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JP7499461B2 - Substrate supply device, substrate supply method, substrate storage device, substrate recovery method, and lifting device - Google Patents

Substrate supply device, substrate supply method, substrate storage device, substrate recovery method, and lifting device Download PDF

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JP7499461B2 JP2020026609A JP2020026609A JP7499461B2 JP 7499461 B2 JP7499461 B2 JP 7499461B2 JP 2020026609 A JP2020026609 A JP 2020026609A JP 2020026609 A JP2020026609 A JP 2020026609A JP 7499461 B2 JP7499461 B2 JP 7499461B2
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Description

本開示は、基板供給装置、基板供給方法、基板収納装置、基板回収方法、及び、昇降装置に関する。 This disclosure relates to a substrate supply device, a substrate supply method, a substrate storage device, a substrate recovery method, and a lifting device.

マガジン内に収納されている基板を1枚ずつ次の工程に供給する基板供給装置が知られている。また、前工程から搬送されてきた基板を1枚ずつマガジンに収納する基板収納装置が知られている(特許文献1)。 A substrate supplying device is known that supplies substrates stored in a magazine one by one to the next process. Also known is a substrate storage device that stores substrates transported from the previous process in a magazine one by one (Patent Document 1).

特開平4-364097号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-364097

近年、製造効率の向上及び人手不足への対応等のために、工場の自動化が進められている。しかしながら、上述したような従来の基板供給装置及び基板収納装置は、人手によるマガジンの搬入及び搬出を前提とした構成である。 In recent years, factories have become increasingly automated in order to improve manufacturing efficiency and address labor shortages. However, the conventional board supply devices and board storage devices described above are designed to require manual loading and unloading of magazines.

本開示は、マガジンの搬入及び搬出に関する作業の少なくとも一部を自動化する基板供給装置、基板供給方法、基板収納装置、基板収納方法及び昇降装置の提供を目的とする。 The present disclosure aims to provide a board supply device, a board supply method, a board storage device, a board storage method, and a lifting device that automate at least some of the work related to loading and unloading magazines.

本開示に係る基板供給装置は、基板を供給する基板供給装置であって、前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを搬入方向に移送する搬入コンベアと、前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジンを載せて上下に移動可能な第1リフトと、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第1リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベアと、上下に移動可能な第2リフトと、を備え、前記第2リフトは、無人搬送車から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する。 The substrate supplying device according to the present disclosure is a substrate supplying device that supplies substrates and includes an input conveyor that transports a storage magazine, which is a magazine in which substrates are stored, in a loading direction, a first lift that can move up and down while carrying the storage magazine received from the input conveyor or an empty magazine, which is a magazine after the substrates have been discharged, an output conveyor that is provided above or below the input conveyor and transports the empty magazine received from the first lift in an output direction, and a second lift that can move up and down, and when the second lift receives the storage magazine from an automated guided vehicle, it moves to the height position of the input conveyor while carrying the storage magazine.

本開示に係る基板供給方法は、基板を供給する基板供給方法であって、搬入コンベアが、前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを搬入方向へ移送し、第1リフトが、前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジンを載せて移動し、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられた搬出コンベアが、前記第1リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向へ移送し、第2リフトが、無人搬送車から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する。 The substrate supply method according to the present disclosure is a substrate supply method in which an input conveyor transports a storage magazine in which substrates are stored in a input direction, a first lift moves carrying the storage magazine received from the input conveyor or an empty magazine which is a magazine after the substrates have been discharged, an output conveyor provided above or below the input conveyor transports the empty magazine received from the first lift in an output direction, and when a second lift receives the storage magazine from an automated guided vehicle, it moves carrying the storage magazine to the height position of the input conveyor.

本開示に係る昇降装置は、基板を供給する基板供給装置に接続される昇降装置であって、上下に移動可能なリフトと、前記リフトを駆動する駆動部と、を備え、前記駆動部は、前記リフトが無人搬送車から、前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せた前記リフトを、前記基板供給装置が備える搬入コンベアの高さ位置に移動させる。 The lifting device according to the present disclosure is a lifting device connected to a substrate supplying device that supplies substrates, and includes a lift that can move up and down, and a drive unit that drives the lift, and when the lift receives a storage magazine in which the substrates are stored from an automated guided vehicle, the drive unit moves the lift carrying the storage magazine to the height position of an input conveyor provided in the substrate supplying device.

本開示に係る基板収納装置は、基板を収納する基板収納装置であって、前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを搬入方向に移送する搬入コンベアと、前記搬入コンベアから受け取った前記空マガジン、又は、前記基板が収納された後のマガジンである収納マガジンを載せて上下に移動可能な第1リフトと、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第1リフトから受け取った前記収納マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベアと、上下に移動可能な第2リフトと、を備え、前記第2リフトは、前記搬出コンベアから前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置に移動する。 The substrate storage device according to the present disclosure is a substrate storage device that stores substrates, and includes an input conveyor that transports an empty magazine, which is a magazine that does not contain substrates, in a loading direction, a first lift that can move up and down while carrying the empty magazine received from the input conveyor or a storage magazine, which is a magazine after the substrates have been stored, an output conveyor that is provided above or below the input conveyor and transports the storage magazine received from the first lift in an output direction, and a second lift that can move up and down, and when the second lift receives the storage magazine from the output conveyor, it moves to the height position of the automated guided vehicle while carrying the storage magazine.

本開示に係る基板収納方法は、基板を収納する基板収納方法であって、搬入コンベアが、前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを搬入方向へ移送し、第1リフトが、前記搬入コンベアから受け取った前記空マガジン、又は、前記基板が収納された後のマガジンである収納マガジンを載せて昇降し、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられた搬出コンベアが、前記第1リフトから受け取った前記収納マガジンを搬出方向へ移送し、第2リフトが、前記搬出コンベアから前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置に移動する。 The substrate storage method according to the present disclosure is a substrate storage method in which an input conveyor transports an empty magazine, which is a magazine in which substrates are not stored, in a input direction, a first lift moves up and down carrying the empty magazine received from the input conveyor or a storage magazine, which is a magazine in which the substrates have been stored, an output conveyor provided above or below the input conveyor transports the storage magazine received from the first lift in an output direction, and when a second lift receives the storage magazine from the output conveyor, it moves to the height position of the automated guided vehicle carrying the storage magazine.

本開示に係る昇降装置は、基板を収納する基板収納装置に接続される昇降装置であって、上下に移動可能なリフトと、前記リフトを駆動する駆動部と、を備え、前記駆動部は、前記基板収納装置が備える搬出コンベアから、前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せた前記リフトを、無人搬送車の高さ位置に移動させる。 The lifting device according to the present disclosure is a lifting device connected to a substrate storage device that stores substrates, and includes a lift that can move up and down, and a drive unit that drives the lift. When the drive unit receives an empty magazine, which is a magazine that does not contain substrates, from an output conveyor provided in the substrate storage device, the drive unit moves the lift with the empty magazine loaded to the height position of the automated guided vehicle.

本開示によれば、マガジンの搬入及び搬出に関する作業の少なくとも一部を自動化する基板供給装置、基板供給方法、基板収納装置、基板収納方法及び昇降装置を提供できる。 The present disclosure provides a board supply device, a board supply method, a board storage device, a board storage method, and a lifting device that automate at least some of the tasks related to loading and unloading a magazine.

実施の形態1に係る基板供給装置及びAGV(Automated Guided Vehicle)の構成の第1例を示す図FIG. 1 is a diagram showing a first example of the configuration of a substrate supply device and an AGV (Automated Guided Vehicle) according to a first embodiment; 実施の形態1に係る基板供給装置及びAGVの構成の第2例を示す図FIG. 13 is a diagram showing a second example of the configuration of the substrate supply device and the AGV according to the first embodiment; 実施の形態1に係る基板供給装置及びAGVの構成の第3例を示す図FIG. 13 is a diagram showing a third example of the configuration of the substrate supply device and the AGV according to the first embodiment; 実施の形態1に係る基板供給装置の動作の一例を説明するフローチャート1 is a flowchart illustrating an example of an operation of the substrate supplying device according to the first embodiment. 図4に示す第2リフトの搬入動作の一例を説明するフローチャートA flowchart illustrating an example of the loading operation of the second lift shown in FIG. 図4に示す第2リフトの搬出動作の一例を説明するフローチャートA flowchart illustrating an example of the carrying-out operation of the second lift shown in FIG. 実施の形態2に係る基板供給装置及びAGVの構成の第1例を示す図FIG. 13 is a diagram showing a first example of the configuration of a substrate supply device and an AGV according to a second embodiment; 実施の形態2に係る基板供給装置及びAGVの構成の第2例を示す図FIG. 13 is a diagram showing a second example of the configuration of a substrate supply device and an AGV according to the second embodiment. 実施の形態2に係る第2リフト及び第3リフトによる搬入及び搬出動作の一例を説明するフローチャート11 is a flowchart illustrating an example of a carry-in and carry-out operation by a second lift and a third lift according to the second embodiment. 実施の形態3に係る基板収納装置及びAGVの構成の第1例を示す図FIG. 13 is a diagram showing a first example of the configuration of a substrate storage device and an AGV according to the third embodiment. 実施の形態3に係る基板収納装置及びAGVの構成の第2例を示す図FIG. 13 is a diagram showing a second example of the configuration of the substrate storage device and the AGV according to the third embodiment. 実施の形態3に係る基板収納装置及びAGVの構成の第3例を示す図FIG. 13 is a diagram showing a third example of the configuration of the substrate storage device and the AGV according to the third embodiment. 実施の形態3に係る基板収納装置の動作の一例を説明するフローチャート11 is a flowchart illustrating an example of the operation of a substrate accommodation device according to the third embodiment. 図13に示す第2リフトの搬入動作の一例を説明するフローチャートA flowchart for explaining an example of the carrying-in operation of the second lift shown in FIG. 図13に示す第2リフトの搬出動作の一例を説明するフローチャートA flowchart for explaining an example of the carrying-out operation of the second lift shown in FIG. 実施の形態4に係る基板収納装置の構成の第1例を示す図FIG. 13 is a diagram showing a first example of the configuration of a substrate storage device according to the fourth embodiment; 実施の形態4に係る基板収納装置の構成の第2例を示す図FIG. 13 is a diagram showing a second example of the configuration of a substrate storage device according to the fourth embodiment. 実施の形態4に係る第2リフト及び第3リフトによる搬入及び搬出動作の一例を説明するフローチャート11 is a flowchart for explaining an example of a carry-in and carry-out operation by a second lift and a third lift according to the fourth embodiment. 実施の形態5に係る制御システムの構成例を示す図FIG. 13 is a diagram showing a configuration example of a control system according to a fifth embodiment.

以下、図面を適宜参照して、本開示の実施の形態について、詳細に説明する。ただし、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、すでによく知られた事項の詳細説明及び実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、添付図面及び以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるのであって、これらにより特許請求の記載の主題を限定することは意図されていない。 Below, the embodiments of the present disclosure will be described in detail with appropriate reference to the drawings. However, more detailed explanation than necessary may be omitted. For example, detailed explanation of already well-known matters and duplicate explanation of substantially identical configurations may be omitted. This is to avoid the following explanation becoming unnecessarily redundant and to facilitate understanding by those skilled in the art. Note that the attached drawings and the following explanation are provided to enable those skilled in the art to fully understand the present disclosure, and are not intended to limit the subject matter described in the claims.

(実施の形態1)
実施の形態1では基板供給装置について説明する。基板供給装置は、ローダーといった他の用語に読み替えられてもよい。
(Embodiment 1)
A substrate supplying device will be described in the first embodiment. The substrate supplying device may be replaced with other terms such as a loader.

