JP6524811B2 - 放射線画像検出器 - Google Patents
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Description
特許文献1では、シンチレータで発生した光を検出する半導体光検出素子(本特許におけるTFTに相当)の出力を、周囲の温度によらず安定化させるため、熱伝導率の高い筐体を設け、筐体とシンチレータ・半導体光検出素子の間に空隙を設けている。
[1]シンチレータなどの蛍光体層と、熱遮蔽層と、TFT等の光電変換素子とを、この順で含む放射線画像検出器において、
熱遮蔽層の厚みをT[μm]、熱伝導率をC[W/m・K]としたときに、
C/Tが、0.004以上、5以下
であることを特徴とする、放射線画像検出器。
[2]前記放射線画像検出器において、
C/Tが、0.004以上、0.7以下
であることを特徴とする、[1]に記載の放射線画像検出器。
[3]前記放射線画像検出器において、
C/Tが、0.004以上、0.14以下
であることを特徴とする、[1]に記載の放射線画像検出器。
[4]前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、5[W/m・K]以下であることを特徴とする、[1]〜[3]のいずれかに記載の放射線画像検出器。
[5]前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、0.7[W/m・K]以下であることを特徴とする、[4]に記載の放射線画像検出器。
[6]前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、0.14[W/m・K]以下であることを特徴とする、[4]に記載の放射線画像検出器。
[7]前記放射線画像検出器において、
前記蛍光体層の、放射線入射方向に垂直な面の断面積をAP、
前記熱遮蔽層と蛍光体層との接触面積をATPとした時に、
ATP/APが、1.5以上75以下であることを特徴とする、[1]〜[6]のいずれかに記載の放射線画像検出器。
[8]前記熱遮蔽層が、ホットメルト樹脂を主成分とすることを特徴とする、[1]〜[7]のいずれかに記載の放射線画像検出器。
[9]前記ホットメルト樹脂が、ポリオレフィン樹脂、エチレン―酢酸ビニル共重合体、およびアクリル樹脂のなかから選ばれる少なくとも1種類を含むことを特徴とする、[8]に記載の放射線画像検出器。
[10]前記放射線画像検出器において、
1枚/秒以上の速度で画像が検出されることを特徴とする、[1]〜[9]のいずれかに記載の放射線画像検出器。
本発明に係る放射線画像検出器の基本構成を図1に示す。
支持体11
本発明に係る放射線画像検出器10において、支持体11は、蛍光体層12を形成する蛍光体120の土台として用いられるとともに、蛍光体層層12の構造を保持する役割を有する。なお、支持体は必ずしも必要でない場合がある。
具体的には、石英、ホウ珪酸ガラス、化学的強化ガラス等の板ガラス;サファイア、窒化珪素、炭化珪素等のセラミック;シリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素、ガリウム燐、ガリウム窒素等の半導体;セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム、炭素繊維強化樹脂シート等の高分子フィルム(プラスチックフィルム);
アルミニウムシート、鉄シート、銅シート等の金属シート又はこれらの金属の酸化物の被覆層を有する金属シート;バイオナノファイバーフィルム等を用いることができる。これらは一種単独で用いても積層して用いてもよい。
ここで、「可撓性を有する」とは、120℃での弾性率(E120)が、0.1〜300GPaであることをいう。「弾性率」とは、引張試験機を用い、JIS−C2318に準拠したサンプルの標線が示すひずみと、それに対応する応力が直線的な関係を示す領域において、ひずみ量に対する応力の傾きを求めた値である。これがヤング率と呼ばれる値であり、本明細書においては、かかるヤング率を弾性率と定義する。
なお、遮光層や顔料層は、別途のフィルムに設けられたものであってもよい。
蛍光体層は、外部から入射された放射線であるX線のエネルギーを、可視光に変換する役割を有する。
まず、基本組成式(I):
MIX・aMIIX'2・bMIIIX''3:zA
で表わされる金属ハロゲン化物系蛍光体が挙げられる。
Aは、Y,Ce、Pr,Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Lu,Na,Mg,Cu,Ag(銀),TlおよびBi(ビスマス)からなる群より選択される少なくとも1種の元素を表す。
また、基本組成式(II):
MIIFX:zLn
で表わされる希土類付活金属フッ化ハロゲン化物系蛍光体も挙げられる。
Ln2O2S:zA
で表される希土類酸硫化物系蛍光体も挙げられる。
MIIS:zA
で表される金属硫化物系蛍光体も挙げられる。
Ma(AG)b:zA
で表される金属オキソ酸塩系蛍光体も挙げられる。
また、基本組成式(VI):
MaOb:zA
で表わされる金属酸化物系蛍光体が挙げられる。
またaおよびbは、金属及びオキソ酸基の価数に応じて取り得る値全てを表す。zは、0<z<1である。
LnOX:zA
で表わされる金属酸ハロゲン化物系蛍光体が挙げられる。
支持体と蛍光体層との間に、密着層が形成されている。密着層としては、樹脂、金属酸化物、金属の1種類以上の組み合わせからなるものが使用される。
密着層を構成する金属材料としては、アルミニウム、銀、白金、パラジウム、金、銅、鉄、ニッケル、クロム、コバルト、ステンレス等の金属材料を含有していることが好ましい。中でも反射率、耐食性の観点からアルミニウムもしくは銀を主成分としていることが特に好ましい。また、このような金属材料を2種以上使用しても良い。
光吸収性の顔料を含む層を密着層とすることもでき、例えば、顔料及びバインダー樹脂を含む層が用いられる。
これの密着層には、蛍光体層で発した蛍光を反射する機能を有する。
また、金属酸化物および金属からなる密着層の厚さは、輝度向上、光の取り出し効率の観点から0.005〜0.3μmが好ましく、より好ましくは0.01〜0.2μmである。
蛍光体層12の構成成分による密着層13の腐食等を防止するため、密着層13と蛍光体層12との間に保護層を形成してもよい。
本発明では、光電変換素子からの熱が蛍光体層に伝わらないようにするために、熱遮蔽層14が設けられる。
本発明では、熱遮蔽層の厚みをT[μm]、熱伝導率をC[W/m・K]としたときに、C/Tが、0.004以上、5以下、好ましくは、0.004以上、0.7以下、さらに好ましくは0.004以上、0.14以下となるように、熱遮蔽層の材質と厚みが選択される。
前記熱遮蔽層の熱伝導率Cは、5[W/m・K]以下であることが好ましい。より好ましくは、0.7[W/m・K]以下であり、さらに好ましくは、0.14[W/m・K]以下である。
たとえば、光電変換素子表面にあらかじめ積層するか、蛍光体層と光電変換素子を積層する際に、介在させればよい。
ホットメルトシートの場合、蛍光体層と光電変換素子の間にホットメルトシートを挿入し、減圧下で、加熱することによって、熱遮蔽層を形成できる。
ATP/AP = (LTP/LP)2
とする。
上記C/TおよびATP/APは、熱遮蔽層の厚みと構成、ないしは蛍光体層の作製条件を適宜調節することで、調整できる。
本発明に放射線画像検出器10は、外周を覆うように耐湿保護膜をさらに有していることが好ましい。耐湿保護膜は、放射線画像変換パネル全体を防湿し、蛍光体層12の劣化を抑制する役割を有する。
耐湿保護膜には、透湿度の低いフィルム保護フィルム、ポリパラキシリレンのような耐湿膜等が挙げられる。
金属酸化物には、二酸化ケイ素(SiO2)、酸化アルミニウム(Al2O3)、ITO等が挙げられる。
光電変換素子は、蛍光体層で発生した発光光を吸収して、電荷の形に変換することで電気信号に変換して、放射線画像検出器の外部に出力する役割を有しており、従来公知のものを用いることができる。
このうち、光電変換素子は、蛍光体層で発生した光を吸収して、電荷の形に変換する機能を有している。ここで、光電変換素子は、そのような機能を有する限り、どのような具体的な構造を有していてもよい。例えば、本発明で用いられる光電変換素子は、透明電極と、入光した光により励起されて電荷を発生する電荷発生層と、対電極とからなるものとすることができる。これら透明電極、電荷発生層および対電極は、いずれも、従来公知のものを用いることができる。また、本発明で用いられる光電変換素子は、適当なフォトセンサーから構成されていても良く、例えば、複数のフォトダイオードを2次元的に配置してなるものであってもよく、あるいは、CCD(Charge Coupled Devices)、CMOS(Complementary metal-oxide-semiconductor)センサーなどの2次元的なフォトセンサーからなるものであっても良い。
このように、本発明で用いうる光電変換素子15として種々の構成のものを用いることができる。例えば、後述する本願実施例で用いられているように、ガラス基板上に複数のフォトダイオードと複数のTFT素子を形成してなる光電変換素子を、光電変換素子15として用いることができる。
このような放熱機構は、熱伝導性部材から構成され、例えばシリコーン樹脂、SUSやアルミニウムなどの熱伝導率が2mm2/sの放熱手段が挙げられる。
本発明の放射線画像検出器によれば、蛍光体層への回路基板からの熱が遮蔽されているため、動画技術と組み合わせることが可能である。
本発明に係る放射線画像検出器10は、例えば、例えば、支持体11に対して、必要に応じて、従来公知の方法に従って、必要に応じて密着層13及び保護層の形成を行い、その後、蛍光体層12の形成を行い、熱遮蔽層を介在させて、光電変換素子と積層したのち、さらに、必要に応じて、従来公知の方法に従って、耐湿保護膜の形成を行うことにより、放射線画像検出器10を得ることができる。
蛍光体層は、真空容器内に蒸発源及び基板回転機構を有する蒸着装置を用いて、支持体を前記支持体回転機構に設置して、当該支持体を回転しながら蛍光体材料を蒸着する工程を含む気相堆積法により、蛍光体層を形成する態様の製造方法が好ましい。
蛍光体層と光電変換素子とを熱遮蔽層を介して積層する。たとえば熱遮蔽層形成用シートを、蛍光体層と光電変換素子との間に挟み、加圧状態で加熱することにより蛍光体層表面の所定の厚みおよび柱状結晶の接触面積を有す熱遮蔽層を形成できる。
本発明の放射線画像検出器は、種々の態様のX線画像撮影システムに応用することができる。静止画はもとより、連続撮影も可能であるため、動画撮影用の放射線検出器として用いることもできる。
[製造例]
支持体として、厚さ125μmのポリイミドフィルム(宇部興産(株)製UPILEX−125S)を用いた。密着層として蛍光体を形成する面に結晶性ポリエステルであるバイロン樹脂(東洋紡社製)を3μmとなるようにコートした後に断裁して蒸着用の支持体とした。前記支持体に対して真空下で特開2015-021886号公報に記載の条件でCsI蛍光体を蒸着した。CsIの膜厚は200μmとなったところで蒸着を終了した。
表に揚げる熱遮蔽層を形成する各材料について、以下のようにして熱遮蔽層を形成した。
・透明アルミナ膜
所望の厚みを有する市販の透明アルミナ薄膜を、PaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子に載置したのち、前記蛍光体表面に押し付けて密着させた。なお、応力印加による密着を行っているため、アルミナ以外の物質を含む接着剤等は用いていない。
市販のITO分散液を、バインダー樹脂と共に混合し、仮支持体に塗布乾燥してITO含有透明フィルムを成膜した。これを単独ないしは積層させてPaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子に載置したのち、前記蛍光体表面に押し付けて密着させた。なお、応力印加による密着を行っているため、ITO以外の物質を含む接着剤等は用いていない。
エポキシ樹脂としては、市販の熱伝導性エポキシ接着剤を使用し、PaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子に塗布乾燥して、表1の厚みを有するエポキシ樹脂層を形成したのち、前記蛍光体表面に貼り合わせた。
市販の低密度ポリエチレン膜を使用し、一方の面をPaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子に貼着させ、他方の面を前記蛍光体表面に押し付けて密着させた。なお、応力印加による密着を行っているため、ポリエチレン以外の物質を含む接着剤等は用いていない。
市販のアクリル系感圧接着シートを使用した。接着シートの一方の表面の剥離シートをはがして、PaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子表面と接着させたのち、他方の剥離シートをはがして蛍光体表面と接着して貼り合わせた。
所定の厚さのポリオレフィンフィルムを使用し、一方の面をPaxScan(バリアン(株)製FPD:2520)表面の光電変換素子に貼着させたのち、他方の面を前記蛍光体表面に貼り合わせた。
蛍光体層が形成された支持体をCVD装置の蒸着室に入れ、ジパラキシリレンが昇華した蒸気中に露出させておくことにより、全表面が所定の厚さのポリパラキシリレン膜で被覆したのち、PaxScan(バリアン(株)製フラットパネルディスプレイFPD:2520)表面の光電変換素子と貼り合わせた。
評価項目:
各実施例・比較例で作製した放射線画像検出器について、ATP/AP、輝度、輝度ムラ、画像鮮鋭性は、以下に示す指標で評価した。
光電変換層に密着または貼り合せる前のパネルを断裁し、X線の入射・出射面に垂直な任意の面を露出させ、その断面を走査型電子顕微鏡写真を、画像処理ソフトを使用して蛍光体箇所及び非蛍光体箇所を区別できるように調整する。この時の、露出した面における蛍光体箇所と非蛍光体箇所の接する線の長さをLTP、露出した面の幅(X線の入射・出射面に平行な線の長さ)をLpとした時に、
ATP/AP = (LTP/LP)2
として求めた。
評価基準は、このATP/APが、1.5以上75以下の範囲に入るものを「○」、入らないものと「×」と評価した。
FPDに管電圧80kVpのX線を照射し、得られた画像データの平均シグナル値を発光量とした。
蛍光体層厚に依存して、特性が大きく変わるため、蛍光体層厚が同じもの同士の相対評価とした。
評価基準は、実施例15の発光量を輝度1.0とし、その0.8倍以上1.2倍未満のものを「○」、1.2倍以上のものを「◎」、0.6倍以上0.8倍未満のものを「△」、0.6倍未満のものを「×」と評価した。
表1中の輝度ムラは、輝度撮影時に得られた画像(フラット補正前)において、パネル全体の平均シグナル値に対して、シグナル値の最も大きい箇所と最も小さい箇所のシグナル差が20%以上を「×」、10%以上20%未満を「△」、5%以上10%未満を「○」、5%未満を「◎」と評価した。
管電圧を80Kvpに設定したX線照射装置を用いて、X線を、鉛製のMTFチャートを通して上記蛍光体の裏面(蛍光体層が形成されていない面)から照射し、フラットパネルで検出された画像データをハードディスクに記録した。その後、ハードディスク上の画像データの記録をコンピュータで分析して、当該ハードディスクに記録されたX線画像の変調伝達関数MTF(空間周波数1サイクル/mmにおけるMTF値)を鮮鋭性の指標とした。
結果を表1に合わせて示す。
上記アクリル樹脂を用いて、10μmの熱遮蔽層を形成した。このとき、ATP/APが表2になるように意図的に調整した。ATP/APの調整は、熱遮蔽層接着時の温度・貼り合せ時に印加する力及び印加時間・厚み及び重ねあわせ枚数(シート状のものの場合)・重ね塗り回数(流動性のある場合)などを適宜調節して行った。
結果を合わせて表2に示す。輝度ムラの大きい比較例6および7は鮮鋭性は評価できなかった。
11 ・・・支持体
12 ・・・蛍光体層
121 ・・・蛍光体層
122 ・・・下地層
13 ・・・密着層
14 ・・・熱遮蔽層
15 ・・・光電変換素子
Claims (8)
- 蛍光体層と、熱遮蔽層と、光電変換素子とを、この順で含む放射線画像検出器において、
熱遮蔽層の厚みをT[μm]、熱伝導率をC[W/m・K]としたときに、
C/Tが、0.004以上、5以下
であり、
前記蛍光体層の、放射線入射方向に垂直な面積をA P 、
前記熱遮蔽層と蛍光体層との接触面積をA TP とした時に、
A TP /A P が、1.5以上75以下であり、
前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、5[W/m・K]以下であり、
熱遮蔽層を構成する材料が、透明アルミナ、ITO、エポキシ樹脂、ポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アクリル樹脂、ポリオレフィン、ポリパラキシリレンから選ばれる少なくとも1種であり、蛍光体がCsIであることを特徴とする、放射線画像検出器。 - 前記放射線画像検出器において、
C/Tが、0.004以上、0.7以下
であることを特徴とする、請求項1に記載の放射線画像検出器。 - 前記放射線画像検出器において、
C/Tが、0.004以上、0.14以下
であることを特徴とする、請求項1に記載の放射線画像検出器。 - 前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、0.7[W/m・K]以下であることを特徴とする、請求項3に記載の放射線画像検出器。
- 前記熱遮蔽層の熱伝導率Cが、0.14[W/m・K]以下であることを特徴とする、請求項3に記載の放射線画像検出器。
- 前記熱遮蔽層が、ホットメルト樹脂を主成分とすることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の放射線画像検出器。
- 前記ホットメルト樹脂が、ポリオレフィン樹脂、エチレン―酢酸ビニル共重合体、およびアクリル樹脂のなかから選ばれる少なくとも1種類を含むことを特徴とする、請求項6に記載の放射線画像検出器。
- 前記放射線画像検出器において、
1枚/秒以上の速度で画像が検出されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の放射線画像検出器。
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