JP7456468B2 - 積層型コイル部品 - Google Patents
積層型コイル部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7456468B2 JP7456468B2 JP2022148319A JP2022148319A JP7456468B2 JP 7456468 B2 JP7456468 B2 JP 7456468B2 JP 2022148319 A JP2022148319 A JP 2022148319A JP 2022148319 A JP2022148319 A JP 2022148319A JP 7456468 B2 JP7456468 B2 JP 7456468B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminate
- main surface
- external electrode
- coil
- dielectric constant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 105
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 51
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 26
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 16
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 11
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 9
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007565 Zn—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/2804—Printed windings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/29—Terminals; Tapping arrangements for signal inductances
- H01F27/292—Surface mounted devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/34—Special means for preventing or reducing unwanted electric or magnetic effects, e.g. no-load losses, reactive currents, harmonics, oscillations, leakage fields
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
- H01F2017/002—Details of via holes for interconnecting the layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/2804—Printed windings
- H01F2027/2809—Printed windings on stacked layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Description
一方、近年の電気機器の通信速度の高速化、及び、小型化に応じて、積層型インダクタには高周波帯(例えば、50GHz以上のGHz帯)での高周波特性が充分であることが求められている。しかし、特許文献1に記載の積層型コイルでは、50GHz程度の高周波帯において特性が充分ではないおそれがあった。さらに、特許文献1に記載の積層型コイルの実装面側に外部電極を設けると、外部電極と内部導体との間で浮遊容量が発生してしまい、実装性と高周波特性の両立が困難であるという問題があった。
しかしながら、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する個々の望ましい構成を2つ以上組み合わせたものもまた本発明である。
図2(a)は、図1に示す積層型コイル部品の側面図であり、図2(b)は、図1に示す積層型コイル部品の正面図であり、図2(c)は、図1に示す積層型コイル部品の底面図である。
また、第1の外部電極21と同様に、第2の外部電極22は、第2の端面12から延伸して、第2の主面14の一部、第1の側面15の一部及び第2の側面16の一部を覆っていてもよい。
本発明の積層型コイル部品が0603サイズである場合、積層体の幅(図2(c)中、両矢印W1で示される長さ)は、0.33mm以下であることが好ましく、0.27mm以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が0603サイズである場合、積層体の高さ(図2(b)中、両矢印T1で示される長さ)は、0.33mm以下であることが好ましく、0.27mm以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が0603サイズである場合、積層型コイル部品の幅(図2(c)中、両矢印W2で示される長さ)は、0.33mm以下であることが好ましく、0.27mm以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が0603サイズである場合、積層型コイル部品の高さ(図2(b)中、両矢印T2で示される長さ)は、0.33mm以下であることが好ましく、0.27mm以上であることが好ましい。
なお、積層体の第1の主面を覆う部分の第1の外部電極の長さ、及び、積層体の第1の主面を覆う部分の第2の外部電極の長さが一定でない場合、最も長い部分の長さが上記範囲にあることが好ましい。
なお、積層体の第1の端面を覆う部分の第1の外部電極の高さ、及び、積層体の第2の端面を覆う部分の第2の外部電極の高さが一定でない場合、最も高い部分の高さが上記範囲にあることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が0402サイズである場合、積層体の高さは、0.18mm以上、0.22mm以下であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が0402サイズである場合、積層型コイル部品の幅は、0.22mm以下であることが好ましく、0.18mm以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が0402サイズである場合、積層型コイル部品の高さは、0.22mm以下であることが好ましく、0.18mm以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が1005サイズである場合、積層体の高さは、0.45mm以上、0.55mm以下であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が1005サイズである場合、積層型コイル部品の幅は、0.55mm以下であることが好ましく、0.45mm以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が1005サイズである場合、積層型コイル部品の高さは、0.55mm以下であることが好ましく、0.45mm以上であることが好ましい。
図3は、積層型コイル部品の内部構造を模式的に示す断面図である。
図3は、絶縁層、コイル導体及び連結導体、並びに、積層体の積層方向を模式的に示すものであり、実際の形状及び接続等を厳密には表していない。例えば、コイル導体はビア導体を介して接続されている。
積層体10の積層方向、及び、コイルの軸方向(図3中、コイル軸をAで示す)は、実装面である第1の主面13に対して平行である。
積層体10の第1の主面13には、低誘電率層50が設けられている。
低誘電率層50の比誘電率εr2は、積層体10を構成する絶縁層の比誘電率εr1よりも小さい。
低誘電率層50は、第1の主面13に延伸した第1の外部電極21と積層体10との間に配置されているため、第1の外部電極21と積層体10内部の導体との間で発生する浮遊容量を低減させることができる。
第1の連結導体41及び第2の連結導体42はいずれも、積層方向から平面視したときにコイル導体32と重なり、かつ、コイル軸よりも、実装面となる第1の主面13側に位置している。
第1の連結導体41及び第2の連結導体42はいずれも、コイル導体32の最も実装面に近い部分に接続されているため、外部電極の大きさを小さくして高周波特性を向上させることができる。
なお、積層体を構成する複数の絶縁層が積み重なる方向を積層方向という。
すなわち、本発明の積層型コイル部品において、積層体の長さ方向と、積層方向とは一致する。
コイル導体32b(32b1~32bn)、32c(32c1~32cn)、32d(32d1~32dn)及び32e(32e1~32en)にはそれぞれ、ライン部と、ライン部の端部に配置されるランド部とを有している。図4及び図5に示すように、ランド部のサイズは、ライン部の線幅よりも若干大きいことが好ましい。
また、第2の連結導体42が第2の外部電極22とコイルとの間を直線状に接続するとは、積層方向から平面視したとき、第2の連結導体42を構成するビア導体33d同士が重なっていることを意味し、ビア導体33d同士は厳密に直線状に並んでいなくてもよい。
なお、連結導体を構成するビア導体にランド部が接続されている場合には、ランド部を除いた形状(すなわちビア導体の形状)を連結導体の形状とする。
また、図4及び図5に示すコイル導体は、積層体の表面に露出していないが、コイル導体の一部が積層体の表面に露出していてもよい。
ただし、積層体の表面にコイル導体が露出している箇所の表面には、低誘電率層が設けられることが好ましい。
ランド部がライン部の内周縁よりも内側に位置すると、インピーダンスが低下してしまうことがある。
また、積層方向から平面視したときに、ランド部の径は、ライン部の線幅の1.05倍以上、1.3倍以下であることが好ましい。
ランド部の径がライン部の線幅の1.05倍未満であると、ランド部とビア導体との接続が不十分となることがある。一方、ランド部の径がライン部の線幅の1.3倍を超えると、ランド部に起因する浮遊容量が大きくなるため、高周波特性が低下することがある。
低誘電率層は、積層体を構成する絶縁層よりも比誘電率の小さな層であり、積層体の第1の主面に延伸される第1の外部電極と積層体との間に配置される。
積層体の第1の主面に延伸される第1の外部電極と積層体との間に低誘電率層が設けられていると、第1の外部電極と積層体との間で発生する浮遊容量を小さくして、高周波特性を向上させることができる。
積層体の第1の主面に延伸される第1の外部電極と積層体との間の全面に低誘電率層が設けられていると、第1の外部電極と積層体との間で発生する浮遊容量を最小限にすることができ、高周波特性の向上にさらに寄与する。
図6は、本発明の積層型コイル部品の別の一例を模式的に示す断面図である。
図6に示す積層型コイル部品2では、低誘電率層50が、積層体10の第1の主面13に延伸された第1の外部電極21と積層体10との間、及び、積層体10の第1の主面13に延伸された第2の外部電極22と積層体10との間に設けられている。
図7に示す積層型コイル部品3では、低誘電率層50が、積層体10の第1の主面13の全面に設けられている。そのため、低誘電率層50は、積層体10の第1の主面13に延伸された第1の外部電極21と積層体10との間、及び、積層体10の第1の主面13に延伸された第2の外部電極22と積層体10との間に設けられている。
図8に示す積層型コイル部品4では、第1の外部電極21が第1の端面11から延伸して第2の主面14の一部を覆っており、第2の外部電極22が第2の端面12から延伸して第2の主面14の一部を覆っている。
低誘電率層50は、第1の主面13に延伸した外部電極(第1の外部電極21及び第2の外部電極22)と積層体10との間、及び、第2の主面14に延伸した外部電極(第1の外部電極21及び第2の外部電極22)との間に、それぞれ設けられている。
第1の主面には、第1の外部電極及び第2の外部電極が延伸して設けられているため、実装性が高い。一方で、第1の主面に延伸して設けられた第1の外部電極と積層体との間で発生する浮遊容量が大きくなるが、本発明の積層型コイル部品では、第1の主面に延伸して設けられた第1の外部電極と積層体との間に低誘電率層が設けられているため、発生する浮遊容量を最小限に押さえて、高周波特性を向上させることができる。
なお、第1の主面が実装面ではない場合であっても、低誘電率層によって、外部電極が第1の主面に延伸していることによって生じる浮遊容量を抑制することができるため、高周波特性に優れる。
・積層方向から平面視したとき、各コイル導体の内径(コイル径)は、好ましくは、50μm以上、100μm以下である。
・各連結導体の長さ寸法は、好ましくは15μm以上、45μm以下であり、より好ましくは15μm以上、30μm以下である。
・各連結導体の幅寸法は、好ましくは、30μm以上、60μm以下である。
・積層方向から平面視したとき、各コイル導体の内径(コイル径)は、好ましくは、30μm以上、70μm以下である。
・各連結導体の長さ寸法は、好ましくは10μm以上、30μm以下であり、より好ましくは10μm以上、25μm以下である。
・各連結導体の幅寸法は、好ましくは、20μm以上、40μm以下である。
・積層方向から平面視したとき、各コイル導体の内径(コイル径)は、好ましくは、80μm以上、170μm以下である。
・各連結導体の長さ寸法は、好ましくは25μm以上、75μm以下であり、より好ましくは25μm以上、50μm以下である。
・各連結導体の幅寸法は、好ましくは、40μm以上、100μm以下である。
フェライト材料としては、Ni-Zn-Cu系フェライト材料であることが好ましい。
また、フェライト材料は、FeをFe2O3に換算して40mol%以上49.5mol%以下、ZnをZnOに換算して2mol%以上35mol%以下、CuをCuOに換算して6mol%以上13mol%以下、NiをNiOに換算して10mol%以上45mol%以下含むことが好ましい。
なお、フェライト材料には不可避不純物が含まれていてもよい。
このような材料としては、一般式aZnO・SiO2で表される材料であり、aの値、すなわちSiに対するZnの含有量(Zn/Si)が1.8以上、2.2以下である材料が挙げられる。これはウィルマイトとも呼ばれる材料である。
また、この材料はさらにCuを含むことが好ましく、具体的には、Znの一部がCu等の異種金属で置換された材料であってもよい。
このような材料は、酸化物原料(ZnO、SiO2、CuO等)を所定のモル比となるように配合して、湿式で混合粉砕した後、1000℃以上、1300℃以下で仮焼して作製することができる。
ガラス材料は、SiをSiO2換算で70重量%以上85重量%以下、BをB2O3換算で10重量%以上25重量%以下、KをK2O換算で0.5重量%以上5重量%以下、AlをAl2O3に換算して0重量%以上5重量%以下含む材料であることが好ましい。
このような材料は、ガラスとフィラーを混合して作製することができる。
例えば、ガラス100重量部に対して、フィラーとしての石英を40重量部以上、60重量部以下、アルミナを0重量部以上、10重量部以下の範囲で混合することにより作製することができる。
また、フェライト材料と第1の非磁性材料及び第2の非磁性材料を組み合わせてもよい。
好ましいのはフェライト材料と第1の非磁性材料の組合せである。
絶縁層の比誘電率εr1は、12以上、20以下であることが好ましい。
低誘電率層に含まれる非磁性材料としては、絶縁層に含まれる第1の非磁性材料及び第2の磁性材料を用いることができ、第1の非磁性材料を用いることが好ましい。
低誘電率層は非磁性材料の他に磁性材料を含んでいてもよい。
低誘電率層に含まれる磁性材料としては、絶縁層に含まれる磁性材料と同様のものが挙げられる。
低誘電率層は、磁性材料と非磁性材料とを含む複合材料で構成されていることが好ましい。
非磁性材料は、Si及びZnを含有する酸化物材料を含み、上記酸化物材料の、Siに対するZnの含有量(Zn/Si)が、モル比換算で1.8以上、2.2以下であることがより好ましい。
さらに、積層体の第1の主面のうち第1の外部電極及び第2の外部電極が設けられていない部分にも、低誘電率層が設けられていてもよい。
本発明の積層型コイル部品の製造方法の一例について説明する。
例えば、磁性材料及び非磁性材料に、ポリビニルブチラール系樹脂等の有機バインダ、エタノール、トルエン等の有機溶剤及び分散剤等を加えて混練し、スラリー状にする。その後、ドクターブレード法などの方法により、厚さ12μm程度のセラミックグリーンシートを得る。
また、フェライト材料は、FeをFe2O3に換算して40mol%以上49.5mol%以下、ZnをZnOに換算して2mol%以上35mol%以下、CuをCuOに換算して6mol%以上13mol%以下、NiをNiOに換算して10mol%以上45mol%以下含むことが好ましい。
このような材料は、酸化物原料(ZnO、SiO2、CuO等)を所定のモル比となるように配合して、湿式で混合粉砕した後、1000℃以上、1300℃以下で仮焼して作製することができる。
ガラス材料は、SiをSiO2換算で70重量%以上85重量%以下、BをB2O3換算で10重量%以上25重量%以下、KをK2O換算で0.5重量%以上5重量%以下、AlをAl2O3に換算して0重量%以上5重量%以下含む材料であることが好ましい。
このような材料は、ガラスとフィラーを混合して作製することができる。
例えば、ガラス100重量部に対して、フィラーとしての石英を40重量部以上、60重量部以下、アルミナを0重量部以上、10重量部以下の範囲で混合することにより作製することができる。
低誘電率セラミックグリーンシートの比誘電率が、絶縁層となるセラミックグリーンシートの比誘電率よりも小さくなるように磁性材料及び非磁性材料の混合比を調整するほかは、セラミックグリーンシートを作製する手順と同様の手順によって、低誘電率セラミックグリーンシートを作製する。
また、低誘電率セラミックグリーンシートを積層体の第1の主面に貼り付ける方法に代わって、低誘電率セラミックグリーンシートを作製するためのスラリーを積層体の第1の主面に塗布し、乾燥、焼成させる方法を用いてもよい。
上記の方法では、積層体の主面と端面の2回に分けて下地電極を形成する場合に比べて、下地電極を1回で形成することができる。
Agペーストを所定の厚みに引き伸ばした層に、チップを垂直に浸漬させる方法を用いると、積層体の5面(各端面に加えて、隣接する主面及び側面の4面)に外部電極の下地電極を形成することができる。
積層体の第1の主面と下地電極との間には、低誘電率層が設けられているため、上記工程によって形成された外部電極と積層体の第1の主面との間には、低誘電率層が設けられている。
以上により、本発明の積層型コイル部品を作製することができる。
図9A、図9B、図9C、図9D、図9E、図9F、図9Gは、マザー積層体を得るために積層されるコイルシートの一例を模式的に示す平面図であり、図10は、図9A、図9B、図9C、図9D、図9E、図9F及び図9Gに示すコイルシートを積層して得られたマザー積層体を切断して得られる積層体の一例を模式的に示す分解斜視図である。
図9A、図9B、図9C、図9D、図9E、図9F及び図9Gでは、得られるマザー積層体を切断するための切断線154及び155が示されている。
コイル導体パターン152b~152fは、隣り合う積層体でコイル導体同士が離間するように絶縁シート151b~151f上にそれぞれ設けられている。
図10は、マザー積層体を切断して得られる積層体の一例を模式的に示す分解斜視図である。
切断線154及び155に沿ってマザー積層体を切断することによって、9個の積層体に分割される。実際には、より多数の積層体に分割される。
各積層体30は、積層された複数の絶縁層51a~51g間に設けられた複数のコイル導体52b~52fと絶縁層51a~51gを積層方向に貫通する1以上のビア導体53a~53gとが接続されることによりコイルが構成される。
図11に示すように、積層体30内部において、コイル導体52b、52c、52d、52e及び52fは、ビア導体53b、53c、53d及び53eにより互いに接続され、コイルを形成している。
さらに、図9及び図11に示すように、積層体30の第1の主面13及び第2の主面14は、切断線155に沿う切断によって現れた面であり、積層体30の第1の側面15及び第2の側面16は、切断線154に沿う切断によって現れた面である。積層体30の第1の主面13、第2の主面14、第1の側面15又は第2の側面16には、コイル導体52b~52fが露出している。また、積層体30の第1の端面11にはビア導体53aが露出し、積層体30の第2の端面12にはビア導体53gが露出している。
図12に示すように、積層体30の第1の主面13、第2の主面14、第1の側面15及び第2の側面に低誘電率セラミックグリーンシートを貼り付けてさらに焼成することで、積層体30の第1の主面13、第2の主面14、第1の側面15及び第2の側面16に低誘電率層50が形成された構造体110を得ることができる。さらに、積層体30の第1の端面11及び第2の端面12と、第1の端面11又は第2の端面12から第1の主面13、第2の主面14、第1の側面15及び第2の側面16に延伸するように第1の外部電極21及び第2の外部電極22を形成することで、図13に示すような、積層型コイル部品5が得られる。
第1の外部電極21は、積層体30の第1の端面11から第1の主面13、第2の主面14、第1の側面15及び第2の側面16の一部にそれぞれ延伸しており、第2の外部電極22は、積層体30の第2の端面12から第1の主面13、第2の主面14、第1の側面15及び第2の側面16にそれぞれ延伸している。
積層型コイル部品5では、積層体30の第1の主面13の全面に低誘電率層50が設けられているため、積層体30の第1の主面13に延伸される第1の外部電極21及び第2の外部電極22と積層体30の間には、それぞれ低誘電率層50が配置されている。
10、30 積層体
11 第1の端面
12 第2の端面
13 第1の主面
14 第2の主面
15 第1の側面
16 第2の側面
21 第1の外部電極
22 第2の外部電極
31a、31b(31b1~31bn)、31c(31c1~31cn)、31d(31d1~31dn)、31e(31e1~31en)、31f 絶縁層
32b(32b1~32bn)、32c(32c1~32cn)、32d(32d1~32dn)、32e(32e1~32en) コイル導体
33a、33b(33b1~33bn)、33c(33c1~33cn)、33d(33d1~33dn)、33e(33e1~33en) ビア導体
41 第1の連結導体
42 第2の連結導体
50 低誘電率層
51a、51b、51c、51d、51e、51f、51g 絶縁層
52b、52c、52d、52e、52f コイル導体
53a、53b、53c、53d、53e、53f、53g ビア導体
110 構造体
151a、151b、151c、151d、151e、151f、151g 絶縁シート
152b、152c、152d、152e、152f コイル導体パターン
154、155 切断線
A コイル軸
E1 第1の主面を覆う部分の第1の外部電極の長さ
E2 第1の端面を覆う部分の第1の外部電極の高さ
L1 積層体の長さ寸法
L2 積層型コイル部品の長さ寸法
T1 積層体の高さ寸法
T2 積層型コイル部品の高さ寸法
W1 積層体の幅寸法
W2 積層型コイル部品の幅寸法
Claims (8)
- 複数の絶縁層が長さ方向に積層されてなり、内部にコイルを内蔵する積層体と、
前記コイルに電気的に接続されている第1の外部電極及び第2の外部電極と、を備え、
前記コイルは、前記絶縁層とともに前記長さ方向に積層された複数のコイル導体が電気的に接続されてなり、
前記積層体は、前記長さ方向において相対する第1の端面及び第2の端面と、前記長さ方向と直交する高さ方向において相対する第1の主面及び第2の主面と、前記長さ方向及び前記高さ方向に直交する幅方向において相対する第1の側面及び第2の側面と、を有し、
前記第1の外部電極は、前記第1の端面の少なくとも一部と前記第1の主面の一部と前記第2の主面の一部とを延伸して覆い、
前記第2の外部電極は、前記第2の端面の少なくとも一部と前記第1の主面の一部と前記第2の主面の一部とを延伸して覆い、
前記積層体の積層方向と前記コイルのコイル軸方向とは、前記第1の主面と平行であり、
前記コイル軸が、前記積層体の高さ方向の略中央に重なり、
前記第1の主面に延伸される前記第1の外部電極と前記積層体の間、前記第2の主面に延伸される前記第1の外部電極と前記積層体の間、前記第1の主面に延伸される前記第2の外部電極と前記積層体の間、及び、前記第2の主面に延伸される前記第2の外部電極と前記積層体の間には、前記絶縁層よりも比誘電率の小さな低誘電率層が設けられていることを特徴とする、積層型コイル部品。 - 複数の絶縁層が長さ方向に積層されてなり、内部にコイルを内蔵する積層体と、
前記コイルに電気的に接続されている第1の外部電極及び第2の外部電極と、を備え、
前記コイルは、前記絶縁層とともに前記長さ方向に積層された複数のコイル導体が電気的に接続されてなり、
前記積層体は、前記長さ方向において相対する第1の端面及び第2の端面と、前記長さ方向と直交する高さ方向において相対する第1の主面及び第2の主面と、前記長さ方向及び前記高さ方向に直交する幅方向において相対する第1の側面及び第2の側面と、を有し、
前記第1の外部電極は、前記第1の端面の少なくとも一部と前記第1の主面の一部と前記第2の主面の一部とを延伸して覆い、
前記第2の外部電極は、前記第2の端面の少なくとも一部と前記第1の主面の一部とを延伸して覆い、
前記積層体の積層方向と前記コイルのコイル軸方向とは、前記第1の主面と平行であり、
前記コイル軸が、前記積層体の高さ方向の略中央に重なり、
前記第1の主面に延伸される前記第1の外部電極と前記積層体の間、及び、前記第2の主面に延伸される前記第1の外部電極と前記積層体の間には、前記絶縁層よりも比誘電率の小さな低誘電率層が設けられており、
前記コイル導体は、第1の連結導体及び第2の連結導体を介して、それぞれ前記第1の外部電極及び前記第2の外部電極と接続されており、
前記第1の連結導体及び前記第2の連結導体は、前記積層方向から平面視したときに、前記コイル導体と重なり、かつ、前記コイル軸よりも、前記第1の主面側に位置している、ことを特徴とする積層型コイル部品。 - 前記積層体の前記第1の主面の全面に、前記低誘電率層が設けられている、請求項1に記載の積層型コイル部品。
- 前記積層体の前記第2の主面の全面に、前記低誘電率層が設けられている、請求項1又は3に記載の積層型コイル部品。
- 前記第1の主面が実装面である、請求項1~4のいずれか1項に記載の積層型コイル部品。
- 前記絶縁層の比誘電率εr1は、12以上、20以下であり、
前記低誘電率層の比誘電率εr2は、5以上、10以下である、請求項1~5のいずれか1項に記載の積層型コイル部品。 - 前記低誘電率層は、磁性材料と非磁性材料とを含む複合材料で構成されている、請求項1~6のいずれか1項に記載の積層型コイル部品。
- 前記非磁性材料は、Si及びZnを含有する酸化物材料を含み、
Siに対するZnの含有量(Zn/Si)がモル比換算で1.8以上、2.2以下である、請求項7に記載の積層型コイル部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022148319A JP7456468B2 (ja) | 2019-05-24 | 2022-09-16 | 積層型コイル部品 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019097640A JP7360816B2 (ja) | 2019-05-24 | 2019-05-24 | 積層型コイル部品 |
JP2022148319A JP7456468B2 (ja) | 2019-05-24 | 2022-09-16 | 積層型コイル部品 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019097640A Division JP7360816B2 (ja) | 2019-05-24 | 2019-05-24 | 積層型コイル部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022177176A JP2022177176A (ja) | 2022-11-30 |
JP7456468B2 true JP7456468B2 (ja) | 2024-03-27 |
Family
ID=73442178
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019097640A Active JP7360816B2 (ja) | 2019-05-24 | 2019-05-24 | 積層型コイル部品 |
JP2022148319A Active JP7456468B2 (ja) | 2019-05-24 | 2022-09-16 | 積層型コイル部品 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019097640A Active JP7360816B2 (ja) | 2019-05-24 | 2019-05-24 | 積層型コイル部品 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11587720B2 (ja) |
JP (2) | JP7360816B2 (ja) |
CN (2) | CN212161443U (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7360816B2 (ja) | 2019-05-24 | 2023-10-13 | 株式会社村田製作所 | 積層型コイル部品 |
JP7452507B2 (ja) | 2021-09-25 | 2024-03-19 | 株式会社村田製作所 | インダクタ |
JP7517293B2 (ja) | 2021-09-25 | 2024-07-17 | 株式会社村田製作所 | インダクタ |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006073029A1 (ja) | 2005-01-07 | 2006-07-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 電子部品及び電子部品製造方法 |
WO2008132834A1 (ja) | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Toda Kogyo Corporation | Ni-Zn-Cu系フェライトの粉末、グリーンシート及び焼結体 |
JP2014220469A (ja) | 2013-05-10 | 2014-11-20 | Tdk株式会社 | 複合フェライト組成物および電子部品 |
WO2015151810A1 (ja) | 2014-04-02 | 2015-10-08 | 株式会社村田製作所 | チップ型電子部品 |
JP2017005087A (ja) | 2015-06-09 | 2017-01-05 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | チップインダクタ |
JP2018098368A (ja) | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 株式会社村田製作所 | チップインダクタ |
JP2019114735A (ja) | 2017-12-26 | 2019-07-11 | Tdk株式会社 | 積層コイル部品 |
JP7360816B2 (ja) | 2019-05-24 | 2023-10-13 | 株式会社村田製作所 | 積層型コイル部品 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0729737A (ja) * | 1993-07-09 | 1995-01-31 | Murata Mfg Co Ltd | チップインダクタ |
JPH09129447A (ja) | 1995-11-02 | 1997-05-16 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型インダクタ |
JPH09246046A (ja) * | 1996-03-14 | 1997-09-19 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
JPH1092645A (ja) * | 1996-09-18 | 1998-04-10 | Tokin Corp | 積層型インピーダンス素子 |
JP2000216024A (ja) * | 2000-01-01 | 2000-08-04 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型インダクタ |
JP2006032878A (ja) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Yoichi Midorikawa | 積層型電子部品の製造方法 |
JP5999278B1 (ja) * | 2015-04-02 | 2016-09-28 | Tdk株式会社 | 複合フェライト組成物および電子部品 |
JP2016213437A (ja) * | 2015-05-08 | 2016-12-15 | 株式会社村田製作所 | コイル内蔵素子、コイルアンテナ、電子機器およびコイル内蔵素子の製造方法 |
KR101862479B1 (ko) * | 2016-11-18 | 2018-05-29 | 삼성전기주식회사 | 적층 칩 비드 및 그 제조 방법 |
-
2019
- 2019-05-24 JP JP2019097640A patent/JP7360816B2/ja active Active
-
2020
- 2020-05-21 CN CN202020868888.1U patent/CN212161443U/zh active Active
- 2020-05-21 CN CN202010435391.5A patent/CN111986874A/zh active Pending
- 2020-05-22 US US16/881,866 patent/US11587720B2/en active Active
-
2022
- 2022-09-16 JP JP2022148319A patent/JP7456468B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006073029A1 (ja) | 2005-01-07 | 2006-07-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 電子部品及び電子部品製造方法 |
WO2008132834A1 (ja) | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Toda Kogyo Corporation | Ni-Zn-Cu系フェライトの粉末、グリーンシート及び焼結体 |
JP2014220469A (ja) | 2013-05-10 | 2014-11-20 | Tdk株式会社 | 複合フェライト組成物および電子部品 |
WO2015151810A1 (ja) | 2014-04-02 | 2015-10-08 | 株式会社村田製作所 | チップ型電子部品 |
JP2017005087A (ja) | 2015-06-09 | 2017-01-05 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | チップインダクタ |
JP2018098368A (ja) | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 株式会社村田製作所 | チップインダクタ |
JP2019114735A (ja) | 2017-12-26 | 2019-07-11 | Tdk株式会社 | 積層コイル部品 |
JP7360816B2 (ja) | 2019-05-24 | 2023-10-13 | 株式会社村田製作所 | 積層型コイル部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7360816B2 (ja) | 2023-10-13 |
JP2020194806A (ja) | 2020-12-03 |
CN212161443U (zh) | 2020-12-15 |
US20200373069A1 (en) | 2020-11-26 |
CN111986874A (zh) | 2020-11-24 |
JP2022177176A (ja) | 2022-11-30 |
US11587720B2 (en) | 2023-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7456468B2 (ja) | 積層型コイル部品 | |
JP2019186255A (ja) | 積層型コイル部品 | |
US11626232B2 (en) | Multilayer coil component | |
JP2019186254A (ja) | 積層型コイル部品 | |
JP2019096819A (ja) | 積層型コイル部品 | |
CN213042743U (zh) | 层叠型线圈部件 | |
CN212461291U (zh) | 层叠型线圈部件 | |
JP2024125409A (ja) | 積層型コイル部品 | |
JP7476937B2 (ja) | 積層型コイル部品 | |
JP7475946B2 (ja) | 積層型コイル部品 | |
JP7326871B2 (ja) | 積層型コイル部品 | |
JP7088083B2 (ja) | 積層型コイル部品 | |
JP7107250B2 (ja) | 積層型コイル部品 | |
JP7003948B2 (ja) | 積層型コイル部品 | |
WO2024004484A1 (ja) | 積層コイル部品 | |
JP7088084B2 (ja) | 積層型コイル部品 | |
US11728088B2 (en) | Multilayer coil component | |
JP2022153510A (ja) | 積層型コイル部品及びバイアスティー回路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230711 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7456468 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |