JP7080618B2 - 黒色顔料分散組成物及びそれを含有する黒色顔料分散レジスト組成物 - Google Patents
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Description
EL表示装置の遮光部の形成)、固体撮像素子(CCD、CMOSに代表される撮像素子(イメ
ージセンサー))、赤外線センサーに使用される赤外透過(IR-Pass)分散液等に使用され
る、分散性に優れ、OD値、表面抵抗値、及び赤外透過率がより高く、遮光性が良好な黒
色顔料分散組成物及びそれを含有する黒色顔料分散レジスト組成物に関する。
そして、カラーフィルターは、通常、ガラス、プラスチックシート等の透明基板の表面に、ストライプ状或いはモザイク状等の開口部を有する黒色のマトリックス(ブラックマトリックス)を形成し、続いて、開口部に赤、緑、青等の3種以上の異なる色素の画素を順次、形成したものである。
この顔料法では、黒色顔料としてカーボンブラック等の黒色顔料または数種の顔料を黒色となるように組み合わせて使用する。
さらに高遮光性を得るためには、顔料自体の含有量も多く配合する必要があるが、顔料濃度が高くなるほど、現像性、解像性、密着性、安定性といった他の必要性能が低下し、遮光性を高めるには限界があった。一方では、カラーフィルターを形成する皮膜については薄膜化が求められ、顔料の高濃度化で対応せざるを得ない状況となっている。
なお、カラー液晶表示装置以外にも画像表示装置のスペーサー、有機EL表示装置においても遮光部を形成する目的で、ブラックマトリックス用顔料分散物やブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物を使用することがある。
ブラックマトリックスをフォトリソグラフィー法で形成するには、まず、ブラックマトリックス用レジスト組成物を基板に塗工する。その後、所望のパターンを有するマスクを通して紫外線で露光し、露光部の塗膜を硬化させる。そして、未露光部の塗膜を現像液で除去して、上記所望のパターン通りのブラックマトリックスを形成する。このとき、良好なパターンを得るためには、レジスト組成物に良好なパターン再現性が求められる。例えば、現像終了時に未露光部においては現像残渣がないこと、露光部は十分な細線再現性を有すること、シャープなエッジのパターンが形成できること等が要求される。
このように、まず未露光部が完全に除去されてから、露光部が細ってブラックマトリックスとしての規定の性能が得られなくなるまでの時間の長さは、現像マージン(Development Latitude)と呼ばれている。この現像マージンが少ないものは、未露光部分が除去された後、すぐに露光部の細りや消失が起こるため、現像を止めるタイミングの見極めが困難である。特に上記のような高顔料濃度化されたレジスト組成物は、露光部における未硬化の度合いが高くなり易いことから、現像マージンが十分に取れず、密着性も低下する。そのため、未露光部が完全に除去できなかったり、露光部が細って規定の性能が得られない等、工程管理の面で非常に大きな問題となっていた。
また、カーボンブラックの粒径等を制御することにより、ブラックマトリックス層形成時の硬化性等を向上させることや、アグリゲート径が異なる2種以上のカーボンブラックを併用する等することは、特許文献3及び4に記載されている。
また、ブラックマトリックスの形成には、赤色、緑色及び青色の画素パターンと共にカラーフィルター側に形成させる方法と、TFT(薄膜トランジスタ)アレイ基盤側に形成させる方法等があり、後者の方法は各画素パターンの開口率を上げることができるという利点を有する。しかし、TFTアレイ基盤側にブラックマトリックスが設けられた場合は、直接、ブラックマトリックスが画素電極及びTFTに接触するため、該ブラックマトリックスには、高絶縁性、低誘電率が要求される。そうすると、導電性を有するカーボンブラックを使用したブラックマトリックス用レジスト組成物では、高い絶縁性や低誘電率の被膜を形成することが不十分である問題を有している。
また、カーボンブラックを使用したブラックレジスト組成物を使用した場合は、ブラックマトリックス作成時に、赤外透過率が低下し、位置合わせをすることができない問題も有している。
この問題を解決するために、有機顔料からなる擬似黒色化した色相のブラックマトリックス用レジスト組成物の使用(例えば、特許文献5、特許文献6参照)も提案されている。しかしながら、複数の有機顔料を使用する場合は、顔料表面の特性が異なることなどに起因して、良好な分散性が得られにくいといった問題、近年要求されている高いOD値が得られないという問題を有する。
1.
A.a.ラクタムブラック、b.紫色顔料、c.青色顔料及び/又は緑色顔料、d.カーボンブラック、のa~dを含有する顔料、を含有する黒色顔料分散組成物。
B.スルホン酸基を有する顔料分散助剤
C.顔料分散剤
D.バインダー樹脂
E.有機溶剤
を含有する1に記載の黒色顔料分散組成物。
F.多官能エポキシ化合物を含有する1又は2に記載の黒色顔料分散組成物。
b.紫色顔料が、ピグメントバイオレット23及び/又はピグメントバイオレット29、c.青色顔料及び/又は緑色顔料がピグメントブルー15:3、ピグメントブルー15:4、ピグメントブルー15:6、ピグメントブルー16、ピグメントブルー60及びピグメントグリーン54から選ばれる少なくとも1種である1~3のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物。
B.スルホン酸基を有する顔料分散助剤が、下記一般式(1)及び/又は(2)で表される分散助剤及び/又はピグメントイエロー138のスルホン化物である2~4のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物。
一般式(1)及び/又は(2)で表される分散助剤のXが2,5-ジクロロフェニル基であり、Yがフェニル基である5に記載の黒色顔料分散組成物。
C.顔料分散剤が、塩基性基含有アクリル樹脂系分散剤である2~6のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物。
F.多官能エポキシ化合物が、ジフェニルメタン骨格、ジナフチルメタン骨格、トリアジン骨格、フェノールノボラック骨格、テトラフェニルエタン骨格、ビスフェノール骨格及び、ビフェニル骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する多官能エポキシ化合物である3~7のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物。
D.バインダー樹脂が、アルカリ可溶性樹脂を含有する2~8のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物。
1~9のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物と、アルカリ可溶性樹脂と、光重合性化合物と、光重合開始剤を含有する黒色顔料分散レジスト組成物。
黒色顔料分散レジスト組成物(レジスト組成物中の顔料濃度が35質量%の時)の750
nmの赤外透過率が25%以上、900nmの赤外透過率が45%以上、であることを特
徴とする10に記載の黒色顔料分散レジスト組成物。
黒色顔料分散レジスト組成物(レジスト組成物中の顔料濃度が35質量%の時)の750nmの赤外透過率が30%以上、900nmの赤外透過率が55%以上、であることを特徴とする10に記載の黒色顔料分散レジスト組成物。
ついて、詳細に説明する。
[黒色顔料分散組成物]
まず、本発明の黒色顔料分散組成物について説明する。
黒色顔料分散組成物は、特定の顔料及びカーボンブラックを含有することを基本とする
。加えて、顔料分散剤、スルホン酸基を有する顔料分散助剤、バインダー樹脂、有機溶剤
を含有してなる組成物、好ましくは、特定の顔料、カーボンブラック、顔料分散剤、スル
ホン酸基を有する顔料分散助剤、バインダー樹脂、多官能エポキシ化合物、有機溶剤を含
有してなる組成物であり、この組成物を基にして黒色顔料分散組成物を得るものである。
本発明は成分Aとして、a.ラクタムブラック、b.紫色顔料、c.青色顔料及び/又は緑色顔料、d.カーボンブラック、のa~dを含有する顔料を採用する。
a.ラクタムブラックとしては、下記の構造を有する公知のラクタムブラックを使用することができる。具体的には、Irgaphor Black S 0100 CF(BASF社製)等が例示できる。
c.青色顔料及び/又は緑色顔料としては、好ましくはピグメントブルー15;3、ピグメントブルー15:4、ピグメントブルー15:6、ピグメントブルー16、ピグメントブルー60及びピグメントグリーン54から選ばれる少なくとも1種である。
そして、上記a~dの配合比率を、好ましくは、a:b:c:d=10~50:5~30:20~60:5.1~25とすると、OD値が高い黒色とすることができ、特に好ましくは、a:b:c:d=25~40:10~25:30~50:15~20である。
本発明の黒色顔料分散組成物を構成するカーボンブラックとしては、平均一次粒子径20~60nmの中性カーボンブラック及び/又は平均一次粒子径20~60nmの酸性カーボンブラックを使用することが好ましい。
カーボンブラックの一次粒子径が20nmより小さい場合、及び60nmより大きい場合は、沈降性硫酸バリウムを併用した場合の効果が得られない問題を有する可能性がある。
また、中性カーボンブラックと酸性カーボンブラックを併用することが好ましく、中性カーボンブラックと酸性カーボンブラックとの混合比率(質量比)は85/15~15/85が好ましく、さらに好ましくは75/25~40/60の範囲である。使用するカーボンブラックの中性カーボンブラックの割合が85より多い場合は、シール強度が低下し、使用するカーボンブラックの酸性カーボンブラックの割合が85より多い場合は、現像マージンや細線密着性が低下する可能性がある。
平均一次粒子径は、電子顕微鏡観察による算術平均径の値である。
なお、上記のカーボンブラックのpHと平均一次粒子径はカタログ値である。
上記成分Aと共に、本発明による効果を損なわない範囲において、他の有機顔料を併用することができる。そのような有機顔料としては、従来から使用されている公知のものが使用できる。
好ましい有機顔料としては、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー128、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー151、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー180及びC.I.ピグメントイエロー181、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ69、C.I.ピグメントオレンジ71及びC.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド264及びC.I.ピグメントレッド272等を挙げることができる。
本発明の黒色顔料分散組成物において、上記B.スルホン酸基を有する顔料分散助剤は、上記顔料を分散させるために用いられる。
本発明におけるB.スルホン酸基を有する顔料分散助剤としては、下記一般式(1)及び/又は(2)で表される化合物、ピグメントイエロー138のスルホン化物、フタロシアニン骨格を有するスルホン化物、アントラキノン骨格を有するスルホン化物、ナフタレン骨格を有するスルホン化物等を挙げることができる
