JP6500543B2

JP6500543B2 - 偏光子、光配向装置、および光配向方法

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Publication number: JP6500543B2
Application number: JP2015061318A
Authority: JP
Inventors: 和雄笹本; 登山　伸人; 登山　　伸人
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2015-03-24
Filing date: 2015-03-24
Publication date: 2019-04-17
Anticipated expiration: 2035-03-24
Also published as: JP2016180882A

Description

本発明は、直線偏光した偏光光を光配向膜に照射する偏光子、光配向装置、および光配向方法に関するものである。

液晶表示装置は、一般に駆動素子が形成された対向基板とカラーフィルタとを対向配置して周囲を封止し、その間隙に液晶材料を充填した構造を有する。そして、液晶材料は屈折率異方性を有しており、液晶材料に印加された電圧の方向に沿うように整列される状態と、電圧が印加されない状態との違いから、オンオフを切り替えて画素を表示することができる。ここで液晶材料を挟持する基板には、液晶材料を配向させるために配向膜が設けられている。
配向膜としては、例えば、ポリイミドに代表される高分子材料が用いたものが知られており、この高分子材料を布等により摩擦するラビング処理が施されることによって配向規制力を有するものとなる。
しかしながら、このようなラビング処理により配向規制力が付与された配向膜では、布等が異物として残存するといった問題があった。

これに対して直線偏光を照射することにより配向規制力を発現する配向膜、すなわち光配向膜では、上述のような布等によるラビング処理を施すことなく配向規制力を付与できるため、布等が異物として残存する不具合がないことから近年注目されている。
このような光配向膜への配向規制力付与のための直線偏光の照射方法としては、偏光子を介して露光する方法が一般的に用いられる。偏光子としては、平行に配置された複数の細線を有するものが用いられ、細線を構成する材料としては、アルミニウムや酸化チタンが用いられている（例えば、特許文献１）。

そして、平行に配置された複数の細線を形成する方法としては、従来、二光束干渉露光法が用いられてきた（例えば、特許文献２、３）。
この二光束干渉露光法は、位相および光路長を合わせた２本のレーザー光を重ね合わせた際に発生する周期的光強度分布（干渉パターン）を、基板上のレジストに転写する技術である。
例えば、ガラス基板の上にアルミニウム等の金属層を形成し、その上に形成したレジスト層に二光束干渉露光を施し、現像して得られた周期的なレジストパターンをエッチングマスクに用いて金属層をエッチングし、その後、レジストパターンを除去することで、ガラス基板の上に、アルミニウム等の金属からなる複数の平行配置された細線を形成することができる。
その後、偏光子としての所望の形態にガラス基板を切断することで、アルミニウム等の金属からなる細線を有する偏光子を得ることができる。

また、近年では、半導体用フォトマスクの製造技術を用いて、電子線描画により細線を形成することも行われている。

特許第４９６８１６５号公報特開２０１３−１４５８６３号公報特開２００７−１７８７６３号公報

品質向上のために、光配向に用いられる光は、より波長の短い紫外光が用いられるようになり、偏光子に形成される細線も細くなる傾向にある。
これに合わせて、偏光子としては、紫外光を透過する透明基板を用いることになり、例えば、基板として、ガラスウェハ（一般に２００ｍｍ〜３００ｍｍ径）、若しくは、半導体用フォトマスク用ガラス基板（一般に６インチ角）を用いている。
そして、透明基板の上に細線形成後、直方体状の形態に切り出して、１個の偏光子を製造している。

図１１に、従来の偏光子について示す。ここで、図１１（ａ）は、従来の偏光子の概略平面図を示し、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＧ−Ｇ線における概略断面図を示す。
図１１（ｂ）に示すように、従来の偏光子１００は、透明基板１０１の上に複数本の細線１０２が並列に配置された構成を有しており、図１１（ａ）に示すように、矩形状の平面形態を有しており、例えば、Ｌ₃、Ｌ₄の長さは１００ｍｍ〜１５０ｍｍ程度である。
なお、従来の偏光子１００の外形精度は、切り出しの機械精度によるため、細線１０２と同レベルの平行性や直進性を有してはいない。例えば、細線１０２のピッチが０．１μｍ程度であるのに対し、通常、切り出しの機械精度は公差１０μｍ以上である。