図1、図2及び図3は、実施の形態1に係る基板供給装置及びAGV(Automated Guided Vehicle)の構成例を示す図である。なお、説明の便宜上、図1、図2及び図3に示すように、図面の右から左に向かう軸をX軸、紙面の奥から手前に向かう軸をY軸、紙面の下から上に向かう軸をZ軸とする。また、X軸の正方向を「左」、X軸の負方向を「右」、Z軸の正方向を「上」、Z軸の負方向を「下」と称する場合がある。なお、これらの方向に係る表現は、説明の便宜上用いられるものであって、当該構造の実使用時における姿勢を限定する意図ではない。これは、図7、図8、図10、図11、図12、図16、図17においても同様である。 1, 2, and 3 are diagrams showing examples of the configuration of a substrate supply device and an AGV (Automated Guided Vehicle) according to the first embodiment. For convenience of explanation, as shown in FIGS. 1, 2, and 3, the axis from right to left on the drawing is the X-axis, the axis from the back of the paper to the front is the Y-axis, and the axis from bottom to top is the Z-axis. The positive direction of the X-axis may be called "left", the negative direction of the X-axis may be called "right", the positive direction of the Z-axis may be called "up", and the negative direction of the Z-axis may be called "down". These directional expressions are used for convenience of explanation and are not intended to limit the position of the structure when actually used. This also applies to FIGS. 7, 8, 10, 11, 12, 16, and 17.

AGV10は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成されたコンベア111を上面に備える。コンベア111は、例えばモータによって駆動する。AGV10は、基板20が収納されたマガジン30である収納マガジン30Aをコンベア111に載せて、基板供給装置100Aの場所まで自動的に走行する。AGV10は、基板20が未収納のマガジン30である空マガジン30Bを基板供給装置100Aから受け取って、コンベア111に載せて、所定の場所(例えば、実施の形態2に係る基板収納装置100Bの場所)まで自動的に走行する。なお、AGV10は、無人搬送車といった他の用語に読み替えられてもよい。AGV10の例としては、ライントレース式AGVまたは自律走行式AGVが挙げられる。 AGV10 has a conveyor 111 on its upper surface, which is composed of a belt, a chain, a roller, or the like. The conveyor 111 is driven by, for example, a motor. AGV10 places a storage magazine 30A, which is a magazine 30 in which boards 20 are stored, on the conveyor 111 and automatically travels to the location of board supply device 100A. AGV10 receives an empty magazine 30B, which is a magazine 30 in which boards 20 are not stored, from board supply device 100A, places it on the conveyor 111, and automatically travels to a predetermined location (for example, the location of board storage device 100B according to embodiment 2). Note that AGV10 may be interpreted as another term, such as an unmanned guided vehicle. Examples of AGV10 include a line tracing type AGV or an autonomous traveling type AGV.

基板供給装置100Aは、収納マガジン30Aから基板20を1枚ずつ取り出して、搬送レール40上に載せる装置である。搬送レール40は、載せられた基板20を、次の作業装置へ搬送する装置(例えばコンベア)である。 The board supply device 100A is a device that takes out boards 20 one by one from the storage magazine 30A and places them on the transport rail 40. The transport rail 40 is a device (e.g., a conveyor) that transports the placed boards 20 to the next work device.

基板供給装置100Aは、搬入コンベア101、第1ストッパ102、搬出コンベア103、第2ストッパ104、第1リフト105、基板プッシャー106、第2リフト107、及び、駆動部150を備える。 The board supply device 100A includes an input conveyor 101, a first stopper 102, an output conveyor 103, a second stopper 104, a first lift 105, a board pusher 106, a second lift 107, and a drive unit 150.

搬入コンベア101は、1又は複数の基板20が収納されたマガジン30である収納マガジン30Aを、搬送レール40に近づく方向である搬入方向(X軸の正方向)に移送する装置である。搬入コンベア101は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成される。搬入コンベア101は、例えばモータによって駆動する。 The carry-in conveyor 101 is a device that transports the storage magazine 30A, which is a magazine 30 that stores one or more substrates 20, in a carry-in direction (positive direction of the X-axis) that approaches the transport rail 40. The carry-in conveyor 101 is composed of a belt, a chain, a roller, or the like. The carry-in conveyor 101 is driven, for example, by a motor.

第1ストッパ102は、搬入コンベア101における、第1リフト105の手前に設けられる。第1ストッパ102は、第1リフト105が搬入コンベア101の高さ位置に存在しない場合、搬入コンベア101の面(XY面)よりも上に上昇する。これにより、収納マガジン30Aは、第1ストッパ102に阻止されて、第1リフト105に移送されない。第1ストッパ102は、第1リフト105が搬入コンベア101の高さ位置に存在する場合、搬入コンベア101の面よりも下に下降する。これにより、収納マガジン30Aは、第1リフト105に移送される。 The first stopper 102 is provided in front of the first lift 105 on the loading conveyor 101. When the first lift 105 is not at the height position of the loading conveyor 101, the first stopper 102 rises above the plane of the loading conveyor 101 (XY plane). As a result, the storage magazine 30A is blocked by the first stopper 102 and is not transferred to the first lift 105. When the first lift 105 is at the height position of the loading conveyor 101, the first stopper 102 descends below the plane of the loading conveyor 101. As a result, the storage magazine 30A is transferred to the first lift 105.

搬出コンベア103は、基板20が搬送レール40に排出された後のマガジン30である空マガジン30Bを、搬送レール40から遠ざかる方向である搬出方向(X軸の負方向)に移送する装置である。なお、空マガジン30Bは、すべての基板20が完全に排出されたマガジン30に限らず、排出されなかった基板20が一部残っているマガジン30も含んでよい。搬出コンベア103は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成される。搬出コンベア103は、例えばモータによって駆動する。搬出コンベア103は、搬入コンベア101の上方に設けられる。ただし、搬出コンベア103は、搬入コンベア101の下方に設けられてもよい。また、例えば、図1に示すように、搬出コンベア103は、当該搬出コンベア103の長手方向の両端が、搬入コンベア101の長手方向(X軸方向)の両端と揃うように配置される。 The discharge conveyor 103 is a device that transports an empty magazine 30B, which is a magazine 30 after the boards 20 have been discharged onto the conveyor rail 40, in a discharge direction (negative direction of the X-axis) away from the conveyor rail 40. The empty magazine 30B is not limited to a magazine 30 from which all boards 20 have been completely discharged, but may also include a magazine 30 from which some boards 20 remain that have not been discharged. The discharge conveyor 103 is composed of a belt, a chain, a roller, or the like. The discharge conveyor 103 is driven by, for example, a motor. The discharge conveyor 103 is provided above the carry-in conveyor 101. However, the discharge conveyor 103 may also be provided below the carry-in conveyor 101. For example, as shown in FIG. 1, the discharge conveyor 103 is arranged so that both ends of the longitudinal direction of the discharge conveyor 103 are aligned with both ends of the longitudinal direction (X-axis direction) of the carry-in conveyor 101.

第2ストッパ104は、搬出コンベア103における、第2リフト107の手前に設けられる。第2ストッパ104は、第2リフト107が搬出コンベア103の高さ位置に存在しない場合、搬出コンベア103の面(XY面)よりも上に上昇する。これにより、空マガジン30Bは、第2ストッパ104に阻止されて、第2リフト107に移送されない。第2ストッパ104は、第2リフト107が搬出コンベア103の高さ位置に存在する場合、搬出コンベア103の面よりも下に下降する。これにより、空マガジン30Bは、第2リフト107に移送される。 The second stopper 104 is provided in front of the second lift 107 on the discharge conveyor 103. When the second lift 107 is not at the height position of the discharge conveyor 103, the second stopper 104 rises above the surface of the discharge conveyor 103 (XY plane). As a result, the empty magazine 30B is blocked by the second stopper 104 and is not transferred to the second lift 107. When the second lift 107 is at the height position of the discharge conveyor 103, the second stopper 104 descends below the surface of the discharge conveyor 103. As a result, the empty magazine 30B is transferred to the second lift 107.

第1リフト105は、搬入コンベア101及び搬出コンベア103の一端(図1では左端)と、搬送レール40との間に設けられ、上下方向(Z軸方向)に移動可能(つまり昇降可能)な装置である。第1リフト105は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成されたコンベア114を上面に備える。コンベア114は、例えばモータによって駆動する。 The first lift 105 is a device that is provided between one end (the left end in FIG. 1) of the loading conveyor 101 and the unloading conveyor 103 and the transport rail 40, and is movable (i.e., can be raised and lowered) in the vertical direction (Z-axis direction). The first lift 105 has a conveyor 114 on its upper surface, which is composed of a belt, chain, roller, or the like. The conveyor 114 is driven, for example, by a motor.

第1リフト105は、搬入コンベア101の高さ位置に移動し、搬入コンベア101から、収納マガジン30Aを受け取る。このとき、第1リフト105のコンベア114は、受け取った収納マガジン30Aが搬入方向(X軸の正方向)に移送され、中央付近に停止するよう駆動する。 The first lift 105 moves to a height position of the loading conveyor 101 and receives the storage magazine 30A from the loading conveyor 101. At this time, the conveyor 114 of the first lift 105 is driven so that the received storage magazine 30A is transported in the loading direction (positive direction of the X-axis) and stops near the center.

第1リフト105は、収納マガジン30Aを載せて、当該収納マガジン30Aの1つの基板収納棚の高さが、基板プッシャー106の高さと揃う位置に移動して停止する。第1リフト105は、収納マガジン30Aの各基板収納棚の高さに対して、この移動及び停止を繰り返す。 The first lift 105 carries the storage magazine 30A, moves to a position where the height of one of the board storage shelves in the storage magazine 30A is aligned with the height of the board pusher 106, and stops there. The first lift 105 repeats this movement and stopping for each height of the board storage shelves in the storage magazine 30A.

第1リフト105は、基板プッシャー106によってすべての基板20が排出された後の空マガジン30Bを載せて、搬出コンベア103の高さ位置に移動する。そして、第1リフト105は、搬出コンベア103の高さ位置において、空マガジン30Bを搬出コンベア103へ移送する。このとき、第1リフト105のコンベア114は、載せられた空マガジン30Bが搬出方向(X軸の負方向)に移送されるよう駆動する。 The first lift 105 carries the empty magazine 30B after all the boards 20 have been ejected by the board pusher 106, and moves to the height position of the output conveyor 103. Then, at the height position of the output conveyor 103, the first lift 105 transfers the empty magazine 30B to the output conveyor 103. At this time, the conveyor 114 of the first lift 105 is driven so that the loaded empty magazine 30B is transferred in the output direction (negative direction of the X-axis).

基板プッシャー106は、搬送レール40の上方に設けられ、第1リフト105に載置された収納マガジン30A内の1つの基板20を、搬送レール40に向けて押し出す装置である。例えば、第1リフト105が、収納マガジン30Aの1つの基板収納棚の高さが基板プッシャー106の高さと揃う位置に移動して停止したタイミングで、基板プッシャー106は、次の動作を行う。すなわち、基板プッシャー106は、当該基板収納棚に収納された基板20に向かってスライドし、当該基板20を搬送レール40に押し出す。これにより、基板20は、搬送レール40上に載置される。 The board pusher 106 is a device that is provided above the transport rail 40 and pushes one of the boards 20 in the storage magazine 30A placed on the first lift 105 toward the transport rail 40. For example, when the first lift 105 moves to a position where the height of one of the board storage shelves in the storage magazine 30A is aligned with the height of the board pusher 106 and stops, the board pusher 106 performs the following operation. That is, the board pusher 106 slides toward the board 20 stored in that board storage shelf and pushes the board 20 onto the transport rail 40. As a result, the board 20 is placed on the transport rail 40.