本発明におけるスルホン酸基を有する顔料分散助剤の中でも、下記一般式(1)及び/又は(2)で表される化合物及び/又はピグメントイエロー138のスルホン化物であることが好ましい。
顔料分散時に、このスルホン酸基を有する顔料分散助剤と塩基性基含有分散剤とを併用することにより、黒色顔料分散組成物において、優れた流動性、分散安定性を得ることができる。また、上記黒色顔料分散組成物を黒色顔料分散レジスト組成物として使用した場合、高い光学濃度を得ることが可能となる。
上記式(1)、(2)中、X及びYは、同一若しくは異なって、F、Cl、Br、NO2、CH3又はOCH3で置換されていてもよいフェニル基を表す。Mは、H、Na、K、NH4又はNR1R2R3R4を表す。
上記一般式(1)、(2)の「NR1R2R3R4」(M)に関して、R1、R2、R3及びR4は、同一若しくは異なって、他の置換基で置換されていてもよい炭素数1~10の飽和若しくは不飽和の脂肪族炭化水素基、又は、他の置換基で置換されていてもよい炭素数6~10の芳香族炭化水素基を表す。ここで、上記飽和若しくは不飽和の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、s-ブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基等のアルキル基;ビニル基、アリル基、1-ブテニル基等のアルケニル基;エチニル基、プロピニル基等のアルキニル基等が挙げられる。上記芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基等が挙げられる。また、上記他の置換基としては、水酸基、ハロゲン、カルボキシル基、アミノ基、低級アルキル基(炭素数1~5)等が挙げられる。
なお、上記R1、R2、R3及びR4は、1個が他の置換基で置換されていても、2個以上が他の置換基で置換されていてもよい。
更に、上記式(1)、(2)の「m」は1以上の整数である。
このような顔料分散助剤は、新規な化合物であり、例えば、下記式(3)~(30)のモノアゾ化合物を濃硫酸、発煙硫酸、クロルスルホン酸又はそれらの混合液に溶解し、室温ないし80~90℃に加熱し、次いで多量の水で希釈して得た懸濁液を濾過後、水洗し、得られたフィルターケーキを乾燥、粉砕して製造することができ、市販品は存在しない。
なお、有機顔料を分散させるために用いられる顔料分散助剤としては、上記記載のスルホン酸基を有する顔料分散助剤以外に、他の顔料分散助剤も併用可能である。
本発明におけるC.顔料分散剤としては、アニオン性界面活性剤、塩基性基含有ポリエステル系顔料分散剤、塩基性基含有アクリル系顔料分散剤、塩基性基含有ウレタン系顔料分散剤、塩基性基含有カルボジイミド系顔料分散剤等を用いることができる。
これらの塩基性基含有顔料分散剤は、単独で用いてもよく、また、2種類以上の組み合わせを用いてもよい。中でも、良好な顔料分散性が得られる点から、塩基性基含有高分子顔料分散剤が好ましい。
(1)ポリアミン化合物(例えば、ポリアリルアミン、ポリビニルアミン、ポリエチレンポリイミン等の、ポリ(低級)アルキレンアミン等)のアミノ基及び/又はイミノ基と、遊離のカルボキシル基を有するポリエステル、ポリアミド及びポリエステルアミドからなる群より選択される少なくとも1種との反応生成物。
(2)分子内にポリエステル側鎖、ポリエーテル側鎖、及びポリアクリル側鎖からなる群より選択される少なくとも1種の側鎖と、塩基性窒素含有基とをそれぞれ少なくとも1つ有するカルボジイミド系化合物。
(3)ポリ(低級)アルキレンイミン、メチルイミノビスプロピルアミン等の低分子アミノ化合物と、遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応生成物。
(4)ポリイソシアネート化合物のイソシアネート基に、メトキシポリエチレングリコール等のアルコール類やカプロラクトンポリエステル等の水酸基を1個有するポリエステル類、2~3個のイソシアネート基反応性官能基を有する化合物、イソシアネート基反応性官能基と第3級アミノ基とを有する脂肪族又は複素環式炭化水素化合物を順次反応させてなる反応生成物。
(5)アルコール性水酸基を有するアクリレートの重合物にポリイソシアネート化合物とアミノ基を有する炭化水素化合物とを反応させた反応生成物。
(6)低分子アミノ化合物にポリエーテル鎖を付加させてなる反応生成物。
(7)イソシアネート基を有する化合物にアミノ基を有する化合物を反応させてなる反応生成物。
(8)ポリエポキシ化合物に遊離のカルボキシル基を有する線状ポリマー及び2級アミノ基を1個有する有機アミン化合物を反応させた反応生成物。
(9)片末端にアミノ基と反応し得る官能基を有するポリカーボネート化合物とポリアミン化合物との反応生成物。
(10)メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレート、ブチルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、プロピルアクリレート、ブチルアクリレート、ステアリルアクリレート、ベンジルアクリレート等のメタクリル酸エステル又はアクリル酸エステルから選択される少なくとも1種と、アクリルアミド、メタクリルアミド、N-メチロールアミド、ビニルイミダゾール、ビニルピリジン、アミノ基とポリカプロラクトン骨格を有するモノマー等の塩基性基含有重合性モノマーの少なくとも1種と、スチレン、スチレン誘導体、その他の重合性モノマーの少なくとも1種との共重合体。
(11)3級アミノ基、4級アンモニウム塩基等の塩基性基を有するブロックと塩基性官能基を有していないブロックとからなるアクリル系ブロック共重合体等。
(12)ポリアリルアミンにポリカーボネート化合物をマイケル付加反応させて得られる顔料分散剤。
(13)ポリブタジエン鎖と塩基性窒素含有基とをそれぞれ少なくとも1つ有するカルボジイミド系化合物。
(14)分子内にアミド基を有する側鎖と、塩基性窒素含有基とをそれぞれ少なくとも1つ有するカルボジイミド系化合物。
(15)エチレンオキサイド鎖とプロピレンオキサイド鎖を有する構成単位を有し、かつ四級化剤により四級化されたアミノ基を有するポリウレタン系化合物又はアクリル系化合物。
(16)分子内にイソシアヌレート環を有するイソシアネート化合物のイソシアネート基と、分子内に活性水素基を有し、かつ、カルバゾール環及び/又はアゾベンゼン骨格を有する化合物の活性水素基とを反応させて得られる化合物であって、該化合物の分子内の、イソシアヌレート環を有するイソシアネート化合物に由来するイソシアネート基と、イソシアネート基と活性水素基との反応により生じたウレタン結合及び尿素結合との合計に対するカルバゾール環とアゾベンゼン骨格の数が15~85%である化合物。
等。
顔料分散剤の使用量は、A成分100質量部に対して、好ましくは1~200質量部、より好ましくは1~60質量部である。
本発明におけるD.バインダー樹脂としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物(光重合性樹脂、光重合性不飽和結合を分子内に1個以上有するモノマー、オリゴマー等)等が挙げられる。これらは単独又は2種以上混合して用いることができる。
中でも、アルカリ性溶液による現像を円滑に行うアルカリ現像性の点から、アルカリ可溶性樹脂を使用することが好ましい。
このようなバインダー樹脂は、上記顔料分散組成物の全固形分に対して質量分率で、使用するバインダー樹脂の合計量で好ましくは0.5~94質量%、より好ましくは0.5~50質量%の範囲である。
上記熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂としては、例えば、ブチラール樹脂、スチレン-マレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル-酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、スチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム、エポキシ樹脂、セルロース類、ポリブタジエン、ポリイミド樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂等が挙げられる。
上記アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、シトラコン酸、無水シトラコン酸、シトラコン酸モノアルキルエステル等のカルボキシル基含有不飽和単量体と、スチレン、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールメタクリレート、ジシクロペンタジエン骨格、トリシクロプロパンシクロヘキサン環を有するモノ(メタ)アクリレート、N-フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマクロモノマーよりなる群から選択される少なくとも1種を反応させて得られる共重合体であるカルボキシル基含有アルカリ可溶性樹脂が好ましい。
中でも、耐熱性を向上させる点から、高い耐熱性が得られるアルカリ可溶性アクリル系樹脂が好ましい。
アルカリ可溶性樹脂は、優れた被膜の形成性、アルカリ現像性の点から、酸価10~300mgKOH/g、重量平均分子量1,000~200,000であることが好ましく、酸価20~200mgKOH/g、重量平均分子量3,000~100,000がさらに好ましい。
アルカリ可溶性樹脂は、要求される性能に応じて、適宜1種または2種以上を組み合わせて使用することができる。重量平均分子量は、ポリスチレン換算の重量平均分子量であり、前記酸基含有樹脂の場合と同様にして測定できる。
上記光重合性化合物としての光重合性不飽和結合を分子内に1個有するモノマーとしては、メチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、2-エチルヘキシルメタクリレート、メチルアクリレート、ブチルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート等のアルキルメタクリレート又はアクリレート;ベンジルメタクリレート、ベンジルアクリレート等のアラルキルメタクリレート又はアクリレート;ブトキシエチルメタクリレート、ブトキシエチルアクリレート等のアルコキシアルキルメタクリレート又はアクリレート;N,N-ジメチルアミノエチルメタクリレート、N,N-ジメチルアミノエチルアクリレート等のアミノアルキルメタクリレート又はアクリレート;ジエチレングリコールエチルエーテル、トリエチレングリコールブチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテル等のポリアルキレングリコールアルキルエーテルのメタクリル酸エステル又はアクリル酸エステル;ヘキサエチレングリコールフェニルエーテル等のポリアルキレングリコールアリールエーテルのメタクリル酸エステル又はアクリル酸エステル;イソボルニルメタクリレート又はアクリレート;グリセロールメタクリレート又はアクリレート;2-ヒドロキシエチルメタクリレート又はアクリレート等が挙げられる。
上記光重合性化合物としての光重合性不飽和結合を分子内に2個以上有するモノマーとしては、ビスフェノールAジメタクリレート、1,4-ブタンジオールジメタクリレート、1,3-ブチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、グリセロールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、1,4-ブタンジオールジアクリレート、1,3-ブチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、グリセロールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート等が挙げられる。
本発明の黒色顔料分散組成物で使用する有機溶剤としては、従来から使用されている顔料を安定的に分散させることができ、かつ上記B.スルホン酸基を有する顔料分散助剤、C.顔料分散剤、E.バインダー樹脂を溶解させることができるものであり、好ましくは、常圧(1.013×102kPa)における沸点が100~250℃のエステル系有機溶剤、エーテル系有機溶剤、エーテルエステル系有機溶剤、ケトン系有機溶剤、芳香族炭化水素系有機溶剤、含窒素系有機溶剤等である。
このような溶剤としては、具体的には、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等のエーテル系有機溶剤類、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエーテルエステル系有機溶剤類、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、δ-ブチロラクトン等のケトン系有機溶剤類、2-ヒドロキシプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシプロピオン酸エチル、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、3-メチル-3-メトキシブチルプロピオネート、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エステル、蟻酸n-アミル等のエステル系有機溶剤類、N-メチルピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド等の含窒素系有機溶剤類等を例示でき、これら有機溶剤は単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明の黒色顔料分散組成物は、F.多官能エポキシ化合物を含有させることが好ましい。
酸性カーボンブラックを使用する場合は、多官能エポキシ樹脂と、酸性カーボンブラックの表面に存在する官能基とが、好適に相互作用することにより、高い絶縁性を付与することができる。