一方、生産性向上のために、光配向膜は大面積化される傾向にある。そこで、従来は、光配向装置の偏光子搭載部に、複数枚の偏光子を並列配置して、光配向を行っていた。

図１２〜１４は、従来の偏光子と光配向膜の配置関係について示す図である。
偏光子よりも大きい幅（Ｌ_W）を有する光配向膜２００の全領域に偏光光を照射する方法としては、例えば、図１２に示すように、光配向膜２００の上に、光配向膜２００の幅方向（図中Ｙ方向）に沿って、複数の偏光子１００を一列配置し、光配向膜２００を幅方向に垂直な方向（図中Ｘ方向）に搬送しながら、複数の偏光子１００から一斉に偏光光を照射する方法を、挙げることができる。

しかしながら、光配向膜２００の上に偏光子１００を配置するためには、偏光子１００を保持するための偏光子ホルダー３００が必要であり、この偏光子ホルダー３００が、図１２に示すように、偏光子の４辺を保持する枠状の平面形態を有している場合、各偏光子１００間の境界部４０１では、偏光子ホルダー３００の存在によって偏光光が照射されず、これに起因して、光配向膜２００の搬送方向（図中Ｘ方向）に沿って、ライン状の不良個所が生じてしまうという問題がある。

上記のような、問題を解消する方法として、例えば、図１３に示すように、偏光子１００の４辺ではなく、対向する２辺を保持する偏光子ホルダー３０１を用いることにより、各偏光子１００間の境界部４０２には、偏光子ホルダー３０１が存在しないようにする方法を、挙げることができる。

しかしながら、上述のように、偏光子１００の外形精度は、細線１０２と同レベルの平行性や直進性を有していないため、境界部４０２には隙間が生じ易い。そして、この隙間から直線偏光されていない光が照射されてしまうことにより、やはり、この境界部４０２に関係して、光配向膜２００の搬送方向（図中Ｘ方向）に沿って、ライン状の不良個所が生じてしまうという問題が残る。

それゆえ、例えば、図１４に示すように、図中Ｙ方向に複数の偏光子１００を配置した一列の偏光子列を、図中Ｘ方向に複数列配置し、かつ、各偏光子列の図中Ｙ方向の位置を変えて、偏光子列内の境界部４０２が、隣接する偏光子列との間で、図中Ｘ方向に揃わないようにすることにより、ライン状の不良個所が生じてしまう問題を解消することが考えられる。

しかしながら、この場合は、高価な偏光子を数多く必要とし、生産コストが増大化してしまうという問題がある。その一方で、各偏光子列の端部の偏光子は、光配向膜２００への光配向に寄与しない無駄な部分５００を有することになる。

また、複数の偏光子を用いる場合は、光配向膜に付与する配向規制力のばらつきを抑えるために、複数の偏光子の向き（より詳しくは、細線の向き）を一律に合わせる必要がある。
しかしながら、上記のように、偏光子１００の平面サイズは１００ｍｍ〜１５０ｍｍ角程度（すなわち、細線の長手方向の長さは１００ｍｍ〜１５０ｍｍ程度）であるのに対し、細線２のピッチは０．１μｍレベルであり、各偏光子の向き（より詳しくは、細線の向き）を一律に合わせることには困難性が伴う。さらに、多数の偏光子を用いることになれば、これに伴って上記の向きを合わせる作業に膨大な時間がかかってしまい、生産性を低下させてしまうことになる。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、幅広の光配向膜に、ライン状の不良個所が生じる問題を解消しつつ、生産性良く、向きが揃った光配向を施すことが可能な偏光子、光配向装置、および光配向方法を提供することを目的とする。

本発明の請求項１に係る発明は、光配向装置に搭載され、前記光配向装置において搬送される光配向膜に、前記光配向装置の光源から照射される光を直線偏光した偏光光を照射する偏光子であって、透明基板の上に、複数本の細線が並列に配置された偏光領域を有し、前記光配向装置に搭載された状態において、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記偏光領域の長さが、前記光配向装置において前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記光配向膜の長さよりも、長いことを特徴とする偏光子である。

また、本発明の請求項２に係る発明は、前記透明基板の上に、前記偏光領域を複数有することを特徴とする請求項１に記載の偏光子である。

また、本発明の請求項３に係る発明は、前記透明基板の上の前記偏光領域の外側の領域に、前記光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の偏光子である。

また、本発明の請求項４に係る発明は、光源からの光を偏光子によって直線偏光して光配向膜に照射する光配向装置であって、前記偏光子を搭載する偏光子搭載部と、前記光配向膜を搬送する搬送機構と、を備え、前記偏光子搭載部に、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の偏光子を備え、前記偏光子によって直線偏光された偏光光を、前記光配向膜に照射することを特徴とする光配向装置である。

また、本発明の請求項５に係る発明は、前記搬送機構により搬送される前記光配向膜が、平面視上、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向において、前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、前記偏光子が前記偏光子搭載部に搭載されていることを特徴とする請求項４に記載の光配向装置である。

また、本発明の請求項６に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の偏光子によって直線偏光した偏光光を照射して、光配向膜に配向規制力を付与する光配向方法であって、平面視上、前記光配向膜を搬送する方向に垂直な方向において、前記光配向膜が前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、前記偏光子と前記光配向膜を配置することを特徴とする光配向方法である。

本発明によれば、幅広の光配向膜に、ライン状の不良個所が生じる問題を解消しつつ、生産性良く、向きが揃った光配向を施すことができる。

本発明に係る偏光子の第１の実施形態の一例について示す図偏光子１０ａと光配向膜の配置関係について示す図本発明に係る偏光子の第１の実施形態の他の例について示す図本発明に係る偏光子の第２の実施形態の一例について示す図偏光子２０と光配向膜の配置関係について示す図本発明に係る偏光子の第２の実施形態の他の例について示す図本発明に係る偏光子の第３の実施形態の一例について示す図本発明に係る偏光子の第３の実施形態の他の例について示す図本発明に係る光配向装置の構成例について示す図本発明に係る光配向装置の他の構成例について示す図従来の偏光子について示す図従来の偏光子と光配向膜の配置関係の一例について示す図従来の偏光子と光配向膜の配置関係の他の例について示す図従来の偏光子と光配向膜の配置関係の他の例について示す図

＜偏光子＞
まず、本発明に係る偏光子について説明する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る偏光子の第１の実施形態の一例について示す図であり、（ａ）は、概略平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線における概略断面図である。また、図２は、光配向装置に搭載された状態における偏光子１０ａと光配向膜の配置関係について示す図である。

図１に示すように、偏光子１０ａは、紫外線を透過する透明基板１の上に、複数本の細線２が並列に配置された偏光領域１１を有している。なお、この偏光子１０ａにおいては、透明基板１の主面（図１（ｂ）に示すＺ方向側の面）の全領域が偏光領域１１に相当する。
そして、偏光子１０ａは、長さＬ₁の辺を有する矩形の平面形態を有しており、このＬ₁の長さが、光配向膜の幅（Ｌ_W）よりも長い。
なお、本明細書において、光配向膜の幅とは、光配向膜を搬送する方向に垂直な方向における光配向膜の長さを言う。

上記のＬ₁の長さとしては、透明基板１として、液晶パネル用カラーフィルタの製造に用いられる大型フォトマスク用ガラス基板を用いることで、例えば、０．５ｍ〜２．０ｍの範囲とすることができる。

