JP7284560B2 - 電極埋設部材 - Google Patents
電極埋設部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7284560B2 JP7284560B2 JP2018177024A JP2018177024A JP7284560B2 JP 7284560 B2 JP7284560 B2 JP 7284560B2 JP 2018177024 A JP2018177024 A JP 2018177024A JP 2018177024 A JP2018177024 A JP 2018177024A JP 7284560 B2 JP7284560 B2 JP 7284560B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- base material
- intermediate insulator
- terminal
- internal electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 111
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 128
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 16
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 8
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 3
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical compound Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000000462 isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
表面(例えば、実施形態の表面2a。以下同一。)及び裏面(例えば、実施形態の裏面2b。以下同一。)を有し、セラミックスからなる板状の基材(例えば、実施形態の基材2。以下同一。)と、
前記基材に埋設された内部電極(例えば、実施形態の内部電極3。以下同一。)と、
前記基材の厚み方向において前記内部電極と重なる位置であって、前記内部電極よりも前記基材の表面から離れた位置に設けられた端子(例えば、実施形態の端子4。以下同一。)と、
前記基材とは別部材であり、前記内部電極と前記端子との間において前記基材に埋設された中間絶縁体(例えば、実施形態の中間絶縁体5。以下同一。)と、
前記中間絶縁体の外面に沿って設けられ、前記端子と前記内部電極とを接続する接続用電極(例えば、実施形態の接続用電極6。以下同一。)と、
を備える電極埋設部材(例えば、実施形態の電極埋設部材1。以下同一。)であって、
前記基材の厚み方向に沿って見たときに、前記接続用電極には、前記端子と前記接続用電極とが重なる重複領域(例えば、実施形態の接続界面7。以下同一。)よりも少なくとも外側に位置する空隙である切欠部(例えば、実施形態の切欠部8、スリット15。以下同一。)が形成され、
前記切欠部に前記基材及び前記中間絶縁体の少なくとも一方が侵入することにより前記基材と前記中間絶縁体とが一体化されていることを特徴とする。
前記基材に埋設された内部電極と、
前記基材の厚み方向において前記内部電極と重なる位置であって、前記内部電極よりも前記基材の表面から離れた位置に設けられた端子と、
前記内部電極と前記端子との間において前記基材に埋設された中間絶縁体と、
前記中間絶縁体の外面に沿って設けられ、前記端子と前記内部電極とを接続する接続用電極と、
を備える電極埋設部材であって、
前記接続用電極は、前記中間絶縁体の外面に設けられたらせん状の延出片を有し、
前記延出片によって画定されるらせん状の空隙に前記基材及び前記中間絶縁体の少なくとも一方が侵入することにより前記基材と前記中間絶縁体とが一体化されていることが好ましい。
前記基材に埋設された内部電極と、
前記基材の厚み方向において前記内部電極と重なる位置であって、前記内部電極よりも前記基材の表面から離れた位置に設けられた端子と、
前記基材とは別部材であり、前記内部電極と前記端子との間において前記基材に埋設された中間絶縁体と、
前記中間絶縁体の外面に沿って設けられ、前記端子と前記内部電極とを接続する接続用電極と、
を備える電極埋設部材であって、
前記接続用電極は、前記中間絶縁体の少なくとも外面に形成された導電層によって端子と前記内部電極とが接続され、
前記中間絶縁体の外面であって、前記導電層の形成されていない部分で前記基材と前記中間絶縁体とが一体化されていることが好ましい。
図1から図3を参照して、本発明の第1実施形態の電極埋設部材1を説明する。第1実施形態の電極埋設部材1は、ウエハ保持装置であり、セラミックスとして酸化イットリウムを添加した窒化アルミニウムからなる板状の基材2と、基材2に埋設された内部電極3と、端子4と、基材2と主成分が同一(全ての構成成分が同じ場合も含む)材料で成形された円錐台状の中間絶縁体5と、接続用電極6と、を備える。なお、基材2や中間絶縁体5は、他のセラミックス、例えば、酸化アルミニウム(Al2O3)、炭化珪素(SiC)、窒化珪素(Si3N4)、二酸化ジルコニウム(ZrO2)、チタン酸バリウム(BaTiO3)、を主成分とするもので成形してもよい。
て端子4と接続用電極6とが重なる重複領域ともいう。)として、接続用電極6には、基材2の厚み方向に沿って見たときに、端子4と接続用電極6とが接続される接続界面7よりも少なくとも外側に位置する空隙である切欠部8が形成されている。この切欠部8に基材2及び中間絶縁体5の少なくとも一方が侵入することにより基材2と中間絶縁体5とが一体化されている。ここで、「一体化」とは、基材2の構成材料と中間絶縁体5の構成材料とが焼結している状態を含む。
第2実施形態の電極埋設部材1は、接続用電極6を図4に示すように、レーザー加工によって、切欠部としてのスリット15を設けている。他の構成は、第1実施形態と同一である。第2実施形態の電極埋設部材1によっても、切欠部が形成されていないものと比較して、スリット15に基材2及び中間絶縁体5の少なくとも一方が侵入することにより中間絶縁体5と基材2との一体性を向上させることができ、第1実施形態のものと同様の作用効果を得ることができる。
