JP7558135B2 - アクチュエータ装置 - Google Patents

Description

本開示は、例えば、自動車、鉄道車両等の車両の振動を緩衝するアクチュエータ装置に関する。

例えば、自動車、鉄道車両等の車両には、緩衝器となるアクチュエータ装置が設けられている。アクチュエータ装置は、相対移動する２部材間、例えば、ばね上側となる車体とばね下側となる車輪との間、ばね上側となる車体とばね下側となる台車との間、または、ばね上側となる台車とばね下側となる車輪（車軸、輪軸）との間に設けられている。ここで、特許文献１の電動リニアアクチュエータは、ストローク時（伸長時、縮小時）に内部の体積変化による反発力を低減するための連通孔が設けられている。

国際公開第２０２１／００６０６７号

従来技術によれば、ストロークに伴う体積変化を抑制するために、例えば相互に体積変化する空気室の間を連通孔で連通させている。しかし、従来技術の場合、加工工数が増える可能性がある。

本発明の一実施形態の目的は、加工工数を低減できるアクチュエータ装置を提供することにある。

本発明の一実施形態は、相対移動する第１取付部材と第２取付部材との間に設けられ、前記第１取付部材に固定される第１部材と、前記第２取付部材に固定される第２部材と、を有するアクチュエータ装置であって、前記第１部材は、一端に底部が設けられ、他端が開口する第１シリンダと、前記第１シリンダの他端部に設けられ、前記第２部材と摺動可能に配置される第１閉塞部材と、前記第１シリンダ内に配置される複数の磁石と、前記第１シリンダ内の前記底部から開口する他端側に向けて延びるロッドと、を備えており、前記第２部材は、前記第１シリンダの内側に設けられ、前記ロッドが挿入される第２シリンダと、前記ロッドの外周と摺動すると共に前記第２シリンダの一端を閉塞する第２閉塞部材と、前記第２シリンダの外周に配置され、コイルおよびコアを有し、一端が前記第２閉塞部材と当接する電機子と、前記電機子の他端に設けられるコイル端部部材と、前記コイル端部部材と一端が当接し、外周が前記第１閉塞部材と摺動し、他端が開口する第３シリンダと、前記第２シリンダと前記第３シリンダとを閉塞する第３閉塞部材と、を備えており、前記コイル端部部材は、前記第１シリンダ内と前記第２部材との間の第１室と、前記第３シリンダ内と前記第２シリンダとの間の第２室と、を連通する連通路を有し、前記連通路には、前記コイルを動作させる導線が挿通されている。

本発明の一実施形態によれば、加工工数を低減できる。

実施形態によるアクチュエータ装置（電磁アクチュエータ）を示す縦断面図である。 図１中の（II）部の拡大図である。 図２中の（III）部の拡大図である。 図３中の防塵フィルタを矢示（IV）方向からみた説明図である

以下、実施形態によるアクチュエータ装置を、添付図面を参照しつつ説明する。

図１において、アクチュエータ装置としての電磁アクチュエータ１は、電動リニアモータ、電動アクチュエータまたは電動リニアアクチュエータとも呼ばれている。電磁アクチュエータ１は、例えば、鉄道車両、自動車等の車両に搭載され、図示しないばね（懸架ばね、コイルスプリング、空気ばね）と共に、電磁サスペンション装置を構成する。

即ち、図示は省略するが、電磁アクチュエータ１は、例えば、ばね上側となる車体とばね下側となる車輪との間、ばね上側となる車体とばね下側となる台車との間、または、ばね上側となる台車とばね下側となる車輪（車軸、輪軸）との間に、ばねと共に設けられる。以下、車体、台車等のばね上側の部材を「ばね上部材」という。また、台車、車輪、車軸、輪軸等のばね下側の部材を「ばね下部材」という。

電磁アクチュエータ１は、例えば、ばね上側に配置される固定子２と、ばね下側に配置される可動子２１とを備えている。電磁アクチュエータ１は、第１部材（一側部材）となる可動子２１に設けられた永久磁石２２，２２と、第２部材（他側部材）となる固定子２に設けられた電機子１３のコイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）とにより三相リニアモータ（三相リニア同期モータ）を構成している。

より具体的には、電磁アクチュエータ１は、相対変位可能な同軸状の一対の筒部材からなる筒状リニア電磁式アクチュエータとして構成されており、相対移動する「ばね上部材」と「ばね下部材」との間に介装されている。この場合、電磁アクチュエータ１は、第１シリンダに対応する外筒２３に設けられた磁性部材（磁石）としての永久磁石２２，２２と、第２シリンダに対応する内筒３にコア１４を介して設けられた複数（複数相）のコイル１５（即ち、ｕ相コイル１５Ａ，ｖ相コイル１５Ｂ，ｗ相コイル１５Ｃ）とを備えている。コイル１５（ｕ相コイル１５Ａ，ｖ相コイル１５Ｂ，ｗ相コイル１５Ｃ）は、全周にわたって永久磁石２２，２２と径方向に対面して配置されている。

電磁アクチュエータ１の固定子２と可動子２１は、相対移動する２部材間（例えば、一方の部材となるばね下部材と他方の部材となるばね上部材との間）にそれぞれ取り付けられている。固定子２と可動子２１は、ばね上部材とばね下部材との間に直線状に互いに相対変位（相対移動）を可能に配置されている。固定子２と可動子２１は、ストローク方向となる軸方向、即ち、相対変位の方向である図１の上下方向に推力を発生させる。

ばね下部材は、第１取付部材に対応し、ばね上部材は、第２取付部材に対応する。即ち、電磁アクチュエータ１は、相対移動する第１取付部材（例えば、ばね下部材）と第２取付部材（例えば、ばね上部材）との間に設けられている。そして、電磁アクチュエータ１は、第１取付部材に固定される第１部材と、第２取付部材に固定される第２部材と、を有している。

実施形態では、電磁アクチュエータ１の第１部材と第２部材とのうち、第１部材を可動子２１とし、第２部材を固定子２とした場合を例示している。しかし、これに限らず、第１部材を固定子とし、第２部材を可動子としてもよい。即ち、ばね下部材（第１取付部材）に固定子を固定し、ばね上部材（第２取付部材）に可動子を固定してもよい。また、第１取付部材をばね上部材とし、第２取付部材をばね下部材としてもよい。また、以下の説明では、電磁アクチュエータ１の軸方向（図１の上下方向）の一端側を下端側（図１の下端側）とし、軸方向の他端側を上端側（図１の上端側）とするが、電磁アクチュエータの軸方向の一端側を上端側とし、軸方向の他端側を下端側としてもよい。

電磁アクチュエータ１の固定子２は、その一端側となる下端側に電機子１３を有している。即ち、第２部材としての固定子２は、第２シリンダとしての内筒３と、アウタカバー４と、第３シリンダとしての中間筒５と、第２閉塞部材としての底部材６と、第３閉塞部材としての第１蓋部材７および第２蓋部材８と、コイル端部部材としての環状部材１２と、電機子１３とを備えている。内筒３は、上下方向（軸方向）に延びる筒状（円筒状）の筒部材（円筒部材）として形成されている。内筒３の径方向外側には、固定子２の中間筒５および可動子２１の外筒２３が配置されている。逆に言えば、内筒３は、外筒２３および中間筒５の径方向内側に配置されている。この場合、内筒３は、外筒２３の内周に外筒２３の軸線方向に相対移動可能に配置されている。

内筒３の一端部となる下端部には、電機子１３が設けられている。内筒３は、下端側が電機子１３（コア１４）の内周側を軸方向に延び、例えば嵌合、圧入等の手段を用いてコア１４の内側に挿入されている。即ち、内筒３の下端部は、電機子１３まで延びており、電機子１３の内周側に位置している。内筒３の下端側には、内筒３の下端側を閉塞する底部材６が固定されている。

底部材６は、内筒３の下端側に挿入される小径部６Ａと、電機子１３のコア１４とほぼ同じ外径寸法を有する大径部６Ｂとを備えている。小径部６Ａの外周は、雄ねじ部６Ｃとなっている。雄ねじ部６Ｃは、内筒３の下端側に設けられた雌ねじ部３Ａに螺合されている。即ち、底部材６は、小径部６Ａの雄ねじ部６Ｃと内筒３の雌ねじ部３Ａとの螺合により内筒３に固定される。底部材６には、小径部６Ａおよび大径部６Ｂを軸方向に貫通する貫通孔６Ｄが設けられている。

底部材６の貫通孔６Ｄおよび内筒３には、可動子２１のロッド２４が挿入される。貫通孔６Ｄ内には、ロッド２４の外周面と低摩擦で摺動する摺動部材（図示せず）が設けられている。また、貫通孔６Ｄ内には、ロッド２４と貫通孔６Ｄとの間をシールするシール部材６Ｅが設けられている。底部材６は、ロッド２４の外周と摺動すると共に内筒３の一端（下端）を閉塞する第２閉塞部材に対応する。

内筒３は、外筒２３の内側に設けられ、一端側（下端側）からロッド２４が挿入される。内筒３の他端部（上端部）は、ばね上部材（第２取付部材：２部材間のうちの他方の部材）に取り付けられる。この場合、内筒３の上端側は、第１蓋部材７および第２蓋部材８により閉塞されている。即ち、内筒３の他端（上端）には、第１蓋部材７および第２蓋部材８が設けられている。第１蓋部材７および第２蓋部材８は、内筒３と中間筒５とを閉塞する第３閉塞部材に対応する。実施形態では、第１蓋部材７および第２蓋部材８は、内筒３および中間筒５の他端側（上端側）の開口に加えてアウタカバー４の他端側（上端側）の開口も閉塞している。

第１蓋部材７は、内筒３の上端側に挿入される小径部７Ａと、中間筒５の上端側に挿入される大径部７Ｂと、大径部７Ｂの径方向の中央位置から上側に向けて突出する突出部７Ｃとを備えている。小径部７Ａの外周は、雄ねじ部７Ｄとなっている。雄ねじ部７Ｄは、内筒３の上端側に設けられた雌ねじ部３Ｂに螺合される。即ち、第１蓋部材７は、小径部７Ａの雄ねじ部７Ｄと内筒３の雌ねじ部３Ｂとの螺合により内筒３に固定される。

また、大径部７Ｂの外周は、雄ねじ部７Ｅとなっている。雄ねじ部７Ｅは、中間筒５の上端側に設けられた雌ねじ部５Ａに螺合される。即ち、第１蓋部材７は、大径部７Ｂの雄ねじ部７Ｅと中間筒５の雌ねじ部５Ａとの螺合により中間筒５に固定される。突出部７Ｃは、第２蓋部材８に設けられた挿通孔８Ａに挿通される。

第１蓋部材７には、小径部７Ａ、大径部７Ｂおよび突出部７Ｃを軸方向に貫通する貫通孔７Ｆが設けられている。貫通孔７Ｆは、上端側となる突出部７Ｃ側の開口がボルト１１で閉塞されている。即ち、貫通孔７Ｆの上端側（突出部７Ｃ側）は、雌ねじとなっており、この雌ねじにボルト１１が螺合している。貫通孔７Ｆは、ボルト１１によって栓がされている。

第２蓋部材８は、第１蓋部材７に一体的に接続（固定）されている。第２蓋部材８は、可動子２１の外筒２３よりも大きな径寸法を有している。第２蓋部材８の径方向の中心位置には、第１蓋部材７の突出部７Ｃおよびボルト１１が挿通される挿通孔８Ａが設けられている。第２蓋部材８には、図示しないボルトによって取付アイ９が固定されている。取付アイ９は、例えば車両のばね上部材に取り付けられる。即ち、取付アイ９は、第２蓋部材８および第１蓋部材７と共に、内筒３、中間筒５およびアウタカバー４をばね上部材に取り付ける。

第２蓋部材８の外周縁には、全周にわたって下方に向けて延びる円筒状のアウタカバー４が取り付けられている。アウタカバー４は、中間筒５を覆っている。また、アウタカバー４は、可動子２１の外筒２３の上側ないし上半部を覆っている。これにより、固定子２には、外筒２３の外周側に位置するカバー部材としてのアウタカバー４が設けられている。即ち、第１蓋部材７および第２蓋部材８の径方向外側には、外筒２３が挿入され、かつ、一端（下端）が開口するアウタカバー４が設けられている。第２蓋部材８およびアウタカバー４は、車両の走行時に飛び石等から中間筒５および外筒２３を保護する。

中間筒５は、上下方向（軸方向）に延びる筒状（円筒状）の筒部材（円筒部材）として形成されている。中間筒５は、内筒３の外周側に設けられている。中間筒５は、一端となる下端が環状部材１２と当接し、他端となる上端が開口する。この開口は、第１蓋部材７および第２蓋部材８により閉塞されている。即ち、中間筒５の上端側は、第１蓋部材７の大径部７Ｂに取り付けられている。これにより、中間筒５の上端側は、第１蓋部材７および第２蓋部材８により閉塞されている。中間筒５の下端部は、電機子１３の上側に設けられた環状部材１２に接続されている。コイル端部部材としての環状部材１２は、電機子１３の他端となる上端に設けられている。

中間筒５は、第１蓋部材７の大径部７Ｂとの螺合により、環状部材１２を介して電機子１３を底部材６に向けて押し付けている。これにより、電機子１３は、底部材６、環状部材１２、中間筒５、内筒３、第１蓋部材７および第２蓋部材８と一体となって第１部材となる固定子２を構成している。中間筒５は、外周が可動子２１のリング部材２６と摺動する。

電機子１３は、環状に形成されている。電機子１３の内周部（内周側の空間）は、内筒３が挿入されている。電機子１３は、例えば磁性体からなる略筒状のコア１４と、コア１４に設けられた複数（複数相）のコイル１５（即ち、ｕ相コイル１５Ａ，ｖ相コイル１５Ｂ，ｗ相コイル１５Ｃ）とを有している。コア１４は、内筒３の下端側、即ち、外筒２３の底部側（下部部材２５側）に設けられている。コア１４の外周側には、コイル１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃが設けられている。これにより、コイル１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃは、内筒３の外周に配置されている。即ち、電機子１３は、内筒３の外周に配置され、コイル１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃおよびコア１４を有し、一端となる下端が底部材６と当接する。なお、コイル１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの個数は、３個に限らず、例えば６個、９個、１２個等、設計仕様等に応じて適宜に変更することができる。コイル１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃは、電磁アクチュエータ１の外部から導線１６を通じて電力が供給される。即ち、コイル１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃには、導線１６が接続されている。

図示は省略するが、環状部材１２の外周側には、電磁アクチュエータ１のストローク量を検出するストロークセンサが設けられている。ストロークセンサは、電機子１３と可動子２１（永久磁石２２，２２）との間の軸方向の絶対位置または相対位置を測定する。ストロークセンサは、例えば、磁気抵抗の変化、ホール効果等を利用して磁界（磁場、磁束）、極性（磁極）を検出する磁気抵抗素子、ホール素子（ホールＩＣ）等の磁気センサにより構成することができる。

ストロークセンサは、ストロークセンサに対して軸方向に変位する可動子２１の永久磁石２２，２２の磁界、極性等を検出する。これにより、永久磁石２２，２２の軸方向位置（ストローク位置）を演算することができ、この位置に応じて固定子２のコイル１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃに必要な電流を供給できる。なお、ストロークセンサは、磁気センサに限らず、レーザ変位計等、電機子１３と可動子２１との間の軸方向の相対位置または絶対位置を測定することが可能な各種のストロークセンサ（変位センサ）を用いることができる。

電磁アクチュエータ１の可動子２１は、その下端側が車両のばね下部材に接続されている。可動子２１には、可動子２１の軸方向に延びて環状に形成される複数の永久磁石２２，２２からなる界磁が設けられている。可動子２１は、円筒状の部材となる外筒２３および外筒２３の下端側を閉塞する下部部材２５を有している。即ち、第１部材としての可動子２１は、電機子１３（コア１４およびコイル１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）の外周側に配置されるヨークとしての外筒２３と、外筒２３の下端側に固定される下部部材２５と、外筒２３の内側に位置して下部部材２５から軸方向に延びるロッド２４と、外筒２３に設けられコイル１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃに対し径方向に隙間をもって対向する磁性部材としての複数の永久磁石２２，２２とを備えている。また、可動子２１は、外筒２３の上端側に取り付けられた第１閉塞部材としてのリング部材２６を備えている。

外筒２３および下部部材２５は、第１シリンダを構成しており、下部部材２５は、第１シリンダの底部に対応する。外筒２３は、例えば、磁場の中に置くと磁路を形成する磁性材料を用いて形成されている。外筒２３の径方向内側には、複数の永久磁石２２，２２が軸方向に並んで配置されている。外筒２３は、磁性材料を用いることにより、電磁アクチュエータ１の磁気回路を形成すると共に、永久磁石２２，２２の磁束を外部に漏らさないためのカバーとしての機能も有している。外筒２３は、上下方向（軸方向）に延びる筒状（円筒状）の筒部材（円筒部材）として形成されている。外筒２３は、固定子２の内筒３および中間筒５の外周側に設けられている。

外筒２３の一端部となる下端部は、ばね下部材（第１取付部材：２部材間のうちの一方の部材）に取り付けられている。この場合、外筒２３の下端側は、下部部材２５に固定されている。即ち、外筒２３の下端部は、下部部材２５の位置まで軸方向に延びており、下部部材２５により閉塞されている。外筒２３の下端側は、下部部材２５にボルト２７によって固定されている。これにより、外筒２３は、一端となる下端に底部となる下部部材２５が設けられ、他端となる上端が開口している。

下部部材２５は、固定子２の内筒３（および中間筒５）よりも大きな径寸法を有する円板部２５Ａを備えている。円板部２５Ａには、ボルト２７が挿通されるボルト挿通孔２５Ｂが設けられている。外筒２３の下端部には、円板部２５Ａのボルト挿通孔２５Ｂに対応してねじ穴２３Ａが設けられている。外筒２３と円板部２５Ａは、円板部２５Ａのボルト挿通孔２５Ｂに挿通されると共に外筒２３のねじ穴２３Ａに螺合されたボルト２７によって固定される。

下部部材２５は、例えば車両のばね下部材に取り付けられる取付アイ２５Ｃを備えている。取付アイ２５Ｃは、円板部２５Ａに一体的に設けられている。下部部材２５は、外筒２３をばね下部材に取り付ける。下部部材２５には、取付アイ２５Ｃとは軸方向の反対側に位置して、下部部材２５から電機子１３の内側を軸方向に延びるロッド２４が設けられている。

ロッド２４は、外筒２３の内側に位置している。この場合、ロッド２４は、内筒３に挿入されている。即ち、ロッド２４は、外筒２３内を下部部材２５（円板部２５Ａ）から外筒２３の開口側となる他端側（上端側）、即ち、リング部材２６側に向けて延びている。ロッド２４は、一端部となる下端部が下部部材２５（円板部２５Ａ）に取り付けられている。ロッド２４は、他端部となる上端部が底部材６の貫通孔６Ｄを通じて電機子１３の内周部となる内筒３内に延びている。ロッド２４は、例えば、下部部材２５と一体に形成する構成、または、下部部材２５とは別体のロッド２４を下部部材２５に螺合により固定する構成を採用することができる。

ロッド２４の先端側には、ピストン２９が設けられている。ピストン２９は、内筒３の内面と摺動し、内筒３内を２室に区画する。また、ピストン２９の外周には、ピストン２９に区画された２室を連通するピストン連通路２９Ａが設けられている。ロッド２４は、内筒３内を軸方向に相対変位する。この場合、ピストン２９の外周面と内筒３の内周面とが摺動し、かつ、ロッド２４の外周面と底部材６（貫通孔６Ｄ）に設けられた摺動部材とが摺動することにより、ロッド２４が内筒３に案内される。