細線２の形成方法としては、液晶パネル用カラーフィルタの製造に用いられる大型フォトマスクの製造技術を適用することができる。より具体的には、大型フォトマスク用の電子線描画装置を用いて、大型フォトマスクのマスクパターンを形成する方法と同様にして、上記の大型フォトマスク用ガラス基板の上に細線２を形成することができる。

また、細線２の形成方法としては、ナノインプリントのパターン転写技術を適用することもできる。例えば、細線２とは凹凸の向きが反転した転写パターンを有するテンプレート（版、型、モールドとも呼ぶ）を用い、ナノインプリント技術で行われているパターン転写方法と同様にして、細線２を形成することができる。

ここで、一般に、ナノインプリントに用いられるテンプレート、特に半導体用途の転写パターンを有するテンプレートの転写面積は上記の大型フォトマスク用ガラス基板の面積よりも小さい。しかしながら、細線２は偏光領域１１の全域において、一般に、同一幅、同一ピッチ、すなわち同一パターンの設計になっているため、上記の小さい転写面積のテンプレートを、上記の大型フォトマスク用ガラス基板の主面に対して相対的に平行移動させて、転写パターンを多面付けすることで、大型フォトマスク用ガラス基板の全面（主面の全領域）に細線２を形成することができる。

偏光子１０ａは上記のような構成を有するため、より詳しくは、偏光子１０ａの偏光領域１１の長さ（Ｌ₁）は光配向膜７５の幅（Ｌ_W）よりも長いため、例えば、図２に示すように、平面視上、光配向膜７５を搬送する方向に垂直な方向（図中Ｙ方向）において、光配向膜７５の全領域が偏光子１０ａの偏光領域１１内に含まれるように、偏光子１０ａと光配向膜７５を配置することができる。
すなわち、光配向膜７５への光配向に用いる偏光子は１枚で済み、図２に示すように、平面視上、光配向膜７５の上には、図１２に示したような境界部４０１は存在しない。

それゆえ、本発明においては、従来のような、光配向膜の搬送方向（図中Ｘ方向）に沿って、ライン状の不良個所が生じてしまうという問題を解消することができる。

また、光配向に用いる偏光子は１枚で済むため、複数の偏光子の向き（より詳しくは、細線の向き）を一律に合わせるという作業も生じない。それゆえ、幅広の光配向膜に、生産性良く、向きが揃った光配向を施すことができる。

また、Ｌ₁の長さを、Ｌ_Wの長さに近づけることで、図１４に示すような、光配向に寄与しない無駄な部分５００が生じることを、極力抑制することもできる。

ここで、図１に示す偏光子１０ａにおいては、長さＬ₁の辺の方向（図中Ｙ方向）が細線２の長手方向と平行な関係のものを例示したが、本発明においては、光配向膜に施す光配向に応じて、細線２の長手方向は、偏光子の長さＬ₁の辺の方向と異なるものであってもよい。

例えば、図３に示す偏光子１０ｂのように、偏光子１０ｂの長さＬ₁の辺の方向（図中Ｙ方向）は、細線２の長手方向（図中Ｘ方向）と垂直な関係であってもよい。
なお、この偏光子１０ｂにおいても、光配向に際しては、図２に示す偏光子１０ａのように、平面視上、光配向膜７５を搬送する方向に垂直な方向（図中Ｙ方向）において、光配向膜７５が偏光子１０ｂの偏光領域内に含まれるように、偏光子１０ｂと光配向膜７５を配置する。

（第２の実施形態）
図１に示す偏光子１０ａにおいては、透明基板１の主面の全領域に細線２が形成されている形態、すなわち、透明基板１の主面の全領域が偏光領域１１に相当する形態を例示したが、本発明においては、細線２が形成されている領域（偏光領域）は、透明基板１の主面の全領域よりも小さい領域であっても良い。

例えば、図４に示す偏光子２０のように、細線２が形成されている領域（偏光領域２１）は、透明基板１の主面の全領域よりも小さい領域であり、偏光領域２１の外側の領域は、透明基板１が露出している形態であっても良い。
この場合、偏光子２０が光配向装置に搭載された状態において、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の偏光領域２１の長さがＬ₁である。そして、このＬ₁の長さが、光配向膜の幅（Ｌ_W）よりも、長い。

このような形態であれば、細線２が透明基板１の端部に存在しないため、例えば、透明基板１から所定の外形の偏光子２０を切り出す際に、細線２を切断することはなく、細線２を切断したことに起因する不具合（端部からの細線２の連鎖的な破損等）が生じることを防止できる。

なお、図４に示す偏光子２０を光配向装置に搭載する際には、図５に示すように、偏光領域２１の外側の透明基板１が露出している領域を、偏光子ホルダー８０等で覆って遮光することが好ましい。直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを防止するためである。

また、偏光子２０においては、偏光領域２１の外側の領域を保持することで、細線２と偏光子ホルダー８０とが接触することを回避できる。それゆえ、細線２と偏光子ホルダー８０とが接触することに起因する不具合（接触部からの細線２の連鎖的な破損や、異物の発生等）が生じることを防止できる。

また、本実施形態においては、透明基板１の上に、偏光領域を複数有する形態であっても良い。例えば、図６に示す偏光子３０のように、２つの偏光領域３１、３２を有する形態であっても良い。ここで、偏光子３０は、光配向装置に搭載された状態において、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の偏光領域３１、３２の長さが、共にＬ₁になっている。そして、このＬ₁の長さが、光配向膜の幅（Ｌ_W）よりも長い。

本発明のような大面積の偏光子を用いる場合には、例えば、図５に示すように、偏光子の外周（図５に示す例においては外周の４辺）を保持するだけでは、中央部が自重によって大きく撓んでしまう変形を生じ易い。
一方、図６に示す偏光子３０のように、偏光領域を複数有する形態であれば、外周以外の細線２が形成されていない領域も、偏光子ホルダー等で保持することができ、上記のような変形を抑制できる。
例えば、図６に示す偏光子３０においては、偏光領域３１と偏光領域３２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等で保持することができる。

また、偏光子３０においては、その外周のみならず、偏光領域３１と偏光領域３２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等に接触させることができるため、例えば、光配向に際し、偏光子３０に蓄積される熱を、偏光子ホルダー等を介して、より効果的に排除することもできる。

なお、偏光子３０においても、偏光領域３１、３２の外側の領域は、透明基板１が露出しているため、偏光子３０を光配向装置に搭載する際には、偏光領域３１、３２の外側の透明基板１が露出している領域を、偏光子ホルダー等で覆って遮光することが好ましい。直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを防止するためである。

なお、図６に示す偏光子３０においては、同じ形態、同じ平面サイズの２つの偏光領域３１、３２を有する形態を例示したが、本発明においては、これに限らず、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向において、光配向膜の全領域が、複数の偏光領域を合わせた領域内に含まれるように偏光子と光配向膜を配置することができるものであれば良い。
例えば、図６に示す偏光子３０において、偏光領域３１、３２は、光配向膜が搬送される方向（図中Ｘ方向）の長さが異なるものであっても良い。また、３つ以上の偏光領域を有していても良い。

（第３の実施形態）
図４、６に示す偏光子２０、３０においては、偏光領域の外側の領域は、透明基板１が露出している形態を例示したが、本発明においては、偏光領域の外側の領域には、光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていても良い。

例えば、図７に示す偏光子４０のように、細線２が形成されている領域（偏光領域４１）は、透明基板１の主面の全領域よりも小さい領域であり、偏光領域４１の外側の領域には、遮光膜３が形成されている形態であっても良い。
この場合も、上記の偏光子２０と同様に、偏光子４０が光配向装置に搭載された状態において、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向（図中Ｙ方向）の偏光領域４１の長さがＬ₁である。そして、このＬ₁の長さが、光配向膜の幅（Ｌ_W）よりも、長い。

偏光子４０においては、上記の偏光子２０が有する効果に加えて、直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを、より確実に防止することができる。
さらに、遮光膜３に細線２が接触している形態であれば、偏光子４０に照射される光によって細線２に蓄積する熱を、遮光膜３を介して偏光子ホルダーに分散させることや、帯電防止の効果を奏することもできる。

同様に、透明基板１の上に偏光領域を複数有する形態の場合も、その複数の偏光領域の外側の領域に、光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていても良い。
例えば、図８に示す偏光子５０のように、２つの偏光領域５１、５２を有し、この偏光領域５１、５２の外側の領域には、遮光膜３が形成されている形態であっても良い。

この場合も、上記の偏光子４０と同様に、直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを、より確実に防止することができる。
また、遮光膜３に細線２が接触している形態であれば、偏光子５０に照射される光によって細線２に蓄積する熱を、遮光膜３を介して偏光子ホルダーに分散させることや、帯電防止の効果を奏することもできる。

さらに、偏光子５０においては、外周のみならず、偏光領域５１と偏光領域５２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等で保持することができる。それゆえ、偏光子の自重による変形を抑制できる。
また、外周のみならず、偏光領域５１と偏光領域５２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等に接触させることができるため、例えば、光配向に際し、偏光子５０に蓄積される熱を、遮光膜３から偏光子ホルダーに移す等によって効果的に排除することもできる。

遮光膜３を構成する材料には、光配向装置の光源から照射される光を遮光することができるものであれば用いることができるが、細線２を構成する材料を含んでいることが好ましい。
遮光膜３を構成する材料が細線２を構成する材料を含有する場合、細線２を形成する工程で使用する装置や材料を、遮光膜３を形成する工程にも使用することができ、製造コストの削減になるからである。
さらに、細線２を形成する工程と遮光膜３を形成する工程を同一工程にすることで、細線２と遮光膜３の相対位置精度を向上させることもできる。

＜光配向装置＞
次に、本発明に係る光配向装置について説明する。
図９は、本発明に係る光配向装置の構成例について示す図である。
図９に示す光配向装置７０ａは、光源からの光を偏光子によって直線偏光し、この偏光された光（偏光光７４）を、ワーク７６の上に形成された光配向膜７５に照射することで、光配向膜７５に配向規制力を付与するものである。

光配向装置７０ａは、光源として紫外光ランプ７２と、光配向膜７５の上に偏光子を保持するための偏光子搭載部７１を備えている。偏光子搭載部７１には、上記の本発明に係る偏光子が搭載される。

また、光配向装置７０ａには、光配向膜７５を形成したワーク７６を所定の方向に搬送する搬送機構（図示略）が備えられており、ワーク７６を所定の方向に搬送することにより、光配向膜７５の全領域に偏光光７４を照射することができる。例えば、図９に示す例において、ワーク７６は図中右方向（図９に示す矢印方向）に搬送される。

ここで、本発明においては、上記搬送機構により搬送される光配向膜７５が、平面視上、光配向膜７５が搬送される方向に垂直な方向において、上記偏光子の偏光領域内に含まれるように、上記偏光子が偏光子搭載部７１に搭載されていることが好ましい。上述した、本発明に係る偏光子の効果を奏するためである。

なお、図９に示す例においては、ワーク７６を矩形状の平板として示しているが、本発明において、ワーク７６の形態は、偏光光７４を照射することができるものであれば特に限定されず、例えば、ワーク７６はフィルム状の形態であっても良く、また、巻取り可能なように帯状（ウェブ状）の形態であっても良い。

また、紫外光ランプ７２からの光を効率良く偏光子に照射するために、光配向装置７０ａは、紫外光ランプ７２の背面側や側面側に紫外光を反射する反射鏡７３を有していることが好ましい。

また、大面積の光配向膜７５に対して効率良く配向規制力を付与するためには、図９に示すように、紫外光ランプ７２に棒状のランプを用いて、光配向膜７５の搬送方向（図９における矢印方向）に対して垂直な方向に長い照射領域となる偏光光７４が照射されるように、光配向装置７０ａを構成することが好ましい。

また、本発明に係る光配向装置は、複数個の紫外光ランプを備える構成であっても良い。
例えば、図１０に示す光配向装置７０ｂは、２個の紫外光ランプ７２を備えており、２個の紫外光ランプ７２と光配向膜７５の間に、偏光子搭載部７１が備えられている。また、各紫外光ランプ７２には、それぞれ反射鏡７３が備えられている。

このように、紫外光ランプ７２を複数個備えることにより、紫外光ランプ７２を１個備える場合よりも、ワーク７６の上に形成された光配向膜７５に照射する偏光光７４の照射量を増加させることができる。それゆえ、紫外光ランプ７２を１個備える場合よりも、ワーク７６の搬送速度を大きくすることができ、その結果、生産性を向上させることができる。

なお、図９、１０に示す例においては、光源として棒状の紫外光ランプ７２を例示したが、本発明においては、これに限らず、例えば、紫外光を照射するＬＥＤを平面上に配列した面状発光体を用いても良い。面状発光体の照射面積と本発明に係る偏光子の面積とを合わせることで、より効率的に光配向を施すことができる。

＜光配向方法＞
次に、本発明に係る光配向方法について説明する。
本発明に係る光配向方法は、上記の本発明に係る偏光子によって直線偏光した偏光光を照射して、光配向膜に配向規制力を付与する光配向方法であって、平面視上、光配向膜を搬送する方向に垂直な方向において、光配向膜が上記偏光子の偏光領域内に含まれるように、偏光子と光配向膜を配置するものである。
本発明に係る光配向方法は、例えば、図９に示す光配向装置７０ａに、上記の本発明に係る偏光子を搭載することによって、実施することができる。そして、上述した、本発明に係る偏光子の効果を奏することができる。

以上、本発明に係る偏光子、光配向装置、および光配向方法について、それぞれの実施形態を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一の構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる場合であっても本発明の技術的範囲に包含される。

１、１０１透明基板
２、１０２細線
３遮光膜
１０ａ、１０ｂ、２０、３０、５０、１００偏光子
１１、２１、３１、３２、４１、５１、５２偏光領域
７０ａ、７０ｂ光配向装置
７１偏光子搭載部
７２紫外光ランプ
７３反射鏡
７４偏光光
７５、２００光配向膜
７６ワーク
８０、３００、３０１偏光子ホルダー
４０１、４０２、４０３境界部
５００無駄な部分

Claims

光配向装置に搭載され、前記光配向装置において搬送される光配向膜に、前記光配向装置の光源から照射される光を直線偏光した偏光光を照射する偏光子であって、
透明基板の上に、複数本の細線が並列に配置された偏光領域を複数有し、
前記光配向装置に搭載された状態において、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記偏光領域の長さが、
前記光配向装置において前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記光配向膜の長さよりも、長いことを特徴とする偏光子。
前記透明基板の上の前記偏光領域の外側の領域に、
前記光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の偏光子。
光源からの光を偏光子によって直線偏光して光配向膜に照射する光配向装置であって、
前記偏光子を搭載する偏光子搭載部と、
前記光配向膜を搬送する搬送機構と、
を備え、
前記偏光子搭載部に、請求項１または請求項２に記載の偏光子を備え、
前記偏光子によって直線偏光された偏光光を、前記光配向膜に照射することを特徴とする光配向装置。
前記搬送機構により搬送される前記光配向膜が、
平面視上、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向において、
前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、
前記偏光子が前記偏光子搭載部に搭載されていることを特徴とする請求項３に記載の光配向装置。
請求項１または請求項２に記載の偏光子によって直線偏光した偏光光を照射して、光配向膜に配向規制力を付与する光配向方法であって、
平面視上、前記光配向膜を搬送する方向に垂直な方向において、
前記光配向膜が前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、
前記偏光子と前記光配向膜を配置することを特徴とする光配向方法。