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JP6957096B2 - ドレッシングボード、その使用方法及び切削装置 - Google Patents

ドレッシングボード、その使用方法及び切削装置 Download PDF

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Description

本発明は、切削ブレードをドレッシングする際に使用されるドレッシングボードと、該ドレッシングボードの使用方法と、切削ユニットを備える切削装置と、に関する。
デバイスチップの製造プロセスにおいては、ウェーハの表面にストリートと呼ばれる格子状の分割予定ラインが設定され、該分割予定ラインによって区画される各領域にデバイスが形成される。これらのウェーハは分割予定ラインに沿って切削されると個々のデバイスチップが形成される。
該ウェーハには、シリコン、ガリウムヒ素等で形成された半導体デバイス用ウェーハやサファイア、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）等で形成された光デバイス用ウェーハ、樹脂や金属を含むパッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板等がある。
切削は、例えば、円環状の切削ブレードを含む切削ユニットを備える切削装置により実施される。切削ユニットは、回転の軸となる円柱状のスピンドルを有し、切削ブレードは該スピンドルの先端に装着される。該切削ブレードは、被加工物の種別や加工内容によって適切なものが選択される。該スピンドルを回転させることで切削ブレードを回転させ、回転する切削ブレードを被加工物に接触させると被加工物が切削される。
該切削ブレードは、砥粒と、該砥粒を保持するボンド材と、を含む切削砥石を有する。該ボンド材から適度に砥粒が露出している状態では、被加工物に砥粒が接触するので、適切に被加工物を切削できる。しかし、未使用の切削ブレードや、消耗して切削能力の低下した切削ブレードでは、ボンド材に砥粒が埋もれており、または、砥粒がボンド材から脱落等しており、適切な切削を実施できる状態にないことが多い。
そこで、ドレッシングと呼ばれる処理によって該切削ブレードを調整する。ドレッシングは、切削ブレードにドレッシングボードを切削させることで実施される。ドレッシングボードを切削すると切削ブレードは適切に消耗し、砥粒がボンド材から適度に露出する。
また、未使用の切削ブレードを切削ユニットに装着すると回転軸から切削ブレードの外周までの距離が全周で均一とならない場合がある。このような切削ブレードをドレッシングすると、回転軸からの距離が小さい部分に比べて回転軸からの距離が大きい部分が激しく消耗して、回転軸から外周までの距離が全周で均一になり、切削ブレードが適切な切削を実施できる状態となる。
このように、ボンド材から適度に砥粒を露出させ（目立てとも呼ばれる）、また、回転軸から外周までの距離を均一にする（真円出しとも呼ばれる）目的のために、切削ブレードのドレッシングが実施される。ドレッシングボードには様々な種類が存在し、切削ブレードの種類やドレッシングの目的に応じて、適切な種類のドレッシングボードが使用される。ドレッシングを適切にかつ効率よく実施するために、様々なドレッシングボード及び切削装置が開発されている（特許文献１乃至３参照）。
切削ブレードをドレッシングする際に適切ではない種類のドレッシングボードを誤って使用してしまうと、切削ブレードに破損を生じたり、目立ての状態が悪化したりする場合がある。そこで、ドレッシングボードの誤使用を防止するために、ドレッシングボードの表面に該ドレッシングボードに関する情報が格納されたバーコード（一次元コード）を印刷する技術が提案されている（特許文献４参照）。ドレッシングボードが使用される際には、切削装置により該バーコードが読み取られて該情報が確認される。
特開２００６−２１８５７１号公報 特開２０１１−１１２８０号公報 特開２０１１−１６１７５号公報 特開２０１２−６６３２８号公報
しかし、バーコードは格納できる情報量が少なく、バーコードに格納できる該ドレッシングボードに関する情報が限定されてしまう。そこで、格納できる情報量が比較的多い２次元コードをバーコードに代えてドレッシングボードに配設することが考えられる。
ドレッシングボードの全面を余すところなくドレッシング用に切削できる領域とすると、ドレッシングボードを効率よく使用できる。しかし、２次元コードが配設されている領域が切削ブレードにより一部でも切削されてしまうと該２次元コードは読み取り不能となる。そのため、該ドレッシングボードの使用を一度中止して切削装置から取り除き、その後再び使用しようとするときに、該２次元コードから該ドレッシングボードに関する情報を確認することができなくなる場合がある。
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードにより切削されてもドレッシングボードに関する情報を取得可能なドレッシングボード、該ドレッシングボードの使用方法及び切削装置を提供することである。
本発明の一態様によれば、ドレッシングボードの性質に関する情報を含む２次元コードと、該性質に関する情報に関連付けられる識別情報を含むバーコードと、を表面に有する該ドレッシングボードの使用方法であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、情報登録部を含み各構成要素を制御する制御ユニットと、該制御ユニットに接続された撮像ユニットと、を備える切削装置を用い、該ドレッシングボードを該切削装置内に配設するドレッシングボード配設ステップと、該配設ステップで配設された該ドレッシングボードの該バーコードを該撮像ユニットで撮影し、該バーコードから該識別情報を読み取る識別情報読み取りステップと、該識別情報が該情報登録部に既に登録されているか否かを判定し、該識別情報が該情報登録部に登録されていない場合に該２次元コードから該性質に関する情報を読み取り、該性質に関する情報を該識別情報に関連付けて該情報登録部に登録する情報登録ステップと、を備えることを特徴とするドレッシングボードの使用方法が提供される。
さらに、本発明の他の一態様によれば、ドレッシングボードの性質に関する情報を含む２次元コードと、該性質に関する情報に関連付けられる識別情報を含むバーコードと、を表面に有する該ドレッシングボードの使用方法であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、該制御ユニットに接続された撮像ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該ドレッシングボードが有する該バーコードに含まれる識別情報と、該２次元コードに含まれる該性質に関する情報と、が関連付けられて予め登録された情報登録部と、該切削ブレードをドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類が登録された指定部と、を備える切削装置を用い、該ドレッシングボードを該切削装置内に配設するドレッシングボード配設ステップと、該配設ステップで配設された該ドレッシングボードの該バーコードを該撮像ユニットで撮影し、該バーコードから該識別情報を読み取る識別情報読み取りステップと、該識別情報読み取りステップで読み取られた該識別情報に関連付けられた該性質に関する情報を該情報登録部から読み出し、該性質に関する情報に含まれる該ドレッシングボードの性質が該指定部に登録された該切削ブレードをドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に合うか否かを判定する判定ステップと、該ドレッシングボードの性質が該切削ブレードをドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に合わない場合に該ドレッシングボードが不適であることを報知する報知ステップと、を備えることを特徴とするドレッシングボードの使用方法が提供される。好ましくは、該性質に関する情報は、該ドレッシングボードの砥粒、該ドレッシングボードのボンド材、該ドレッシングボードの大きさ又は対応する該切削ブレードの品種に関する情報を含む。
また、本発明の他の一態様によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を第１の切削ブレードで切削する第１の切削ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、該制御ユニットに接続された撮像ユニットと、を備える切削装置であって、該制御ユニットは、該撮像ユニットに接続され、該切削装置に配設されたドレッシングボードが有するバーコード及び２次元コードを読み取る読取部と、該読取部により該バーコードから読み取られた識別情報と、該２次元コードから読み取たられた該ドレッシングボードの性質に関する情報と、が関連付けられて登録される情報登録部と、該第１の切削ブレードをドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類が登録される指定部と、該読取部で読み取られた該識別情報に基づいて該情報登録部から読み出された該性質に関する情報に含まれる該ドレッシングボードの性質が、該指定部に登録された該第１の切削ブレードをドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に合うか否かを判定する判定部と、を備えることを特徴とする切削装置が提供される。
本発明の他の一態様において、該切削装置は、該ドレッシングボードを保持する第１のドレステーブルを備えてもよい。また、該切削装置は、該チャックテーブルに保持された該被加工物を第２の切削ブレードで切削する第２の切削ユニットと、該第２の切削ブレードをドレッシングする際に使用される第２のドレッシングボードを保持する第２のドレステーブルと、を更に備えてもよい。
本発明の一態様に係るドレッシングボードには、該ドレッシングボードの性質に関する情報を含む２次元コードと、該性質に関する情報に関連付けられる識別情報を含むバーコードと、が表面に配設されている。そのため、撮像ユニット等で該ドレッシングボードを撮像することで、該バーコードから該識別情報を、該２次元コードから該性質に関する情報を、取得することができる。該切削装置の制御ユニットには、該性質に関する情報を該識別情報に関連付けて登録できる。
該ドレッシングボードを使用したドレッシングが実施されて、該２次元コードが一部でも切削されると、該２次元コードから該性質に関する情報を読み取れなくなる。そのため、一度該ドレッシングボードを該切削装置から取り外し、該ドレッシングボードを再び使用する際に該２次元コードを読み取ろうとしても、該２次元コードを読み取れない場合がある。
しかし、識別情報は、切削により形成された切削溝のうち、２つの隣接する切削溝の間の表面に残されたバーコードから読み取ることができる。そのため、切削装置に、２次元コードに格納された該性質に関する情報が識別情報に関連付けられて予め登録されていると、該識別情報から該性質に関する情報を引き出すことができる。
以上のように、本発明により切削ブレードにより切削されてもドレッシングボードに関する情報を取得可能なドレッシングボード、該ドレッシングボードの使用方法及び切削装置を提供が提供される。
ドレッシングボードを模式的に示す斜視図である。 切削装置を模式的に示す斜視図である。 切削装置の切削ユニット、チャックテーブル、ドレステーブル、撮像カメラの位置関係を説明する側面図である。 図４（Ａ）は、ドレッシングボードの識別情報と、性質に関する情報と、を関連付けて情報登録部に登録する方法を説明するフローチャートであり、図４（Ｂ）は、ドレッシングボードの性質が切削ブレードをドレッシングするのに適しているか否かを判定する方法を説明するフローチャートである。 図５（Ａ）は、ドレッシングボードを使用した切削ブレードのドレッシングを模式的に示す上面図であり、図５（Ｂ）は、ドレッシングに使用されたドレッシングボードを模式的に示す上面図である。 制御ユニットの構成と、各種情報と、を模式的に説明するブロック図である。
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。本発明の該実施形態は、ドレッシングボード、その使用方法及び切削装置である。図１は、本実施形態に係るドレッシングボードを模式的に示す斜視図である。図１に示す通りドレッシングボード１の表面には、バーコード３及び２次元コード５が配設されている。
該ドレッシングボード１は、切削装置に装着された切削ブレードのドレッシングに使用される。該切削ブレードは、砥粒と、該砥粒を保持するボンド材（結合材）と、を含む切削砥石を有する。該ボンド材から適度に砥粒が露出している状態では、被加工物に砥粒が接触できるので、適切に被加工物を切削できる。しかし、未使用の切削ブレードや、消耗して切削能力の低下した切削ブレードでは、ボンド材に砥粒が埋もれており、または、砥粒がボンド材から脱落等しており、適切な切削を実施できる状態にはない場合が多い。
そこで、該切削ブレードに該ドレッシングボードを切削させるドレッシングと呼ばれる処理により該切削ブレードを調整する。ドレッシングボードを切削すると切削ブレードは適切に消耗し、砥粒がボンド材から適度に露出し、適切な切削を実施できる状態となる。
また、未使用の切削ブレードを切削ユニットに装着すると回転軸から切削ブレードの外周までの距離が全周で均一とならない場合がある。このような切削ブレードをドレッシングすると、回転軸からの距離が比較的小さい部分よりも該回転軸からの距離が比較的大きい部分が激しく消耗して、回転軸から外周までの距離が全周で均一になり、切削ブレードが適切な切削を実施できる状態となる。
このように、ボンド材から適度に砥粒を露出させ（目立てとも呼ばれる）、また、回転軸から外周までの距離を均一にする（真円出しとも呼ばれる）目的のために、切削ブレードのドレッシングが実施される。ドレッシングボードもまたボンド材と、砥粒と、を含む。ドレッシングボードには様々な種類が存在し、ドレッシングの対象となる切削ブレードの種類やドレッシングの目的に応じて適切な種類のドレッシングボードが使用される。
例えば、該ボンド材は、樹脂やセラミックス等であり、該砥粒は、グリーンカーボランダムやホワイトアランダム等である。該砥粒のサイズは、代表的には、＃２００〜＃２０００である。ボンド材が硬い切削ブレードや砥粒が大きい切削ブレードには、ボンド材が硬いドレッシングボードや砥粒が大きいドレッシングボードを用いる。また、ボンド材が柔らかい切削ブレードや砥粒が小さい切削ブレードには、ボンド材が柔らかいドレッシングボードや砥粒が小さいドレッシングボードを用いる。
本実施形態に係るドレッシングボード１には、バーコード３及び２次元コード５が配設されている。該バーコード３には、該ドレッシングボード１の識別情報が格納されている。該識別情報とは、例えば、該ドレッシングボード１の製造番号等の固有の番号である。一般的にバーコードに格納できる情報量は比較的少なく、該ドレッシングボードの性質に関する情報をすべて格納できない。そこで、該ドレッシングボード１には、該ドレッシングボード１の性質に関する情報が格納された２次元コード５が配設されている。
該２次元コード５に格納される情報は、例えば、該ドレッシングボード１の製品番号、製造番号、製造年月日、使用期限、サイズ（縦横の長さ、厚さ）、該ドレッシングボード１に含まれるボンド（結合材）や砥粒の種類等である（図６参照）。また、該ドレッシングボード１でドレッシングするのに適した切削ブレードの種類に関する情報が格納されていてもよい。
次に、該ドレッシングボード１が使用される本実施形態に係る切削装置について説明する。図２は、該切削装置２を模式的に示す斜視図である。図２に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。
基台４の前方の角部には、矩形の開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には、昇降するカセット支持台６が設けられている。カセット支持台６の上面には、複数の被加工物１１を収容するカセット８が載せられる。なお、図２では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみを示している。
被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハであり、その表面側は、中央のデバイス領域と、デバイス領域を囲む外周余剰領域とに分けられる。デバイス領域１５は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）でさらに複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。
被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きいダイシングテープ１７が貼付されている。ダイシングテープ１７の外周部分は、環状のフレーム１９に固定されている。すなわち、被加工物１１は、ダイシングテープ１７を介してフレーム１９に支持されている。
なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造等に制限はない。例えば、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる矩形の基板を被加工物１１として用いることもできる。デバイスの種類、数量、配置等にも制限はない。
カセット支持台６の側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い矩形の開口４ｂが形成されている。この開口４ｂ内には、Ｘ軸移動テーブル１０、Ｘ軸移動テーブル１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（不図示）及びＸ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー１２が設けられている。
Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル１０がスライド可能に取り付けられている。Ｘ軸移動テーブル１０の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールに平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。
Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させることで、Ｘ軸移動テーブル１０は、Ｘ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。
Ｘ軸移動テーブル１０の上方には、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル１４が設けられている。チャックテーブル１４の周囲には、被加工物１１を支持する環状のフレーム１９を四方から固定するための４個のクランプ１６が配置されている。
チャックテーブル１４は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１４は、上述のＸ軸移動機構でＸ軸方向に加工送りされる。
チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１を保持する保持面１４ａになっている。この保持面１４ａは、チャックテーブル１４の内部に形成された吸引路等を通じて吸引源（不図示）に接続されている。
開口４ｂに近接する位置には、上述した被加工物１１をチャックテーブル１４へと搬送する搬送ユニット（不図示）が設けられている。搬送ユニットで搬送された被加工物１１は、例えば、表面側が上方に露出するようにチャックテーブル１４の保持面１４ａに載せられる。
基台４の上面には、２組の切削ユニット２２を支持するための門型の支持構造２４が、開口４ｂを跨ぐように配置されている。支持構造２４の前面上部には、各切削ユニット２２をＹ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる２組の切削ユニット移動機構２６が設けられている。
各切削ユニット移動機構２６は、支持構造２４の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２８を共通に備えている。Ｙ軸ガイドレール２８には、各切削ユニット移動機構２６を構成するＹ軸移動プレート３０がスライド可能に取り付けられている。
各Ｙ軸移動プレート３０の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２８に平行なＹ軸ボールネジ３２がそれぞれ螺合されている。各Ｙ軸ボールネジ３２の一端部には、Ｙ軸パルスモータ３４が連結されている。Ｙ軸パルスモータ３４でＹ軸ボールネジ３２を回転させれば、Ｙ軸移動プレート３０は、Ｙ軸ガイドレール２８に沿ってＹ軸方向に移動する。
各Ｙ軸移動プレート３０の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３６が設けられている。Ｚ軸ガイドレール３６には、Ｚ軸移動プレート３８がスライド可能に取り付けられている。
各Ｚ軸移動プレート３８の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３６に平行なＺ軸ボールネジ４０がそれぞれ螺合されている。各Ｚ軸ボールネジ４０の一端部には、Ｚ軸パルスモータ４２が連結されている。Ｚ軸パルスモータ４２でＺ軸ボールネジ４０を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３８は、Ｚ軸ガイドレール３６に沿ってＺ軸方向に移動する。
各Ｚ軸移動プレート３８の下部には、切削ユニット２２が設けられている。この切削ユニット２２は、回転軸となるスピンドル４４（図５（Ａ）参照）の一端側に装着された円環状の切削ブレード４６（図３，図５（Ａ）参照）を備えている。また、切削ユニット２２に隣接する位置には、被加工物１１等を撮像する撮像カメラ（撮像ユニット）４８が設けられている。
各切削ユニット移動機構２６でＹ軸移動プレート３０をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット２２及び撮像カメラ４８は、Ｙ軸方向に割り出し送りされる。また、各切削ユニット移動機構２６でＺ軸移動プレート３８をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット２２及び撮像カメラ４８は、昇降する。
開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、円形の開口４ｃが形成されている。開口４ｃ内には、切削後の被加工物１１等を洗浄するための洗浄ユニット５０が設けられている。Ｘ軸移動機構、チャックテーブル１４、切削ユニット２２、切削ユニット移動機構２６、撮像カメラ４８、洗浄ユニット５０等の構成要素には、制御ユニット（制御手段）５２が接続されている。各構成要素は、この制御ユニット（制御手段）５２によって制御される。
また、本実施形態に係る切削装置２のＸ軸移動テーブル１０には、２つのドレステーブル５４が設けられている。図３は、切削装置２の切削ユニット２２、チャックテーブル１４、ドレステーブル５４、撮像カメラ４８の位置関係を説明する側面図である。
図３には、ドレッシングボード１を撮像する位置に位置付けられた状態の撮像カメラ４８と、被加工物１１を切削加工する位置に位置付けられた状態の切削ブレード４６と、を同時に示す。ただし、図１に示す切削装置２の構成上、撮像カメラ４８と、切削ブレード４６と、を同時にそれぞれこのように位置付けることはできない。図３には、説明の便宜上、それぞれこのように位置付けられた状態で表示する。
図３に示すように、ドレステーブル５４は、Ｘ軸移動テーブル１０のチャックテーブル１４の後端側に配置されている。該ドレステーブル５４は、Ｘ軸移動テーブル１０の後端側上面に固定されている。
ドレステーブル５４の上面は、ドレッシングボード１を保持する保持面５４ａである。保持面５４ａには、例えば、平面視で十字型（クロス型）の吸引溝が形成されており、十字（クロス）の中心には吸引孔が形成されている。該吸引孔は、ドレステーブル５４の内部の吸引路（不図示）を経て、図示しない吸引源に通じている。ドレステーブル５４の保持面５４ａにドレッシングボード１が載置されている状態で該吸引源を作動させると、ドレッシングボード１が保持面５４ａ上に吸引保持される。
なお、切削ブレード４６のドレッシングは、チャックテーブル１４の保持面１４ａ上にドレッシングボード１を保持して該チャックテーブル１４上で実施してもよい。この場合、被加工物１１を切削加工する際はチャックテーブル１４に保持されたドレッシングボード１を取り除き、代わりに被加工物１１を保持させる必要がある。
また、ドレステーブル５４は、Ｘ軸移動テーブル１０のチャックテーブル１４の後端側に配置される。ドレステーブル５４が、チャックテーブル１４の前端側に配置されていると、ドレッシングボード１から生じる切削屑がチャックテーブル１４上に飛散してしまい、チャックテーブル１４が汚染されてしまう。
撮像カメラ４８は、チャックテーブル１４に保持された被加工物１１が切削加工される際に、被加工物１１を撮像して切削する位置を割り出すときに用いるキーパターンや切削予定ラインを確認するのに用いられる。また、撮像カメラ４８は、ドレステーブル５４の上方に移動でき、保持面５４ａに保持されたドレッシングボード１を撮像できる。撮像して得られた画像データは切削装置２の制御ユニット５２の読取部５２ｂに送られる。
次に、切削装置２の制御ユニット５２の構成要素について図２を用いて説明し、さらにそれぞれの機能について説明する。なお、制御ユニット５２は、例えば、切削装置２の管理装置であり、制御ユニット５２の以下に説明する各構成要素とその機能は、該管理装置にプログラムとして実現されてもよい。
制御ユニット５２は、読取部５２ｂを有し、該読取部５２ｂは、該撮像カメラ４８から受信した撮像画像に写るバーコード３及び２次元コード５を読み取る。そして、該バーコード３から該ドレッシングボード１の識別情報を取得し、該２次元コード５から該ドレッシングボード１の性質に関する情報を取得する。該読取部５２ｂは、取得した情報を情報登録部５２ａ及び判定部５２ｃに送る機能を有する。
また、ドレッシングボード１の２次元コード５が損傷等により読み取れない場合、情報登録部５２ａに２次元コード５が読み取れないことを示す信号と、バーコード３から取得された識別情報と、を情報登録部５２ａに送る機能を有する。
情報登録部５２ａには、ドレッシングボード１の該識別情報と、該性質に関する情報と、が関連付けられて登録される。該情報登録部５２ａは、該２次元コード５が読み取れないことを示す信号と、該識別情報と、を受けた際に、該識別情報に関連付けられている性質に関する情報を判定部５２ｃに送る機能を有する。
指定部５２ｄには、切削装置２に装着されている切削ブレード４６をドレッシングするのに適したドレッシングボード１の種類に関する情報が登録される。該情報は、例えば、該切削装置２に該切削ブレード４６を装着した作業者が入力する。該指定部５２ｄは、判定部５２ｃの要求に応じて該情報を該判定部５２ｃに送る機能を有する。
なお、該指定部５２ｄには、予め様々な種類の切削ブレード４６についてドレッシングするのに適したドレッシングボード１の種類に関する情報が登録されていてもよい。その場合、例えば、該作業者が該切削ブレード４６の種類を該指定部５２ｄに予め登録し、該指定部５２ｄでは、登録された種類の該切削ブレード４６をドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に関する情報を該判定部５２ｃに送信してもよい。
該判定部５２ｃは、切削装置２内に配設されたドレッシングボード１が該切削装置２に装着された切削ブレード４６のドレッシングに適したドレッシングボードの種類に合うか否かを判定する機能を有する。該判定部５２ｃは、該ドレッシングボード１の種類に関する情報を受けたとき、該指定部５２ｄから該切削ブレード４６のドレッシングに適したドレッシングボードの種類に関する情報を得て、該判定を実施する。
なお、切削装置２では、２つの切削ユニット２２に装着されたそれぞれの第１及び第２の切削ブレード４６に対して独立にドレッシングを実施できる構成としてもよい。例えば、切削装置２は、第１の切削ブレード４６をドレッシングする第１のドレッシングボード１を保持する第１のドレステーブルと、第２の切削ブレード４６をドレッシングする第２のドレッシングボード１を保持する第２のドレステーブルを備えても良い。
次に、該切削装置２を用いた該ドレッシングボード１の使用方法について説明する。該ドレッシングボード１を使用すると、識別情報と、性質に関する情報と、を関連付けて切削装置２に登録できる。また、該ドレッシングボード１を使用すると、該識別情報から該性質に関する情報を取得し、切削ブレードのドレッシングの可否を判定できる。
まず、該識別情報と、該性質に関する情報と、を関連付けて切削装置２の制御ユニット５２に登録するドレッシングボード１の使用方法について説明する。図４（Ａ）は、該ドレッシングボード１の使用方法を説明するフローチャートである。該使用方法では、まず、該ドレッシングボード１を切削装置２内に配設するドレッシングボード配設ステップを実施する。ドレッシングボード１は、切削装置２のドレステーブル５４（図２参照）、又は、チャックテーブル１４（図２参照）の上に配設される。
次に、該ドレッシングボード１の該バーコード３を該撮像カメラ（撮像ユニット）４８で撮影し、該バーコード３から該識別情報を読み取る識別情報読み取りステップを実施する。該ステップでは、該撮像カメラ４８の下方に該ドレッシングボード１を位置付けて、該撮像カメラ４８に該ドレッシングボード１を撮像させる。得られた撮像画像は、制御ユニット５２の読取部５２ｂに送られる。該読取部５２ｂでは、該撮像画像に写るバーコード３から該ドレッシングボード１の識別情報を取得する。
次に、該性質に関する情報を識別情報に関連付けて該情報登録部５２ａに登録する情報登録ステップを実施する。該情報登録ステップでは、該情報登録部５２ａへの重複した登録を防止するために、まず、バーコード３から取得された該識別情報が該情報登録部５２ａに既に登録されているか否かを判定する。
該識別情報が該情報登録部５２ａに登録されていない場合に、該撮像画像に写る２次元コードから該性質に関する情報を読み取り、ドレッシングボード１の性質に関する情報を該識別情報に関連付けて情報登録部５２ａに登録する。一方で、該識別情報が該情報登録部５２ａに登録されている場合、重複した登録は不要であるから、情報登録部５２ａに該ドレッシングボード１の情報を登録しない。
以上により、切削装置２に配設されたドレッシングボード１について、該性質に関する情報を該識別情報に関連付けて切削装置２に登録できる。該登録は切削装置２により自動的に実施されるため、該切削装置２のオペレータ等は情報を入力する必要もなく、誤入力の恐れもない。
次に、ドレッシングボード１を使用した切削ブレード４６のドレッシングについて説明する。図５（Ａ）は、ドレッシングボードを使用した切削ブレードのドレッシングを模式的に示す上面図であり、図５（Ｂ）は、ドレッシングに使用されたドレッシングボードを模式的に示す上面図である。
図５（Ａ）に示す通り、切削ユニット２２のスピンドル４４を回転させて切削ブレード４６を回転させ、Ｘ軸移動テーブル１０をＸ軸方向に沿って移動させ、切削ブレード４６をドレッシングボード１に切り込ませる。すると、ドレッシングボード１には、Ｘ軸方向に沿った切削溝２１が形成される。ドレッシングボード１の一端から他端まで切削溝２１が形成されても切削ブレード４６のドレッシングが完了しない場合、切削ブレード４６のドレッシングが完了するまで、切削ブレード４６をＹ軸方向にずらしてドレッシングボード１を繰り返し切削させる。
ドレッシングボード１を効率よく経済的に使用するには、ドレッシングボード１の全面を余すところなく切削ブレード４６に切削させるとよい。しかし、２次元コード５が配設されている領域が切削ブレード４６により一部でも切削されてしまうと該２次元コード５は読み取り不能となる。例えば、図５（Ｂ）に示すドレッシングボード１では、２次元コード５と重なる切削溝２１が形成されており、２次元コード５は読み取り不能である。
この場合、該ドレッシングボード１の使用を一度中止して切削装置２から取り除き、その後再び使用しようとするときに、該２次元コード５から該ドレッシングボード１の性質に関する情報を取得できなくなる。しかし、そのような場合でも切削装置２には、該性質に関する情報がバーコード３に格納された識別情報に関連付けられて登録されているため、次に説明するドレッシングボード１の使用方法により、該性質に関する情報を取得できる。なお、該使用方法は、該２次元コード５が読み取り可能である場合にも実施できる。
ドレッシングボード１の性質に関する情報をバーコード３から読み取られる識別情報を用いて取得するドレッシングボード１の使用方法について説明する。図４（Ｂ）は、該ドレッシングボード１の使用方法を説明するフローチャートである。まず、図４（Ａ）で説明した上述の使用方法と同様に、該ドレッシングボード１を該切削装置２内に配設するドレッシングボード配設ステップと、該バーコード３から該識別情報を読み取る識別情報読み取りステップと、を実施する。
次に、ドレッシングボード１の２次元コード５が読取可能であるか否かを判定する。撮像カメラ４８で取得された撮像画像から該２次元コード５が読み取れる場合、該２次元コード５から該ドレッシングボード１の性質に関する情報を取得する。
その一方で、該撮像画像から該２次元コード５を読み取れない場合、図５（Ｂ）に示すとおり、例えば、２つの隣接する切削溝２１の隙間に残るバーコード３を読み取り識別情報を取得する。そして、該識別情報に基づいて情報登録部５２ａに照会し、該情報登録部５２ａから該識別情報に関連付けられた該性質に関する情報を取得する。
なお、バーコード３を読み取り識別情報を取得した後、２次元コード５の読取可否を判定せず、該情報登録部５２ａから該識別情報に関連付けられた該性質に関する情報を取得してもよい。この場合において、予め、該識別情報に関連付けられた該性質に関する情報が該情報登録部５２ａに登録されているか否かを確認し、登録が確認できれば登録されている情報を取得する。登録が確認できなければ、２次元コード５から性質に関する情報を読み取り、該識別情報に関連付けて該情報登録部５２ａに登録する。
なお、バーコード３を構成する各バーの長手方向に沿って該バーコード３が切削され、該バーが一つでも失われるとバーコード３を読み取れなくなる。そのため、バーコード３は、ドレッシングボード１が切削されて形成される切削溝２１の伸長方向に各バーが沿わないように配設される。
次に、該性質に関する情報に含まれる該ドレッシングボード１の性質が制御ユニット５２の指定部５２ｄに登録された該切削ブレード４６をドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に合うか否かを判定する。図６には、制御ユニット５２の各構成と、該ドレッシングボード１の識別情報及び性質に関する情報と、指定部５２ｄに登録されたドレッシングボード１の指定に関する情報と、の一例が示されている。
図６に示す例では、２次元コード５が読み取り不能であり、読取部５２ｂが該バーコード３から識別情報を取得し、該識別情報で該情報登録部５２ａに照会し、該性質に関する情報を判定部５２ｃが取得する場合について示している。指定部５２ｄには、例えば、切削装置２に取り付けられた切削ブレード４６のドレッシングに適したドレッシングボード１の種別に関する情報が予め登録されている。また、該指定部５２ｄには、該切削ブレード４６のドレッシングに適したドレッシングボードの製造番号が登録されていてもよい。
切削装置２に配設されたドレッシングボード１が、該切削ブレード４６をドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に合うか否かの判定は、判定部５２ｃで行われる。判定部５２ｃは、例えば、情報登録部５２ａから該ドレッシングボード１の性質に関する情報を取得し、該指定部５２ｄからドレッシングに適したドレッシングボードの種類に関する情報を取得する。
該判定部５２ｃが、該ドレッシングボード１の性質が該切削ブレード４６をドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に合うと判定する場合、該制御ユニット５２は、該ドレッシングボード１を使用して該切削ブレード４６のドレッシングを実施する。
その一方で、該ドレッシングボード１の性質が該切削ブレード４６をドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に合わないと判定する場合、切削装置２のオペレータ等にその旨を報知する。該切削装置２の表示部（不図示）等にその旨を表示させ、該切削装置２のオペレータ（使用者）に報知する。または、該切削装置２は警報ブザーを有してもよく、該不適であると判定される場合に警告音を発してもよい。
本実施形態に係るドレッシングボード１を使用すると、該ドレッシングボード１が切削ブレードにより切削されてもドレッシングボード１に関する情報を取得して適切にドレッシングを実施できる。
なお、本発明は、上記の実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記の実施形態においては、切削ユニット２２と、ドレステーブル５４と、をそれぞれ２つ備える切削装置２について説明した。しかし、切削装置２が備える切削ユニットと、ドレステーブルと、の数はこれに限られず、例えば、切削装置２はそれぞれ１つを備えてもよい。
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
２ 切削装置
４ 基台
４ａ，４ｂ，４ｃ 開口
６ カセット支持台
８ カセット
１０ Ｘ軸移動テーブル
１２ 防塵防滴カバー
１４ チャックテーブル
１４ａ 保持面
１６ クランプ
２２ 切削ユニット
２４ 支持構造
２６ 切削ユニット移動機構
２８ Ｙ軸ガイドレール
３０ Ｙ軸移動プレート
３２ Ｙ軸ボールネジ
３４ Ｙ軸パルスモータ
３６ Ｚ軸ガイドレール
３８ Ｚ軸移動プレート
４０ Ｚ軸ボールネジ
４２ Ｚ軸パルスモータ
４４ スピンドル
４６ 切削ブレード
４８ 撮像カメラ（撮像ユニット）
５０ 洗浄ユニット
５２ 制御ユニット（制御手段）
５２ａ 情報登録部
５２ｂ 読取部
５２ｃ 判定部
５２ｄ 指定部
５４ ドレステーブル
５４ａ 保持面
１ ドレッシングボード
３ バーコード
５ ２次元コード
１１ 被加工物
１５ デバイス
１７ テープ
１９ フレーム
２１ 切削溝

Claims (6)

  1. ドレッシングボードの性質に関する情報を含む２次元コードと、該性質に関する情報に関連付けられる識別情報を含むバーコードと、を表面に有する該ドレッシングボードの使用方法であって、
    被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、情報登録部を含み各構成要素を制御する制御ユニットと、該制御ユニットに接続された撮像ユニットと、を備える切削装置を用い、
    該ドレッシングボードを該切削装置内に配設するドレッシングボード配設ステップと、
    該配設ステップで配設された該ドレッシングボードの該バーコードを該撮像ユニットで撮影し、該バーコードから該識別情報を読み取る識別情報読み取りステップと、
    該識別情報が該情報登録部に既に登録されているか否かを判定し、該識別情報が該情報登録部に登録されていない場合に該２次元コードから該性質に関する情報を読み取り、該性質に関する情報を該識別情報に関連付けて該情報登録部に登録する情報登録ステップと、を備えることを特徴とするドレッシングボードの使用方法。
  2. ドレッシングボードの性質に関する情報を含む２次元コードと、該性質に関する情報に関連付けられる識別情報を含むバーコードと、を表面に有する該ドレッシングボードの使用方法であって、
    被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、該制御ユニットに接続された撮像ユニットと、を備え、
    該制御ユニットは、
    該ドレッシングボードが有する該バーコードに含まれる識別情報と、該２次元コードに含まれる該性質に関する情報と、が関連付けられて予め登録された情報登録部と、
    該切削ブレードをドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類が登録された指定部と、を備える切削装置を用い、
    該ドレッシングボードを該切削装置内に配設するドレッシングボード配設ステップと、
    該配設ステップで配設された該ドレッシングボードの該バーコードを該撮像ユニットで撮影し、該バーコードから該識別情報を読み取る識別情報読み取りステップと、
    該識別情報読み取りステップで読み取られた該識別情報に関連付けられた該性質に関する情報を該情報登録部から読み出し、該性質に関する情報に含まれる該ドレッシングボードの性質が該指定部に登録された該切削ブレードをドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に合うか否かを判定する判定ステップと、
    該ドレッシングボードの性質が該切削ブレードをドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に合わない場合に該ドレッシングボードが不適であることを報知する報知ステップと、を備えることを特徴とするドレッシングボードの使用方法。
  3. 該性質に関する情報は、該ドレッシングボードの砥粒、該ドレッシングボードのボンド材、該ドレッシングボードの大きさ又は対応する該切削ブレードの品種に関する情報を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のドレッシングボードの使用方法。
  4. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を第１の切削ブレードで切削する第１の切削ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、該制御ユニットに接続された撮像ユニットと、を備える切削装置であって、
    該制御ユニットは、
    該撮像ユニットに接続され、該切削装置に配設されたドレッシングボードが有するバーコード及び２次元コードを読み取る読取部と、
    該読取部により該バーコードから読み取られた識別情報と、該２次元コードから読み取たられた該ドレッシングボードの性質に関する情報と、が関連付けられて登録される情報登録部と、
    該第１の切削ブレードをドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類が登録される指定部と、
    該読取部で読み取られた該識別情報に基づいて該情報登録部から読み出された該性質に関する情報に含まれる該ドレッシングボードの性質が、該指定部に登録された該第１の切削ブレードをドレッシングするのに適したドレッシングボードの種類に合うか否かを判定する判定部と、を備えることを特徴とする切削装置。
  5. 該切削装置は、該ドレッシングボードを保持する第１のドレステーブルを備えることを特徴とする請求項４記載の切削装置。
  6. 該切削装置は、該チャックテーブルに保持された該被加工物を第２の切削ブレードで切削する第２の切削ユニットと、
    該第２の切削ブレードをドレッシングする際に使用される第２のドレッシングボードを保持する第２のドレステーブルと、を更に備えることを特徴とする請求項５記載の切削装置。
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