JP6619200B2 - Release film for ceramic green sheet manufacturing process - Google Patents
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Description
本発明は、セラミックグリーンシートを製造する工程で使用する剥離フィルムに関するものである。 The present invention relates to a release film used in a process for producing a ceramic green sheet.
従来より、積層セラミックコンデンサや多層セラミック基板といった積層セラミック製品を製造するには、セラミックグリーンシートを成型し、得られたセラミックグリーンシートを複数枚積層して焼成することが行われている。 Conventionally, in order to manufacture a multilayer ceramic product such as a multilayer ceramic capacitor or a multilayer ceramic substrate, a ceramic green sheet is molded, and a plurality of obtained ceramic green sheets are stacked and fired.
セラミックグリーンシートは、チタン酸バリウムや酸化チタンなどのセラミック材料を含有するセラミックスラリーを剥離フィルム上に塗工することにより成型される。剥離フィルムとしては、フィルム基材にポリシロキサン等のシリコーン系化合物が剥離処理されたものが使用されている(特許文献1〜9)。この剥離フィルムには、当該剥離フィルム上に成型した薄いセラミックグリーンシートを当該剥離フィルムから破断等することなく剥離できる剥離性が要求される。
The ceramic green sheet is formed by applying a ceramic slurry containing a ceramic material such as barium titanate or titanium oxide on a release film. As the release film, a film substrate having a silicone compound such as polysiloxane released is used (
近年、電子機器の小型化及び高性能化に伴い、積層セラミックコンデンサや多層セラミック基板の小型化及び多層化が進み、セラミックグリーンシートの薄膜化が進んでいる。 In recent years, along with miniaturization and high performance of electronic devices, the miniaturization and multilayering of multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic substrates have progressed, and thinning of ceramic green sheets has progressed.
セラミックグリーンシートが薄膜化して、その乾燥後の厚みが3μm以下となると、セラミックスラリーを塗工し乾燥させたときに、セラミックスラリーの塗工面の両端が幅方向中央に向かって収縮し、当該塗工面両端部の厚みが厚くなる端部収縮が発生し易くなる。また、成型したセラミックグリーンシートを剥離フィルムから剥離するときに、セラミックグリーンシートの強度低下による破断等の不具合が発生し易く、積層セラミックコンデンサの歩留まりが低下する。 When the thickness of the ceramic green sheet is reduced to 3 μm or less after drying, when the ceramic slurry is applied and dried, both ends of the coated surface of the ceramic slurry shrink toward the center in the width direction. Edge shrinkage that increases the thickness of both ends of the work surface is likely to occur. In addition, when the molded ceramic green sheet is peeled from the release film, problems such as breakage due to a decrease in strength of the ceramic green sheet are likely to occur, and the yield of the multilayer ceramic capacitor is reduced.
さらに、セラミックグリーンシートを使用する電子材料は、その使用用途により、無機物、バインダー樹脂、分散剤、有機溶剤等の材料が異なり、かかるセラミックスラリーの種類によって、剥離フィルムに対するセラミックスラリーの塗工性が変化する。そのため、剥離フィルムにおいて、セラミックスラリーの塗工性能とセラミックグリーンシートの剥離性能とを両立することは困難であった。 In addition, electronic materials using ceramic green sheets differ in materials such as inorganic substances, binder resins, dispersants, organic solvents, etc., depending on the intended use, and the coating properties of the ceramic slurry on the release film depend on the type of ceramic slurry. Change. Therefore, it has been difficult for the release film to achieve both the coating performance of the ceramic slurry and the release performance of the ceramic green sheet.
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、セラミックグリーンシートにおける端部収縮の発生を抑制することができる、すなわちセラミックスラリーの塗工性に優れるとともに、セラミックグリーンシートの剥離性に優れたセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルムを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a situation, and can suppress the occurrence of edge shrinkage in the ceramic green sheet, that is, it is excellent in the coating property of the ceramic slurry and the peelability of the ceramic green sheet. It is an object of the present invention to provide a release film for a ceramic green sheet manufacturing process excellent in the above.
上記目的を達成するために、第1に本発明は、基材と、前記基材の片側に設けられた剥離剤層とを備えたセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルムであって、水7.0μlの液滴を用いて滑落角を測定したときにおける前記剥離剤層表面の付着エネルギーが4.4〜8.0mJ/m2であり、前記剥離剤層の23℃における貯蔵弾性率が1.6GPa以上であることを特徴とするセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルムを提供する(発明1)。 In order to achieve the above object, first, the present invention is a release film for a ceramic green sheet manufacturing process comprising a base material and a release agent layer provided on one side of the base material, wherein The adhesion energy of the surface of the release agent layer when measuring the sliding angle using 0 μl droplets is 4.4 to 8.0 mJ / m 2 , and the storage elastic modulus at 23 ° C. of the release agent layer is 1. Provided is a release film for a ceramic green sheet manufacturing process characterized by being 6 GPa or more (Invention 1).
上記発明(発明1)によれば、剥離剤層の表面にセラミックスラリーを塗工し乾燥させたときに、塗工幅の収縮率が小さくなり、塗工面両端部の厚みが厚くなる端部収縮の発生が抑制される。したがって、セラミックスラリーの塗工性に優れるとともに、端部の厚み増加による段差が小さいため巻き取られたセラミックグリーンシートに変形や破壊が生じない。また、セラミックグリーンシートの剥離性にも優れ、したがって、セラミックグリーンシートの剥離時に、ヒビ、破断等の不具合を発生させることなく、低い剥離力でセラミックグリーンシートを剥離剤層から剥離することができ、セラミックグリーンシート製造における歩留まりが向上する。 According to the said invention (invention 1), when ceramic slurry is applied to the surface of the release agent layer and dried, the shrinkage of the coating width decreases, and the edge shrinkage increases in the thickness of both ends of the coated surface. Is suppressed. Accordingly, the coating property of the ceramic slurry is excellent, and the step due to the increase in the thickness of the end portion is small, so that the wound ceramic green sheet is not deformed or broken. In addition, the ceramic green sheet has excellent peelability, and therefore, when the ceramic green sheet is peeled off, the ceramic green sheet can be peeled off from the release agent layer with low peeling force without causing defects such as cracks and breakage. In addition, the yield in manufacturing the ceramic green sheet is improved.
上記発明(発明1)において、前記剥離剤層は、1分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有し、かつ側鎖に少なくとも1個のアルケニル基を有するポリオルガノシロキサン(A)と、1分子中の両末端のみにアルケニル基または水酸基を有するポリオルガノシロキサン(B)と含有し、前記ポリオルガノシロキサン(A)および前記ポリオルガノシロキサン(B)の質量部数の合計100質量部に対し、前記ポリオルガノシロキサン(B)が固形分比で1.2〜19質量部である剥離剤組成物から形成されたものであることが好ましい(発明2)。 In the above invention (Invention 1), the release agent layer has a polyorganosiloxane (A) having at least two alkenyl groups in one molecule and at least one alkenyl group in a side chain, and one molecule. The polyorganosiloxane (B) having an alkenyl group or a hydroxyl group only at both ends therein, and the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B) in a total of 100 parts by mass, It is preferable that the organosiloxane (B) is formed from a release agent composition having a solid content ratio of 1.2 to 19 parts by mass (Invention 2).
上記発明(発明2)において、前記ポリオルガノシロキサン(A)の重量平均分子量が50,000〜1,000,000であることが好ましい(発明3)。 In the said invention (invention 2), it is preferable that the weight average molecular weights of the said polyorganosiloxane (A) are 50,000-1,000,000 (invention 3).
上記発明(発明2,3)において、前記ポリオルガノシロキサン(B)の重量平均分子量が100,000〜1,200,000であることが好ましい(発明4)。
In the said invention (
上記発明(発明2〜4)において、前記剥離剤組成物は、ヒドロシリル基を有する架橋剤(C)をさらに含有し、前記剥離剤組成物における前記架橋剤(C)の含有量は、前記ポリオルガノシロキサン(A)および前記ポリオルガノシロキサン(B)が有するアルケニル基の数に対して、架橋剤(C)が有するヒドロシリル基の数が、モル比で1.1〜5.0となる量であることが好ましい(発明5)。
In the above inventions (
上記発明(発明2〜5)において、前記剥離剤組成物は、触媒(D)として白金族金属系化合物をさらに含有することが好ましい(発明6)。 In the said invention (invention 2-5), it is preferable that the said peeling agent composition further contains a platinum group metal type compound as a catalyst (D) (invention 6).