第2リフト107は、搬入コンベア101及び搬出コンベア103の第1リフト105が設けられた側とは反対側の端(図1では右端)に設けられ、上下方向(Z軸方向)に移動可能(つまり昇降可能)な装置である。第2リフト107は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成されたコンベア115を上面に備える。コンベア115は、例えばモータによって駆動する。 The second lift 107 is provided at the end (the right end in FIG. 1) of the loading conveyor 101 and the unloading conveyor 103 opposite to the end where the first lift 105 is provided, and is a device that can move in the vertical direction (Z-axis direction) (i.e., can be raised and lowered). The second lift 107 has a conveyor 115 on its upper surface, which is composed of a belt, chain, roller, or the like. The conveyor 115 is driven, for example, by a motor.

第2リフト107は、AGV10の高さ位置に移動し、AGV10から収納マガジン30Aを受け取る(図1参照)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、受け取った収納マガジン30Aが搬入方向(X軸の正方向)に移送され、中央付近に停止するよう駆動する。 The second lift 107 moves to a height position of the AGV 10 and receives the storage magazine 30A from the AGV 10 (see FIG. 1). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 drives the received storage magazine 30A to be transported in the loading direction (positive direction of the X-axis) and to stop near the center.

第2リフト107は、収納マガジン30Aを載せて、搬入コンベア101の高さ位置まで移動する。そして、第2リフト107は、搬入コンベア101の高さ位置において、収納マガジン30Aを搬入コンベア101に移送する(図2参照)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、載せられた収納マガジン30Aが搬入方向(X軸の正方向)に移送されるよう駆動する。 The second lift 107 carries the storage magazine 30A and moves to the height position of the carry-in conveyor 101. Then, at the height position of the carry-in conveyor 101, the second lift 107 transfers the storage magazine 30A to the carry-in conveyor 101 (see FIG. 2). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 is driven so that the loaded storage magazine 30A is transferred in the carry-in direction (positive direction of the X-axis).

第2リフト107は、搬出コンベア103の高さ位置に移動し、搬出コンベア103から、空マガジン30Bを受け取る(図3参照)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、受け取った空マガジン30Bが搬出方向(X軸の負方向)に移送され、中央付近に停止するよう駆動する。 The second lift 107 moves to a height position of the discharge conveyor 103 and receives the empty magazine 30B from the discharge conveyor 103 (see FIG. 3). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 is driven so that the received empty magazine 30B is transported in the discharge direction (negative direction of the X-axis) and stops near the center.

第2リフト107は、空マガジン30Bを載せてAGV10の高さ位置に移動し、当該空マガジン30BをAGV10に移送する(図3参照)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、載せられた空マガジン30Bが搬出方向(X軸の負方向)に移送されるよう駆動する。 The second lift 107 moves to the height of the AGV 10 with the empty magazine 30B loaded on it, and transfers the empty magazine 30B to the AGV 10 (see FIG. 3). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 is driven to transfer the loaded empty magazine 30B in the discharge direction (negative direction of the X-axis).

駆動部150は、第2リフト107及びコンベア115を、上述したように駆動させる機構である。なお、駆動部150は、構成要素101~106を、上述したように駆動させてもよい。 The drive unit 150 is a mechanism that drives the second lift 107 and the conveyor 115 as described above. The drive unit 150 may also drive the components 101 to 106 as described above.

なお、第2リフト107、コンベア115及び駆動部150は、独立した昇降装置140であってもよい。この場合、昇降装置140は、構成要素101~106を備える装置(例えばローダー)に接続されて使用されてよい。そして、駆動部150は、第2リフト107及びコンベア115を、上述したように駆動させてよい。 The second lift 107, the conveyor 115, and the drive unit 150 may be an independent lifting device 140. In this case, the lifting device 140 may be connected to a device (e.g., a loader) that includes the components 101 to 106 and used. The drive unit 150 may then drive the second lift 107 and the conveyor 115 as described above.

図4は、基板供給装置100Aの動作の一例を説明するフローチャートである。 Figure 4 is a flowchart illustrating an example of the operation of the substrate supply device 100A.

第2リフト107は、収納マガジン30Aの搬入動作を行う(S101)。なお、当該搬入動作の詳細については後述する(図5参照)。 The second lift 107 performs the loading operation of the storage magazine 30A (S101). Details of this loading operation will be described later (see FIG. 5).

搬入コンベア101は、第2リフト107から受け取った収納マガジン30Aを移送する。上昇した第1ストッパ102は、その移送された収納マガジン30Aを、第1リフト105の手前に停止させる(S102)。 The input conveyor 101 transports the storage magazine 30A received from the second lift 107. The raised first stopper 102 stops the transported storage magazine 30A just before the first lift 105 (S102).

第1リフト105は、搬入コンベア101の高さ位置まで移動(下降)する(S103)。 The first lift 105 moves (descends) to the height position of the input conveyor 101 (S103).

第1ストッパ102は降下し、搬入コンベア101は、収納マガジン30Aを第1リフト105に移送する(S104)。このとき、第1リフト105のコンベア114は、搬入方向(X軸の正方向)に駆動する。 The first stopper 102 descends, and the loading conveyor 101 transfers the storage magazine 30A to the first lift 105 (S104). At this time, the conveyor 114 of the first lift 105 drives in the loading direction (positive direction of the X-axis).

第1リフト105は、収納マガジン30Aを載せて、収納マガジン30Aの1つの基板収納棚の高さ位置が基板プッシャー106の高さ位置と揃う位置まで移動(上昇)する(S105)。 The first lift 105 carries the storage magazine 30A and moves (rises) to a position where the height position of one of the board storage shelves in the storage magazine 30A is aligned with the height position of the board pusher 106 (S105).

基板プッシャー106は、S105の高さ位置の基板収納棚の基板20を押し出す(S106)。押し出された基板20は、収納マガジン30Aから排出され、搬送レール40に載せられる。 The board pusher 106 pushes out the board 20 from the board storage shelf at the height position of S105 (S106). The pushed out board 20 is ejected from the storage magazine 30A and placed on the transport rail 40.

第1リフト105及び基板プッシャー106は、収納マガジン30A内のすべての基板20が排出されるまで、S105及びS106の動作を繰り返す(S107:NO)。 The first lift 105 and the substrate pusher 106 repeat the operations of S105 and S106 until all substrates 20 in the storage magazine 30A have been ejected (S107: NO).

収納マガジン30A内のすべての基板20が排出された後(S107:YES)、第1リフト105は、空マガジン30Bを載せて、搬出コンベア103の高さ位置まで移動(上昇)する(S108)。 After all the substrates 20 have been discharged from the storage magazine 30A (S107: YES), the first lift 105 carries the empty magazine 30B and moves (rises) to the height position of the discharge conveyor 103 (S108).

第1リフト105は、空マガジン30Bを搬出コンベア103へ移送する(S109)。このとき、第1リフト105のコンベア114は、搬出方向(X軸の負方向)に駆動する。 The first lift 105 transfers the empty magazine 30B to the discharge conveyor 103 (S109). At this time, the conveyor 114 of the first lift 105 drives in the discharge direction (negative direction of the X-axis).

搬出コンベア103は、第1リフト105から受け取った空マガジン30Bを移送する。上昇した第2ストッパ104は、その移送された空マガジン30Bを、第2リフト107の手前に停止させる(S110)。 The discharge conveyor 103 transports the empty magazine 30B received from the first lift 105. The raised second stopper 104 stops the transported empty magazine 30B just before the second lift 107 (S110).

第2リフト107は、空マガジン30Bの搬出動作を行う(S111)。なお、当該搬出動作の詳細については後述する(図6参照)。 The second lift 107 performs an ejection operation of the empty magazine 30B (S111). Details of this ejection operation will be described later (see FIG. 6).

図5は、図4に示す第2リフト107の搬入動作(S101)の一例を説明するフローチャートである。 Figure 5 is a flow chart illustrating an example of the loading operation (S101) of the second lift 107 shown in Figure 4.

第2リフト107は、収納マガジン30Aを載せたAGV10が到着した場合、AGV10の高さ位置まで移動する(S201)。 When the AGV 10 carrying the storage magazine 30A arrives, the second lift 107 moves to a height position of the AGV 10 (S201).

第2リフト107は、AGV10から収納マガジン30Aを受け取る(S202)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬入方向(X軸の正方向)に駆動する。 The second lift 107 receives the storage magazine 30A from the AGV 10 (S202). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 drives in the loading direction (positive direction of the X-axis).

第2リフト107は、収納マガジン30Aを載せて、搬入コンベア101の高さ位置まで移動する(S203)。 The second lift 107 carries the storage magazine 30A and moves to the height position of the input conveyor 101 (S203).

第2リフト107は、収納マガジン30Aを、搬入コンベア101に移送する(S204)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬入方向(X軸の正方向)に駆動する。 The second lift 107 transfers the storage magazine 30A to the loading conveyor 101 (S204). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 is driven in the loading direction (positive direction of the X-axis).

以上の動作により、AGV10が運んできた収納マガジン30Aを、自動的に搬入コンベア101に載せることができる。 By performing the above operations, the storage magazine 30A carried by the AGV 10 can be automatically placed on the input conveyor 101.

図6は、図4に示す第2リフト107の搬出動作(S111)の一例を説明するフローチャートである。 Figure 6 is a flow chart illustrating an example of the discharge operation (S111) of the second lift 107 shown in Figure 4.

第2リフト107は、マガジン30を載せていないAGV10が到着した場合、搬出コンベア103の高さ位置まで移動する(S301)。 When an AGV 10 arrives without a magazine 30, the second lift 107 moves to a height position of the discharge conveyor 103 (S301).

第2ストッパ104は降下し、搬出コンベア103は、空マガジン30Bを第2リフト107に移送する(S302)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬出方向(X軸の負方向)に駆動する。 The second stopper 104 descends, and the discharge conveyor 103 transfers the empty magazine 30B to the second lift 107 (S302). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 drives in the discharge direction (negative direction of the X-axis).

第2リフト107は、空マガジン30Bを載せて、AGV10の高さ位置まで移動する(S303)。 The second lift 107 carries the empty magazine 30B and moves to the height position of the AGV 10 (S303).

第2リフト107は、空マガジン30BをAGV10に移送する(S304)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬出方向(X軸の負方向)に駆動する。 The second lift 107 transports the empty magazine 30B to the AGV 10 (S304). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 drives in the unloading direction (negative direction of the X-axis).

以上の動作により、搬出コンベア103を流れる空マガジン30Bを、自動的にAGV10に載せることができる。 By performing the above operations, the empty magazine 30B traveling on the discharge conveyor 103 can be automatically loaded onto the AGV 10.

なお、上述した図4~図6の動作は、基板供給装置100Aが備える制御装置(図示しない)によって制御されてよい。制御装置は、プロセッサ、メモリ及び通信I/F(Interface)を備えてよい。そして、これらの構成要素が協調動作することにより、制御装置は、上述した制御を実現してよい。 The operations of Figures 4 to 6 described above may be controlled by a control device (not shown) provided in the substrate supplying device 100A. The control device may include a processor, a memory, and a communication I/F (Interface). These components may operate in cooperation with each other to allow the control device to achieve the above-mentioned control.

(実施の形態2)
実施の形態2では、実施の形態1にて説明した基板供給装置100Aが、さらに第3リフトを備える構成を説明する。なお、実施の形態1にて説明済みの構成要素については、同じ参照番号を付し、説明を省略する場合がある。
(Embodiment 2)
In the second embodiment, a configuration will be described in which the substrate supplying apparatus 100A described in the first embodiment further includes a third lift. Note that the same reference numbers are used for the components already described in the first embodiment, and the description thereof may be omitted.

図7及び図8は、実施の形態2に係る基板供給装置100A及びAGV10の構成例を示す図である。 Figures 7 and 8 are diagrams showing example configurations of a substrate supply device 100A and an AGV 10 according to embodiment 2.

基板供給装置100Aは、搬入コンベア101、第1ストッパ102、搬出コンベア103、第2ストッパ104、第1リフト105、基板プッシャー106、第2リフト107、第3リフト108、及び、駆動部150を備える。 The board supply device 100A includes an input conveyor 101, a first stopper 102, an output conveyor 103, a second stopper 104, a first lift 105, a board pusher 106, a second lift 107, a third lift 108, and a drive unit 150.

第3リフト108は、第2リフト107の上方に設けられ、上下方向に移動可能(つまり昇降可能)な装置である。第3リフト108は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成されたコンベア116を上面に備える。コンベア116は、例えばモータによって駆動する。また、AGV10の高さ位置は、搬出コンベア103の高さ位置と揃っている。 The third lift 108 is a device that is provided above the second lift 107 and is vertically movable (i.e., can be raised and lowered). The third lift 108 has a conveyor 116 on its upper surface, which is composed of a belt, chain, roller, or the like. The conveyor 116 is driven, for example, by a motor. In addition, the height position of the AGV 10 is aligned with the height position of the discharge conveyor 103.

駆動部150は、第2リフト107、第3リフト108、及び、コンベア115、116を、上述したように駆動させる機構である。なお、駆動部150は、構成要素101~106を、上述したように駆動させてもよい。 The drive unit 150 is a mechanism that drives the second lift 107, the third lift 108, and the conveyors 115 and 116 as described above. Note that the drive unit 150 may also drive the components 101 to 106 as described above.

実施の形態2では、第2リフト107が、AGV10から収納マガジン30Aを受け取って、搬入コンベア101へ移送し、第3リフト108が、搬出コンベア103から空マガジン30Bを受け取って、AGV10へ移送する。 In the second embodiment, the second lift 107 receives the storage magazine 30A from the AGV 10 and transfers it to the carry-in conveyor 101, and the third lift 108 receives the empty magazine 30B from the carry-out conveyor 103 and transfers it to the AGV 10.

なお、第2リフト107、第3リフト108、コンベア115、116及び駆動部150は、独立した昇降装置140であってもよい。この場合、昇降装置140は、構成要素101~106を備える装置(例えばローダー)に接続されて使用されてよい。そして、駆動部150は、第2リフト107、第3リフト108及びコンベア115、116を、上述したように駆動させてよい。 The second lift 107, the third lift 108, the conveyors 115, 116, and the drive unit 150 may be an independent lifting device 140. In this case, the lifting device 140 may be connected to a device (e.g., a loader) that includes the components 101 to 106 and used. The drive unit 150 may then drive the second lift 107, the third lift 108, and the conveyors 115, 116 as described above.

図9は、第2リフト107及び第3リフト108による搬入及び搬出動作の一例を説明するフローチャートである。 Figure 9 is a flowchart that explains an example of the loading and unloading operations by the second lift 107 and the third lift 108.

第2リフト107は、収納マガジン30Aを載せたAGV10が到着した場合、AGV10の高さ位置まで移動する(S401)。 When the AGV 10 carrying the storage magazine 30A arrives, the second lift 107 moves to a height position of the AGV 10 (S401).

第2リフト107は、AGV10から収納マガジン30Aを受け取る(S402)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬入方向(X軸の正方向)に駆動する。 The second lift 107 receives the storage magazine 30A from the AGV 10 (S402). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 drives in the loading direction (positive direction of the X-axis).

第2リフト107は、収納マガジン30Aを載せて、搬入コンベア101の高さ位置まで移動する(S403)。 The second lift 107 carries the storage magazine 30A and moves to the height position of the input conveyor 101 (S403).

第3リフト108は、搬出コンベア103及びAGV10の高さ位置まで移動する(S404)。なお、図8に示すように、S403とS404の動作は一緒に行われてもよい。 The third lift 108 moves to a height position of the discharge conveyor 103 and the AGV 10 (S404). Note that, as shown in FIG. 8, the operations of S403 and S404 may be performed together.

第3リフト108は、搬出コンベア103から空マガジン30Bを受け取り(S405)、受け取った空マガジン30BをAGV10に移送する(S406)。このとき、第3リフト108のコンベア116は、搬出方向(X軸の負方向)に駆動する。 The third lift 108 receives the empty magazine 30B from the discharge conveyor 103 (S405) and transfers the received empty magazine 30B to the AGV 10 (S406). At this time, the conveyor 116 of the third lift 108 is driven in the discharge direction (negative direction of the X-axis).

第2リフト107は、収納マガジン30Aを、搬入コンベア101に移送する(S407)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬入方向(X軸の正方向)に駆動する。なお、図8に示すように、S407の動作は、S406の動作と一緒に行われてもよい。あるいは、S407の動作は、搬入コンベア101に収納マガジン30Aを載せるスペースが存在する場合に行われてもよい。 The second lift 107 transfers the storage magazine 30A to the loading conveyor 101 (S407). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 drives in the loading direction (positive direction of the X-axis). As shown in FIG. 8, the operation of S407 may be performed together with the operation of S406. Alternatively, the operation of S407 may be performed when there is space on the loading conveyor 101 to place the storage magazine 30A.

以上の処理によれば、第2リフト107による収納マガジン30Aの搬入と、第3リフト108による空マガジン30Bの搬出とを一緒に実行できるので、実施の形態1と比較して、マガジンの搬入及び搬出を効率的に行うことができる。 According to the above process, the loading of the storage magazine 30A by the second lift 107 and the removal of the empty magazine 30B by the third lift 108 can be performed simultaneously, so compared to the first embodiment, loading and removing of the magazines can be performed more efficiently.

また、第3リフト108に空マガジン30Bを載せておき、第2リフト107に収納マガジン30Aを載せておくことができるので、基板供給装置100Aにおける空マガジン30B及び収納マガジン30Aの保持可能数が向上する。 In addition, an empty magazine 30B can be placed on the third lift 108 and a storage magazine 30A can be placed on the second lift 107, increasing the number of empty magazines 30B and storage magazines 30A that can be held in the board supply device 100A.

(実施の形態3)
実施の形態3では基板収納装置について説明する。基板収納装置は、アンローダーといった他の用語に読み替えられてもよい。なお、実施の形態1から2にて説明済みの構成要素については、同じ参照番号を付し、説明を省略する場合がある。
(Embodiment 3)
In the third embodiment, a substrate storage device will be described. The substrate storage device may be replaced with other terms such as an unloader. Note that the same reference numbers are used for components that have already been described in the first and second embodiments, and descriptions thereof may be omitted.

図10、図11及び図12は、実施の形態3に係る基板収納装置及びAGVの構成例を示す図である。 Figures 10, 11, and 12 are diagrams showing examples of the configuration of a substrate storage device and an AGV according to embodiment 3.

AGV10は、空マガジン30Bを載せて、基板収納装置100Bの場所まで自動的に走行する。AGV10は、収納マガジン30Aを基板収納装置100Bから受け取って、所定の場所(例えば、実施の形態1に係る基板供給装置100Aの場所)まで自動的に走行する。 The AGV 10 carries the empty magazine 30B and automatically travels to the location of the substrate storage device 100B. The AGV 10 receives the storage magazine 30A from the substrate storage device 100B and automatically travels to a specified location (for example, the location of the substrate supply device 100A according to embodiment 1).

基板収納装置100Bは、搬送レール40から搬送された基板20を1枚ずつ空マガジン30Bに収納する装置である。搬送レール40は、作業装置によって作業された基板20を、基板収納装置100Bに搬送する装置(例えばコンベア)である。 The substrate storage device 100B is a device that stores the substrates 20 transported from the transport rail 40 one by one in an empty magazine 30B. The transport rail 40 is a device (e.g., a conveyor) that transports the substrates 20 that have been worked on by the working device to the substrate storage device 100B.

基板収納装置100Bは、搬入コンベア101、第1ストッパ102、搬出コンベア103、第2ストッパ104、第1リフト105、基板プッシャー106、及び、第2リフト107を備える。 The substrate storage device 100B includes an input conveyor 101, a first stopper 102, an output conveyor 103, a second stopper 104, a first lift 105, a substrate pusher 106, and a second lift 107.

搬入コンベア101は、空マガジン30Bを、搬送レール40に近づく方向である搬入方向(X軸の正方向)に移送する装置である。なお、搬入コンベア101は、実施の形態1で説明した搬入コンベア101と同様の構成であってよい。 The carry-in conveyor 101 is a device that transports the empty magazine 30B in a carry-in direction (positive direction of the X-axis), which is a direction approaching the transport rail 40. The carry-in conveyor 101 may have a configuration similar to that of the carry-in conveyor 101 described in the first embodiment.

第1ストッパ102は、搬入コンベア101における、第1リフト105の手前に設けられる。第1ストッパ102は、第1リフト105が搬入コンベア101の高さ位置に存在しない場合、搬入コンベア101の面(XY面)よりも上に上昇する。これにより、空マガジン30Bは、第1ストッパ102に阻止されて、第1リフト105に移送されない。第1ストッパ102は、第1リフト105が搬入コンベア101の高さ位置に存在する場合、搬入コンベア101の面よりも下に下降する。これにより、空マガジン30Bは、第1リフト105に移送される。 The first stopper 102 is provided in front of the first lift 105 on the carry-in conveyor 101. When the first lift 105 is not at the height position of the carry-in conveyor 101, the first stopper 102 rises above the plane of the carry-in conveyor 101 (XY plane). As a result, the empty magazine 30B is blocked by the first stopper 102 and is not transferred to the first lift 105. When the first lift 105 is at the height position of the carry-in conveyor 101, the first stopper 102 descends below the plane of the carry-in conveyor 101. As a result, the empty magazine 30B is transferred to the first lift 105.

搬出コンベア103は、搬送レール40から搬送された基板20が収納された後のマガジンである収納マガジン30Aを、搬送レール40から遠ざかる方向である搬出方向(X軸の負方向)に移送する装置である。搬出コンベア103は、実施の形態1で説明した搬出コンベア103と同様の構成であってよい。搬出コンベア103は、搬入コンベア101の下方に設けられる。ただし、搬出コンベア103は、搬入コンベア101の上方に設けられてもよい。また、例えば、図10に示すように、搬出コンベア103は、当該搬出コンベア103の長手方向の両端が、搬入コンベア101の長手方向の両端と揃うように配置される。 The output conveyor 103 is a device that transports the storage magazine 30A, which is a magazine in which the boards 20 transported from the transport rail 40 are stored, in the output direction (negative direction of the X-axis) away from the transport rail 40. The output conveyor 103 may have a configuration similar to that of the output conveyor 103 described in embodiment 1. The output conveyor 103 is provided below the load conveyor 101. However, the output conveyor 103 may also be provided above the load conveyor 101. For example, as shown in FIG. 10, the output conveyor 103 is positioned so that both ends of the length of the output conveyor 103 are aligned with both ends of the length of the load conveyor 101.

第2ストッパ104は、搬出コンベア103における、第2リフト107の手前に設けられる。第2ストッパ104は、第2リフト107が搬出コンベア103の高さ位置に存在しない場合、搬出コンベア103の面(XY面)よりも上に上昇する。これにより、収納マガジン30Aは、第2ストッパ104に阻止されて、第2リフト107に移送されない。第2ストッパ104は、第2リフト107が搬出コンベア103の高さ位置に存在する場合、搬出コンベア103の面よりも下に下降する。これにより、収納マガジン30Aは、第2リフト107に移送される。 The second stopper 104 is provided in front of the second lift 107 on the discharge conveyor 103. When the second lift 107 is not at the height position of the discharge conveyor 103, the second stopper 104 rises above the plane of the discharge conveyor 103 (XY plane). As a result, the storage magazine 30A is blocked by the second stopper 104 and is not transferred to the second lift 107. When the second lift 107 is at the height position of the discharge conveyor 103, the second stopper 104 descends below the plane of the discharge conveyor 103. As a result, the storage magazine 30A is transferred to the second lift 107.

第1リフト105は、搬入コンベア101及び搬出コンベア103の一端(図10では左端)と、搬送レール40との間に設けられ、上下方向(Z軸方向)に移動可能(つまり昇降可能)な装置である。第1リフト105は、実施の形態1と同様の構成であってよい。 The first lift 105 is a device that is provided between one end (the left end in FIG. 10) of the loading conveyor 101 and the unloading conveyor 103 and the transport rail 40, and is movable (i.e., can be raised and lowered) in the vertical direction (Z-axis direction). The first lift 105 may have the same configuration as in the first embodiment.

第1リフト105は、搬入コンベア101の高さ位置に移動し、搬入コンベア101から、空マガジン30Bを受け取る。 The first lift 105 moves to a height position of the input conveyor 101 and receives the empty magazine 30B from the input conveyor 101.

第1リフト105は、空マガジン30Bを載せて、当該空マガジン30Bの1つの基板収納棚の高さが基板プッシャー106の高さと揃う位置に移動して停止する。第1リフト105は、空マガジン30Bの各基板収納棚の高さに対して、この移動及び停止を繰り返す。 The first lift 105 places an empty magazine 30B on it, moves to a position where the height of one of the board storage shelves in the empty magazine 30B is aligned with the height of the board pusher 106, and stops there. The first lift 105 repeats this movement and stopping for each height of the board storage shelves in the empty magazine 30B.

第1リフト105は、基板プッシャー106によって各基板収納棚に基板20が収納された後の収納マガジン30Aを載せて、搬出コンベア103の高さ位置に移動する。そして、第1リフト105は、搬出コンベア103の高さ位置において、収納マガジン30Aを搬出コンベア103に移送する。 The first lift 105 carries the storage magazine 30A after the boards 20 have been stored in each board storage shelf by the board pusher 106, and moves to the height position of the output conveyor 103. Then, at the height position of the output conveyor 103, the first lift 105 transfers the storage magazine 30A to the output conveyor 103.

基板プッシャー106は、搬送レール40を流れてきた基板20を、第1リフト105に載置された空マガジン30Bの1つの基板収納棚に向けて押し出す装置である。例えば、第1リフト105が、空マガジン30Bの1つの基板収納棚の高さが基板プッシャー106の高さと揃う位置に移動して停止したタイミングで、基板プッシャー106は、次の動作を行う。すなわち、基板プッシャー106は、当該基板収納棚に向かってスライドし、搬送レール40を流れてきた基板20を当該基板収納棚に向けて押し出す。これにより、搬送レール40を流れてきた基板20は、空マガジン30B内の1つの基板収納棚に収納される。 The board pusher 106 is a device that pushes out the boards 20 that have flowed along the transport rail 40 toward one of the board storage shelves in the empty magazine 30B placed on the first lift 105. For example, when the first lift 105 moves to a position where the height of one of the board storage shelves in the empty magazine 30B is aligned with the height of the board pusher 106 and stops, the board pusher 106 performs the following operation. That is, the board pusher 106 slides toward the board storage shelf and pushes out the boards 20 that have flowed along the transport rail 40 toward the board storage shelf. As a result, the boards 20 that have flowed along the transport rail 40 are stored in one of the board storage shelves in the empty magazine 30B.

第2リフト107は、搬入コンベア101及び搬出コンベア103の第1リフト105が設けられた側とは反対側の端(図10では右端)に設けられ、上下方向(Z軸方向)に移動可能(つまり昇降可能)な装置である。第2リフト107は、実施の形態1と同様の構成であってよい。 The second lift 107 is provided at the end (the right end in FIG. 10) of the loading conveyor 101 and the unloading conveyor 103 opposite to the end where the first lift 105 is provided, and is a device that can move in the vertical direction (Z-axis direction) (i.e., can be raised and lowered). The second lift 107 may have the same configuration as in embodiment 1.

第2リフト107は、AGV10の高さ位置に移動し、AGV10から空マガジン30Bを受け取る(図10参照)。 The second lift 107 moves to a height position of the AGV 10 and receives the empty magazine 30B from the AGV 10 (see Figure 10).

第2リフト107は、空マガジン30Bを載せて、搬入コンベア101の高さ位置まで移動する。そして、第2リフト107は、搬入コンベア101の高さ位置において、空マガジン30Bを搬入コンベア101に移送する(図10参照)。 The second lift 107 carries the empty magazine 30B and moves to the height position of the carry-in conveyor 101. Then, at the height position of the carry-in conveyor 101, the second lift 107 transfers the empty magazine 30B to the carry-in conveyor 101 (see Figure 10).

第2リフト107は、搬出コンベア103の高さ位置に移動し、搬出コンベア103から、収納マガジン30Aを受け取る(図11参照)。そして、第2リフト107は、収納マガジン30Aを載せて、AGV10の高さ位置に移動し、収納マガジン30AをAGV10に移送する(図12参照)。 The second lift 107 moves to a height position of the output conveyor 103 and receives the storage magazine 30A from the output conveyor 103 (see FIG. 11). The second lift 107 then moves to a height position of the AGV 10 with the storage magazine 30A on it, and transfers the storage magazine 30A to the AGV 10 (see FIG. 12).

駆動部150は、第2リフト107及びコンベア115を、上述したように駆動させる機構である。なお、駆動部150は、構成要素101~106を、上述したように駆動させてもよい。 The drive unit 150 is a mechanism that drives the second lift 107 and the conveyor 115 as described above. The drive unit 150 may also drive the components 101 to 106 as described above.

なお、第2リフト107、コンベア115及び駆動部150は、独立した昇降装置140であってもよい。この場合、昇降装置140は、構成要素101~106を備える装置(例えばアンローダー)に接続されて使用されてよい。そして、駆動部150は、第2リフト107及びコンベア115を、上述したように駆動させてよい。 The second lift 107, the conveyor 115, and the drive unit 150 may be an independent lifting device 140. In this case, the lifting device 140 may be connected to a device (e.g., an unloader) that includes the components 101 to 106 and used. The drive unit 150 may then drive the second lift 107 and the conveyor 115 as described above.

図13は、基板収納装置100Bの動作の一例を説明するフローチャートである。 Figure 13 is a flowchart illustrating an example of the operation of the substrate storage device 100B.

第2リフト107は、空マガジン30Bの搬入動作を行う(S501)。なお、当該搬入動作の詳細については後述する(図14参照)。 The second lift 107 performs the loading operation of the empty magazine 30B (S501). Details of this loading operation will be described later (see FIG. 14).

搬入コンベア101は、第2リフト107から受け取った空マガジン30Bを移送する。上昇した第1ストッパ102は、その移送された空マガジン30Bを、第1リフト105の手前に停止させる(S502)。 The input conveyor 101 transports the empty magazine 30B received from the second lift 107. The raised first stopper 102 stops the transported empty magazine 30B just before the first lift 105 (S502).

第1リフト105は、搬入コンベア101の高さ位置まで移動(上昇)する(S503)。 The first lift 105 moves (rises) to the same height as the input conveyor 101 (S503).

第1ストッパ102は降下し、搬入コンベア101は、空マガジン30Bを第1リフト105に移送する(S504)。このとき、第1リフト105のコンベア114は、搬入方向(X軸の正方向)に駆動する。 The first stopper 102 descends, and the loading conveyor 101 transfers the empty magazine 30B to the first lift 105 (S504). At this time, the conveyor 114 of the first lift 105 drives in the loading direction (positive direction of the X-axis).

第1リフト105は、空マガジン30Bを載せて、空マガジン30Bの1つの基板収納棚の高さ位置が基板プッシャー106の高さ位置と揃う位置まで移動(下降)する(S505)。 The first lift 105 carries the empty magazine 30B and moves (lowers) to a position where the height position of one of the board storage shelves in the empty magazine 30B is aligned with the height position of the board pusher 106 (S505).

基板プッシャー106は、搬送レール40を流れてくる基板20を押し出す(S506)。押し出された基板20は、S505の高さ位置の基板収納棚に収納される。 The board pusher 106 pushes out the board 20 that is moving along the transport rail 40 (S506). The pushed out board 20 is stored in the board storage shelf at the height position of S505.

第1リフト105及び基板プッシャー106は、空マガジン30B内のすべての基板収納棚に基板20が収納されるまで、S105及びS106の動作を繰り返す(S507:NO)。 The first lift 105 and the substrate pusher 106 repeat the operations of S105 and S106 until substrates 20 are stored in all substrate storage shelves in the empty magazine 30B (S507: NO).

空マガジン30B内のすべての基板収納棚に基板20が収納された後(S507:YES)、第1リフト105は、収納マガジン30Aを載せて、搬出コンベア103の高さ位置まで移動(下降)する(S508)。 After all of the substrates 20 have been stored in the substrate storage shelves in the empty magazine 30B (S507: YES), the first lift 105 carries the storage magazine 30A and moves (descends) to the height position of the discharge conveyor 103 (S508).

第1リフト105は、収納マガジン30Aを搬出コンベア103へ移送(S509)。このとき、第1リフト105のコンベア114は、搬出方向(X軸の負方向)に駆動する。 The first lift 105 transfers the storage magazine 30A to the discharge conveyor 103 (S509). At this time, the conveyor 114 of the first lift 105 is driven in the discharge direction (negative direction of the X-axis).

搬出コンベア103は、第1リフト105から受け取った収納マガジン30Aを移送する。上昇した第2ストッパ104は、その移送された収納マガジン30Aを、第2リフト107の手前に停止させる(S510)。 The output conveyor 103 transports the storage magazine 30A received from the first lift 105. The raised second stopper 104 stops the transported storage magazine 30A just before the second lift 107 (S510).

第2リフト107は、収納マガジン30Aの搬出動作を行う(S511)。なお、当該搬出動作の詳細については後述する(図15参照)。 The second lift 107 performs the ejection operation of the storage magazine 30A (S511). Details of this ejection operation will be described later (see FIG. 15).

図14は、図13に示す第2リフト107の搬入動作(S501)の一例を説明するフローチャートである。 Figure 14 is a flowchart that explains an example of the loading operation (S501) of the second lift 107 shown in Figure 13.

第2リフト107は、空マガジン30Bを載せたAGV10が到着した場合、AGV10の高さ位置まで移動する(S601)。 When an AGV 10 carrying an empty magazine 30B arrives, the second lift 107 moves to a height position of the AGV 10 (S601).

第2リフト107は、AGV10から空マガジン30Bを受け取る(S602)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬入方向(X軸の正方向)に駆動する。 The second lift 107 receives the empty magazine 30B from the AGV 10 (S602). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 drives in the loading direction (positive direction of the X-axis).

第2リフト107は、空マガジン30Bを載せて、搬入コンベア101の高さ位置まで移動する(S603)。なお、第2リフト107の高さ位置がAGV10の高さ位置と揃っている場合、この移動は省略されてもよい。 The second lift 107 carries the empty magazine 30B and moves to the height position of the input conveyor 101 (S603). Note that if the height position of the second lift 107 is aligned with the height position of the AGV 10, this movement may be omitted.

第2リフト107は、空マガジン30Bを、搬入コンベア101に移送する(S604)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬入方向(X軸の正方向)に駆動する。 The second lift 107 transfers the empty magazine 30B to the loading conveyor 101 (S604). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 is driven in the loading direction (positive direction of the X-axis).

以上の動作により、AGV10が運んできた空マガジン30Bを、自動的に搬入コンベア101に載せることができる。 By performing the above operations, the empty magazine 30B brought by the AGV 10 can be automatically placed on the input conveyor 101.

図15は、図13に示す第2リフト107の搬出動作(S511)の一例を説明するフローチャートである。 Figure 15 is a flowchart that explains an example of the discharge operation (S511) of the second lift 107 shown in Figure 13.

