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JP6960111B2 - 塗工装置 - Google Patents

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JP6960111B2
JP6960111B2 JP2019525445A JP2019525445A JP6960111B2 JP 6960111 B2 JP6960111 B2 JP 6960111B2 JP 2019525445 A JP2019525445 A JP 2019525445A JP 2019525445 A JP2019525445 A JP 2019525445A JP 6960111 B2 JP6960111 B2 JP 6960111B2
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Description

本発明は、塗工装置に関する。
例えば、ガラス基板や太陽電池基板等の基板表面に配線パターンを形成したり、集電体表面に活物質層を形成したりすることを目的として、配線材料や活物質材料を含むペースト状の液体を基板等に塗工する技術がある。近年では、塗工膜の乾燥膜厚を大きくすること、乾燥に要する時間を短縮すること、又は溶媒の使用量を削減すること、等を目的として、従来よりも高粘度の液体を用いての塗工膜の形成が求められている。また、歩留りの向上を目的として高精度な膜厚制御が求められている。しかし、高粘度の液体を用いる送液系では、圧力損失によって送液の応答性が低下し、塗工の開始時又は終了時に塗工膜厚が安定しない恐れがある。
スリットダイを備えたダイコータとして、例えば、非特許文献1には、液供給ポンプでダイヘッドに備えられたマニホールドへ塗工液を供給する構成が開示されている。また、非特許文献1には、ダイヘッドに貯めた塗工液を板型プランジャによって押し出す構成が開示されている。
株式会社ダイ門、"NEW卓ダイと通常ダイコーターとの比較"、 [online]、2015年4月17日、[平成29年1月15日検索]、インターネット〈URL:http://www.die-gate.com/weblog/wp-content/uploads/hikaku.png〉
しかしながら、液供給ポンプでダイヘッドのマニホールドへ塗工液を供給する構成の場合、高粘度の塗工液を塗工する際の応答性が悪く、塗工開始時及び終了時の塗工膜厚が安定しない恐れがある。また、ダイヘッドに貯めた塗工液を板型プランジャによって押し出す構成の場合、板型プランジャを押し込む空間への塗工液の供給機能が備わっていないため、都度塗工液を流し込む必要があり、気泡の混入によって塗工膜の品質が劣化する恐れや、塗工膜厚が安定しない恐れがある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、塗工膜厚の精度の向上及び塗工膜の品質向上を図ることができる塗工装置を提供することを目的とする。
本発明の一側面に係る塗工装置は、第1方向に所定の幅を有する吐出口を有し、吐出口が被塗工材に対して第1方向と交差する第2方向に相対的に移動することによって塗工液を平面状に塗工する塗工装置であって、塗工液が供給される第1液溜部と、第1液溜部に連通する流路と、流路を通って第1液溜部と連通しており、吐出口から塗工液が吐出される第2液溜部と、を備える。
本発明によれば、塗工膜厚の精度の向上及び塗工膜の品質向上を図ることができる塗工装置を提供することが可能となる。
図1は、本実施形態に係る塗工装置を示す概略断面図である。 図2は、塗工部の構造を示す斜視図である。 図3は、塗工部の構造を示す断面図である。 図4は、塗工部の内部の構造を示す斜視図である。
以下に本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の構成要素は同一又は類似の符号で表している。図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施形態に限定して解するべきではない。
<実施形態>
図1及び図2を参照しつつ、本発明の実施形態に係る塗工装置1の構成について説明する。図1は、本実施形態に係る塗工装置を示す概略断面図である。図2は、塗工部の構造を示す斜視図である。なお、図中の第1方向X、第2方向Y、及び第3方向Zは、例えば互いに直交する方向であるが、互いに直交以外の角度で交差する方向であってもよい。また、第1方向X及び第2方向Yによって特定される面をXY面と呼び、他の方向によって特定される平面も同様に呼ぶものとする。
