JP6923346B2 - 基板搬送装置、それを備える基板処理装置および基板搬送装置のティーチング方法 - Google Patents
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Description
(8)保持部には、当該保持部に保持される基板の予め定められた部分が位置すべき基準位置が定義され、撮像部は、当該撮像部の視野が基準位置を含むように保持部に取り付けられてもよい。
(9)撮像部は、斜め上方の位置から基準位置を向く撮像が可能となるように、保持部の上面上に取り付けられてもよい。
図1(a),(b),(c)は本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置500の平面図、側面図および正面図である。図1の基板搬送装置500は、移動部材510(図1(b),(c))、回転部材520、2つのハンドH1,H2および2つのカメラC1,C2を含む。移動部材510は、ガイドレール(図示せず)に沿って水平方向に移動可能に構成される。
図2(a),(b)は、図1のハンドH1に取り付けられるカメラC1の視野を示す平面図および側面図である。図2(a),(b)では、カメラC1の視野vfが二点鎖線で示される。
図3は基板搬送装置500の制御系の構成を示すブロック図である。図3に示すように、基板搬送装置500は、上下方向駆動モータ511、上下方向エンコーダ512、水平方向駆動モータ513、水平方向エンコーダ514、回転方向駆動モータ515、回転方向エンコーダ516、上ハンド進退用駆動モータ525、上ハンドエンコーダ526、下ハンド進退用駆動モータ527、下ハンドエンコーダ528、カメラC1,C2、制御部530、操作部550および表示部590を含む。
本実施の形態に係る基板搬送装置500は、搬送モードおよびティーチングモードで動作可能に構成される。搬送モードにおいては、基板搬送装置500は、例えば一の処理ユニットの所定の基板支持部にある基板をハンドH1,H2のいずれかにより受け取って搬送し、他の処理ユニットの所定の基板支持部に渡す(載置する)。基板支持部は、例えば基板Wの裏面(下面)を吸着保持するスピンチャック、基板Wの外周端部を保持するスピンチャック、基板Wの裏面の複数の部分をそれぞれ支持する複数の支持ピン、または基板Wを載置可能なプレートである。
図8は、制御部530の機能的な構成を示すブロック図である。制御部530は、動作モード切替部50、基準画像記憶部51、表示制御部52、画像データ生成部53、位置調整部54、位置修正部55、位置情報記憶部56、移動制御部57、位置取得部58、位置情報更新部59、ずれ量記憶部60および警報出力部61を含む。
図9および図10は、ティーチングモードにおける基板搬送装置500の動作を示すフローチャートである。ここでは、一の基板支持部に対するハンドH1のティーチングについて説明する。以下に説明する動作は、基板搬送装置500がティーチングモードに切り替えられた後、使用者が操作部550を操作することにより、ティーチングの対象となるハンドH1,H2のいずれかが指定されるとともに一の基板支持部が指定されることにより開始される。
(a)本実施の形態に係る基板搬送装置500においては、ハンドH1,H2にそれぞれカメラC1,C2が取り付けられている。それにより、簡単な構成で各カメラC1,C2により取得される実画像データと基準画像データとに基づいて各ハンドH1,H2のそれぞれのティーチングを行うことができる。したがって、ティーチングごとに各ハンドH1,H2により各カメラC1,C2を保持するための構成を用意する必要がない。また、ティーチングごとに各ハンドH1,H2により各カメラC1,C2を保持する必要がないので、各ハンドH1,H2と各カメラC1,C2の視野vfとの位置関係にばらつきが生じない。これらの結果、正確なティーチングを低コストで安定して行うことが可能になる。
図11は、本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置を備えた基板処理装置の模式的平面図である。図11以降の図面には、位置関係を明確にするために互いに直交するU方向、V方向およびW方向を示す矢印を付している。U方向およびV方向は水平面内で互いに直交し、W方向は鉛直方向に相当する。
(a)上記実施の形態においては、カメラC1,C2がハンドH1,H2の上面上にそれぞれ取り付けられるが、カメラC1,C2はハンドH1,H2の下面上にそれぞれ取り付けられてもよい。また、カメラC1,C2はハンドH1,H2の中心軸CL上にそれぞれ位置しなくてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
Claims (11)
- 基板支持部に渡すべき基板または前記基板支持部から受け取った基板を搬送する基板搬送装置であって、
基板を保持するように構成される保持部と、
前記保持部を移動させる駆動部と、
前記保持部に取り付けられる撮像部と、
搬送モードおよびティーチングモードで動作可能に構成された制御部とを備え、
前記制御部は、
前記保持部の位置を取得する位置取得部と、
前記保持部が前記基板支持部に基板を渡すかまたは前記保持部が前記基板支持部から基板を受け取るために前記保持部が移動すべき受け渡し位置を示す位置情報を記憶するとともに、前記保持部が正規の受け渡し位置にある状態で前記撮像部により得られるべき前記基板支持部のうち前記基板に接触する部分の画像を示す基準画像データを記憶する記憶部と、
前記ティーチングモードにおいて、前記記憶部に記憶された位置情報に基づいて前記駆動部を制御することにより暫定的な受け渡し位置へ前記保持部を移動させる移動制御部と、
前記ティーチングモードにおいて、前記保持部が前記暫定的な受け渡し位置に移動した後に、前記撮像部により得られる前記基板支持部の画像を示す実画像データを取得する画像データ取得部と、