第2リフト107は、マガジン30を載せていないAGV10が到着した場合、搬出コンベア103の高さ位置まで移動する(S701)。 When an AGV 10 arrives without a magazine 30, the second lift 107 moves to a height position of the discharge conveyor 103 (S701).

第2ストッパ104は降下し、搬出コンベア103は、収納マガジン30Aを第2リフト107に移送する(S702)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬出方向(X軸の負方向)に駆動する。 The second stopper 104 descends, and the discharge conveyor 103 transfers the storage magazine 30A to the second lift 107 (S702). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 drives in the discharge direction (negative direction of the X-axis).

第2リフト107は、収納マガジン30Aを載せて、AGV10の高さ位置まで移動する(S703)。 The second lift 107 carries the storage magazine 30A and moves to the height position of the AGV 10 (S703).

第2リフト107は、収納マガジン30AをAGV10に移送する(S704)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬出方向(X軸の負方向)に駆動する。 The second lift 107 transports the storage magazine 30A to the AGV 10 (S704). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 drives in the unloading direction (negative direction of the X-axis).

以上の動作により、搬出コンベア103を流れる収納マガジン30Aを、自動的にAGV10に載せることができる。 By performing the above operations, the storage magazine 30A traveling on the discharge conveyor 103 can be automatically loaded onto the AGV 10.

なお、上述した図13~図15の動作は、基板収納装置100Bが備える制御装置(図示しない)によって制御されてよい。制御装置は、プロセッサ、メモリ及び通信I/Fを備えてよい。そして、これらの構成要素が協調動作することにより、制御装置は、上述した制御を実現してよい。 The operations of Figures 13 to 15 described above may be controlled by a control device (not shown) provided in the substrate storage device 100B. The control device may include a processor, memory, and a communication I/F. These components may operate in cooperation with each other to allow the control device to achieve the above-mentioned control.

(実施の形態4)
実施の形態4では、実施の形態3にて説明した基板収納装置100Bが、さらに第3リフト108を備える構成を説明する。なお、実施の形態1から3にて説明済みの構成要素については、同じ参照番号を付し、説明を省略する場合がある。
(Embodiment 4)
In the fourth embodiment, a configuration will be described in which the substrate storage device 100B described in the third embodiment further includes a third lift 108. Note that the same reference numbers are used for the components that have already been described in the first to third embodiments, and descriptions thereof may be omitted.

図16及び図17は、実施の形態4に係る基板収納装置100Bの構成例を示す図である。 Figures 16 and 17 are diagrams showing an example configuration of a substrate storage device 100B according to embodiment 4.

基板収納装置100Bは、搬入コンベア101、第1ストッパ102、搬出コンベア103、第2ストッパ104、第1リフト105、基板プッシャー106、第2リフト107、及び、第3リフト108を備える。 The substrate storage device 100B includes an input conveyor 101, a first stopper 102, an output conveyor 103, a second stopper 104, a first lift 105, a substrate pusher 106, a second lift 107, and a third lift 108.

第3リフト108は、第2リフト107の上方に設けられ、上下方向に移動可能(つまり昇降可能)な装置である。第3リフト108は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成されたコンベア116を備える。コンベア116は、例えばモータによって駆動する。また、AGV10の高さ位置は、搬入コンベア101の高さ位置と揃っている。 The third lift 108 is a device that is provided above the second lift 107 and is movable in the vertical direction (i.e., can be raised and lowered). The third lift 108 is equipped with a conveyor 116 that is composed of a belt, chain, rollers, or the like. The conveyor 116 is driven, for example, by a motor. In addition, the height position of the AGV 10 is aligned with the height position of the loading conveyor 101.

駆動部150は、第2リフト107、第3リフト108、及び、コンベア115、116を、上述したように駆動させる機構である。なお、駆動部150は、構成要素101~106を、上述したように駆動させてもよい。 The drive unit 150 is a mechanism that drives the second lift 107, the third lift 108, and the conveyors 115 and 116 as described above. Note that the drive unit 150 may also drive the components 101 to 106 as described above.

実施の形態4では、第3リフト108が、AGV10から空マガジン30Bを受け取って、搬入コンベア101へ移送し、第2リフト107が、搬出コンベア103から収納マガジン30Aを受け取って、AGV10へ移送する。 In the fourth embodiment, the third lift 108 receives the empty magazine 30B from the AGV 10 and transfers it to the carry-in conveyor 101, and the second lift 107 receives the storage magazine 30A from the carry-out conveyor 103 and transfers it to the AGV 10.

なお、第2リフト107、第3リフト108、コンベア115、116及び駆動部150は、独立した昇降装置140であってもよい。この場合、昇降装置140は、構成要素101~106を備える装置(例えばアンローダー)に接続されて使用されてよい。そして、駆動部150は、第2リフト107、第3リフト108及びコンベア115、116を、上述したように駆動させてよい。 The second lift 107, the third lift 108, the conveyors 115, 116, and the drive unit 150 may be an independent lifting device 140. In this case, the lifting device 140 may be connected to an apparatus (e.g., an unloader) that includes the components 101 to 106 and used. The drive unit 150 may then drive the second lift 107, the third lift 108, and the conveyors 115, 116 as described above.

図18は、第2リフト107及び第3リフト108による搬入及び搬出動作の一例を説明するフローチャートである。 Figure 18 is a flowchart that explains an example of loading and unloading operations by the second lift 107 and the third lift 108.

第3リフト108は、空マガジン30Bを載せたAGV10が到着した場合、搬入コンベア101及びAGV10の高さ位置まで移動する(S801)。 When an AGV 10 carrying an empty magazine 30B arrives, the third lift 108 moves to a height position of the input conveyor 101 and the AGV 10 (S801).

第2リフト107は、搬出コンベア103の高さ位置まで移動する(S802)。なお、図16に示すように、S801とS802の動作は一緒に行われてもよい。 The second lift 107 moves to a height position of the discharge conveyor 103 (S802). Note that, as shown in FIG. 16, the operations of S801 and S802 may be performed together.

第3リフト108は、AGV10から空マガジン30Bを受け取る(S803)。このとき、第3リフト108のコンベア116は、搬入方向(X軸の正方向)に駆動する。 The third lift 108 receives the empty magazine 30B from the AGV 10 (S803). At this time, the conveyor 116 of the third lift 108 drives in the loading direction (positive direction of the X-axis).

第2リフト107は、搬出コンベア103から、収納マガジン30Aを受け取る(S804)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬出方向(X軸の負方向)に駆動する。なお、図16に示すように、S803とS804の動作は一緒に行われてもよい。 The second lift 107 receives the storage magazine 30A from the discharge conveyor 103 (S804). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 drives in the discharge direction (negative direction of the X-axis). Note that, as shown in FIG. 16, the operations of S803 and S804 may be performed simultaneously.

第2リフト107は、収納マガジン30Aを載せて、S801にて到着したAGV10の高さ位置まで移動(上昇)する(S805)。このとき、図17に示すように、第3リフト108も一緒に移動(上昇)してよい。 The second lift 107 carries the storage magazine 30A and moves (rises) to the height position of the AGV 10 that arrived in S801 (S805). At this time, as shown in FIG. 17, the third lift 108 may also move (rise) together.

第2リフト107は、収納マガジン30AをAGV10に移送する(S806)。このとき、第2リフト107のコンベア115は、搬出方向(X軸の負方向)に駆動する。 The second lift 107 transports the storage magazine 30A to the AGV 10 (S806). At this time, the conveyor 115 of the second lift 107 is driven in the unloading direction (negative direction of the X-axis).

第3リフト108は、空マガジン30Bを載せて、搬入コンベア101の高さ位置まで移動する(S807)。 The third lift 108 loads the empty magazine 30B and moves to the same height as the input conveyor 101 (S807).

第3リフト108は、空マガジン30Bを、搬入コンベア101に移送する(S808)。このとき、第3リフト108のコンベア116は、搬入方向(X軸の正方向)に駆動する。なお、S808の動作は、搬入コンベア101に空マガジン30Bを載せるスペースが存在する場合に行われてもよい。 The third lift 108 transfers the empty magazine 30B to the loading conveyor 101 (S808). At this time, the conveyor 116 of the third lift 108 drives in the loading direction (positive direction of the X-axis). Note that the operation of S808 may be performed when there is space on the loading conveyor 101 to place the empty magazine 30B.

以上の動作によれば、第3リフト108による空マガジン30Bの搬入と、第2リフト107による収納マガジン30Aの搬出とを一度に実行できるので、実施の形態3と比較して、マガジン30の搬入及び搬出を効率的に行うことができる。 The above operation allows the third lift 108 to load the empty magazine 30B and the second lift 107 to unload the storage magazine 30A at the same time, so compared to embodiment 3, loading and unloading of the magazine 30 can be performed more efficiently.

また、第3リフト108に空マガジン30Bを載せておき、第2リフト107に収納マガジン30Aを載せておくことができるので、基板収納装置100Bにおける空マガジン30B及び収納マガジン30Aの保持可能数が向上する。 In addition, an empty magazine 30B can be placed on the third lift 108 and a storage magazine 30A can be placed on the second lift 107, increasing the number of empty magazines 30B and storage magazines 30A that can be held in the substrate storage device 100B.

(実施の形態5)
実施の形態5では、実施の形態1から4で説明した基板供給装置100A、基板収納装置100B及びAGV10の挙動を制御する制御システム200について説明する。なお、実施の形態1から4にて説明済みの構成要素については、同じ参照番号を付し、説明を省略する場合がある。
(Embodiment 5)
In the fifth embodiment, a description will be given of a control system 200 that controls the behavior of the substrate supply device 100A, the substrate storage device 100B, and the AGV 10 described in the first to fourth embodiments. Note that the same reference numbers are used for components that have already been described in the first to fourth embodiments, and descriptions thereof may be omitted.

図19は、実施の形態5に係る制御システムの構成例を示す図である。 Figure 19 shows an example of the configuration of a control system according to embodiment 5.

制御システム200は、所定の通信ネットワークNを介して、工場内に配置された基板供給装置100A、基板収納装置100B、及びAGV10と、様々な情報を送受信できる。通信ネットワークNは、有線LAN(Local Area Network)、無線LAN、又は、それらの組み合わせによって構成されてよい。制御システム200は、1又は複数のサーバ装置によって構成されてよい。制御システム200は、プロセッサ、メモリ、ストレージ及び通信I/F等を備えてよい。制御システム200が提供する機能は、これらの構成要素が協調動作することによって実現されてよい。 The control system 200 can transmit and receive various information to and from the substrate supply device 100A, substrate storage device 100B, and AGV 10 arranged in the factory via a specified communication network N. The communication network N may be configured as a wired LAN (Local Area Network), a wireless LAN, or a combination thereof. The control system 200 may be configured as one or more server devices. The control system 200 may include a processor, memory, storage, a communication I/F, etc. The functions provided by the control system 200 may be realized by the cooperative operation of these components.

例えば、制御システム200は、基板供給装置100Aの搬入コンベア101に収納マガジン30Aが載置されていない場合(つまり収納マガジン30Aの提供を要する場合)、AGV10に対して、当該基板供給装置100Aへ収納マガジン30Aを運搬するよう指示する。この指示を受けたAGV10は、収納マガジン30Aを載せて当該基板供給装置100Aの場所に自動的に移動し、当該基板供給装置100Aに収納マガジン30Aを提供する。 For example, when the storage magazine 30A is not placed on the input conveyor 101 of the board supplying device 100A (i.e., when the storage magazine 30A needs to be provided), the control system 200 instructs the AGV 10 to transport the storage magazine 30A to the board supplying device 100A. Upon receiving this instruction, the AGV 10 automatically moves to the location of the board supplying device 100A with the storage magazine 30A on board, and provides the storage magazine 30A to the board supplying device 100A.