本発明に係るセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルムによれば、セラミックグリーンシートにおける端部収縮の発生を抑制することができ、したがってセラミックスラリーの塗工性に優れる。また、本発明に係るセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルムは、セラミックグリーンシートの剥離性にも優れる。 According to the release film for a ceramic green sheet manufacturing process according to the present invention, the occurrence of edge shrinkage in the ceramic green sheet can be suppressed, and thus the coating property of the ceramic slurry is excellent. Moreover, the release film for a ceramic green sheet manufacturing process according to the present invention is also excellent in the peelability of the ceramic green sheet.
以下、本発明の実施形態について説明する。
〔セラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム〕
図1に示すように、本実施形態に係るセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム1(以下単に「剥離フィルム1」という場合がある。)は、基材11と、基材11の一方の面(図1では上面)に積層された剥離剤層12とを備えて構成される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
[Peeling film for ceramic green sheet manufacturing process]
As shown in FIG. 1, a
1.物性
本実施形態に係る剥離フィルム1は、水7.0μlの液滴を用いて滑落角を測定したときにおける剥離剤層12の表面(基材11側の面とは反対側の面)の付着エネルギーが4.4〜8.0mJ/m2であり、剥離剤層12の23℃における貯蔵弾性率が1.6GPa以上であるものである。この貯蔵弾性率の測定方法は、後述する試験例に示すとおりである。
1. Physical properties The
ここで、図2を参照して、付着エネルギーの求め方を説明する。
平坦なガラス基板2上に剥離フィルム1を固定し、ガラス基板2の傾きを0度にして7.0μlの水の液滴3を剥離フィルム1の剥離剤層12表面上に滴下する。液滴3が静止した3秒後に、ガラス基板2を0.5度/秒の速さで傾斜させ、液滴3が静止位置から離れたときの、液滴3の滑落角α、着液半径r、液滴質量m及び重力加速度gから、次の式により付着エネルギーE(mJ/m2)を求める。
付着エネルギー:E=mg sinα/2πr
α:滑落角(°)
r:着液半径(m)
m:液滴質量(kg)
g:重力加速度(m/s2)
Here, with reference to FIG. 2, how to obtain the adhesion energy will be described.
The
Adhesion energy: E = mg sin α / 2πr
α: Sliding angle (°)
r: Liquid landing radius (m)
m: Droplet mass (kg)
g: Gravity acceleration (m / s 2 )
上記の物性を満たす剥離フィルム1によれば、剥離剤層12の表面にセラミックスラリーを塗工し乾燥させたときに、塗工幅の収縮率が小さくなり、塗工面両端部の厚みが厚くなる端部収縮の発生が抑制される。したがって、セラミックスラリーの塗工性に優れるとともに、端部の厚み増加による段差が小さいため巻き取られたセラミックグリーンシートに変形や破壊が生じない。また、セラミックグリーンシートの剥離性にも優れ、したがって、セラミックグリーンシートの剥離時に、ヒビ、破断等の不具合を発生させることなく、低い剥離力でセラミックグリーンシートを剥離剤層12から剥離することができ、セラミックグリーンシート製造における歩留まりが向上する。
According to the
上記のセラミックスラリーの優れた塗工性は、主に上記付着エネルギーが寄与し、上記のセラミックグリーンシートの優れた剥離性は、上記貯蔵弾性率及び上記付着エネルギーが寄与すると考えられるが、上記貯蔵弾性率もセラミックスラリーの塗工性に影響を与えているものと考えられる。すなわち、両物性の相互作用によって上記の2つの優れた効果が発揮されるものと考えられる。 The excellent coating property of the ceramic slurry is mainly attributed to the adhesion energy, and the excellent peelability of the ceramic green sheet is considered to be attributable to the storage elastic modulus and the adhesion energy. The elastic modulus is also considered to have an influence on the coating properties of the ceramic slurry. That is, it is considered that the above two excellent effects are exhibited by the interaction of both physical properties.
本実施形態に係る剥離フィルム1の上記付着エネルギーは、前述した通り4.4〜8.0mJ/m2であり、好ましくは5.0〜7.8mJ/m2である。上記付着エネルギーが4.4mJ/m2未満であると、塗工幅の収縮率が大きく、セラミックグリーンシートの端部収縮が発生する。一方、上記付着エネルギーが8.0mJ/m2を超えると、セラミックグリーンシートの剥離性が悪くなる。
The adhesion energy of the
また、本実施形態に係る剥離フィルム1における剥離剤層12の23℃における貯蔵弾性率は、前述した通り1.6GPa以上であり、好ましくは1.75〜7GPaである。上記貯蔵弾性率が1.6GPa未満であると、剥離剤層12が軟らかくなり過ぎて、セラミックグリーンシートの剥離性が悪くなる。一方、上記貯蔵弾性率が7GPa以下であれば、剥離剤層12を基材11に塗工する際の塗工性が良好になり、さらに、剥離フィルム1をロール・トゥ・ロールで扱っても、剥離剤層12にクラックが入ったりすることを抑制することができる。
Moreover, the storage elastic modulus in 23 degreeC of the
2.基材
本実施形態に係る剥離フィルム1の基材11は、剥離剤層12を積層することができれば特に限定されるものではない。かかる基材11としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリプロピレンやポリメチルペンテン等のポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリ酢酸ビニルなどのプラスチックからなるフィルムが挙げられ、単層であってもよいし、同種又は異種の2層以上の多層であってもよい。これらの中でもポリエステルフィルムが好ましく、特にポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましく、さらには二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。ポリエチレンテレフタレートフィルムは、加工時、使用時等において、埃等が発生しにくいため、例えば、埃等によるセラミックスラリー塗工不良等を効果的に防止することができる。さらに、ポリエチレンテレフタレートフィルムに帯電防止処理を行うことで、有機溶剤を使用するセラミックスラリーを塗工する際の静電気による発火を防止したり、塗工不良等を防止する効果を高めることができる。
2. Base Material The
また、この基材11においては、その表面に設けられる剥離剤層12との密着性を向上させる目的で、所望により片面又は両面に、酸化法や凹凸化法などによる表面処理、あるいはプライマー処理を施すことができる。上記酸化法としては、例えばコロナ放電処理、プラズマ放電処理、クロム酸化処理(湿式)、火炎処理、熱風処理、オゾン、紫外線照射処理などが挙げられ、また、凹凸化法としては、例えばサンドブラスト法、溶射処理法などが挙げられる。これらの表面処理法は、基材フィルムの種類に応じて適宜選ばれるが、一般にコロナ放電処理法が効果及び操作性の面から好ましく用いられる。
Moreover, in this
基材11の厚さは、通常10〜300μmであればよく、好ましくは15〜200μmであり、特に好ましくは20〜125μmである。
The thickness of the
3.剥離剤層
本実施形態に係る剥離フィルム1の剥離剤層12を構成する材料は、前述した物性を有するものであればよいが、以下に示す剥離剤組成物(以下「剥離剤組成物R」という場合がある。)によれば、前述した物性を満たす剥離剤層12を形成することができる。したがって、本実施形態における剥離剤層12は、剥離剤組成物Rから形成されることが好ましい。
3. Release Agent Layer The material constituting the
剥離剤組成物Rは、好ましくは、1分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有し、かつ側鎖に少なくとも1個のアルケニル基を有するポリオルガノシロキサン(A)と、1分子中の両末端のみにアルケニル基または水酸基を有するポリオルガノシロキサン(B)とを含有し、ポリオルガノシロキサン(A)およびポリオルガノシロキサン(B)の質量部数の合計100質量部に対しポリオルガノシロキサン(B)が固形分比で1.2〜19質量部であるものである。 The release agent composition R is preferably a polyorganosiloxane (A) having at least two alkenyl groups in one molecule and having at least one alkenyl group in the side chain, and both ends in one molecule. Only the polyorganosiloxane (B) having an alkenyl group or a hydroxyl group, and the polyorganosiloxane (B) is solid with respect to a total of 100 parts by mass of the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B). The fraction is 1.2 to 19 parts by mass.
ポリオルガノシロキサン(A)は、その1分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有し、かつ側鎖に少なくとも1個のアルケニル基を有することで、硬化速度が速く、架橋密度の高い架橋構造を形成する。一方、ポリオルガノシロキサン(B)は、その1分子中の両末端のみにアルケニル基または水酸基を有することで、架橋密度の低い架橋構造を形成する。 The polyorganosiloxane (A) has at least two alkenyl groups in one molecule and has at least one alkenyl group in the side chain, so that it has a high curing speed and a crosslinked structure having a high crosslinking density. Form. On the other hand, polyorganosiloxane (B) forms a crosslinked structure having a low crosslinking density by having an alkenyl group or a hydroxyl group only at both ends in one molecule.
上記剥離剤組成物Rでは、ポリオルガノシロキサン(A)の方がポリオルガノシロキサン(B)よりも極性の高いアルケニル基を多く含む。上記剥離剤組成物Rを基材11に塗布すると、極性の高いポリオルガノシロキサン(A)が基材11の近傍に偏析し、極性の低いポリオルガノシロキサン(B)が基材11から遠い側(塗布液表層側)に偏析する。前述したように、ポリオルガノシロキサン(B)は架橋密度の低い架橋構造を形成するため、形成される剥離剤層12の表面は、架橋密度の低い架橋構造から形成され、その結果、上記の付着エネルギーが4.4〜8.0mJ/m2となる。一方、形成される剥離剤層12の表層以外の部分は、架橋密度の高い架橋構造から形成されるため、剥離剤層12全体としてはある程度の硬さを有することとなり、その結果、上記の貯蔵弾性率が1.6GPa以上となる。
In the release agent composition R, the polyorganosiloxane (A) contains more alkenyl groups having higher polarity than the polyorganosiloxane (B). When the release agent composition R is applied to the
上記ポリオルガノシロキサン(A)は、下記の一般式(a)で示されるケイ素含有化合物の重合体である。
式(a)中、mおよびnは、それぞれ1以上の整数である。また、R1及びR2は炭素数1〜12のアルキル基であり、アルケニル基であってはならない。炭素数1〜12のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基等が挙げられる。 In formula (a), m and n are each an integer of 1 or more. R 1 and R 2 are each an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms and must not be an alkenyl group. Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, and an octyl group.
また、R3はアルケニル基であり、R4は炭素数1〜12のアルキル基又はアルケニル基である。アルケニル基としては、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基等が挙げられる。 R 3 is an alkenyl group, and R 4 is an alkyl group or alkenyl group having 1 to 12 carbon atoms. Examples of the alkenyl group include vinyl group, allyl group, propenyl group, butenyl group, pentenyl group, hexenyl group, heptenyl group, octenyl group and the like.
R1、R2及びR4は同一であっても異なっていてもよい。R1、R2及びR4は、好ましくはメチル基である。 R 1 , R 2 and R 4 may be the same or different. R 1 , R 2 and R 4 are preferably methyl groups.
式(a)中のnが1の場合、R5、R6、R7、R8、R9及びR10の少なくとも1個はアルケニル基であり、残りはそれぞれ炭素数1〜12のアルキル基又は水酸基であることが好ましい。式(a)中のnが2以上の場合、R5、R6、R7、R8、R9及びR10は、それぞれ炭素数1〜12のアルキル基、アルケニル基又は水酸基であることが好ましい。上記偏析が生じやすいという観点から、ポリオルガノシロキサン(A)が側鎖のみに2個以上のアルケニル基を有し、末端にはアルケニル基を有しないことが好ましい。すなわち、nが2以上であり、且つ、R5、R6、R7、R8、R9及びR10が、それぞれ炭素数1〜12のアルキル基又は水酸基であることが好ましい。なお、水酸基は、側鎖に存在するアルケニル基と比較的して反応性が低いことから、前述の偏析および後述する架橋剤による架橋反応に対して与える影響は非常に小さいと考えられる。通常、R5、R6、R7、R8、R9及びR10のうち水酸基となる基の数は2個以下であり、2個である場合には、水酸基は両末端に1個ずつ存在することが好ましい。 When n in the formula (a) is 1, at least one of R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 and R 10 is an alkenyl group, and the rest are each an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. Or it is preferable that it is a hydroxyl group. When n in the formula (a) is 2 or more, R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 and R 10 may each be an alkyl group, alkenyl group or hydroxyl group having 1 to 12 carbon atoms. preferable. From the viewpoint that segregation is likely to occur, it is preferable that the polyorganosiloxane (A) has two or more alkenyl groups only in the side chain and does not have an alkenyl group at the terminal. That is, it is preferable that n is 2 or more, and R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 and R 10 are each an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a hydroxyl group. In addition, since the hydroxyl group has relatively low reactivity with the alkenyl group present in the side chain, it is considered that the influence exerted on the above-mentioned segregation and the crosslinking reaction by the crosslinking agent described later is very small. Usually, the number of hydroxyl groups in R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 and R 10 is 2 or less, and in the case of 2 there is one hydroxyl group at each end. Preferably it is present.
ポリオルガノシロキサン(A)は、ポリオルガノシロキサン(A)1g中にアルケニル基を0.05〜1.0mmol含有することが好ましく、特に0.075〜0.75mmol含有することが好ましく、さらには0.1〜0.5mmol含有することが好ましい。アルケニル基の数が1分子中に2個以上、且つ側鎖に1個以上であることで、さらにはアルケニル基の量が上記範囲にあることで、ポリオルガノシロキサン(B)を剥離剤層12の表層に偏析させやすく、かつ架橋密度の高い架橋構造が形成され得る。特に、ポリオルガノシロキサン(A)1g中に含有されるアルケニル基の量が0.05mmol以上であることで、硬化後において、剥離剤層12の基材11近傍の架橋密度が上がり、貯蔵弾性率が十分に高くなるため、セラミックグリーンシートを剥がすときの剥離力がより低減する。また、ポリオルガノシロキサン(A)1g中に含まれるアルケニル基の量が1.0mmol以下であることで、剥離剤組成物Rを基材11に塗布する前において、剥離剤組成物Rが架橋反応してゲル化することが十分に防止される。
The polyorganosiloxane (A) preferably contains 0.05 to 1.0 mmol of alkenyl groups in 1 g of the polyorganosiloxane (A), particularly preferably 0.075 to 0.75 mmol, and more preferably 0 It is preferable to contain 1-0.5 mmol. When the number of alkenyl groups is 2 or more per molecule and 1 or more in the side chain, and the amount of alkenyl groups is in the above range, the polyorganosiloxane (B) is removed from the
ポリオルガノシロキサン(A)の重量平均分子量は50,000〜1,000,000であることが好ましく、特に100,000〜800,000であることが好ましく、さらには150,000〜600,000であることが好ましい。なお、本明細書における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定した標準ポリスチレン換算の値である。 The weight average molecular weight of the polyorganosiloxane (A) is preferably 50,000 to 1,000,000, particularly preferably 100,000 to 800,000, and more preferably 150,000 to 600,000. Preferably there is. In addition, the weight average molecular weight in this specification is the value of standard polystyrene conversion measured by the gel permeation chromatography (GPC) method.
ポリオルガノシロキサン(A)の重量平均分子量が上記の範囲にあることにより、架橋密度の高い架橋構造が剥離剤層の中に形成されるようになり、剥離剤層の表面の貯蔵弾性率を大きくすることができる。また、ポリオルガノシロキサン(A)の重量平均分子量が50,000以上であると、剥離剤組成物Rの塗工粘度が低くなり過ぎることを防止でき、ハジキの発生を抑制し、均一な面状態の剥離剤層12を得ることができる。ポリオルガノシロキサン(A)の重量平均分子量が1,000,000以下であると、剥離剤組成物Rの塗工粘度の上昇を抑え、希釈溶剤への溶解性を確保することができる。
When the weight average molecular weight of the polyorganosiloxane (A) is in the above range, a crosslinked structure having a high crosslinking density is formed in the release agent layer, and the storage elastic modulus on the surface of the release agent layer is increased. can do. Further, when the weight average molecular weight of the polyorganosiloxane (A) is 50,000 or more, it is possible to prevent the coating viscosity of the release agent composition R from becoming too low, suppress the occurrence of repellency, and achieve a uniform surface state. The
一方、上記ポリオルガノシロキサン(B)は、下記の一般式(b)で示されるケイ素含有化合物の重合体である。
式(b)中、pは1以上の整数である。また、R11及びR12は炭素数1〜12のアルキル基、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基等であり、アルケニル基であってはならない。R11及びR12は同一であっても異なっていてもよい。R11及びR12は、好ましくはメチル基である。 In formula (b), p is an integer of 1 or more. R 11 and R 12 are alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, an octyl group, and the like, and must not be an alkenyl group. . R 11 and R 12 may be the same or different. R 11 and R 12 are preferably a methyl group.
