JP7228098B2

JP7228098B2 - dry ice blasting equipment

Info

Publication number: JP7228098B2
Application number: JP2019147699A
Authority: JP
Inventors: 剛博杉山; 英之佐川; 和史末永
Original assignee: PROTERIAL, LTD.
Current assignee: PROTERIAL, LTD.
Priority date: 2019-08-09
Filing date: 2019-08-09
Publication date: 2023-02-24
Anticipated expiration: 2039-08-09
Also published as: JP2021028096A; CN213378283U

Description

本開示は、ドライアイスの粒であるドライアイス粒を噴射するドライアイスブラスト装置に関する。 The present disclosure relates to a dry ice blasting device that jets dry ice grains, which are grains of dry ice.

特許文献１に記載されているように、ドライアイス粒をノズルの先端の開口から噴射するドライアイスブラスト装置が知られている。
ドライアイスブラスト装置は、例えば、シリコンウエハの表面に対してドライアイス粒を噴射し、吹き付けることにより、シリコンウエハの表面を洗浄するために用いられる。 As described in Patent Literature 1, a dry ice blasting device that jets dry ice particles from an opening at the tip of a nozzle is known.
A dry ice blasting apparatus is used, for example, to clean the surface of a silicon wafer by injecting and blowing dry ice grains onto the surface of the silicon wafer.

ここで、ドライアイスブラスト装置の種類には、直噴式とサイフォン式とが存在する。
直噴式のドライアイスブラスト装置は、圧縮空気やガスが通る流路とドライアイス粒が通る流路とが共通である。ドライアイス粒は、当該圧縮空気やガスで噴射ノズル先端のノズル開口から噴射される。 Here, there are two types of dry ice blasting devices: a direct injection type and a siphon type.
A direct-injection dry ice blasting apparatus has a common flow path for compressed air or gas and a flow path for dry ice particles. The dry ice grains are injected from the nozzle opening at the tip of the injection nozzle with the compressed air or gas.

一方、サイフォン式のドライアイスブラスト装置は、圧縮空気やガスが通る流路とドライアイス粒が通る流路とが別々に設けられ、噴射口の近傍で両流路が接続されている。圧縮空気やガスが噴射口から噴射すると、圧縮空気やガスが通る流路につながるドライアイス粒が通る流路は負圧となる。ドライアイス粒は、圧縮空気やガスが通る流路に吸い出され、ノズルの先端の噴射口から圧縮空気やガスとともに噴射される。 On the other hand, in a siphon-type dry ice blasting device, a flow path for compressed air or gas and a flow path for dry ice grains are provided separately, and both flow paths are connected near the injection port. When compressed air or gas is injected from the injection port, the flow path through which the dry ice grains pass, which is connected to the flow path through which the compressed air or gas passes, becomes negative pressure. The dry ice grains are sucked into a flow path through which compressed air or gas passes, and are jetted together with the compressed air or gas from the jet port at the tip of the nozzle.

直噴式とサイフォン式とを比較すると、一般的にサイフォン式は、圧縮空気やガスの流路とドライアイス粒が通る流路とが別々であるため、圧縮空気やガスの熱がドライアイス粒に伝わりにくく、ドライアイス粒が気化することを抑制することができる。その結果、ドライアイスブラスト装置により消費されるドライアイスの量を低減することができる。 Comparing the direct injection type and the siphon type, in general, the siphon type has separate channels for the compressed air or gas and the channel for the dry ice particles, so the heat of the compressed air or gas is transferred to the dry ice particles. It is difficult to transmit, and it is possible to suppress the vaporization of dry ice particles. As a result, the amount of dry ice consumed by the dry ice blasting device can be reduced.

特開２０００－１１９８４０号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-119840

ドライアイスブラスト装置では、ドライアイス粒が通る流路において、空気中に含まれる水蒸気がドライアイスにより冷やされることにより、空気中に含まれる水蒸気が凝縮して水分が発生し、発生した水分が凝固して氷や霜となる。発生した氷や霜は隣接するドライアイス粒をつなぐ接着剤の役割を果たす。複数のドライアイス粒が氷や霜でつながった塊が流路の詰まりの原因となる。 In the dry ice blasting device, the water vapor contained in the air is cooled by the dry ice in the flow path through which the dry ice grains pass. and become ice and frost. The generated ice or frost acts as an adhesive that connects adjacent dry ice grains. Blocks of multiple dry ice grains connected by ice or frost cause clogging of the flow path.

特にサイフォン式のドライアイスブラスト装置は、直噴式のドライアイスブラスト装置と比較してドライアイス粒を噴射させる力が弱い。このため、サイフォン式のドライアイスブラスト装置では、複数のドライアイス粒が氷や霜でつながった塊によるドライアイス粒が通る流路の詰まりが発生しやすいという問題があった。 In particular, a siphon type dry ice blasting device has a weaker force for ejecting dry ice particles than a direct injection type dry ice blasting device. For this reason, in the siphon type dry ice blasting apparatus, there is a problem that the passage through which the dry ice particles pass is likely to be clogged by a lump of a plurality of dry ice particles connected by ice or frost.

本開示の一局面は、ドライアイス供給部の内部に含まれるドライアイス粒が通る流路の詰まりを低減したドライアイスブラスト装置を提供することを目的とする。 An object of one aspect of the present disclosure is to provide a dry ice blasting apparatus that reduces clogging of the flow path through which dry ice grains contained inside the dry ice supply section pass.

本開示の一態様は、ドライアイスブラスト装置であって、噴射ノズルと、ドライアイス供給部と、噴射気体供給部と、乾燥気体供給部と、を備える。噴射ノズルは、ドライアイスと噴射気体とを共に噴射する。ドライアイス供給部は、噴射ノズルから噴射されるドライアイスを噴射ノズルに供給する。噴射気体供給部は、噴射ノズルから噴射される噴射気体を噴射ノズルに供給する。乾燥気体供給部は、ドライアイス供給部内の相対湿度を調整するための乾燥気体をドライアイス供給部内に供給する。 One aspect of the present disclosure is a dry ice blasting apparatus that includes an injection nozzle, a dry ice supply, an injection gas supply, and a dry gas supply. The injection nozzle injects dry ice and injection gas together. The dry ice supply unit supplies dry ice injected from the injection nozzle to the injection nozzle. The injection gas supply unit supplies the injection gas injected from the injection nozzle to the injection nozzle. The dry gas supply unit supplies dry gas into the dry ice supply unit for adjusting the relative humidity inside the dry ice supply unit.

このような構成によれば、ドライアイス供給部内に乾燥気体が供給されることにより、相対湿度が調整される結果、ドライアイス供給部の内部におけるドライアイス周辺の気体が冷やされ、当該気体に含まれる水蒸気に由来する氷や霜が発生することを抑制することができる。これにより、ドライアイス供給部の内部に含まれるドライアイス粒が通る流路内の詰まりを低減することができる。 According to such a configuration, by supplying the dry gas into the dry ice supply unit, the relative humidity is adjusted. As a result, the gas around the dry ice inside the dry ice supply unit is cooled, and It is possible to suppress the occurrence of ice and frost derived from the water vapor that is released. As a result, clogging in the flow path through which the dry ice grains contained inside the dry ice supply part pass can be reduced.

ドライアイスブラスト装置の構成を示すブロック図である。1 is a block diagram showing the configuration of a dry ice blasting device; FIG. ペレット粉砕部及び供給管の構成の例を表した図である。It is a figure showing the example of a structure of a pellet crushing part and a supply pipe. ペレット粉砕部及び供給管における流路の詰まりの発生を表した図であり、図３（Ａ）はドライアイスペレット１００ａが供給され始めた段階のペレット粉砕部及び供給管の状態を表し、図３（Ｂ）は、供給管の流路の壁面に結露が発生した状態を表す。また、図３（Ｃ）は、供給管の流路の壁面に発生した結露が凍結した氷が固着し、ドライアイス粒同士が氷により接着された状態を表し、図３（Ｄ）が、供給管の流路が詰まった状態を表す。It is a diagram showing the occurrence of clogging of the flow path in the pellet crushing unit and the supply pipe, and FIG. (B) represents a state in which dew condensation occurs on the wall surface of the flow path of the supply pipe. In addition, FIG. 3(C) shows a state in which dew condensation generated on the wall surface of the flow path of the supply pipe is frozen and adheres to each other, and the dry ice grains are adhered to each other, and FIG. Represents a state in which the flow path of the pipe is clogged. ドライアイスブラスト装置の動作の実験結果を表した表である。It is a table|surface showing the experimental result of operation|movement of a dry-ice blast apparatus. ドライアイスブラスト装置の動作の実験結果を表したグラフである。It is a graph showing the experimental result of the operation of the dry ice blasting device. 変形例におけるドライアイスブラスト装置の構成を示すブロック図である。FIG. 11 is a block diagram showing the configuration of a dry ice blasting device in a modified example; 変形例におけるドライアイスブラスト装置の構成を示すブロック図である。FIG. 11 is a block diagram showing the configuration of a dry ice blasting device in a modified example;

以下、図面を参照しながら、本開示の実施形態を説明する。
［１．構成］ Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described with reference to the drawings.
[1. composition]

図１に示すドライアイスブラスト装置１は、装置本体１０と、圧縮空気供給部２０と、噴射部３０と、を備える。
装置本体１０は、ドライアイスペレット１００ａをドライアイス粒１００ｂに粉砕して噴射部３０に供給するものである。 A dry ice blasting device 1 shown in FIG.
The apparatus main body 10 pulverizes the dry ice pellets 100 a into dry ice grains 100 b and supplies the dry ice grains 100 b to the injection section 30 .

装置本体１０は、ホッパー１１と、スクリューフィーダー１２と、ペレット粉砕部１３と、供給管１４と、ドライアイス供給チューブ１５と、第１給気弁１６と、第１排気弁１７と、を備える。 The device main body 10 includes a hopper 11 , a screw feeder 12 , a pellet crusher 13 , a supply pipe 14 , a dry ice supply tube 15 , a first air supply valve 16 and a first exhaust valve 17 .

ホッパー１１には、ドライアイスペレット１００ａが格納される。ホッパー１１は、下面の大きさが上面の大きさに比べて小さい箱形形状に形成される。また、ホッパー１１の上面及び下面は開口を有する。ホッパー１１の上面の開口は、ドライアイスペレット１００ａが投入可能な大きさに形成され、ホッパー１１の下面の開口はドライアイスペレット１００ａが排出可能な大きさに形成される。以下ではホッパー１１の上面の開口をホッパー投入口１１ａといい、ホッパー１１の下面の開口をホッパー排出口１１ｂという。なお、ホッパー１１としては、公知のホッパーと同じ構成を有するものを用いることができ、特に構成を限定するものではない。 The hopper 11 stores dry ice pellets 100a. The hopper 11 is formed in a box-like shape with a lower surface smaller than an upper surface. Moreover, the upper surface and the lower surface of the hopper 11 have openings. The top opening of the hopper 11 is sized to allow the dry ice pellets 100a to be introduced thereinto, and the bottom opening of the hopper 11 is sized to discharge the dry ice pellets 100a. Hereinafter, the opening on the upper surface of the hopper 11 is referred to as a hopper input port 11a, and the opening on the lower surface of the hopper 11 is referred to as a hopper discharge port 11b. As the hopper 11, one having the same configuration as a known hopper can be used, and the configuration is not particularly limited.

スクリューフィーダー１２は、ホッパー１１のホッパー排出口１１ｂから排出したドライアイスペレット１００ａを一定量ずつ、ペレット粉砕部１３に搬送する。
スクリューフィーダー１２は、フィーダー筒１２ａとスクリュー部１２ｂとを備える。 The screw feeder 12 conveys the dry ice pellets 100a discharged from the hopper discharge port 11b of the hopper 11 to the pellet crushing section 13 by a constant amount.
The screw feeder 12 includes a feeder tube 12a and a screw portion 12b.

フィーダー筒１２ａは、内部に空間を有する円筒状に形成されるものであって、円筒状の中心軸が水平方向に延びるように配置される。フィーダー筒１２ａは内部にスクリュー１２ｂを格納する。スクリュー１２ｂは、軸状に形成された本体部１２０ａの周面にらせん状に突出したスクリュー羽根１２０ｂが形成される。本体部１２０ａの中心軸とフィーダー筒１２ａの円筒状の中心軸との位置は、重なるように配置される。そして、フィーダー筒１２ａの両端において、本体部１２０ａの両端がそれぞれ回転可能に保持される。 The feeder tube 12a is formed in a cylindrical shape having a space inside, and is arranged so that the central axis of the cylindrical shape extends in the horizontal direction. The feeder cylinder 12a accommodates the screw 12b inside. The screw 12b has screw blades 120b protruding spirally from the peripheral surface of a body portion 120a formed in the shape of a shaft. The central axis of the body portion 120a and the cylindrical central axis of the feeder cylinder 12a are arranged so as to overlap each other. Both ends of the body portion 120a are rotatably held at both ends of the feeder tube 12a.

また、フィーダー筒１２ａの一端側に開口１２ｃが形成される。開口１２ｃとホッパー排出口１１ｂとがつなげられ、ホッパー１１の内部空間とフィーダー筒１２ａの内部空間がつなげられる。また、フィーダー筒１２ａの他端側には開口１２ｄが形成される。開口１２ｄは、フィーダー筒１２ａの内部をスクリュー１２ｂにより搬送されたドライアイスペレット１００ａを排出する孔である。 An opening 12c is formed at one end of the feeder tube 12a. The opening 12c and the hopper discharge port 11b are connected, and the internal space of the hopper 11 and the internal space of the feeder cylinder 12a are connected. An opening 12d is formed at the other end of the feeder tube 12a. The opening 12d is a hole for discharging the dry ice pellets 100a conveyed inside the feeder cylinder 12a by the screw 12b.

なお、フィーダー筒１２ａは、円筒状の中心軸が水平方向となるように配置されるものに限定されるものではない。例えば、ホッパー排出口１１ｂと接続された端部側から、開口１２ｄが形成された反対側の端部側に向かって斜め下方向を向くように傾斜して配置されてもよい。また、スクリューフィーダー１２としては、公知のスクリューフィーダーと同じ構成を有するものを用いることができ、特に構成を限定するものではない。また、ホッパー１１からペレット粉砕部１３へとドライアイスペレット１００ａが搬送できるものであれば、スクリューフィーダー１２に限定されるものではなく、公知のフィーダーと同じ構成であってもよい。 In addition, the feeder tube 12a is not limited to one arranged so that the central axis of the cylindrical shape is horizontal. For example, it may be arranged so as to face obliquely downward from the end connected to the hopper discharge port 11b toward the end opposite to where the opening 12d is formed. Moreover, as the screw feeder 12, one having the same configuration as a known screw feeder can be used, and the configuration is not particularly limited. Moreover, as long as the dry ice pellets 100a can be conveyed from the hopper 11 to the pellet crushing unit 13, the feeder is not limited to the screw feeder 12, and may have the same configuration as a known feeder.

ペレット粉砕部１３は、スクリューフィーダー１２により搬送されたドライアイスペレット１００ａを所定の大きさの粒であるドライアイス粒１００ｂになるように粉砕する。
ここで粉砕されることにより形成されるドライアイス粒１００ｂの粒径は、ドライアイス粒１００ｂがドライアイスブラスト装置１から噴射し、対象物に吹き付けた際に所望の目的を達成する大きさとなるように粉砕される。ドライアイス粒１００ｂの粒径は、ドライアイスブラスト装置１によりドライアイス粒１００ｂが吹き付けられる対象物の種類などによりあらかじめ調整されてもよい。すなわち、例えば、吹き付けられる対象物の硬さが硬い場合などにドライアイス粒１００ｂの粒径が大きくなるように調整されてもよい。ドライアイス粒１００ｂが対象物に当たることにより表面が傷つくことを防止したい場合には、ドライアイス粒１００ｂの粒径を、ドライアイス粒１００ｂを吹き付けても対象物を傷つけない程度の大きさに砕いてもよい。なお、ドライアイスブラスト装置１に備えられた各構成内を搬送する際にドライアイスが昇華し、小さくなる可能性があるため、ペレット粉砕部１３により粉砕されることで形成されるドライアイス粒１００ｂの粒径は、吹きつけ時のドライアイス粒１００ｂの粒径よりも大きい粒径を有してもよい。 The pellet pulverizing unit 13 pulverizes the dry ice pellets 100a conveyed by the screw feeder 12 into dry ice grains 100b having a predetermined size.
The particle size of the dry ice particles 100b formed by pulverization here is such that the dry ice particles 100b are ejected from the dry ice blasting device 1 and are of a size that achieves the desired purpose when the object is sprayed. pulverized into The particle size of the dry ice particles 100b may be adjusted in advance depending on the type of object to which the dry ice particles 100b are to be sprayed by the dry ice blasting device 1, or the like. That is, for example, when the hardness of the object to be sprayed is high, the particle size of the dry ice particles 100b may be adjusted to be large. If it is desired to prevent the surface of the object from being damaged by the dry ice particles 100b hitting the object, the particle diameter of the dry ice particles 100b is crushed to a size that does not damage the object even when the dry ice particles 100b are sprayed. good too. It should be noted that there is a possibility that the dry ice sublimates and becomes smaller when it is conveyed through each component provided in the dry ice blasting device 1, so the dry ice particles 100b formed by being pulverized by the pellet pulverizing unit 13 may have a particle size larger than the particle size of the dry ice particles 100b at the time of blowing.

供給管１４は、管状に形成され、管状の内径が少なくともドライアイス粒１００ｂの粒径よりも大きく形成され、ドライアイス粒１００ｂを搬送する流路を構成する。また、供給管１４の両端は、ペレット粉砕部１３及びドライアイス供給チューブ１５にそれぞれ接続される。 The supply pipe 14 is formed in a tubular shape with an inner diameter larger than at least the particle diameter of the dry ice particles 100b, and constitutes a channel for transporting the dry ice particles 100b. Both ends of the supply pipe 14 are connected to the pellet crushing unit 13 and the dry ice supply tube 15, respectively.

ここで、ペレット粉砕部１３及び供給管１４の構成の詳細について、図２を用いて説明する。ペレット粉砕部１３は、図２に示すように、内部に一対の粉砕ローラ１３１ａを備える。一対の粉砕ローラ１３１ａは、ドライアイスペレット１００ａをすりつぶして粉砕するように配置される。すなわち、一対の粉砕ローラ１３１ａは、回転軸の軸方向が平行となるように配置される。一対の粉砕ローラ１３１ａはあらかじめ決められた距離を空けて配置されてもよい。一対の粉砕ローラ１３１ａの配置される位置は、例えば、一対の粉砕ローラ１３１ａ同士の間にスクリューフィーダー１２により搬送されたドライアイスペレット１００ａが供給されるように配置される。一対の粉砕ローラ１３１ａは、互いに回転軸に対して反対方向に回転し、供給されたドライアイスペレット１００ａを挟み込むようにして粉砕する。 Here, details of the configuration of the pellet crusher 13 and the supply pipe 14 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 2, the pellet crusher 13 has a pair of crush rollers 131a inside. A pair of crushing rollers 131a are arranged to crush and crush the dry ice pellets 100a. That is, the pair of crushing rollers 131a are arranged so that the axial directions of the rotating shafts are parallel. The pair of crushing rollers 131a may be arranged with a predetermined distance therebetween. The positions where the pair of crushing rollers 131a are arranged are arranged, for example, so that the dry ice pellets 100a conveyed by the screw feeder 12 are supplied between the pair of crushing rollers 131a. The pair of crushing rollers 131a rotate in directions opposite to each other with respect to the rotating shaft, and crush the supplied dry ice pellets 100a by sandwiching them.

供給管１４は、ドライアイスペレット１００ａがペレット粉砕部１３により粉砕されることで形成されたドライアイス粒１００ｂをドライアイス供給チューブ１５に搬送するように所定の方向に曲折される。 The supply pipe 14 is bent in a predetermined direction so as to convey the dry ice grains 100b formed by crushing the dry ice pellets 100a by the pellet crusher 13 to the dry ice supply tube 15 .

なお、ペレット粉砕部１３のドライアイスペレット１００ａを粉砕する機構及び供給管１４は、図２に示すような機構及び構成に限定されるものではなく、公知の機構及び構成と同じ構成であってもよい。 The mechanism and the supply pipe 14 for crushing the dry ice pellets 100a of the pellet crusher 13 are not limited to the mechanism and configuration shown in FIG. good.

