JP7359863B2 - 部品管理装置および部品管理方法 - Google Patents

Description

本明細書は、部品管理装置および部品管理方法に関する技術を開示する。

特許文献１に記載の情報管理装置は、採取元情報取得手段と、実装先情報取得手段と、記憶手段とを備えている。採取元情報取得手段は、ウエハを識別するための識別情報と、ウエハにおける部品の採取位置に関する採取位置情報とを含む採取元情報を取得する。実装先情報取得手段は、基材を識別するための識別情報と、基材における部品の実装位置に関する実装位置情報とを含む実装先情報を取得する。記憶手段は、部品が基材に実装されるときに、実装された実装部品の採取元情報と、実装部品の実装先情報とを関連付けた実装実績情報を記憶する。

特許文献２に記載の電子部品搬送装置は、搬送経路を形成する搬送テーブルと、電子部品の収容体を保持する収容体保持手段と、搬送経路内の電子部品を観察する観察手段と、搬送テーブルの周囲に配置される複数のキャリアテープ走行装置とを備えている。なお、収容体保持手段は、電子部品をアレイ状に並べたウエハリングを保持するウエハリング保持部、または、平面を格子状に仕切って電子部品をアレイ状に並べたトレイを保持するトレイ保持部である。

また、特許文献２に記載の電子部品搬送装置は、ウエハリングの各電子部品を良品または良品以外に分類する。良品用のキャリアテープ走行装置は、キャリアテープをリールの搬送方向に走行させながら、キャリアテープのポケットに電子部品を収納し、シールテープで封止する。リールは、シールテープで封止されたキャリアテープを巻き取る。良品の電子部品のキャリアテープへの梱包が完了すると、良品以外と分類された電子部品は、再検査される。再検査では、観測装置で得られたデータを作業員がチェックして、良品以外と分類された電子部品を、良品と良品以外に再判定し直す。

特開２０１８－０５６３０６号公報 特開２０１６－１００３９４号公報

部品の供給方法には、特許文献１に記載の発明のようにウエハから部品を供給するウエハ供給と、リールから部品を供給するリール供給とが含まれる。また、特許文献２に記載の発明のように、ウエハに配列されていた部品をリールに移して、リール供給を行うことも知られている。従来、リール供給では、リール単位で供給する部品の管理が行われており、トレーサビリティ情報として十分ではなかった。具体的には、トレース対象の部品を収容するリールから供給されたすべての部品についてトレースする必要があり、トレース作業が煩雑であった。

このような事情に鑑みて、本明細書は、キャリアテープから部品が順に供給されるリール供給部品について、トレーサビリティを向上可能な部品管理装置および部品管理方法を開示する。

本明細書は、取得部と、記憶部とを備える部品管理装置を開示する。前記取得部は、基板に装着する部品を収容しているキャビティを複数備えるキャリアテープから前記部品が順に供給されるときに、当該部品が収容されている前記キャビティの位置情報を取得する。前記記憶部は、前記取得部によって取得された前記キャビティの位置情報、および、前記キャリアテープが巻回されているリールを識別する識別情報を関連付けて記憶装置に記憶させる。

また、本明細書は、取得工程と、記憶工程とを備える部品管理方法を開示する。前記取得工程は、基板に装着する部品を収容しているキャビティを複数備えるキャリアテープから前記部品が順に供給されるときに、当該部品が収容されている前記キャビティの位置情報を取得する。前記記憶工程は、前記取得工程によって取得された前記キャビティの位置情報、および、前記キャリアテープが巻回されているリールを識別する識別情報を関連付けて記憶装置に記憶させる。

上記の部品管理装置によれば、取得部と、記憶部とを備えている。これにより、部品管理装置は、供給された部品が収容されていたキャビティの位置情報と、リールを識別する識別情報とを関連付けて記憶装置に記憶させることができる。よって、部品管理装置の利用者は、リールのキャリアテープから供給した部品の中から、キャビティの位置情報に基づいてトレース対象の部品を絞り込むことが容易であり、トレーサビリティが向上する。部品管理装置について上述されていることは、部品管理方法についても同様に言える。

部品装着機の構成例を示す平面図である。 部品管理装置の制御ブロックの一例を示すブロック図である。 部品管理装置の制御手順の一例を示すフローチャートである。 キャリアテープの一例を示す平面図である。 記憶装置が記憶する情報の一例を示す模式図である。 ウエハの一例を示す平面図である。 ウエハ関連情報の一例を示す模式図である。 記憶装置が記憶する情報の他の一例を示す模式図である。 キャビティ、特定キャビティおよび空キャビティの一例を示すキャリアテープの平面図である。

１．実施形態
１－１．部品装着機１０の構成例
図１に示すように、部品装着機１０は、基板搬送装置１１、部品供給装置１２、部品移載装置１３、部品カメラ１４、基板カメラ１５および制御装置１６を備えている。基板搬送装置１１は、ベルトコンベアなどにより構成され、基板９０を搬送方向（Ｘ軸方向）に搬送する。基板９０は、回路基板であり、電子回路および電気回路のうちの少なくとも一方を形成する。基板搬送装置１１は、部品装着機１０の機内に基板９０を搬入するとともに、機内の所定位置に基板９０を位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機１０による部品９１の装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機１０の機外に搬出する。

部品供給装置１２は、基板９０に装着する部品９１を順に供給する。具体的には、部品供給装置１２は、基板９０の搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って設けられる複数のフィーダ１２１を備えている。複数のフィーダ１２１の各々は、リールＲＬ０を備えており、リールＲＬ０には、キャリアテープ８０が巻回されている。フィーダ１２１は、複数の部品９１が収容されているキャリアテープ８０をピッチ送りさせて、フィーダ１２１の先端側に設けられる採取位置ＰＰ１において、部品９１を採取可能に供給する。

部品移載装置１３は、ヘッド駆動装置１３１および移動台１３２を備えている。ヘッド駆動装置１３１は、直動機構により移動台１３２を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に構成されている。移動台１３２には、クランプ部材により装着ヘッド２０が着脱可能に（交換可能に）設けられている。装着ヘッド２０は、少なくとも一つの保持部材３０を用いて、部品供給装置１２によって供給された部品９１を採取し保持して、基板搬送装置１１によって位置決めされた基板９０に部品９１を装着する。保持部材３０は、例えば、吸着ノズル、チャックなどを用いることができる。

部品カメラ１４および基板カメラ１５は、公知の撮像装置を用いることができる。部品カメラ１４は、光軸がＺ軸方向の上向き（鉛直上方方向）になるように、部品装着機１０の基台に固定されている。部品カメラ１４は、保持部材３０に保持されている部品９１を下方から撮像することができる。基板カメラ１５は、光軸がＺ軸方向の下向き（鉛直下方方向）になるように、部品移載装置１３の移動台１３２に設けられている。基板カメラ１５は、基板９０を上方から撮像することができる。

また、基板カメラ１５は、部品９１の採取位置ＰＰ１において、部品９１を上方から撮像することもできる。部品カメラ１４および基板カメラ１５は、制御装置１６から送出される制御信号に基づいて撮像を行う。部品カメラ１４および基板カメラ１５によって撮像された画像データは、制御装置１６に送信される。

制御装置１６は、公知の演算装置および記憶装置ＤＳ０を備えており、制御回路が構成されている。制御装置１６には、部品装着機１０に設けられる各種センサから出力される情報、画像データなどが入力される。制御装置１６は、制御プログラムおよび予め設定されている所定の装着条件などに基づいて、各装置に対して制御信号を送出する。

例えば、制御装置１６は、基板搬送装置１１によって位置決めされた基板９０を基板カメラ１５に撮像させる。制御装置１６は、基板カメラ１５によって撮像された画像を画像処理して、基板９０の位置決め状態を認識する。また、制御装置１６は、部品供給装置１２によって供給された部品９１を保持部材３０に採取させ保持させて、保持部材３０に保持されている部品９１を部品カメラ１４に撮像させる。制御装置１６は、部品カメラ１４によって撮像された画像を画像処理して、部品９１の適否、部品９１の保持姿勢を認識する。

制御装置１６は、制御プログラムなどによって予め設定される装着予定位置の上方に向かって、保持部材３０を移動させる。また、制御装置１６は、基板９０の位置決め状態、部品９１の保持姿勢などに基づいて、装着予定位置を補正して、実際に部品９１を装着する装着位置を設定する。装着予定位置および装着位置は、位置（Ｘ座標およびＹ座標）の他に回転角度を含む。

制御装置１６は、装着位置に合わせて、保持部材３０の目標位置（Ｘ座標およびＹ座標）および回転角度を補正する。制御装置１６は、補正された目標位置において補正された回転角度で保持部材３０を下降させて、基板９０に部品９１を装着する。制御装置１６は、上記のピックアンドプレースサイクルを繰り返すことによって、基板９０に複数の部品９１を装着する装着処理を実行する。

１－２．部品管理装置４０の構成例
図２に示すように、本実施形態の部品管理装置４０は、部品装着機１０の制御装置１６に設けられている。部品管理装置４０は、例えば、複数の部品装着機１０を備える基板生産ラインを管理するライン管理装置、複数の基板生産ラインを管理するホストコンピュータ、クラウド上などに形成することもできる。

また、部品管理装置４０は、制御ブロックとして捉えると、取得部４１と、記憶部４２とを備えている。部品管理装置４０は、判別部４３をさらに備えることもできる。図２に示すように、本実施形態の部品管理装置４０は、取得部４１と、記憶部４２と、判別部４３とを備えている。さらに、部品管理装置４０は、図３に示すフローチャートに従って、制御プログラムを実行する。取得部４１は、ステップＳ１１に示す処理を行う。記憶部４２は、ステップＳ１２およびステップＳ１３に示す処理を行う。判別部４３は、ステップＳ１４～ステップＳ１６に示す判断および処理を行う。

１－２－１．取得部４１
取得部４１は、基板９０に装着する部品９１を収容しているキャビティ８１を複数備えるキャリアテープ８０から部品９１が順に供給されるときに、当該部品９１が収容されているキャビティ８１の位置情報を取得する（図３に示すステップＳ１１）。

図４に示すように、キャリアテープ８０は、複数のキャビティ８１と、複数の送り孔８２と、カバーテープ８３とを備えている。複数のキャビティ８１の各々は、部品９１を収容している。複数の送り孔８２は、キャリアテープ８０の搬送方向（キャリアテープ８０の長手方向）において、所定の間隔で形成されている。キャリアテープ８０は、上面にカバーテープ８３が接着されており、複数のキャビティ８１の各々の開口部が閉塞されている。

図１および図４に示す採取位置ＰＰ１まで搬送されたキャリアテープ８０は、保持部材３０が部品９１を採取可能にカバーテープ８３が剥離される。具体的には、フィーダ１２１は、キャリアテープ８０を搬送しつつ、カバーテープ８３を剥離して、採取位置ＰＰ１において複数のキャビティ８１を順に位置決めする。これにより、採取位置ＰＰ１に位置決めされたキャビティ８１に収容されている部品９１が保持部材３０によって採取可能になり、当該部品９１が供給可能になる。

複数のキャビティ８１は、キャリアテープ８０の搬送方向において、所定の間隔で形成されている。キャビティ８１の間隔Ｔ１は、収容する部品９１の寸法などに応じて適宜設定される。図４に示すように、本実施形態では、キャビティ８１の間隔Ｔ１は、送り孔８２の間隔Ｔ２の整数倍（同図では、二倍）に設定されている。フィーダ１２１がキャリアテープ８０を所定量（同図の場合、送り孔８２の間隔Ｔ２の二倍）、ピッチ送りするごとに、採取位置ＰＰ１にキャビティ８１が位置決めされ部品９１が一つ供給されて、キャリアテープ８０に残存している部品９１の残存数が一つ減少する。

よって、取得部４１は、キャリアテープ８０から部品９１を供給した部品９１の供給数に基づいて、キャリアテープ８０におけるキャビティ８１の位置情報を取得することができる。部品９１の供給数は、フィーダ１２１がキャリアテープ８０をピッチ送りした送り量から取得することができる。例えば、キャリアテープ８０の先頭（１番目）のキャビティ８１が採取位置ＰＰ１に位置決めされ部品９１が一つ供給されると、取得部４１は、キャリアテープ８０の先頭（１番目）のキャビティ８１の位置を示す位置情報を取得する。

フィーダ１２１がキャリアテープ８０を上記所定量、ピッチ送りすると、キャリアテープ８０の先頭から２番目のキャビティ８１が採取位置ＰＰ１に位置決めされ部品９１が一つ供給される。これにより、取得部４１は、キャリアテープ８０の先頭から２番目のキャビティ８１の位置を示す位置情報を取得する。上述したことは、キャリアテープ８０の先頭から３番目以降のキャビティ８１の位置を示す位置情報についても、同様に言える。

また、作業者は、キャリアテープ８０が巻回されているリールＲＬ０をフィーダ１２１に取り付けるときに、リールＲＬ０に取り付けられている識別コードを読み取り装置を用いて読み取る。さらに、作業者は、フィーダ１２１を部品供給装置１２のスロットに装備するときに、フィーダ１２１に取り付けられている識別コードを読み取り装置を用いて読み取る。

フィーダ１２１は、スロットに装備されると、コネクタを介して部品装着機１０から電力が供給され、部品装着機１０との間で通信可能な状態になる。これにより、部品供給装置１２のスロットと、当該スロットに装備されているフィーダ１２１の識別情報と、フィーダ１２１に取り付けられているリールＲＬ０の識別情報とが関連付けられて、制御装置１６の記憶装置ＤＳ０に記憶される。また、記憶装置ＤＳ０には、キャリアテープ８０における部品９１の初期収容数と、キャリアテープ８０に残存している部品９１の残存数とが記録される。

そこで、取得部４１は、キャリアテープ８０における部品９１の初期収容数と、キャリアテープ８０に残存している部品９１の残存数とに基づいて、キャリアテープ８０におけるキャビティ８１の位置情報を取得することもできる。例えば、部品９１の初期収容数が５０００点であり、部品９１の残存数が５０００点の場合、１（＝５０００－５０００＋１）点目の部品９１の供給である。この場合、取得部４１は、キャリアテープ８０の先頭（１番目）のキャビティ８１の位置を示す位置情報を取得する。

部品９１の初期収容数が５０００点であり、部品９１の残存数が４９９９点の場合、２（＝５０００－４９９９＋１）点目の部品９１の供給である。この場合、取得部４１は、キャリアテープ８０の先頭から２番目のキャビティ８１の位置を示す位置情報を取得する。このように、部品９１の初期収容数がＮＩ０点であり、部品９１の残存数がＮＲ０点の場合、（ＮＩ０－ＮＲ０＋１）点目の部品９１の供給である。この場合、取得部４１は、キャリアテープ８０の先頭から（ＮＩ０－ＮＲ０＋１）番目のキャビティ８１の位置を示す位置情報を取得する。

１－２－２．記憶部４２
記憶部４２は、取得部４１によって取得されたキャビティ８１の位置情報、および、キャリアテープ８０が巻回されているリールＲＬ０を識別する識別情報を関連付けて記憶装置ＤＳ０に記憶させる（図３に示すステップＳ１２）。

既述したように、部品供給装置１２のスロットと、当該スロットに装備されているフィーダ１２１の識別情報と、フィーダ１２１に取り付けられているリールＲＬ０の識別情報とが関連付けられて、制御装置１６の記憶装置ＤＳ０に記憶されている。よって、記憶部４２は、取得部４１によって取得されたキャビティ８１の位置情報と、キャリアテープ８０が巻回されているリールＲＬ０を識別する識別情報とを関連付けて記憶装置ＤＳ０に記憶させることができる。

また、記憶部４２は、基板情報、機器情報、保持情報および装着情報のうちの少なくとも一つを、キャビティ８１の位置情報およびリールＲＬ０の識別情報と関連付けて記憶装置ＤＳ０に記憶させることができる（図３に示すステップＳ１３）。基板情報は、部品９１が装着された基板９０に関する情報をいう。例えば、基板情報には、基板９０を識別する識別情報、基板９０の種類、部品９１が装着された装着位置を特定する情報（例えば、回路記号）などが含まれる。基板９０の種類には、例えば、複数の基板９０が分割可能に形成されている多面取り基板、基板９０の表面および裏面のうちの一方の面のみに部品９１が装着される片面装着基板、基板９０の両面（表面および裏面）に部品９１が装着される両面装着基板などが含まれる。

機器情報は、部品９１の装着に使用された機器ＤＤ０に関する情報をいう。例えば、機器ＤＤ０には、装着ヘッド２０、保持部材３０、フィーダ１２１などの部品装着機１０に着脱可能に設けられる機器が含まれる。また、複数の部品装着機１０を備える基板生産ラインでは、部品装着機１０を識別する必要がある。この場合、機器ＤＤ０には、例えば、部品装着機１０が含まれる。さらに、機器情報には、機器ＤＤ０を識別する識別情報、機器ＤＤ０の使用条件などが含まれる。

保持情報は、部品９１が保持部材３０によって採取され保持されているときの部品９１の保持状態に関する情報をいう。例えば、保持情報には、保持部材３０によって採取され保持されている部品９１の正規の保持位置に対するずれ量、正規の保持姿勢に対する回転角度、保持状態の判定結果、画像データの所在などが含まれる。保持状態の判定結果は、保持部材３０によって採取され保持されている部品９１の上記ずれ量および上記回転角度が許容範囲に含まれるか否かによって判定される。保持情報は、例えば、部品カメラ１４によって撮像された画像を画像処理して取得することができる。

装着情報は、部品９１が保持部材３０によって基板９０に装着されたときの部品９１の装着状態に関する情報をいう。例えば、装着情報には、基板９０に装着された部品９１の正規の装着位置に対するずれ量、正規の装着状態に対する回転角度、装着状態の判定結果、画像データの所在などが含まれる。装着状態の判定結果は、基板９０に装着された部品９１の上記ずれ量および上記回転角度が許容範囲に含まれるか否かによって判定される。装着情報は、例えば、基板９０に装着された部品９１を検査する外観検査機によって取得することができる。

図５は、記憶装置ＤＳ０が記憶する情報の一例を模式的に示している。例えば、識別情報ＤＩＤ１のリールＲＬ０に巻回されているキャリアテープ８０のキャビティ８１の位置情報は、キャリアテープ８０の先頭から「１」、「２」、「３」で示されている。当該キャリアテープ８０の先頭（１番目）のキャビティ８１に収容されていた部品９１は、識別情報ＢＩＤ１の基板９０の回路記号Ｒ１で示される装着位置に装着されている。また、当該部品９１は、ノズル番号ＮＺ１で識別される保持部材３０（吸着ノズル）によって採取（吸着）され保持されて基板９０に装着されている。さらに、当該部品９１の保持状態および装着状態の判定結果は、いずれも良好（ＯＫ）である。

上述したことは、当該キャリアテープ８０の先頭から２番目以降のキャビティ８１に収容されていた部品９１についても同様に言える。また、上述したことは、識別情報ＤＩＤ２のリールＲＬ０に巻回されているキャリアテープ８０に収容されていた部品９１についても同様に言える。例えば、識別情報ＢＩＤ１の基板９０の回路記号Ｒ１０で示される装着位置に装着されている部品９１は、保持状態および装着状態の判定結果が、いずれも不良（ＮＧ）である。

リールＲＬ０単位で供給する部品９１の管理が行われ、部品９１自体に不良の原因があると考えられる場合、作業者は、識別情報ＤＩＤ１のリールＲＬ０に収容されているすべての部品９１についてトレースする必要があり、トレース作業が煩雑である。これに対して、部品管理装置４０の利用者は、図５に示す情報に基づいて、判定結果が不良となった部品９１が、識別情報ＤＩＤ１のリールＲＬ０に巻回されているキャリアテープ８０の先頭から２番目のキャビティ８１に収容されていたことを知得することができる。

よって、部品管理装置４０の利用者は、識別情報ＤＩＤ１のリールＲＬ０から供給した部品９１の中から、キャビティ８１の位置情報に基づいてトレース対象の部品９１を絞り込むことが容易であり、トレーサビリティが向上する。また、例えば、判定結果が不良であった部品９１が、キャリアテープ８０の後尾側のキャビティ８１に収容されていることが多いことが判明したとする。キャリアテープ８０の後尾側のキャビティ８１に収容されている部品９１ほど、キャリアテープ８０の使用を開始してからの経過時間が長くなる。

そのため、部品９１の不良の原因は、例えば、キャリアテープ８０の保管状態の不良によるものと推定することができる。また、キャリアテープ８０の後尾側のキャビティ８１に収容されている部品９１ほど、キャリアテープ８０が巻回されているときのキャリアテープ８０による圧力の影響を受け易い。そのため、部品９１の不良の原因は、例えば、キャリアテープ８０の巻回し状態の不良によるものと推定することもできる。

部品９１の供給方法には、ウエハＷＦ０から部品９１を供給するウエハ供給と、リールＲＬ０から部品９１を供給するリール供給とが含まれる。ウエハＷＦ０は、製造工程上、部分的に不良となる箇所（洲）があり、所定の品質を満たさない箇所は、不良ダイ（Ｂａｄ Ｄｉｅ）として、マップで管理される。不良ダイは、事前に光学的検査などによって検知されるが、不良ダイと判定されなかったダイが後に不良ダイと判明する場合がある。このような検知漏れが生じた複数のダイについて、例えば、製造者がトレーサビリティ情報からウエハＷＦ０における座標位置の分布を取得すると、当該ダイがウエハＷＦ０の特定領域に集中している場合がある。この場合、製造者は、当該ダイを検知できるようにダイの良否を判定する判定条件を修正して、不良ダイの検知漏れの低減を図る。

しかしながら、ウエハ供給に対応する部品供給装置は、リール供給に対応する部品供給装置１２と比べて、一般に高価であり、供給可能な部品９１の種類および供給数が少なく、部品９１の補給作業も煩雑になり易い。そのため、ウエハＷＦ０に配列されていた部品９１をリールＲＬ０に移して、リール供給を行うことが知られている。

本実施形態のキャリアテープ８０は、ウエハＷＦ０に配列されていた部品９１であるウエハ部品９１Ｗを収容する。図６に示すＸＷ軸およびＹＷ軸は、ウエハＷＦ０における直交座標軸の一例を示している。ウエハ部品９１Ｗは、例えば、直交座標軸の原点側の所定領域（配列順序が１）から、ＸＷ軸方向に所定数分、配列される。次に、ウエハ部品９１Ｗは、当該所定領域よりＹＷ軸の座標が一つ増加した領域から、ＸＷ軸方向に所定数分、配列される。ウエハＷＦ０では、上述した配列が繰り返されており、上述した配列順序によって、ウエハＷＦ０に配列されていた部品９１（ウエハ部品９１Ｗ）を特定することができる。

図７に示すウエハ関連情報は、ウエハＷＦ０の識別情報と、ウエハ部品９１Ｗの配列情報（配列順序）と、ウエハ部品９１Ｗの配列情報（座標情報）と、ウエハ部品情報とを含んでいる。例えば、上記所定領域（配列順序が１）に配列されていたウエハ部品９１Ｗは、ＸＷ軸方向の座標が座標ＸＷ１で示され、ＹＷ軸方向の座標が座標ＹＷ１で示されている。当該ウエハ部品９１Ｗは、例えば、品質が規定されていないウエハ部品９１Ｗである。

配列順序が１の領域とＸＷ軸方向に隣接する領域（配列順序が２）に配列されていたウエハ部品９１Ｗは、ＸＷ軸方向の座標が座標ＸＷ２で示され、ＹＷ軸方向の座標が座標ＹＷ１で示されている。当該ウエハ部品９１Ｗは、例えば、ウエハＷＦ０の基準位置を示す基準部材ＲＭ０である。基準部材ＲＭ０は、ウエハＷＦ０の所定位置に設けられ、ウエハＷＦ０からウエハ部品９１Ｗを採取する際の基準位置を示す。基準部材ＲＭ０は、誤装着を防止するため、通常、キャリアテープ８０には収容されない。

配列順序が２の領域とＸＷ軸方向に隣接する領域（配列順序が３）に配列されていたウエハ部品９１Ｗは、ＸＷ軸方向の座標が座標ＸＷ３で示され、ＹＷ軸方向の座標が座標ＹＷ１で示されている。当該ウエハ部品９１Ｗは、例えば、不良のウエハ部品９１Ｗ（不良部品ＢＭ０）である。不良部品ＢＭ０は、ウエハ部品９１Ｗの製造工程において発見されたものをいい、誤装着を防止するため、通常、キャリアテープ８０には収容されない。

同様に、配列順序が順序ＡＪ１の領域に配列されていたウエハ部品９１Ｗは、ＸＷ軸方向の座標が座標ＸＷＡ１で示され、ＹＷ軸方向の座標が座標ＹＷＡ１で示されている。当該ウエハ部品９１Ｗは、例えば、品質がＡランクのウエハ部品９１ＷＡである。また、配列順序が順序ＡＪ２の領域に配列されていたウエハ部品９１Ｗは、ＸＷ軸方向の座標が座標ＸＷＡ２で示され、ＹＷ軸方向の座標が座標ＹＷＡ２で示されている。当該ウエハ部品９１Ｗは、例えば、品質がＢランクのウエハ部品９１ＷＢである。

さらに、配列順序が順序ＡＪ３の領域に配列されていたウエハ部品９１Ｗは、ＸＷ軸方向の座標が座標ＸＷＡ３で示され、ＹＷ軸方向の座標が座標ＹＷＡ３で示されている。当該ウエハ部品９１Ｗは、例えば、品質がＣランクのウエハ部品９１ＷＣである。なお、本明細書では、例えば、Ａランクのウエハ部品９１ＷＡ、Ｂランクのウエハ部品９１ＷＢ、Ｃランクのウエハ部品９１ＷＣの順に、ウエハ部品９１Ｗの品質が劣化するものとする。また、ウエハ部品９１Ｗの品質の設定方法は、限定されない。

このように、ウエハＷＦ０には、種々のウエハ部品９１Ｗが含まれる。そのため、ウエハ部品９１Ｗを収容するキャリアテープ８０を用いた部品９１の供給では、ウエハＷＦ０におけるウエハ部品９１Ｗの配列情報を知得したいという要請がある。この場合、記憶部４２は、ウエハＷＦ０におけるウエハ部品９１Ｗの配列情報と、キャリアテープ８０においてウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１の位置情報とを、部品９１を供給する前に予め関連付けて記憶装置ＤＳ０に記憶させておくと良い。

例えば、記憶部４２は、配列順序が順序ＡＪ１の領域に配列されていたウエハ部品９１Ｗの配列情報と、当該ウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１の位置情報と、当該ウエハ部品９１Ｗが収容されているキャリアテープ８０のリールＲＬ０の識別情報とを関連付けて記憶装置ＤＳ０に記憶させておく。これにより、部品管理装置４０の利用者は、供給された部品９１がウエハ部品９１Ｗであり、当該ウエハ部品９１Ｗは、ウエハＷＦ０において、ＸＷ軸方向の座標ＸＷＡ１およびＹＷ軸方向の座標ＹＷＡ１の領域に配列されていたことを知得することができる。また、部品管理装置４０の利用者は、当該ウエハ部品９１Ｗの配列順序が順序ＡＪ１であり、品質がＡランクのウエハ部品９１ＷＡであることを知得することができる。

上述したことは、他のウエハ部品９１Ｗについても、同様に言える。このように、記憶部４２は、図７に示すウエハ関連情報において、ウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１の位置情報と、当該ウエハ部品９１Ｗが収容されているキャリアテープ８０のリールＲＬ０の識別情報とを、さらに関連付けて記憶装置ＤＳ０に記憶させることができる。

なお、ウエハ部品９１Ｗは、ウエハＷＦ０において所定の順序で配列され、キャリアテープ８０においてウエハＷＦ０における配列順序で収容される。よって、記憶部４２は、キャリアテープ８０に収容されている所定のウエハ部品９１Ｗについて、記憶装置ＤＳ０に記憶させておけば十分である。また、ウエハ部品９１Ｗは、複数のキャリアテープ８０においてウエハＷＦ０における配列順序で収容される場合もある。

そこで、記憶部４２は、ウエハＷＦ０を識別する識別情報と、キャリアテープ８０が巻回されている複数のリールＲＬ０を識別する識別情報と、所定の配列情報とを、部品９１を供給する前に予め関連付けて記憶装置ＤＳ０に記憶させておくことができる。所定の配列情報は、各キャリアテープ８０に収容されている所定のウエハ部品９１ＷのウエハＷＦ０における配列順序を含む配列情報をいう。

図８に示すように、識別情報ＷＩＤ１のウエハＷＦ０に配列されていたウエハ部品９１Ｗは、例えば、複数（５つ）のリールＲＬ０のキャリアテープ８０に収容されている。よって、ウエハＷＦ０の識別情報ＷＩＤ１と、複数（５つ）のリールＲＬ０の識別情報ＤＩＤ１～識別情報ＤＩＤ５とが関連付けられて記憶装置ＤＳ０に記憶されている。また、例えば、識別情報ＤＩＤ１のリールＲＬ０は、キャリアテープ８０の先頭（１番目）のキャビティ８１に収容されているウエハ部品９１Ｗの配列順序が１であり、当該ウエハ部品９１Ｗは、ＸＷ軸方向の座標が座標ＸＷ１で示され、ＹＷ軸方向の座標が座標ＹＷ１で示されている。

識別情報ＤＩＤ２のリールＲＬ０は、キャリアテープ８０の先頭（１番目）のキャビティ８１に収容されているウエハ部品９１Ｗの配列順序が順序ＢＪ１であり、当該ウエハ部品９１Ｗは、ＸＷ軸方向の座標が座標ＸＷＢ１で示され、ＹＷ軸方向の座標が座標ＹＷＢ１で示されている。上記のウエハ部品９１Ｗの配列順序から、識別情報ＤＩＤ１のリールＲＬ０のキャリアテープ８０には、（ＢＪ１－１）個のウエハ部品９１Ｗが収容されていることが分かる。

識別情報ＤＩＤ３のリールＲＬ０は、キャリアテープ８０の先頭（１番目）のキャビティ８１に収容されているウエハ部品９１Ｗの配列順序が順序ＣＪ１であり、当該ウエハ部品９１Ｗは、ＸＷ軸方向の座標が座標ＸＷＣ１で示され、ＹＷ軸方向の座標が座標ＹＷＣ１で示されている。同様に、ウエハ部品９１Ｗの配列順序から、識別情報ＤＩＤ２のリールＲＬ０のキャリアテープ８０には、（ＣＪ１－ＢＪ１）個のウエハ部品９１Ｗが収容されていることが分かる。上述したことは、識別情報ＤＩＤ３～識別情報ＤＩＤ５のリールＲＬ０についても、同様に言える。

なお、同図に示す記憶方法では、識別情報ＤＩＤ５のリールＲＬ０について、ウエハ部品９１Ｗの収容数が不明である。そのため、記憶部４２は、当該リールＲＬ０についてウエハ部品９１Ｗの収容数を別途、記憶装置ＤＳ０に記憶させておくと良い。また、記憶部４２は、各キャリアテープ８０の任意のキャビティ８１に収容されているウエハ部品９１Ｗの配列情報を記憶させることができる。さらに、記憶部４２は、直前のキャリアテープ８０までの累積のウエハ部品９１Ｗの配列順序を含む配列情報を記憶させることもできる。この場合、最初のリールＲＬ０である識別情報ＤＩＤ１のリールＲＬ０は、累積のウエハ部品９１Ｗの配列順序がゼロであり、配列情報を含まない。

ここで、ウエハＷＦ０に含まれる不良のウエハ部品９１Ｗ（不良部品ＢＭ０）、品質が所定ランク以下のウエハ部品９１Ｗ、および、ウエハＷＦ０の基準位置を示す基準部材ＲＭ０のうちの少なくとも一つを特定部材ＳＭ０とする。既述したように、不良のウエハ部品９１Ｗ（不良部品ＢＭ０）およびウエハＷＦ０の基準位置を示す基準部材ＲＭ０は、誤装着を防止するため、通常、キャリアテープ８０には収容されない。また、例えば、Ｂランク以上のウエハ部品９１Ｗなど所定品質のウエハ部品９１Ｗの供給が要求される場合、品質が所定ランク以下のウエハ部品９１Ｗ（この場合、Ｃランクのウエハ部品９１ＷＣ）は、誤装着を防止するため、キャリアテープ８０に収容されない場合がある。

そのため、キャリアテープ８０には、特定部材ＳＭ０を収容予定のキャビティ８１である特定キャビティ８１Ｓに、ウエハＷＦ０における配列順序が特定部材ＳＭ０より後続のウエハ部品９１Ｗが繰り上げて収容されているキャリアテープ８０が含まれる。例えば、図９に示す３番のキャビティ８１が特定キャビティ８１Ｓであったとする。この場合、３番の特定キャビティ８１Ｓには、４番のキャビティ８１に収容予定のウエハ部品９１Ｗが収容される。また、４番のキャビティ８１には、５番のキャビティ８１に収容予定のウエハ部品９１Ｗが収容される。以下、同様であり、ウエハＷＦ０における配列順序が特定部材ＳＭ０より後続のウエハ部品９１Ｗが繰り上げてキャビティ８１に収容される。

この場合、記憶部４２は、特定キャビティ８１Ｓの位置および個数を含む特定キャビティ情報を、部品９１を供給する前に予め記憶装置ＤＳ０に記憶させておくと良い。これにより、部品管理装置４０は、ウエハＷＦ０におけるウエハ部品９１Ｗの配列情報と、キャリアテープ８０においてウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１の位置情報とを整合させることができる。上記の例では、特定キャビティ８１Ｓの位置は、３番のキャビティ８１であり、特定キャビティ８１Ｓの個数は、一つである。

また、キャリアテープ８０には、特定部材ＳＭ０を収容予定の特定キャビティ８１Ｓが空キャビティ８１Ｅに設定されているキャリアテープ８０が含まれる。例えば、図９に示す３番のキャビティ８１が特定キャビティ８１Ｓであったとする。この場合、３番の特定キャビティ８１Ｓは、空キャビティ８１Ｅに設定される。空キャビティ８１Ｅは、ウエハ部品９１Ｗおよび特定部材ＳＭ０を収容していない未収容のキャビティ８１である。この場合、例えば、４番のキャビティ８１には、４番のキャビティ８１に収容予定のウエハ部品９１Ｗが収容される。以下、同様であり、上述したウエハ部品９１Ｗの繰り上げ収容は行われない。

この場合、記憶部４２は、空キャビティ８１Ｅの位置および個数を含む空キャビティ情報を、部品９１を供給する前に予め記憶装置ＤＳ０に記憶させておくと良い。これにより、部品供給装置１２は、ウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１まで、キャリアテープ８０をピッチ送りすることができ、ウエハ部品９１Ｗを供給することができる。上記の例では、空キャビティ８１Ｅの位置は、３番のキャビティ８１であり、空キャビティ８１Ｅの個数は、一つである。

なお、リールＲＬ０の取り付け不良などによって、キャリアテープ８０をピッチ送りしても、キャリアテープ８０が搬送されない場合がある。また、部品９１の採取ミスなどが生じたときに、作業者がキャリアテープ８０を巻き戻す可能性がある。これらの場合、ウエハＷＦ０におけるウエハ部品９１Ｗの配列情報と、キャリアテープ８０においてウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１の位置情報とが整合しなくなる。

よって、キャリアテープ８０には、ウエハ部品９１Ｗを収容予定の所定のキャビティ８１が空キャビティ８１Ｅに設定されているキャリアテープ８０が含まれる。この場合、空キャビティ８１Ｅは、所定の周期で（例えば、所定数の部品９１の供給ごとに）設定されていると良い。記憶部４２は、空キャビティ８１Ｅの位置および個数を含む空キャビティ情報を、部品９１を供給する前に予め記憶装置ＤＳ０に記憶させておくと良い。