例えば、制御システム200は、基板供給装置100Aの搬出コンベア103に空マガジン30Bが載置されている場合(つまり空マガジン30Bの回収を要する場合)、AGV10に対して、当該基板供給装置100Aから空マガジン30Bを回収するよう指示する。この指示を受けたAGV10は、何も載せずに当該基板供給装置100Aまで自動的に移動し、当該基板供給装置100Aから空マガジン30Bを回収する。 For example, when an empty magazine 30B is placed on the discharge conveyor 103 of the board supplying device 100A (i.e. when the empty magazine 30B needs to be retrieved), the control system 200 instructs the AGV 10 to retrieve the empty magazine 30B from the board supplying device 100A. Upon receiving this instruction, the AGV 10 automatically moves to the board supplying device 100A without loading anything, and retrieves the empty magazine 30B from the board supplying device 100A.

例えば、制御システム200は、基板収納装置100Bの搬入コンベア101に空マガジン30Bが載置されていない場合(つまり空マガジン30Bの提供を要する場合)、AGV10に対して、当該基板収納装置100Bへ空マガジン30Bを運搬するよう指示する。この指示を受けたAGV10は、空マガジン30Bを載せて当該基板供給装置100Aの場所に自動的に移動し、当該基板収納装置100Bに空マガジン30Bを提供する。 For example, when an empty magazine 30B is not placed on the input conveyor 101 of the substrate storage device 100B (i.e., when an empty magazine 30B needs to be provided), the control system 200 instructs the AGV 10 to transport the empty magazine 30B to the substrate storage device 100B. Upon receiving this instruction, the AGV 10 automatically moves to the location of the substrate supply device 100A with the empty magazine 30B on board, and provides the empty magazine 30B to the substrate storage device 100B.

例えば、制御システム200は、基板収納装置100Bの搬出コンベア103に収納マガジン30Aが載置されている場合(つまり収納マガジン30Aの回収を要する場合)、AGV10に対して、当該基板収納装置100Bから収納マガジン30Aを回収するよう指示する。この指示を受けたAGV10は、何も載せずに当該基板収納装置100Bの場所に自動的に移動し、当該基板収納装置100Bから収納マガジン30Aを回収する。 For example, when a storage magazine 30A is placed on the discharge conveyor 103 of the substrate storage device 100B (i.e. when the storage magazine 30A needs to be retrieved), the control system 200 instructs the AGV 10 to retrieve the storage magazine 30A from the substrate storage device 100B. Upon receiving this instruction, the AGV 10 automatically moves to the location of the substrate storage device 100B without loading anything, and retrieves the storage magazine 30A from the substrate storage device 100B.

工場内において、マガジン30が載置される上面の高さ位置が互いに異なるAGV10が存在する場合、制御システム200は、基板供給装置100A又は基板収納装置100Bの場所に向かわせるAGV10の高さ位置を示す情報を、当該基板供給装置100A又は基板収納装置100Bに対して送信してよい。これにより、基板供給装置100A又は基板収納装置100Bは、第2リフト107(及び第3リフト108)の高さ位置を、到着するAGV10の高さ位置に揃えることができる。 When there are AGVs 10 in a factory with different height positions of the upper surface on which the magazines 30 are placed, the control system 200 may transmit information indicating the height position of the AGV 10 to be directed to the location of the board supply device 100A or the board storage device 100B to the board supply device 100A or the board storage device 100B. This allows the board supply device 100A or the board storage device 100B to align the height position of the second lift 107 (and the third lift 108) with the height position of the arriving AGV 10.

(本開示のまとめ)
本開示に係る基板(20)を供給する基板供給装置(100A)は、前記基板が収納されたマガジン(30)である収納マガジン(30A)を搬入方向に移送する搬入コンベア(101)と、前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジン(30B)を載せて上下に移動可能な第1リフト(105)と、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第1リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベア(103)と、上下に移動可能な第2リフト(107)と、を備え、前記第2リフトは、無人搬送車(10)から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する。
Summary of the Disclosure
A substrate supplying device (100A) for supplying a substrate (20) according to the present disclosure comprises an input conveyor (101) for transporting a storage magazine (30A), which is a magazine (30) in which the substrates are stored, in a loading direction, a first lift (105) capable of moving up and down while carrying the storage magazine received from the input conveyor or an empty magazine (30B), which is a magazine after the substrates have been discharged, an output conveyor (103) provided above or below the input conveyor for transporting the empty magazine received from the first lift in an output direction, and a second lift (107) capable of moving up and down, and when the second lift receives the storage magazine from an automated guided vehicle (10), it moves to the height position of the input conveyor while carrying the storage magazine.

この構成によれば、第2リフトが、無人搬送車から受け取った収納マガジンを載せて搬入コンベアの高さ位置まで移動するので、収納マガジンを搬入コンベアの高さ位置まで移動させる作業を自動化できる。 With this configuration, the second lift carries the storage magazine received from the automated guided vehicle and moves to the height of the loading conveyor, automating the task of moving the storage magazine to the height of the loading conveyor.

前記第2リフトは、前記無人搬送車から受け取った前記収納マガジンを前記搬入コンベアに移送するコンベアを備えてよい。 The second lift may be equipped with a conveyor that transfers the storage magazine received from the automated guided vehicle to the input conveyor.

この構成によれば、第2リフトのコンベアが、無人搬送車から受け取った収納マガジンを搬入コンベアに移送するので、収納マガジンを無人搬送車から搬入コンベアに乗せ換える作業を自動化できる。 With this configuration, the conveyor of the second lift transfers the storage magazine received from the automated guided vehicle to the carry-in conveyor, automating the task of transferring the storage magazine from the automated guided vehicle to the carry-in conveyor.

前記第2リフトは、前記搬出コンベアから前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動してよい。 When the second lift receives the empty magazine from the discharge conveyor, it may move to a height position of the automated guided vehicle with the empty magazine on it.

この構成によれば、第2リフトが、搬出コンベアから受け取った空マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置まで移動するので、空マガジンを無人搬送車の高さ位置に移動させる作業を自動化できる。 With this configuration, the second lift carries the empty magazine received from the discharge conveyor and moves to the height position of the automated guided vehicle, automating the task of moving the empty magazine to the height position of the automated guided vehicle.

前記第2リフトは、前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備えてよい。 The second lift may include a conveyor that transports the empty magazine to the automated guided vehicle.

この構成によれば、第2リフトのコンベアが、搬出コンベアから受け取った空マガジンを無人搬送車に移送するので、空マガジンを搬出コンベアから無人搬送車に乗せ換える作業を自動化できる。 With this configuration, the conveyor of the second lift transports the empty magazine received from the output conveyor to the automated guided vehicle, automating the task of transferring the empty magazine from the output conveyor to the automated guided vehicle.

前記第2リフトは、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動した場合、前記収納マガジンを前記搬入コンベアへ移送し、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動した場合、前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備えてよい。 The second lift may be provided with a conveyor that transfers the storage magazine to the loading conveyor when the second lift is moved to the height position of the loading conveyor with the storage magazine loaded thereon, and transfers the empty magazine to the automated guided vehicle when the second lift is moved to the height position of the automated guided vehicle with the empty magazine loaded thereon.

この構成によれば、第2リフトのコンベアが、収納マガジンを搬入コンベアへ移送し、空マガジンを無人搬送車へ移送するので、収納マガジンを無人搬送車から搬入コンベアに乗せ換える作業、及び、空マガジンを搬出コンベアから無人搬送車に乗せ換える作業を自動化できる。 With this configuration, the conveyor of the second lift transfers the storage magazine to the carry-in conveyor and the empty magazine to the automated guided vehicle, automating the task of transferring the storage magazine from the automated guided vehicle to the carry-in conveyor and the task of transferring the empty magazine from the carry-out conveyor to the automated guided vehicle.

前記第2リフトの上方に設けられ、上下に移動可能な第3リフト(108)をさらに備え、前記第3リフトは、前記搬出コンベアから前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動してよい。前記第3リフトは、前記搬出コンベアから受け取った前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備えてよい。 The system may further include a third lift (108) that is provided above the second lift and is movable up and down, and when the third lift receives the empty magazine from the discharge conveyor, the third lift may move to a height position of the automated guided vehicle while carrying the empty magazine. The third lift may include a conveyor that transfers the empty magazine received from the discharge conveyor to the automated guided vehicle.

この構成によれば、第2リフトによる収納マガジンの搬入と、第3リフトによる空マガジンの搬出とを一緒に実行できるので、マガジンの搬入及び搬出を効率的に行うことができる。 With this configuration, the second lift can load the storage magazine and the third lift can unload the empty magazine at the same time, allowing magazines to be loaded and unloaded efficiently.

本開示に係る基板(20)を収納する基板収納装置(100B)は、前記基板が収納されていないマガジン(30)である空マガジン(30B)を搬入方向に移送する搬入コンベア(101)と、前記搬入コンベアから受け取った前記空マガジン、又は、前記基板が収納された後のマガジンである収納マガジンを載せて上下に移動可能な第1リフト(105)と、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第1リフトから受け取った前記収納マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベア(103)と、上下に移動可能な第2リフト(107)と、を備え、前記第2リフトは、前記搬出コンベアから前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて無人搬送車(10)の高さ位置に移動する。 The substrate storage device (100B) for storing substrates (20) according to the present disclosure includes an input conveyor (101) for transporting an empty magazine (30B), which is a magazine (30) that does not contain substrates, in a loading direction, a first lift (105) capable of moving up and down while carrying the empty magazine received from the input conveyor or a storage magazine, which is a magazine after the substrates have been stored, an output conveyor (103) provided above or below the input conveyor for transporting the storage magazine received from the first lift in an output direction, and a second lift (107) capable of moving up and down. When the second lift receives the storage magazine from the output conveyor, it moves to the height position of the automated guided vehicle (10) while carrying the storage magazine.

この構成によれば、第2リフトが、搬出コンベアから受け取った収納マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置まで移動するので、収納マガジンを無人搬送車の高さ位置まで移動させる作業を自動化できる。 With this configuration, the second lift carries the storage magazine received from the discharge conveyor and moves to the height position of the automated guided vehicle, automating the task of moving the storage magazine to the height position of the automated guided vehicle.

前記第2リフトは、前記搬出コンベアから受け取った前記収納マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備えてよい。 The second lift may be equipped with a conveyor that transfers the storage magazine received from the discharge conveyor to the automated guided vehicle.

この構成によれば、第2リフトのコンベアが、搬出コンベアから受け取った収納マガジンを無人搬送車に移動するので、収納マガジンを搬出コンベアから無人搬送車に乗せ換える作業を自動化できる。 With this configuration, the conveyor of the second lift moves the storage magazine received from the output conveyor to the automated guided vehicle, automating the task of transferring the storage magazine from the output conveyor to the automated guided vehicle.

前記第2リフトは、前記無人搬送車から前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動してよい。 When the second lift receives the empty magazine from the automated guided vehicle, it may move to a height position of the input conveyor with the empty magazine on it.

この構成によれば、第2リフトが、無人搬送車から受け取った空マガジンを載せて搬入コンベアの高さ位置まで移動するので、空マガジンを搬入コンベアの高さ位置に移動させる作業を自動化できる。 With this configuration, the second lift carries the empty magazine received from the automated guided vehicle and moves to the height position of the loading conveyor, automating the task of moving the empty magazine to the height position of the loading conveyor.

前記第2リフトは、前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備えてよい。 The second lift may include a conveyor that transports the empty magazine to the input conveyor.

この構成によれば、第2リフトのコンベアが、無人搬送車から受け取った空マガジンを搬入コンベアに移送するので、空マガジンを無人搬送車から搬入コンベアに乗せ換える作業を自動化できる。 With this configuration, the conveyor of the second lift transfers the empty magazine received from the automated guided vehicle to the carry-in conveyor, automating the task of transferring the empty magazine from the automated guided vehicle to the carry-in conveyor.