塗工装置1は、加圧タンク5、塗工部2、搬送部3、及び制御部4を備えている。加圧タンク5は、塗工液を収容する容器71と、容器71の上部にエアを送る配管72と、エアの供給量を調整するバルブ73と、塗工液を送る配管75と、を備えている。加圧タンク5は、塗工液を収容した容器71の内部に配管72から不活性ガスを送り、塗工液をその上面から加圧する。加圧された塗工液は、配管75を通って塗工部2に送られる。配管75には、ポンプ等が備えられていない。これにより、高粘度の塗工液であっても送液が可能であり、塗工液に接触するパーツの数を減らすことで洗浄が容易となる。なお、塗工液を送り出す送液系は、上記の加圧タンク5に限定されるものではなく、ダイヤフラムポンプ等を用いたものであってもよい。
図1及び図2に示すように、塗工部2は、その内部に、第1液溜部10と、第1液溜部10に連通する流路20と、流路20に連通する第2液溜部30とを備えており、第1方向Xに所定の幅を有するスリット状の吐出口40を備えるダイヘッドである。また、塗工部2は、第2液溜部30に接続されたピストンプレート50及び圧力センサ60を備えている。
第1液溜部10は、配管75に比べて第1方向Xに広い空間であり、配管75を通して加圧タンク5から供給された塗工液を貯めることができる。第1液溜部10は、塗工液の供給口に相当する第1開口部11aと、塗工液の排出口に相当する第2開口部11bを有している。第1開口部11a及び第2開口部11bは離れており、第1液溜部10の内壁13によって繋がっている。第1開口部11aは、配管75に接続されており、第2開口部11bは、流路20に接続されている。このため、第1開口部11aのXY面と平行な断面形状は、例えば、配管75の内径と略等しい内径を有する円形状である。第2開口部11bのZX面と平行な断面形状は、第1方向Xに延びる吐出口40と平行なスリット状である。第1液溜部10は、第2開口部11bに近づくにつれて、第3方向Zの幅が小さくなっている。なお、図2に示した例では、第1液溜部10は、第1方向Xに延びる筒状の空間であるが、第2開口部11b側が第1方向Xに広がっていればこれに限定されるものではない。例えば、第1液溜部10は、第1開口部11aから第2開口部11bに向けて扇状に広がる空間であってもよい。
図1に示した例では、第1開口部11aは、第1液溜部10の上方(第3方向Zの正方向側)に位置しており、第3方向Zに開口した開口部である。また、第2開口部11bは、第1液溜部10の右方(第2方向Yの正方向側)に位置し、第2方向Yに開口した開口部である。但し、第1開口部11a及び第2開口部11bの位置はこれに限定されるものではない。例えば、第1開口部11aが第1液溜部10の下方(第3方向Zの負方向側)や左方(第2方向Yの負方向側)に位置してもよく、第2開口部11bが第1液溜部10の下方に位置してもよい。
第1液溜部10には、バルブ15を備えた排管14が接続されていてもよい。バルブ15は、排管14を通して第1液溜部10からの塗工液の排出を調整する。排管14は、第1開口部11a及び第2開口部11bから離れており、例えば、第1液溜部10の下方に位置している。つまり、第1液溜部10は、配管75、流路20、及び排管14に繋がる3つの開口部を有している。なお、排管14及びバルブ15は、省略されてもよく、つまり、第1液溜部10は、2つの開口部を有する空間であってもよい。
流路20は、第1液溜部10及び第2液溜部30を繋いでいる。流路20は、第1液溜部10から第2液溜部30への塗工液の流れを規制する隘路(ボトルネック)である。流路20は、塗工液の供給口に相当する第3開口部21aと、塗工液の排出口に相当する第4開口部21bと、を有している。第3開口部21aは第1液溜部10側に位置し、第4開口部21bは第2液溜部30側に位置している。図示した例では、第3開口部21aは、流路20の左方に位置し、第1液溜部10の第2開口部11bと一致し、第4開口部21bは、流路20の右方に位置する。また、第3開口部21a及び第4開口部21bは、共に第2方向Yに開口した開口部である。第3開口部21a及び第4開口部21bのZX面に平行な断面形状は、第1方向Xに延びる吐出口40と平行なスリット状である。
第2液溜部30は、体積可変な空間である。第2液溜部30の塗工液の流れる方向と直交する断面積は、流路20の塗工液の流れる方向と直交する断面積よりも大きい。第2液溜部30は、流路20を通して供給された塗工液を貯めることができる。ピストンプレート50が引き上げられているとき、第2液溜部30は、第1方向Xに延びる筒状の空間である。第2液溜部30の体積の最大値は、流路20の体積よりも大きい。但し、第2液溜部30の体積は、ピストンプレート50によって変化するため、流路20の体積よりも小さくなってもよく、略零になってもよい。第2液溜部30は、塗工液の供給口に相当する第5開口部31aと、塗工液の排出口に相当する第6開口部31bと、を有している。図1に示した例では、第5開口部31aは、第2液溜部30の左方に位置し、第2方向Yに開口している。第6開口部31bは、第2液溜部30の下方に位置し、第3方向Zに開口している。第5開口部31aは、流路20の第4開口部21bと一致し、第6開口部31bは、吐出口40に繋がっている。
ピストンプレート50は、第2液溜部30の圧力を変化させることによって第2液溜部30への塗工液の出入りを調整する送液機構である。図1に示した例では、ピストンプレート50は、第2液溜部30の上方に位置し、第2液溜部30の内壁の一部を形成している。ピストンプレート50は、第1方向Xに所定の幅を有しており、第3方向Zに沿って上下に移動する。これにより、ピストンプレート50は、第2液溜部30の圧力の変化が第1方向Xに沿って均等となるように、第2液溜部30の体積を変化させることができる。なお、送液機構は、第2液溜部30の圧力を変化させることができれば上記ピストンプレートに限定されるものではなく、例えば第2液溜部30に接するダイアフラム及び当該ダイアフラムを第2液溜部30とは反対側から加圧・減圧するエアシリンダであってもよい。
圧力センサ60は、第2液溜部30の圧力を測定する圧力センサである。圧力センサ60は、ピストンプレート50の位置によらず第2液溜部30の圧力を測定できるように、吐出口40の近くに配置されることが望ましい。
搬送部3は、塗工部2から吐出された塗工液が塗工される被塗工材79を搬送するものであり、例えば、搬送機構として可動ステージ77を備えている。可動ステージ77は、被塗工材79を保持する側の面がYZ面と平行な平面であり、第2方向Yに移動する。可動ステージ77は、被塗工材79を保持するための機構、例えば、被塗工材79を把持するチャックや、被塗工材79を減圧によって吸着する減圧装置、等を備えていてもよい。なお、本実施形態では枚葉方式の塗工装置1における搬送部3を例に挙げて説明したが、塗工装置1は、被塗工材79として連続した長尺の基材を用いる、いわゆるロールtoロール方式の塗工装置であってもよい。このとき、搬送部3は、例えば、巻き取りロールによって被塗工材79を搬送する搬送機構を備えていてもよい。
制御部4は、加圧タンク5、塗工部2、及び搬送部3を制御する。例えば、制御部4は、バルブ73の開閉を制御し、加圧タンク5からの塗工液の送液量を制御する。また、制御部4は、ピストンプレート50の位置を制御し、塗工部2の第2液溜部30への塗工液の出入りを制御する。また、制御部4は、圧力センサ60による測定圧力を受け取り、吐出量を把握することができる。また、制御部4は、可動ステージ77の移動速度を制御し、搬送部3による被塗工材79の搬送速度を制御する。制御部4は、バルブ73、ピストンプレート50、及び可動ステージ77を個別的に制御してもよく、それぞれが連動するように制御してもよい。制御部4は、圧力センサ60による測定圧力に基づいて、加圧タンク5、塗工部2、及び搬送部3を制御してもよい。
次に、図3及び図4を参照しつつ、本発明の実施形態に係る塗工部2及びその内部の構成について説明する。図3は、塗工部の構造を示す断面図である。図4は、塗工部の内部の構造を示す斜視図である。
図3は、第1開口部11aを含む塗工部2のYZ面と平行な断面を示している。図3に示すように、第1液溜部10の第3方向Zにおける幅はW1であり、流路20の第3方向Zにおける幅はW2である。幅W1は、内壁13のうち第3方向Zで対向する上面13aと下面13bとの間の距離である。幅W1は、第1開口部11aに近づくほど大きくなり、最大で幅W0となる。反対に、幅W1は、第2開口部11bに近づくほど小さくなる。幅W1は第2開口部11b(第3開口部21a)において最小となり、幅W2と等しくなる。
第1液溜部10から流路20への塗工液の送液量を第1方向Xにおいて均等にする観点から、幅W2は、幅W0の1/3以下であることが望ましい。つまり、W0/W2≧3であることが望ましい。幅W2は、位置によって変化せず、流路20の第2方向Yに沿って、略一定である。これによれば、流路20の凹凸によって塗工液へ気泡が混入することを抑制することができる。
第2液溜部30の第2方向Yにおける幅はW3であり、吐出口40の第2方向Yにおける幅はW4であり、ピストンプレート50の第2方向Yにおける幅はW5である。幅W3は、第5開口部31aに近づくほど大きく、第6開口部31bに近づくほど小さくなる。幅W3の最大値は、幅W2よりも大きい。第6開口部31bにおいて、幅W3は最小となり、吐出口40の幅W4と等しくなる。つまり、幅W3は幅W4以上である。第2液溜部30から吐出口40への塗工液の送液量を第1方向Xにおいて均等にする観点から、幅W4は、幅W3の最大値の1/3以下であることが望ましい。なお、幅W3は、第3方向Zにおいて流路20よりも吐出口40に近い位置で徐々に変化し、第3方向Zにおいて流路20よりも吐出口40から離れた位置で一定の最大値となる。
流路20の第2方向Yにおける長さはF1であり、吐出口40の第3方向Zにおける長さはF2である。長さF1は幅W2よりも大きく(F1>W2)、長さF2は幅W4よりも大きい(F2>W4)。また、長さF2は幅W2よりも大きい(F2>W2)。流路20から第2液溜部30への塗工液の送液量を第1方向Xにおいて均等にする観点から、長さF1は、幅W2の3倍以上であることが望ましい。つまり、F1/W2≧3であることが望ましい。また、吐出口40からの塗工液の吐出量を第1方向Xにおいて均等にする観点から、長さF2は、幅W4の3倍以上でありことが望ましい。つまり、F2/W4≧3であることが望ましい。
ピストンプレート50は、第3方向Zにスムーズに動くことで第2液溜部30の体積を変化させるものであるため、ピストンプレート50の幅W5は、第2液溜部30の幅W3と略等しい。具体的には、幅W5は、ピストンプレート50の摺動部51において略一定であり、先端部52において吐出口40に近づくほど小さくなっている。なお、摺動部51は、ピストンプレート50が移動するときに第2液溜部30の内壁33と擦り合う部分である。また、先端部52は、ピストンプレート50を最大まで押し込んだときに第2液溜部30の内壁33と当接する、吐出口40側の端部である。
図4に示すように、第1方向Xにおいて、第1液溜部10の幅はL1であり、流路20の幅はL2であり、第2液溜部30の幅はL3であり、吐出口40の幅はL4である。例えば、幅L1,L2,L3,L4は、それぞれ互いに等しい。幅L1,L2,及びL3が幅L4以上の大きさであれば、幅L1,L2,L3,L4は、互いに異なっていてもよい。例えば、幅L1、幅L2、及び幅L3が幅L4よりも大きくてもよく、幅L2が幅L3よりも大きくてもよい。
次に、高粘度の塗工液を用いた場合の塗工装置1による塗工方法について説明する。まず、加圧タンク5の容器71の中に塗工液を入れる。この時、脱泡処理として、例えば、塗工液を静置し気泡を抜く(静置脱泡)。脱泡処理として、さらに、容器71を減圧する真空脱泡や、塗工液を加熱する加熱脱泡を行ってもよい。次に、制御部4によってバルブ73を開き、容器71の気圧を上昇させ、配管75を通して第1液溜部10へ塗工液を送る。
気泡の混入量が多い初期の塗工液は、バルブ15を開いて第1液溜部10から排出する。ある程度塗工液の排出を行い、塗工液への気泡の混入量が減少したタイミングでバルブ15を閉じ、排管14からの塗工液の排出を止める。このとき、塗工液の第1液溜部10への供給は続いているが、流路20が狭く流れが規制されるため、塗工液は、第1方向Xに広がり、第1液溜部10に貯まる。塗工液が第1液溜部10に貯まったことで第2開口部11bにおける圧力が高まり、塗工液が流路20に押し出される。
第2液溜部30へ塗工液を供給するとき、塗工液は、第1方向Xに広がった状態で、流路20を通して第2液溜部30へ送られる。このとき、第5開口部31a及び第6開口部31bが塞がらない範囲で、ピストンプレート50は押し込まれている。第2液溜部30に塗工液が充ちたら、圧力センサ60の測定圧力が大気圧に対して正圧となるように制御部4に制御されつつ、ピストンプレート50が引き上げられて第2液溜部30が広がる。ピストンプレート50の引き上げは、圧力センサ60の測定圧力が第1液溜部10の圧力と等しくなるように、又は第1液溜部10の圧力に対して負圧となるように、制御部4によって制御されてもよい。これによれば、第1液溜部10から第2液溜部30への塗工液の流れをスムーズにし、逆流を抑制することができる。
次に、被塗工材79を可動ステージ77で搬送しつつ、ピストンプレート50を押し込んで塗工液を吐出口40から吐出する。塗工液の吐出時、ピストンプレート50の動きは、圧力センサ60の測定圧力が一定となるように、制御部4に制御される。可動ステージ77の搬送速度は、ピストンプレート50の動きに連動するように、制御部4によって制御される。塗工終了時には、ピストンプレート50を停止させ、又は若干引き上げて、塗工液の吐出を止める。第2液溜部30内に充分な塗工液が残っている場合は、そのまま次の塗工を開始し、塗工液の残量が不充分である場合は、再度、上記と同様のプロセスで第2液溜部30へ塗工液を供給する。
以上のとおり、本実施形態によれば、第1方向Xに所定の幅を有する吐出口40を有し、吐出口40が被塗工材79に対して第1方向Xと交差する第2方向Yに相対的に移動することによって塗工液を平面状に塗工する塗工装置1であって、塗工液が供給される第1液溜部10と、第1液溜部10に連通する流路20と、流路20を通って第1液溜部10と連通しており、吐出口40から塗工液が吐出される第2液溜部30と、を備える塗工装置1、が提供される。
上記態様によれば、塗工液は、一旦第1液溜部に流入し、流路を経由して第2液溜部に送液される。塗工液が第1液溜部から第2液溜部に送られる際に、流路によって塗工液の流れが規制される。このため、本実施形態に係る塗工装置によれば、吐出口からの塗工液の吐出量に対する、第1液溜部に流入する塗工液の量や第1液溜部の内部圧力の変化による影響を抑制することができる。つまり、第2方向における塗工膜厚の精度を向上させることができる。
流路20は、第1方向X及び第2方向Yと交差する第3方向Zにおいて、第1液溜部10よりも小さい幅W2を有してもよい。これによれば、塗工液が第1液溜部から流路へ送液される段階で、塗工液の流量を規制することができる。
第1液溜部10、流路20及び第2液溜部30はそれぞれ、第1方向Xにおいて、吐出口40以上の大きさの幅L1,L2,L3を有してもよい。これによれば、吐出口からの塗工液の第1方向に沿った吐出量を均一にすることができ、塗工膜厚の精度を向上させることができる。例えば、第1方向に沿った塗工膜厚の変動を±5%以内とすることができる。
塗工装置1は、さらに、第1液溜部10に塗工液を供給する容器71と、容器71と第1液溜部10を連通する配管75と、を備えてもよい。
塗工装置1は、さらに、第2液溜部30の圧力を変化させる送液機構50を備えてもよい。これによれば、塗工開始時及び終了時の塗工液の吐出の応答性を向上させることができる。つまり、塗工開始時及び終了時の塗工膜厚の精度を向上させることができる。また、吐出の応答性が低い高粘度の塗工液でも、塗工膜厚の精度が良好となるように塗工することができる。これによって、例えば1cPs以上9000000cPs以下の粘度の塗工液を精度よく塗工することができる。
塗工装置1は、さらに、第2液溜部30の圧力を測定する圧力センサ60を備えてもよい。これによれば、圧力センサの測定圧力から塗工液の吐出量を求めることができる。つまり、吐出量を制御することができる。
送液機構50は、圧力センサ60による測定圧力に基づいて制御されてもよい。これによれば、塗工液の第2液溜部への供給量及び吐出量を制御することができる。
送液機構50は、吐出口40からの塗工液の吐出時に、測定圧力が一定となるように制御されてもよい。これによれば、塗工液の吐出量の経時的な変動を抑制し、被塗工材の搬送方向において塗工膜厚の精度を向上させることができる。
送液機構50は、第2液溜部30への塗工液の供給時に、測定圧力が大気圧に対して正圧となるように制御されてもよい。これによれば、塗工液への気泡の混入を抑制することができ、塗工膜の品質を向上させることができる。
塗工装置1は、さらに、被塗工材79の搬送速度を制御する搬送機構77を備え、送液機構50及び搬送機構77は、連動するように制御されてもよい。これによれば、塗工液の吐出量の変動に合わせて被塗工材の搬送速度を調整することができるため、被塗工材の搬送方向における塗工膜厚の精度を向上させることができる。
塗工装置1は、さらに、被塗工材79の搬送速度を制御する搬送機構77を備え、搬送機構77は、圧力センサ60による測定圧力に基づいて制御されてもよい。これによれば、塗工液の吐出量の変動に合わせて被塗工材の搬送速度を調整することができるため、被塗工材の搬送方向における塗工膜厚の精度を向上させることができる。
送液機構50は、第1方向Xに所定の幅を有するピストンプレートを備えてもよい。これによれば、第2液溜部において、第1方向にそって均一に加圧又は減圧することができるため、第1方向に沿った塗工膜厚の精度を向上させることができる。
送液機構50は、第1方向Xが長手方向であるダイアフラムを備えてもよい。これによれば、摩擦によって生じた異物の塗工液への混入を防止することができる。
塗工装置1は、さらに、第1液溜部10に連通し、塗工液を排出するバルブ15を備えてもよい。これによれば、第1液溜部10において気泡の混入量が多い塗工液を排出し、塗工膜の品質を向上させることができる。
以上説明したように、本発明によれば、塗工膜厚の精度の向上及び塗工膜の品質向上を図ることができる塗工装置を提供することが可能となる。
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更/改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素及びその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
1…塗工装置 2…塗工部 3…搬送部 4…制御部 5…加圧タンク
10…第1液溜部 11a…第1開口部 11b…第2開口部 13…内壁
20…流路 21a…第3開口部 21b…第4開口部
30…第2液溜部 31a…第5開口部 31b…第6開口部
40…吐出口 50…ピストンプレート(送液機構) 60…圧力センサ
77…可動ステージ(搬送機構) 79…被塗工材

Claims (11)

  1. 第1方向に所定の幅を有する吐出口を有し、前記吐出口が被塗工材に対して前記第1方向と交差する第2方向に相対的に移動することによって塗工液を平面状に塗工する塗工装置であって、
    前記塗工液が供給される第1液溜部と、
    前記第1液溜部に連通する流路と、
    前記流路を通って前記第1液溜部と連通しており、前記吐出口から前記塗工液が吐出される第2液溜部と、
    前記第1液溜部に前記塗工液を供給する容器と、
    前記容器と前記第1液溜部を連通する配管と、
    前記第2液溜部の圧力を変化させる送液機構と、
    前記第2液溜部の圧力を測定する圧力センサと、
    を備え、
    前記第1液溜部は、前記配管に比して、前記塗工液が流れる方向と交差する断面積が大きい空間を有する、
    塗工装置。
  2. 前記流路は、前記第1方向及び前記第2方向と交差する第3方向において、前記第1液溜部よりも小さい幅を有する、請求項1に記載の塗工装置。
  3. 前記第1液溜部、前記流路及び前記第2液溜部はそれぞれ、前記第1方向において、前記吐出口以上の大きさの幅を有する、請求項1または2に記載の塗工装置。
  4. 前記送液機構は、前記圧力センサによる測定圧力に基づいて制御される、請求項1から3のいずれか1項に記載の塗工装置。
  5. 前記送液機構は、前記吐出口からの前記塗工液の吐出時に、前記圧力センサによる測定圧力が一定となるように制御される、請求項1から4のいずれか1項に記載の塗工装置。
  6. 前記送液機構は、前記第2液溜部への前記塗工液の供給時に、前記圧力センサによる測定圧力が大気圧に対して正圧となるように制御される、請求項1から5のいずれか1項に記載の塗工装置。
  7. さらに、前記被塗工材の搬送速度を制御する搬送機構を備え、
    前記送液機構及び前記搬送機構は、連動するように制御される、請求項からのいずれか1項に記載の塗工装置。
  8. さらに、前記被塗工材の搬送速度を制御する搬送機構を備え、
    前記搬送機構は、前記圧力センサによる測定圧力に基づいて制御される、請求項からのいずれか1項に記載の塗工装置。
  9. 前記送液機構は、前記第1方向に所定の幅を有するピストンプレートを備える、請求項からのいずれか1項に記載の塗工装置。
  10. 前記送液機構は、前記第1方向が長手方向であるダイアフラムを備える、請求項からのいずれか1項に記載の塗工装置。
  11. 第1方向に所定の幅を有する吐出口を有し、前記吐出口が被塗工材に対して前記第1方向と交差する第2方向に相対的に移動することによって塗工液を平面状に塗工する塗工装置であって、
    前記塗工液が供給される第1液溜部と、
    前記第1液溜部に連通する流路と、
    前記流路を通って前記第1液溜部と連通しており、前記吐出口から前記塗工液が吐出される第2液溜部と、
    前記第1液溜部に前記塗工液を供給する容器と、
    前記容器と前記第1液溜部を連通する配管と、
    前記第1液溜部に連通し、前記塗工液を排出するバルブと、
    を備え、
    前記第1液溜部は、前記配管に比して、前記塗工液が流れる方向と交差する断面積が大きい空間を有する、
    塗工装置。
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