JP7326953B2

JP7326953B2 - 冷却装置

Info

Publication number: JP7326953B2
Application number: JP2019131736A
Authority: JP
Inventors: 七絵松本; 祐輔大西; 修平柴田; 修中村; 正道岩崎
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2019-07-17
Filing date: 2019-07-17
Publication date: 2023-08-16
Anticipated expiration: 2039-07-17
Also published as: JP2021018999A

Description

本発明は、冷却装置に関し、特に、ファンユニットから放熱体に送風して熱交換を行う冷却装置に関する。

電力変換等を行う半導体素子を備えたパワエレユニットにおいては、組み込まれる装置内での容積に制約を受けることがあり、この場合には、パワエレユニット内における冷却構造の小型化が要求される。このような冷却構造としては、特許文献１に開示される構成が知られている。特許文献１の冷却構造は、電気素子等の熱源が取り付けられるヒートシンクと、ヒートシンクのフィン（放熱体）に送風するファンとを備えている。かかる冷却構造では、ヒートシンクにおける複数のフィンの先端側にファンが対向配置されている。冷却構造においては、フィンの先端とファンとをできるだけ近接させると、小型化を図る上で有利となる。

特開２０１７－６９４９９号公報

特許文献１においては、ファンの羽根部材に対向する領域のフィンに送風されるものの、ファンのボス（軸）に対向する領域のフィンに送風がされ難くなる。そこで、特許文献１では、ボスに対向する領域のフィンを疎とし、羽根部材に対向する領域のフィンを密としている。ところが、特許文献１のようにフィンに疎密を設けても、フィンでの風の流れは羽根部材に対向する領域からフィンの延出方向両端側に向かうので、ボスに対向する領域に送風されずに十分な冷却効果が得られない、という問題がある。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、ファンのボスに対向する領域での冷却効果を向上させることができる冷却装置を提供することを目的の一つとする。

本発明における一態様の冷却装置は、発熱体が接触するベースと、当該ベースから立設する複数の放熱体と、当該放熱体の開口側に配設される、ボスおよび当該ボスに接続された羽根部材を有するファンユニットとを備えた冷却装置であって、前記複数の放熱体は、前記ファンユニットからの送風を前記羽根部材に開口する領域から前記ボスに開口する領域に誘導する第１の誘導放熱体群と、前記ファンユニットからの送風を前記ボスに開口する領域から前記羽根部材に開口する領域に誘導する第２の誘導放熱体群とを備え、前記第１の誘導放熱体群は、その占有密度が前記羽根部材に開口する領域より前記ボスに開口する領域のほうが小さいことを特徴とする。
また、本発明における一態様の冷却装置は、発熱体が接触するベースと、当該ベースから立設する複数の放熱体と、当該放熱体の開口側に配設される、ボスおよび当該ボスに接続された羽根部材を有するファンユニットとを備えた冷却装置であって、前記複数の放熱体は、前記ファンユニットからの送風を前記羽根部材に開口する領域から前記ボスに開口する領域に誘導する第１の誘導放熱体群と、前記ファンユニットからの送風を前記ボスに開口する領域から前記羽根部材に開口する領域に誘導する第２の誘導放熱体群とを備え、前記第１の誘導放熱体群は、複数のピン状部材により形成されることを特徴とする。
更に、本発明における一態様の冷却装置は、発熱体が接触するベースと、当該ベースから立設する複数の放熱体と、当該放熱体の開口側に配設される、ボスおよび当該ボスに接続された羽根部材を有するファンユニットとを備えた冷却装置であって、前記複数の放熱体は、前記ファンユニットからの送風を前記羽根部材に開口する領域から前記ボスに開口する領域に誘導する第１の誘導放熱体群と、前記ファンユニットからの送風を前記ボスに開口する領域から前記羽根部材に開口する領域に誘導する第２の誘導放熱体群とを備え、前記第１の誘導放熱体群および前記第２の誘導放熱体群の境界の少なくとも一部は、前記ボスに開口する領域に形成されることを特徴とする。