これにより、部品管理装置４０は、ウエハ部品９１Ｗの配列情報と、キャリアテープ８０においてウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１の位置情報とが整合しているか否かを定期的に確認することができる。なお、この場合も、部品供給装置１２は、ウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１まで、キャリアテープ８０をピッチ送りすることができ、ウエハ部品９１Ｗを供給することができる。

１－２－３．判別部４３
判別部４３は、キャリアテープ８０をピッチ送りして部品９１を順に供給する部品供給装置１２が部品９１を供給しているときに検出された空キャビティ情報と、記憶装置ＤＳ０に記憶されている空キャビティ情報とが一致するか否かを判別する。例えば、判別部４３は、部品供給装置１２が部品９１を供給しているときに、基板カメラ１５にキャビティ８１を撮像させて、基板カメラ１５によって撮像された画像に基づいて、キャビティ８１が空キャビティ８１Ｅであるか否かを判断することができる。具体的には、判別部４３は、上記画像において部品９１が撮像されていないときに、当該部品９１を収容予定のキャビティ８１が空キャビティ８１Ｅであると判断する。

判別部４３は、空キャビティ情報が一致するときに、部品供給装置１２による部品９１の供給を継続させ、空キャビティ情報が一致しないときに、部品供給装置１２による部品９１の供給を停止させる。具体的には、判別部４３は、空キャビティ情報が一致したか否かを判断する（図３に示すステップＳ１４）。空キャビティ情報が一致した場合（ステップＳ１４でＹｅｓの場合）、判別部４３は、部品供給装置１２による部品９１の供給を継続させる（ステップＳ１５）。

空キャビティ情報が一致しない場合（ステップＳ１４でＮｏの場合）、判別部４３は、部品供給装置１２による部品９１の供給を停止させる（ステップＳ１６）。この場合、部品管理装置４０は、ウエハ部品９１Ｗの配列情報と、キャリアテープ８０においてウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１の位置情報とが整合していない旨を作業者に警告する。これにより、作業者は、キャリアテープ８０の位置ずれを確認することができ、キャリアテープ８０の位置ずれを修正することができる。

また、部品供給装置１２は、判別部４３によって空キャビティ情報が一致しないと判断されたときに、直近の空キャビティ８１Ｅが採取位置ＰＰ１に到達するように、キャリアテープ８０を搬送することもできる。これにより、ウエハ部品９１Ｗの配列情報と、キャリアテープ８０においてウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１の位置情報とが整合され、キャリアテープ８０の位置ずれが修正される。

なお、判別部４３は、部品供給装置１２が部品９１を供給しているときに、部品カメラ１４に保持部材３０を撮像させて、部品カメラ１４によって撮像された画像に基づいて、キャビティ８１が空キャビティ８１Ｅであるか否かを判断することもできる。具体的には、判別部４３は、上記画像において部品９１が撮像されていない（保持部材３０が部品９１を保持していない）ときに、当該部品９１を収容予定のキャビティ８１が空キャビティ８１Ｅであると判断することができる。

２．その他
誤装着を防止するため、実施形態のキャリアテープ８０には、特定部材ＳＭ０が収容されていない。部品供給装置１２は、特定部材ＳＭ０が収容されているキャリアテープ８０からウエハ部品９１Ｗを供給することもできる。この場合、部品供給装置１２は、特定部材ＳＭ０が収容されているキャビティ８１が検出されたときに、ウエハ部品９１Ｗが収容されているキャビティ８１まで、キャリアテープ８０をピッチ送りして、ウエハ部品９１Ｗを供給することができる。

また、ウエハ部品９１Ｗについて上述されていることは、同一の製造ロットで生産された部品９１についても、適用することができる。具体的には、同一の製造ロットで生産された部品９１が、複数のキャリアテープ８０において生産順序で収容されている場合が想定される。この場合、記憶部４２は、製造ロットを識別する識別情報と、キャリアテープ８０が巻回されている複数のリールＲＬ０を識別する識別情報と、所定の生産情報とを、部品９１を供給する前に予め関連付けて記憶装置ＤＳ０に記憶させておくと良い。所定の生産情報には、各キャリアテープ８０に収容されている所定の部品９１の生産順序が含まれる。所定の部品９１は、例えば、各キャリアテープ８０の先頭（１番目）のキャビティ８１に収容されている部品９１とすることができる。

さらに、キャリアテープ８０は、部品９１を収容予定の所定のキャビティ８１が空キャビティ８１Ｅに設定されていても良い。この場合、記憶部４２は、空キャビティ８１Ｅの位置および個数を含む空キャビティ情報を、部品９１を供給する前に予め記憶装置ＤＳ０に記憶させておくことができる。そして、判別部４３は、部品供給装置１２が部品９１を供給しているときに検出された空キャビティ情報と、記憶装置ＤＳ０に記憶されている空キャビティ情報とが一致するか否かを判別することもできる。また、判別部４３は、空キャビティ情報が一致するときに、部品供給装置１２による部品９１の供給を継続させ、空キャビティ情報が一致しないときに、部品供給装置１２による部品９１の供給を停止させることもできる。

３．部品管理方法
部品管理装置４０について既述されていることは、部品管理方法についても同様に言える。具体的には、部品管理方法は、取得工程と、記憶工程とを備える。取得工程は、取得部４１が行う制御に相当する。記憶工程は、記憶部４２が行う制御に相当する。また、部品管理方法は、判別工程をさらに備えることができる。判別工程は、判別部４３が行う制御に相当する。

４．実施形態の効果の一例
部品管理装置４０によれば、取得部４１と、記憶部４２とを備えている。これにより、部品管理装置４０は、供給された部品９１が収容されていたキャビティ８１の位置情報と、リールＲＬ０を識別する識別情報とを関連付けて記憶装置ＤＳ０に記憶させることができる。よって、部品管理装置４０の利用者は、リールＲＬ０のキャリアテープ８０から供給した部品９１の中から、キャビティ８１の位置情報に基づいてトレース対象の部品９１を絞り込むことが容易であり、トレーサビリティが向上する。部品管理装置４０について上述されていることは、部品管理方法についても同様に言える。

１２：部品供給装置、３０：保持部材、４０：部品管理装置、
４１：取得部、４２：記憶部、４３：判別部、８０：キャリアテープ、
８１：キャビティ、８１Ｓ：特定キャビティ、８１Ｅ：空キャビティ、
９０：基板、９１：部品、９１Ｗ：ウエハ部品、ＤＤ０：機器、
ＤＳ０：記憶装置、ＲＬ０：リール、ＷＦ０：ウエハ、
ＲＭ０：基準部材、ＳＭ０：特定部材。

Claims (11)

1. 基板に装着する部品を収容しているキャビティを複数備えるキャリアテープから前記部品が順に供給されるときに、当該部品が収容されている前記キャビティの位置情報を取得する取得部と、
   前記取得部によって取得された前記キャビティの位置情報、および、前記キャリアテープが巻回されているリールを識別する識別情報を関連付けて記憶装置に記憶させる記憶部と、
   を備え、
   前記記憶部は、前記部品の装着に使用された機器である装着ヘッドもしくは保持部材に関する機器情報、前記部品が前記保持部材によって採取され保持されているときの前記部品の保持状態に関する保持情報、および、前記部品が前記保持部材によって前記基板に装着されたときの前記部品の装着状態に関する装着情報のうちの少なくとも一つを、前記キャビティの位置情報および前記リールの識別情報と関連付けて前記記憶装置に記憶させる部品管理装置。
2. 前記取得部は、前記キャリアテープにおける前記部品の初期収容数と、前記キャリアテープに残存している前記部品の残存数とに基づいて、前記キャリアテープにおける前記キャビティの位置情報を取得する請求項１に記載の部品管理装置。
3. 前記取得部は、前記キャリアテープから前記部品を供給した前記部品の供給数に基づいて、前記キャリアテープにおける前記キャビティの位置情報を取得する請求項１に記載の部品管理装置。
4. 基板に装着する部品を収容しているキャビティを複数備えるキャリアテープから前記部品が順に供給されるときに、当該部品が収容されている前記キャビティの位置情報を取得する取得部と、
   前記取得部によって取得された前記キャビティの位置情報、および、前記キャリアテープが巻回されているリールを識別する識別情報を関連付けて記憶装置に記憶させる記憶部と、
   を備え、
   前記キャリアテープは、ウエハに配列されていた前記部品であるウエハ部品を収容し、
   前記記憶部は、前記ウエハにおける前記ウエハ部品の配列情報と、前記キャリアテープにおいて前記ウエハ部品が収容されている前記キャビティの位置情報とを、前記部品を供給する前に予め関連付けて前記記憶装置に記憶させておく部品管理装置。
5. 前記ウエハ部品は、複数の前記キャリアテープにおいて前記ウエハにおける配列順序で収容されており、
   前記記憶部は、前記ウエハを識別する識別情報と、前記キャリアテープが巻回されている複数の前記リールを識別する識別情報と、各前記キャリアテープに収容されている所定の前記ウエハ部品の前記ウエハにおける前記配列順序を含む前記配列情報とを、前記部品を供給する前に予め関連付けて前記記憶装置に記憶させておく請求項４に記載の部品管理装置。
6. 前記キャリアテープは、前記ウエハに含まれる不良の前記ウエハ部品、品質が所定ランク以下の前記ウエハ部品、および、前記ウエハの基準位置を示す基準部材のうちの少なくとも一つである特定部材を収容予定の前記キャビティである特定キャビティに、前記ウエハにおける配列順序が前記特定部材より後続の前記ウエハ部品が繰り上げて収容されており、
   前記記憶部は、前記特定キャビティの位置および個数を含む特定キャビティ情報を、前記部品を供給する前に予め前記記憶装置に記憶させておく請求項４または請求項５に記載の部品管理装置。
7. 前記キャリアテープは、前記ウエハに含まれる不良の前記ウエハ部品、品質が所定ランク以下の前記ウエハ部品、および、前記ウエハの基準位置を示す基準部材のうちの少なくとも一つである特定部材を収容予定の前記キャビティである特定キャビティが空キャビティに設定されており、
   前記記憶部は、前記空キャビティの位置および個数を含む空キャビティ情報を、前記部品を供給する前に予め前記記憶装置に記憶させておく請求項４または請求項５に記載の部品管理装置。
8. 前記キャリアテープは、前記ウエハ部品を収容予定の所定の前記キャビティが空キャビティに設定されており、
   前記記憶部は、前記空キャビティの位置および個数を含む空キャビティ情報を、前記部品を供給する前に予め前記記憶装置に記憶させておく請求項４または請求項５に記載の部品管理装置。
9. 前記キャリアテープをピッチ送りして前記部品を順に供給する部品供給装置が前記部品を供給しているときに検出された前記空キャビティ情報と、前記記憶装置に記憶されている前記空キャビティ情報とが一致するか否かを判別する判別部をさらに備える請求項７または請求項８に記載の部品管理装置。
10. 前記判別部は、前記空キャビティ情報が一致するときに、前記部品供給装置による前記部品の供給を継続させ、前記空キャビティ情報が一致しないときに、前記部品供給装置による前記部品の供給を停止させる請求項９に記載の部品管理装置。
11. 基板に装着する部品を収容しているキャビティを複数備えるキャリアテープから前記部品が順に供給されるときに、当該部品が収容されている前記キャビティの位置情報を取得する取得工程と、
    前記取得工程によって取得された前記キャビティの位置情報、および、前記キャリアテープが巻回されているリールを識別する識別情報を関連付けて記憶装置に記憶させる記憶工程と、
    を備え、
    前記記憶工程は、前記部品の装着に使用された機器である装着ヘッドもしくは保持部材に関する機器情報、前記部品が前記保持部材によって採取され保持されているときの前記部品の保持状態に関する保持情報、および、前記部品が前記保持部材によって前記基板に装着されたときの前記部品の装着状態に関する装着情報のうちの少なくとも一つを、前記キャビティの位置情報および前記リールの識別情報と関連付けて前記記憶装置に記憶させる部品管理方法。

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