[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP7098882B2 - 真空ポンプ - Google Patents

真空ポンプ Download PDF

Info

Publication number
JP7098882B2
JP7098882B2 JP2017073823A JP2017073823A JP7098882B2 JP 7098882 B2 JP7098882 B2 JP 7098882B2 JP 2017073823 A JP2017073823 A JP 2017073823A JP 2017073823 A JP2017073823 A JP 2017073823A JP 7098882 B2 JP7098882 B2 JP 7098882B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
hexagon socket
stator
peripheral side
rotor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017073823A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2018178733A (ja
Inventor
智司 久野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2017073823A priority Critical patent/JP7098882B2/ja
Priority to CN202311678118.5A priority patent/CN117588425A/zh
Priority to CN201810201907.2A priority patent/CN108691787A/zh
Priority to US15/937,788 priority patent/US10837449B2/en
Publication of JP2018178733A publication Critical patent/JP2018178733A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7098882B2 publication Critical patent/JP7098882B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044Holweck-type pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/048Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/522Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08Sealings
    • F04D29/083Sealings especially adapted for elastic fluid pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
    • F16C2360/45Turbo-molecular pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0442Active magnetic bearings with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

本発明は、真空ポンプに関する。
従来から、ロータ翼とステータ翼を備えたターボ排気部と、ターボ排気部からの気体が導入されるねじステータを有するねじ溝排気部とを備えた真空ポンプが知られている。
ねじステータは、固定用の頭付きボルトでベースに取り付けられている。ターボ排気部から気体が導入されるねじ溝排気部の上部、すなわち、ねじステータの上面には、該ねじステータの上面から頭付きボルトの頭部が突出している(例えば、特許文献1の図1参照)。
特開2015-31151号公報
ターボ排気部から気体が導入されるねじ溝排気部の導入口において、ねじステータの上面から頭付きボルトの頭部が突出しているため、頭付きボルトの頭部のポンプ回転方向に対向する側面には、生成物が堆積する。つまり、ねじステータの上面から突出する頭付きボルトの頭部は、気体の流れの抵抗となっている。
本発明の好ましい第1の態様による真空ポンプは、ベースと、前記ベースに回転可能に設けられたロータシャフトと、多段に配列されたロータ翼とロータ円筒部を有し、前記ロータシャフトに取付けられたロータと、前記ロータ翼間に配置され、前記ロータ翼と共にターボ排気部を構成する固定翼と、前記ロータ円筒部と共にねじ溝排気部を構成するステータと、前記ステータを、前記ターボ排気部から気体が導入される前記ねじ溝排気部の導入路において前記ベースの上面に固定する六角穴付きボルトとを備え、前記ステータの上面にざぐりが設けられ、前記六角穴付きボルトの頭部が前記ざぐり内に配置され、前記六角穴付きボルトの頭部の上面が前記ステータの上面とほぼ面一である
さらに好ましい態様では、第1の態様において、前記六角穴付きボルトは、使用国または国際機構の規定に適合する六角穴付きボルトよりも、頭部の高さが低いボルトである。
さらに好ましい態様では、第1の態様において、前記六角穴付きボルトの頭部に設けられた六角穴の深さは、使用国または国際機構の規定に適合する
さらに好ましい態様では、上記各態様において、前記ステータの上面には、内周側内側傾斜面と、内周側外側傾斜面と、前記内周側内側傾斜面と前記内周側外側傾斜面との間に配置された平坦面とが形成されており、前記内周側内側傾斜面および前記内周側外側傾斜面は、前記ロータシャフトに向かって下り勾配に形成されており、前記平坦面は、前記ロータシャフトに直交する方向に環状に形成されており、前記六角穴付きボルトの頭部の上面は前記平坦面の上面とほぼ面一である。
本発明によれば、ねじ溝排気部の導入口における気体の流れに対する抵抗を低減することができる。