本発明によれば、第１の誘導放熱体群によって放熱体のボスに開口する領域に風を誘導して流通させることができる。更に、ボスに開口する領域に誘導した風が滞留しないよう第２の誘導放熱体群によって羽根部材に開口する領域に流れ出し易くすることができる。これにより、複数の放熱体にてボスに開口する領域への送風の流量を確保でき、当該領域での冷却性能を向上させることができる。

実施の形態に係る冷却装置の部分正面断面図である。実施の形態のヒートシンクの概略底面図である。比較例の冷却装置におけるヒートシンクの図２と同様の底面図である。変形例に係るヒートシンクの図２と同様の底面図である。他の変形例に係るヒートシンクの図２と同様の底面図である。

以下、本発明の一実施の形態に係る冷却装置について、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、下記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲内で適宜変形して実施することができるものである。以下の図においては、説明の便宜上、一部の構成を省略することがある。また、以下においては、本発明に係る冷却装置を、電力変換装置や、電圧調整装置、インバータ装置、コンバータ装置をはじめとした半導体を用いた電力変換装置全般を含むパワエレユニットに適用する場合について説明する。

図１は、実施の形態に係る冷却装置の部分正面断面図である。図１に示すように、第１の実施の形態に係るパワエレユニット１では、発熱体となる半導体素子１０と、ヒートシンク２０及びファンユニット３０を備えてなる冷却装置とを有している。パワエレユニット１において、半導体素子１０と、ヒートシンク２０及びファンユニット３０は、不図示の筐体における内部空間に配置される。

ここで、以下の説明においては、各図において矢印で示したＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を基準に説明する。但し、これらの方向は、説明の便宜上設定した一例に過ぎないものであり、実施に際しては図中のＸ方向を鉛直方向に変更する等、任意の変更がある。

半導体素子１０は、例えば、電力変換を行う素子とされ、樹脂材によってパッケージされた状態で形成される。半導体素子１０は、ヒートシンク２０に対向する面が放熱面として形成され、当該放熱面から電力変換時に発生した熱が主として放出される。

図２は、実施の形態のヒートシンクの概略底面図である。図２に示すように、ヒートシンク２０は、Ｚ方向に厚みを有する方形の板状に形成されたベース２１と、ベース２１の－Ｚ側（図２中手前側）の面から立設された複数の放熱体としてボス側誘導放熱体２３及び外方誘導放熱体２４とを備えている。ベース２１の外縁となる四辺は、Ｘ方向及びＹ方向に延出している。ヒートシンク２０は、熱伝導率が高い素材によって形成され、具体的には、アルミニウム等の金属が例示できる。ベース２１には半導体素子１０が接触する。ヒートシンク２０には、半導体素子１０（図１参照）からの熱がベース２１を経て各放熱体２３、２４に伝達し、各放熱体２３、２４の表面とこれに触れる空気との間で熱交換が行われてヒートシンク２０から放熱される。

ベース２１は、－Ｚ側の面において、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれで２分割して全体で概ね４分割して見た場合、＋Ｘ側及び＋Ｙ側に位置する第１領域２１Ａを有している。また、ベース２１は、上記のように４分割して見た場合の第１領域２１Ａから時計方向に順に第２領域２１Ｂ、第３領域２１Ｃ、第４領域２１Ｄを有している。

このようにベース２１を第１～第４領域２１Ａ～２１Ｄに区分して見た場合において、ボス側誘導放熱体２３は第１領域２１Ａ及び第３領域２１Ｃに形成され、外方誘導放熱体２４は第２領域２１Ｂ及び第４領域２１Ｄに形成されている。よって、各放熱体２３、２４は、ベース２１の－Ｚ側の面の中心位置を対称点として概ね点対称となる形状に設けられている。本実施の形態では、外方誘導放熱体２４が形成される第２領域２１Ｂ及び第４領域２１Ｄの方が、ボス側誘導放熱体２３が形成される第１領域２１Ａ及び第３領域２１ＣよりＸ方向の幅が大きく形成される。

各放熱体２３、２４は、立設方向がＺ方向とされる。ボス側誘導放熱体２３は、ピン状部材によって形成されているとともに、Ｘ方向及びＹ方向を並び方向として複数並設されている。本実施の形態では、ボス側誘導放熱体２３は、四角錐台状に形成され、基部から先端に向かって断面積が漸次小さくなる形状に形成されている。ここで、各放熱体２３、２４の先端側となる－Ｚ側が開口側とされ、各放熱体２３、２４はファンユニット３０に開口している。本明細書及び特許請求の範囲において、ボス側誘導放熱体２３及び外方誘導放熱体２４を含む放熱体における「開口」の向き及び位置は、その立設方向先端側であり、立設方向に交差するＸ方向及びＹ方向を含めないものとする。

各ボス側誘導放熱体２３は、種々の太さとなるように形成されている。具体的には、ボス側誘導放熱体２３の太さは、ベース２１の中心部に近い程小さい寸法とされ、当該中心部から離れるに従って漸次大きい寸法に形成されている。また、ボス側誘導放熱体２３は、Ｘ方向及びＹ方向において、設置間隔（ピッチ）が概略同一に設定されている。これにより、ベース２１の外周側から中心部に向かって隣り合うボス側誘導放熱体２３間の離間距離が次第に大きくなり、それらの間の空間も次第に拡大している。言い換えると、Ｚ方向から見た場合、ボス側誘導放熱体２３の占有面積は、ベース２１の外周側より中心部のほうが小さくなり、より具体的には、外周側から中心部に近づくにつれて段階的に小さくなる。

外方誘導放熱体２４は、厚さ方向がＹ方向となるプレート状部材により形成されている。外方誘導放熱体２４は、Ｙ方向及びＺ方向に直交するＸ方向を延出方向として延出して設けられ、Ｙ方向を並び方向として等間隔に（所定間隔毎に）複数並設されている。よって、Ｙ方向に隣り合う外方誘導放熱体２４の間には、ファンユニット３０から送風された空気が流通する流路が複数形成される。

図１に示すように、ファンユニット３０は、ヒートシンク２０における各放熱体２３、２４の開口側（先端側）に対向して配設されている。ファンユニット３０は、不図示の駆動手段から駆動力が伝達されて回転中心軸Ｃ周りに回転する概略円筒状のボス３１と、ボス３１の外周に接続されて設けられる複数の羽根部材３２とを備えている。また、ファンユニット３０は、ボス３１及び羽根部材３２を収容するケーシング３３を備えている。

ケーシング３３は、Ｘ方向及びＹ方向に四辺を備えた枠状に形成されて＋Ｚ側及び－Ｚ側を開放するように設けられている。ケーシング３３は、各放熱体２３、２４の形成領域に対し、Ｘ方向及びＹ方向にて若干内側または概略揃うように設けられる。また、ケーシング３３の＋Ｚ側の端部が各放熱体２３、２４の先端（－Ｚ側端部）に対し、若干の隙間を介して配設されるよう、不図示の支持部材を介して支持される。なお、図１では、ケーシング３３の＋Ｚ側の端部と各放熱体２３、２４の先端との間に隙間を設けたが、それらが接触するように配設してもよい。

ボス３１の回転中心軸Ｃは、各放熱体２３、２４の立設方向つまりＺ方向に延出して設けられている。羽根部材３２は、ボス３１の回転によってケーシング３３の－Ｚ側から＋Ｚ側に送風するよう形成され、これにより、各放熱体２３、２４に向かって送風されるようになる。

図２に示すように、ヒートシンク２０と二点鎖線で示すボス３１とをＺ方向にて重ねて見た状態で、円形となるボス３１がベース２１の中央に位置して第１～第４領域２１Ａ～２１Ｄ全てに跨るように配置される。言い換えると、第１～第４領域２１Ａ～２１Ｄ全てがボス３１と重なる位置関係となる。なお、図２において、ヒートシンク２０では、ボス３１を示す円形の二点鎖線の内側領域がボス３１に開口する領域Ａとされる。また、ボス３１の外側にてボス３１と同心円の二点鎖線で示した位置は、ボス３１の回転による羽根部材３２先端の通過位置である。よって、当該通過位置とボス３１との間の領域が、羽根部材３２が回転して通過する送風領域Ｓとされ、当該送風領域Ｓは、回転する羽根部材３２に各放熱体２３、２４が開口する領域とされる。ボス３１に開口する領域Ａには、第１～第４領域２１Ａ～２１Ｄにて図２中時計回り方向で隣り合う領域間の境界の一部が形成される。

ここで、上記実施の形態におけるヒートシンク２０及びファンユニット３０の冷却機能について、図３に示す比較例の冷却機能を説明してから説明する。図３は、比較例の冷却装置におけるヒートシンクの図２と同様の底面図である。

比較例の冷却装置は、ヒートシンク１２０において、上記実施の形態におけるボス側誘導放熱体２３の形成を省略し、外方誘導放熱体２４と同様の放熱プレート１２２をＸ方向に延長して形成するものとする。また、比較例におけるファンユニット（図示省略）は、実施の形態におけるファンユニット３０と同様の構成となってボス１３１及び羽根部材１３２を備えている。

比較例にてボス１３１及び羽根部材１３２の回転によってヒートシンク１２０に送風すると、羽根部材１３２が通過する送風領域Ｓから放熱プレート１２２側となる＋Ｚ方向に空気が流れる。かかる空気の流れは、隣り合う放熱プレート１２２の間を流れてベース１２１に当たった後、放熱プレート１２２のＸ方向両端から吹き出すように空気が流れて冷却作用が得られる。

ここで、ファンユニットではボス１３１から送風が発生しないので、複数の放熱プレート１２２にて、ボス１３１に開口する領域Ａでは空気が流れない或いは流れ難くなって滞留することとなる。このため、冷却性能が低下し、かかる領域Ａとその周辺部が高温化する、という問題がある。

ところで、仮に、放熱プレート１２２とファンユニットとの間隔を拡げれば、整流作用によってボス１３１に開口する領域Ａへ流れる風量を増やすことができるが、パワエレユニットの容量縮小化の要請から、Ｚ方向の全体サイズが大きくなり好ましくない。

これに対し、上記実施の形態では、ファンユニット３０を作動してヒートシンク２０に送風すると、ファンユニット３０から各放熱体２３、２４側となる＋Ｚ方向に空気が流れる。かかる空気の流れは、隣り合う各放熱体２３、２４の間の空間を流れてベース２１に当たった後（図１の矢印参照）、ベース２１の－Ｚ側の面に沿う方向に流れて各放熱体２３、２４の間からヒートシンク２０の外部に吹き出すようになる。このような空気の流れにおいて、該空気と各放熱体２３、２４との間で熱交換が行われて冷却作用が得られる。

ここで、ヒートシンク２０での空気の流れについて更に詳述すると、ファンユニット３０においては、ボス３１からは送風が発生せず、ボス３１を囲う送風領域Ｓから送風が発生する。第１領域２１Ａ及び第３領域２１Ｃにおいて、送風領域Ｓにて立設するボス側誘導放熱体２３間に風が流れ込むと、送風領域ＳにＺ方向で重なる領域から送風領域Ｓの外方（径方向外側）へ風が流れようとする。ここで、ボス側誘導放熱体２３の占有密度は、送風領域Ｓよりボス３１に開口する領域Ａのほうが小さくなり、より具体的には、送風領域Ｓでボス３１に開口する領域Ａに近づくにつれて段階的に小さくなる。このため、隣り合うボス側誘導放熱体２３間の離間距離がベース２１の外方になる程小さくなり、送風領域Ｓでの外方への風の流れの抵抗となる。よって、ボス側誘導放熱体２３に流れた風の一部はボス３１に開口する領域Ａに流れ込むようになる。これにより、占有密度が異なる複数のボス側誘導放熱体２３によってファンユニット３０からの送風を送風領域Ｓからボス３１に開口する領域Ａに誘導することができる。ここにおいて、複数のボス側誘導放熱体２３によって第１の誘導放熱体群が形成される。

また、ヒートシンク２０では、ファンユニット３０の送風領域Ｓから第２領域２１Ｂ及び第４領域２１Ｄにて立設する外方誘導放熱体２４間にも風が流れ込む。ここで、送風領域Ｓからの送風は、ファンユニット３０（羽根部材３２）の回転によって発生するものであり、本実施の形態では羽根部材３２が図２中時計回りに回転するので、当該回転に沿う方向にも送風が発生するようになる。かかるファンユニット３０の回転による送風方向は、外方誘導放熱体２４が形成される第２領域２１Ｂでは主として－Ｘ方向、第４領域２１Ｄでは主として＋Ｘ方向となる。これに応じて、本実施の形態では、各外方誘導放熱体２４の延出方向をＸ方向として形成し、ファンユニット３０の回転による送風方向に沿って各外方誘導放熱体２４を設けている。そして、第２領域２１Ｂでは－Ｘ側が、第４領域２１Ｄでは＋Ｘ側が羽根部材３２の回転による送風方向下流側となり、羽根部材３２による送風の下流側として設定される。これら下流側は、ベース２１の外周側に近接或いは近傍配置されており、羽根部材３２からの送風をベース２１の外周側に誘導し、流通させることができる。

外方誘導放熱体２４での送風の上流側には、ボス側誘導放熱体２３が配置されている。具体的には、第２領域２１Ｂの外方誘導放熱体２４での送風の上流側となる＋Ｘ側には第１領域２１Ａのボス側誘導放熱体２３が配置される。また、第４領域２１Ｄの外方誘導放熱体２４での送風の上流側となる－Ｘ側には第３領域２１Ｃのボス側誘導放熱体２３が配置される。これにより、ボス側誘導放熱体２３によってボス３１に開口する領域Ａに誘導した空気を、外方誘導放熱体２４の送風によって領域Ａから送風領域Ｓを経てベース２１の外側に流出させることができる。これにより、領域Ａでの空気の滞留を抑制して空気を流通させることができ、領域Ａの冷却性能が向上し、高温になることを防止することができる。ここにおいて、複数の外方誘導放熱体２４によってファンユニット３０からの送風をボス３１に開口する領域Ａから、羽根部材３２に開口する送風領域Ｓに誘導し、複数の外方誘導放熱体２４によって第２の誘導放熱体群が形成される。

このように冷却性能を向上することで、ヒートシンク２０とファンユニット３０とを離さなくても領域Ａへの風量を確保できるので、Ｚ方向へのサイズ拡大を回避でき、パワエレユニット１の容量縮小化に寄与することができる。

また、外方誘導放熱体２４がプレート状に形成されるので、ボス３１に開口する領域Ａからベース２１の外周側へ空気を流通させて誘導できる上、外方誘導放熱体２４の放熱面積となる表面積を大きく確保して冷却能力をより良好に発揮することができる。

更に、ボス側誘導放熱体２３を四角錐台状に形成することで、ベース２１を経た熱がボス側誘導放熱体２３に熱伝達しやすくなり、冷却性能を確保することができる。また、ボス側誘導放熱体２３では基部側に比べて先端側の空間を疎として空気を流れ易くすることができ、これによっても、ボス３１に開口する領域Ａからベース２１の外周側へ空気を誘導することができる。

また、上記実施の形態では、ベース２１の外周側からボス３１に開口する領域Ａに向かって隣り合うボス側誘導放熱体２３間の離間距離が大きくなるよう、各ボス側誘導放熱体２３の太さを変化させている。言い換えると、ボス側誘導放熱体２３の太さを変化させることで、ボス側誘導放熱体２３の占有密度（疎密）を領域に応じて調整し、ボス３１に開口する領域Ａに誘導する風量や外方に流出する風量を適宜調整した設計を採用することができる。

本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

上記実施の形態では、複数のボス側誘導放熱体２３の設置間隔を同一としつつ太さを変化させ、隣り合うボス側誘導放熱体２３間の離間距離を変化させたが、これに限定されるものでない。例えば、ボス側誘導放熱体２３の太さを同じ或いはランダムに設定しつつ、設置間隔を変化させることで隣り合うボス側誘導放熱体２３間の離間距離を変化させてもよい。

また、外方誘導放熱体２４は、プレート状に限定されるものでなく、ベース２１の外周側に送風を誘導できる限りにおいて、図４に示すようにピン状に形成して並設する等、種々の形状に変更してもよい。

また、ボス側誘導放熱体２３は、四角錐台状に限定されるものでなく、Ｚ方向に立設する限りにおいて、種々の変更が可能である。例を挙げると、ボス側誘導放熱体２３の形状としては、円柱状や、三角柱状、四角柱状等の断面形状が多角形となる柱状、断面が半円形、雫形等の直線及び曲線を組み合わせた形状となる柱状としてもよい。また、ボス側誘導放熱体２３の形状として、それら柱状と同じ断面形状となる錐台状に形成してもよい。

また、ボス側誘導放熱体２３は、図５に示すようにプレート状部材により形成しつつ、Ｚ方向から見てボス３１に開口する領域Ａに向かって次第に細くなる形状に形成してもよい。図５のボス側誘導放熱体２３にあっては、送風領域Ｓにおいてボス３１に開口する領域Ａに近づくにつれて占有面積を段階的に小さくなるよう形成される。かかるボス側誘導放熱体２３においても、上記実施の形態のように、ファンユニット３０からの送風を送風領域Ｓからボス３１に開口する領域Ａに誘導することができる。

また、ボス３１の形状は、円錐台或いは円錐台と円柱とを組み合わせた形状にする等、変更してもよい。

１パワエレユニット
１０半導体素子（発熱体）
２０ヒートシンク（冷却装置）
２１ベース
２３ボス側誘導放熱体（放熱体、第１の誘導放熱体群、ピン状部材）
２４外方誘導放熱体（放熱体、第２の誘導放熱体群、プレート状部材）
３０ファンユニット（冷却装置）
３１ボス
３２羽根部材

Claims

発熱体が接触するベースと、
当該ベースから立設する複数の放熱体と、
当該放熱体の開口側に配設される、ボスおよび当該ボスに接続された羽根部材を有するファンユニットとを備えた冷却装置であって、
前記複数の放熱体は、前記ファンユニットからの送風を前記羽根部材に開口する領域から前記ボスに開口する領域に誘導する第１の誘導放熱体群と、
前記ファンユニットからの送風を前記ボスに開口する領域から前記羽根部材に開口する領域に誘導する第２の誘導放熱体群とを備え、
前記第１の誘導放熱体群は、その占有密度が前記羽根部材に開口する領域より前記ボスに開口する領域のほうが小さいことを特徴とする冷却装置。
前記第１の誘導放熱体群は、前記羽根部材に開口する領域において、前記ボスに開口する領域に近づくにつれて占有面積を段階的に小さくなることを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
発熱体が接触するベースと、
当該ベースから立設する複数の放熱体と、
当該放熱体の開口側に配設される、ボスおよび当該ボスに接続された羽根部材を有するファンユニットとを備えた冷却装置であって、
前記複数の放熱体は、前記ファンユニットからの送風を前記羽根部材に開口する領域から前記ボスに開口する領域に誘導する第１の誘導放熱体群と、
前記ファンユニットからの送風を前記ボスに開口する領域から前記羽根部材に開口する領域に誘導する第２の誘導放熱体群とを備え、
前記第１の誘導放熱体群は、複数のピン状部材により形成されることを特徴とする冷却装置。
前記複数のピン状部材のうち少なくとも一部は、基部から先端に向かって断面積が漸次小さくなるよう形成されることを特徴とする請求項３に記載の冷却装置。
発熱体が接触するベースと、
当該ベースから立設する複数の放熱体と、
当該放熱体の開口側に配設される、ボスおよび当該ボスに接続された羽根部材を有するファンユニットとを備えた冷却装置であって、
前記複数の放熱体は、前記ファンユニットからの送風を前記羽根部材に開口する領域から前記ボスに開口する領域に誘導する第１の誘導放熱体群と、
前記ファンユニットからの送風を前記ボスに開口する領域から前記羽根部材に開口する領域に誘導する第２の誘導放熱体群とを備え、
前記第１の誘導放熱体群および前記第２の誘導放熱体群の境界の少なくとも一部は、前記ボスに開口する領域に形成されることを特徴とする冷却装置。
前記第２の誘導放熱体群は、前記ファンユニットの回転による送風方向に沿って設けられたことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の冷却装置。
前記第２の誘導放熱体群は、複数のプレート状部材により形成されることを特徴とする請求項６に記載の冷却装置。