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JP7325229B2 - 発振器載置台、レーザー加工装置及び発振器載置台の調整方法 - Google Patents

発振器載置台、レーザー加工装置及び発振器載置台の調整方法 Download PDF

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JP7325229B2 JP2019106263A JP2019106263A JP7325229B2 JP 7325229 B2 JP7325229 B2 JP 7325229B2 JP 2019106263 A JP2019106263 A JP 2019106263A JP 2019106263 A JP2019106263 A JP 2019106263A JP 7325229 B2 JP7325229 B2 JP 7325229B2
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Description

本発明は、レーザー発振器を載置する発振器載置台と、発振器載置台を有するレーザー加工装置、および発振器載置台の調整方法に関する。
半導体ウェーハ等を個々のデバイスチップに分割するために、半導体ウェーハの分割予定ラインに沿ってレーザービームを照射して加工を施すレーザー加工装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
上記のようなレーザー加工装置は、レーザー発振器を搭載しており、レーザー発振器から発振されたレーザービームは、ミラーやレンズ等の光学素子を介して加工点まで伝搬される構成となっている。レーザービームを加工点まで伝搬するためには、レーザー発振器の光軸調整が必須であるが、装置の小型化に伴い光学部品が配置されているスペースが狭いことや、光学部品の点数が多いことなどから、非常に煩雑で時間のかかる作業となっている(例えば、特許文献2参照)。
特開2003-320466号公報 特開2013-226576号公報
ここで、もしレーザー発振器が寿命を迎えたり、壊れてしまった場合などには、レーザー加工装置に搭載されたレーザー発振器を交換する必要がある。ところが、レーザー発振器には個体差があるため、交換前のレーザー発振器と交換後のレーザー発振器とでレーザービームの出射される位置や角度などが異なっていることが殆どである。
このため、レーザー発振器を交換した後には、レーザービームを加工点まで適切に伝搬できるように、ミラーやレンズなどの光学素子の角度等を調整する光軸調整を都度行わなければならなかった。このように、レーザー発振器交換後等の光学調整に係る手間を抑制することが求められている。
本願発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、レーザー発振器交換後等の光学調整に係る手間を抑制することができる発振器載置台、レーザー加工装置及び発振器載置台の調整方法を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の発振器載置台は、レーザー発振器を載置する発振器載置台であって、該レーザー発振器が該発振器載置台に載置されたときのレーザービームの光軸方向をX軸方向とすると、該X軸方向と直交するY軸方向に該発振器載置台を移動させるY軸方向移動ユニットと、該発振器載置台を該X軸方向および該Y軸方向と直交するZ軸方向に移動させて該発振器載置台の高さを変更するZ軸方向移動ユニットと、該発振器載置台を該X軸方向および該Y軸方向と平行な方向に回転移動させて該発振器載置台の角度を変更する回転移動ユニットと、該Z軸方向移動ユニットを介して台座に位置決めされるベース板と、該ベース板上に重ねられ、該Z軸方向と平行に回転中心ピンが立設したY軸方向移動板と、該Y軸方向移動板に重ねられ、該回転中心ピンが侵入する回転中心孔が設けられて該Z軸方向と平行な軸心回りの方向に回転自在であるとともに、該レーザー発振器が載置される回転板と、を備えることを特徴とする。
前記発振器載置台では、該Z軸方向移動ユニットは、それぞれが独立してZ軸方向に移動可能に構成された3つの調整ユニットを含み、該調整ユニットをそれぞれ異なる高さに調整することで、該発振器載置台のXY平面に対する傾きを調整できても良い。
本発明のレーザー加工装置は、被加工物に対してレーザービームを照射して加工を施すレーザー加工装置であって、前記発振器載置台と、該発振器載置台に搭載されたレーザー発振器およびレーザー発振器から出射されたレーザービームを集光する集光ユニットを含むレーザービーム照射ユニットと、被加工物を保持するチャックテーブルと、該レーザービーム照射ユニットと該チャックテーブルとを相対的に移動させる移動ユニットと、を含むことを特徴とする。
本発明の発振器載置台の調整方法は、前記発振器載置台を調整する発振器載置台の調整方法であって、該発振器載置台にレーザー発振器を載置する発振器載置ステップと、該レーザー発振器の出射口から所定距離離れた第一の位置に、レーザービームの位置を測定する第一のビーム位置測定ユニットを配置し、該第一のビーム位置測定ユニットに対してレーザービームを照射して該第一の位置におけるレーザービームの位置を測定する第一のビーム位置測定ステップと、該レーザー発振器の出射口から所定距離離れた第一の位置とは異なる第二の位置に、レーザービームの位置を測定する第二のビーム位置測定ユニットを配置し、該第二のビーム位置測定ユニットに対してレーザービームを照射して該第二の位置におけるレーザービームの位置を測定する第二のビーム位置測定ステップと、を有し、該第一のビーム位置測定ステップおよび該第二のビーム位置測定ステップで測定したビーム位置に基づいて、該発振器載置台のY軸方向移動ユニット、Z軸方向移動ユニット又は回転移動ユニットの少なくともいずれか一つを調整することを特徴とする。
本願発明は、レーザー発振器交換後等の光学調整に係る手間を抑制することができるという効果を奏する。
図1は、実施形態1に係るレーザー加工装置の構成例を示す斜視図である。 図2は、図1に示されたレーザー加工装置の発振器載置台及びレーザービーム照射ユニットの構成を模式的に示す斜視図である。 図3は、実施形態1に係る発振器載置台の構成例を示す斜視図である。 図4は、図3中のIV-IV線に沿う断面図である。 図5は、図3中のV-V線に沿うZ軸方向移動ユニットの断面図である。 図6は、図3中のVI-VI線に沿うY軸方向移動ユニットの断面図である。 図7は、図3中のVII-VII線に沿う回転移動ユニットの断面図である。 図8は、実施形態1に係る発振器載置台の調整方法の流れを示すフローチャートである。 図9は、図8の実施形態1に係る発振器載置台の調整方法により調整中の発振器載置台等を示す平面図である。 図10は、図8の実施形態1に係る発振器載置台の調整方法により調整中の第一のビーム位置測定ユニットの受光面の一例を示す図である。 図11は、図8の実施形態1に係る発振器載置台の調整方法により調整中の第二のビーム位置測定ユニットの受光面の一例を示す図である。 図12は、実施形態1の変形例に係るレーザー加工装置の発振器載置台のZ軸方向移動ユニットの調整ユニットの断面図である。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。
〔実施形態1〕
本発明の実施形態1に係るレーザー加工装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るレーザー加工装置の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示されたレーザー加工装置の発振器載置台及びレーザービーム照射ユニットの構成を模式的に示す斜視図である。
(レーザー加工装置)
実施形態1に係るレーザー加工装置1は、図1に示す被加工物200に対してレーザービーム21を照射して、加工を施す装置である。図1に示されたレーザー加工装置1の加工対象である被加工物200は、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素などの基板201を有する円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハである。
被加工物200は、図1に示すように、基板201の表面202に格子状に設定された分割予定ライン203と、分割予定ライン203によって区画された領域に形成されたデバイス204と、を有している。デバイス204は、例えば、IC(Integrated Circuit)、又はLSI(Large Scale Integration)等の集積回路、CCD(Charge Coupled Device)、又はCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等のイメージセンサである。
実施形態1において、被加工物200は、環状フレーム210が貼着されかつ被加工物200の外径よりも大径なテープ211が表面202の裏側の裏面205に貼着されて、環状フレーム210の開口207内に支持される。実施形態1において、被加工物200は、分割予定ライン203に沿って個々のデバイス204に分割される。
レーザー加工装置1は、図1に示すように、被加工物200を保持面11で保持するチャックテーブル10と、レーザービーム照射ユニット20と、移動ユニット30と、撮像ユニット90と、制御ユニット100とを備える。
チャックテーブル10は、被加工物200を保持面11で保持する。保持面11は、ポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。チャックテーブル10は、保持面11上に載置された被加工物200を吸引保持する。実施形態1では、保持面11は、水平方向と平行な平面である。チャックテーブル10の周囲には、被加工物200を開口207内に支持する環状フレーム210を挟持するクランプ部12が複数配置されている。また、チャックテーブル10は、回転ユニット13により鉛直方向と平行なZ軸方向と平行な軸心回りに回転される。回転ユニット13及びチャックテーブル10は、移動ユニット30のY軸移動ユニット32によりY軸方向に移動される。
レーザービーム照射ユニット20は、チャックテーブル10に保持された被加工物200に対してパルス状のレーザービーム21を照射するユニットである。レーザービーム照射ユニット20は、図1及び図2に示すように、被加工物200を加工するためのレーザービーム21を出射口25から出射するレーザー発振器22と、レーザー発振器22から出射されたレーザービーム21をチャックテーブル10の保持面11に保持した被加工物200に向けて反射するミラー23と、ミラー23により反射されたレーザービーム21を被加工物200に集光させる集光レンズ24を含む集光ユニット26とを有する。
レーザー発振器22は、台座27に位置決めされて固定された発振器載置台40に搭載される。台座27は、移動ユニット30のZ軸移動ユニット33により鉛直方向と平行なZ軸方向に移動される。発振器載置台40の構成は、後ほど説明する。
集光ユニット26は、ミラー23により反射されたレーザービーム21を被加工物200に集光させる集光レンズ24と、レーザービーム21の集光点の位置をZ軸方向に変位させる図示しない集光点位置調整手段とを含む。レーザービーム照射ユニット20が照射するレーザービーム21は、被加工物200に対して透過性を有する波長でも良く、被加工物200に対して吸収性を有する波長でも良い。
移動ユニット30は、レーザービーム照射ユニット20とチャックテーブル10とを相対的に移動させるものである。移動ユニット30は、チャックテーブル10を保持面11と平行な方向でかつレーザー発振器22が発振器載置台40に載置されたときのレーザー発振器22から出射されるレーザービーム21の光軸方向であるX軸方向に移動させるX軸移動ユニット31と、チャックテーブル10を保持面11と平行でかつX軸方向と直交するY軸方向に移動させるY軸移動ユニット32と、レーザービーム照射ユニット20を保持面11に対して直交し、かつX軸方向およびY軸方向と直交するZ軸方向に移動させるZ軸移動ユニット33とを備える。
実施形態1では、Y軸移動ユニット32及びX軸移動ユニット31は、レーザー加工装置1の装置本体2上に設置されている。X軸移動ユニット31は、チャックテーブル10をZ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転ユニット13を支持した移動プレート14をX軸方向に移動自在に支持している。Y軸移動ユニット32は、移動プレート14上に設けられて、回転ユニット13及びチャックテーブル10をY軸方向に移動自在に支持している。
Z軸移動ユニット33は、装置本体2から立設した柱3に設置され、集光ユニット26をZ軸方向に移動自在に支持している。Y軸移動ユニット32、X軸移動ユニット31及びZ軸移動ユニット33は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ311,321,331、ボールねじ311,321,331を軸心回りに回転させる周知のパルスモータ312,322,332及び移動プレート14又はレーザービーム照射ユニット20をX軸方向、Y軸方向又はZ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール313,323,333を備える。
また、レーザー加工装置1は、チャックテーブル10のX軸方向の位置を検出するため図示しないX軸方向位置検出ユニットと、チャックテーブル10のY軸方向の位置を検出するための図示しないY軸方向位置検出ユニットと、レーザービーム照射ユニット20のZ軸方向の位置を検出するためのZ軸方向位置検出ユニットを備える。各位置検出ユニットは、検出結果を制御ユニット100に出力する。
撮像ユニット90は、チャックテーブル10に保持された被加工物200を撮像するものである。撮像ユニット90は、チャックテーブル10に保持された被加工物200を撮像するCCD(Charge Coupled Device)カメラや赤外線カメラにより構成される。実施形態1では、撮像ユニット90は、レーザービーム照射ユニット20に固定されている。撮像ユニット90は、被加工物200を撮像して、被加工物200とレーザービーム照射ユニットとの位置合わせを行うアライメントを遂行するための画像を得て、得た画像を制御ユニット100に出力する。
制御ユニット100は、レーザー加工装置1の上述した構成要素をそれぞれ制御して、被加工物200に対する加工動作をレーザー加工装置1に実施させるものである。なお、制御ユニット100は、CPU(central processing unit)のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ROM(read only memory)又はRAM(random access memory)のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット100の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、レーザー加工装置1を制御するための制御信号を入出力インターフェース装置を介してレーザー加工装置1の上述した構成要素に出力して、制御ユニット100の機能を実現する。
また、制御ユニット100は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット101と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる図示しない入力ユニットとが接続されている。入力ユニットは、表示ユニット101に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。
(発振器載置台)
本発明の実施形態1に係る発振器載置台を図面に基づいて説明する。図3は、実施形態1に係る発振器載置台の構成例を示す斜視図である。図4は、図3中のIV-IV線に沿う断面図である。図5は、図3中のV-V線に沿うZ軸方向移動ユニットの断面図である。図6は、図3中のVI-VI線に沿うY軸方向移動ユニットの断面図である。図7は、図3中のVII-VII線に沿う回転移動ユニットの断面図である。
発振器載置台40は、長手方向の一端部に出射口25を有するレーザー発振器22を載置し、台座27上に位置決めされて固定されるものである。発振器載置台40は、図3に示すように、ベース板41と、Y軸方向移動板42と、回転板43と、Z軸方向移動ユニット50と、Y軸方向移動ユニット60と、回転移動ユニット70とを備える。
ベース板41と、Y軸方向移動板42と、回転板43とは、金属からなる平板状の部材であり、長手方向がX軸方向と平行な矩形状に形成されている。ベース板41は、Z軸方向移動ユニット50を介して台座27に位置決めされる。Y軸方向移動板42は、ベース板41上に重ねられ、回転板43は、Y軸方向移動板42上に重ねられる。回転板43は、上面にレーザー発振器22を載置する。実施形態1では、回転板43は、レーザー発振器22のフランジ221に設けられた孔222を通ったネジ223が螺合するネジ孔434が設けられている。回転板43は、孔222を通ったネジ223がネジ孔434に螺合して、レーザー発振器22を固定する。
また、Y軸方向移動板42のレーザー発振器22の出射口25寄りの長手方向の一端部には、図4に示すように、Z軸方向と平行に回転板43に向けて回転中心ピン421が立設している。実施形態1では、回転中心ピン421は、円柱状に形成されている。
また、回転板43のレーザー発振器22の出射口25寄りの長手方向の一端部には、図4に示すように、回転中心ピン421が侵入する回転中心孔431が設けられている。回転中心孔431の平面形状は、内径が回転中心ピン421の外径と略等しい円形に形成されている。このために、回転中心ピン421が回転中心孔431内に侵入することで、Y軸方向移動板42と回転板43とが、回転中心ピン421のZ軸方向と平行な軸心回りの方向432に相対的に回転自在となっている。なお、回転中心ピン421のZ軸方向と平行な軸心回りの方向432は、特許請求の範囲に記載されたX軸方向およびY軸方向と平行な方向である。
Z軸方向移動ユニット50は、発振器載置台40のベース板41をZ軸方向に移動させて、発振器載置台40の台座27からの高さを変更するものである。実施形態1では、Z軸方向移動ユニット50は、3つの調整ユニット51を含む。実施形態1では、調整ユニット51は、ベース板41の長手方向の一端部に一つと、他端部に二つ配置されて、合計3つ設けられている。これら3つの調整ユニット51は、それぞれが独立してベース板41をZ軸方向に移動可能に構成されている。
調整ユニット51は、図5に示すように、上面に凹部を有する柱状部53と、柱状部53の凹部に載置可能に形成された凸部を底面に有するネジ(所謂キネマピン)58と、ベース板41の外縁に連なりZ軸方向に貫通してネジ(キネマピン)58を通す孔54が形成されたフランジ部55と、フランジ部55の孔54を通ったネジ58に螺合するナット56を備える。孔54の内面には、ネジ58に螺合するネジ溝が形成されている。調整ユニット51は、ネジ(キネマピン)58を軸心周りに回転することで、柱状部53に対するフランジ部55の高さを調整することができる。また、ナット56はフランジ部55の孔54を通ったネジ(キネマピン)58に螺合することで、最終的にフランジ部55の高さを固定する。Z軸方向移動ユニット50は、調整ユニット51の柱状部53に対してフランジ部55をそれぞれ異なる高さに調整することで、発振器載置台40のベース板41のX軸方向とY軸方向とからなるXY平面に対する傾きを調整することができる。
Y軸方向移動ユニット60は、Y軸方向にベース板41即ち台座27に対して発振器載置台40のY軸方向移動板42を移動させるものである。Y軸方向移動ユニット60は、図6に示すように、ガイド部61と、調整部62とを備える。
ガイド部61は、ベース板41に対してY軸方向移動板42をY軸方向に移動自在にするものである。ガイド部61は、Y軸方向移動板42の長手方向の中央部にY軸方向と平行に延在した長孔611と、ベース板41に取り付けられベース板41からY軸方向移動板42に向けて立設しているとともにY軸方向に延在したガイド突起612とを備える。長孔611とガイド突起612の幅は、全長に亘って等しく形成され、長孔611のY軸方向の長さは、ガイド突起612のY軸方向の長さよりも長く形成されている。ガイド部61は、調整部62のバネ624が伸縮することでベース板41に対してY軸方向移動板42が相対的に移動される。
調整部62は、ベース板41に対するY軸方向移動板42のY軸方向に位置を調整するものである。調整部62は、ベース板41の外縁部から立設しかつY軸方向移動板42の外縁部を切り欠いた切欠き部422に侵入するとともに、Y軸方向に貫通したネジ孔621が設けられ調整片622と、調整片622のネジ孔621に螺合して、Y軸方向移動板42の切欠き部422の底面に当接する調整ネジ623と、長孔611とガイド突起612との間に配置されかつガイド突起612とY軸方向移動板42とを連結して上述したようにベース板41に対してY軸方向移動板42を相対的に移動させるバネ624とを備える。
Y軸方向移動ユニット60は、調整ネジ623のネジ孔621へのねじ込み量を調整することで、ベース板41に対するY軸方向移動板42のY軸方向の位置を調整する。
回転移動ユニット70は、ベース板41及びY軸方向移動板42即ち台座27に対して、発振器載置台40の回転板43を回転中心ピン421のZ軸方向と平行な軸心回りの方向432に回転移動させて、発振器載置台40の回転板43の前述した軸心回りの角度を変更するものである。回転移動ユニット70は、図7に示すように、ガイド部71と、調整部72とを備える。
ガイド部71は、Y軸方向移動板42に対して回転板43を回転中心ピン421のZ軸方向と平行な軸心回りの方向432に回転自在にするものである。ガイド部71は、回転板43の長手方向の中央部にY軸方向と平行に延在した長孔711と、Y軸方向移動板42に取り付けられY軸方向移動板42から回転板43に向けて立設しているとともにY軸方向に延在したガイド突起712とを備える。長孔711の幅は、ガイド突起712の幅よりも全長に亘って大きく形成され、長孔711のY軸方向の長さは、ガイド突起712のY軸方向の長さよりも長く形成されている。ガイド部71は、調整部72のバネ724が伸縮することでY軸方向移動板42に対して回転板43が回転中心ピン421の軸心回りの方向432に相対的に回転される。
調整部72は、Y軸方向移動板42に対する回転板43の回転中心ピン421のZ軸方向と平行な軸心回りの角度を調整するものである。調整部72は、Y軸方向移動板42の外縁部から立設しかつ回転板43の外縁部を切り欠いた切欠き部433に侵入するとともに、Y軸方向に貫通したネジ孔721が設けられ調整片722と、調整片722のネジ孔721に螺合して、回転板43の切欠き部433の底面に当接する調整ネジ723と、長孔711とガイド突起712との間に配置されかつガイド突起712と回転板43とを連結して上述したようにY軸方向移動板42に対して回転板43を回転中心ピン421の軸心回りの方向432に相対的に回転させるバネ724とを備える。
回転移動ユニット70は、調整ネジ723のネジ孔721へのねじ込み量を調整することで、Y軸方向移動板42に対する回転板43の回転中心ピン421のZ軸方向と平行な軸心回りの角度を調整する。
(発振器載置台の調整方法)
本発明の実施形態1に係る発振器載置台の調整方法を図面に基づいて説明する。図8は、実施形態1に係る発振器載置台の調整方法の流れを示すフローチャートである。図9は、図8の実施形態1に係る発振器載置台の調整方法により調整中の発振器載置台等を示す平面図である。図10は、図8の実施形態1に係る発振器載置台の調整方法により調整中の第一のビーム位置測定ユニットの受光面の一例を示す図である。図11は、図8の実施形態1に係る発振器載置台の調整方法により調整中の第二のビーム位置測定ユニットの受光面の一例を示す図である。
発振器載置台の調整方法は、前述した発振器載置台40を調整する方法であって、図8に示すように、発振器載置ステップST1と、第一のビーム位置測定ステップST2と、第二のビーム位置測定ステップST3と、調整ステップST4とを備える。
発振器載置ステップST1は、発振器載置台40にレーザー発振器22を載置するステップである。実施形態1において、発振器載置ステップST1では、発振器載置台40の回転板43上にレーザー発振器22を載置し、孔222内にネジ223を通してネジ孔434に螺合して、発振器載置台40の回転板43にレーザー発振器22を固定する。また、実施形態1では、発振器載置ステップST1では、図9に示す光学定盤300に発振器載置台40のZ軸方向移動ユニット50の各調整ユニット51を設置して、第一のビーム位置測定ステップST2及び第二のビーム位置測定ステップST3に進む。
第一のビーム位置測定ステップST2は、発振器載置ステップST1の後、レーザー発振器22の出射口25から所定距離離れた第一の位置に第一のビーム位置測定ユニット400を配置するステップである。第一のビーム位置測定ステップST2は、第一のビーム位置測定ユニット400に対してレーザー発振器22の出射口25からレーザービーム21を照射して、第一の位置におけるレーザービーム21の位置を測定するステップである。
なお、実施形態1において、第一のビーム位置測定ユニット400は、レーザー発振器22から出射されたレーザービーム21を受光する受光面401を備える。第一のビーム位置測定ユニット400は、図10に示す受光面401内のレーザービーム21が照射された位置(レーザービーム21の出力が最大となる位置)を検出可能なポインティング機能付きのパワーメータであるが、本発明では、プロファイルカメラ又はフォトダイオードでも良い。第一のビーム位置測定ユニット400は、検出した受光面401内のレーザービーム21が照射された位置を示す情報を記録装置600に出力する。
実施形態1において、第一のビーム位置測定ステップST2では、光学定盤300に他の光学定盤301を設置し、この他の光学定盤301に受光面401をレーザー発振器22の出射口25に対向させて第一のビーム位置測定ユニット400を設置する。第一のビーム位置測定ステップST2では、レーザー発振器22の出射口25からレーザービーム21を出射し、例えば、図10に示すように、第一のビーム位置測定ユニット400が受光面401でレーザービーム21を受光する。第一のビーム位置測定ステップST2では、第一のビーム位置測定ユニット400が検出した受光面401内のレーザービーム21が照射された位置を示す情報を記録装置600に出力し、記録装置600が、受光面401内のレーザービーム21が照射された位置を記録する。
第二のビーム位置測定ステップST3は、発振器載置ステップST1の後、レーザー発振器22の出射口25から第二の所定距離離れた第一の位置と異なる第二の位置に第二のビーム位置測定ユニット500を配置するステップである。第二のビーム位置測定ステップST3は、第二のビーム位置測定ユニット500に対してレーザー発振器22の出射口25からレーザービーム21を照射して、第二の位置におけるレーザービーム21の位置を測定するステップである。
なお、実施形態1において、第二のビーム位置測定ユニット500は、第一のビーム位置測定ユニット400と同様に、受光面501を備える。実施形態1において、第二のビーム位置測定ユニット500は、第一のビーム位置測定ユニット400と同様に、受光面501内のレーザービーム21が照射された位置(レーザービーム21の出力が最大となる位置)を検出可能なポインティング機能付きのパワーメータであるが、本発明では、プロファイルカメラ又はフォトダイオードでも良い。第二のビーム位置測定ユニット500は、検出した受光面501内のレーザービーム21が照射された位置を示す情報を記録装置600に出力する。
第二のビーム位置測定ステップST3では、他の光学定盤301に受光面501をレーザー発振器22の出射口25に対向させて第二のビーム位置測定ユニット500を設置する。実施形態1では、第二のビーム位置測定ユニット500は、第一のビーム位置測定ユニット400よりもレーザー発振器22から離れた位置に設置される。第二のビーム位置測定ステップST3では、レーザー発振器22の出射口25からレーザービーム21を出射し、例えば、図11に示すように、第二のビーム位置測定ユニット500が受光面501でレーザービーム21を受光する。第二のビーム位置測定ステップST3では、第二のビーム位置測定ユニット500が検出した受光面501内のレーザービーム21が照射された位置を記録装置600に出力し、記録装置600が、受光面501内のレーザービーム21が照射された位置を記録する。また、本発明では、記録装置600を設けずに、目視で受光面401,501内のレーザービーム21が照射された位置を確認しながら調整ステップST4を実施しても良い。
調整ステップST4は、第一のビーム位置測定ステップST2および第二のビーム位置測定ステップST3で測定した受光面401,501内のレーザービーム21が照射された位置に基づいて、発振器載置台40のY軸方向移動ユニット60、Z軸方向移動ユニット50、回転移動ユニット70の少なくともいずれか一つを調整するステップである。調整ステップST4では、ビーム位置測定ユニット400,500が検出した受光面401,501内のレーザービーム21が照射された位置に基づいて、レーザー発振器22から出射したレーザービーム21が受光面401,501内の予め定められた所定の位置402,502(図10及び図11に示す)に照射されるように、Y軸方向移動ユニット60、Z軸方向移動ユニット50、回転移動ユニット70の少なくともいずれか一つを調整する。なお、実施形態では、所定の位置402,502は、受光面401,501の中央であるが、本発明では、中央に限定されない。
なお、図10及び図11は、第一のビーム位置測定ステップST2および第二のビーム位置測定ステップST3においてレーザービーム21が照射された位置を実線の円で示し、受光面401,501のレーザービーム21が照射されるべき予め定められた所定の位置402,502を点線の円で示している。図10は、レーザービーム21が照射された位置と所定の位置402とが重なっていることを示し、図11は、レーザービーム21が照射された位置と所定の位置502とがずれていることを示している。
調整ステップST4において、レーザービーム21が受光面401,501内の予め定められた所定の位置402,502に照射されるように、Y軸方向移動ユニット60、Z軸方向移動ユニット50、回転移動ユニット70の少なくともいずれか一つを調整すると、発振器載置台の調整方法は、終了する。調整された発振器載置台40は、光学定盤300から取り外されて、レーザー発振器22が固定された状態で台座27に搭載される。
以上説明したように、実施形態1に係る発振器載置台40及び発振器載置台の調整方法は、発振器載置台40がレーザー発振器22から出射されるレーザービーム21のY軸方向の位置、Z軸方向の高さ、XY平面に対する傾き及びZ軸方向と平行な軸心回りの向きを調整することが可能である。これにより、発振器載置台40及び発振器載置台の調整方法は、調整ステップST4において、X軸方向に互いに異なる位置に配置された2つのビーム位置測定ユニット400,500の受光面401,501の予め定められた所定の位置402,502にレーザービーム21が照射されるように、Y軸方向移動ユニット60とZ軸方向移動ユニット50と回転移動ユニット70を調整することで、発振器載置台40に載置されたレーザー発振器22が出射するレーザービームを予め定められた所定の位置に通すことができる。
このために、実施形態1に係る発振器載置台40及び発振器載置台の調整方法は、レーザー加工装置1に搭載されたレーザー発振器22を交換しても、交換前のレーザー発振器22と同じ光路を通るように、交換後のレーザー発振器22から出射されるレーザービーム21の光路を調整することができる。その結果、交換前のレーザー発振器22と同じ光路にレーザービーム21を通すことができるため、煩雑な光軸調整が不要となり、レーザー発振器22交換後等の光学調整に係る手間を抑制することができる。この結果、実施形態1に係る発振器載置台40及び発振器載置台の調整方法は、調整工数を削減できるだけでなく、レーザー加工装置1のダウンタイムを短縮して生産性の向上に貢献するという効果を奏する。
また、発振器載置台の調整方法は、レーザー発振器22が載置された発振器載置台40を光学定盤300に設置して調整し、調整後の発振器載置台40をレーザー発振器22とともにレーザー加工装置1に搭載するので、煩雑な光軸調整が不要となり、光学調整に係る手間を抑制することができるという効果を奏する。
また、レーザー加工装置1は、前述した発振器載置台40を備えるので、レーザー発振器22交換後等の光学調整に係る手間を抑制することができ、調整工数を削減できるだけでなく、ダウンタイムを短縮して生産性の向上に貢献するという効果を奏する。
〔変形例〕
本発明の実施形態1の変形例に係るレーザー加工装置を図面に基づいて説明する。図12は、実施形態1の変形例に係るレーザー加工装置の発振器載置台のZ軸方向移動ユニットの調整ユニットの断面図である。なお、図12は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明する。
変形例に係る発振器載置台40のZ軸方向移動ユニット50の調整ユニット51-1は、図12に示すように、台座に設置されかつ上端面にネジ穴が開口した柱状部53-1と、柱状部53-1のネジ穴にねじ込まれてZ軸方向に立設するとともに長手方向の中央部に外周方向に突出したフランジ57が設けられたネジ52と、ベース板41の外縁に連なりZ軸方向に貫通してネジ52のフランジ57よりも上側を通すねじ溝が形成されていない孔54-1が形成されたフランジ部55と、フランジ部55の孔54-1を通ったネジ52に螺合するナット56と、を備える。調整ユニット51-1は、ネジ52を軸心回りに回転することで、柱状部53-1に対してネジ52を埋め込む形となってフランジ部55を支えるフランジ57の高さを変更することで、柱状部53-1に対するフランジ部55の高さを調整することができる。また、ナット56は孔54-1を通ったネジ52に螺合することで、最終的にフランジ部55の高さを固定する。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明では、発振器載置台40は、載置されたレーザー発振器22をX軸方向に移動するX軸方向移動ユニットを備えても良い。
1 レーザー加工装置
10 チャックテーブル
20 レーザービーム照射ユニット
21 レーザービーム
22 レーザー発振器
26 集光ユニット
30 移動ユニット
40 発振器載置台
50 Z軸方向移動ユニット
51,51-1 調整ユニット
60 Y軸方向移動ユニット
70 回転移動ユニット
200 被加工物
400 第一のビーム位置測定ユニット
432 軸心回りの方向(X軸方向およびY軸方向と平行な方向)
500 第二のビーム位置測定ユニット
ST1 発振器載置ステップ
ST2 第一のビーム位置測定ステップ
ST3 第二のビーム位置測定ステップ
ST4 調整ステップ

Claims (4)

  1. レーザー発振器を載置する発振器載置台であって、
    該レーザー発振器が該発振器載置台に載置されたときのレーザービームの光軸方向をX軸方向とすると、
    該X軸方向と直交するY軸方向に該発振器載置台を移動させるY軸方向移動ユニットと、
    該発振器載置台を該X軸方向および該Y軸方向と直交するZ軸方向に移動させて該発振器載置台の高さを変更するZ軸方向移動ユニットと、
    該発振器載置台を該X軸方向および該Y軸方向と平行な方向に回転移動させて該発振器載置台の角度を変更する回転移動ユニットと、
    該Z軸方向移動ユニットを介して台座に位置決めされるベース板と、
    該ベース板上に重ねられ、該Z軸方向と平行に回転中心ピンが立設したY軸方向移動板と、
    該Y軸方向移動板に重ねられ、該回転中心ピンが侵入する回転中心孔が設けられて該Z軸方向と平行な軸心回りの方向に回転自在であるとともに、該レーザー発振器が載置される回転板と、
    を備えることを特徴とする、レーザー発振器を載置する発振器載置台。
  2. 該Z軸方向移動ユニットは、
    それぞれが独立してZ軸方向に移動可能に構成された3つの調整ユニットを含み、
    該調整ユニットをそれぞれ異なる高さに調整することで、該発振器載置台のXY平面に対する傾きを調整できることを特徴とする、請求項1に記載の発振器載置台。
  3. 被加工物に対してレーザービームを照射して加工を施すレーザー加工装置であって、
    請求項1または請求項2に記載の発振器載置台と、
    該発振器載置台に搭載されたレーザー発振器およびレーザー発振器から出射されたレーザービームを集光する集光ユニットを含むレーザービーム照射ユニットと、
    被加工物を保持するチャックテーブルと、
    該レーザービーム照射ユニットと該チャックテーブルとを相対的に移動させる移動ユニットと、
    を含むことを特徴とするレーザー加工装置。
  4. 請求項1または請求項2に記載の発振器載置台を調整する発振器載置台の調整方法であって、
    該発振器載置台にレーザー発振器を載置する発振器載置ステップと、
    該レーザー発振器の出射口から所定距離離れた第一の位置に、レーザービームの位置を測定する第一のビーム位置測定ユニットを配置し、該第一のビーム位置測定ユニットに対してレーザービームを照射して該第一の位置におけるレーザービームの位置を測定する第一のビーム位置測定ステップと、
    該レーザー発振器の出射口から所定距離離れた第一の位置とは異なる第二の位置に、レーザービームの位置を測定する第二のビーム位置測定ユニットを配置し、該第二のビーム位置測定ユニットに対してレーザービームを照射して該第二の位置におけるレーザービームの位置を測定する第二のビーム位置測定ステップと、
    を有し、
    該第一のビーム位置測定ステップおよび該第二のビーム位置測定ステップで測定したビーム位置に基づいて、
    該発振器載置台のY軸方向移動ユニット、Z軸方向移動ユニット又は回転移動ユニットの少なくともいずれか一つを調整することを特徴とする発振器載置台の調整方法。
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