 90% by mass, relative to 100% by mass of the recycled material-forming material, in order to easily form a recycled material having the desired physical properties.
［架橋剤］
前記再生材形成材料は、架橋剤を用いなくても架橋させることはできるが、十分に架橋し、硬度、引張強さ、切断時伸び、および、１００％伸びにおける引張応力（１００％Ｍｏ）にバランスよく優れる再生材を容易に形成することができる等の点から、前記再生材形成材料には、用いる本再生品や未架橋パーフルオロ（共）重合体の種類に応じた架橋剤を用いることが好ましい。
[Crosslinking agent]
The recycled material-forming material can be crosslinked without using a crosslinking agent, but it is preferable to use a crosslinking agent appropriate to the type of recycled product or uncrosslinked perfluoro (co)polymer used for the recycled material-forming material, since it is possible to easily form a recycled material that is sufficiently crosslinked and has a good balance of excellent hardness, tensile strength, elongation at break, and tensile stress at 100% elongation (100% Mo).
前記架橋剤としては、例えば、特許第５２７８３１２号公報に記載の架橋剤などの従来より公知の架橋剤を特に制限なく使用することができ、具体例としては、パーオキサイド系架橋剤、ビスフェノール系架橋剤、トリアジン系架橋剤、オキサゾール系架橋剤、イミダゾール系架橋剤、チアゾール系架橋剤、アミドキシム系架橋剤、アミドラゾン系架橋剤が挙げられる。 As the crosslinking agent, any conventionally known crosslinking agent, such as the crosslinking agent described in Japanese Patent No. 5278312, can be used without any particular restrictions. Specific examples include peroxide-based crosslinking agents, bisphenol-based crosslinking agents, triazine-based crosslinking agents, oxazole-based crosslinking agents, imidazole-based crosslinking agents, thiazole-based crosslinking agents, amidoxime-based crosslinking agents, and amidrazone-based crosslinking agents.
パーオキサイド系架橋剤としては、例えば、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン、ジクミルパーオキサイド、２，４－ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ｔ－ブチルジクミルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、２，５－ジメチル－２，５－（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキシン－３、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、α，α’－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ－ｍ－イソプロピル）ベンゼン、ｔ－ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、ジ－（４－ｔ－ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ｐ－クロロベンゾイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、１，１－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）－３，５，５－トリメチルシクロヘキサン、２，５－ジメチルヘキサン－２，５－ジヒドロパーオキサイド、α，α－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）－ｐ－ジイソプロピルベンゼン、ｔ－ブチルパーオキシベンゼン、ｔ－ブチルパーオキシマレイン酸が挙げられる。 Examples of peroxide-based crosslinking agents include 2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexane, dicumyl peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, di-t-butyl peroxide, t-butyldicumyl peroxide, benzoyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-(t-butylperoxy)hexyne-3, 2,5-dimethyl-2,5-di(benzoylperoxy)hexane, α,α'-bis(t-butylperoxy-m-isopropyl)benzene, and t-butylperoxyisopropyl. These include propyl carbonate, di-(4-t-butylcyclohexyl) peroxydicarbonate, p-chlorobenzoyl peroxide, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxybenzoate, 1,1-bis(t-butylperoxy)-3,5,5-trimethylcyclohexane, 2,5-dimethylhexane-2,5-dihydroperoxide, α,α-bis(t-butylperoxy)-p-diisopropylbenzene, t-butylperoxybenzene, and t-butylperoxymaleic acid.
ビスフェノール系架橋剤としては、例えば、ビスフェノールＡＦ、ビスフェノールＳが挙げられる。 Examples of bisphenol-based crosslinking agents include bisphenol AF and bisphenol S.
トリアジン系架橋剤としては、例えば、２，４，６－トリメルカプト－１，３，５－トリアジン、２－ヘキシルアミノ－４，６－ジメルカプトトリアジン、２－ジエチルアミノ－４，６－ジメルカプトトリアジン、２－シクロヘキシルアミノ－４，６－ジメルカプトトリアジン、２－ジブチルアミノ－４，６－ジメルカプトトリアジン、２－アニリノ－４，６－ジメルカプトトリアジン、２－フェニルアミノ－４，６－ジメルカプトトリアジンが挙げられる。
また、トリアジン架橋剤としては、テトラフェニルスズ、トリフェニルスズ等の有機スズ化合物のように、本再生品や未架橋パーフルオロ（共）重合体に含まれるニトリル基のみでトリアジン環を形成する触媒となり得る化合物であってもよい。
Examples of triazine crosslinking agents include 2,4,6-trimercapto-1,3,5-triazine, 2-hexylamino-4,6-dimercaptotriazine, 2-diethylamino-4,6-dimercaptotriazine, 2-cyclohexylamino-4,6-dimercaptotriazine, 2-dibutylamino-4,6-dimercaptotriazine, 2-anilino-4,6-dimercaptotriazine, and 2-phenylamino-4,6-dimercaptotriazine.
The triazine crosslinking agent may be a compound that can act as a catalyst for forming a triazine ring only with the nitrile groups contained in the regenerated product or the uncrosslinked perfluoro (co)polymer, such as an organic tin compound such as tetraphenyltin or triphenyltin.
オキサゾール系架橋剤としては、例えば、２，２－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン（ＢＯＡＰ）、４，４’－スルホニルビス（２－アミノフェノール）、９，９－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）フルオレンが挙げられる。 Examples of oxazole-based crosslinking agents include 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane (BOAP), 4,4'-sulfonylbis(2-aminophenol), and 9,9-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)fluorene.
イミダゾール架橋剤としては、例えば、２，２－ビス（３，４－ジアミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２－ビス［３－アミノ－４－（Ｎ－メチルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２－ビス［３－アミノ－４－（Ｎ－エチルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２－ビス［３－アミノ－４－（Ｎ－プロピルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２－ビス［３－アミノ－４－（Ｎ－フェニルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２－ビス［３－アミノ－４－（Ｎ－パーフルオロフェニルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２－ビス［３－アミノ－４－（Ｎ－ベンジルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパンが挙げられる。 Examples of imidazole crosslinking agents include 2,2-bis(3,4-diaminophenyl)hexafluoropropane, 2,2-bis[3-amino-4-(N-methylamino)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis[3-amino-4-(N-ethylamino)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis[3-amino-4-(N-propylamino)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis[3-amino-4-(N-phenylamino)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis[3-amino-4-(N-perfluorophenylamino)phenyl]hexafluoropropane, and 2,2-bis[3-amino-4-(N-benzylamino)phenyl]hexafluoropropane.