図1は本発明に係る真空ポンプを、ターボ分子ポンプを例として示す第1の実施形態の断面図である。 図2は、図1の破線IIで示す領域の拡大図である。 図3は、図2のねじステータ固定部領域の拡大図である。 図4は、ターボ排気部側からみたねじステータの一部の平面図である。 図5は、第1の実施形態の変形例1を示す図である。 図6は、第1の実施形態の変形例2を示す図である。 図7は、第1の実施形態の変形例3を示す図である。 図8は、本発明の第2の実施形態を示す図である。 図9は、本発明の第3の実施形態を示す図である。 図10は、本発明の第4の実施形態を示す図である。
-第1の実施形態-
以下、図1~図4を参照して本発明の第1の実施形態を説明する。図1は本発明に係る真空ポンプを、ターボ分子ポンプを例として示す第1の実施形態の断面図である。図1に示すターボ分子ポンプは磁気浮上式のターボ分子ポンプであるが、本発明は磁気浮上式のターボ分子ポンプに限定されない。
ターボ分子ポンプ1は、複数段のロータ翼12およびロータ円筒部13が形成されたロータ10を備える。ポンプケーシング23の内側には、前記複数段のロータ翼12に対応して複数段の固定翼21が積層されるように配置されている。ロータ軸方向に積層された複数段の固定翼21は、それぞれスペーサ29を介してベース20上に配置されている。各ロータ翼12は、複数のタービン翼を有している。各固定翼21は半割状の一対の固定翼要素で構成されている。複数のロータ翼12および固定翼21は、ターボ排気部TPを構成している。
ロータ円筒部13の外周側には、円筒形状のねじステータ22が微少隙間を介して配置されている。ねじステータ22は、そのフランジ22bがベース20に固定用ボルト40(図2等参照)により固定されている。ねじステータ22をベース20に固定する構造については後述する。ロータ円筒部13の外周面またはねじステータ22の内周面のいずれか一方にはねじ溝22gが形成されており、ロータ円筒部13とねじステータ22とでねじ溝排気部SPが構成される。図1に示す例では、ねじステータ22にねじ溝22gが形成されている。ターボ排気部TPにより排気された気体は、ねじ溝排気部SPによりさらに圧縮され、最終的には、ベース20の排気管26に接続されたバックポンプにより排気される。
ロータ10はロータシャフト11に固定され、そのロータシャフト11はラジアル磁気軸受32およびアキシャル磁気軸受33により支持され、モータ34によって回転駆動される。ラジアル磁気軸受32、33が非動作時には、ロータシャフト11はメカニカルベアリング35a、35bによって支持される。ラジアル磁気軸受32、アキシャル磁気軸受33、モータ34およびメカニカルベアリング35bは、ベース20に固定されるハウジング30に収納されている。
図2は、図1の破線IIで示す領域の拡大図であり、図3は、図2のねじステータ固定部領域の拡大図であり、図4は、ターボ排気部側からみたねじステータの一部の平面図である。
図2に図示された矢印を付した曲線Rは、排気される気体の流れをイメージしたものである。ターボ排気部TPにより排気された気体は、ターボ排気部TPとねじ溝排気部SPとの間に形成された流路GSに入り、さらに、その流路GSからねじ溝22gに流入する。つまり、流路GSは、ターボ排気部TPから排気された気体が、ねじ溝22gに導入されるねじ溝排気部SPの導入路となっている。
ねじステータ22は、円筒部22aと、該円筒部22aの上部側であるターボ排気部TP側に設けられたフランジ22bとを有する。フランジ22bの外周縁部には、外周側部22cが、該フランジ22bからターボ排気部側に突出して形成されている。円筒部22a、フランジ22b、外周側部22cは、同一の材料により一体に成型されている。
ベース20は、円筒状の本体部20aと、該本体部20aの上部側であるターボ排気部TP側に設けられたフランジ部20bとを有する。本体部20aとフランジ部20bとは、同一の材料により一体成型されている。フランジ部20bの外周側は肉厚とされ、この肉厚部の上面にポンプケーシング23が固定される。ポンプケーシング23とベース20のフランジ部20bとは、シール部材を介して固定され、外部から密封する。ベース20のフランジ部20bの肉厚部の内周側にはれ、ねじステータ22を設置するための設置部が窪んで設けられている。この設置部の上面20cは、平坦面とされている。ねじステータ22は、フランジ22bの下面をベース20のフランジ部20bに設けた設置部の上面20c上に、固定用ボルト40により固定される。
図3および図4に図示されるように、ねじステータ22のフランジ22bの上面22dには、内周側内側傾斜面22d1、内周側外側傾斜面22d2、および内周側内側傾斜面22d1と内周側外側傾斜面22d2との間に配置された平坦面22d3が形成されている。内周側内側傾斜面22d1および内周側外側傾斜面22d2は、ロータシャフト11側に向かって下り勾配に形成されている。勾配の角度は、それぞれ異なっていても、同一であってもよい。平坦面22d3は、ロータシャフト11に直交する方向、すなわち、ほぼ水平方向に環状に形成されている。なお、内周側内側傾斜面22d1および内周側外側傾斜面22d2は、直線状に傾斜するものに限られるものではなく、湾曲状に形成してもよい。
ねじステータ22のフランジ22bに内周側内側傾斜面22d1および内周側外側傾斜面22d2を形成する理由を下記に示す。
流路GS内の圧力は、分子流、粘性流、それらの中間のいずれにもなり得るが、分子流領域では、気体分子同士の衝突よりも気体分子と壁面との衝突が支配的になり、壁面と衝突した気体分子の散乱方向の分布は余弦法則に従うものと考えられている。ターボ排気部TPから流路GSに流入した気体分子の一部は、直接、ねじ溝22gに入射するが、残りの大部分は、流路GSを囲む部材の外表面に入射し、余弦法則に基づいて散乱される。ねじステータ22の上面22dが水平であると、流路GS内に流入した気体分子は、ねじステータ22の上面22dや最下段のロータ翼12に入射して、ロータシャフト11の軸方向と平行な方向に散乱され、流路GSを逆流する確率が高くなる。このため、流路GSに流入した気体分子がねじ溝22gに導入されるのに時間が掛かる。これに対し、本第1の実施形態では、ねじステータ22のフランジ22bの上面22dには、ロータシャフト11側に向かって下り勾配の内周側内側傾斜面22d1および内周側外側傾斜面22d2が形成されている。このため、ねじステータ22のフランジ22bの上面22dに入射した気体分子は、ロータシャフト側に向かって散乱される確率が高くなる。これにより、流路GSに流入した気体分子は、速やかにねじ溝22gに導入される。粘性流の場合は、気体分子同士の衝突が支配的であるが、傾斜を設けることで、遅滞なく速やかにねじ溝22g気体分子を導入することができる。このため、流路GS内における生成物の堆積を抑制することができる。