また、本発明の黒色顔料分散物を用いて熱硬化性のパターンを形成する場合には、そのパターン形成を適切に行うことができる。
上記多官能エポキシ化合物としては、従来からブラックマトリックス用顔料分散物を形成するために使用されている多官能エポキシ化合物が挙げられる。
上記多官能エポキシ化合物としては、ジフェニルメタン骨格、ジナフチルメタン骨格、トリアジン骨格、ビフェニル骨格、フェノールノボラック骨格、テトラフェニルエタン骨格、及びビスフェノール骨格等から選ばれる少なくとも1種の骨格を有するものが例示できる。
上記多官能エポキシ化合物の中でも、ジフェニルメタン骨格、ジナフチルメタン骨格、トリアジン骨格、及び、ビフェニル骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有するものが好ましい。
上記ジフェニルメタン骨格、ジナフチルメタン骨格、トリアジン骨格、及び、ビフェニル骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する多官能エポキシ化合物としては、
等を例示できる。
上記多官能エポキシ化合物のなかでも、4官能以上の多官能エポキシ化合物が好ましい。上記4官能以上の多官能エポキシ化合物であれば、高温時における被膜維持に優れるため、嵩高さと相まって高い絶縁性が維持できるものと考えられる。上記4官能以上の多官能エポキシ化合物は、ジフェニルメタン骨格、ジナフチルメタン骨格、トリアジン骨格、及び、ビフェニル骨格を有する4官能以上の多官能エポキシ化合物がより好ましい。このような化合物としては、商品名:JER-604(三菱化学社製)が挙げられる。
上記多官能エポキシ化合物は、上記全顔料100質量部に対して、0.1~20質量部含有する。上記多官能エポキシ化合物の含有量が、上記顔料分散物中に0.1質量部未満であると、高抵抗な黒色顔料分散物を得ることができない等の問題が発生し、一方、上記多官能エポキシ化合物の含有量が、上記黒色顔料分散物中に20質量部を超えると、エポキシ基の重合により分散液の安定性を損なう可能性がある。
以上の材料を用いて黒色顔料分散組成物を製造する方法の例を説明する。
本発明の黒色顔料分散組成物は、製造時の位置合わせの点から、後述する黒色顔料分散組成物を含有する黒色顔料分散レジスト組成物(レジスト組成物中の顔料濃度が35質量%の時)の750nmの赤外透過率が25%以上、900nmの赤外透過率が45%以上、好ましくは、750nmの赤外透過率が30%以上、900nmの赤外透過率が55%以上となるように分散処理して得ることができる。
分散処理方法としては、
(1)上記A~Fを含む混合物をロールミル、ニーダー、高速攪拌機、ビーズミル、ボールミル、サンドミル、超音波分散機、高圧分散装置等を用いて、分散処理する方法。
(2)上記A.a.ラクタムブラック、b.紫色顔料、c.青色顔料及び/又は緑色顔料と上記B~Fを含む混合物をロールミル、ニーダー、高速攪拌機、ビーズミル、ボールミル、サンドミル、超音波分散機、高圧分散装置等を用いて、分散処理した分散物とA.d.カーボンブラックと上記B~Fを含む混合物をロールミル、ニーダー、高速攪拌機、ビーズミル、ボールミル、サンドミル、超音波分散機、高圧分散装置等を用いて、分散処理した分散物を混合処理した分散物を混合処理する方法。
(3)上記A.a.ラクタムブラック、b.紫色顔料、c.青色顔料及び/又は緑色顔料、d.カーボンブラックの個々と上記B~Fを含む混合物を分散処理する方法。
等が例示できるが、上記Aのa~dを共分散させた場合は、カーボンブラックが過分散となり、赤外透過率が低下するので、(a)~(c)の有機顔料と(d)のカーボンブラックは、別々に分散処理することが好ましい。
尚、F成分は、分散処理した後に、添加し混合処理してもかまわない。
本発明の黒色顔料分散組成物は、例えば、後述する黒色顔料分散レジスト組成物を調製し、該黒色顔料分散レジスト組成物を、スピンコーターにて膜厚1μmとなるようにガラス基板上に塗布し、ベタ部のみで形成したブラックレジストパターンについて、マクベス濃度計(TD-931、マクベス社製)を用いて測定した、光学濃度(OD値)が0.6以上、より好ましくは1.2以上あることが好ましい。
上記黒色顔料分散レジスト組成物としては、特定の顔料、顔料分散剤、スルホン酸基を有する顔料分散助剤、バインダー樹脂、光重合開始剤及び有機溶剤から主として構成され、上記バインダー樹脂としてアルカリ可溶性樹脂及び光重合性化合物を含むものを挙げることができる。
上記黒色顔料分散組成物に対して、アルカリ可溶性樹脂と、光重合性化合物と、光重合開始剤を含有させることにより、黒色顔料分散レジスト組成物とすることができる。
<黒色顔料分散レジスト組成物の構成材料>
(着色剤)
着色剤としては、上記黒色顔料分散組成物で記載したものと同じものを使用する。
着色剤の使用量は、黒色顔料分散レジスト組成物の全固形分に対して質量分率で、使用する着色剤の合計量で好ましくは20~90質量%、より好ましくは30~60質量%である。
スルホン酸基を有する顔料分散助剤としては、上記黒色顔料分散組成物で記載したものと同じものを使用する。
上記レジスト組成物において、スルホン酸基を有する顔料分散助剤の使用量は、使用する全着色剤100質量部に対して、通常30質量部以下が好ましく、より好ましくは0.1~20質量部の範囲である。スルホン酸基を有する顔料分散助剤の使用量が上記範囲を超えても、分散効果がそれ以上向上されない傾向にある。
顔料分散剤としては、上記黒色顔料分散組成物で記載したものと同じものを使用する。
上記レジスト組成物において、顔料分散剤の使用量は、使用する全着色剤100質量部に対して、通常1~200質量部が好ましく、より好ましくは1~60質量部である。顔料分散剤の使用量が1質量部未満では、分散性が低下する場合がある。一方、使用する全着色剤100質量部に対して、200質量部を超える場合は、現像性が低下するおそれがある。
アルカリ化溶性樹脂としては、上記黒色顔料分散組成物で記載したものと同じものを使用する。
上記黒色顔料分散レジスト組成物において、アルカリ可溶性樹脂の使用量は、使用する全着色剤100質量部に対して、通常、10~1,000質量部が好ましく、より好ましくは10~500質量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が10質量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れや膜残りが発生するおそれがある。一方1,000質量部を超えると、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的とする光学濃度を達成することが困難となるおそれがある。
光重合性化合物としては、光重合性不飽和結合を分子内に1個以上有するモノマー、オリゴマー等で、上記黒色顔料分散組成物で記載したものと同じものを使用する。
これらの光重合性化合物は、単独で又は2種以上を組合せて用いることができる。光重合性化合物の使用量は、上記黒色顔料分散レジスト組成物中の全固形分に対して質量分率で、好ましくは3~50質量%である。