チアゾール系架橋剤としては、例えば、２－メルカプトベンゾチアゾール、ジベンゾチアジルジスルフィドが挙げられる。 Examples of thiazole crosslinking agents include 2-mercaptobenzothiazole and dibenzothiazyl disulfide.
前記再生材形成材料に架橋剤を用いる場合、該架橋剤の使用量は、架橋反応が十分に進行し、硬度、引張強さ、切断時伸び、および、１００％Ｍｏにバランスよく優れる再生材を容易に形成することができる等の点から、本再生品および未架橋パーフルオロ（共）重合体の合計１００質量部に対して、好ましくは０．２～４質量部、より好ましくは０．２～２．５質量部である。 When a crosslinking agent is used in the recycled material forming material, the amount of the crosslinking agent used is preferably 0.2 to 4 parts by mass, more preferably 0.2 to 2.5 parts by mass, per 100 parts by mass of the recycled product and uncrosslinked perfluoro (co)polymer in total, because the crosslinking reaction proceeds sufficiently and a recycled material that is excellent in hardness, tensile strength, elongation at break, and 100% Mo can be easily formed in a well-balanced manner.
［架橋助剤］
前記再生材形成材料では、前記架橋剤を単独で用いてもよいが、前記パーオキサイド系架橋剤等の架橋剤を用いる場合、架橋助剤を用いることが好ましい。該架橋助剤としては、架橋剤の種類に応じて公知の架橋助剤を選択すればよい。
[Crosslinking assistant]
In the recycled material forming material, the crosslinking agent may be used alone, but when a crosslinking agent such as the peroxide-based crosslinking agent is used, it is preferable to use a crosslinking assistant. As the crosslinking assistant, a known crosslinking assistant may be selected according to the type of crosslinking agent.
例えば、パーオキサイド系架橋剤を用いる場合に使用される架橋助剤の例としては、トリアリルイソシアヌレート；トリアリルシアヌレート；トリメタリルイソシアヌレート；トリアリルホルマール；トリアリルトリメリテート；Ｎ，Ｎ'－ｍ－フェニレンビスマレイミド；ジプロパギルテレフタレート；ジアリルフタレート；テトラアリルテレフタルアミド；エチレングリコール・ジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレートなどの多官能性（メタ）アクリレート；等のラジカルによる共架橋が可能な化合物（多官能性モノマー）：高級カルボン酸の金属塩：多価アルコール（メタ）アクリレート：（メタ）アクリル酸金属塩が挙げられる。
これらの中では、反応性に優れ、耐熱性に優れ、高硬度で高モジュラスのシール材を容易に得ることができる等の点から、トリアリルイソシアヌレートが好ましい。
For example, examples of crosslinking aids used when a peroxide-based crosslinking agent is used include triallyl isocyanurate; triallyl cyanurate; trimethallyl isocyanurate; triallyl formal; triallyl trimellitate; N,N'-m-phenylene bismaleimide; dipropargyl terephthalate; diallyl phthalate; tetraallyl terephthalamide; polyfunctional (meth)acrylates such as ethylene glycol di(meth)acrylate and trimethylolpropane tri(meth)acrylate; and other compounds capable of co-crosslinking by radicals (polyfunctional monomers); metal salts of higher carboxylic acids; polyhydric alcohol (meth)acrylates; and metal (meth)acrylic acid salts.
Among these, triallyl isocyanurate is preferred because it has excellent reactivity, excellent heat resistance, and allows a sealing material having high hardness and high modulus to be easily obtained.
前記再生材形成材料に架橋助剤を用いる場合、該架橋助剤の使用量は、架橋反応が十分に進行し、硬度、引張強さ、切断時伸び、および、１００％Ｍｏにバランスよく優れるシール材を容易に形成することができる等の点から、本再生品および未架橋パーフルオロ（共）重合体の合計１００質量部に対して、好ましくは０．５質量部以上であり、好ましくは１０質量部以下、より好ましくは７質量部以下、さらに好ましくは６質量部以下である。 When a cross-linking aid is used in the recycled material forming material, the amount of the cross-linking aid used is preferably 0.5 parts by mass or more, and preferably 10 parts by mass or less, more preferably 7 parts by mass or less, and even more preferably 6 parts by mass or less, per 100 parts by mass of the recycled product and uncross-linked perfluoro (co)polymer in total, from the viewpoints that the cross-linking reaction will proceed sufficiently and a sealing material that is excellent in hardness, tensile strength, elongation at break, and 100% Mo can be easily formed in a well-balanced manner.
前記再生材形成材料に架橋剤および架橋助剤を用いる場合、前記再生材形成材料中の架橋剤の含有量に対する架橋助剤の含有量の質量比（架橋助剤の含有量／架橋剤の含有量）は、架橋剤を過不足なく反応させ、所望の物性を示す再生材を容易に形成することができる等の点から、好ましくは１以上、より好ましくは２以上であり、好ましくは３０以下、より好ましくは２０以下である。 When a crosslinking agent and a crosslinking assistant are used in the recycled material forming material, the mass ratio of the content of the crosslinking assistant to the content of the crosslinking agent in the recycled material forming material (content of crosslinking assistant/content of crosslinking agent) is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, and is preferably 30 or less, more preferably 20 or less, from the viewpoint of being able to react the crosslinking agent without excess or deficiency and easily form a recycled material exhibiting the desired physical properties.
［エチレン性不飽和結合含有化合物］
前記エチレン性不飽和結合含有化合物としては、例えば、国際公開第２０２２／０６５０５４号、特開２００３－１８３４０２号公報、特開平１１－１１６６８４号公報等に記載の化合物が挙げられる。
[Ethylenically unsaturated bond-containing compound]
Examples of the ethylenically unsaturated bond-containing compound include compounds described in WO 2022/065054, JP 2003-183402 A, and JP 11-116684 A.
［反応性有機珪素化合物］
前記反応性有機珪素化合物としては、例えば、特開２００３－１８３４０２号公報、特開平１１－１１６６８４号公報等に記載の有機ケイ素化合物と同様の化合物が挙げられる。
[Reactive Organosilicon Compounds]
Examples of the reactive organosilicon compound include the same organosilicon compounds as those described in JP-A Nos. 2003-183402 and 11-116684.