リング部材２６は、外筒２３の他端部となる上端部に設けられている。リング部材２６は、円環状に形成されており、例えば、外筒２３に螺合やかしめ等により固定的に取り付けられている。リング部材２６は、中間筒５の外周と外部とを仕切っている。また、リング部材２６は、例えば、永久磁石２２，２２が外筒２３内から抜け出るのを抑えると共に、永久磁石２２，２２の軸方向の位置決めを行っている。

リング部材２６の内周側には、中間筒５の外周面と低摩擦で摺動する摺動部材（図示せず）が設けられている。また、リング部材２６の内周面には、中間筒５とリング部材２６との間をシールするシール部材２６Ａが設けられている。中間筒５は、リング部材２６に対して軸方向に相対変位する。この場合、中間筒５の外周面とリング部材２６の内周側に設けられた摺動部材とが摺動することにより、中間筒５がリング部材２６（即ち、外筒２３）に案内される。このように、リング部材２６は、固定子２の中間筒５と摺動可能に配置される。

界磁となる複数の永久磁石２２，２２は、可動子２１に設けられている。永久磁石２２，２２は、磁場を生じさせる磁性部材であり、外筒２３内に配置されている。この場合、永久磁石２２，２２は、それぞれ円環状に形成されている。永久磁石２２，２２は、例えば、円筒状に一体に形成されたリング磁石、円弧状の複数の磁石素子を周方向に並べることにより円環状に構成した分割型のセグメント磁石等により構成することができる。

永久磁石２２，２２は、外筒２３の内周面側に軸方向に沿って並んで設けられている。軸方向に隣合う各永久磁石２２，２２は、互いに逆極性になっている。例えば、内周面側がＮ極で外周面側がＳ極の永久磁石の隣には、内周面側がＳ極で外周面側がＮ極の永久磁石が配置されている。なお、永久磁石２２，２２の個数は、図示の例に限るものではない。例えば、ストローク量に応じて必要個数の永久磁石２２，２２を並べることができる。

電磁アクチュエータ１は、例えば、鉄道車両の車体と台車との間に配置される。実施形態では、電磁アクチュエータ１の車体側部品は、固定子２に対応する。車体側には、磁性体のコア１４と、コア１４にマグネットワイヤーを巻回してなるコイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）とが配置される。また、電磁アクチュエータ１の台車側部品は、可動子２１に対応する。台車側には、車体側の電機子１３（コイル１５およびコア１４）に一定の空隙（エアギャップ）を介して対向する磁石２２，２２が配置される。

ところで、鉄道車両用の制御サスペンションシステムの一例として、鉄道車両の台車と車体との間に２次ばね（例えば、空気ばね）と並列にリニアアクチュエータ（例えば、電磁アクチュエータ）を配置したアクティブサスペンションシステムがある。制御サスペンションの一つであるアクティブサスペンションは、車体の振動状態に合わせてリアルタイムに制御力を変更することが可能であり、車両の乗り心地を向上させることができる。

リニアアクチュエータである電磁アクチュエータは、回転モータの回転運動を回転直動変換機構により直動運動に変換する方式（タイプ）と、リニアモータを用いる方式（タイプ）とがある。図１の電磁アクチュエータ１は、リニアモータを用いる方式である。電磁アクチュエータの制御力は、コイルと磁石との吸引力および／または反発力によって発生する。即ち、電磁アクチュエータの制御力は、コイルに電流を流すことにより発生する磁束とコイルに対向する磁石の磁束との間の吸引力および／または反発力によって発生する。

また、電磁アクチュエータを鉄道車両で使用する場合、例えば、雨水や塵の侵入による固着（摺動部への噛み込み）や絶縁性能の低下を防止するために、防水／防塵構造が必要となる。このとき、電磁アクチュエータを密閉することで、防水／防塵構造を満たすことは可能である。しかし、電磁アクチュエータを密閉した場合、ストローク（伸長、縮小）に伴う空気室の体積変化が問題になる可能性がある。具体的には、ストロークに伴う電磁アクチュエータの内部の体積変化によって空気ばね力が発生し、電磁アクチュエータの制御力を妨げる可能性がある。

これに対して、例えば、ストロークによる体積変化に対応するために、外部にサブタンクを設けることが考えられる。しかし、この場合は、サブタンクの追加コストおよび設置スペースが必要になる。また、例えば、電磁アクチュエータの全体の体積変化をなくし、かつ、体積変化をする空気室間に連通孔を設けて空気抵抗を低減することが考えられる。しかし、この場合は、電磁アクチュエータ全体の構造を変更する必要がある。また、例えば、外部との連通孔を設け、外部との空気のやり取り（呼吸）をすることが考えられる。しかし、この場合は、連通孔（呼吸孔）を設ける位置によっては、制御力が犠牲になる可能性がある。さらに、体積変化による反発力を低減するための連通孔を設ける場合、加工工数が増える可能性がある。

そこで、実施形態では、電磁アクチュエータの構造を極力変えずに、ストロークに伴う体積変化による反力を低減する。また、制御力を確保すると共に、加工工数を低減する。このために、実施形態では、ストロークによって体積変化する領域（即ち、電機子１３と永久磁石２２，２２とが対向する第１室Ａ）と体積変化しない領域（即ち、内筒３と中間筒５とが対向する第２室Ｂ）とを連通路３１で接続する。この場合、この連通路３１を、電機子１３のコイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）を駆動する導線１６が通過する通路としている。さらに、体積変化しない領域（第２室Ｂ）と外気（即ち、外気と接続するアウタカバー４内の第３室Ｃ）とを外部連通路３２で接続する。以下、これらの構成について、詳しく説明する。

まず、電磁アクチュエータ１は、相対移動する第１取付部材（例えば、ばね下部材）と第２取付部材（例えば、ばね上部材）との間に設けられる。電磁アクチュエータ１は、第１取付部材に固定される第１部材（例えば、可動子２１）と、第２取付部材に固定される第２部材（例えば、固定子２）と、を有している。第１部材としての可動子２１は、第１シリンダとしての外筒２３および下部部材２５と、第１閉塞部材としてのリング部材２６と、複数の永久磁石２２と、ロッド２４と、を備えている。外筒２３は、一端（下端）に第１シリンダの底部となる下部部材２５が設けられ、他端（上端）が開口している。リング部材２６は、外筒２３の他端部（上端部）に設けられ、固定子２の中間筒５と摺動可能に配置されている。磁石である永久磁石２２は、外筒２３内に配置されている。ロッド２４は、外筒２３内を下部部材２５から開口する他端側（上端側）に向けて延びている。