光重合開始剤としては特に限定されず、例えば、ベンゾフェノン、N,N’-テトラエチル-4,4’-ジアミノベンゾフェノン、4-メトキシ-4’-ジメチルアミノベンゾフェノン、ベンジル、2,2-ジエトキシアセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、α-ヒドロキシイソブチルフェノン、チオキサントン、2-クロロチオキサントン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、t-ブチルアントラキノン、1-クロロアントラキノン、2,3-ジクロロアントラキノン、3-クロル-2-メチルアントラキノン、2-エチルアントラキノン、1,4-ナフトキノン、1,2-ベンゾアントラキノン、1,4-ジメチルアントラキノン、2-フェニルアントラキノン、2-メチル-1[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、オキシムエステル系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤等が挙げられる。これらは単独又は2種以上を併用して用いることができる。
上記光重合開始剤の使用量は、上記黒色顔料分散レジスト組成物中の全固形分に対して質量分率で、好ましくは1~20質量%である。
上記黒色顔料分散レジスト組成物で使用する有機溶剤としては、好ましくは、常圧(1.013×102kPa)における沸点が100~250℃のエステル系有機溶剤、エーテル系有機溶剤、エーテルエステル系有機溶剤、ケトン系有機溶剤、芳香族炭化水素系有機溶剤、含窒素系有機溶剤等を挙げることができる。沸点が250℃を超える有機溶剤を多量に含有していると、塗布形成された塗膜をプレベークする際に有機溶剤が充分に蒸発せずに乾燥塗膜内に残存し、乾燥塗膜の耐熱性が低下するおそれがある。また、沸点100℃未満の有機溶剤を多量に含有していると、ムラなく均一に塗布することが困難になり、表面平滑性に優れた塗膜が得られなくなるおそれがある。
好ましい溶剤としては、具体的には、上記の有機溶剤と同様のものが挙げられる。
これらの有機溶剤の中でも、溶解性、分散性、塗布性等の点で、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、2-ヒドロキシプロピオン酸エチル、3-メチル-3-メトキシブチルプロピオネート、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、蟻酸n-アミル等が好ましく、より好ましくは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートである。
更に、これらの有機溶剤は、上記アルカリ可溶性樹脂の溶解性、分散性、塗布性の点から、上記レジスト組成物中、50質量%以上含有させることが好ましく、70質量%以上含有させることがより好ましい。
上記レジスト組成物としては、着色剤、顔料分散剤、スルホン酸基を有する顔料分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及び有機溶剤から主として構成されるのものが挙げられ、これらの成分は、黒色顔料分散レジスト組成物中、通常90~100質量%を占める。
上記黒色顔料分散レジスト組成物には、必要に応じて、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤等の各種添加剤を適宜使用することができる。
以上の材料を用いて黒色顔料分散レジスト組成物を製造する方法の例を説明する。
〔製造方法〕
上記黒色顔料分散組成物の製造法で得られた黒色顔料分散組成物に、光重合性化合物、光重合開始剤、必要に応じてアルカリ可溶性樹脂、有機溶剤、その他の添加剤を加えて、高速撹拌機等の撹拌装置を用いて均一に混合した後、フィルターで濾過し、黒色顔料分散レジスト組成物を得る。
実施例を用いて本発明を具体的に説明するが、本発明はその主旨と適用範囲を逸脱しない限りこれらに限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、本実施例において、「部」および「%」は、それぞれ「質量部」および「質量%」を表す。
ラクタムブラック(Irgaphor Black S 0100 CF、BASF社製)
PB15:4(ピグメントブルー15:4)
PB15:6(ピグメントブルー15:6)
PB16(ピグメントブルー16)
PB60(ピグメントブルー60)
PG54(ピグメントグリーン54)
PV23(ピグメントバイオレット23)
PV29(ピグメントバイオレット29)
カーボンブラック(酸性カーボンブラック)
(顔料分散助剤1)
100ml三角フラスコに濃硫酸を30ml仕込み、マグネチックスターラーで攪拌し
ながらピグメントレッド2(上記式(3)及び/又は(4)で表される化合物)を10g
投入し、室温で30分攪拌した。1Lビーカーに水50gと氷50gの混合物を入れ、上
記の反応物をこの氷水中に注ぎ、マグネチックスターラーで30分攪拌した。これを減圧
下で濾過・水洗し、得られた固体を乾燥させて、目的物(上記一般式(31)及び/又は
(32)で表される化合物:M=H)12gを得た。
(顔料分散助剤2)
100ml三角フラスコに濃硫酸を30ml仕込み、マグネチックスターラーで撹拌し
ながらC.I.ピグメントイエロー138を10g投入し、室温で30分撹拌した。1L
ビーカーに水50gと氷50gの混合物を入れ、上記反応物をこの氷水中に注ぎ、マグネ
チックスターラーで30分撹拌した。これを減圧下で濾過・水洗し、得られた固体を乾燥
させて目的物ピグメントイエロー138のスルホン化物を12g得た。
BYK-LPN-22102(会社名:ビックケミー社製、塩基性基含有アクリル系ブロック共重合体)
<アルカリ可溶性樹脂>
BMM/MAA共重合体(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、理論酸価:120mgKOH/g、重量平均分子量:25,000)
DPEHA(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)
<光重合開始剤>
IRGACURE OXE 02(エタノン、1-{(9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル}-、1-(0-アセチルオキシム)
PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
PGME(プロピレングリコールモノメチルエーテル)
黒色顔料分散組成物及び黒色顔料分散レジスト組成物の粘度の測定方法としては以下の通り。
下記実施例、比較例の黒色顔料分散組成物及び黒色顔料分散レジスト組成物について、それぞれガラス瓶に採り、密栓し、初期粘度として、室温で1日保存した後の25℃の粘度[cp]、及び40℃において7日保存した後の粘度[cp]を、B型粘度計(トキメック社製)を用いて測定した。
実施例、比較例の各黒色顔料分散レジスト組成物をスピンコーターにて膜厚1μmとなるようにガラス基板上に塗布し、100℃で3分間プレベークした後、高圧水銀灯で露光し、更に230℃で3時間ポストベークを行い、ベタ部のみで形成されたブラックレジストパターンを得た。得らえた各ベタ部のブラックレジストパターンの表面抵抗値をアドバンテスト社製、本体:微小電流計 R8340、オプション:シールドボックス R12702Aで測定した。
実施例、比較例の各黒色顔料分散レジスト組成物をスピンコーターにて膜厚1μmとなるようにガラス基板上に塗布し、100℃で3分間プレベークした後、高圧水銀灯で露光し、更に230℃で3時間ポストベークを行い、ベタ部のみで形成されたブラックレジストパターンを得た。得られた各ベタ部のブラックレジストパターンの光学濃度(OD値)をマクベス濃度計(TD-931、商品名、マクベス社製)で測定した。
ODを8カ所測定し膜厚、顔料濃度で補正し最大値、最小値を除くOD値の平均値を光学濃度とした。
(塗膜をカッターナイフで削りOD値測定点の膜厚を測定)
補正OD値=実測OD値×15.0/顔料濃度×1.0/実測膜厚値
実施例、比較例の各黒色顔料分散レジスト組成物(顔料濃度が35質量%の時)をスピ
ンコーターにて膜厚1μmとなるようにガラス基板上に塗布し、100℃で3分間プレベ
ークした後、高圧水銀灯で露光し、更に230℃で3時間ポストベークを行い、ベタ部の
みで形成されたブラックレジストパターンを得た。得られた各ベタ部のブラックレジスト
パターンの300~1000nmの吸光度を分光光度計(UV-2000PC)で測定し
た。つぎに塗膜をカッターナイフで削り吸光度測定点の膜厚を測定し、750nm、及び
900nmの実測吸光度を膜厚、顔料濃度で補正した。透過率は、補正吸光度から下記の
公式により算出した。
Τ:透過率
実施例、比較例の各黒色顔料分散レジスト組成物をスピンコーターにて膜厚1μmとなるようにガラス基板(90nm×90nm)上に塗布し、100℃で3分間プレベークした後、高圧水銀灯で露光し、更に230℃で3時間ポストベークを行い、ベタ部のみで形成されたブラックレジストパターンを得た。次に、塗布板を皿の上にのせ、100℃に熱したN-メチルピロリドン(NMP)をかけ、アルミホイルでふたをして、100℃のオーブンへ入れ、10分後とりだし溶出液(NMP)のみをスクリュー瓶に回収する。目視観察後に、溶出液の吸光度を分光光度計(UV-2500PC)で測定(300-1000nm、ブランクはNMP)した。最大ピークの吸収を結果として記載した。値は小さいほど良好である。
実施例、比較例の各ブラックレジストパターンの色相を目視にて観察し、色相を評価した。
表1の組成の混合物を、循環式ビーズミルで、下記の条件で混練し、実施例A1~7及び比較例A1~6にかかる顔料分散液を得た。
循環式ビーズミル:内容量150ml
循環する混合物の量:1kg
分散負荷:100%
循環温度:50℃
周速:9~10m/s
吐出量:200g/min
循環時間:2時間
シリンジ下部に径3μmのPTFE製フィルター(アドバンテック)をセットし、シリンジ
に60g程度黒色顔料分散組成物又は黒色顔料分散レジスト組成物を入れた後、送厚弁をシ
リンジ上部にセットする。その後、1分間静置し、黒色顔料分散組成物又は感光性着色組
成物が垂れてこないことを確認(フィルターのセットミス、破れをチェック)する。次い
で、0.10MPaの圧力で窒素ガスを1秒送り、圧力によりフィルターを通った黒色顔料分
散組成物量又は黒色顔料分散レジスト組成物量を10秒毎に記入し、60秒までこれを行
う。表には、60秒間で通った量を記載する。
上記実施例A1~7及び比較例A1~5にかかる黒色顔料分散液と他の材料とを表2の組成になるように高速攪拌機を用いて均一に混合した後、孔径3μmのフィルターでろ過し、実施例B1~7及び比較例B1~5の感光性着色組成物(黒色顔料分散レジスト組成物)を得た。
実施例B1~7によれば、初期粘度に対して40℃で7日間の保存後において特に粘度が高くはならず、表面抵抗、OD値が高く、透過率が低く、耐溶剤性に優れ、塗膜色相が黒であった。
これに対して比較例B1では着色料がカーボンブラックのみであるため、表面抵抗の値が低く、比較例B2では着色料がペリレンブラックのみであるため、初期粘度に比べて40℃/7日間後の粘度が上昇した。比較例B3によれば、着色料がラクタムブラックのみであるため、耐溶剤性及びOD値が良くなく、さらに色味が茶色と良くなかった。比較例B4では、カーボンブラックを含有しないので、OD値が低く、粘度が高いものであった。比較例B5によれば、ラクタムブラックを含有しないので、OD値が低く、粘度が高いものであった。
上記各実施例、及び各比較例で得られた黒色顔料分散組成物、及び、黒色顔料分散レジスト組成物について、下記の方法で分散安定性、光学濃度、表面抵抗値、赤外透過率、耐溶剤性、塗膜色相、濾過性を評価し、その結果を表3に示した。
表4の組成のカーボンを除く着色剤の混合物、カーボンブラックを下記の条件で混練し、実施例A8~A17の黒色顔料分散組成物を得た。さらに実施例B8~B15の黒色顔料分散レジスト組成物を得た。
循環式ビーズミル:内容量150ml
循環する混合物の量:1kg
(練肉負荷:100%のとき)
循環温度:50℃
周速:9~10m/s
吐出量:200g/min
循環時間:2時間
(練肉負荷:80%のとき)
循環温度:50℃
周速:7~8m/s
吐出量:200g/min
循環時間:2時間
表4に示す材料を練肉して、実施例A8~17の黒色顔料分散液を得た。実施例A8~17の初期粘度と40℃で7日間保存後の粘度とはほぼ同じであった。
上記実施例A8~13にかかる黒色顔料分散液のための組成物を、表5に記載の割合となるようにして、高速攪拌機を用いて均一に混合した後、孔径3μmのフィルターでろ過し、実施例B8~13の感光性着色組成物(黒色顔料分散レジスト組成物)を得た。また、実施例A16、実施例A17の黒色顔料分散液と他の材料とを表5の組成になるように高速攪拌機を用いて均一に混合した後、孔径3μmのフィルターでろ過し、実施例B14、15の感光性着色組成物(黒色顔料分散レジスト組成物)を得た。
実施例B8~15によれば、初期粘度に対して40℃で7日間の保存後において特に粘度が高くはならず、表面抵抗、OD値が高く、透過率が低く、耐溶剤性に優れ、塗膜色相が黒であった。
特に実施例B10、12及び13によれば、A9~11はラクタムブラック、PV23、PB15:4を含んで練肉負荷100%で分散したものであり、そのような黒色顔料分散組成物とA12,14及び15のようにカーボンブラックを含有し練肉負荷80%で分散させた黒色顔料分散組成物との組み合わせの場合には、透過率と濾過性のバランスが良い黒色顔料分散レジスト組成物が得られた。
そして実施例B8のように、練肉負荷80%で練肉したラクタムブラック、PV23、PB15:4を含む黒色顔料分散組成物を使用すると濾過性が若干低下する傾向にある。