［触媒］
前記触媒としては、例えば、特開２００３－１８３４０２号公報、特開平１１－１１６６８４号公報等に記載の触媒と同様の触媒が挙げられる。
[catalyst]
Examples of the catalyst include the same catalysts as those described in JP-A-2003-183402 and JP-A-11-116684.
［有機顔料］
前記有機顔料としては、例えば、国際公開第２０１６／０４３１００号、特許第４７２０５０１号公報、国際公開第２００４／０９４５２７号、特許第５２７８３１２号公報等に記載の有機顔料と同様の有機顔料が挙げられる。
[Organic pigments]
Examples of the organic pigment include organic pigments similar to those described in WO 2016/043100, Japanese Patent No. 4720501, WO 2004/094527, and Japanese Patent No. 5278312.
［充填材］
前記無機充填材としては、例えば、カーボンブラック、シリカ、硫酸バリウム、酸化チタン、酸化アルミニウムなどの粒子状（粉末状）の無機材料が挙げられる。
前記有機充填材としては、例えば、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＰＶＤＦ等のフッ素樹脂、ポリエチレン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルケトン、シリコーン樹脂、メラミン樹脂などの粒子状（粉末状）の有機材料が挙げられる。
[Filling material]
Examples of the inorganic filler include particulate (powdered) inorganic materials such as carbon black, silica, barium sulfate, titanium oxide, and aluminum oxide.
Examples of the organic filler include particulate (powdered) organic materials such as fluororesins such as PTFE, PFA, FEP, ETFE, and PVDF, polyethylene, polyimide, polyamideimide, polyetherimide, polyetheretherketone, polyetherketone, silicone resin, and melamine resin.
［再生材形成材料の調製方法］
前記再生材形成材料は、本再生品と、必要により前記その他の成分とを混合（混練）することで調製することができる。
本再生品と、前記その他の成分とを混合する場合、その混合順は特に制限されず、任意の順番で順次混合（混練）してもよく、これらを一括混合（混練）してもよいが、各成分が均一になるように、順次混合（混練）することが好ましい。
[Method for preparing recycled material]
The recycled material-forming material can be prepared by mixing (kneading) the recycled product with, if necessary, the other components.
When mixing the recycled product with the other components, the order of mixing is not particularly limited, and they may be mixed (kneaded) sequentially in any order, or may be mixed (kneaded) all at once, but it is preferable to mix (knead) them sequentially so that each component is uniform.
前記混合（混練）の際には、従来公知の混合（混練）機を用いることができ、例えば、オープンロール、バンバリーミキサー、二軸ロール、ニーダーが挙げられる。
また、前記混合（混練）の際には、混合（混練）機に応じて、必要により、加熱下または冷却下で混合（混練）してもよい。
In the mixing (kneading) process, a conventionally known mixer (kneader) can be used, and examples of such a mixer include an open roll, a Banbury mixer, a twin-screw roll, and a kneader.
During the mixing (kneading) process, the components may be mixed (kneaded) under heating or cooling, if necessary, depending on the mixer (kneader).
＜再生材形成材料を架橋する工程＞
本再生材の製法は、前記再生材形成材料を架橋する工程を含めば特に制限されない。
<Step of cross-linking recycled material-forming material>
The method for producing the present recycled material is not particularly limited as long as it includes a step of crosslinking the recycled material-forming material.
前記再生材形成材料から再生材を形成する際には、成形作業の効率を向上させるためや、不良率を低減するためなどの点から、分出し工程を行うことが好ましい。この分出し工程は、通常、ロールなどを使用して行われ、通常、前記再生材形成材料をシート状に予備的に成形する工程でもある。 When forming a recycled material from the recycled material-forming material, it is preferable to carry out a separating process in order to improve the efficiency of the forming process and reduce the defective rate. This separating process is usually carried out using a roll or the like, and is usually also a process for preliminarily forming the recycled material-forming material into a sheet shape.
前記分出し工程で得られたシートは、前記架橋工程の前に、所望の再生材の形状に予備成形することが好ましい。
この予備成形は、分出し工程で得られたシートから直接所望の再生材形状を形成してもよく、分出し工程で得られたシートを、裁断や押出成形等により、ロープ状（リボン状、うどん状等も同義である。）等の形状にし、得られたロープ状物を所望の再生材形状にしてもよい。
The sheet obtained in the extrusion step is preferably preformed into the desired shape of the recycled material before the crosslinking step.
This preforming may involve directly forming the desired recycled material shape from the sheet obtained in the separating process, or the sheet obtained in the separating process may be cut or extruded into a rope-like shape (which also has the same meaning as a ribbon-like or noodle-like shape) or the like, and the resulting rope-like material may be formed into the desired recycled material shape.
前記架橋工程は、一次架橋工程および二次架橋工程を含むことがより好ましい。
前記架橋工程は、前記予備成形で得られた所望の再生材形状の予備成形体を用いて行うことが好ましい。
More preferably, the crosslinking step includes a primary crosslinking step and a secondary crosslinking step.
The crosslinking step is preferably carried out using a preform having a desired recycled material shape obtained by the preforming step.
前記一次架橋工程としては、前記予備成形で得られた所望の再生材形状の予備成形体を加熱加圧する工程であることが好ましく、具体例としては、前記予備成形体を金型に投入し、加熱プレス機等によって２～１５ＭＰａ程度の加圧下、例えば１５０～２００℃の温度で、例えば５分～１時間程度架橋する工程が挙げられる。 The primary crosslinking step is preferably a step of heating and pressurizing the preformed body having the desired recycled material shape obtained by the preforming step. A specific example is a step of placing the preformed body in a mold and crosslinking it with a heating press or the like under a pressure of about 2 to 15 MPa at a temperature of, for example, 150 to 200°C for, for example, about 5 minutes to 1 hour.
前記二次架橋工程としては、前記一次架橋工程で得られた成形体を加熱する工程であることが好ましく、具体的には、常圧～減圧下で各種オーブン、好ましくは真空オーブンを用いて、例えば１５０～３００℃の温度で、１～４８時間、より好ましくは３～２４時間程度加熱する工程が挙げられる。
この二次架橋工程により、架橋を促進させたり、前記一次架橋工程後に未反応成分が残存していたとしても、該未反応成分を分解揮散させることができ、より放出ガス発生の少ない再生材を形成することができる。
The secondary crosslinking step is preferably a step of heating the molded body obtained in the primary crosslinking step, and specifically includes a step of heating the molded body obtained in the primary crosslinking step at a temperature of, for example, 150 to 300° C. for 1 to 48 hours, more preferably 3 to 24 hours, under normal pressure to reduced pressure, using various ovens, preferably a vacuum oven.
This secondary crosslinking process can promote crosslinking, and even if unreacted components remain after the primary crosslinking process, the unreacted components can be decomposed and evaporated, resulting in a recycled material that emits less gas.
本再生材の製法では、プラズマ雰囲気下等において、再生材に生じ得るクラックをより容易に抑制できる等の点から、前記架橋工程の後、放射線を照射する工程（放射線照射工程）を行ってもよい。この放射線照射工程を経て得られる再生材は、放射線処理物であるといえる。 In the method for producing the recycled material, a step of irradiating the recycled material with radiation (radiation irradiation step) may be carried out after the crosslinking step, since this makes it easier to prevent cracks that may occur in the recycled material in a plasma atmosphere, etc. The recycled material obtained through this radiation irradiation step can be said to be a radiation-treated product.
前記放射線照射工程において照射する放射線としては特に制限されないが、例えば、Ｘ線、ガンマ線、電子線、陽子線、中性子線、重粒子線、アルファー線、ベータ線が挙げられ、これらの中でも、ガンマ線、電子線が好ましい。
照射する放射線は、１種単独でもよく、２種以上でもよい。
The radiation to be irradiated in the radiation irradiation step is not particularly limited, and examples thereof include X-rays, gamma rays, electron beams, proton beams, neutron beams, heavy particle beams, alpha rays, and beta rays. Among these, gamma rays and electron beams are preferred.
The radiation to be irradiated may be of one type alone or of two or more types.
放射線を照射する際には、吸収線量が、好ましくは１～１２０ｋＧｙ、より好ましくは２０～１００ｋＧｙとなるように放射線を照射することが望ましい。このような量で放射線を照射すると、パーティクルや放出ガスとなり得る未反応成分を低減することができ、本再生品および未架橋パーフルオロ（共）重合体を過度に低分子量化せず、耐プラズマ性、耐クラック性等に優れる再生材を容易に形成することができる。
なお、前記放射線照射工程は、条件を変更して、２段階以上に分けて行ってもよい。
When irradiating with radiation, it is desirable to irradiate with radiation so that the absorbed dose is preferably 1 to 120 kGy, more preferably 20 to 100 kGy. When irradiated with radiation in such an amount, unreacted components that may become particles or released gas can be reduced, and the recycled product and the uncrosslinked perfluoro (co)polymer do not have an excessively low molecular weight, and a recycled material excellent in plasma resistance, crack resistance, etc. can be easily formed.
The radiation exposure step may be carried out in two or more stages by changing the conditions.
放射線を照射する際には、空気中で照射してもよいが、放射線照射時に酸素が存在すると、架橋反応が阻害され、得られる再生材の機械的強度の低下や、得られる再生材の表面にベタツキが生じる恐れがある。このため、前記放射線照射工程は、窒素やアルゴンなどの不活性ガスの雰囲気下で行なうことが好ましい。 Radiation may be applied in air, but if oxygen is present during radiation exposure, the crosslinking reaction may be inhibited, and the mechanical strength of the resulting recycled material may decrease, or the surface of the resulting recycled material may become sticky. For this reason, it is preferable to carry out the radiation exposure step in an atmosphere of an inert gas such as nitrogen or argon.
＜再生材＞
本再生材の製法で得られる再生材は特に制限されないが、例えば、種々の部材のガスケットやパッキンとして使用することができ、特に、半導体製造装置用シール材や、プラズマ処理装置用シール材、特に、プラズマ処理チャンバーユニットの開口部に使用されるゲートバルブをはじめとした駆動部用シール材として好適に使用することができる。
前記再生材としては、シール材が好ましく、該シール材としては、例えば、Ｏ－リング、角－リング、ガスケット、パッキン、オイルシール、ベアリングシール、リップシールが挙げられる。
前記再生材の形状等は、用いる用途に応じて適宜選択すればよい。
<Recycled materials>
The recycled material obtained by this method for producing recycled materials is not particularly limited, but can be used, for example, as gaskets or packings for various components, and can be particularly suitably used as a sealing material for semiconductor manufacturing equipment or a sealing material for plasma processing equipment, and in particular, as a sealing material for driving parts such as gate valves used in the openings of plasma processing chamber units.
The recycled material is preferably a sealing material, and examples of the sealing material include O-rings, square rings, gaskets, packing, oil seals, bearing seals, and lip seals.
The shape of the recycled material may be appropriately selected depending on the application.
なお、前記半導体製造装置は、特に半導体を製造するための装置に限られるものではなく、広く、液晶パネルやプラズマパネル等を製造するための装置など、高度なクリーン度が要求される半導体分野において用いられる製造装置全般を含み、具体例としては、特許第５２７８３１２号公報等に記載の装置が挙げられる。 The semiconductor manufacturing equipment is not limited to equipment specifically for manufacturing semiconductors, but broadly includes all manufacturing equipment used in the semiconductor field that requires a high degree of cleanliness, such as equipment for manufacturing liquid crystal panels and plasma panels. Specific examples include the equipment described in Patent Publication No. 5278312.
前記再生材のＪＩＳ Ｋ ６２５３－２：２０１２に基づいて測定されたＩＲＨＤは、好ましくは４５以上、より好ましくは５０以上である。
前記再生材の下記実施例に記載の方法で測定された引張強さは、好ましくは７ＭＰａ以上、より好ましくは８ＭＰａ以上である。
前記再生材の下記実施例に記載の方法で測定された切断時伸びは、好ましくは１２０％以上、より好ましくは１３０％以上である。
前記再生材の下記実施例に記載の方法で測定された質量減少率は、好ましくは５％以下、より好ましくは３％以下であり、その下限は特に制限されないが、例えば０％である。
The IRHD of the recycled material measured in accordance with JIS K 6253-2:2012 is preferably 45 or more, more preferably 50 or more.
The tensile strength of the recycled material, measured by the method described in the examples below, is preferably 7 MPa or more, and more preferably 8 MPa or more.
The elongation at break of the recycled material, measured by the method described in the examples below, is preferably 120% or more, and more preferably 130% or more.
The mass reduction rate of the recycled material measured by the method described in the examples below is preferably 5% or less, more preferably 3% or less, and the lower limit is not particularly limited, but is, for example, 0%.