平坦面22d3には、周方向に離間して複数のざぐり22eが形成されている。ざぐり22eの底面には、フランジ22bを厚さ方向に貫通する貫通孔22fが形成されている。貫通孔22fの軸心はざぐり22eの軸心と同軸である。ベース20の本体部20aには、雌ねじ部20dが形成されている。ねじステータ22とロータ筒13を同軸に配置して、ねじ溝排気部SPの通路寸法を厳密に設定する。
固定用ボルト40は、頭部41に六角穴42が形成された六角穴付きボルトである。六角穴付きボルトは、JIS B 1176の規定に適合するもの(規格製品)、あるいは、規格製品に対し、その頭部41の高さ(厚さ)が低い(薄い)ものである。六角穴付きボルトの頭部41の高さは、ざぐり22eの深さとほぼ同一である。なお、固定用ボルト40として、その頭部41の高さが、JIS B 1176の規定よりも低いものを用いる場合、一部の部位の寸法はJIS B 1176の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト40の締付力を確保するため、六角穴42の深さは、JIS B 1176の規定に適合するものであることが望ましい。
ねじステータ22をベース20に固定するには、ねじステータ22の貫通孔22fをベース20の雌ねじ部20dに位置合わせをし、固定用ボルト40をベース20の雌ねじ部20dに締結する。これにより、固定用ボルト40の頭部41が、ねじステータ22のざぐり22e内に進入してざぐり22eの底面を加圧する状態となり、ねじステータ22がベース20に固定される。ねじステータ22のフランジ22bに形成されたざぐり22eの底面は、フランジ22bの平坦面22d3と平行であり、ざぐり22eの深さは固定用ボルト40の頭部41の高さとほぼ同一である。従って、固定用ボルト40の頭部41が、ねじステータ22のざぐり22eの底面を加圧している状態では、固定用ボルト40の頭部41の上面は、ねじステータ22の平坦面22d3の上面とほぼ面一となる。
ターボ排気部TPから排気される気体が流路GSに入り、さらに、その流路GSからねじ溝22gに流入する際、固定用ボルト40の頭部41上を通過する。このとき、固定用ボルト40の頭部41が、ねじステータ22の上面22dから突出している従来の構造では、固定用ボルト40の頭部41は、ターボ排気部TPから排気され、流路GSを流れる気体の流れを妨げる。これに対し、第1の実施形態では、固定用ボルト40の頭部41は、ねじステータ22の上面22dから突出しない構造となっている。このため、固定用ボルト40の頭部41が流路GSを流れる気体の流れを妨げることはない。
また、固定用ボルト40の頭部41が、ねじステータ22の上面22dから突出している従来の構造では、固定用ボルト40の頭部41の外周側面、特に、固定用ボルト40の頭部41のポンプ回転方向に対向する側面には、生成物が堆積する。この生成物の堆積が、さらに、ターボ排気部TPから流入し、流路GSを流れる気体の流れを妨げる。これに対し、第1の実施形態では、固定用ボルト40の頭部41が、ねじステータ22の上面22dから突出しない構造となっているため、固定用ボルト40の頭部41の外周側面に生成物が堆積することもない。このため、第1の実施形態によれば、ターボ分子ポンプ1の排気性能を向上することができる。また、固定用ボルト40の頭部41の外周側面に生成物が堆積されることはないので、生成物の除去作業を行う必要が無く、維持管理が容易となる。
第1の実施形態によれば、下記の効果を奏する。
(1)ねじステータ22を、ターボ排気部TPから気体が導入されるねじ溝排気部SPの導入路において六角穴付きボルトによりベース20の上面20cに固定する構造において、ねじステータ22の、ターボ排気部TPから気体が導入される上面22dにざぐり22eを設け、六角穴付きボルトの頭部41の上面を、ねじステータ22の上面22dとほぼ面一にした。このため、ねじステータ22の上面22dと最下段のロータ翼12との隙間が、固定用ボルト40の頭部41の部分で狭まることはなく、従って、固定用ボルト40の頭部41が流路GSを流れる気体の流れを妨げることはない。また、固定用ボルト40の頭部41の外周側面に生成物が堆積することもない。また、固定用ボルト40の頭部41の外周側面に生成物が堆積されることはないので、生成物の除去作業を行う必要が無く、維持管理が容易となる。
(2)ねじステータ22をベース20に固定する固定用ボルト40として、固定用ボルト40の頭部41の高さが規格製品よりも低いものを用いた場合であっても、固定用ボルト40の六角穴42の深さはJIS B 1176の規定に適合する六角穴付きボルトを用いる構造とした。このため、工具により六角穴付きボルトを締結する際、工具と、六角穴付きボルトの六角穴42との当たり面の面積は、規格製品と同じである。従って、六角穴付きボルトを、工具との当たり面で損傷することなく十分な締付力で締め付けることができるという効果を奏する。
(3)ねじステータ22の上面22dは、ロータシャフト11に向かって下り勾配の内周側内側傾斜面22d1および内周側外側傾斜面22d2を有する。このため、ねじステータ22の上面22dに入射した気体分子は、ロータシャフト11側に向かって散乱される確率が高くなり、流路GSに流入した気体分子は、速やかにねじ溝22gに導入される。これにより、流路GS内における生成物の堆積を抑制することができる。
-第1の実施形態の変形例1-
図5は、第1の実施形態の変形例1を示す図であり、図3に相当する図である。