実施例A13はカーボンブラックを含有し練肉負荷100%で分散した黒色顔料分散組成物でありこれを使用した実施例B9及び11は赤外線の透過率が低下する傾向にある。
実施例B14は4種の着色剤を含有し、これらを一緒にして練肉負荷80%で練肉したときには、ラクタムブラックとPV23の微細化・潰れが悪く赤外線透過率が低い傾向にある。
実施例B15は4種の着色剤を含有し、これらを一緒にして練肉負荷100%で練肉したときには、カーボンブラックが潰れすぎて赤外透過率が低い傾向にある。
Claims (12)
- A.a.ラクタムブラック、b.紫色顔料、c.青色顔料及び/又は緑色顔料、d.カーボンブラック、のa~dを含有する顔料、を含有する黒色顔料分散組成物(但し、C.I.ピグメントブルー60を含有しない)。
- B.スルホン酸基を有する顔料分散助剤
C.顔料分散剤
D.バインダー樹脂
E.有機溶剤
を含有する請求項1に記載の黒色顔料分散組成物。 - F.多官能エポキシ化合物を含有する請求項1又は2に記載の黒色顔料分散組成物。
- b.紫色顔料が、ピグメントバイオレット23及び/又はピグメントバイオレット29、c.青色顔料及び/又は緑色顔料がピグメントブルー15:3、ピグメントブルー15:4、ピグメントブルー15:6、ピグメントブルー16、ピグメントブルー60及びピグメントグリーン54から選ばれる少なくとも1種である請求項1~3のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物。
- B.スルホン酸基を有する顔料分散助剤が、下記一般式(1)及び/又は(2)で表される分散助剤及び/又はピグメントイエロー138のスルホン化物である請求項2~4のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物。
- 一般式(1)及び/又は(2)で表される分散助剤のXが2,5-ジクロロフェニル基であり、Yがフェニル基である請求項5に記載の黒色顔料分散組成物。
- C.顔料分散剤が、塩基性基含有アクリル樹脂系分散剤である請求項2~6のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物。
- F.多官能エポキシ化合物が、ジフェニルメタン骨格、ジナフチルメタン骨格、トリアジン骨格、フェノールノボラック骨格、テトラフェニルエタン骨格、ビスフェノール骨格及び、ビフェニル骨格から選ばれる少なくとも1種の骨格を有する多官能エポキシ化合物である請求項3~7のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物。
- D.バインダー樹脂が、アルカリ可溶性樹脂を含有する請求項2~8のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物。
- 請求項1~9のいずれかに記載の黒色顔料分散組成物と、アルカリ可溶性樹脂と、光重合性化合物と、光重合開始剤を含有する黒色顔料分散レジスト組成物。
- 黒色顔料分散レジスト組成物の750nmの赤外透過率が25%以上、900nmの赤外透過率が45%以上、であることを特徴とする請求項10に記載の黒色顔料分散レジスト組成物。
- 黒色顔料分散レジスト組成物の750nmの赤外透過率が30%以上、900nmの赤外透過率が55%以上、であることを特徴とする請求項10又は11に記載の黒色顔料分散レジスト組成物。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018151079A1 (ja) | 2017-02-15 | 2018-08-23 | 三菱ケミカル株式会社 | 感光性着色組成物、硬化物、着色スペーサー、画像表示装置 |
JP2019045659A (ja) | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 東京応化工業株式会社 | 感光性組成物、硬化物形成方法、硬化物、画像表示装置用パネル、及び画像表示装置 |
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---|---|---|---|---|
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JPH09302265A (ja) * | 1996-05-16 | 1997-11-25 | Toppan Printing Co Ltd | 遮光膜形成用着色樹脂組成物、アレイ基板素子及び液晶表示装置 |
JPH11149153A (ja) | 1997-11-14 | 1999-06-02 | Jsr Corp | ブラックレジスト用感放射線性組成物 |
JP2004251946A (ja) | 2003-02-18 | 2004-09-09 | Mikuni Color Ltd | カラーフィルター用カーボンブラック分散液及びカーボンブラック含有樹脂組成物並びにブラックマトリックス |
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JP6569220B2 (ja) * | 2013-06-24 | 2019-09-04 | 東レ株式会社 | タッチパネル用黒色樹脂組成物 |
KR102715193B1 (ko) * | 2013-09-25 | 2024-10-11 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | 감광성 착색 조성물, 블랙 매트릭스, 착색 스페이서, 화상 표시 장치 및 안료 분산액 |
JP6363830B2 (ja) * | 2013-10-17 | 2018-07-25 | サカタインクス株式会社 | カラーフィルター用赤色顔料分散レジスト組成物 |
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Patent Citations (4)
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---|---|---|---|---|
WO2018151079A1 (ja) | 2017-02-15 | 2018-08-23 | 三菱ケミカル株式会社 | 感光性着色組成物、硬化物、着色スペーサー、画像表示装置 |
JP2019045659A (ja) | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 東京応化工業株式会社 | 感光性組成物、硬化物形成方法、硬化物、画像表示装置用パネル、及び画像表示装置 |
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JP2019160473A (ja) | 2018-03-09 | 2019-09-19 | 三菱ケミカル株式会社 | 有機電界発光素子隔壁形成用着色感光性組成物、隔壁、有機電界発光素子、画像表示装置及び照明 |
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