前記ティーチングモードにおいて、前記画像データ取得部により取得される実画像データおよび前記記憶部に記憶された基準画像データに基づいて前記駆動部を制御することにより、前記保持部が前記暫定的な受け渡し位置から前記正規の受け渡し位置に移動するように前記保持部の位置を調整する位置調整部と、
前記ティーチングモードにおいて、前記位置調整部による前記保持部の位置の調整後に、前記位置取得部により取得された位置に基づいて前記記憶部に記憶された位置情報を更新する位置情報更新部とを含み、
前記移動制御部は、前記搬送モードにおいて、前記記憶部に記憶された更新後の位置情報に基づいて前記駆動部を制御することにより前記保持部を前記正規の受け渡し位置に移動させる、基板搬送装置。 - 前記位置調整部は、前記ティーチングモードにおいて、前記画像データ取得部により取得される実画像データに基づく画像と、前記記憶部に記憶された基準画像データに基づく画像との一致度が予め定められた一致度しきい値よりも大きくなるように前記保持部の位置を調整する、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記記憶部に記憶された基準画像データは、前記保持部が前記正規の受け渡し位置にある状態で前記撮像部により得られる前記基板支持部の画像を示す画像データである、請求項1または2記載の基板搬送装置。
- 前記制御部は、前記ティーチングモードにおいて、前記暫定的な受け渡し位置と前記正規の受け渡し位置とのずれ量を算出するとともに算出したずれ量を記憶するずれ量記憶部と、
前記ティーチングモードにおいて、前記ずれ量記憶部に新たなずれ量が記憶されたときに、前記新たなずれ量と前回のティーチング時に前記ずれ量記憶部に記憶されたずれ量との差分を算出し、算出された差分が予め定められた差分しきい値よりも大きい場合に警報を出力する警報出力部とを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 表示部をさらに備え、
前記制御部は、前記ティーチングモードにおいて、前記画像データ取得部により取得される実画像データに基づく画像を表示するように前記表示部を制御する表示制御部をさらに含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 前記表示制御部は、前記ティーチングモードにおいて、前記表示部に表示される画像上に、前記基準画像データに基づく画像に関する情報を重畳表示するように前記表示部を制御する、請求項5記載の基板搬送装置。
- 前記保持部の位置を修正するために使用者により操作可能な操作部をさらに備え、
前記制御部は、前記ティーチングモードにおいて、前記操作部の操作に応答して前記位置調整部により調整された前記保持部の位置を修正する位置修正部をさらに含み、
前記位置情報更新部は、前記ティーチングモードにおいて、前記位置調整部により調整された前記保持部の位置が前記位置修正部により修正された場合に、前記位置修正部による修正後に、前記位置取得部により取得された位置に基づいて前記記憶部に記憶された前記位置情報を更新する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 前記保持部には、当該保持部に保持される基板の予め定められた部分が位置すべき基準位置が定義され、
前記撮像部は、当該撮像部の視野が前記基準位置を含むように前記保持部に取り付けられた、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 前記撮像部は、斜め上方の位置から前記基準位置に向く撮像が可能となるように、前記保持部の上面上に取り付けられた、請求項8記載の基板搬送装置。
- 基板に処理を行う基板処理装置であって、
前記基板支持部を有し、前記基板支持部に支持された基板に処理を行うように構成された処理ユニットと、
請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板搬送装置とを備え、
前記基板搬送装置の前記制御部は、前記搬送モードにおいて、前記駆動部を制御することにより前記処理ユニットへ渡すべき基板または前記処理ユニットから受け取った基板を搬送する、基板処理装置。 - 基板支持部に渡すべき基板または前記基板支持部から受け取った基板を搬送する基板搬送装置のティーチング方法であって、
前記基板搬送装置は、
基板を保持するように構成される保持部と、
前記保持部を移動させる駆動部とを含み、
前記ティーチング方法は、
前記保持部に撮像部を取り付けるステップと、
前記保持部が前記基板支持部に基板を渡すかまたは前記保持部が前記基板支持部から基板を受け取るために前記保持部が移動すべき受け渡し位置を示す位置情報を記憶するとともに、前記保持部が正規の受け渡し位置にある状態で前記撮像部により得られるべき前記基板支持部のうち前記基板に接触する部分の画像を示す基準画像データを記憶するステップと、
前記記憶するステップにより記憶された位置情報に基づいて前記駆動部を制御することにより暫定的な受け渡し位置へ前記保持部を移動させるステップと、
前記保持部が前記暫定的な受け渡し位置に移動した後に、前記撮像部により得られる前記基板支持部の画像を示す実画像データを取得するステップと、
前記実画像データを取得するステップにより取得される実画像データおよび前記記憶するステップにより記憶された基準画像データに基づいて前記駆動部を制御することにより、前記保持部が前記暫定的な受け渡し位置から前記正規の受け渡し位置に移動するように前記保持部の位置を調整するステップと、
前記調整するステップによる前記保持部の位置の調整後に、前記保持部の位置を取得するとともに取得された位置に基づいて前記記憶するステップにより記憶された位置情報を更新するステップとを含む、基板搬送装置のティーチング方法。
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