次に、本発明について実施例を示してさらに詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されない。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these.
＜架橋パーフルオロ（共）重合体（被再生品）＞
下記実施例および比較例で用いた架橋パーフルオロ（共）重合体（被再生品）は、以下の通りである。
・「架橋パーフルオロ（共）重合体－１」：パーフルオロエラストマー（ＰＦＥ１３１Ｔ［３Ｍ社製］、架橋サイトがニトリル基であるパーフルオロ（共）重合体）１００質量部と、オキサゾール系架橋剤（ＢＯＡＰ、２，２－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、東京化成工業（株）製）０．５質量部とを、オープンロールで混練後、得られた塊状のエラストマー組成物を、Ｏリング形状の金型に充填し、圧縮真空プレス機を用い、５ＭＰａの加圧下、１８０℃で３０分間プレス成形（一次架橋）し、次いで、プレス成形後のシートを、オーブン中、２５０℃で２４時間加熱（二次架橋）することで製造された成形体（Ｏリング）（未使用または使用済み成形体に相当）。
・「架橋パーフルオロ（共）重合体－２」：パーフルオロエラストマー（テクノフロンＰＦＲ９４［Ｓｏｌｖａｙ社製］、架橋サイトがハロゲン原子であるパーフルオロ（共）重合体）１００質量部と、ＴＡＩＣ（三菱ケミカル（株）製、トリアリルイソシアヌレート）１質量部と、パーヘキサ２５Ｂ（日油（株）製）０．５質量部とをオープンロールで混練後、得られた塊状のエラストマー組成物を、Ｏリング形状の金型に充填し、圧縮真空プレス機を用い、５ＭＰａの加圧下、１７０℃で１０分間プレス成形（一次架橋）し、次いで、プレス成形後のシートを、オーブン中、２００℃で４時間加熱（二次架橋）することで製造された成形体（Ｏリング）（未使用または使用済み成形体に相当）。
<Crosslinked perfluoro(co)polymer (recycled product)>
The crosslinked perfluoro (co)polymers (products to be regenerated) used in the following Examples and Comparative Examples are as follows:
"Crosslinked perfluoro (co)polymer-1": 100 parts by mass of perfluoroelastomer (PFE131T [manufactured by 3M], a perfluoro (co)polymer in which the crosslinking site is a nitrile group) and an oxazole-based crosslinking agent ( BOAP, 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) (0.5 parts by mass) was kneaded with an open roll to obtain a lump-shaped elastomer composition. The mixture was filled into an O-ring shaped mold and press molded (primary crosslinking) for 30 minutes at 180° C. under a pressure of 5 MPa using a vacuum compression press. The press molded sheet was then placed in an oven for 24 hours. A molded body (O-ring) (corresponding to an unused or used molded body) was produced by heating at 250°C for 24 hours (secondary crosslinking).
"Crosslinked perfluoro(co)polymer-2": 100 parts by mass of perfluoroelastomer (Technoflon PFR94 [manufactured by Solvay], a perfluoro(co)polymer in which the crosslinked site is a halogen atom) and TAIC (Mitsubishi 1 part by mass of triallyl isocyanurate (manufactured by Nippon Chemiphar Co., Ltd.) and 0.5 parts by mass of Perhexa 25B (manufactured by NOF Corp.) were kneaded in an open roll, and the resulting lump-shaped elastomer composition was subjected to O The mixture was filled into a ring-shaped mold and press-molded (primary crosslinking) at 170° C. for 10 minutes under a pressure of 5 MPa using a compression vacuum press. The press-molded sheet was then heated in an oven at 200° C. for 4 hours. A molded body (O-ring) (corresponding to an unused or used molded body) produced by heating for a long period of time (secondary crosslinking).
［実施例１］
架橋パーフルオロ（共）重合体－１（被再生品）を、ヤマト科学（株）製のＫＤＦ－７５Ｐｌｕｓに入れ、窒素雰囲気下、３８０℃、１気圧で１時間熱処理することで、再生パーフルオロ（共）重合体－１（再生品）を得た。
[Example 1]
The crosslinked perfluoro(co)polymer-1 (regenerated product) was placed in a KDF-75Plus manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd. and heat-treated at 380° C. and 1 atm for 1 hour in a nitrogen atmosphere to obtain a regenerated perfluoro(co)polymer-1 (regenerated product).
［実施例２］
架橋パーフルオロ（共）重合体－１の代わりに架橋パーフルオロ（共）重合体－２（被再生品）を用いた以外は実施例１と同様にして、再生パーフルオロ（共）重合体－２（再生品）を得た。
[Example 2]
A recycled perfluoro(co)polymer-2 (recycled product) was obtained in the same manner as in Example 1, except that the crosslinked perfluoro(co)polymer-2 (recycled product) was used instead of the crosslinked perfluoro(co)polymer-1.
［実施例３］
架橋パーフルオロ（共）重合体－１（被再生品）を、ヤマト科学（株）製のＫＤＦ－７５Ｐｌｕｓに入れ、ヘリウムガス雰囲気下、３７０℃、１気圧で１時間熱処理することで、再生パーフルオロ（共）重合体－３（再生品）を得た。
[Example 3]
The crosslinked perfluoro(co)polymer-1 (regenerated product) was placed in a KDF-75Plus manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd. and heat-treated at 370°C and 1 atm for 1 hour in a helium gas atmosphere to obtain a regenerated perfluoro(co)polymer-3 (regenerated product).
［実施例４］
架橋パーフルオロ（共）重合体－１（被再生品）を、ヤマト科学（株）製のＫＤＦ－７５Ｐｌｕｓに入れ、アルゴンガス雰囲気下、３７０℃、１気圧で１時間熱処理することで、再生パーフルオロ（共）重合体－４（再生品）を得た。
[Example 4]
The crosslinked perfluoro(co)polymer-1 (regenerated product) was placed in a KDF-75Plus manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd. and heat-treated at 370°C and 1 atm for 1 hour in an argon gas atmosphere to obtain a regenerated perfluoro(co)polymer-4 (regenerated product).
［比較例１］
架橋パーフルオロ（共）重合体－１（被再生品）を、ヤマト科学（株）製のＫＤＦ－７５Ｐｌｕｓに入れ、空気中、３８０℃、１気圧で１時間熱処理することで、再生パーフルオロ（共）重合体－ｃ１（再生品）を得た。
[Comparative Example 1]
The crosslinked perfluoro(co)polymer-1 (regenerated product) was placed in KDF-75Plus manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd. and heat-treated in air at 380° C. and 1 atm for 1 hour to obtain a regenerated perfluoro(co)polymer-c1 (regenerated product).
［比較例２］
架橋パーフルオロ（共）重合体－１の代わりに架橋パーフルオロ（共）重合体－２（被再生品）を用いた以外は比較例１と同様にして、再生パーフルオロ（共）重合体－ｃ２（再生品）を得た。
[Comparative Example 2]
A recycled perfluoro(co)polymer-c2 (recycled product) was obtained in the same manner as in Comparative Example 1, except that the crosslinked perfluoro(co)polymer-2 (recycled product) was used instead of the crosslinked perfluoro(co)polymer-1.
＜架橋サイトの含有量＞
ＦＴ－ＩＲ（ブルカー社製、ＨＹＰＥＲＩＯＮ３０００）を用いて、分解能：４ｃｍ-1、スキャン数：３２回、透過法、測定範囲：４００～４０００ｃｍ-1の条件で、前記架橋パーフルオロ（共）重合体（被再生品）および再生パーフルオロ（共）重合体（再生品）中の架橋サイトの含有量を測定した。結果を表１に示す。
具体的には、２２３０－２２９０ｃｍ-1の強度を結んでベースラインとした時の最大強度を、２２００－２７００ｃｍ-1の強度を結んでベースラインとした時の２５００ｃｍ-1における強度で割った値を架橋サイト（ニトリル基）の含有量とした。但し、この計算結果（架橋サイト（ニトリル基）の含有量）が、０．０１を下回った場合には、架橋サイト（ニトリル基）の含有量は、０．０１とした。
<Content of crosslinking sites>
The content of crosslinking sites in the crosslinked perfluoro(co)polymer (regenerated product) and the regenerated perfluoro(co)polymer (regenerated product) was measured using an FT-IR (HYPERION 3000 manufactured by Bruker) under the conditions of resolution: 4 cm -1 , number of scans: 32, transmission method, and measurement range: 400 to 4000 cm -1 . The results are shown in Table 1.
Specifically, the maximum intensity when the intensity from 2230 to 2290 cm -1 was connected to form a baseline was divided by the intensity at 2500 cm -1 when the intensity from 2200 to 2700 cm -1 was connected to form a baseline, and this value was taken as the content of crosslinking sites (nitrile groups). However, if the result of this calculation (content of crosslinking sites (nitrile groups)) was less than 0.01, the content of crosslinking sites (nitrile groups) was taken as 0.01.
なお、下記表１の実施例２の欄では、架橋サイトの含有量は、「－」になっているが、実施例２では、下記式の右側の架橋サイト（Ｃ＝Ｃ結合）の再生が十分に起こっていると考えられる。 In the column for Example 2 in Table 1 below, the content of crosslinked sites is marked as "-", but in Example 2, it is believed that the regeneration of the crosslinked sites (C=C bonds) on the right side of the formula below has occurred sufficiently.
＜質量減少率＞
前記実施例または比較例で用いた熱処理前の架橋パーフルオロ（共）重合体（被再生品）の質量を測定し、また、得られた再生パーフルオロ（共）重合体（再生品）の質量を測定した。
下記式により、質量減少率（％）を求めた。結果を表１に示す。
質量減少率（％）＝[（被再生品の質量－再生品の質量）／被再生品の質量]×１００
<Mass reduction rate>
The mass of the crosslinked perfluoro(co)polymer (regenerated product) used in the above-mentioned Examples or Comparative Examples before heat treatment was measured, and the mass of the resulting regenerated perfluoro(co)polymer (regenerated product) was also measured.
The mass reduction rate (%) was calculated using the following formula. The results are shown in Table 1.
Mass reduction rate (%) = [(mass of recycled product - mass of recycled product) / mass of recycled product] x 100
＜未架橋パーフルオロ（共）重合体（バージン品）＞
下記実施例および比較例で用いた未架橋パーフルオロ（共）重合体（バージン品）は、以下の通りである。
・「未架橋パーフルオロ（共）重合体－１」：ＰＦＥ１３１Ｔ（３Ｍ社製）
・「未架橋パーフルオロ（共）重合体－２」：テクノフロンＰＦＲ９４（Ｓｏｌｖａｙ社製）
<Uncrosslinked perfluoro (co)polymer (virgin product)>
The uncrosslinked perfluoro (co)polymers (virgin products) used in the following Examples and Comparative Examples are as follows:
"Uncrosslinked perfluoro (co)polymer-1": PFE131T (manufactured by 3M)
"Uncrosslinked perfluoro (co)polymer-2": Tecnoflon PFR94 (manufactured by Solvay)
［実施例５］
６０質量部の未架橋パーフルオロ（共）重合体－１（バージン品）と、４０質量部の再生パーフルオロ（共）重合体－１（再生品）と、０．５質量部のオキサゾール系架橋剤（ＢＯＡＰ、２，２－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、東京化成工業（株）製）とを、オープンロールで混練することで塊状のエラストマー組成物を得た。
得られた塊状のエラストマー組成物を、Ｏリング形状の金型に充填し、圧縮真空プレス機を用い、５ＭＰａの加圧下、１８０℃で３０分間プレス成形（一次架橋）し、次いで、プレス成形後のシートを、オーブン中、２５０℃で２４時間加熱（二次架橋）することで成形体（Ｏリング）を得た。
[Example 5]
A lump-shaped elastomer composition was obtained by kneading 60 parts by mass of uncrosslinked perfluoro(co)polymer-1 (virgin product), 40 parts by mass of recycled perfluoro(co)polymer-1 (recycled product), and 0.5 parts by mass of an oxazole-based crosslinking agent (BOAP, 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) with an open roll.
The obtained bulk elastomer composition was filled into an O-ring shaped mold and press molded at 180°C for 30 minutes under a pressure of 5 MPa using a compression vacuum press (primary crosslinking). The press-molded sheet was then heated in an oven at 250°C for 24 hours (secondary crosslinking) to obtain a molded product (O-ring).
［比較例３～４］
実施例５において、未架橋パーフルオロ（共）重合体および再生パーフルオロ（共）重合体として、表２に記載の種類および量（数値、質量部）の（共）重合体を用いた以外は、実施例５と同様にして、成形体を得た。
[Comparative Examples 3 to 4]
In Example 5, a molded body was obtained in the same manner as in Example 5, except that the types and amounts (numbers, parts by mass) of (co)polymers shown in Table 2 were used as the uncrosslinked perfluoro (co)polymer and the recycled perfluoro (co)polymer.