図１に戻り、ドライアイス供給チューブ１５は、供給管１４の流路に存在するドライアイス粒１００ｂを噴射部３０の後述する合流部３１へと搬送する。ドライアイス供給チューブ１５は、弾性体により形成されるチューブである。ドライアイス供給チューブ１５の内径は、少なくともドライアイス粒１００ｂの粒径よりも大きく形成され、ドライアイス供給チューブ１５は、ドライアイス粒１００ｂを搬送する流路を構成する。ドライアイス供給チューブ１５に用いられる弾性体には、ドライアイスにより冷却されても弾性が損なわれない材料が用いられる。すなわち、ドライアイス供給チューブ１５に用いられる弾性体には、例えば、ガラス転移点がドライアイスの昇華点（摂氏マイナス７８．５度）以下の材料が用いられてもよい。また、ドライアイス供給チューブ１５には、ドライアイス供給チューブ１５の内部があらかじめ決められた圧力以下になったとしても、ドライアイス供給チューブ１５の内部が狭窄し、ドライアイス供給チューブ１５の内部の流路を塞がないような硬さの材料が用いられる。 Returning to FIG. 1, the dry ice supply tube 15 conveys the dry ice grains 100b present in the flow path of the supply pipe 14 to the confluence section 31 of the injection section 30, which will be described later. The dry ice supply tube 15 is a tube made of an elastic material. The inner diameter of the dry ice supply tube 15 is formed to be at least larger than the particle size of the dry ice particles 100b, and the dry ice supply tube 15 constitutes a channel for transporting the dry ice particles 100b. The elastic body used for the dry ice supply tube 15 is made of a material that does not lose its elasticity even when cooled by dry ice. That is, for the elastic body used for the dry ice supply tube 15, for example, a material whose glass transition point is lower than the sublimation point of dry ice (minus 78.5 degrees Celsius) may be used. In addition, even if the pressure inside the dry ice supply tube 15 falls below a predetermined pressure, the inside of the dry ice supply tube 15 is constricted and the flow inside the dry ice supply tube 15 is reduced. A material with a hardness that does not block the passage is used.

また、ホッパー１１と、スクリューフィーダー１２と、ペレット粉砕部１３と、供給管１４とドライアイス供給チューブ１５の一部とは、装置本体１０の筐体１０ａの内部に、配置される。ドライアイス供給チューブ１５の供給管１４と接続されている端部と反対側の端部は、筐体１０ａに設けられた開口１０ｂを挿通する。筐体１０ａに設けられた開口１０ｂは、筐体１０ａの内部の空間が密閉されるようにドライアイス供給チューブ１５と開口１０ｂの縁部分とが密着するような大きさに構成される。なお、開口１０ｂの縁部分とドライアイス供給チューブ１５との間には、開口１０ｂとドライアイス供給チューブ１５の外周とを密着させ、筐体１０ａの内部を密閉するようなパッキンなどの部材が設けられていてもよい。 The hopper 11 , the screw feeder 12 , the pellet crusher 13 , the supply pipe 14 and part of the dry ice supply tube 15 are arranged inside the housing 10 a of the device main body 10 . The end of the dry ice supply tube 15 opposite to the end connected to the supply pipe 14 is inserted through the opening 10b provided in the housing 10a. The opening 10b provided in the housing 10a is sized so that the dry ice supply tube 15 and the edge of the opening 10b are in close contact so that the space inside the housing 10a is sealed. A member such as a packing is provided between the edge of the opening 10b and the dry ice supply tube 15 so that the opening 10b and the outer periphery of the dry ice supply tube 15 are in close contact with each other to seal the inside of the housing 10a. may have been

第１給気弁１６は、筐体１０ａの外部から気体が流入する流路に設けられる。第１給気弁１６は弁を開状態にすることにより、圧縮空気供給部２０から筐体１０ａの内部への気体の流入を許容するものであり、弁を閉状態にすることにより、外部から筐体１０ａの内部への気体の流入を防止するものである。また、第１給気弁１６は弁の開度により、筐体１０ａの外部から内部への気体の流量（供給量）を調節できるように構成されてもよい。第１給気弁１６としては、公知の開閉弁又は流量制御弁と同じ構成を有するものを用いることができ、特に構成を限定するものではない。 The first air supply valve 16 is provided in a flow path into which gas flows from the outside of the housing 10a. By opening the first air supply valve 16, the gas from the compressed air supply unit 20 is allowed to flow into the housing 10a. It prevents gas from flowing into the housing 10a. Further, the first air supply valve 16 may be configured to adjust the flow rate (supply amount) of the gas from the outside to the inside of the housing 10a by the opening degree of the valve. As the first air supply valve 16, one having the same configuration as a known on-off valve or flow control valve can be used, and the configuration is not particularly limited.

第１給気弁１６が設けられる流路は、一端が筐体１０ａと接続され、筐体１０ａと接続されていない側の端部である他端に第１接続端１６ａを有する。そして、第１接続端１６ａは、所定の気体が供給されるチューブと接続可能に構成される。具体的には、圧縮空気供給部２０に備えられた後述する第１貯蔵空気供給チューブ２３ｃと接続可能に構成される。これにより、圧縮空気供給部２０から筐体１０ａの内部へと後述するコンプレッサ２１から第１乾燥空気供給チューブ２３ａ、第１乾燥空気タンク２３ｂ及び第１貯蔵空気供給チューブ２３ｃを介して供給される気体である乾燥空気の流入を制御する。 The flow path provided with the first air supply valve 16 has one end connected to the housing 10a and has a first connection end 16a at the other end, which is the end not connected to the housing 10a. The first connection end 16a is configured to be connectable to a tube to which a predetermined gas is supplied. Specifically, it is configured to be connectable to a first stored air supply tube 23c, which is provided in the compressed air supply unit 20 and will be described later. As a result, the gas supplied from the compressed air supply unit 20 to the inside of the housing 10a from the compressor 21, which will be described later, through the first dry air supply tube 23a, the first dry air tank 23b, and the first stored air supply tube 23c. to control the inflow of dry air.

第１排気弁１７は、装置本体１０の筐体１０ａの内部から筐体１０ａの外部への気体の排出を制御する弁である。第１排気弁１７は弁を開状態にすることにより、筐体１０ａの内部から外部への気体の流出を許容するものであり、弁を閉状態にすることにより、筐体１０ａの内部から外部への気体の流出を防止するものである。また、第１排気弁１７は弁の開度により、筐体１０ａの内部から外部への気体の流量を調節できるように構成されてもよい。第１排気弁１７としては、公知の開閉弁又は流量制御弁と同じ構成を有するものを用いることができ、特に構成を限定するものではない。 The first exhaust valve 17 is a valve that controls the discharge of gas from the inside of the housing 10a of the apparatus main body 10 to the outside of the housing 10a. The first exhaust valve 17 allows the gas to flow out from the inside of the housing 10a to the outside by opening the valve, and closes the valve to allow gas to flow from the inside of the housing 10a to the outside. It prevents the outflow of gas to Further, the first exhaust valve 17 may be configured to adjust the flow rate of the gas from the inside to the outside of the housing 10a by the degree of opening of the valve. As the first exhaust valve 17, one having the same configuration as a known on-off valve or flow control valve can be used, and the configuration is not particularly limited.

第１排気弁１７の筐体１０ａにおける位置は、特に限定されるものではないが、第１給気弁１６から流入した気体が筐体１０ａ内で循環した後に排出される位置や、第１給気弁１６から流入した気体により、筐体１０ａ内の湿気を含んだ空気が押し出されやすい位置に配置されることが望ましい。第１排気弁１７は、例えば、筐体１０ａの中央に対して第１給気弁１６と反対側に配置されてもよい。 The position of the first exhaust valve 17 in the housing 10a is not particularly limited. It is desirable to arrange the housing 10a at a position where the air containing moisture inside the housing 10a is easily pushed out by the gas that has flowed in from the air valve 16. FIG. The first exhaust valve 17 may be arranged, for example, on the opposite side of the first intake valve 16 with respect to the center of the housing 10a.

圧縮空気供給部２０は、ドライアイス粒１００ｂを噴射させる圧縮空気を噴射部３０に供給すると共に、筐体１０ａの内部の相対湿度を調整し低下させる圧縮空気を筐体１０ａに供給するものである。 The compressed air supply unit 20 supplies the injection unit 30 with compressed air for injecting the dry ice particles 100b, and also supplies the housing 10a with compressed air for adjusting and lowering the relative humidity inside the housing 10a. .

圧縮空気供給部２０は、コンプレッサ２１と、噴射空気供給チューブ２２と、第１乾燥空気供給チューブ２３ａと、第１乾燥空気タンク２３ｂと、第１貯蔵空気供給チューブ２３ｃと、を備える。
コンプレッサ２１は、コンプレッサ２１の外部から空気を吸気し、吸気した空気を圧縮し、圧縮された空気である圧縮空気を冷却して凝集された水分を除湿し、除湿された圧縮空気を噴射空気供給チューブ２２及び第１乾燥空気供給チューブ２３ａに供給する。ここでいうコンプレッサ２１の外部は、例えば、工場などの建物の内部であってもよく、屋外であってもよい。すなわち、コンプレッサ２１の設置される場所は、空気を吸気することができれば、特に限定されない。また、コンプレッサ２１の一例としては、アネスト岩田社製のオイルフリースクロールコンプレッサ（ＴｈｉｎｋＡｉｒＳＬＰ－７５ＥＦＤ）が挙げられる。当該装置によれば、最大０．７８ＭＰａまで空気を圧縮することができる。また、圧縮された状態での空気の加圧露点（加圧した状態での露点温度、圧力下露点ともいう）は１２℃以下となる。当該加圧露点を大気圧における露点（大気圧露点ともいう）に換算すると、－１７．２℃となる。このときの飽和湿分量（単位体積当たりに含めることができる水蒸気量）は１．３７ｇ／ｍ^３となる。 The compressed air supply unit 20 includes a compressor 21, an injection air supply tube 22, a first dry air supply tube 23a, a first dry air tank 23b, and a first stored air supply tube 23c.
The compressor 21 sucks air from the outside of the compressor 21, compresses the sucked air, cools the compressed air to dehumidify the condensed moisture, and supplies the dehumidified compressed air as injection air. It is supplied to the tube 22 and the first dry air supply tube 23a. The outside of the compressor 21 here may be, for example, the inside of a building such as a factory or the outdoors. That is, the place where the compressor 21 is installed is not particularly limited as long as it can suck air. An example of the compressor 21 is an oil-free scroll compressor (ThinkAir SLP-75EFD) manufactured by ANEST IWATA Corporation. According to this device, air can be compressed up to 0.78 MPa. In addition, the pressurization dew point of air in a compressed state (also referred to as dew point temperature in a pressurized state or dew point under pressure) is 12° C. or less. When the pressurized dew point is converted to a dew point at atmospheric pressure (also referred to as atmospheric pressure dew point), it is -17.2°C. At this time, the saturated moisture content (the amount of water vapor that can be contained per unit volume) is 1.37 g/m ³ .

なお、以下では噴射空気供給チューブ２２に供給される圧縮空気を噴射空気、第１乾燥空気供給チューブ２３ａに供給される圧縮空気を乾燥空気ともいう。
噴射空気供給チューブ２２は、噴射部３０が備える後述する合流部３１にコンプレッサ２１からの噴射空気を供給するためのチューブである。噴射空気供給チューブ２２の内部には、乾燥空気を供給するための流路が設けられる。噴射空気供給チューブ２２に用いられる材料は特に限定されない。噴射空気供給チューブ２２は、噴射空気を内部の流路に供給した際に、外形形状が変形等を起こさない強度を有することが望ましい。噴射空気供給チューブ２２としては、流路に気体を供給可能な公知のチューブを用いることができ、特に構成を限定するものではない。噴射空気供給チューブ２２は、一端がコンプレッサ２１に接続され、他端が後述する合流部３１に接続される。 In addition, below, the compressed air supplied to the jet air supply tube 22 is also called jet air, and the compressed air supplied to the first dry air supply tube 23a is also called dry air.
The injection air supply tube 22 is a tube for supplying the injection air from the compressor 21 to a later-described confluence portion 31 provided in the injection portion 30 . A passage for supplying dry air is provided inside the jet air supply tube 22 . The material used for the jet air supply tube 22 is not particularly limited. It is desirable that the injection air supply tube 22 has such a strength that the external shape does not deform when the injection air is supplied to the internal flow path. As the injection air supply tube 22, a known tube capable of supplying gas to the flow path can be used, and the configuration is not particularly limited. The injection air supply tube 22 has one end connected to the compressor 21 and the other end connected to a confluence section 31 which will be described later.

第１乾燥空気供給チューブ２３ａは、筐体１０ａの内部に、乾燥空気を供給するためのチューブである。第１乾燥空気供給チューブ２３ａの内部には、乾燥空気を供給するための流路が設けられる。第１乾燥空気供給チューブ２３ａに用いられる材料は噴射空気供給チューブ２２と同様、特に限定されない。すなわち、第１乾燥空気供給チューブ２３ａとしては、流路に気体を供給可能な公知のチューブを用いることができ、特に構成を限定するものではない。 The first dry air supply tube 23a is a tube for supplying dry air to the inside of the housing 10a. A passage for supplying dry air is provided inside the first dry air supply tube 23a. As with the blast air supply tube 22, the material used for the first dry air supply tube 23a is not particularly limited. That is, as the first dry air supply tube 23a, a known tube capable of supplying gas to the flow path can be used, and the configuration is not particularly limited.

また、第１乾燥空気供給チューブ２３ａは、流路の一端がコンプレッサ２１と接続され、流路の他端が第１乾燥空気タンク２３ｂと接続される。
第１乾燥空気タンク２３ｂは、コンプレッサ２１から第１乾燥空気供給チューブ２３ａを介して供給される乾燥空気を貯蔵する。第１乾燥空気タンク２３ｂは、乾燥空気を貯蔵する際に、貯蔵した乾燥空気の圧力により変形、破損が発生しない材料、構成を有することが望ましい。第１乾燥空気タンク２３ｂとしては、気体を貯蔵する公知のタンクを用いることができ、特に構成を限定するものではない。 The first dry air supply tube 23a has one end connected to the compressor 21 and the other end connected to the first dry air tank 23b.
The first dry air tank 23b stores dry air supplied from the compressor 21 through the first dry air supply tube 23a. It is desirable that the first dry air tank 23b has a material and structure that does not cause deformation or breakage due to the pressure of the stored dry air when the dry air is stored. A known tank for storing gas can be used as the first dry air tank 23b, and the configuration is not particularly limited.

第１貯蔵空気供給チューブ２３ｃは、一端が第１乾燥空気タンク２３ｂに接続され、他端が第１給気弁１６の第１接続端１６ａに接続される。すなわち、コンプレッサ２１は、第１乾燥空気供給チューブ２３ａ、第１乾燥空気タンク２３ｂ及び第１貯蔵空気供給チューブ２３ｃを介して装置本体１０の第１給気弁１６に備えられた第１接続端１６ａに接続される。 The first stored air supply tube 23 c has one end connected to the first dry air tank 23 b and the other end connected to the first connection end 16 a of the first air supply valve 16 . That is, the compressor 21 connects the first connection end 16a provided to the first air supply valve 16 of the apparatus main body 10 via the first dry air supply tube 23a, the first dry air tank 23b, and the first stored air supply tube 23c. connected to

噴射部３０は、筐体１０ａの外部に設けられ、装置本体１０から供給されるドライアイス粒１００ｂを、圧縮空気供給部２０から供給される圧縮空気である噴射空気を用いて、所定の方向に噴射させ、対象物に吹き付ける操作に用いられる。 The injection unit 30 is provided outside the housing 10a, and uses injection air, which is compressed air supplied from the compressed air supply unit 20, to spray the dry ice grains 100b supplied from the apparatus main body 10 in a predetermined direction. It is used for the operation of jetting and spraying on an object.

噴射部３０は、合流部３１と噴射ノズル３２とを備える。
合流部３１は、ドライアイス粒１００ｂを搬送するドライアイス供給チューブ１５の流路と、噴射空気を供給する噴射空気供給チューブ２２の流路とを合流させる。すなわち、合流部３１は、装置本体１０から搬送されるドライアイス粒１００ｂと圧縮空気供給部２０から供給される噴射空気とを合流させる。 The injection section 30 includes a confluence section 31 and an injection nozzle 32 .
The confluence portion 31 joins the flow path of the dry ice supply tube 15 that conveys the dry ice particles 100b and the flow path of the blast air supply tube 22 that supplies blast air. That is, the merging portion 31 merges the dry ice grains 100b conveyed from the apparatus main body 10 and the jet air supplied from the compressed air supply portion 20 .

噴射ノズル３２は、合流部３１により合流したドライアイス粒１００ｂと噴射空気とを共に噴射させるノズルである。具体的には、噴射ノズル３２は、管状に構成され、管状部分の一端が合流部３１に接続され、他端（噴射ノズル３２の先端）にノズル開口３２ａを有する。図１に示すように、ノズル開口３２ａの開口を、ドライアイス粒１００ｂが吹きつけられる対象物に向けて吹き付ける操作を行いやすいように、噴射ノズル３２が曲折されてもよい。 The injection nozzle 32 is a nozzle for injecting both the dry ice grains 100b merged by the confluence portion 31 and the injection air. Specifically, the injection nozzle 32 is configured in a tubular shape, one end of the tubular portion is connected to the confluence portion 31, and the other end (tip of the injection nozzle 32) has a nozzle opening 32a. As shown in FIG. 1, the injection nozzle 32 may be bent so that the opening of the nozzle opening 32a can be easily sprayed toward the object to which the dry ice particles 100b are to be sprayed.

［２．作用］
次に、動作について図１を用いて説明する。
まず、ドライアイスペレット１００ａは、ホッパー投入口１１ａよりホッパー１１に格納される。 [2. action]
Next, operation will be described with reference to FIG.
First, the dry ice pellets 100a are stored in the hopper 11 from the hopper inlet 11a.

ホッパー１１に格納されたドライアイスペレット１００ａは、ホッパー排出口１１ｂ及び開口１２ｃを介してスクリューフィーダー１２のフィーダー筒１２ａの内部に供給される。 The dry ice pellets 100a stored in the hopper 11 are fed into the feeder cylinder 12a of the screw feeder 12 through the hopper outlet 11b and the opening 12c.

フィーダー筒１２ａの内部に供給されたドライアイスペレット１００ａは、スクリュー１２ｂの本体部１２０ａの中心軸が回転することにより、スクリュー羽根１２０ｂにより一定量ずつ開口１２ｄに搬送される。 The dry ice pellets 100a supplied to the inside of the feeder cylinder 12a are conveyed to the opening 12d by a constant amount by the screw blades 120b as the central axis of the main body portion 120a of the screw 12b rotates.

開口１２ｄに搬送されたドライアイスペレット１００ａは、ペレット粉砕部１３に供給され、ペレット粉砕部１３により粉砕され、所定の大きさのドライアイス粒１００ｂとなる。 The dry ice pellets 100a conveyed to the opening 12d are supplied to the pellet crushing section 13 and crushed by the pellet crushing section 13 to form dry ice grains 100b of a predetermined size.

ドライアイス粒１００ｂは、ペレット粉砕部１３から供給管１４及びドライアイス供給チューブ１５を介し、噴射部３０に供給される。
コンプレッサ２１は、空気を圧縮し、圧縮空気である噴射空気を噴射空気供給チューブ２２に、乾燥空気を第１乾燥空気供給チューブ２３ａに供給する。圧縮空気は、圧縮空気の温度と筐体１０ａの内部の温度を同じとしたときの相対湿度が筐体１０ａの内部の相対湿度に比べ低くなるように、コンプレッサ２１が外部の空気を圧縮する。具体的には、筐体１０ａの内部の相対湿度が３０％以下となるように保つような相対湿度を有する乾燥空気が第１乾燥空気供給チューブ２３ａを介し、コンプレッサ２１から供給される。なお、乾燥空気は、筐体１０ａの内部の相対湿度を１５％以下に保つ相対湿度を有する空気であることがより好ましい。 The dry ice grains 100 b are supplied from the pellet crushing section 13 to the injection section 30 through the supply pipe 14 and the dry ice supply tube 15 .
The compressor 21 compresses air, and supplies jet air, which is compressed air, to the jet air supply tube 22 and dry air to the first dry air supply tube 23a. The compressed air is compressed by the compressor 21 so that the relative humidity is lower than the relative humidity inside the housing 10a when the temperature of the compressed air and the temperature inside the housing 10a are the same. Specifically, dry air having a relative humidity such that the relative humidity inside the housing 10a is maintained at 30% or less is supplied from the compressor 21 through the first dry air supply tube 23a. It should be noted that the dry air is more preferably air having a relative humidity that keeps the relative humidity inside the housing 10a at 15% or less.

ノズル開口３２ａは、噴射空気と共に、ドライアイス粒１００ｂを噴射する。
噴射空気は、噴射空気供給チューブ２２によりコンプレッサ２１から供給された圧縮空気である。噴射空気は、合流部３１を通過してノズル開口３２ａから噴射される。 The nozzle opening 32a injects the dry ice grains 100b together with the blast air.
The blast air is compressed air supplied from compressor 21 by blast air supply tube 22 . The jet air passes through the confluence portion 31 and is jetted from the nozzle openings 32a.

合流部３１は、ドライアイス供給チューブ１５とも接続される。合流部３１は、噴射空気が通過することにより、内部が減圧され、ドライアイス供給チューブ１５の内部の圧力よりも低下した状態となる。これにより、供給管１４及びドライアイス供給チューブ１５の内部の流路に供給されたドライアイス粒１００ｂが合流部３１に吸い込まれる。そして、合流部３１から噴射空気と共に、ドライアイス粒１００ｂがノズル開口３２ａから噴射される。 The confluence portion 31 is also connected to the dry ice supply tube 15 . The confluence portion 31 is decompressed inside due to the passage of the jet air, and is in a state of being lower than the pressure inside the dry ice supply tube 15 . As a result, the dry ice grains 100 b supplied to the flow paths inside the supply pipe 14 and the dry ice supply tube 15 are sucked into the confluence portion 31 . Then, the dry ice particles 100b are jetted from the nozzle opening 32a together with the jet air from the confluence portion 31. As shown in FIG.