第1実施形態及び第2実施形態においては、接続用電極6は、基材2の厚み方向に沿ってみたときに、接続界面7よりも外側で内部電極3に接続されている。しかしながら、図5に示すように、断面菱形状となるように中間絶縁体5を形成し、接続用電極6は、当該中間絶縁体5を覆うようにして中間絶縁体5の外面に沿って、図6に断面で示すように、拡大部10から内部電極に向かうに従って中心線9に近づく方向に縮まる縮小部11(突片6a)を備えていてもよい。
図7から図9を参照して、本発明の第4実施形態の電極埋設部材1を説明する。中間絶縁体5は、円柱状である。接続用電極6は、一端部6dと、この一端部6dから延びている延出片6bと、この延出片6bの一端部6dと反対側の端部に形成される他端部6cとを備えている。一端部6dは中間絶縁体5の一端面に配置され、延出片6bは中間絶縁体5の外面にらせん状に巻かれ、他端部6cは中間絶縁体5の他端面に配置されている。
次に第5実施形態について説明する。なお、構成など第1実施形態と共通する部分は説明を省略する。図10に示すように、接続用電極17は、中間絶縁体5の少なくとも外面にタングステンを含む導体ペーストの塗布によって形成された導電層によって端子4と内部電極3とが接続されている。中間絶縁体5の外面であって、導電層の形成されていない部分17aで基材2と中間絶縁体5とが一体化されている。
次に第6実施形態について説明する。なお、構成など第5実施形態と共通する部分は説明を省略する。図11に示すように、中間絶縁体5は、端子4の直径よりも大きい直径で且つ高さが直径の大きさよりも小さい薄い円柱部を備える。接続用電極17は、円柱部の両端面と、外周面の一部とに形成されている。接続用電極17は、基材2の厚み方向と直角方向(側方)において導電層の形成されていない部分(空隙)17aを備える。内部電極3は、貫通孔12が形成されていない。
次に第7実施形態について説明する。なお、構成など第5実施形態と共通する部分は説明を省略する。図12に示すように、中間絶縁体5は、端子4の直径よりも大きい直径で且つ高さが直径の大きさよりも小さい薄い円柱部を備える。接続用電極17は、円柱部の両端面と、外周面の一部とに形成されている。接続用電極17は、電極埋設部材1の厚み方向と直角方向(側方)において導電層の形成されていない部分(空隙)17aを備える。内部電極3は、厚み方向において端子4と重なる位置に貫通孔12を備える。
2 基材
2a 表面
2b 裏面
3 内部電極
4 端子
5 中間絶縁体
6、17 接続用電極
6a 突片
7 接続界面
8 切欠部
9 中心線
10 拡大部
11 縮小部
12 貫通孔
13 緩衝部材
14 貫通孔
15 スリット
16 接続部材
Claims (9)
- 表面及び裏面を有し、セラミックスからなる板状の基材と、
前記基材に埋設された内部電極と、
前記基材の厚み方向において前記内部電極と重なる位置であって、前記内部電極よりも前記基材の表面から離れた位置に設けられた端子と、
前記基材とは別部材であり、前記内部電極と前記端子との間において前記基材に埋設された中間絶縁体と、
前記中間絶縁体の外面に沿って設けられ、前記端子と前記内部電極とを接続する接続用電極と、
を備える電極埋設部材であって、
前記基材の厚み方向に沿って見たときに、前記接続用電極には、前記端子と前記接続用電極とが重なる重複領域よりも少なくとも外側に位置する空隙である切欠部が形成され、
前記切欠部に前記基材及び前記中間絶縁体の少なくとも一方が侵入することにより前記基材と前記中間絶縁体とが一体化されていることを特徴とする電極埋設部材。 - 請求項1に記載の電極埋設部材であって、
前記基材の表面に沿った方向において、前記中間絶縁体の前記端子側の端部の外縁は、前記重複領域の外縁よりも外側に位置することを特徴とする電極埋設部材。 - 請求項2に記載の電極埋設部材であって、
前記中間絶縁体は、前記接続用電極において前記端子と接続される部分である接続界面側から前記内部電極側に向かうに従って前記重複領域の中心を通る前記基材の厚みに沿った中心線から離れる方向に次第に広がる拡大部を備えることを特徴とする電極埋設部材。 - 請求項3に記載の電極埋設部材であって、
前記基材の厚み方向に沿って見たときに、前記接続用電極は、前記重複領域よりも外側で前記内部電極に接続されていることを特徴とする電極埋設部材。 - 請求項3に記載の電極埋設部材であって、
前記接続用電極は、前記拡大部から前記内部電極に向かうに従って前記中心線に近づく方向に次第に狭まる縮小部を備えることを特徴とする電極埋設部材。 - 請求項1から請求項5の何れか1項に記載の電極埋設部材であって、
前記内部電極には、貫通孔が形成され、前記貫通孔に前記中間絶縁体及び前記基材の少なくとも一方が侵入することにより前記中間絶縁体と前記基材とが直接つながっていることを特徴とする電極埋設部材。 - 表面及び裏面を有し、セラミックスからなる板状の基材と、
前記基材に埋設された内部電極と、
前記基材の厚み方向において前記内部電極と重なる位置であって、前記内部電極よりも前記基材の表面から離れた位置に設けられた端子と、
前記内部電極と前記端子との間において前記基材に埋設された中間絶縁体と、
前記中間絶縁体の外面に沿って設けられ、前記端子と前記内部電極とを接続する接続用電極と、
を備える電極埋設部材であって、
前記接続用電極は、前記中間絶縁体の外面に設けられたらせん状の延出片を有し、
前記延出片によって画定されるらせん状の空隙に前記基材及び前記中間絶縁体の少なくとも一方が侵入することにより前記基材と前記中間絶縁体とが一体化されていることを特徴とする電極埋設部材。 - 表面及び裏面を有し、セラミックスからなる板状の基材と、
前記基材に埋設された内部電極と、
前記基材の厚み方向において前記内部電極と重なる位置であって、前記内部電極よりも前記基材の表面から離れた位置に設けられた端子と、
前記基材とは別部材であり、前記内部電極と前記端子との間において前記基材に埋設された中間絶縁体と、
前記中間絶縁体の外面に沿って設けられ、前記端子と前記内部電極とを接続する接続用電極と、
を備える電極埋設部材であって、
前記接続用電極は、前記中間絶縁体の少なくとも外面に形成された導電層によって端子と前記内部電極とが接続され、
前記中間絶縁体の外面であって、前記導電層の形成されていない部分で前記基材と前記中間絶縁体とが一体化されていることを特徴とする電極埋設部材。 - 請求項8に記載の電極埋設部材であって、
前記内部電極は、前記基材の厚み方向において前記端子と重なる位置に空隙を備えることを特徴とする電極埋設部材。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180129659A KR102356748B1 (ko) | 2017-10-30 | 2018-10-29 | 전극 매설 부재 |
US16/173,028 US10849221B2 (en) | 2017-10-30 | 2018-10-29 | Electrode embedded member |
TW107138137A TWI713098B (zh) | 2017-10-30 | 2018-10-29 | 電極埋設構件 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017209382 | 2017-10-30 | ||
JP2017209382 | 2017-10-30 | ||
JP2018073635 | 2018-04-06 | ||
JP2018073635 | 2018-04-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019179917A JP2019179917A (ja) | 2019-10-17 |
JP7284560B2 true JP7284560B2 (ja) | 2023-05-31 |
Family
ID=68279002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018177024A Active JP7284560B2 (ja) | 2017-10-30 | 2018-09-21 | 電極埋設部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7284560B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010114351A (ja) | 2008-11-10 | 2010-05-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 静電チャック装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3188057B2 (ja) * | 1993-06-28 | 2001-07-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 静電チャック |
-
2018
- 2018-09-21 JP JP2018177024A patent/JP7284560B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010114351A (ja) | 2008-11-10 | 2010-05-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 静電チャック装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019179917A (ja) | 2019-10-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20180090349A1 (en) | Heating device | |
KR102356748B1 (ko) | 전극 매설 부재 | |
JP7284560B2 (ja) | 電極埋設部材 | |
CN107872903B (zh) | 加热装置 | |
US7633738B2 (en) | Electrostatic chuck and manufacturing method thereof | |
JP7519168B2 (ja) | セラミックス部材の製造方法 | |
JP4545896B2 (ja) | ヒータユニット及びその製造方法 | |
JP7109258B2 (ja) | 電極埋設部材の製造方法 | |
JP4703442B2 (ja) | 基板加熱装置 | |
US10750611B2 (en) | Electrode embedded member | |
JP7125299B2 (ja) | 電極埋設部材及びその製造方法 | |
JP7109262B2 (ja) | 電極埋設部材 | |
JP7052796B2 (ja) | シャワーヘッド及びその製造方法 | |
JP7227806B2 (ja) | 保持装置 | |
JP2017191910A (ja) | 基板保持装置及びその製造方法 | |
TWI767080B (zh) | 電極埋設構件 | |
JP2019175883A (ja) | 加熱装置 | |
US11869796B2 (en) | Electrode-embedded member and method for manufacturing same, electrostatic chuck, and ceramic heater | |
JP7098376B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP7122154B2 (ja) | 半導体製造装置用部品 | |
JP6903512B2 (ja) | 接合体 | |
JP2019175882A (ja) | 加熱装置 | |
JP2020177735A (ja) | 電極埋設部材の製造方法 | |
CN116895588A (zh) | 接合结构体 | |
JPH08298203A (ja) | 電子部品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210616 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220526 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220614 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220803 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230516 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230519 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7284560 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |