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JP7283851B2 - Laser processing equipment - Google Patents

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JP7283851B2
JP7283851B2 JP2019216899A JP2019216899A JP7283851B2 JP 7283851 B2 JP7283851 B2 JP 7283851B2 JP 2019216899 A JP2019216899 A JP 2019216899A JP 2019216899 A JP2019216899 A JP 2019216899A JP 7283851 B2 JP7283851 B2 JP 7283851B2
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Description

本発明は、例えばプリント基板に対してレーザを照射して穴あけ加工を行うためのレーザ加工装置に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a laser processing apparatus for drilling holes by irradiating a laser onto a printed circuit board, for example.

近年、レーザ加工装置としては、例えば特許文献1に開示されているように、レーザ加工機本体と、単一のワークの供給側ストッカと、単一のワークの排出ストッカと、ワークを一時的に保持するワーク載置台を有する供給側移動装置および排出側移動装置と、で構成され、複数のワークを同時に供給し、同時に加工し、同時に排出する処理を行う際に、ワーク載置台にワークを一時的に保持することで、供給ストッカおよび排出ストッカをそれぞれ単一として装置設置面積を縮小することを可能にしたものがある。 In recent years, as a laser processing apparatus, for example, as disclosed in Patent Document 1, a laser processing machine main body, a single work supply side stocker, a single work discharge stocker, and a work temporarily It is composed of a supply-side moving device and a discharge-side moving device having a work mounting table to hold, and when performing processing of simultaneously supplying a plurality of works, processing them at the same time, and discharging them at the same time, the work is temporarily placed on the work mounting table. In some cases, it is possible to reduce the installation area of the apparatus by using a single supply stocker and a single discharge stocker by holding the same.

しかしながら、特許文献1に開示された方式であると、ワーク受台やストッカに載置されたワークが整列されていないので、ワーク受台やストッカからテーブル上にワークを搬入すると、ワーク表面に設けられたアライメントマークを読み取るためのカメラの撮像エリアからアライメントマークが外れてしまう。そのため、アライメントマークの読み取りに時間を要し、加工効率が低下した。 However, in the method disclosed in Patent Document 1, the works placed on the work cradle or stocker are not aligned. The alignment marks are out of the imaging area of the camera for reading the alignment marks. Therefore, it takes time to read the alignment marks, and the processing efficiency is lowered.

特開2005-297007号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-297007

そこで本発明は、アライメントマークの読み取り時間を短縮し、加工効率の向上させることができるレーザ加工装置を得ることを目的とするものである。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a laser processing apparatus capable of shortening the time for reading alignment marks and improving processing efficiency.

本願において開示される発明のうち、代表的なレーザ加工装置は、加工前のワークが積載される搬入側ストッカと、第1の方向に並べて載置される複数のワークを前記第1の方向および前記第1の方向に直交する第2の方向へ移動させるテーブルと、前記複数のワークの各々を加工するために前記第1の方向に並べて配置されたレーザユニットと、を有するレーザ加工装置おいて、前記複数のワークと同数の前記第1の方向に並んだ搬入側の吸着ヘッドと、前記テーブルに移す前のワークを一時的に載置するための前記複数のワークと同数のワーク載置台であって、各々は載置されたワークの整列機能を有し、そのうちの一つは前記第2の方向に移動して前記搬入側ストッカからワークを受取るようになった可動形式のものと、前記可動形式ワーク載置台を他のワーク載置台とともに前記第1の方向に並んだ状態にして、前記可動形式ワーク載置台から前記吸着ヘッドによりワークを他のワーク載置台に移し、全てのワーク載置台を前記第1の方向に並んだ状態にして、全てのワーク載置台の各々から前記吸着ヘッドにより整列動作を行った後のワークを前記テーブルに移すようにしたことを特徴とする。 Among the inventions disclosed in the present application, a typical laser processing apparatus includes a carry-in side stocker on which works to be processed are loaded, and a plurality of works placed side by side in a first direction. A laser processing apparatus comprising: a table that moves in a second direction orthogonal to the first direction; and laser units arranged side by side in the first direction for processing each of the plurality of works. a suction head on the carry-in side arranged in the first direction in the same number as the plurality of works; each of which has a function of aligning the placed works, one of which is of a movable type that moves in the second direction to receive the work from the loading-side stocker; The movable work mounting table is arranged in the first direction together with other work mounting tables, and the work is moved from the movable work mounting table to another work mounting table by the suction head, and all the work mounting tables are moved. are aligned in the first direction, and the workpieces after being aligned by the suction head are transferred from each of all the workpiece mounting tables to the table.

なお、本願において開示される発明の代表的な特徴は以上の通りであるが、ここで説明していない特徴については、後述する発明を実施するための形態において説明しており、また特許請求の範囲にも示した通りである。 The typical features of the invention disclosed in the present application are as described above, but the features not described here are described in the detailed description below, and also in the claims. It is as shown also in the range.

本発明によれば、アライメントマークの読み取り時間を短縮し、加工効率を向上させることができる。 According to the present invention, the alignment mark reading time can be shortened and the processing efficiency can be improved.

本発明の一実施例に係るレーザ加工装置の構造を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the laser processing apparatus which concerns on one Example of this invention. 実施例におけるワークの整列機能を行うための構造を示す図である。It is a figure which shows the structure for performing the alignment function of a workpiece|work in an Example. 実施例におけるワークの整列動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the alignment operation|movement of the workpiece|work in an Example. 実施例におけるワーク搬入動作を説明するためのフローチャートである。It is a flow chart for explaining work carrying-in operation in an example. 実施例におけるワーク搬入動作を説明するためのフローチャートである。It is a flow chart for explaining work carrying-in operation in an example. 実施例における一連の加工動作を説明するためのフローチャートである。4 is a flow chart for explaining a series of machining operations in the embodiment;

以下、図面を参照しながら本発明に係る実施の形態を実施例に沿って説明する。なお、以下の説明において、同等な各部には同一の符号を付して説明を省略する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described along with examples with reference to the drawings. In addition, in the following description, the same code|symbol is attached|subjected to each equivalent part, and description is abbreviate|omitted.

図1は本願発明の一実施例に係るレーザ加工装置の構造を示す図である。同図において、レーザ加工装置は、ワーク1に孔や溝をレーザ加工するレーザ加工機2と、未加工のワーク1をレーザ加工機2へ供給する搬入装置3と、レーザ加工機2に対して搬入装置3と対称な位置に設けられ加工されたワーク1を排出する搬出装置(図示を省略)と、から構成される。レーザ加工機2は、載置された複数(図では2個)のワーク1をX方向およびY方向に移動自在なXYテーブル4と、XYテーブル4上に固定されワークを吸着又は解放する真空吸着テーブル(図示を省略)と、複数のワーク1の各々に対してレーザ光を照射する複数(図では2個)のレーザユニット5であってY方向に並べて配置されたものと、複数のレーザユニット5を設けた門型のコラム6と、XYテーブル4が設置されたベッド7と、レーザ加工機5および後述する搬入装置3を制御する制御装置8を備えてなる。 FIG. 1 is a diagram showing the structure of a laser processing apparatus according to one embodiment of the present invention. In the figure, the laser processing apparatus includes a laser processing machine 2 for laser processing holes and grooves in a work 1, a loading device 3 for supplying the unprocessed work 1 to the laser processing machine 2, and a laser processing machine 2. and a carry-out device (not shown) provided at a position symmetrical to the carry-in device 3 for discharging the processed workpiece 1 . The laser processing machine 2 includes an XY table 4 on which a plurality of (two in the figure) workpieces 1 placed can be moved in the X and Y directions, and a vacuum adsorption that is fixed on the XY table 4 to adsorb or release the workpieces. A table (not shown), a plurality of (two in the figure) laser units 5 for irradiating a laser beam to each of a plurality of workpieces 1 arranged side by side in the Y direction, and a plurality of laser units 5, a bed 7 on which an XY table 4 is installed, and a control device 8 for controlling a laser processing machine 5 and a loading device 3 to be described later.

一方、搬入装置3は、ワーク1を吸着又は解放する吸着パッド9aが複数設けられた吸着ヘッド10aと、吸着ヘッド10aを上昇下降させるためのリフタ11aと、吸着パッド9bが複数設けられた吸着ヘッド10bを上昇下降させるためのリフタ11bと、リフタ11aおよびリフタ11bが固定されたスライダ12と、スライダ12を案内するガイドレール13と、ワーク1を一時的に保持しておく固定されたワーク載置台14と、X方向に移動自在なワーク載置台15と、加工すべき複数のワーク1が積載されたストッカ16と、さらにスライダ12、ワーク載置台14、ワーク載置台15およびストッカ16が設けられた搬入装置台座17を備えてなる。吸着ヘッド10a、10bはY方向に並べて配置され、Y方向に移動自在である。リフタ11aと11bはそれぞれ独立に上昇下降させることができる。ストッカ16の上方には、吸着ノズル9cが複数設けられた吸着ヘッド10cと、吸着ヘッド10cを紙面のZ方向に移動させるためのリフタ11cが配置されている。なお、ワーク載置台14、15からXYテーブル4へ移動させる場合は、図1に示されるように、複数のワーク1、XYテーブル4、吸着ヘッド10a、10bおよびワーク載置台14、15がY方向で一直線上に配置される。 On the other hand, the carrying-in device 3 includes a suction head 10a provided with a plurality of suction pads 9a for sucking or releasing the workpiece 1, a lifter 11a for raising and lowering the suction head 10a, and a suction head provided with a plurality of suction pads 9b. a lifter 11b for raising and lowering the workpiece 10b; a slider 12 to which the lifters 11a and 11b are fixed; a guide rail 13 for guiding the slider 12; 14, a workpiece mounting table 15 movable in the X direction, a stocker 16 loaded with a plurality of workpieces 1 to be processed, a slider 12, a workpiece mounting table 14, a workpiece mounting table 15 and a stocker 16. It comprises a carrying-in device pedestal 17 . The suction heads 10a and 10b are arranged side by side in the Y direction and are movable in the Y direction. The lifters 11a and 11b can be raised and lowered independently. Above the stocker 16, a suction head 10c having a plurality of suction nozzles 9c and a lifter 11c for moving the suction head 10c in the Z direction of the drawing are arranged. When moving from the workpiece mounting tables 14 and 15 to the XY table 4, as shown in FIG. are arranged in a straight line.

ワーク載置台14と15のそれぞれには、以下のようにしてワーク1が載置される。
先ずワーク載置台14であるが、ワーク載置台15が図示の位置からストッカ16側に移動してストッカ16から一つのワーク1がワーク載置台15に移される。その後、ワーク載置台15は図示の位置に戻り、吸着ヘッド10bによりワーク載置台15に載置されたワーク1はワーク載置台14に移される。
次に、再びワーク載置台15が図示の位置からストッカ16側に移動して一つのワーク1がワーク載置台15に移される。その後、図示の位置に戻る。
このようにして、ワーク載置台14と15のそれぞれに一つずつワーク1が載置される。
ワーク載置台14と15のそれぞれには、ここに載置されたワーク1を整列する機能が備えられている。
The work 1 is mounted on each of the work mounting tables 14 and 15 as follows.
First, regarding the work table 14 , the work table 15 is moved from the illustrated position to the stocker 16 side, and one work 1 is transferred from the stocker 16 to the work table 15 . After that, the workpiece mounting table 15 returns to the position shown in the figure, and the workpiece 1 mounted on the workpiece mounting table 15 is transferred to the workpiece mounting table 14 by the suction head 10b.
Next, the workpiece mounting table 15 is moved again from the illustrated position to the stocker 16 side, and one workpiece 1 is transferred to the workpiece mounting table 15 . It then returns to the position shown.
In this way, one work 1 is placed on each of the work placement tables 14 and 15 .
Each of the workpiece mounting tables 14 and 15 has a function of aligning the workpieces 1 mounted thereon.

図2は、ワーク載置台14と15における整列機能のための構造を説明するための図であり、整列前の状態を(a)に、整列後の状態を(b)にそれぞれ示す。
図2において、18、19はそれぞれワーク整列部材であり、ワーク整列時には矩形のワーク1の2辺に当接する。ワーク整列部材18、19は、制御装置8により制御される駆動手段(図示を省略する)により駆動される。ワーク1が載置される前は、ワーク整列部材18は紙面下側へ、ワーク整列部材19は紙面左側へそれぞれ移動されている。ワーク1が載置された後、ワーク整列部材18をX方向(矢印の方向)に、ワーク整列部材19をY方向(矢印の方向)に駆動し、ワーク1を整列するようになっている。
また図3において、実線で示す20はワーク1の整列前の位置、点線で示す21はワーク1の整列後の位置である。吸着ヘッド10bによってワーク載置台14と15のそれぞれにワーク1が載置された直後では、位置20となり、ワーク整列手段により点線で示される位置21に整列される。
ワーク載置台14と15に載置され、整列動作が終了したワーク1は、吸着ヘッド10aと10bによりXYテーブル4に移される。
FIGS. 2A and 2B are diagrams for explaining the structure for the alignment function of the workpiece mounting tables 14 and 15, where (a) shows the state before alignment and (b) shows the state after alignment.
In FIG. 2, reference numerals 18 and 19 denote workpiece alignment members, which abut on two sides of a rectangular workpiece 1 when aligning workpieces. The workpiece alignment members 18 and 19 are driven by drive means (not shown) controlled by the controller 8 . Before the work 1 is placed, the work aligning member 18 and the work aligning member 19 are moved to the lower side and the left side of the paper, respectively. After the work 1 is placed, the work aligning member 18 is driven in the X direction (arrow direction) and the work aligning member 19 is driven in the Y direction (arrow direction) to align the work 1 .
In FIG. 3, a solid line 20 indicates the position of the workpiece 1 before alignment, and a dotted line 21 indicates the position of the workpiece 1 after alignment. Immediately after the work 1 is mounted on each of the work mounting tables 14 and 15 by the suction head 10b, the work 1 is positioned at position 20, and is aligned at position 21 indicated by the dotted line by the work alignment means.
The work 1 placed on the work placement tables 14 and 15 and having been aligned is moved to the XY table 4 by the suction heads 10a and 10b.

図4および図5は、上記のワーク搬入工程を説明するためのフローチャートである。各ステップの動作は以下の通りである。
ステップ501:ストッカ16上に積載されたワーク1の1枚を吸着ヘッド10cに吸着させた状態で上昇させる。
ステップ502:ワーク載置台15を装置後方、すなわち、ストッカ16上に積載されたワーク1の上方であって、ステップ501で吸着されているワーク1の下方へ移動させる。
ステップ503:吸着ヘッド10cを下降させワーク載置台15の上面にワーク1を載置し、吸着ヘッド10cを上昇させる。このとき、ワーク載置台15のワーク整列部材19、20は押付けを解除した状態である。
ステップ504:ワーク1が載置されたワーク載置台15を図1で示された位置へ移動させる。
ステップ505:吸着ヘッド10bを下降させワーク1を吸着後上昇させる。
ステップ506:吸着ヘッド10bをワーク載置台14の上方へ移動させる。
ステップ507:吸着ヘッド10bを下降させワーク載置台15にワーク1を載置し、その後吸着ヘッド10bを上昇させる。
ステップ508:吸着ヘッド10bをワーク載置台15の上方へ移動させる。
ステップ509:吸着ヘッド10cを下降させワーク1を吸着後上昇させる。
ステップ510:ワーク載置台15を装置後方、すなわち、ストッカ16上に積層されたワーク1の上方、かつ、ステップ509で上昇させた吸着ヘッド10cが吸着したワーク1の下方に移動させる。
ステップ511:吸着ヘッド10cを下降させワーク載置台15にワーク1を載置し、その後吸着ヘッド10cを上方へ移動させる。
ステップ512:ワーク載置台15を図1で示された位置へ移動させる。
ステップ513:ワーク整列部材18と19を駆動し、ワーク載置台14と15に載置されたワーク1を所定の位置に整列させ、その後、ワーク整列部材18を紙面下側へ、ワーク整列部材19を紙面左側へ駆動し、押付けを解除する。
ステップ514:吸着ヘッド10a、10bを下降させワーク載置台14と15に整列されたワーク1をそれぞれ吸着後上昇させる。
ステップ515:XYテーブル4の上方へ吸着ヘッド10a、10bを移動させる。
ステップ516:吸着ヘッド10a、10bを下降させ、XYテーブル4にワーク1を載置し、その後吸着ヘッド10a、10bを上昇させる。
ステップ517:吸着ヘッド10a、10bを装置右側、すなわち、ワーク載置台14と15の上方へ移動させる。
4 and 5 are flow charts for explaining the work loading process described above. The operation of each step is as follows.
Step 501: One of the works 1 loaded on the stocker 16 is lifted while being sucked by the suction head 10c.
Step 502 : Move the work table 15 to the rear of the apparatus, that is, above the work 1 loaded on the stocker 16 and below the work 1 sucked in step 501 .
Step 503: The suction head 10c is lowered to place the workpiece 1 on the upper surface of the work table 15, and the suction head 10c is raised. At this time, the workpiece alignment members 19 and 20 of the workpiece mounting table 15 are in a state of being released from pressing.
Step 504: Move the work table 15 on which the work 1 is placed to the position shown in FIG.
Step 505: The suction head 10b is lowered to lift the workpiece 1 after suction.
Step 506: The suction head 10b is moved above the work table 14. FIG.
Step 507: The suction head 10b is lowered to place the workpiece 1 on the work table 15, and then the suction head 10b is raised.
Step 508: The suction head 10b is moved above the work table 15. FIG.
Step 509: The suction head 10c is lowered to lift the workpiece 1 after suction.
Step 510: The work table 15 is moved to the rear of the apparatus, that is, above the works 1 stacked on the stocker 16 and below the works 1 picked up by the suction head 10c raised in step 509.
Step 511: The suction head 10c is lowered to place the workpiece 1 on the work table 15, and then the suction head 10c is moved upward.
Step 512: Move the work table 15 to the position shown in FIG.
Step 513: Drive the work aligning members 18 and 19 to align the work 1 placed on the work mounting tables 14 and 15 at a predetermined position, then move the work aligning member 18 downward in the plane of the paper and move the work aligning member 19 is driven to the left side of the paper to release the pressing.
Step 514: The suction heads 10a and 10b are lowered to lift the workpieces 1 aligned on the workpiece mounting tables 14 and 15 after suction.
Step 515 : Move the suction heads 10 a and 10 b above the XY table 4 .
Step 516: The suction heads 10a and 10b are lowered, the workpiece 1 is placed on the XY table 4, and then the suction heads 10a and 10b are raised.
Step 517: The suction heads 10a and 10b are moved to the right side of the apparatus, that is, above the workpiece mounting tables 14 and 15. FIG.

図6は、実施例における一連の加工動作を説明するためのフローチャートである。制御装置8の制御の下で、以下の処理ステップによりレーザ加工が行われる。
ステップ601:加工すべきワーク1がストッカ16にあるかを制御装置8が判断し、加工すべきワーク1がある場合はステップ602へ移行し、加工すべきワーク1がない場合は一連の動作を終了する。
ステップ602:搬入装置3からレーザ加工機2のXYテーブル4へワーク1を搬入する。搬入後、ステップ603へ移行する。
ステップ603:ワーク1をレーザ加工する。
ステップ604:加工されたワーク1をレーザ加工機2から図示を省略する搬出装置へ移動させる。
ここで、加工工程603を行っている期間に搬入工程602のステップ501~514を行って、次に搬入するワーク1を吸着ヘッド10aと10bで吸着上昇させ準備しておいても良い。この場合、段取り時間を短縮して、加工効率を向上させることができる。
FIG. 6 is a flow chart for explaining a series of machining operations in the embodiment. Under the control of the controller 8, laser processing is performed by the following processing steps.
Step 601: The control device 8 determines whether there is a work 1 to be processed in the stocker 16. If there is a work 1 to be processed, the process proceeds to step 602. If there is no work 1 to be processed, a series of operations are performed. finish.
Step 602 : The work 1 is carried from the carry-in device 3 to the XY table 4 of the laser processing machine 2 . After carrying in, the process moves to step 603 .
Step 603: laser process the workpiece 1;
Step 604: Move the machined workpiece 1 from the laser processing machine 2 to a carry-out device (not shown).
Here, Steps 501 to 514 of the loading step 602 may be performed while the processing step 603 is being performed, and the workpiece 1 to be loaded next may be suctioned and lifted by the suction heads 10a and 10b for preparation. In this case, the setup time can be shortened and the machining efficiency can be improved.

以上の実施例によれば、ワーク載置台14と15の両方でワーク1を整列させてからXYテーブル4へ搬入させるので、装置の横幅を広げることなく、アライメントマークの読み取り時間を短縮し、加工効率を向上させることができる。
さらに、ワーク載置台15からワーク載置台14へワーク1を移動させる期間に、ワーク載置台15に吸着ヘッド10cを用いて新たなワーク1を載置させることができる、すなわち、図4のステップ505~508を行っている間に、ステップ509~512を並列処理できるので、ワーク1の準備時間を短縮し加工効率を向上させることができる。
According to the above-described embodiment, since the workpiece 1 is aligned on both the workpiece mounting tables 14 and 15 and then transferred to the XY table 4, the width of the apparatus is not increased, and the alignment mark reading time is shortened. Efficiency can be improved.
Furthermore, while the workpiece 1 is being moved from the workpiece mounting table 15 to the workpiece mounting table 14, a new workpiece 1 can be mounted on the workpiece mounting table 15 using the suction head 10c, that is, step 505 in FIG. Since steps 509 to 512 can be processed in parallel while steps 508 to 508 are being performed, the preparation time for the workpiece 1 can be shortened and the machining efficiency can be improved.

以上、実施例に基づき本発明を説明したが、本発明は当該実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもなく、様々な変形例が含まれる。 Although the present invention has been described above based on the embodiments, it goes without saying that the present invention is not limited to the embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. is included.

1:ワーク 2:レーザ加工機 3:搬入装置 4:XYテーブル 5:レーザユニット
6:コラム 7:ベッド 8:制御装置 9a、9b、9c:吸着パッド 10a、10b、10c:吸着ヘッド 11a、11b、11c:リフタ 12:スライダ 13:ガイドレール 14:ワーク載置台 15:ワーク載置台16:ストッカ 17:搬入装置台座 18、19:ワーク整列部材
1: Work 2: Laser processing machine 3: Loading device 4: XY table 5: Laser unit 6: Column 7: Bed 8: Control device 9a, 9b, 9c: Suction pads 10a, 10b, 10c: Suction heads 11a, 11b, 11c: Lifter 12: Slider 13: Guide Rail 14: Work Mounting Table 15: Work Mounting Table 16: Stocker 17: Loading Device Pedestal 18, 19: Work Aligning Member

Claims (2)

加工前のワークが積載される搬入側ストッカと、
第1の方向に並べて載置される複数のワークを前記第1の方向および前記第1の方向に直交する第2の方向へ移動させるテーブルと、
前記複数のワークの各々を加工するために前記第1の方向に並べて配置されたレーザユニットと、
を有するレーザ加工装置において、
前記複数のワークと同数の前記第1の方向に並んだ搬入側の吸着ヘッドと、
前記テーブルに移す前のワークを一時的に載置するための前記複数のワークと同数のワーク載置台であって、各々は載置されたワークの整列機能を有し、そのうちの一つは前記第2の方向に移動して前記搬入側ストッカからワークを受取るようになった可動形式のものと、
前記可動形式ワーク載置台を他のワーク載置台とともに前記第1の方向に並んだ状態にして、前記可動形式ワーク載置台から前記吸着ヘッドによりワークを他のワーク載置台に移し、
全てのワーク載置台を前記第1の方向に並んだ状態にして、全てのワーク載置台の各々から前記吸着ヘッドにより整列動作を行った後のワークを前記テーブルに移すようにした
ことを特徴とするレーザ加工装置。
a carry-in side stocker on which workpieces before processing are loaded;
a table for moving a plurality of works placed side by side in a first direction in the first direction and in a second direction orthogonal to the first direction;
laser units arranged side by side in the first direction for processing each of the plurality of works;
In a laser processing device having
a suction head on the loading side arranged in the first direction in the same number as the plurality of works;
The same number of workpiece mounting tables as the plurality of workpieces for temporarily mounting the workpieces before being transferred to the table, each having a function of aligning the mounted workpieces, one of which is the a movable type that moves in a second direction to receive a work from the carry-in side stocker;
arranging the movable work mounting table together with another work mounting table in the first direction, moving the work from the movable work mounting table to another work mounting table by the suction head;
All the workpiece mounting tables are arranged in the first direction, and the workpiece after being aligned by the suction head is transferred from each of the workpiece mounting tables to the table. laser processing equipment.
請求項1に記載のレーザ加工装置において、全てのワーク載置台に載置されたワークを前記テーブルに移した後、再び同じ動作を行う前に、少なくとも前記可動形式のワーク載置台が第2の方向に移動して前記搬入側ストッカからワークを受取り、前記可動形式ワーク載置台を他のワーク載置台とともに前記第1の方向に並んだ状態にしておく
ことを特徴とするレーザ加工装置。
2. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein after moving the works placed on all of the work mounting tables to the table and before performing the same operation again, at least the movable work mounting table is moved to the second work mounting table. direction to receive the work from the carry-in side stocker, and keep the movable work mounting table aligned with the other work mounting tables in the first direction.
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