第２部材としての固定子２は、第２シリンダとしての内筒３と、第２閉塞部材としての底部材６と、電機子１３と、コイル端部部材としての環状部材１２と、第３シリンダとしての中間筒５と、第３閉塞部材としての第１蓋部材７および第２蓋部材８と、を備えている。内筒３は、外筒２３の内側に設けられ、ロッド２４が挿入されている。底部材６は、ロッド２４の外周と摺動すると共に内筒３の一端（下端）を閉塞している。電機子１３は、コイル１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃおよびコア１４を有している。電機子１３は、内筒３の外周に配置され、一端（下端）が底部材６と当接している。環状部材１２は、電機子１３の他端（上端）に設けられている。中間筒５は、一端（下端）が環状部材１２と当接し、他端（上端）が開口している。中間筒５は、外周がリング部材２６と摺動する。第１蓋部材７および第２蓋部材８は、内筒３と中間筒５とを閉塞している。即ち、中間筒５の他端（上端）の開口は、第１蓋部材７および第２蓋部材８によって閉塞されている。

電磁アクチュエータ１は、第１室Ａおよび第２室Ｂを有している。第１室Ａは、第１シリンダ（外筒２３、下部部材２５）内と固定子２との間の室（空間）に対応する。例えば、第１室Ａは、外筒２３の内周面と、下部部材２５の上面と、ロッド２４の外周面と、中間筒５の外周面と、環状部材１２の外周面と、電機子１３の外周面と、底部材６の外周面および底面とにより区画される室（空間）に対応する。第２室Ｂは、中間筒５内と内筒３との間の室（空間）に対応する。例えば、第１室Ａは、中間筒５の内周面と内筒３の外周面とにより区画される室（空間）に対応する。鉄道車両の車体と台車との相対変位に伴って、固定子２と可動子２１とが相対変位（ストローク）すると、この相対変位に伴って第１室Ａは体積変化し、第２室Ｂは体積変化しない。

環状部材１２は、第１室Ａと第２室Ｂとを連通する連通路３１を有している。連通路３１は、環状部材１２の軸方向に延びる軸方向通路３１Ａと、この軸方向通路３１Ａに連通し環状部材１２の径方向に延びる径方向通路３１Ｂとを備えている。軸方向通路３１Ａおよび径方向通路３１Ｂは、例えば穿孔加工によって環状部材１２に形成されている。軸方向通路３１Ａは、環状部材１２の一側面（電機子１３のコア１４と対面する下面）と他側面（第２室Ｂと対面する上面）との間を貫通する貫通孔として環状部材１２に設けられている。径方向通路３１Ｂは、環状部材１２の外周面と軸方向通路３１Ａとの間を貫通する貫通孔として環状部材１２に設けられている。これにより、連通路３１は、軸方向通路３１Ａおよび径方向通路３１Ｂにより、第１室Ａと第２室Ｂとの間を連通している。

軸方向通路３１Ａおよび径方向通路３１Ｂは、第１室Ａと第２室Ｂとの間を気体（空気）が流通する通気用通路である。また、軸方向通路３１Ａには、コイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）に電力を供給する導線１６が配設されている。即ち、環状部材１２の連通路３１には、コイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）を動作させる導線１６が挿通されている。これにより、環状部材１２の連通路３１は、コイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）の導線１６を通過させるための配線用通路であり、かつ、第１室Ａと第２室Ｂとの間で気体（空気）が流通する通気用通路となっている。

また、内筒３および中間筒５の上端側を塞ぐ第１蓋部材７および第２蓋部材８には、第２室Ｂと外部（より具体的には、外部と接続するアウタカバー４内の第３室Ｃ）とを連通する外部連通路３２が設けられている。即ち、第２蓋部材８の径方向外側には、一端となる下端が開口するアウタカバー４が設けられており、アウタカバー４には、外筒２３が挿入されている。そして、外部連通路３２は、アウタカバー４内に連通し、可動子２１側（リング部材２６側）に開口している。

この場合、コイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）に電流を流すための導線１６は、第２室Ｂを経由し、第１蓋部材７および第２蓋部材８を通り、電磁アクチュエータ１の外部へ導出されている。即ち、ケーブルとも呼ばれる導線１６は、第２室Ｂから第１蓋部材７および第２蓋部材８を通り、電磁アクチュエータ１から導線出口３３を通じて外部に延びている。この場合、導線取出し口となる導線出口３３は、導線出口３３から電磁アクチュエータ１の内部に水や塵が侵入することを防止するために防水／防塵処置を施す必要がある。このため、導線出口３３は、電磁アクチュエータ１の内部と外気とを連通する外部連通路３２の開口と共用することができない。即ち、導線出口３３は、防水／防塵処置を施すために、導線出口３３の内面と導線１６との間を栓部材３４により封止する必要があるのに対して、外部連通路３２の開口は、通気できるようにする必要がある。そこで、実施形態では、導線出口３３と外部連通路３２の開口とを異ならせている。また、外部連通路３２には、防塵フィルタ３５が設けられている。

ここで、前述の従来技術によれば、円筒状のアウタチューブに防塵フィルタを配置している。このため、防塵フィルタを貼付する作業が面倒になる可能性がある。また、外部からの雨や塵埃、飛び石などに対応するために、防塵フィルタにある程度の強度、剛性が必要になる。一方、防塵フィルタの配置場所によっては、磁石の貼付枚数や面積が減り、推力が局所的に低下する可能性もある。そこで、実施形態では、電磁アクチュエータ１がストロークしたときに体積変化に伴う空気ばね力を抑制し、かつ、防塵フィルタの貼付の作業性を確保すると共に推力の低下を抑制できるようにしている。

このために、外部連通路３２は、第１蓋部材７および第２蓋部材８に設けられている。外部連通路３２は、内径側連通路３２Ａと、外径側連通路３２Ｂと、接続連通路３２Ｃとを有している。内径側連通路３２Ａは、第１蓋部材７に少なくとも１つ以上設けられている。内径側連通路３２Ａは、電磁アクチュエータ１のストローク方向（軸方向）に延び、第２室Ｂに開口している。この場合、内径側連通路３２Ａの下端側の開口は、環状部材１２に対面している。内径側連通路３２Ａの上端側の開口は、接続連通路３２Ｃに接続されている。外径側連通路３２Ｂは、内径側連通路３２Ａよりも外径側に位置して第２蓋部材８に設けられている。外径側連通路３２Ｂは、電磁アクチュエータ１のストローク方向（軸方向）に延び、外部、即ち、外部に接続するアウタカバー４内の第３室Ｃに開口している。この場合、外径側連通路３２Ｂの下端側の開口は、リング部材２６に対面している。外径側連通路３２Ｂの上端側の開口は、接続連通路３２Ｃに接続されている。

接続連通路３２Ｃは、第２蓋部材８に設けられている。接続連通路３２Ｃは、内径側連通路３２Ａと外径側連通路３２Ｂとを接続している。このために、接続連通路３２Ｃは、第１接続路３２Ｃ１と、第２接続路３２Ｃ２とを備えている。第１接続路３２Ｃ１は、第１蓋部材７と第２蓋部材８とを接続したときに、第１蓋部材７の内径側連通路３２Ａと対向する。第１接続路３２Ｃ１は、外径側連通路３２Ｂと同様に電磁アクチュエータ１のストローク方向（軸方向）に延びている。第２接続路３２Ｃ２は、第２蓋部材８の径方向に延びている。第２接続路３２Ｃ２の一端部、即ち、第２蓋部材８の径方向内側に位置する端部は、第１接続路３２Ｃ１に接続されている。

第２接続路３２Ｃ２の他端部、即ち、第２蓋部材８の径方向外側に位置する端部は、第２蓋部材８の外周面に開口している。即ち、第２接続路３２Ｃ２の他端は、電磁アクチュエータ１の外部に開口しており、導線出口３３となっている。また、第２接続路３２Ｃ２の途中には、外径側連通路３２Ｂが接続されている。これにより、外部連通路３２は、第２室Ｂと外部に通じる第３室Ｃ（即ち、中間筒５の外周面とアウタカバー４の内周面との間の第３室Ｃ）とを連通している。この場合、第２室Ｂは、外部連通路３２の内径側連通路３２Ａ、接続連通路３２Ｃの第１接続路３２Ｃ１および第２接続路３２Ｃ２、外径側連通路３２Ｂを介して第３室Ｃと連通している。

さらに、外部連通路３２のうち内径側連通路３２Ａ、接続連通路３２Ｃの第１接続路３２Ｃ１および第２接続路３２Ｃ２には、導線１６が配設されている。導線１６は、コイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）側から第２室Ｂ、外部連通路３２の内径側連通路３２Ａ、接続連通路３２Ｃの第１接続路３２Ｃ１および第２接続路３２Ｃ２を通り、第２接続路３２Ｃ２の他端側の開口である導線出口３３から外部に延びている。これにより、外部連通路３２の内径側連通路３２Ａおよび接続連通路３２Ｃは、第２室Ｂと第３室Ｃとの間で気体（空気）を流通させるための通気用通路の機能と導線１６を第２室Ｂ側から外部へ導く配線用通路の機能とを有している。接続連通路３２Ｃは、外径側連通路３２Ｂが接続されており、外径側連通路３２Ｂは、第２室Ｂと第３室Ｃとの間で気体（空気）を流通させるための通気用通路の機能を有している。

導線出口３３には、シール部材となる栓部材３４が設けられており、導線出口３３の内周面と導線１６の外周面との間から水、塵等の異物が侵入しないように防水／防塵処置が施されている。これに対して、外径側連通路３２Ｂには、防塵フィルタ３５が設けられている。アウタカバー４の内の第３室Ｃは、アウタカバー４の一端側となる下端側で外気と連通している。このため、アウタカバー４内の第３室Ｃから水、塵等の異物が侵入することを防止するために、外径側連通路３２Ｂには、防塵フィルタ３５が設けられている。図３および図４に示すように、防塵フィルタ３５は、電磁アクチュエータ１のストローク方向、即ち、可動子２１と固定子２の伸縮方向（軸方向）に網目が配置されている。即ち、防塵フィルタ３５は、外径側連通路３２Ｂを通過する空気の流れに対して対面するように網目が配置されている。

実施形態による電磁アクチュエータ１は、上述のような構成を有するもので、次にその作動について説明する。

例えば、電磁アクチュエータ１は、図示しないばねと共に、車両の電磁サスペンション装置を構成する。電磁サスペンション装置は、車両のばね上部材（車体側）とばね下部材（車輪側）との間に上下方向に縦置き状態で介在させることができる。また、電磁サスペンション装置は、車両のばね上部材（車体側）とばね下部材（台車側）との間に左右方向に横置き状態で介在させることができる。例えば、縦置き状態の場合、車両が上下方向に振動すると、電磁サスペンション装置には、ストローク方向（軸方向）に力が作用する。横置き状態の場合、車両が左右方向に振動すると、電磁サスペンション装置には、ストローク方向（軸方向）に力が作用する。この力に応じて、電磁アクチュエータ１の固定子２と可動子２１とが相対移動する。このとき、電磁アクチュエータ１は、コイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）と永久磁石２２，２２の磁極位置とに応じてコイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）に所定の電流を流すことにより、電磁アクチュエータ１の推力（減衰力）を調整することができる。この結果、車両の乗り心地や操縦安定性を向上させることができる。

電磁アクチュエータ１の内部は、ストロークに伴って体積変化する。例えば、電磁アクチュエータ１が縮小すると、第１室Ａの体積が減少し、第１室Ａの圧力が上昇する。これにより、第１室Ａから環状部材１２の連通路３１を経由して第２室Ｂに空気が移動する。第２室Ｂは、連通路３１からの空気により圧力が上昇する。第２室Ｂの空気は、外部連通路３２を経由して第３室Ｃに移動する。これに対して、電磁アクチュエータ１が伸長すると、第１室の体積が増加し、第１室Ａの圧力が減少する。これにより、第３室Ｃ側から外部連通路３２、第２室Ｂ、連通路３１を経由して第１室Ａに空気が移動する。

実施形態では、第２室Ｂは、外気と第１室Ａとの間の空気の通路とし、かつ、導線１６を通す領域として共用している。また、第１蓋部材７および第２蓋部材８には、「防水／防塵処理をした導線１６の取出し」および「第２室Ｂと外気との間の連通」を行うための外部連通路３２が設けられている。そして、外部連通路３２の外径側連通路３２Ｂは、重力方向（上下方向）を向いている。防塵フィルタ３５は、外径側連通路３２Ｂに設けられており、防塵フィルタ３５は直接外気と接触していない。体積が変化する領域となる第１室Ａと外気（外気に直接接続する第３室Ｃ）との間には、体積が変化しない領域となる第２室Ｂが設けられている。

そして、第１室Ａと外気（外気に直接接続する第３室Ｃ）とを接続するための連通路３１および外部連通路３２は、磁石と関係ない位置に設けられている。このため、連通路３１および外部連通路３２を設けることに伴う推力の局所的な低下をなくすことができる。また、外部連通路３２（外径側連通路３２Ｂ）に防塵フィルタ３５を配置することで、防塵フィルタ３５の配置、選定が従来技術と比べて容易になる。具体的には、防塵フィルタ３５自体が直接外気と接しない（アウタカバー４内に配置される）ので、例えば飛び石による防塵フィルタ３５の損傷を考慮する必要がなくなり、要求される強度を低くできる。これにより、従来に比べ安価なフィルタを採用することができる。防塵フィルタ３５を設ける外径側連通路３２Ｂは、重力方向を向いているため、水や塵の侵入を抑制できる。さらに、電磁アクチュエータ１の体積変化に伴う空気のルートは、電磁アクチュエータ１が伸びたときも縮んだときも必ず体積一定の第２室Ｂを通る。このため、例えば、第１室Ａを直接外気に接続する構成と比較して、体積変化に伴う体積変化の割合（＝圧力変化）を少なくでき、ストロークに伴う異音（呼吸音）を低減できる。さらに、導線１６を通すルートとエア抜きの通路とを共用しているため、加工工数の低減を図ることができる。また、新規に追加の部品が必要になることもない。