一方、第１乾燥空気供給チューブ２３ａ及び第１乾燥空気タンク２３ｂを介し供給された乾燥空気は、第１給気弁１６を介して筐体１０ａの内部全体に供給される。装置本体１０の筐体１０ａの内部全体に供給された乾燥空気は、装置本体１０の内部に含まれる各構成であるホッパー１１、スクリューフィーダー１２、ペレット粉砕部１３、供給管１４及びドライアイス供給チューブ１５の内部に供給される。 On the other hand, the dry air supplied through the first dry air supply tube 23a and the first dry air tank 23b is supplied through the first air supply valve 16 to the entire interior of the housing 10a. The dry air supplied to the entire inside of the housing 10a of the device main body 10 is supplied to the hopper 11, the screw feeder 12, the pellet crushing unit 13, the supply pipe 14, and the dry ice supply tube, which are the components included inside the device main body 10. 15 inside.

装置本体１０の筐体１０ａの内部に供給された乾燥空気は、乾燥空気の温度と筐体１０ａの内部の温度を同じとしたときに、筐体１０ａの内部の相対湿度と比較して相対湿度が低い。このため、筐体１０ａの内部の相対湿度を低下させることができる。 The dry air supplied to the inside of the housing 10a of the apparatus main body 10 has a relative humidity higher than the relative humidity inside the housing 10a when the temperature of the dry air and the temperature inside the housing 10a are the same. is low. Therefore, the relative humidity inside the housing 10a can be reduced.

そして、装置本体１０の筐体１０ａの内部に供給された乾燥空気は、筐体１０ａの内部を循環し、若しくは、相対湿度の高い筐体１０ａの内部の空気を押し出して、第１排気弁１７を介して筐体１０ａの外部に排出させる。 Then, the dry air supplied to the inside of the housing 10a of the apparatus main body 10 circulates inside the housing 10a, or pushes out the air inside the housing 10a with high relative humidity, and the first exhaust valve 17 to the outside of the housing 10a.

［３．流路の詰まりの発生について］
ドライアイスブラスト装置１における詰まりの発生メカニズムについて、図３を用いて説明する。なお、ドライアイスブラスト装置１における詰まりのメカニズムについては、図３に示すものに限定されるものではなく、本実施形態のドライアイスブラスト装置１における詰まりに限定されるものではない。本説明では、圧縮空気供給部２０が乾燥空気の供給を停止した状態、すなわち、筐体１０ａの内部の相対湿度が３０％以上である状態を想定して説明する。 [3. Regarding the occurrence of clogging in the flow path]
A clogging mechanism in the dry ice blasting device 1 will be described with reference to FIG. The clogging mechanism in the dry ice blasting device 1 is not limited to that shown in FIG. 3, and is not limited to the clogging in the dry ice blasting device 1 of this embodiment. In this description, it is assumed that the compressed air supply unit 20 stops supplying dry air, that is, the relative humidity inside the housing 10a is 30% or higher.

図３（Ａ）に示すように、ドライアイスペレット１００ａは、ペレット粉砕部１３の粉砕ローラ１３１ａにおいて、粉砕される。粉砕されることで形成されるドライアイス粒１００ｂは、供給管１４の内部の流路を通過する。 As shown in FIG. 3A, the dry ice pellets 100a are pulverized by the pulverizing rollers 131a of the pellet pulverizing section 13. As shown in FIG. The dry ice particles 100b formed by pulverization pass through the flow path inside the supply pipe 14 .

供給管１４を通過する際に、供給管１４がドライアイス粒１００ｂにより冷やされることにより、供給管１４内の空気中の水分が凝集し、図３（Ｂ）に示すように供給管１４の内部に結露１００ｃが発生する。 When passing through the supply pipe 14, the supply pipe 14 is cooled by the dry ice grains 100b, so that moisture in the air inside the supply pipe 14 condenses, and as shown in FIG. dew condensation 100c occurs.

そして、図３（Ｃ）に示すように、発生した結露１００ｃが、ドライアイス粒１００ｂで更に冷やされることにより、氷又は霜（以下、氷霜１００ｄという）となって、供給管１４の壁面に固着する。また、発生した氷霜１００ｄは、ドライアイス粒１００ｂ同士の間に入り込み、ドライアイス粒１００ｂ同士を接着する役割をし、ドライアイス粒１００ｂを含む塊となる。 Then, as shown in FIG. 3C, the generated dew condensation 100c is further cooled by the dry ice grains 100b to become ice or frost (hereinafter referred to as ice frost 100d), which is formed on the wall surface of the supply pipe 14. Stick. Also, the generated ice frost 100d enters between the dry ice grains 100b, serves to bond the dry ice grains 100b together, and becomes a mass containing the dry ice grains 100b.

図３（Ｄ）に示すように、氷霜１００ｄが供給管１４の表面に固着し、また、氷霜１００ｄがドライアイス粒１００ｂ同士を接着することにより、供給管１４の流路に詰まりを生じさせる。 As shown in FIG. 3D, ice frost 100d adheres to the surface of supply pipe 14, and ice frost 100d adheres dry ice grains 100b to each other, causing clogging in the flow path of supply pipe 14. Let

［４．流路（供給管１４の内部）の詰まりに対する実験結果］
供給管１４の詰まりに対する実験結果について、図４の表及び図５のグラフを用いて説明する。 [4. Experimental results for clogging of flow path (inside supply pipe 14)]
Experimental results for the clogging of the supply pipe 14 will be described with reference to the table of FIG. 4 and the graph of FIG.

実験方法としては、ドライアイスブラスト装置１の装置内の相対湿度をあらかじめ決められた値に設定し、ドライアイスブラスト装置１を動作させる。なお、以下では、設定された装置内の相対湿度を装置内湿度（ＲＨ％）と表す。なお、本実験では、相対湿度を一定にするため、装置内の相対湿度があらかじめ決められた値となった後に圧縮空気供給部２０による乾燥空気の供給を停止した状態で実験を行った。 As an experimental method, the relative humidity inside the dry ice blasting apparatus 1 is set to a predetermined value, and the dry ice blasting apparatus 1 is operated. In addition, below, the relative humidity in the apparatus which was set is represented as the humidity in the apparatus (RH%). In this experiment, in order to keep the relative humidity constant, the experiment was conducted in a state in which the supply of dry air by the compressed air supply unit 20 was stopped after the relative humidity in the apparatus reached a predetermined value.

そして、動作させたドライアイスブラスト装置１において、１時間の間に流路の詰まりが発生したか否かを判定する。
設定された各装置内湿度において、ドライアイスブラスト装置１を動作させた回数のうち、詰まりが発生した回数の割合を詰まり率として算出する。 Then, in the operated dry ice blasting apparatus 1, it is determined whether clogging of the flow path has occurred during one hour.
The ratio of the number of times clogging occurs to the number of times the dry ice blasting apparatus 1 is operated at each set internal humidity is calculated as the clogging rate.

なお、図５のグラフは横軸を装置内湿度（ＲＨ％）、縦軸を詰まり率として表す。
図４の表及び図５のグラフに表されるように、装置内湿度（ＲＨ％）が１５％の場合では、詰まり率が０％であり、すなわち詰まりが生じていない。これに対して、装置内湿度（ＲＨ％）が２０％の場合では、詰まり率が３３％であり、詰まりが生じる可能性がある。さらに、装置内湿度（ＲＨ％）が３５％以上の場合では、詰まり率が１００％であり、すなわち必ず詰まりが生じるとの実験結果が得られた。 In the graph of FIG. 5, the horizontal axis indicates the humidity inside the apparatus (RH%), and the vertical axis indicates the clogging rate.
As shown in the table of FIG. 4 and the graph of FIG. 5, when the internal humidity (RH%) is 15%, the clogging rate is 0%, that is, no clogging occurs. On the other hand, when the humidity (RH%) inside the device is 20%, the clogging rate is 33%, and clogging may occur. Furthermore, when the humidity (RH%) inside the apparatus is 35% or more, the clogging rate is 100%, that is, the experimental results show that clogging always occurs.

よって、装置内湿度（ＲＨ％）は、３０％以下であれば詰まりが抑制される可能性があり、１５％以下にすることがより好ましい。
［５．効果］
以上詳述した実施形態によれば、以下の効果を奏する。 Therefore, if the humidity (RH%) in the device is 30% or less, clogging may be suppressed, and it is more preferable to set it to 15% or less.
[5. effect]
According to the embodiment detailed above, the following effects are obtained.

（１）上記実施形態によれば、供給管１４の内部に乾燥空気を供給することにより、供給管１４の内部におけるドライアイス周辺の気体が冷やされ、当該気体に含まれる水蒸気に由来する氷又は霜である氷霜１００ｄが発生することを抑制することができる。これにより、ドライアイス供給部の内部に配置され、ドライアイス粒が通る流路である供給管１４の内部の詰まりを低減することができる。 (1) According to the above embodiment, by supplying dry air to the inside of the supply pipe 14, the gas around the dry ice inside the supply pipe 14 is cooled, and the ice or ice derived from the water vapor contained in the gas is cooled. The occurrence of ice frost 100d, which is frost, can be suppressed. As a result, clogging of the inside of the supply pipe 14, which is arranged inside the dry ice supply unit and is a channel through which the dry ice grains pass, can be reduced.

（２）また、具体的には、筐体１０ａの内部の相対湿度が３０％以下となるように調整されると、筐体１０ａの内部、特にドライアイスペレット１００ａ及びドライアイス粒１００ｂの流路であるスクリューフィーダー１２、ペレット粉砕部１３、供給管１４及びドライアイス供給チューブ１５内において、氷霜１００ｄが発生することを抑制することができる。さらに、筐体１０ａの内部の相対湿度が１５％以下となるように調整されると、ドライアイスブラスト装置１を長時間使用したとしても、氷霜１００ｄが発生することを抑制しやすくなる。 (2) Specifically, when the relative humidity inside the housing 10a is adjusted to 30% or less, the inside of the housing 10a, particularly the flow path of the dry ice pellets 100a and the dry ice particles 100b In the screw feeder 12, the pellet crusher 13, the supply pipe 14, and the dry ice supply tube 15, the occurrence of ice frost 100d can be suppressed. Furthermore, if the relative humidity inside the housing 10a is adjusted to 15% or less, it becomes easier to suppress the occurrence of ice frost 100d even if the dry ice blasting apparatus 1 is used for a long time.

ここでいう長時間とは、例えば３０分以上のことをいうが、特に３０分以上に限定されるものではない。すなわち、ドライアイスブラスト装置１が連続して使用されることにより、ドライアイスペレット１００ａ及びドライアイス粒１００ｂにより筐体１０ａの内部が冷やされ、供給管１４などの流路に詰まりが発生するような長さの時間をいう。 The long time here means, for example, 30 minutes or longer, but is not particularly limited to 30 minutes or longer. That is, when the dry ice blasting device 1 is continuously used, the inside of the housing 10a is cooled by the dry ice pellets 100a and the dry ice grains 100b, and clogging of the flow path such as the supply pipe 14 occurs. Refers to length of time.

特に、ドライアイスブラスト装置１が長時間の連続運転が求められる使用状態に適用された場合、氷霜１００ｄの発生により発生する詰まりを抑制する効果が顕著となる。
（３）上記実施形態によれば、ドライアイスペレット１００ａ及びドライアイス粒１００ｂの流路の外部にも乾燥空気が供給される。そのため、流路の外部においても氷霜１００ｄが発生することを抑制することができる。これにより、流路の外部において断熱層の役割をする氷霜１００ｄの発生を抑制し、流路の外部の空気からの熱が遮断されることを抑制することができる。その結果、流路の内部の温度が低下し、流路の内部において氷霜１００ｄが発生し、流路の内部が詰まることを抑制することができる。 In particular, when the dry ice blasting apparatus 1 is applied to a usage state that requires long-term continuous operation, the effect of suppressing clogging caused by the occurrence of the ice frost 100d becomes remarkable.
(3) According to the above embodiment, dry air is also supplied to the outside of the flow paths of the dry ice pellets 100a and the dry ice grains 100b. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of the ice frost 100d also outside the flow path. As a result, it is possible to suppress the occurrence of the ice frost 100d that functions as a heat insulating layer outside the flow path, and to suppress the heat from being blocked from the air outside the flow path. As a result, it is possible to suppress the temperature inside the flow path from decreasing, the ice frost 100d being generated inside the flow path, and clogging of the inside of the flow path.

（４）上記実施形態によれば、筐体１０ａの内部にホッパー１１と、スクリューフィーダー１２と、ペレット粉砕部１３と、供給管１４と、ドライアイス供給チューブ１５の少なくとも一部とが含まれ、各構成の内部に乾燥空気が入るように構成される。具体的には、乾燥空気は筐体１０ａの内部に供給されることにより、筐体１０ａの内部からホッパー１１を介して供給管１４の内部に供給される。 (4) According to the above embodiment, the housing 10a contains the hopper 11, the screw feeder 12, the pellet crusher 13, the supply pipe 14, and at least part of the dry ice supply tube 15, Each configuration is configured to allow dry air to enter. Specifically, the dry air is supplied to the inside of the housing 10a and supplied to the inside of the supply pipe 14 via the hopper 11 from the inside of the housing 10a.

このような構成によれば、各構成の内部の相対湿度を低下させる又は相対湿度の上昇を抑制することができる。その結果、各構成の内部で氷霜１００ｄが発生することが抑制しやすくなり、各構成の内部の流路が氷霜１００ｄにより詰まりが生じることを抑制しやすくなる。 According to such a configuration, it is possible to reduce the relative humidity inside each configuration or suppress an increase in the relative humidity. As a result, it becomes easier to suppress the occurrence of the ice frost 100d inside each structure, and it becomes easier to suppress clogging of the flow path inside each structure due to the ice frost 100d.

また、上記実施形態によれば、乾燥空気は、筐体１０ａの内部において、供給管１４の外部の周辺範囲にも同時に供給される。つまり、供給管１４の内側及び外側へ同時に乾燥空気を供給することができる。 Further, according to the above embodiment, the dry air is simultaneously supplied to the surrounding area outside the supply pipe 14 inside the housing 10a. That is, dry air can be supplied to the inside and outside of the supply pipe 14 at the same time.

（５）上記実施形態によれば噴射空気供給チューブ２２に供給される噴射空気及び第１乾燥空気供給チューブ２３ａに供給される乾燥空気は、共に同じコンプレッサ２１から供給される圧縮空気である。そのため、噴射空気及び乾燥空気を噴射空気供給チューブ２２及び第１乾燥空気供給チューブ２３ａに供給するコンプレッサ２１を別々に備える必要がなく、コンプレッサ２１を共通化することにより設備を簡素化することができる。 (5) According to the above embodiment, the jet air supplied to the jet air supply tube 22 and the dry air supplied to the first dry air supply tube 23 a are both compressed air supplied from the same compressor 21 . Therefore, there is no need to separately provide the compressor 21 for supplying the jet air and the dry air to the jet air supply tube 22 and the first dry air supply tube 23a. .

なお、実施例に記載の圧縮空気が特許請求の範囲に記載の供給気体の一例に相当する。また、実施例に記載の第１乾燥空気供給チューブ２３ａ、第１乾燥空気タンク２３ｂ、第１貯蔵空気供給チューブ２３ｃ及び第１給気弁１６が特許請求の範囲に記載の乾燥気体供給部の一例に相当し、噴射空気供給チューブ２２が特許請求の範囲に記載の噴射気体供給部の一例に相当する。ホッパー１１、スクリューフィーダー１２、ペレット粉砕部１３、供給管１４及びドライアイス供給チューブ１５が特許請求の範囲に記載のドライアイス供給部の一例に相当する。ホッパー１１が特許請求の範囲に記載のドライアイス格納部の一例に相当する。また、コンプレッサ２１が特許請求の範囲に記載の気体供給部の一例に相当する。 The compressed air described in the examples corresponds to an example of the supplied gas described in the claims. Also, the first dry air supply tube 23a, the first dry air tank 23b, the first stored air supply tube 23c, and the first air supply valve 16 described in the embodiments are examples of the dry gas supply section described in the claims. , and the injection air supply tube 22 corresponds to an example of the injection gas supply section described in the claims. The hopper 11, the screw feeder 12, the pellet crusher 13, the supply pipe 14, and the dry ice supply tube 15 correspond to an example of the dry ice supply unit described in the claims. The hopper 11 corresponds to an example of the dry ice storage section recited in the claims. Also, the compressor 21 corresponds to an example of the gas supply unit described in the claims.

［６．他の実施形態］
（１）上記実施形態では、噴射空気供給チューブ２２に供給される噴射空気及び第１乾燥空気供給チューブ２３ａに供給される乾燥空気は、共にコンプレッサ２１から供給される圧縮空気であった。 [6. Other embodiments]
(1) In the above embodiment, the jet air supplied to the jet air supply tube 22 and the dry air supplied to the first dry air supply tube 23a are both compressed air supplied from the compressor 21 .

しかし、噴射空気供給チューブ２２に供給される噴射空気及び第１乾燥空気供給チューブ２３ａに供給される乾燥空気は、同一のコンプレッサから供給されるものに限られるものではない。 However, the jet air supplied to the jet air supply tube 22 and the dry air supplied to the first dry air supply tube 23a are not limited to being supplied from the same compressor.

すなわち、例えば、噴射空気供給チューブ２２に噴射空気を供給するコンプレッサと第１乾燥空気供給チューブ２３ａに乾燥空気を供給するコンプレッサとは別体であってもよい。 That is, for example, a compressor that supplies jet air to the jet air supply tube 22 and a compressor that supplies dry air to the first dry air supply tube 23a may be separate bodies.

（２）また、上記実施形態では、噴射空気及び乾燥空気は、コンプレッサ２１により圧縮された空気である圧縮空気であり、相対湿度が同じである圧縮空気であったが相対湿度が異なる空気が供給されてもよい。
（３）さらに、上記実施形態では、噴射空気供給チューブ２２に供給される噴射空気及び第１乾燥空気供給チューブ２３ａに供給される乾燥空気は圧縮空気であるが、供給される気体の種類は、空気に限定されるものではない。供給される気体の種類は、窒素又はアルゴンなどの不活性ガスであってもよい。圧縮空気及び圧縮した不活性ガスを含め、圧縮した気体を以下では圧縮気体ともいう。また、噴射空気供給チューブ２２と第１乾燥空気供給チューブ２３ａとで供給される気体の種類が異なってもよい。この場合、気体を供給する構成であれば、コンプレッサにより供給されるものに限定されるものではなく、ガスボンベなどによるものであってもよい。なお、供給される気体は圧縮されていなくてもよい。 (2) In the above embodiment, the injection air and the dry air are compressed air that is compressed by the compressor 21, and although the compressed air has the same relative humidity, the air with different relative humidity is supplied. may be
(3) Furthermore, in the above embodiment, the jet air supplied to the jet air supply tube 22 and the dry air supplied to the first dry air supply tube 23a are compressed air. It is not limited to air. The type of gas supplied may be an inert gas such as nitrogen or argon. Compressed gases, including compressed air and compressed inert gases, are also referred to below as compressed gases. Also, the types of gases supplied by the injection air supply tube 22 and the first dry air supply tube 23a may be different. In this case, as long as it is configured to supply gas, it is not limited to one that is supplied by a compressor, and a gas cylinder or the like may be used. Note that the supplied gas does not have to be compressed.

なお、相対湿度を低下させる目的で供給される乾燥空気と、乾燥空気と同様の目的で供給される別の種類の気体とが特許請求の範囲に記載の乾燥気体に相当し、噴射部３０にドライアイス粒１００ｂを噴射させる目的で供給される噴射空気と、噴射空気と同様の目的で供給される別の種類の気体とが特許請求の範囲に記載の噴射気体の一例に相当する。 The dry air supplied for the purpose of lowering the relative humidity and another type of gas supplied for the same purpose as the dry air correspond to the dry gas described in the claims. The injection air supplied for the purpose of injecting the dry ice particles 100b and another type of gas supplied for the same purpose as the injection air correspond to examples of the injection gas described in the claims.

（４）ドライアイスブラスト装置１の構成は図１に示すものに限定されるものではない。
例えば、図６に示すように、湿度計５１及び制御部６１を更に備えてもよい。
湿度計５１は、筐体１０ａの内部や供給管１４の周囲に備えられ、相対湿度を測定する。制御部６１は、湿度計５１により測定された相対湿度に応じて、乾燥空気を筐体１０ａに供給する流路に設けられた第１給気弁１６及び筐体１０ａから内部の気体を排出する第１排気弁１７の開閉を行ってもよい。また、制御部６１は、乾燥空気を供給するコンプレッサ２１のオンオフを制御してもよい。制御部６１は、例えば、湿度計５１により測定される相対湿度があらかじめ決められた閾値以上であった場合に、筐体１０ａの内部及び供給管１４の周囲の相対湿度を低下させるような制御を行ってもよい。具体的には、第１給気弁１６を開状態にし、コンプレッサ２１から供給される乾燥空気の流量を増加させることにより、内部の相対湿度を低下させるように制御してもよい。また、筐体１０ａの内部の気圧を測定する圧力計５２を更に備えてもよい。制御部６１は、圧力計５２により測定された筐体１０ａの内部の圧力があらかじめ決められた閾値以上である場合に、第１排気弁１７を開状態にし、内部の圧力を低下させるように構成されてもよい。なお、実施例に記載の湿度計が特許請求の範囲に記載された湿度測定部の一例に相当する。 (4) The configuration of the dry ice blasting device 1 is not limited to that shown in FIG.
For example, as shown in FIG. 6, a hygrometer 51 and a controller 61 may be further provided.
A hygrometer 51 is provided inside the housing 10a and around the supply pipe 14 to measure the relative humidity. The control unit 61 discharges the internal gas from the first air supply valve 16 provided in the flow path for supplying dry air to the housing 10a and the housing 10a according to the relative humidity measured by the hygrometer 51. The first exhaust valve 17 may be opened and closed. Further, the control unit 61 may control on/off of the compressor 21 that supplies dry air. For example, when the relative humidity measured by the hygrometer 51 is equal to or higher than a predetermined threshold, the control unit 61 performs control to reduce the relative humidity inside the housing 10a and around the supply pipe 14. you can go Specifically, by opening the first air supply valve 16 and increasing the flow rate of dry air supplied from the compressor 21, the internal relative humidity may be lowered. Also, a pressure gauge 52 for measuring the air pressure inside the housing 10a may be further provided. The control unit 61 is configured to open the first exhaust valve 17 and reduce the internal pressure when the pressure inside the housing 10a measured by the pressure gauge 52 is equal to or higher than a predetermined threshold value. may be In addition, the hygrometer described in the embodiment corresponds to an example of the humidity measurement unit described in the claims.

（５）制御部６１は、更に表示画面６１ａを備えていてもよい。制御部６１は、例えば、制御部６１が制御する第１給気弁１６及び第１排気弁１７の開閉状態又は弁の開度、湿度計５１により測定される筐体１０ａの内部の相対湿度の大きさを表示画面６１ａに表示するように構成されてもよい。また、制御部６１は、圧力計５２により測定された筐体１０ａの内部の気体の圧力を表示画面６１ａに表示してもよい。 (5) The control unit 61 may further include a display screen 61a. The control unit 61 controls, for example, the opening/closing state or opening degree of the first air supply valve 16 and the first exhaust valve 17 controlled by the control unit 61, and the relative humidity inside the housing 10a measured by the hygrometer 51. It may be configured to display the size on the display screen 61a. Further, the control unit 61 may display the pressure of the gas inside the housing 10a measured by the pressure gauge 52 on the display screen 61a.

（６）制御部６１が実行する制御及びその手法は、コンピュータプログラムにより具体化された一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。あるいは、本開示に記載の制御部６１が実行する制御及びその手法は、一つ以上の専用ハードウェア論理回路によってプロセッサを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。もしくは、本開示に記載の制御部６１が実行する制御及びその手法は、一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリと一つ以上のハードウェア論理回路によって構成されたプロセッサとの組み合わせにより構成された一つ以上の専用コンピュータにより、実現されてもよい。また、コンピュータプログラムは、コンピュータにより実行されるインストラクションとして、コンピュータ読み取り可能な不揮発性記録媒体に記憶されてもよい。 (6) The control performed by the control unit 61 and the method thereof are provided by configuring a processor and memory programmed to perform one or more functions embodied by a computer program. It may be realized by Alternatively, the control performed by controller 61 and the techniques thereof described in this disclosure may be implemented by a dedicated computer provided by configuring a processor with one or more dedicated hardware logic circuits. Alternatively, the control and techniques performed by the control unit 61 described in the present disclosure are configured by a processor and memory programmed to perform one or more functions and one or more hardware logic circuits. It may also be implemented by one or more dedicated computers configured in combination with processors. The computer program may also be stored in a computer-readable non-volatile recording medium as instructions executed by a computer.

（７）装置本体１０は、例えば、ドライアイスペレット１００ａ及びドライアイス粒１００ｂが内部を通過する流路の周辺に乾燥空気を送り込む構成をさらに有していてもよい。
具体的には、図７に示すように、包囲部４１、第２乾燥空気供給チューブ２４ａ、第２給気弁１８及び包囲排出路１９ａが更に備えられてもよい。 (7) The apparatus main body 10 may further have a configuration for sending dry air around the flow path through which the dry ice pellets 100a and the dry ice grains 100b pass, for example.
Specifically, as shown in FIG. 7, an enclosure 41, a second dry air supply tube 24a, a second air supply valve 18, and an enclosure discharge passage 19a may be further provided.

包囲部４１は、供給管１４の周囲である周囲範囲を覆い、例えば、供給管１４の内部で、ドライアイス粒１００ｂが滞留しやすい場所を覆うように配置されてもよい。具体的には、ドライアイス粒１００ｂが滞留しやすい場所としては、例えば、供給管１４が曲折している場所や、ペレット粉砕部１３の近傍で、ドライアイス粒１００ｂが多量に存在する場所が例として挙げられる。 The enclosing part 41 may be arranged to cover the surrounding area around the supply pipe 14, for example, to cover a place inside the supply pipe 14 where the dry ice grains 100b tend to stay. Specifically, places where the dry ice particles 100b tend to stay include, for example, places where the supply pipe 14 is bent, and places near the pellet crusher 13 where a large amount of dry ice particles 100b are present. It is mentioned as.

第２乾燥空気供給チューブ２４ａは、コンプレッサ２１から乾燥空気を包囲部４１に供給する。
なお、第２乾燥空気供給チューブ２４ａも第１乾燥空気供給チューブ２３ａと同様に第２乾燥空気タンク２４ｂと接続されてもよい。第２乾燥空気タンク２４ｂは、コンプレッサ２１から第２乾燥空気供給チューブ２４ａを介して供給される乾燥空気を貯蔵する。第２乾燥空気タンク２４ｂは、乾燥空気を貯蔵する際に、貯蔵した乾燥空気の圧力により変形、破損が発生しない材料、構成を有することが望ましい。第２乾燥空気タンク２４ｂとしては、気体を貯蔵する公知のタンクを用いることができ、特に構成を限定するものではない。
第２貯蔵空気供給チューブ２４ｃは、一端が第２乾燥空気タンク２４ｂに接続され、他端が第２給気弁１８の第２接続端１８ａに接続される。すなわち、コンプレッサ２１は、第２乾燥空気供給チューブ２４ａ、第２乾燥空気タンク２４ｂ及び第２貯蔵空気供給チューブ２４ｃを介して装置本体１０の第２給気弁１８に備えられた第２接続端１８ａに接続される。 The second dry air supply tube 24 a supplies dry air from the compressor 21 to the enclosing part 41 .
The second dry air supply tube 24a may also be connected to the second dry air tank 24b in the same manner as the first dry air supply tube 23a. The second dry air tank 24b stores dry air supplied from the compressor 21 through the second dry air supply tube 24a. It is desirable that the second dry air tank 24b has a material and structure that does not cause deformation or breakage due to the pressure of the stored dry air when the dry air is stored. A known tank for storing gas can be used as the second dry air tank 24b, and the configuration is not particularly limited.
The second stored air supply tube 24 c has one end connected to the second dry air tank 24 b and the other end connected to the second connection end 18 a of the second air supply valve 18 . That is, the compressor 21 connects the second connection end 18a provided to the second air supply valve 18 of the apparatus main body 10 via the second dry air supply tube 24a, the second dry air tank 24b and the second stored air supply tube 24c. connected to

第２給気弁１８は、第２乾燥空気供給チューブ２４ａの流路の途中に配置され、弁の開閉により第２乾燥空気供給チューブ２４ａの流路の開閉が調整されることにより、乾燥空気を供給するか否か、又は乾燥空気を供給する量が調整できるように配置される。 The second air supply valve 18 is arranged in the middle of the flow path of the second dry air supply tube 24a, and the opening and closing of the flow path of the second dry air supply tube 24a is adjusted by opening and closing the valve, thereby supplying dry air. It is arranged so that whether or not it is supplied or the amount of supply of dry air can be adjusted.

包囲排出路１９ａは、包囲部４１の内部の空気を筐体１０ａの外部に排出する流路である。包囲排出路１９ａは、例えば、第２排気弁１９を備え、第２排気弁１９を介し排出される空気の量を調整するように構成されてもよい。 The surrounding discharge path 19a is a flow path for discharging the air inside the surrounding portion 41 to the outside of the housing 10a. The enclosed exhaust passage 19 a may, for example, comprise a second exhaust valve 19 and be configured to regulate the amount of air exhausted through the second exhaust valve 19 .

これにより、包囲部４１を備えない場合を比べて、包囲部４１により囲まれた範囲により確実に乾燥空気を供給することができる。そのため、包囲部４１により囲まれた範囲において、気体に含まれる水蒸気が氷又は霜となり、供給管１４の外周面に氷の層、又は、霜の層が形成されることを抑制しやすくなる。その結果、氷の層、又は、霜の層は断熱層としても働くことから、供給管１４の内部が更に冷やされ、複数のドライアイス粒１００ｂが氷でつながった塊が発生すること及び供給管１４の内部の流路の壁面に氷又は霜が固着することを抑制しやすくなる。 As a result, dry air can be more reliably supplied to the area surrounded by the enclosing part 41 than when the enclosing part 41 is not provided. Therefore, in the range surrounded by the surrounding portion 41 , water vapor contained in the gas becomes ice or frost, and formation of an ice layer or a frost layer on the outer peripheral surface of the supply pipe 14 can be easily suppressed. As a result, the ice layer or frost layer also works as a heat insulating layer, so that the inside of the supply pipe 14 is further cooled, and a plurality of dry ice grains 100b are connected by ice to form a lump, and the supply pipe It becomes easy to suppress ice or frost sticking to the wall surface of the channel inside 14 .

（８）さらに包囲部４１の内部の相対湿度を測定する湿度計５３を備えていてもよい。湿度計５３が包囲部４１の内部の相対湿度を測定する場合も、湿度計５１の場合と同様に包囲部４１内部の空気の状態を調節するような制御が行われるように構成されてもよい。 (8) Further, a hygrometer 53 for measuring the relative humidity inside the enclosure 41 may be provided. When the hygrometer 53 measures the relative humidity inside the enclosure 41 , it may be configured to perform control to adjust the state of the air inside the enclosure 41 as in the case of the hygrometer 51 . .

すなわち、コンプレッサ２１の出力、第２給気弁１８及び第２排気弁１９の開閉を包囲部４１の内部の相対湿度に応じて調節してもよい。
（９）また、包囲部４１の内部の圧力を測定する圧力計５４を備えていてもよい。圧力計５４が包囲部４１の内部の圧力を測定する場合も、圧力計５２の場合と同様に包囲部４１に供給される空気の量を調節するような制御が行われるように構成されてもよい。 That is, the output of the compressor 21 and the opening/closing of the second air supply valve 18 and the second exhaust valve 19 may be adjusted according to the relative humidity inside the enclosure 41 .
(9) Further, a pressure gauge 54 for measuring the pressure inside the enclosure 41 may be provided. When the pressure gauge 54 measures the pressure inside the enclosure 41 , it may be configured to perform control to adjust the amount of air supplied to the enclosure 41 as in the case of the pressure gauge 52 . good.

すなわち、コンプレッサ２１の出力、第２給気弁１８及び第２排気弁１９の開閉を包囲部４１の内部の圧力に応じて調節してもよい。
（１０）上記包囲部４１内の相対湿度及び圧力の状態に応じてコンプレッサ２１の出力、第２給気弁１８及び第２排気弁１９の開閉を調節する制御部６２を更に備えてもよい。制御部６２は、制御部６１と同様、表示を行う表示画面６２ａを備えていてもよい。制御部６２は、例えば、制御部６２が制御する第２給気弁１８及び第２排気弁１９の開閉状態又は弁の開度、湿度計５３及び圧力計５４により測定される包囲部４１の内部の相対湿度及び圧力の大きさを表示画面６２ａに表示するように構成されてもよい。 That is, the output of the compressor 21 and the opening/closing of the second intake valve 18 and the second exhaust valve 19 may be adjusted according to the pressure inside the enclosure 41 .
(10) A controller 62 may be further provided for adjusting the output of the compressor 21 and the opening/closing of the second air supply valve 18 and the second exhaust valve 19 according to the relative humidity and pressure conditions within the enclosure 41 . Like the control unit 61, the control unit 62 may include a display screen 62a for displaying. The control unit 62 controls, for example, the opening/closing states of the second air supply valve 18 and the second exhaust valve 19 controlled by the control unit 62 or the degree of opening of the valves, and the inside of the enclosure 41 measured by the hygrometer 53 and the pressure gauge 54 . may be configured to display the relative humidity and the magnitude of the pressure on the display screen 62a.

（１１）上記実施形態では、ホッパー１１と、スクリューフィーダー１２と、ペレット粉砕部１３と、供給管１４と及びドライアイス供給チューブ１５の少なくとも一部とが筐体１０ａの内部に含まれるが、筐体１０ａの内部にこれらの構成が含まれるものに限定されるものではない、すなわち、これらの構成のうちいずれか、又は、これらの構成のいずれかの一部が筐体１０ａの外部に露出している構成であってもよい。 (11) In the above embodiment, the hopper 11, the screw feeder 12, the pellet crusher 13, the supply pipe 14, and at least part of the dry ice supply tube 15 are included inside the housing 10a. The body 10a is not limited to including these configurations, i.e., any of these configurations or any part of any of these configurations may be exposed to the outside of the housing 10a. It may be a configuration that

例えば、ホッパー１１のホッパー投入口１１ａが筐体１０ａから露出している場合、筐体１０ａの外部から、ホッパー投入口１１ａが筐体１０ａの内部に配置されている場合に比べて、ドライアイスペレット１００ａを投入する操作を行いやすい。 For example, when the hopper inlet 11a of the hopper 11 is exposed from the housing 10a, compared to the case where the hopper inlet 11a is arranged inside the housing 10a from the outside of the housing 10a, dry ice pellets It is easy to perform the operation of throwing in 100a.

（１２）上記実施形態において、筐体１０ａ又は包囲部４１の内部に対して気体を供給する流路又は、筐体１０ａ又は包囲部４１の内部から気体を排出する流路において、気体の逆流を防止するためのいわゆるトラップが設けられていてもよい。トラップとしては公知のトラップが用いられてもよい。 (12) In the above embodiment, in the flow path for supplying gas to the inside of the housing 10a or the enclosing part 41 or the flow path for discharging the gas from the inside of the housing 10a or the enclosing part 41, the backflow of the gas is prevented. A so-called trap may be provided to prevent this. A known trap may be used as the trap.

（１３）また、筐体１０ａ又は包囲部４１の内部に相対湿度を低下させるために水分を吸収する乾燥剤を配置してもよい。乾燥剤としては公知の乾燥剤が用いられてもよい。
（１４）上記実施形態では、１つのドライアイスブラスト装置１は、装置本体１０、圧縮空気供給部２０及び噴射部３０を１つずつ備える。しかしながら、各構成の数は１つずつに限定されるものではない。例えば、１つの装置本体１０に対して噴射部３０が複数存在していてもよい。この場合、各噴射部３０の合流部３１にドライアイス粒１００ｂを供給するようにドライアイス供給チューブ１５の流路が途中で枝分かれしてもよい。また、ドライアイスブラスト装置１に複数の噴射部３０が存在する場合、噴射部３０に圧縮空気を供給するためのコンプレッサ２１を噴射部３０の数に対応して備えてもよい。 (13) In addition, a desiccant that absorbs moisture may be placed inside the housing 10a or the enclosure 41 to reduce the relative humidity. A known desiccant may be used as the desiccant.
(14) In the above embodiment, one dry ice blasting device 1 includes one device main body 10, one compressed air supply unit 20, and one injection unit 30. As shown in FIG. However, the number of each configuration is not limited to one each. For example, a plurality of injection units 30 may exist for one device main body 10 . In this case, the flow path of the dry ice supply tube 15 may be branched in the middle so as to supply the dry ice particles 100b to the confluence portion 31 of each injection portion 30 . Further, when the dry ice blasting apparatus 1 has a plurality of injection units 30 , compressors 21 for supplying compressed air to the injection units 30 may be provided in correspondence with the number of injection units 30 .

（１５）上記実施形態における１つの構成要素が有する複数の機能を、複数の構成要素によって実現したり、１つの構成要素が有する１つの機能を、複数の構成要素によって実現したりしてもよい。また、複数の構成要素が有する複数の機能を、１つの構成要素によって実現したり、複数の構成要素によって実現される１つの機能を、１つの構成要素によって実現したりしてもよい。また、上記実施形態の構成の一部を省略してもよい。また、上記実施形態の構成の少なくとも一部を、他の上記実施形態の構成に対して付加又は置換してもよい。 (15) A plurality of functions possessed by one component in the above embodiment may be realized by a plurality of components, or a function possessed by one component may be realized by a plurality of components. . Also, a plurality of functions possessed by a plurality of components may be realized by a single component, or a function realized by a plurality of components may be realized by a single component. Also, part of the configuration of the above embodiment may be omitted. Moreover, at least part of the configuration of the above embodiment may be added or replaced with respect to the configuration of the other above embodiment.

１…ドライアイスブラスト装置、１０…装置本体、１０ａ…筐体、１０ｂ，１２ｃ，１２ｄ…開口、１１…ホッパー、１１ａ…ホッパー投入口、１１ｂ…ホッパー排出口、１２…スクリューフィーダー、１２ａ…フィーダー筒、１２ｂ…スクリュー、１３…ペレット粉砕部、１４…供給管、１５…ドライアイス供給チューブ、１６…第１給気弁、１６ａ…第１接続端、１７…第１排気弁、１８…第２給気弁、１８ａ…第２接続端、１９…第２排気弁、１９ａ…包囲排出路、２０…圧縮空気供給部、２１…コンプレッサ、２２…噴射空気供給チューブ、２３ａ…第１乾燥空気供給チューブ、２３ｂ…第１乾燥空気タンク、２３ｃ…第１貯蔵空気供給チューブ、２４ａ…第２乾燥空気供給チューブ、２４ｂ…第２乾燥空気タンク、２４ｃ…第２貯蔵空気供給チューブ、３０…噴射部、３１…合流部、３２…噴射ノズル、３２ａ…ノズル開口、４１…包囲部、５３…湿度計、５４…圧力計、６１，６２…制御部、６１ａ，６２ａ…表示画面、１００ａ…ドライアイスペレット、１００ｂ…ドライアイス粒、１００ｃ…結露、１００ｄ…氷霜、１２０ａ…本体部、１２０ｂ…スクリュー羽根、１３１ａ…粉砕ローラ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Dry ice blast apparatus, 10... Apparatus main body, 10a... Case, 10b, 12c, 12d... Opening, 11... Hopper, 11a... Hopper inlet, 11b... Hopper outlet, 12... Screw feeder, 12a... Feeder tube , 12b... screw, 13... pellet crusher, 14... supply pipe, 15... dry ice supply tube, 16... first air supply valve, 16a... first connection end, 17... first exhaust valve, 18... second supply Air valve 18a Second connection end 19 Second exhaust valve 19a Surrounding discharge passage 20 Compressed air supply unit 21 Compressor 22 Injection air supply tube 23a First dry air supply tube 23b... First dry air tank 23c... First stored air supply tube 24a... Second dry air supply tube 24b... Second dry air tank 24c... Second stored air supply tube 30... Injection section 31... Confluence part 32 Injection nozzle 32a Nozzle opening 41 Surrounding part 53 Hygrometer 54 Pressure gauge 61, 62 Control unit 61a, 62a Display screen 100a Dry ice pellet 100b Dry ice grains, 100c: dew condensation, 100d: ice frost, 120a: main body, 120b: screw blades, 131a: crushing roller.

Claims

an injection nozzle for injecting dry ice and an injection gas together;
a dry ice supply unit that supplies the dry ice injected from the injection nozzle to the injection nozzle;
an injection gas supply unit that supplies the injection gas injected from the injection nozzle to the injection nozzle;
a dry gas supply unit that supplies dry gas into the dry ice supply unit for adjusting the relative humidity in the dry ice supply unit;
with
A housing that houses the dry ice supply unit inside is provided,
The dry ice blasting device, wherein the dry gas supply unit supplies the dry gas to a peripheral range inside the housing and outside the dry ice supply unit.

The dry ice blasting device according to claim 1,
The dry ice supply unit
a dry ice storage unit that stores the dry ice;
A dry ice blasting apparatus comprising a supply pipe forming a flow path for supplying the dry ice from the dry ice storage unit to the injection nozzle.

The dry ice blasting device according to claim 2,
having an enclosing portion that encloses an outer peripheral range of the supply pipe;
The dry ice blasting device, wherein the dry gas supply section further supplies the dry gas to the surrounding section.

The dry ice blasting device according to any one of claims 1 to 3,
A dry ice blasting apparatus comprising a gas supply unit that supplies supply gas to the injection gas supply unit as the injection gas and to the dry gas supply unit as the dry gas, respectively.

The dry ice blasting device according to any one of claims 1 to 4,
a humidity measurement unit that measures the relative humidity of at least part of the gas inside or around the dry ice supply unit;
a control unit for controlling the dry gas supply unit so that the supply amount of the dry gas in the dry gas supply unit increases as the relative humidity measured by the humidity measurement unit increases;
A dry ice blasting device, further comprising:

The dry ice blasting device according to any one of claims 1 to 5,
A dry ice blasting device, wherein the relative humidity inside the housing is 30% or less.

The dry ice blasting device according to any one of claims 1 to 5,
A dry ice blasting device, wherein the relative humidity inside the housing is 15% or less.

The dry ice blasting device according to any one of claims 1 to 7,
A dry ice blasting device, wherein the dry gas is compressed air.