図5に図示された変形例1では、ざぐり22e内に配置された六角穴付きボルトの頭部41の上部がねじステータ22の平坦面22d3から突出する構造を有している。つまり、この構造では、六角穴付きボルトの頭部41の高さ(厚さ)は、ねじステータ22に設けられたざぐり22eの深さよりも高く(厚く)形成されている。六角穴付きボルトの頭部41の高さは、JIS B 1176の規定に適合するか、それよりも低いものである。従って、六角穴付きボルトの頭部41の上部がねじステータ22の平坦面22d3から突出する高さは、規格製品の頭部がねじステータ22の平坦面22d3から突出する高さよりも低くなる。すなわち、変形例1に示された構造では、六角穴付きボルトの頭部41がざぐり22e内に配置されているため、六角穴付きボルトの頭部41の上面がねじステータ22の平坦面22d3から突出する高さは、ざぐり22eが形成されていない従来の構造よりも小さくなっている。なお、固定用ボルト40として、その頭部41の高さが、JIS B 1176の規定よりも低いものを用いる場合、一部の部位の寸法はJIS B 1176の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト40の締付力を確保するため、六角穴42の深さは、JIS B 1176の規定に適合するものであることが望ましい。
変形例1の他の構成は、上述した第1の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。
変形例1では、六角穴付きボルトの頭部41の上部がねじステータ22の平坦面22d3から突出する構造である。このため、上述した第1の実施形態に比し、六角穴付きボルトの頭部41がねじステータ22の平坦面22d3から突出する分だけ、六角穴付きボルトの頭部41と最下段のロータ翼12との隙間が小さくなる。しかし、六角穴付きボルトの頭部41の高さは規格製品と同一またはそれよりも低いため、従来の構造よりも、六角穴付きボルトの頭部41と最下段のロータ翼12との隙間を大きくすることができる。従って、第1の実施形態と同様な効果を奏する。
-第1の実施形態の変形例2-
図6は、第1の実施形態の変形例2を示す図であり、図3に相当する図である。
図6に図示された変形例2では、ねじステータ22の上面22dにざぐり22eを設けることなく、六角穴付きボルトの頭部41を、ねじステータ22の上面22dの平坦面22d3に当接して固定した構造を有している。この変形例2においては、六角穴付きボルトは、頭部41の高さ(厚さ)が、JIS B 1176で規定される六角穴付きボルトよりも低い(薄い)ものが用いられている。なお、頭部41の外径に対する頭部の高さがJIS B 1176の規定よりも低いものであれば、一部の部位の寸法はJIS B 1176の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト40の締付力を確保するため、六角穴42の深さは、JIS B 1176の規定に適合するものであることが望ましい。
変形例2の他の構成は、上述した第1の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。
変形例2では、ねじステータ22を六角穴付きボルトによりベース20の上面20cに固定する構造において、JIS B 1176で規定される六角穴付きボルトよりも、頭部の高さが低いボルトが用いられている。このため、JIS B 1176の規定に適合する六角穴付きボルトを用いる従来の構造に比し、六角穴付きボルトの頭部41と最下段のロータ翼12との隙間を大きくすることができる。従って、第1の実施形態と同様な効果を奏する。
-第1の実施形態の変形例3-
図7は、第1の実施形態の変形例3を示す図であり、図3に相当する図である。
図7に図示された変形例3では、ねじステータ22の上面22dは、その全体がロータシャフト11に向かって下り勾配の斜面とされており、ロータシャフト11に直交する平坦面を有していない。また、ねじステータ22をベース20の上面20cに固定する六角穴付きボルトは、その頭部41の全体が、ざぐり22e内に配置されている。つまり、六角穴付きボルトの頭部41の高さは、ざぐり22eの最もロータシャフト側の端部位置、すなわち、ざぐり22eの深さが最も浅い位置においても、ざぐり22eの深さよりも薄い。六角穴付きボルトの頭部41の高さは、JIS B 1176に適合するか、それよりも低いものである。なお、固定用ボルト40として、その頭部41の高さが、JIS B 1176の規定よりも低いものを用いる場合、一部の部位の寸法はJIS B 1176の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト40の締付力を確保するため、六角穴42の深さは、JIS B 1176の規定に適合するものであることが望ましい。
変形例3の他の構成は、上述した第1の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。
変形例3では、ねじステータ22を、ターボ排気部TPから気体が導入されるねじ溝排気部SPの導入路において六角穴付きボルトによりベース20の上面20cに固定する構造において、ねじステータ22の、ターボ排気部TPから気体が導入される上面22dにざぐり22eを設け、六角穴付きボルトの頭部41の上面を、ねじステータ22の上面22dより低くした。このため、ねじステータ22の上面22dと最下段のロータ翼12との隙間が、六角穴付きボルトの頭部41の部分で狭まることはない。よって、変形例3においても、第1の実施形態と同様な効果を奏する。
なお、変形例3では、ねじステータ22の上面22d全面を傾斜面とし、傾斜面の中間に、環状の平坦面を形成する必要は無いので、ねじステータ22の生産性がよく、コスト低減を図ることができる。
-第2の実施形態-
図8は、本発明の第2の実施形態を示す図であり、図3に相当する図である。
図8に示す第2の実施形態では、ねじステータ22の上面22dは、全体がロータシャフト11にほぼ直交する方向に配置された平坦面とされており、ロータシャフト11に向かって下り勾配の斜面は有していない。また、ねじステータ22をベース20に固定する固定用ボルト40としての六角穴付きボルトは、その頭部41の下面がねじステータ22の上面22d上に固定されている。
六角穴付きボルトは、頭部41の高さ(厚さ)が、JIS B 1176で規定される六角穴付きボルトよりも低い(薄い)ものが用いられている。なお、頭部41の外径に対する頭部の高さがJIS B 1176の規定よりも低いものであれば、一部の部位の寸法はJIS B 1176の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト40の締付力を確保するため、六角穴42の深さは、JIS B 1176の規定に適合するものであることが望ましい。
第2の実施形態の他の構成は、上述した第1の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。
第2の実施形態では、ねじステータ22を六角穴付きボルトによりベース20の上面20cに固定する構造において、JIS B 1176で規定される六角穴付きボルトよりも、頭部の高さが低いボルトが用いられている。このため、JIS B 1176で規定される六角穴付きボルトを用いる従来の構造に比し、六角穴付きボルトの頭部41と最下段のロータ翼12との隙間を大きくすることができる。従って、第1の実施形態と同様な効果を奏する。
なお、第2の実施形態では、ねじステータ22のフランジ22bの上面22d全体が平坦面であるので、第1の実施形態氏に比し、ねじステータ22の生産性がよく、コスト低減を図ることができる。
-第3の実施形態-
図9は、本発明の第3の実施形態を示す図であり、図3に相当する図である。
第3の実施形態は、図8に示された第2の実施形態とは、ねじステータ22にざぐり22eを設け、固定用ボルト40の頭部41をざぐり22e内に配置した点で相違する。第3の実施形態では、六角穴付きボルトの頭部41の高さを、ざぐり22eの深さよりも薄くして、六角穴付きボルトの頭部41全体を、ざぐり22e内に配置した構造として例示されている。このため、六角穴付きボルトの頭部41の上面は、ねじステータ22の上面22dよりも低い位置に配置されている。
六角穴付きボルトは、JIS B 1176の規定に適合するもの(規格製品)、あるいは、規格製品に対し、その頭部41の高さ(厚さ)が低い(薄い)ものである。なお、固定用ボルト40として、その頭部41の高さが、JIS B 1176の規定よりも低いものを用いる場合、一部の部位の寸法はJIS B 1176の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト40の締付力を確保するため、六角穴42の深さは、JIS B 1176の規定に適合するものであることが望ましい。
第3の実施形態の他の構成は、上述した第2の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。
第3の実施形態では、固定用ボルト40の頭部41の上面が、ねじステータ22の上面22dよりも低い位置に配置されており、ねじステータ22の上面22dと最下段のロータ翼12との隙間が、固定用ボルト40の頭部41の部分で狭まることはない。このため、第1の実施形態の効果と同様な効果を奏する。
-第4の実施形態-
図10は、本発明の第4の実施形態を示す図であり、図3に相当する図である。
図10に図示された第4の実施形態では、第3の実施形態とは、固定用ボルト40としての六角穴付きボルトの頭部41の上部がねじステータ22の上面22dよりも突出する構造である点で相違する。
つまり、この構造では、六角穴付きボルトの頭部41の高さ(厚さ)は、ねじステータ22に設けられたざぐり22eの深さよりも高く(厚く)形成されている。六角穴付きボルトの頭部41の高さは、JIS B 1176の規定に適合するか、それよりも低いものである。従って、六角穴付きボルトの頭部41の上部がねじステータ22の上面22dから突出する高さは、規格製品の頭部がねじステータ22の上面22dから突出する高さよりも低くなる。
すなわち、第4の実施形態に示された構造では、六角穴付きボルトの頭部41がざぐり22e内に配置されているため、六角穴付きボルトの頭部41の上面がねじステータ22の上面22dから突出する高さは、ざぐり22eが形成されていない従来の構造よりも小さくなっている。なお、固定用ボルト40として、その頭部41の高さが、JIS B 1176の規定よりも低いものを用いる場合、一部の部位の寸法はJIS B 1176の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト40の締付力を確保するため、六角穴42の深さは、JIS B 1176の規定に適合するものであることが望ましい。
第4の実施形態の他の構成は、上述した第2、第3の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。
第4の実施形態では、六角穴付きボルトの頭部41の上部がねじステータ22の上面22dから突出する構造である。このため、上述した第3の実施形態に比し、六角穴付きボルトの頭部41がねじステータ22の上面22dから突出する分だけ、六角穴付きボルトの頭部41と最下段のロータ翼12との隙間が小さくなる。しかし、六角穴付きボルトの頭部41の高さは規格製品と同一またはそれよりも低いため、従来の構造よりも、六角穴付きボルトの頭部41と最下段のロータ翼12との隙間を大きくすることができる。従って、第1の実施形態と同様な効果を奏する。
なお、上記各実施形態において、固定用ボルト40は、その頭部41の高さ以外は、JIS(日本工業規格)に適合するものとして説明した。しかし、固定用ボルト40は、その頭部41の高さ以外は、ISO規格(国際標準化機構)、ANISI規格(アメリカ)、GB規格(中国)、KS規格(韓国)、DIN規格(ドイツ)等の使用国(生産国、販売国を含む)または国際機構の規格に適合するものとしてもよい。
上述した各実施例はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施例での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。
1 ターボ分子ポンプ(真空ポンプ)
10 ロータ
11 ロータシャフト
12 ロータ翼
13 ロータ円筒部
20 ベース
20c 上面
21 固定翼
22 ねじステータ
22d 上面
22d1 内周側内側傾斜面
22d2 内周側外側傾斜面
22d3 平坦面
22e ざぐり
22g ねじ溝
40 固定用ボルト(六角穴付きボルト)
41 頭部
42 六角穴
GS 流路(導入路)
SP ねじ溝排気部
TP ターボ排気部

Claims (1)

  1. ベースと、
    前記ベースに回転可能に設けられたロータシャフトと、
    多段に配列されたロータ翼とロータ円筒部を有し、前記ロータシャフトに取付けられたロータと、
    前記ロータ翼間に配置され、前記ロータ翼と共にターボ排気部を構成する固定翼と、
    前記ロータ円筒部と共にねじ溝排気部を構成するステータと、
    前記ステータを、前記ターボ排気部から気体が導入される前記ねじ溝排気部の導入路において前記ベースの上面に固定する六角穴付きボルトとを備え、
    前記ステータの上面にざぐりが設けられ、
    前記六角穴付きボルトの頭部が前記ざぐり内に配置され、前記六角穴付きボルトの頭部の上面が前記ステータの上面とほぼ面一であり、
    前記ステータの上面には、内周側内側傾斜面と、内周側外側傾斜面と、前記内周側内側傾斜面と前記内周側外側傾斜面との間に配置された平坦面とが形成されており、
    前記内周側内側傾斜面および前記内周側外側傾斜面は、前記ロータシャフトに向かって下り勾配に形成されており、
    前記平坦面は、前記ロータシャフトに直交する方向に環状に形成されており、
    前記六角穴付きボルトの頭部の上面は前記平坦面の上面とほぼ面一である、真空ポンプ。
JP2017073823A 2017-04-03 2017-04-03 真空ポンプ Active JP7098882B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017073823A JP7098882B2 (ja) 2017-04-03 2017-04-03 真空ポンプ
CN202311678118.5A CN117588425A (zh) 2017-04-03 2018-03-12 真空泵
CN201810201907.2A CN108691787A (zh) 2017-04-03 2018-03-12 真空泵
US15/937,788 US10837449B2 (en) 2017-04-03 2018-03-27 Vacuum pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017073823A JP7098882B2 (ja) 2017-04-03 2017-04-03 真空ポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018178733A JP2018178733A (ja) 2018-11-15
JP7098882B2 true JP7098882B2 (ja) 2022-07-12

Family

ID=63671756

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017073823A Active JP7098882B2 (ja) 2017-04-03 2017-04-03 真空ポンプ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10837449B2 (ja)
JP (1) JP7098882B2 (ja)
CN (2) CN117588425A (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020186687A (ja) * 2019-05-15 2020-11-19 エドワーズ株式会社 真空ポンプとそのネジ溝ポンプ部の固定部品
JP7348753B2 (ja) 2019-05-31 2023-09-21 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、および連結型ネジ溝スペーサ
JP7459811B2 (ja) * 2021-01-25 2024-04-02 株式会社島津製作所 真空ポンプ
JP2022127116A (ja) * 2021-02-19 2022-08-31 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、及び、真空ポンプ用回転体
CN114962466B (zh) * 2022-06-30 2023-11-10 中国铁建重工集团股份有限公司 一种便装拆轴驱式回转支承结构、装配方法及其工作性能检测方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000205183A (ja) 1999-01-13 2000-07-25 Mitsubishi Heavy Ind Ltd タ―ボ分子ポンプ
WO2009153874A1 (ja) 2008-06-19 2009-12-23 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
WO2011070856A1 (ja) 2009-12-11 2011-06-16 エドワーズ株式会社 ネジ溝排気部の筒形固定部材と、これを使用した真空ポンプ
JP2013029063A (ja) 2011-07-28 2013-02-07 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ用の電源装置およびターボ分子ポンプ装置
JP2013520793A (ja) 2010-02-22 2013-06-06 ラム リサーチ コーポレーション プラズマ処理装置のための埋め込み型留め具
JP2015031153A (ja) 2013-07-31 2015-02-16 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP2016017454A (ja) 2014-07-08 2016-02-01 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
JP2016166594A (ja) 2015-03-10 2016-09-15 株式会社島津製作所 真空ポンプ
JP2017002856A (ja) 2015-06-12 2017-01-05 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2213630A (en) * 1938-04-14 1940-09-03 Standard Pressed Steel Co Socketed cap screw and method of producing same
JPH02203006A (ja) * 1989-01-30 1990-08-13 O Ii C:Kk 薄板締付金具
JP2585852Y2 (ja) * 1993-03-25 1998-11-25 日産ディーゼル工業株式会社 車両用終減速機
JP4218765B2 (ja) * 1997-06-27 2009-02-04 株式会社荏原製作所 ターボ分子ポンプ
CN2621252Y (zh) * 2003-07-02 2004-06-23 中国华电工程(集团)公司 带共用外套管的复式波纹管膨胀节
JP4935509B2 (ja) * 2007-06-05 2012-05-23 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
JP2009021533A (ja) * 2007-06-15 2009-01-29 Nuflare Technology Inc 気相成長装置及び気相成長方法
WO2010007975A1 (ja) * 2008-07-14 2010-01-21 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP5353838B2 (ja) * 2010-07-07 2013-11-27 株式会社島津製作所 真空ポンプ
JP5768670B2 (ja) * 2011-11-09 2015-08-26 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ装置
WO2014049728A1 (ja) * 2012-09-26 2014-04-03 株式会社島津製作所 真空ポンプ用保護ネット、その製造方法および真空ポンプ
JP6241223B2 (ja) * 2013-03-13 2017-12-06 株式会社島津製作所 真空ポンプ
JP2015031151A (ja) 2013-07-31 2015-02-16 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
JP6390098B2 (ja) * 2013-12-25 2018-09-19 株式会社島津製作所 真空ポンプ

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000205183A (ja) 1999-01-13 2000-07-25 Mitsubishi Heavy Ind Ltd タ―ボ分子ポンプ
WO2009153874A1 (ja) 2008-06-19 2009-12-23 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
WO2011070856A1 (ja) 2009-12-11 2011-06-16 エドワーズ株式会社 ネジ溝排気部の筒形固定部材と、これを使用した真空ポンプ
JP2013520793A (ja) 2010-02-22 2013-06-06 ラム リサーチ コーポレーション プラズマ処理装置のための埋め込み型留め具
JP2013029063A (ja) 2011-07-28 2013-02-07 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ用の電源装置およびターボ分子ポンプ装置
JP2015031153A (ja) 2013-07-31 2015-02-16 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP2016017454A (ja) 2014-07-08 2016-02-01 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
JP2016166594A (ja) 2015-03-10 2016-09-15 株式会社島津製作所 真空ポンプ
JP2017002856A (ja) 2015-06-12 2017-01-05 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ

Also Published As

Publication number Publication date
US10837449B2 (en) 2020-11-17
CN108691787A (zh) 2018-10-23
JP2018178733A (ja) 2018-11-15
US20180283386A1 (en) 2018-10-04
CN117588425A (zh) 2024-02-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7098882B2 (ja) 真空ポンプ
US10094391B2 (en) Compressor housing for supercharger
KR101883417B1 (ko) 과급기
JP5626445B2 (ja) ターボ分子ポンプのボルト締結構造およびターボ分子ポンプ
KR101992587B1 (ko) 컴프레서 임펠러 고정용 너트, 임펠러 조립체 및 과급기
CN108474383B (zh) 真空泵及用于该真空泵的挠性罩及转子
EP2620599A3 (en) Turbomachine with an angled abradable interstage seal and corresponding method of reducing a seal gap
WO2016006459A1 (ja) 軸受構造、および、過給機
JP2018035684A (ja) 真空ポンプ
US10894269B2 (en) Centrifugal compressor and turbocharger
JP6396512B2 (ja) 過給機
WO2007105785A1 (ja) 分子ポンプ、及びフランジ
JP5365634B2 (ja) 回転真空ポンプ
EP3320977B1 (en) Housing for a centrifugal separator
US11280223B2 (en) Bolt fastening structure and turbo-machine using same
US7758307B2 (en) Wear minimization system for a compressor diaphragm
US11041393B2 (en) Part of a turbomachine comprising a washer cooperating with a counterbore
US20130064659A1 (en) Centrifugal compressor
CN110234882B (zh) 叶片式气泵
FR3074219B1 (fr) Ensemble de turbomachine avec une aube de stator a plateforme integree et moyens de maintien.
JP4609082B2 (ja) フランジおよびこのフランジを備えたターボ分子ポンプ
US10883513B2 (en) Impeller, rotary machine, and turbocharger
JP6553447B2 (ja) ターボ機械
JP6079041B2 (ja) ターボ分子ポンプ、及び、ターボ分子ポンプ用の補強部材
US11781545B2 (en) Helical spindle pump with a single-entry design

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190717

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200618

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200728

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200924

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20200924

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210216

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210409

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20210518

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210713

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20210715

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20210817

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210908

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220125

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220318

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20220318

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20220329

C21 Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21

Effective date: 20220405

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220531

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220613

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7098882

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151