式(b)中、R13、R14及びR15の少なくとも1個はアルケニル基または水酸基であり、またR16、R17及びR18の少なくとも1個はアルケニル基または水酸基である。すなわち、ポリオルガノシロキサン(B)は、両末端にアルケニル基または水酸基を有する。アルケニル基としては、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基等が挙げられ、中でもビニル基が特に好ましい。R13、R14、R15、R16、R17及びR18におけるアルケニル基以外の官能基は、炭素数1〜12のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基等が挙げられ、好ましくはメチル基である。R13、R14、R15、R16、R17及びR18におけるアルキル基は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。 In the formula (b), at least one of R 13 , R 14 and R 15 is an alkenyl group or a hydroxyl group, and at least one of R 16 , R 17 and R 18 is an alkenyl group or a hydroxyl group. That is, polyorganosiloxane (B) has an alkenyl group or a hydroxyl group at both ends. Examples of the alkenyl group include a vinyl group, an allyl group, a propenyl group, a butenyl group, a pentenyl group, a hexenyl group, a heptenyl group, and an octenyl group. Among them, a vinyl group is particularly preferable. The functional group other than the alkenyl group in R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 17 and R 18 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or a butyl group. , A pentyl group, a hexyl group, an octyl group, and the like, preferably a methyl group. The alkyl groups in R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 17 and R 18 may be the same or different.
剥離剤組成物Rは、異なる種類のポリオルガノシロキサン(B)を同時に含有してもよく、例えば、両末端にアルケニル基を有するポリオルガノシロキサン(B)と、両末端に水酸基を有するポリオルガノシロキサン(B)とを同時に含有してもよい。 The release agent composition R may contain different types of polyorganosiloxane (B) at the same time, for example, polyorganosiloxane (B) having alkenyl groups at both ends and polyorganosiloxane having hydroxyl groups at both ends. (B) may be contained at the same time.
ポリオルガノシロキサン(B)は、ポリオルガノシロキサン(B)1g中にアルケニル基または水酸基を0.00005〜0.05mmol含有することが好ましく、特に0.00008〜0.03mmol含有することが好ましく、さらには0.0001〜0.01mmol含有することが好ましい。1分子中の両末端のみにアルケニル基または水酸基が存在することで、さらにはアルケニル基または水酸基の量が上記範囲にあることで、ポリオルガノシロキサン(B)が剥離剤層12の表層に偏析しやすく、かつ表層付近のみで架橋密度の低い架橋構造が形成され得る。特に、ポリオルガノシロキサン(B)1g中に含有されるアルケニル基または水酸基の量が0.00005mmol以上であることにより、ポリオルガノシロキサン(B)の反応性が高まり、ポリオルガノシロキサン(B)がセラミックグリーンシートへ転着することを効果的に防ぐことができる。また、ポリオルガノシロキサン(B)1g中に含有されるアルケニル基または水酸基の量が0.05mmol以下であることにより、ポリオルガノシロキサン(B)の極性が低下し、ポリオルガノシロキサン(B)が剥離剤層12の表層により偏析し易くなる。
The polyorganosiloxane (B) preferably contains 0.00005 to 0.05 mmol of alkenyl group or hydroxyl group in 1 g of polyorganosiloxane (B), particularly preferably 0.00008 to 0.03 mmol. Is preferably contained in an amount of 0.0001 to 0.01 mmol. The polyorganosiloxane (B) segregates on the surface layer of the
ポリオルガノシロキサン(B)の重量平均分子量は100,000〜1,200,000であることが好ましく、特に150,000〜900,000であることが好ましく、さらには200,000〜600,000であることが好ましい。 The weight average molecular weight of the polyorganosiloxane (B) is preferably 100,000 to 1,200,000, particularly preferably 150,000 to 900,000, and more preferably 200,000 to 600,000. Preferably there is.
ポリオルガノシロキサン(B)の重量平均分子量が上記の範囲にあることにより、架橋密度の低い架橋構造が剥離剤層の中に形成されるようになる。また、ポリオルガノシロキサン(B)の重量平均分子量が100,000以上であると、ポリオルガノシロキサン(B)の架橋密度が小さくなり、付着エネルギーを大きくすることができる。ポリオルガノシロキサン(B)の重量平均分子量が1,200,000以下であると、剥離剤組成物Rの硬化性を良好に維持し、セラミックグリーンシートへのシリコーン転移量を少なくすることができる。 When the weight average molecular weight of the polyorganosiloxane (B) is in the above range, a crosslinked structure having a low crosslinking density is formed in the release agent layer. Further, when the weight average molecular weight of the polyorganosiloxane (B) is 100,000 or more, the crosslink density of the polyorganosiloxane (B) is decreased, and the adhesion energy can be increased. When the weight average molecular weight of the polyorganosiloxane (B) is 1,200,000 or less, the curability of the release agent composition R can be maintained well, and the amount of silicone transferred to the ceramic green sheet can be reduced.
剥離剤組成物Rにおいては、ポリオルガノシロキサン(A)およびポリオルガノシロキサン(B)の質量部数の合計100質量部に対し、ポリオルガノシロキサン(B)が固形分比で1.2〜19質量部であることが好ましく、3.0〜17質量部であることがより好ましく、特に5〜15質量部であることが好ましい。架橋密度の低い架橋構造を形成するポリオルガノシロキサン(B)の固形成分比率が19質量部以下であることにより、剥離剤層12は、全体としてある程度の硬さを有することとなり、その結果、上記の貯蔵弾性率が1.6GPa以上となる。また、ポリオルガノシロキサン(B)の固形成分比率が1.2質量部以上であることにより、剥離剤層12の表面におけるポリオルガノシロキサン(B)の含有量を確保することができ、上記の付着エネルギーが4.4〜8.0mJ/m2となる。
In the release agent composition R, the polyorganosiloxane (B) has a solid content ratio of 1.2 to 19 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B). It is preferable that it is 3.0-17 mass parts, and it is especially preferable that it is 5-15 mass parts. When the solid component ratio of the polyorganosiloxane (B) that forms a crosslinked structure having a low crosslinking density is 19 parts by mass or less, the
剥離剤組成物Rは、架橋剤(C)をさらに含有することが好ましい。架橋剤(C)としては、ポリオルガノシロキサン(A)およびポリオルガノシロキサン(B)を架橋することができる架橋性官能基を有するものであれば特に限定されないが、特に、架橋剤(C)は、架橋性官能基としてケイ素原子に結合した水素原子(ヒドロシリル基)を有する架橋剤(C)であることが好ましい。剥離剤組成物Rが架橋剤(C)を含有することで、ポリオルガノシロキサン(A)およびポリオルガノシロキサン(B)が架橋され、得られる剥離剤層12に、より安定した剥離性が付与される。
It is preferable that the release agent composition R further contains a crosslinking agent (C). The cross-linking agent (C) is not particularly limited as long as it has a cross-linkable functional group capable of cross-linking the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B). The crosslinking agent (C) having a hydrogen atom (hydrosilyl group) bonded to a silicon atom as a crosslinkable functional group is preferred. Since the release agent composition R contains the crosslinking agent (C), the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B) are crosslinked, and more stable release property is imparted to the resulting
ヒドロシリル基を有する架橋剤(C)としては、ポリオルガノシロキサン(A)およびポリオルガノシロキサン(B)以外の、1分子中に少なくとも2個のヒドロシリル基を有するポリオルガノシロキサンが好ましい。かかるポリオルガノシロキサンとしては、例えば、ジメチルハイドロジェンシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、ポリ(ハイドロジェンシルセスキオキサン)等のポリオルガノハイドロジェンシロキサンが挙げられる。中でも、上記効果に優れたトリメチルシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体が好ましい。 The crosslinking agent (C) having a hydrosilyl group is preferably a polyorganosiloxane having at least two hydrosilyl groups in one molecule other than the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B). Examples of the polyorganosiloxane include dimethylhydrogensiloxy group end-capped dimethylsiloxane-methylhydrogensiloxane copolymer, trimethylsiloxy group end-capped dimethylsiloxane-methylhydrogensiloxane copolymer, trimethylsiloxy group end-capped methylhydrol. Examples include polyorganohydrogensiloxanes such as genpolysiloxane and poly (hydrogensilsesquioxane). Among them, a trimethylsiloxy group end-capped dimethylsiloxane-methylhydrogensiloxane copolymer having excellent effects is preferable.
架橋剤(C)のヒドロシリル基と、ポリオルガノシロキサン(A)およびポリオルガノシロキサン(B)のアルケニル基との間では、アルケニル基の炭素間二重結合が開くとともに、その炭素原子の一方とヒドロシリル基のケイ素原子とが共有結合するという反応が生じる。一方、架橋剤(C)のヒドロシリル基と、ポリオルガノシロキサン(B)の水酸基との間では、これらの基の水素同士が脱水素するとともに、ヒドロシリル基のケイ素原子と水酸基の酸素原子とが共有結合するという反応が生じる。以上の反応により、ポリオルガノシロキサン(A)とポリオルガノシロキサン(B)との間、ポリオルガノシロキサン(A)間およびポリオルガノシロキサン(B)間で架橋が生じる。 Between the hydrosilyl group of the crosslinking agent (C) and the alkenyl group of the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B), the carbon-carbon double bond of the alkenyl group is opened, and one of the carbon atoms is bonded to the hydrosilyl group. A reaction occurs in which the silicon atom of the group is covalently bonded. On the other hand, between the hydrosilyl group of the crosslinking agent (C) and the hydroxyl group of the polyorganosiloxane (B), hydrogens of these groups are dehydrogenated, and the silicon atom of the hydrosilyl group and the oxygen atom of the hydroxyl group are shared. The reaction of binding occurs. By the above reaction, crosslinking occurs between the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B), between the polyorganosiloxane (A) and between the polyorganosiloxane (B).
架橋剤(C)としてのポリオルガノシロキサンの重量平均分子量は、100〜10,000であることが好ましく、特に500〜5,000であることが好ましい。 The weight average molecular weight of the polyorganosiloxane as the crosslinking agent (C) is preferably 100 to 10,000, and particularly preferably 500 to 5,000.
本実施形態に係る剥離剤組成物R中における架橋剤(C)の含有量は、ポリオルガノシロキサン(A)およびポリオルガノシロキサン(B)が有するアルケニル基の数に対して、架橋剤(C)が有するヒドロシリル基等の架橋性官能基の数が、モル比で1.1〜5.0となる量であることが好ましく、特に1.75〜4.5となる量であることが好ましく、さらには2.0〜4.0となる量であることが好ましい。 The content of the crosslinking agent (C) in the release agent composition R according to this embodiment is such that the crosslinking agent (C) is the number of alkenyl groups of the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B). The number of crosslinkable functional groups such as hydrosilyl groups possessed by is preferably an amount that is 1.1 to 5.0 in terms of molar ratio, and is particularly preferably an amount that is 1.75 to 4.5, Furthermore, it is preferable that it is the quantity used as 2.0-4.0.
剥離剤組成物Rは、好ましくはさらに触媒(D)等を含有する。触媒(D)としては、剥離剤組成物Rを硬化させることができるものであれば特に限定されないが、中でも白金族金属系化合物が好ましい。白金族金属系化合物としては、例えば、微粒子状白金、炭素粉末担体上に吸着された微粒子状白金、塩化白金酸、アルコール変性塩化白金酸、塩化白金酸のオレフィン錯体、パラジウム、ロジウム等が挙げられる。剥離剤組成物Rがかかる触媒(D)を含有することで、当該剥離剤組成物Rの硬化反応をより効率良く進行させることができる。 The release agent composition R preferably further contains a catalyst (D) and the like. The catalyst (D) is not particularly limited as long as it can cure the release agent composition R, and among them, a platinum group metal compound is preferable. Examples of the platinum group metal compounds include fine platinum, fine platinum adsorbed on a carbon powder carrier, chloroplatinic acid, alcohol-modified chloroplatinic acid, olefin complexes of chloroplatinic acid, palladium, rhodium and the like. . When the release agent composition R contains such a catalyst (D), the curing reaction of the release agent composition R can proceed more efficiently.
本実施形態に係る剥離剤組成物R中における触媒(D)の含有量は、触媒(D)以外の成分の合計量に対し、1〜1000ppm程度であることが好ましい。 The content of the catalyst (D) in the release agent composition R according to this embodiment is preferably about 1 to 1000 ppm with respect to the total amount of components other than the catalyst (D).
本実施形態に係る剥離剤組成物Rは、上記成分の他、反応抑制剤、密着向上剤等を含有していてもよい。 The release agent composition R according to this embodiment may contain a reaction inhibitor, an adhesion improver, and the like in addition to the above components.
剥離剤層12の厚さは、0.01〜3μmであることが好ましく、特に0.03〜1μmであることが好ましい。剥離剤層12の厚さが0.01μm以上であると、剥離剤層としての機能を発揮することができ、また、硬化したポリオルガノシロキサン(B)が表層に偏析した構造を形成することができる。一方、剥離剤層12の厚さが3μm以下であれば、剥離フィルム1をロール状に巻き取った際に、ブロッキングが発生することを抑制することができる。
The thickness of the
4.セラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルムの製造方法
本実施形態に係る剥離フィルム1は、基材11の一方の面に、剥離剤組成物R及び所望により有機溶剤を含有する塗工液を塗工した後、乾燥し、硬化させて剥離剤層12を形成することにより得られる。塗工方法としては、例えば、グラビアコート法、バーコート法、スプレーコート法、スピンコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ダイコート法などが使用できる。
4. Manufacturing method of release film for ceramic green sheet manufacturing process The
上記有機溶剤としては特に制限はなく、様々なものを用いることができる。例えばトルエン、ヘキサン、ヘプタン等の炭化水素化合物をはじめ、アセトン、酢酸エチル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン及びこれらの混合物等が用いられる。 There is no restriction | limiting in particular as said organic solvent, A various thing can be used. For example, hydrocarbon compounds such as toluene, hexane, heptane, acetone, ethyl acetate, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and mixtures thereof are used.
上記のように塗工した剥離剤組成物Rは、熱硬化させることが好ましい。この場合の加熱温度は90〜140℃であることが好ましく、加熱時間は10〜120秒程度であることが好ましい。また、必要に応じて紫外線を照射することにより、剥離剤組成物Rの硬化を促進させてもよい。 The release agent composition R applied as described above is preferably thermoset. In this case, the heating temperature is preferably 90 to 140 ° C., and the heating time is preferably about 10 to 120 seconds. Moreover, you may accelerate | stimulate hardening of release agent composition R by irradiating an ultraviolet-ray as needed.
以上説明した剥離フィルム1を使用するには、スロットダイ塗工方式やドクターブレード方式等を用いて、剥離剤層12の表面にセラミックスラリーを塗工して乾燥させることにより、セラミックグリーンシートを成型する。このとき、本実施形態に係る剥離フィルム1では、セラミックスラリーの塗工幅が収縮し、当該塗工面両端部の厚みが厚くなる端部収縮が発生することが抑制される。
In order to use the
塗工幅が収縮する寸法としては、具体的には、5mm未満であることが好ましく、特に2mm以下であることが好ましい。 Specifically, the dimension with which the coating width shrinks is preferably less than 5 mm, and particularly preferably 2 mm or less.
一方、強度の低い薄膜のセラミックグリーンシートを剥離剤層に成型した場合でも、ヒビ、破断等の不具合を発生させることなく、低い剥離力、具体的には15.5mN/50mm以下の剥離力でセラミックグリーンシートを剥離剤層12から剥離することができる。このように、本実施形態に係る剥離フィルム1によれば、セラミックスラリーの塗工性に優れるとともに、セラミックグリーンシートの剥離性にも優れ、セラミックグリーンシート製造における歩留まりが向上する。
On the other hand, even when a thin ceramic green sheet with low strength is molded into the release agent layer, it does not cause defects such as cracks and breakage, and has a low peel force, specifically a peel force of 15.5 mN / 50 mm or less. The ceramic green sheet can be peeled from the
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。 The embodiment described above is described for facilitating understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
例えば、基材11における剥離剤層12の反対側の面や、基材11と剥離剤層12との間には、帯電防止層等の他の層が設けられてもよい。
For example, another layer such as an antistatic layer may be provided between the surface of the
以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example etc. demonstrate this invention further more concretely, the scope of the present invention is not limited to these Examples etc.
〔実施例1〕
ポリオルガノシロキサン(A)として、側鎖のみに2個以上のヘキセニル基を有し、ヘキセニル基を有さない部分はメチル基であるポリオルガノシロキサン(重量平均分子量:390,000,ポリオルガノシロキサン1g中のアルケニル基量:0.25mmol;以下「材料A1」という)と、ポリオルガノシロキサン(B)として、両末端のみにビニル基を1個ずつ有し、その他の官能基はメチル基であるポリオルガノシロキサン(重量平均分子量:350,000,ポリオルガノシロキサン1g中のアルケニル基量:0.0003mmol;以下「材料B1」という)と、架橋剤(C)として、トリメチルシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体(重量平均分子量:1,000)とを混合し、付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液を得た。このとき、材料A1と材料B1との配合比(質量基準)は、83.3:16.7とした。また、架橋剤(C)の含有量は、ポリオルガノシロキサン(A)が含有するヘキセニル基およびポリオルガノシロキサン(B)が含有するビニル基の合計数に対して、架橋剤(C)が含有するヒドロシリル基の数が、モル比で2.5となる量とした。
[Example 1]
The polyorganosiloxane (A) is a polyorganosiloxane (weight average molecular weight: 390,000, 1 g of polyorganosiloxane) that has two or more hexenyl groups only in the side chain and the portion that does not have a hexenyl group is a methyl group. And polyorganosiloxane (B) having one vinyl group only at both ends and the other functional groups being methyl groups. Organosiloxane (weight average molecular weight: 350,000, alkenyl group amount in 1 g of polyorganosiloxane: 0.0003 mmol; hereinafter referred to as “material B1”), and trimethylsiloxy group end-capped dimethylsiloxane-methyl as a crosslinking agent (C) Mixed with hydrogen siloxane copolymer (weight average molecular weight: 1,000). To obtain an addition reaction type polyorganosiloxane solution. At this time, the blending ratio (mass basis) of the material A1 and the material B1 was 83.3: 16.7. Moreover, content of a crosslinking agent (C) contains a crosslinking agent (C) with respect to the total number of the hexenyl group which a polyorganosiloxane (A) contains, and the vinyl group which a polyorganosiloxane (B) contains. The amount of hydrosilyl groups was 2.5 so that the molar ratio was 2.5.
この付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液では、材料A1および材料B1の質量部数の合計100質量部に対する材料B1の固形分比が16.7質量部であった。 In this addition reaction type polyorganosiloxane solution, the solid content ratio of the material B1 to the total of 100 parts by mass of the material A1 and the material B1 was 16.7 parts by mass.
次に、上記付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液に対し、白金系触媒(東レ・ダウコーニング社製,SRX−212)を添加して混合し、剥離剤組成物の溶液(塗布液)を得た。白金系触媒の含有量は、上記付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液100質量部に対し、固形分比で10質量部とした。 Next, a platinum-based catalyst (manufactured by Dow Corning Toray, SRX-212) was added to and mixed with the addition reaction type polyorganosiloxane solution to obtain a solution (coating solution) of a release agent composition. The content of the platinum-based catalyst was 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the addition reaction type polyorganosiloxane solution.
得られた剥離剤組成物の塗布液を、基材としての二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ:31μm,幅:300mm,両面の算術平均表面粗さRa:15nm,両面の最大突起高さRp:84nm)上にバーコーターにより均一に塗布した。次いで、135℃で60秒間加熱乾燥し、剥離剤組成物を硬化させ、基材上に厚さ0.07μmの剥離剤層が積層された積層体を得た。その後、シリコーン剥離剤の架橋剤であるポリオルガノハイドロジェンシロキサンの残存する官能基の影響を無くすため、当該積層体を50℃・dry条件下にて24時間保管することで、剥離フィルムを得た。 A coating solution of the obtained release agent composition was used as a biaxially stretched polyethylene terephthalate film (thickness: 31 μm, width: 300 mm, arithmetic mean surface roughness Ra: 15 nm on both sides, maximum projection height Rp on both sides) : 84 nm) was uniformly applied by a bar coater. Subsequently, it heat-dried at 135 degreeC for 60 second, the release agent composition was hardened, and the laminated body by which the 0.07 micrometer-thick release agent layer was laminated | stacked on the base material was obtained. Thereafter, in order to eliminate the influence of the remaining functional group of the polyorganohydrogensiloxane, which is a crosslinking agent for the silicone release agent, the laminate was stored for 24 hours under 50 ° C./dry condition to obtain a release film. .
〔実施例2〕
付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液として、材料A1と材料B1との配合比(質量基準)が96.7:3.3になるように混合したものを用いる以外、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
[Example 2]
A release film in the same manner as in Example 1 except that the addition reaction type polyorganosiloxane solution was mixed so that the blending ratio (mass basis) of the material A1 and the material B1 was 96.7: 3.3. Was made.
この付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液では、材料A1および材料B1の質量部数の合計100質量部に対する材料B1の固形分比が3.3質量部であった。 In this addition reaction type polyorganosiloxane solution, the solid content ratio of the material B1 to the total of 100 parts by mass of the material A1 and the material B1 was 3.3 parts by mass.
〔実施例3〕
付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液として、材料A1と材料B1との配合比(質量基準)が98.3:1.7になるように混合したものを用いる以外、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
Example 3
A release film in the same manner as in Example 1 except that the addition reaction type polyorganosiloxane solution was mixed so that the blending ratio (mass basis) of the material A1 and the material B1 was 98.3: 1.7. Was made.
この付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液では、材料A1および材料B1の質量部数の合計100質量部に対する材料B1の固形分比が1.7質量部であった。 In the addition reaction type polyorganosiloxane solution, the solid content ratio of the material B1 to the total of 100 parts by mass of the material A1 and the material B1 was 1.7 parts by mass.
〔実施例4〕
ポリオルガノシロキサン(A)として、材料A1と、ポリオルガノシロキサン(B)として、アルケニル基を有さず、両末端のみに水酸基を1個ずつ有し、その他の官能基はメチル基であるポリオルガノシロキサン(重量平均分子量:400,000,ポリオルガノシロキサン1g中の水酸基量:0.0002mmol;以下「材料B2」という)と、架橋剤(C)として、トリメチルシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体(重量平均分子量:1,000)とを混合し、ポリオルガノシロキサン溶液を得た。このとき、材料A1と材料B2との配合比(質量基準)は、83.3:16.7とした。また、架橋剤(C)の含有量は、ポリオルガノシロキサン(A)が含有するヘキセニル基およびポリオルガノシロキサン(B)が含有するビニル基の合計数に対して、架橋剤(C)が含有するヒドロシリル基の数が、モル比で2.5となる量とした。
Example 4
Polyorganosiloxane (A) as material A1 and polyorganosiloxane (B) as polyorganosiloxane (B) having no alkenyl groups, one hydroxyl group only at both ends, and other functional groups being methyl groups Siloxane (weight average molecular weight: 400,000, hydroxyl group content in 1 g of polyorganosiloxane: 0.0002 mmol; hereinafter referred to as “material B2”), and trimethylsiloxy group end-capped dimethylsiloxane-methylhydrogen as a crosslinking agent (C) A siloxane copolymer (weight average molecular weight: 1,000) was mixed to obtain a polyorganosiloxane solution. At this time, the blending ratio (mass basis) of the material A1 and the material B2 was 83.3: 16.7. Moreover, content of a crosslinking agent (C) contains a crosslinking agent (C) with respect to the total number of the hexenyl group which a polyorganosiloxane (A) contains, and the vinyl group which a polyorganosiloxane (B) contains. The amount of hydrosilyl groups was 2.5 so that the molar ratio was 2.5.
このポリオルガノシロキサン溶液では、材料A1および材料B2の質量部数の合計100質量部に対する材料B2の固形分比が16.7質量部であった。 In this polyorganosiloxane solution, the solid content ratio of the material B2 to 100 parts by mass in total of the parts by mass of the material A1 and the material B2 was 16.7 parts by mass.
次に、上記ポリオルガノシロキサン溶液に対し、白金系触媒(東レ・ダウコーニング社製,SRX−212)を添加して混合し、剥離剤組成物の溶液(塗布液)を得た。白金系触媒の含有量は、上記ポリオルガノシロキサン溶液100質量部に対し、固形分比で10質量部とした。 Next, a platinum-based catalyst (manufactured by Dow Corning Toray, SRX-212) was added to and mixed with the polyorganosiloxane solution to obtain a release agent composition solution (coating solution). The content of the platinum-based catalyst was 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyorganosiloxane solution.
このようにして得られた剥離剤組成物の塗布液を用いること以外、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。 A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the coating solution of the release agent composition thus obtained was used.
〔実施例5〕
ポリオルガノシロキサン溶液として、材料A1と材料B2との配合比(質量基準)が96.7:3.3になるように混合したものを用いる以外、実施例4と同様にして剥離フィルムを作製した。
Example 5
A release film was produced in the same manner as in Example 4 except that a polyorganosiloxane solution was used so that the mixing ratio (mass basis) of the material A1 and the material B2 was 96.7: 3.3. .
このポリオルガノシロキサン溶液では、材料A1および材料B2の質量部数の合計100質量部に対する材料B2の固形分比が3.3質量部であった。 In this polyorganosiloxane solution, the solid content ratio of the material B2 to the total of 100 parts by mass of the material A1 and the material B2 was 3.3 parts by mass.
〔実施例6〕
ポリオルガノシロキサン溶液として、材料A1と材料B2との配合比(質量基準)が98.3:1.7になるように混合したものを用いる以外、実施例4と同様にして剥離フィルムを作製した。
Example 6
A release film was prepared in the same manner as in Example 4 except that a polyorganosiloxane solution was used so that the blending ratio (mass basis) of the material A1 and the material B2 was 98.3: 1.7. .
このポリオルガノシロキサン溶液では、材料A1および材料B2の質量部数の合計100質量部に対する材料B2の固形分比が1.7質量部であった。 In this polyorganosiloxane solution, the solid content ratio of the material B2 to the total of 100 parts by mass of the parts by mass of the material A1 and the material B2 was 1.7 parts by mass.
〔比較例1〕
付加反応型ポリオルガノシロキサンとして、材料A1と材料B1との配合比(質量基準)が80.0:20.0になるように混合したものを用いる以外、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
[Comparative Example 1]
A release film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the addition reaction type polyorganosiloxane was mixed so that the blending ratio (mass basis) of the material A1 and the material B1 was 80.0: 20.0. Produced.
この付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液では、材料A1および材料B1の質量部数の合計100質量部に対する材料Bの固形分比が20.0質量部であった。 In this addition reaction type polyorganosiloxane solution, the solid content ratio of the material B to the total of 100 parts by mass of the parts by mass of the material A1 and the material B1 was 20.0 parts by mass.
〔比較例2〕
付加反応型ポリオルガノシロキサンとして、材料A1と材料B1との配合比(質量基準)が99.2:0.8になるように混合したものを用いる以外、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
[Comparative Example 2]
A release film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the addition reaction type polyorganosiloxane was mixed so that the blending ratio (mass basis) of the material A1 and the material B1 was 99.2: 0.8. Produced.
この付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液では、材料A1および材料B1の質量部数の合計100質量部に対する材料Bの固形分比が0.8質量部であった。 In this addition reaction type polyorganosiloxane solution, the solid content ratio of the material B to the total of 100 parts by mass of the parts by mass of the material A1 and the material B1 was 0.8 part by mass.
〔比較例3〕
付加反応型ポリオルガノシロキサンとして、材料A1のみを用いる以外、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
[Comparative Example 3]
A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that only the material A1 was used as the addition reaction type polyorganosiloxane.
〔比較例4〕
付加反応型ポリオルガノシロキサンとして、材料A1と材料B2との配合比(質量基準)が80.0:20.0になるように混合したものを用いる以外、実施例4と同様にして剥離フィルムを作製した。
[Comparative Example 4]
A release film was prepared in the same manner as in Example 4 except that the addition reaction type polyorganosiloxane was mixed so that the blending ratio (mass basis) of the material A1 and the material B2 was 80.0: 20.0. Produced.
この付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液では、材料A1および材料B2の質量部数の合計100質量部に対する材料B2の固形分比が20.0質量部であった。 In this addition reaction type polyorganosiloxane solution, the solid content ratio of the material B2 to the total of 100 parts by mass of the material A1 and the material B2 was 20.0 parts by mass.
〔比較例5〕
付加反応型ポリオルガノシロキサンとして、材料A1と材料B2との配合比(質量基準)が99.2:0.8になるように混合したものを用いる以外、実施例4と同様にして剥離フィルムを作製した。
[Comparative Example 5]
A release film was prepared in the same manner as in Example 4 except that the addition reaction type polyorganosiloxane was mixed so that the blending ratio (mass basis) of the material A1 and the material B2 was 99.2: 0.8. Produced.
この付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液では、材料A1および材料B2の質量部数の合計100質量部に対する材料B2の固形分比が0.8質量部であった。 In this addition reaction type polyorganosiloxane solution, the solid content ratio of the material B2 to the total of 100 parts by mass of the material A1 and the material B2 was 0.8 part by mass.
〔試験例1〕(付着エネルギーの測定)
実施例及び比較例で得られた剥離フィルムにおける剥離剤層表面の付着エネルギーを、協和界面科学社製の全自動接触角計DM−701を使用して測定した。具体的には、温度23度、湿度50%の環境下で、平坦なガラス基板上に剥離フィルムを静止させ、ガラス基板の傾きを0度にして7.0μlの水の液滴を剥離フィルムの剥離剤層表面上に滴下し、液滴が静止した3秒後に、ガラス基板を0.5度/秒の速さで傾斜させ、液滴の端点が静止位置から離れたときの、液滴の滑落角、着液半径、液滴質量及び重力加速度から、付着エネルギー(mJ/m2)を求めた。結果を表1に示す。
[Test Example 1] (Measurement of adhesion energy)
The adhesion energy on the surface of the release agent layer in the release films obtained in Examples and Comparative Examples was measured using a fully automatic contact angle meter DM-701 manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. Specifically, in an environment of a temperature of 23 degrees and a humidity of 50%, the release film is stopped on a flat glass substrate, and the tilt of the glass substrate is set to 0 degree, and 7.0 μl of water droplets are applied to the release film. 3 seconds after the droplet dropped on the surface of the release agent layer and the droplet stopped, the glass substrate was tilted at a speed of 0.5 degrees / second, and the droplet end point was separated from the rest position. The adhesion energy (mJ / m 2 ) was determined from the sliding angle, landing radius, droplet mass and gravitational acceleration. The results are shown in Table 1.
〔試験例2〕(貯蔵弾性率測定)
実施例及び比較例で得られた剥離フィルムを10mm×10mmサイズに裁断し、次いで、アルミニウム製の台座に接着したガラス板上に、裁断した剥離フィルムの基材裏面を2液系エポキシ接着剤で固定した。そして、微小硬度評価装置(MTS社製,Nano Indenter SA2)を使用して、圧子の最大押し込み深さ200nm、歪速度0.05sec−1、変位振幅2nm、振動周波数45Hzにてナノインデンテーション試験を行い、上記剥離フィルムの剥離剤層の貯蔵弾性率(GPa)を測定した。結果を表1に示す。
[Test Example 2] (Storage elastic modulus measurement)
The release films obtained in Examples and Comparative Examples were cut to a size of 10 mm × 10 mm, and then the substrate back surface of the cut release film was coated with a two-component epoxy adhesive on a glass plate adhered to an aluminum base. Fixed. Then, using a micro hardness evaluation apparatus (manufactured by MTS, Nano Indenter SA2), a nanoindentation test was performed at a maximum indentation depth of 200 nm, a strain rate of 0.05 sec −1 , a displacement amplitude of 2 nm, and a vibration frequency of 45 Hz The storage elastic modulus (GPa) of the release agent layer of the release film was measured. The results are shown in Table 1.
〔試験例3〕(スラリー塗工性評価(端部収縮性評価))
チタン酸バリウム(BaTiO3;堺化学工業社製,BT−03)100質量部、ポリビニルブチラール(積水化学工業社製,エスレックB・K BM−2)8質量部及びフタル酸ジオクチル(関東化学社製,フタル酸ジオクチル 鹿1級)4質量部に、トルエン及びエタノールの混合液(質量比6:4)135質量部を加え、ボールミルにて混合分散させて、セラミックスラリーを調製した。
[Test Example 3] (Slurry coating property evaluation (end part shrinkage evaluation))
100 parts by mass of barium titanate (BaTiO 3 ; manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-03), 8 parts by mass of polyvinyl butyral (manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., ESREC B · KBM-2) and dioctyl phthalate (manufactured by Kanto Chemical Co., Inc.) , Dioctyl phthalate, deer grade 1) To 135 parts by mass of a mixed solution of toluene and ethanol (mass ratio 6: 4) was added to 4 parts by mass, and the mixture was mixed and dispersed in a ball mill to prepare a ceramic slurry.
実施例及び比較例にて製造してから常温で48時間保管した剥離フィルム(幅:300mm)の剥離剤層表面に、上記セラミックスラリーを乾燥後の膜厚が3μmになるようにダイコーター(幅:250mm)を用いて均一に塗工し、その後、乾燥機にて80℃で1分間乾燥させた。このようにして、セラミックグリーンシート付剥離フィルムロール300mを製造した。 A die coater (width) is formed on the surface of the release agent layer of a release film (width: 300 mm) that has been manufactured in Examples and Comparative Examples and stored at room temperature for 48 hours so that the film thickness after drying the ceramic slurry becomes 3 μm. : 250 mm), and then dried at 80 ° C. for 1 minute in a dryer. In this way, a 300 m release film roll with a ceramic green sheet was produced.
得られたセラミックグリーンシート付剥離フィルムにおいて、下記の式を用いて端部収縮幅を算出し、算出した端部収縮幅に基づいてスラリー塗工性(端部収縮性)を評価した。結果を表1に示す。
端部収縮幅=(セラミックスラリーの塗工幅=250mm)−(形成したセラミックグリーンシートの幅)
○:端部収縮幅が2mm未満(スラリー塗工性良好)
△:端部収縮幅が2mm以上5mm未満(使用可)
×:端部収縮幅が5mm以上(スラリー塗工性不良)
In the obtained release film with a ceramic green sheet, the edge shrinkage width was calculated using the following formula, and the slurry coatability (edge shrinkability) was evaluated based on the calculated edge shrinkage width. The results are shown in Table 1.
Edge shrinkage width = (Ceramic slurry coating width = 250 mm) − (Width of formed ceramic green sheet)
○: End shrinkage width is less than 2 mm (slurry coating property is good)
Δ: End shrinkage width is 2 mm or more and less than 5 mm (can be used)
X: Edge shrinkage width is 5 mm or more (slurry coating property is poor)
〔試験例4〕(剥離力測定)
試験例3と同様にして得られたセラミックグリーンシート付剥離フィルムを、室温23度、湿度50%の雰囲気下に24時間静置した後、流れ方向に100mm、幅方向に50mmの大きさに裁断し、剥離力測定用のサンプルとした。当該サンプルのセラミックグリーンシート面側の短辺側の一方の端部に幅5mmのアクリル粘着テープ(日東電工社製,31Bテープ)を貼付した。このサンプルの剥離フィルム面側を両面テープで平板に固定し、サンプルが上面となるよう当該平板を剥離試験機(島津製作所社製,AG−IS 500N)に水平に設置した。そして、アクリル粘着テープを貼付した側のセラミックグリーンシートの端部を剥離フィルムから剥がし、当該端部を剥離試験機の治具に取り付けた。この状態にて、剥離速度200mm/minでセラミックグリーンシートを垂直上方向(90°剥離)に引っ張り、剥離フィルムとセラミックグリーンシートとの間の剥離力(mN/50mm)を測定した。当該剥離力の測定結果をもとに以下の基準により剥離フィルムの剥離性を評価した。結果を表1に示す。
○:剥離力が15.5mN/50mm以下(剥離性良好)
×:剥離力が15.5mN/50mm超(剥離性不良)
[Test Example 4] (Peeling force measurement)
A release film with a ceramic green sheet obtained in the same manner as in Test Example 3 was allowed to stand for 24 hours in an atmosphere having a room temperature of 23 degrees and a humidity of 50%, and then cut into a size of 100 mm in the flow direction and 50 mm in the width direction. And it was set as the sample for peeling force measurement. An acrylic adhesive tape (manufactured by Nitto Denko Corporation, 31B tape) having a width of 5 mm was attached to one end of the short side of the sample on the ceramic green sheet surface side. The release film surface side of this sample was fixed to a flat plate with a double-sided tape, and the flat plate was horizontally placed on a peel tester (manufactured by Shimadzu Corporation, AG-IS 500N) so that the sample became the upper surface. And the edge part of the ceramic green sheet of the side which stuck the acrylic adhesive tape was peeled off from the peeling film, and the said edge part was attached to the jig | tool of a peeling tester. In this state, the ceramic green sheet was pulled vertically upward (90 ° peeling) at a peeling speed of 200 mm / min, and the peeling force (mN / 50 mm) between the peeling film and the ceramic green sheet was measured. Based on the measurement result of the peeling force, the peelability of the release film was evaluated according to the following criteria. The results are shown in Table 1.
○: Peeling force is 15.5 mN / 50 mm or less (good peelability)
X: Peeling force exceeds 15.5 mN / 50 mm (poor peelability)
表1から明らかなように、実施例で得られた剥離フィルムは、塗工したセラミックスラリーの端部収縮幅が小さく、セラミックスラリーの塗工性に優れるものであった。また、低い剥離力でセラミックグリーンシートを剥離することができ、セラミックグリーンシートの剥離性にも優れるものであった。 As is apparent from Table 1, the release films obtained in the examples had a small edge shrinkage width of the coated ceramic slurry, and were excellent in the coating property of the ceramic slurry. Moreover, the ceramic green sheet could be peeled with a low peel force, and the peelability of the ceramic green sheet was excellent.
1…セラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム
11…基材
12…剥離剤層
2…ガラス基板
3…液滴
DESCRIPTION OF
Claims (5)
水7.0μlの液滴を用いて滑落角を測定したときにおける前記剥離剤層表面の付着エネルギーが4.4〜8.0mJ/m2であり、
前記剥離剤層の23℃における貯蔵弾性率が1.6GPa以上であり、
前記剥離剤層は、
1分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有し、かつ側鎖に少なくとも1個のアルケニル基を有するポリオルガノシロキサン(A)と、
1分子中の両末端のみにアルケニル基または水酸基を有するポリオルガノシロキサン(B)と
を含有し、
前記ポリオルガノシロキサン(A)および前記ポリオルガノシロキサン(B)の質量部数の合計100質量部に対し、前記ポリオルガノシロキサン(B)が固形分比で1.2〜19質量部である剥離剤組成物から形成されたものである
ことを特徴とするセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム。 A release film for a ceramic green sheet manufacturing process comprising a substrate and a release agent layer provided on one side of the substrate,
When the sliding angle is measured using a droplet of 7.0 μl of water, the adhesion energy of the surface of the release agent layer is 4.4 to 8.0 mJ / m 2 ,
Ri der storage modulus than 1.6GPa at 23 ° C. of the release agent layer,
The release agent layer is
A polyorganosiloxane (A) having at least two alkenyl groups in one molecule and having at least one alkenyl group in the side chain;
A polyorganosiloxane (B) having an alkenyl group or a hydroxyl group only at both ends in one molecule;
Containing
Release agent composition in which the polyorganosiloxane (B) is 1.2 to 19 parts by mass in terms of solid content with respect to 100 parts by mass in total of the parts by mass of the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B). A release film for a ceramic green sheet manufacturing process, wherein the release film is formed from a product .
前記剥離剤組成物における前記架橋剤(C)の含有量は、前記ポリオルガノシロキサン(A)および前記ポリオルガノシロキサン(B)が有するアルケニル基の数に対して、架橋剤(C)が有するヒドロシリル基の数が、モル比で1.1〜5.0となる量である
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム。 The release agent composition further contains a crosslinking agent (C) having a hydrosilyl group,
The content of the crosslinking agent (C) in the release agent composition is such that the crosslinking agent (C) has hydrosilyl with respect to the number of alkenyl groups that the polyorganosiloxane (A) and the polyorganosiloxane (B) have. The release film for a ceramic green sheet production process according to any one of claims 1 to 3 , wherein the number of groups is an amount of 1.1 to 5.0 in terms of molar ratio.
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