［実施例６］
６０質量部の未架橋パーフルオロ（共）重合体－２（バージン品）と、４０質量部の再生パーフルオロ（共）重合体－２（再生品）と、１０質量部のＰＴＦＥ粒子（ルブロンＬ５（ダイキン工業（株）製））と、０．５質量部のパーヘキサ２５Ｂ（日油（株）製）と、１質量部のＴＡＩＣ（トリアリルイソシアヌレート、三菱ケミカル（株）製）とを、オープンロールで混練することで塊状のエラストマー組成物を得た。
得られた塊状のエラストマー組成物を、Ｏリング形状の金型に充填し、圧縮真空プレス機を用い、５ＭＰａの加圧下、１７０℃で１０分間プレス成形（一次架橋）し、次いで、プレス成形後のシートを、オーブン中、２００℃で４時間加熱（二次架橋）することで成形体（Ｏリング）を得た。
[Example 6]
A lump-shaped elastomer composition was obtained by kneading 60 parts by mass of uncrosslinked perfluoro(co)polymer-2 (virgin product), 40 parts by mass of recycled perfluoro(co)polymer-2 (recycled product), 10 parts by mass of PTFE particles (Lubron L5 (manufactured by Daikin Industries, Ltd.)), 0.5 parts by mass of Perhexa 25B (manufactured by NOF Corporation), and 1 part by mass of TAIC (triallyl isocyanurate, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) with an open roll.
The obtained bulk elastomer composition was filled into an O-ring shaped mold and press molded at 170°C for 10 minutes under a pressure of 5 MPa using a compression vacuum press (primary crosslinking). The press-molded sheet was then heated in an oven at 200°C for 4 hours (secondary crosslinking) to obtain a molded product (O-ring).
［比較例５～６］
実施例６において、未架橋パーフルオロ（共）重合体および再生パーフルオロ（共）重合体として、表２に記載の種類および量（数値、質量部）の（共）重合体を用いた以外は、実施例６と同様にして、成形体を得た。
[Comparative Examples 5 to 6]
In Example 6, a molded body was obtained in the same manner as in Example 6, except that the types and amounts (numbers, parts by mass) of (co)polymers shown in Table 2 were used as the uncrosslinked perfluoro (co)polymer and the recycled perfluoro (co)polymer.
＜ＩＲＨＤ＞
ＪＩＳ Ｋ ６２５３－２：２０１２に従い、ＩＲＨＤ硬度測定装置により、２３℃において、得られた成形体の硬度を測定した。結果を表２に示す。
<IRHD>
The hardness of the obtained molded body was measured at 23° C. using an IRHD hardness measuring device in accordance with JIS K 6253-2: 2012. The results are shown in Table 2.
＜引張強さおよび切断時伸び＞
得られた成形体（Ｏリング）を、５００ｍｍ／分で引張し、２３℃において、引張強さおよび切断時伸びを、ショッパー式引張試験機を用いて測定した。結果を表２に示す。
<Tensile strength and elongation at break>
The obtained molded article (O-ring) was stretched at 500 mm/min, and the tensile strength and elongation at break were measured using a Schopper tensile tester at 23° C. The results are shown in Table 2.
＜圧縮永久ひずみ＞
ＪＩＳ Ｋ ６２６２：２０１３に準拠してシール材の圧縮永久ひずみを求めた。
得られた成形体を、２００℃×７２時間、圧縮率２５％で保持した後、圧力を解放し、試験室の標準温度で３０分間放冷した後に、成形体の厚みを測定した。
また、得られた成形体を、２６０℃×７２時間、圧縮率２０％で保持した後、圧力を解放し、試験室の標準温度で３０分間放冷した後に、成形体の厚みを測定した。
圧縮永久ひずみ率（Ｃｏｍｐｒｅｓｓｉｏｎ Ｓｅｔ、ＣＳ）は下記式に基づいて算出した。結果を表２に示す。
圧縮永久ひずみ率（％）＝｛（ｈ０－ｈ１）／（ｈ０－ｈ２）｝×１００
［ｈ０：圧縮する前の成形体の厚み（ｍｍ）、ｈ１：３０分間放冷後の成形体の厚み（ｍｍ）、ｈ２：スペーサーの厚み（高さ）（ｍｍ）］
<Compression set>
The compression set of the sealing material was determined in accordance with JIS K 6262:2013.
The obtained molded article was kept at 200° C. for 72 hours at a compression ratio of 25%, and then the pressure was released and the molded article was allowed to cool at the standard temperature of the test room for 30 minutes, after which the thickness of the molded article was measured.
The obtained molded body was maintained at 260° C. for 72 hours at a compression ratio of 20%, and then the pressure was released and the molded body was allowed to cool at the standard temperature of the test room for 30 minutes, after which the thickness of the molded body was measured.
The compression set (CS) was calculated based on the following formula: The results are shown in Table 2.
Compression set rate (%) = {(h0-h1)/(h0-h2)} x 100
[h0: thickness of molded body before compression (mm), h1: thickness of molded body after cooling for 30 minutes (mm), h2: thickness (height) of spacer (mm)]
＜質量減少率（耐プラズマ性）＞
得られた成形体について、耐プラズマ性（質量減少率）を測定した。具体的には以下の通り測定した。結果を表２に示す。
下記条件で、リモートプラズマによってＮＦ3から発生させたフッ素ラジカルに、得られた成形体（Ｏリング）を暴露させる、フッ素ラジカル暴露試験を行った。試験前後の成形体（Ｏリング）の質量を測定し、下記式に従って質量減少率を求めることで、耐プラズマ性を評価した。質量減少率が小さいほど耐プラズマ性に優れるといえる。
質量減少率（％）＝｛（試験前の質量－試験後の質量）／（試験前の質量）｝×１００
<Mass reduction rate (plasma resistance)>
The plasma resistance (mass reduction rate) of the obtained molded body was measured. Specifically, the measurement was performed as follows. The results are shown in Table 2.
A fluorine radical exposure test was carried out by exposing the obtained molded body (O-ring) to fluorine radicals generated from NF3 by remote plasma under the following conditions. The mass of the molded body (O-ring) before and after the test was The plasma resistance was evaluated by measuring the mass loss rate and calculating the mass loss rate according to the following formula. It can be said that the smaller the mass loss rate, the better the plasma resistance.