以上のように、実施形態によれば、環状部材１２の連通路３１にコイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）を動作させる導線１６が挿通されている。このため、この連通路３１を、「コイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）の導線１６を通過させるための配線用通路」と「第１室Ａと第２室Ｂとの間で気体（空気）が流通する通気用通路」との両方の通路として用いることができる。即ち、「コイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）に接続される導線１６を通すルートである配線用通路」と「第１室Ａと第２室Ｂとの間のエア抜きの通路である通気用通路」とを共用することができる。これにより、配線用通路と通気用通路とを別々に形成する必要がなくなり、加工工数を低減できる。この場合、新規の追加部品を必要とすることなく対応することができる。

実施形態によれば、第１蓋部材７および第２蓋部材８に外部連通路３２が設けられている。このため、外部連通路３２を永久磁石２２，２２と無関係の場所に配置することができる。これにより、外部連通路３２を設けることに伴う推力の局所的な低下を抑制することができる。これに加えて、外部連通路３２を設けることに伴う電磁アクチュエータ１のストローク量の犠牲をなくせる（低減できる）ため、制御範囲（推力発生範囲）を確保しやすくできる。さらに、ストロークに伴い体積変化する第１室Ａは、体積変化しない第２室Ｂを経由して外部（外気）と連通されるため、全体としての体積変化の割合および圧力変化を小さくできる。これにより、ストロークに伴う異音（呼吸音）を抑制できる。

実施形態によれば、外部連通路３２は、第１蓋部材７および第２蓋部材８の径方向外側に設けられたアウタカバー４内に連通し、可動子２１側に開口する。このため、外部連通路３２がアウタカバー４内の空間（第３室Ｃ）を介して外部と連通する（即ち、外部連通路３２が外部と直接的に連通しない）。これにより、外部の異物を内部（第２室Ｂ）に入りにくくできる。また、外部連通路３２をストローク方向に開口させることができるため、例えば電磁アクチュエータ１を上下方向に配置した場合に外部連通路３２を下側（重力方向）に向けることができる。このため、この面からも、外部連通路３２を通じて雨水、塵等の異物を内部（第２室Ｂ）に入りにくくできる。

実施形態によれば、外部連通路３２に防塵フィルタ３５が設けられている。このため、第２蓋部材８に防塵フィルタ３５を配置でき、防塵フィルタ３５の組み付けの作業性を確保できる。また、防塵フィルタ３５は、直接外気と接しない（アウタカバー４内に位置する）。このため、外部から異物が防塵フィルタ３５に衝突することを抑制できる。これにより、防塵フィルタ３５の損傷を抑制できることに加えて、安価な防塵フィルタ３５を採用できる。

実施形態によれば、防塵フィルタ３５は、伸縮方向に網目が配置される。このため、防塵フィルタ３５は、外部連通路３２を伸縮方向に流通する気体（空気）中の異物を安定して捕集（気体中から除去）できる。

なお、実施形態では、外部連通路３２の断面積の大きさ、即ち、内径側連通路３２Ａの断面積の大きさと外径側連通路３２Ｂの断面積の大きさと接続連通路３２Ｃの断面積の大きさとを特に規定していない。しかし、例えば、外部連通路３２の断面積を一定、即ち、内径側連通路３２Ａの断面積と外径側連通路３２Ｂの断面積と接続連通路３２Ｃの断面積とを同じにすることができる。この場合は、外部連通路３２で発生する圧力損失を均等にすることができる。即ち、電磁アクチュエータ１のストロークで発生する圧力変化による空気の流れを、外部連通路３２内で妨げることなく空気を通すことができる。即ち、圧力変化による空気反力の増加を抑えることができる。

また、例えば、内径側連通路３２Ａの断面積と外径側連通路３２Ｂの断面積とをほぼ同じとし、この断面積よりも接続連通路３２Ｃの断面積を大きくしてもよい。ここで、内径側連通路３２Ａと外径側連通路３２Ｂは、一般的にはドリルで穴をあけることにより形成するため、加工断面は円となる。一方、接続連通路３２Ｃは、内径側連通路３２Ａおよび外径側連通路３２Ｂと同径のドリルで開ける、または、第２蓋部材８の上面の一部を凹形状にくりぬくことにより形成できる。このため、内径側連通路３２Ａおよび外径側連通路３２Ｂの断面積よりも接続連通路３２Ｃの断面積を大きくすることで、加工寸法精度を粗くすることが可能となる。この結果、加工費を低減できる。

また、例えば、外部連通路３２の断面積と連通路３１の断面積とをほぼ同じにしてもよい。この場合には、第１室Ａから外気までを接続する連通路３１および外部連通路３２をほぼ同一とすることで、局所的な圧力損失による空気反力の発生を抑えることができる。

また、図示は省略するが、防塵フィルタ３５は、例えば、外径側連通路３２Ｂと接続連通路３２Ｃとの接続部に設けてもよい。この場合は、この接続部に設けた防塵フィルタにより、外気中の異物（水、塵等）の侵入を抑えることができる。また、仮に、防塵フィルタが接続部から剥がれた場合でも、この防塵フィルタの外径寸法を外径側連通路３２Ｂの内径寸法よりも大きくすることにより、防塵フィルタが外径側連通路３２Ｂを通じて外部に抜け出ることを抑制できる。これにより、防塵フィルタの落失事故を構造的に抑制することができる。

また、防塵フィルタ３５は省略してもよい。即ち、防塵フィルタを設けない構成としてもよい。また、アウタカバー４を省略してもよい。即ち、アウタカバーを設けない構成としてもよい。さらに、外部連通路３２を省略してもよい。即ち、環状部材１２に連通路３１を設けるが、第１蓋部材７および第２蓋部材８に外部連通路を設けない構成としてもよい。

実施形態では、電磁アクチュエータ１を、固定子２側のコア１４に設けられたコイル１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ）と、可動子２１側の外筒２３に設けられた永久磁石２２，２２（磁石）とにより構成した場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、可動子側に設けられたコイルと、固定子側に設けられた磁石とにより電磁アクチュエータを構成してもよい。

実施形態では、横断面形状が円形の電磁アクチュエータ１、即ち、固定子２および可動子２１を円筒状に形成した場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、横断面形状がＩ字状（平板状）や矩形状、Ｈ字状の電磁アクチュエータ等、横断面形状が円形以外の筒状（シリンダ状）の電磁アクチュエータにより構成してもよい。

実施形態では、固定子２を車両のばね上部材に取り付けると共に、可動子２１を車両のばね下部材に取り付ける構成とした場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、固定子を車両のばね下部材に取り付けると共に、可動子を車両のばね上部材に取り付ける構成としてもよい。

実施形態では、電磁アクチュエータ１を縦置き状態で鉄道車両、自動車等の車両に取り付ける構成とした場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば、電磁アクチュエータを横置き状態で鉄道車両等の車両に取り付ける構成としてもよい。

実施形態では、電磁アクチュエータ１を車両に取り付ける構成とした場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、電磁アクチュエータは、例えば、振動源となる種々の機械、建築物等の緩衝器として用いてもよい。また、電磁アクチュエータは、緩衝器に限定されず、各種機器を駆動するアクチュエータ（駆動装置）として用いることができる。

以上説明した実施形態によれば、コイル端部部材の連通路にコイルを動作させる導線が挿通されている。このため、この連通路を、「コイルの導線を通過させるための配線用通路」と「第１室と第２室との間で気体（空気）が流通する通気用通路」との両方の通路として用いることができる。即ち、「コイルに接続される導線を通すルートである配線用通路」と「第１室と第２室との間のエア抜きの通路である通気用通路」とを共用することができる。これにより、配線用通路と通気用通路とを別々に形成する必要がなくなり、加工工数を低減できる。この場合、新規の追加部品を必要とすることなく対応することができる。

実施形態によれば、第３閉塞部材に外部連通路が設けられている。このため、外部連通路を磁石と無関係の場所に配置することができる。これにより、外部連通路を設けることに伴う推力の局所的な低下を抑制することができる。これに加えて、外部連通路を設けることに伴うアクチュエータ装置のストローク量の犠牲をなくせる（低減できる）ため、制御範囲（推力発生範囲）を確保しやすくできる。さらに、ストロークに伴い体積変化する第１室は、体積変化しない第２室を経由して外部（外気）と連通されるため、全体としての体積変化の割合および圧力変化を小さくできる。これにより、ストロークに伴う異音（呼吸音）を抑制できる。

実施形態によれば、外部連通路は、第３閉塞部材の径方向外側に設けられたアウタカバー内に連通し、第１部材側に開口する。このため、外部連通路がアウタカバー内の空間を介して外部と連通する（即ち、外部連通路が外部と直接的に連通しない）。これにより、外部の異物を内部（第２室）に入りにくくできる。また、外部連通路をストローク方向に開口させることができるため、例えばアクチュエータ装置を上下方向に配置した場合に外部連通路を下側（重力方向）に向けることができる。このため、この面からも、外部連通路を通じて雨水、塵等の異物を内部（第２室）に入りにくくできる。

実施形態によれば、外部連通路に防塵フィルタが設けられている。このため、第３閉塞部材に防塵フィルタを配置でき、防塵フィルタの組み付けの作業性を確保できる。また、防塵フィルタは、直接外気と接しない（アウタカバー内に位置する）。このため、外部から異物が防塵フィルタに衝突することを抑制できる。これにより、防塵フィルタの損傷を抑制できることに加えて、安価な防塵フィルタを採用できる。

実施形態によれば、防塵フィルタは、伸縮方向に網目が配置される。このため、防塵フィルタは、外部連通路を伸縮方向に流通する気体（空気）中の異物を安定して捕集（気体中から除去）できる。

１：電磁アクチュエータ（アクチュエータ装置）、２：固定子（第２部材）、３：内筒（第２シリンダ）、４：アウタカバー、５：中間筒（第３シリンダ）、６：底部材（第２閉塞部材）、７：第１蓋部材（第３閉塞部材）、８：第２蓋部材（第３閉塞部材）、１２：環状部材（コイル端部部材）、１３：電機子、１４：コア、１５：コイル、１６：導線、２１：可動子（第１部材）、２３：外筒（第１シリンダ）、２５：下部部材２５（第１シリンダ、第１シリンダの底部）、２６：リング部材（第１閉塞部材）、３１：連通路、３２：外部連通路、３５：防塵フィルタ、Ａ：第１室、Ｂ：第２室

Claims (5)

1. 相対移動する第１取付部材と第２取付部材との間に設けられ、
   前記第１取付部材に固定される第１部材と、前記第２取付部材に固定される第２部材と、を有するアクチュエータ装置であって、
   前記第１部材は、
   一端に底部が設けられ、他端が開口する第１シリンダと、
   前記第１シリンダの他端部に設けられ、前記第２部材と摺動可能に配置される第１閉塞部材と、
   前記第１シリンダ内に配置される複数の磁石と、
   前記第１シリンダ内の前記底部から開口する他端側に向けて延びるロッドと、を備えており、
   前記第２部材は、
   前記第１シリンダの内側に設けられ、前記ロッドが挿入される第２シリンダと、
   前記ロッドの外周と摺動すると共に前記第２シリンダの一端を閉塞する第２閉塞部材と、
   前記第２シリンダの外周に配置され、コイルおよびコアを有し、一端が前記第２閉塞部材と当接する電機子と、
   前記電機子の他端に設けられるコイル端部部材と、
   前記コイル端部部材と一端が当接し、外周が前記第１閉塞部材と摺動し、他端が開口する第３シリンダと、
   前記第２シリンダと前記第３シリンダとを閉塞する第３閉塞部材と、を備えており、
   前記コイル端部部材は、前記第１シリンダ内と前記第２部材との間の第１室と、前記第３シリンダ内と前記第２シリンダとの間の第２室と、を連通する連通路を有し、
   前記連通路には、前記コイルを動作させる導線が挿通されている
   アクチュエータ装置。
2. 請求項１に記載のアクチュエータ装置であり、
   前記第３閉塞部材は、前記第２室と外部とを連通する外部連通路が設けられている
   アクチュエータ装置。
3. 請求項２に記載のアクチュエータ装置であり、
   前記第３閉塞部材の径方向外側には、前記第１シリンダが挿入され、一端が開口するアウタカバーが設けられ、
   前記外部連通路は、前記アウタカバー内に連通し、前記第１部材側に開口する
   アクチュエータ装置。
4. 請求項３に記載のアクチュエータ装置であり、
   前記外部連通路には、防塵フィルタが設けられている
   アクチュエータ装置。
5. 請求項４に記載のアクチュエータ装置であり、
   前記防塵フィルタは、前記第１部材と前記第２部材との伸縮方向に網目が配置されるよう固定されている
   アクチュエータ装置。

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