前記第2リフトは、前記収納マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動した場合、前記収納マガジンを前記無人搬送車へ移送し、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動した場合、前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備えてよい。 The second lift may be provided with a conveyor that transfers the storage magazine to the automated guided vehicle when the second lift is moved to the height position of the automated guided vehicle with the storage magazine loaded thereon, and transfers the empty magazine to the loading conveyor when the second lift is moved to the height position of the empty magazine loaded thereon.

この構成によれば、第2リフトのコンベアが、収納マガジンを無人搬送車へ移送し、空マガジンを搬入コンベアへ移送するので、収納マガジンを搬出コンベアから無人搬送車に乗せ換える作業、及び、空マガジンを無人搬送車から搬入コンベアに乗せ換える作業を自動化できる。 With this configuration, the conveyor of the second lift transfers the storage magazine to the automated guided vehicle and the empty magazine to the carry-in conveyor, automating the task of transferring the storage magazine from the carry-out conveyor to the automated guided vehicle and the task of transferring the empty magazine from the automated guided vehicle to the carry-in conveyor.

前記第2リフトの上方に設けられ、上下に移動可能な第3リフト(108)をさらに備え、前記第3リフトは、前記無人搬送車から前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動してよい。前記第3リフトは、前記無人搬送車から受け取った前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備えてよい。 The system may further include a third lift (108) that is provided above the second lift and is movable up and down, and when the third lift receives the empty magazine from the automated guided vehicle, the third lift may move to a height position of the loading conveyor while carrying the empty magazine. The third lift may include a conveyor that transfers the empty magazine received from the automated guided vehicle to the loading conveyor.

この構成によれば、第3リフトによる空マガジンの搬入と、第2リフトによる収納マガジンの搬出とを一度に実行できるので、マガジンの搬入及び搬出を効率的に行うことができる。 With this configuration, the third lift can load an empty magazine and the second lift can unload a stored magazine at the same time, allowing magazines to be loaded and unloaded efficiently.

以上、添付図面を参照しながら実施の形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例、修正例、置換例、付加例、削除例、均等例に想到し得ることは明らかであり、それらについても本開示の技術的範囲に属すると了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。 Although the embodiments have been described above with reference to the attached drawings, the present disclosure is not limited to such examples. It is clear that a person skilled in the art can conceive of various modifications, corrections, substitutions, additions, deletions, and equivalents within the scope of the claims, and it is understood that these also fall within the technical scope of the present disclosure. Furthermore, the components in the above-described embodiments may be combined in any manner as long as it does not deviate from the spirit of the invention.

本開示の技術は、基板供給装置及び基板収納装置に有用である。 The technology disclosed herein is useful for substrate supply devices and substrate storage devices.

10 AGV
20 基板
30 マガジン
30A 収納マガジン
30B 空マガジン
40 搬送レール
100A 基板供給装置
100B 基板収納装置
101 搬入コンベア
102 第1ストッパ
103 搬出コンベア
104 第2ストッパ
105 第1リフト
106 基板プッシャー
107 第2リフト
108 第3リフト
111、114、115、116 コンベア
140 昇降装置
150 駆動部
200 制御システム
N 通信ネットワーク
10 AGV
Reference Signs List 20 Board 30 Magazine 30A Storage magazine 30B Empty magazine 40 Transport rail 100A Board supply device 100B Board storage device 101 Loading conveyor 102 First stopper 103 Unloading conveyor 104 Second stopper 105 First lift 106 Board pusher 107 Second lift 108 Third lift 111, 114, 115, 116 Conveyor 140 Lifting device 150 Drive unit 200 Control system N Communication network

Claims (14)

基板を供給する基板供給装置であって、
前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを搬入方向に移送する搬入コンベアと、
前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジンを載せて上下に移動可能な第1リフトと、
前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第1リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベアと、
上下に移動可能な第2リフトと、を備え、
前記第2リフトは、無人搬送車から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動し、
前記第2リフトと同時に上下に移動可能な第3リフトをさらに備え、
前記第3リフトは、前記搬出コンベアから前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動する、
基板供給装置。
A substrate supplying device that supplies a substrate,
a carry-in conveyor that transports a storage magazine in which the substrates are stored in a carry-in direction;
a first lift capable of moving up and down while carrying the storage magazine received from the carry-in conveyor or an empty magazine after the substrates have been discharged;
an unloading conveyor that is provided above or below the loading conveyor and that transports the empty magazine received from the first lift in a loading direction;
A second lift that is movable up and down;
when the second lift receives the storage magazine from the automatic guided vehicle, the second lift moves to a height position of the carry-in conveyor while carrying the storage magazine;
Further, a third lift is provided which can move up and down simultaneously with the second lift,
when the third lift receives the empty magazine from the discharge conveyor, the third lift moves to a height position of the automatic guided vehicle while carrying the empty magazine.
Substrate supply device.
前記第2リフトは、前記無人搬送車から受け取った前記収納マガジンを前記搬入コンベアに移送するコンベアを備える、
請求項1に記載の基板供給装置。
The second lift includes a conveyor that transfers the storage magazine received from the automatic guided vehicle to the carry-in conveyor.
The substrate supply device according to claim 1 .
前記第2リフトは、前記搬出コンベアから前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動する、
請求項1に記載の基板供給装置。
when the second lift receives the empty magazine from the discharge conveyor, the second lift moves to a height position of the automatic guided vehicle while carrying the empty magazine.
The substrate supply device according to claim 1 .
前記第2リフトは、前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備える、
請求項3に記載の基板供給装置。
The second lift includes a conveyor that transfers the empty magazine to the automated guided vehicle.
The substrate supply device according to claim 3 .
前記第2リフトは、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動した場合、前記収納マガジンを前記搬入コンベアへ移送し、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動した場合、前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備える、
請求項1に記載の基板供給装置。
the second lift includes a conveyor that, when the second lift is moved to a height position of the carry-in conveyor with the storage magazine loaded thereon, transfers the storage magazine to the carry-in conveyor, and, when the second lift is moved to a height position of the automatic guided vehicle with the empty magazine loaded thereon, transfers the empty magazine to the automatic guided vehicle.
The substrate supply device according to claim 1 .
前記第3リフトは、前記搬出コンベアから受け取った前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備える、
請求項1に記載の基板供給装置。
The third lift includes a conveyor that transfers the empty magazine received from the discharge conveyor to the automated guided vehicle.
The substrate supply device according to claim 1 .
基板を供給する基板供給方法であって、
搬入コンベアが、前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを搬入方向へ移送し、
第1リフトが、前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジンを載せて移動し、
前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられた搬出コンベアが、前記第1リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向へ移送し、
第2リフトが、無人搬送車から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動し、
前記第2リフトと同時に上下に移動可能な第3リフトが、前記搬出コンベアから前記空マガジンを受け取った場合、前記第2リフトの動作と同時に、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動する、
基板供給方法。
A substrate supply method for supplying a substrate, comprising the steps of:
a carry-in conveyor that carries a storage magazine in which the substrates are stored in a carry-in direction;
a first lift moves carrying the storage magazine received from the carry-in conveyor or an empty magazine which is a magazine after the substrates have been discharged;
an unloading conveyor provided above or below the loading conveyor transports the empty magazine received from the first lift in an unloading direction;
When the second lift receives the storage magazine from the automatic guided vehicle, the second lift moves to a height position of the carry-in conveyor while carrying the storage magazine thereon;
When a third lift, which is movable up and down simultaneously with the second lift, receives the empty magazine from the discharge conveyor, the third lift carries the empty magazine and moves to a height position of the automatic guided vehicle simultaneously with the operation of the second lift.
Substrate supply method.
基板を収納する基板収納装置であって、
前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを搬入方向に移送する搬入コンベアと、
前記搬入コンベアから受け取った前記空マガジン、又は、前記基板が収納された後のマガジンである収納マガジンを載せて上下に移動可能な第1リフトと、
前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第1リフトから受け取った前記収納マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベアと、
上下に移動可能な第2リフトと、を備え、
前記第2リフトは、前記搬出コンベアから前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置に移動する、
前記第2リフトと同時に上下に移動可能な第3リフト、をさらに備え、
前記第3リフトは、前記無人搬送車から前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する、
基板収納装置。
A substrate storage device for storing substrates,
an input conveyor that transports an empty magazine, which is a magazine in which no substrates are stored, in a input direction;
a first lift capable of moving up and down while carrying the empty magazine received from the carry-in conveyor or a storage magazine which is a magazine after the substrates are stored;
an unloading conveyor that is provided above or below the loading conveyor and that transports the storage magazine received from the first lift in an unloading direction;
A second lift that is movable up and down;
when the second lift receives the storage magazine from the discharge conveyor, the second lift moves to a height position of the automatic guided vehicle while carrying the storage magazine;
A third lift that can move up and down simultaneously with the second lift,
When the third lift receives the empty magazine from the automatic guided vehicle, the third lift moves to a height position of the input conveyor while carrying the empty magazine.
Circuit board storage device.
前記第2リフトは、前記搬出コンベアから受け取った前記収納マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備える、
請求項に記載の基板収納装置。
The second lift includes a conveyor that transfers the storage magazine received from the discharge conveyor to the automatic guided vehicle.
The substrate storage device according to claim 8 .
前記第2リフトは、前記無人搬送車から前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する、
請求項に記載の基板収納装置。
when the second lift receives the empty magazine from the automatic guided vehicle, the second lift moves to a height position of the input conveyor while carrying the empty magazine thereon.
The substrate storage device according to claim 9 .
前記第2リフトは、前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備える、
請求項10に記載の基板収納装置。
The second lift includes a conveyor that transfers the empty magazine to the input conveyor.
The substrate storage device according to claim 10 .
前記第2リフトは、前記収納マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動した場合、前記収納マガジンを前記無人搬送車へ移送し、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動した場合、前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備える、
請求項に記載の基板収納装置。
the second lift includes a conveyor that, when the second lift is moved to a height position of the automatic guided vehicle with the storage magazine loaded thereon, transfers the storage magazine to the automatic guided vehicle, and, when the second lift is moved to a height position of the carry-in conveyor with the empty magazine loaded thereon, transfers the empty magazine to the carry-in conveyor.
The substrate storage device according to claim 8 .
前記第3リフトは、前記無人搬送車から受け取った前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備える、
請求項に記載の基板収納装置。
The third lift includes a conveyor that transfers the empty magazine received from the automated guided vehicle to the carry-in conveyor.
The substrate storage device according to claim 8 .
基板を収納する基板収納方法であって、
搬入コンベアが、前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを搬入方向へ移送し、
第1リフトが、前記搬入コンベアから受け取った前記空マガジン、又は、前記基板が収納された後のマガジンである収納マガジンを載せて昇降し、
前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられた搬出コンベアが、前記第1リフトから受け取った前記収納マガジンを搬出方向へ移送し、
第2リフトが、前記搬出コンベアから前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置に移動する、
前記第2リフトと同時に上下に移動可能な第3リフトが前記無人搬送車から前記空マガジンを受け取った場合、前記第2リフトの動作と同時に、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する、
基板収納方法。
A substrate storage method for storing a substrate, comprising the steps of:
an input conveyor transports an empty magazine, which is a magazine in which no substrates are stored, in an input direction;
a first lift is raised and lowered while carrying the empty magazine received from the carry-in conveyor or a storage magazine which is a magazine after the substrates have been stored;
an unloading conveyor provided above or below the loading conveyor transports the storage magazine received from the first lift in an unloading direction;
When the second lift receives the storage magazine from the discharge conveyor, the second lift moves to a height position of the automatic guided vehicle while carrying the storage magazine.
When a third lift, which can move up and down simultaneously with the second lift , receives the empty magazine from the automatic guided vehicle, the third lift moves to a height position of the carry-in conveyor while carrying the empty magazine, simultaneously with the operation of the second lift.
How to store boards.
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