Mass reduction rate (%)={(mass before test−mass after test)/(mass before test)}×100
（条件）
・プラズマソース（プラズマ源）：リモートプラズマソース
・プラズマ出力：５０００Ｗ
・ガス流量：ＮＦ3；１．５ＳＬＭ、アルゴン；１．５ＳＬＭ
・真空度：７ｔｏｒｒ
・試験温度：２５０℃
・試験時間：５時間
(conditions)
・Plasma source: Remote plasma source ・Plasma output: 5000W
Gas flow rate: NF3 : 1.5 SLM, Argon: 1.5 SLM
・Vacuum level: 7torr
Test temperature: 250°C
-Exam duration: 5 hours
実施例５では、バージン品のみを用いた比較例４と同様のＩＲＨＤおよび切断時伸びを有する成形体を得ることができ、比較例３に比べ圧縮永久ひずみが小さく、耐プラズマ性に優れる（質量減少率が少ない）成形体を得ることができた。
また、実施例６では、バージン品のみを用いた比較例６と同様のＩＲＨＤおよび引張強さを有する成形体を得ることができ、比較例５に比べ、２００℃×７２時間、圧縮率２５％で保持した際の圧縮永久ひずみが小さく、耐プラズマ性に優れる（質量減少率が少ない）成形体を得ることができた。
In Example 5, a molded product having the same IRHD and elongation at break as in Comparative Example 4, which used only virgin products, was obtained. A molded product having a smaller compression set and excellent plasma resistance (smaller mass reduction rate) compared to Comparative Example 3 was obtained.
Furthermore, in Example 6, a molded product having the same IRHD and tensile strength as Comparative Example 6, which used only virgin products, was obtained. Compared to Comparative Example 5, the molded product had a smaller compression set when maintained at 200°C for 72 hours at a compression ratio of 25%, and had excellent plasma resistance (small mass reduction rate).
Claims (9)
前記架橋サイトが、ニトリル基またはハロゲン原子である、
再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法。 The method includes a step of heat-treating a crosslinked perfluoro(co)polymer obtained by crosslinking a perfluoro(co)polymer having a crosslinking site under an inert gas atmosphere to regenerate the crosslinking site,
the crosslinking site is a nitrile group or a halogen atom;
A method for producing recycled perfluoro (co)polymers.
The method for producing a recycled material according to claim 5 , wherein the recycled material is a sealing material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2024054593A JP7577287B1 (en) | 2024-03-28 | 2024-03-28 | Method for producing recycled perfluoro (co)polymer and method for producing recycled material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2024054593A JP7577287B1 (en) | 2024-03-28 | 2024-03-28 | Method for producing recycled perfluoro (co)polymer and method for producing recycled material |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP7577287B1 true JP7577287B1 (en) | 2024-11-05 |
Family
ID=93332296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024054593A Active JP7577287B1 (en) | 2024-03-28 | 2024-03-28 | Method for producing recycled perfluoro (co)polymer and method for producing recycled material |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7577287B1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003211460A (en) | 2002-01-28 | 2003-07-29 | Daikin Ind Ltd | Method for manufacturing regenerated vulcanized fluorinated rubber and composition for unvulcanized fluorinated rubber to be regenerated |
| JP2006070127A (en) | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | Decomposition method of vulcanized rubber and decomposed rubber composition |
| JP2020200482A (en) | 2017-06-06 | 2020-12-17 | 国立大学法人東京工業大学 | Fluoroelastomer composition and molded article thereof |
| WO2022080476A1 (en) | 2020-10-15 | 2022-04-21 | 株式会社ブリヂストン | Desulfurized rubber, rubber composition, rubber composition for tire, tire, hose, belt, crawler |
-
2024
- 2024-03-28 JP JP2024054593A patent/JP7577287B1/en active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003211460A (en) | 2002-01-28 | 2003-07-29 | Daikin Ind Ltd | Method for manufacturing regenerated vulcanized fluorinated rubber and composition for unvulcanized fluorinated rubber to be regenerated |
| JP2006070127A (en) | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | Decomposition method of vulcanized rubber and decomposed rubber composition |
| JP2020200482A (en) | 2017-06-06 | 2020-12-17 | 国立大学法人東京工業大学 | Fluoroelastomer composition and molded article thereof |
| WO2022080476A1 (en) | 2020-10-15 | 2022-04-21 | 株式会社ブリヂストン | Desulfurized rubber, rubber composition, rubber composition for tire, tire, hose, belt, crawler |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20090093590A1 (en) | Seal Material for Semiconductor Production Apparatus | |
| EP2649125B1 (en) | Curable composition, molded product and method for producing molded product | |
| JP6620132B2 (en) | Seal material and manufacturing method thereof | |
| JP7206519B2 (en) | Composition and molded article containing fluorine-containing polymer | |
| JP5189728B2 (en) | Fluoro rubber sealant | |
| WO2017208928A1 (en) | Perfluoroelastomer composition and sealing material | |
| JP7562465B2 (en) | Rubber products and their manufacturing method | |
| JP2019214743A (en) | Rubber product and method for producing the same | |
| EP4219614A1 (en) | Elastomer composition, sealing material, and method for producing sealing material | |
| JP7577287B1 (en) | Method for producing recycled perfluoro (co)polymer and method for producing recycled material | |
| JP2005220161A (en) | Perfluoroelastomer composition for vulcanization and method for producing perfluoroelastomer molded product | |
| JP7522418B1 (en) | Sealant forming material, sealant, and method for producing sealant | |
| JP4381087B2 (en) | Method for producing fluoro rubber sealant | |
| TW202212462A (en) | Elastomer composition, sealing material and method for manufacturing sealing material | |
| WO2022065054A1 (en) | Elastomer composition, sealing material, and method for producing sealing material | |
| JP7155286B2 (en) | Elastomer composition and sealing material | |
| WO2024202607A1 (en) | Elastomer composition, method for producing elastomer composition, sealing material, and method for producing sealing material | |
| TW202222954A (en) | Encapsulant and manufacturing method of encapsulant | |
| CN116368187A (en) | Elastomer composition, sealing material, and method for producing sealing material | |
| JP2024055119A (en) | Sealant and method for producing the same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20240510 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240604 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240722 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240917 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20241015 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7577287 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |