JP6572872B2 - 増圧装置 - Google Patents

Description

本発明は、流体を増圧する増圧装置に関する。

流体圧機器に高圧の流体を供給する目的で、供給された流体を増圧し、増圧後の流体を外部に出力する増圧装置が、例えば、特許文献１及び２に開示されている。

特許文献１の図１には、増圧装置に形成された３つの室をピストンロッドが貫通し、各室において、ピストンロッドにピストンが連結されることにより、中央の室が２つの駆動室に区画され、中央の室に対して左右両側の室が内側の圧縮室と外側の作動室とに区画されることが開示されている。この場合、２つの圧縮室及び左端の作動室にエアを供給し、右端の作動室と左側の駆動室とを連通させ、且つ、右側の駆動室のエアを排気すると、各ピストンは右方向に変位し、左側の圧縮室のエアが増圧されて外部に出力される。一方、２つの圧縮室及び右端の作動室にエアを供給し、左端の作動室と右側の駆動室とを連通させ、且つ、左側の駆動室のエアを排気すると、各ピストンは左方向に変位し、右側の圧縮室のエアが増圧されて外部に出力される。

特許文献２の図１及び図２には、増圧装置に形成された２つのシリンダ室をピストンロッドが貫通し、各シリンダ室において、ピストンロッドにピストンが連結されることにより、右側の第１のシリンダ室が内側の第１の流体室及び外側の第２の流体室に区画され、左側の第２のシリンダ室が外側の第３の流体室及び内側の第４の流体室に区画されることが開示されている。この場合、第１のシリンダ室と第２のシリンダ室との間に設けられたカバー部材と第２のシリンダ室内の第２のピストンとの間には、圧縮バネが介挿されている。ここで、第１の流体室及び第３の流体室に圧縮空気を充填すると、圧縮空気の推力が圧縮バネの推力に打ち勝ち、第１のピストン及び第２のピストンが右方向に移動する。一方、第１の流体室及び第３の流体室から圧縮空気が排出されると、第１のピストン及び第２のピストンは、圧縮バネの推力によって左方向に移動する。

特開平８−２１４０４号公報 特開平９−１５８９０１号公報

従来の増圧装置は、増圧対象の流体の圧力値の調整機構が増圧装置と一体となっているため、その設定値によっては、流体が供給されてピストンを押圧する加圧室と、ピストンの移動によって圧縮される駆動室との間、すなわち、ピストンを挟んで両側の室の間で、圧力値が均衡すると、ピストンが作動しなくなるおそれがある。そこで、従来は、特許文献２のように圧縮バネ等によりピストンを強制的に変位させる機構や、圧力差が生じるように加圧室内に流体を逃す溝を設ける対策が施されていた。この結果、増圧装置内の調整機構が複雑な構造になるという問題があった。

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、簡単な構成で圧力値を均衡させることなくピストンを変位させることにより、供給される流体を容易に増圧させることができると共に、装置全体の省エネルギ化を図ることが可能となる増圧装置を提供することを目的とする。

本発明に係る増圧装置は、増圧室と、該増圧室の一端側に設けられた第１駆動室と、該増圧室の他端側に設けられた第２駆動室とを有する。この場合、ピストンロッドは、前記増圧室を貫通して前記第１駆動室及び前記第２駆動室に延在している。

前記増圧室内では、増圧用ピストンが前記ピストンロッドに連結することにより、前記増圧室を前記第１駆動室側の第１増圧室と前記第２駆動室側の第２増圧室とに区画する。また、前記第１駆動室内では、第１駆動用ピストンが前記ピストンロッドの一端に連結することにより、前記第１駆動室を前記第１増圧室側の第１加圧室と前記第１増圧室よりも遠位の第２加圧室とに区画する。さらに、前記第２駆動室内では、第２駆動用ピストンが前記ピストンロッドの他端に連結することにより、前記第２駆動室を前記第２増圧室側の第３加圧室と前記第２増圧室よりも遠位の第４加圧室とに区画する。

そして、前記増圧装置は、前記第１増圧室及び前記第２増圧室のうち少なくとも一方に流体を供給する流体供給機構と、前記第１加圧室から排出された流体を前記第２加圧室に供給するか、又は、前記第２加圧室から排出された流体を前記第１加圧室に供給する第１排出リターン機構と、前記第３加圧室から排出された流体を前記第４加圧室に供給するか、又は、前記第４加圧室から排出された流体を前記第３加圧室に供給する第２排出リターン機構とをさらに有している。

このように、前記増圧装置は、前記ピストンロッドに沿って、前記第１駆動室、前記増圧室及び前記第２駆動室が順に形成された３連式のシリンダ構造を有する。この場合、前記流体供給機構から前記第１増圧室及び前記第２増圧室のうち少なくとも一方に流体を供給する際、外側の前記第１駆動室及び前記第２駆動室では、前記第１排出リターン機構又は前記第２排出リターン機構により、一方の加圧室から排出された流体を他方の加圧室に供給することで、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンを移動させることができる。

すなわち、前記第２加圧室に流体が流入して前記第１駆動用ピストンが第１加圧室側に押圧された場合、又は、前記第３加圧室に流体が流入して前記第２駆動用ピストンが第４加圧室側に押圧された場合、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンを前記第２駆動室側に移動させることができる。この結果、前記第２増圧室内の流体を増圧させることができる。

一方、前記第１加圧室に流体が流入して前記第１駆動用ピストンが第２加圧室側に押圧された場合、又は、前記第４加圧室に流体が流入して前記第２駆動用ピストンが第３加圧室側に押圧された場合、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンを前記第１駆動室側に移動させることができる。この結果、前記第１増圧室内の流体を増圧させることができる。

いずれの場合でも、前記増圧装置において、外部から前記流体供給機構を介して供給される流体は、中央の前記第１増圧室又は前記第２増圧室内での増圧に使用される。また、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンの移動は、前記第１排出リターン機構及び前記第２排出リターン機構による加圧室間での排出流体の移動に起因して行われる。

これにより、本発明では、簡単な構成で各ピストンの両側の圧力値を均衡させることなく該各ピストンを変位させることにより、前記第１増圧室又は前記第２増圧室に供給される流体を容易に増圧させることが可能となる。

また、前記増圧装置では、前記第１排出リターン機構及び前記第２排出リターン機構による加圧室間での排出流体の移動を交互に行わせ、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンを往復移動させることにより、前記第１増圧室及び前記第２増圧室に供給される流体を交互に増圧させ、増圧後の流体を外部に出力することができる。これにより、外部から前記流体供給機構を介して前記第１増圧室又は前記第２増圧室に供給される流体の圧力を、最大で３倍の圧力値まで増圧して外部に出力することが可能となる。

但し、増圧した流体の供給先である流体圧機器の仕様によっては、３倍未満の圧力値、例えば、２倍の圧力値で十分な場合もあり得る。このような仕様に対応して、前記増圧装置の径方向（前記ピストンロッドに直交する方向）のサイズを小さく設定すると、外部から前記流体供給機構を介して前記第１増圧室又は前記第２増圧室に供給される流体の流量が少なくなり、２倍の圧力値の流体を外部に容易に出力することが可能となる。これにより、従来と比較して、供給される流体の消費量が削減され、前記増圧装置の省エネルギ化を実現することができる。また、２倍の圧力値の仕様とすることで、前記増圧装置の増圧動作の能力に余裕ができるので、該増圧装置の長寿命化も図ることができる。

このように、装置の小型化が可能であるため、設備の軽量小型化に伴ってシリンダの重量を制限せざるを得ない自動組立設備に前記増圧装置を好適に採用することが可能である。

ここで、前記増圧装置において、前記流体供給機構から前記第１増圧室に流体が供給される場合、少なくとも、前記第１排出リターン機構が前記第１加圧室から排出された流体を前記第２加圧室に供給するか、又は、前記第２排出リターン機構が前記第４加圧室から排出された流体を前記第３加圧室に供給すればよい。一方、前記流体供給機構から前記第２増圧室に流体が供給される場合、少なくとも、前記第２排出リターン機構が前記第３加圧室から排出された流体を前記第４加圧室に供給するか、又は、前記第１排出リターン機構が前記第２加圧室から排出された流体を前記第１加圧室に供給すればよい。

これにより、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンが往復移動する際、一方向への移動のときに一方の加圧室に供給された流体を、他方向への移動のときには他方の加圧室に供給することができる。すなわち、本発明では、一方の加圧室から排出された流体を回収して他方の加圧室に供給することにより、該流体を再利用している。これにより、従来のように、ピストンが移動する毎に加圧室から流体を排出する場合と比較して、前記増圧装置全体の流体の消費量を削減しつつ、前記第１増圧室及び前記第２増圧室に供給される流体を増圧させることができる。

そして、本発明において、前記第１排出リターン機構及び前記第２排出リターン機構は、下記のように、３つの流体供給方式に分けられる。

先ず、第１の流体供給方式は、前記第１駆動用ピストン及び前記第２駆動用ピストンの両側における受圧面積の差を利用した流体供給方式である。

すなわち、前記増圧装置において、前記流体供給機構から前記第１増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第１駆動用ピストンにおける前記第１加圧室側の受圧面積と前記第２加圧室側の受圧面積との差に基づいて、前記第１加圧室から排出された流体を前記第２加圧室に供給し、且つ、前記第２排出リターン機構は、前記第３加圧室に流体を供給すると共に前記第４加圧室から流体を排出すればよい。一方、前記流体供給機構から前記第２増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第１加圧室に流体を供給すると共に前記第２加圧室から流体を排出し、且つ、前記第２排出リターン機構は、前記第２駆動用ピストンにおける前記第３加圧室側の受圧面積と前記第４加圧室側の受圧面積との差に基づいて、前記第３加圧室から排出された流体を前記第４加圧室に供給すればよい。

すなわち、前記第１加圧室及び前記第２加圧室を比較すると、前記第１加圧室には前記ピストンロッドが存在するので、受圧面積が小さくなる。従って、前記第１加圧室と前記第２加圧室との間での受圧面積の差に起因する圧力差によって、前記第１加圧室から排出された流体が前記第２加圧室にスムーズに移動する。これにより、前記第１駆動用ピストンは、前記第２加圧室に流入した流体によって前記第１加圧室側に押圧されるので、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンを前記第２駆動室側に移動させることができる。この結果、前記第２増圧室に供給される流体を容易に増圧させることができる。

一方、前記第１加圧室及び前記第２加圧室の場合と同様に、前記第３加圧室及び前記第４加圧室を比較すると、前記第３加圧室には前記ピストンロッドが存在するので、受圧面積が小さくなる。従って、前記第３加圧室と前記第４加圧室との間での受圧面積の差に起因する圧力差によって、前記第３加圧室から排出された流体が前記第４加圧室にスムーズに移動する。これにより、前記第２駆動用ピストンは、前記第４加圧室に流入した流体によって前記第３加圧室側に押圧されるので、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンを前記第１駆動室側に移動させることができる。この結果、前記第１増圧室に供給される流体を容易に増圧させることができる。

この場合、前記第１排出リターン機構は、外部から前記流体供給機構に供給される流体を前記第１加圧室に供給すると共に前記第２加圧室の流体を外部に排出し、一方で、前記第１加圧室から排出された流体を前記第２加圧室に供給する電磁弁を含み構成される。また、前記第２排出リターン機構は、外部から前記流体供給機構に供給される流体を前記第３加圧室に供給すると共に前記第４加圧室の流体を外部に排出し、一方で、前記第３加圧室から排出された流体を前記第４加圧室に供給する電磁弁を含み構成される。

これにより、外部から前記電磁弁への制御信号の供給に基づいて、流体の供給及び排出の動作、又は、排出された流体の供給動作に、確実に切り替えることができる。

具体的に、前記第１排出リターン機構は、前記第１加圧室に接続される第１電磁弁、前記第２加圧室に接続される第２電磁弁、及び、前記第１電磁弁と前記第２電磁弁とを接続する第１排出リターン流路を含み構成される。この場合、前記第１電磁弁及び前記第２電磁弁の第１位置において、前記第１加圧室及び前記第２加圧室が前記第１排出リターン流路を介して連通する。一方、前記第１電磁弁及び前記第２電磁弁の第２位置において、前記第１加圧室が前記流体供給機構に連通すると共に、前記第２加圧室が外部に連通する。

また、前記第２排出リターン機構は、前記第３加圧室に接続される第３電磁弁、前記第４加圧室に接続される第４電磁弁、及び、前記第３電磁弁と前記第４電磁弁とを接続する第２排出リターン流路を含み構成される。この場合、前記第３電磁弁及び前記第４電磁弁の第１位置において、前記第３加圧室及び前記第４加圧室が前記第２排出リターン流路を介して連通する。一方、前記第３電磁弁及び前記第４電磁弁の第２位置において、前記第３加圧室が前記流体供給機構に連通すると共に、前記第４加圧室が外部に連通する。

これにより、外部から前記第１〜第４電磁弁への制御信号の供給に基づいて、流体の供給及び排出の動作、又は、排出された流体の供給動作を、効率よく行うことができる。

次に、第２の流体供給方式は、前記第１駆動室及び前記第２駆動室において、一方の加圧室に蓄積された流体を他方の加圧室に供給する場合と、他方の加圧室に蓄積された流体を一方の加圧室に供給する場合とを交互に行うことが可能な流体供給方式である。

すなわち、前記増圧装置において、前記流体供給機構から前記第１増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第１加圧室から排出された流体を前記第２加圧室に供給すると共に、前記第２排出リターン機構は、前記第４加圧室から排出された流体を前記第３加圧室に供給する。一方、前記流体供給機構から前記第２増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第２加圧室から排出された流体を前記第１加圧室に供給すると共に、前記第２排出リターン機構は、前記第３加圧室から排出された流体を前記第４加圧室に供給する。

このように構成することで、一方の加圧室に蓄積された流体を他方の加圧室に向けて供給する場合や、他方の加圧室に蓄積された流体を一方の加圧室に向けて供給する場合に、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンをスムーズに移動させることが可能になると共に、前記増圧装置の長寿命化を図ることができる。

具体的に、前記第１排出リターン機構は、第１位置において前記第１加圧室と前記第２加圧室とを遮断し、一方で、第２位置において前記第１加圧室と前記第２加圧室とを連通する三方弁の第５電磁弁を含み構成される。この場合、前記第５電磁弁は、遮断状態と連通状態とを切り替えることにより、前記第１加圧室から排出された流体の前記第２加圧室への供給、又は、前記第２加圧室から排出された流体の前記第１加圧室への供給を行う。

また、前記第２排出リターン機構は、第１位置において前記第３加圧室と前記第４加圧室とを連通し、一方で、第２位置において前記第３加圧室と前記第４加圧室とを遮断する三方弁の第６電磁弁を含み構成される。この場合、前記第６電磁弁は、遮断状態と連通状態とを切り替えることにより、前記第３加圧室から排出された流体の前記第４加圧室への供給、又は、前記第４加圧室から排出された流体の前記第３加圧室への供給を行う。

これにより、外部から前記第５電磁弁及び前記第６電磁弁への制御信号の供給に基づき、排出された流体の供給動作を確実に切り替えることができるので、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンのスムーズな移動と、前記増圧装置の長寿命化とを容易に実現することが可能となる。

次に、第３の流体供給方式は、前記第１駆動室及び前記第２駆動室において、一方の加圧室に蓄積された流体を他方の加圧室に供給すると共に外部に排出する流体供給方式である。

すなわち、前記増圧装置において、前記流体供給機構から前記第１増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第１加圧室から流体を排出すると共に前記第２加圧室に流体を供給し、且つ、前記第２排出リターン機構は、前記第４加圧室から排出された流体の一部を前記第３加圧室に供給しつつ、他の一部を外部に排出する。一方、前記流体供給機構から前記第２増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第２加圧室から排出された流体の一部を前記第１加圧室に供給しつつ、他の一部を外部に排出し、且つ、前記第２排出リターン機構は、前記第３加圧室から流体を排出すると共に前記第４加圧室に流体を供給する。

このように、一方の加圧室に蓄積された流体が他方の加圧室に向けて供給されると共に外部に排出されるので、他方の加圧室の圧力が増加すると共に、一方の加圧室の圧力を急速に減少させることができる。これにより、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンをスムーズに移動させることが可能になると共に、前記増圧装置の高寿命化を図ることができる。

この場合、前記第１排出リターン機構は、外部から前記流体供給機構に供給される流体を前記第２加圧室に供給すると共に前記第１加圧室の流体を外部に排出し、一方で、前記第２加圧室から排出された流体の一部を前記第１加圧室に供給しつつ、他の一部を外部に排出する第７電磁弁を含み構成される。また、前記第２排出リターン機構は、外部から前記流体供給機構に供給される流体を前記第４加圧室に供給すると共に前記第３加圧室の流体を外部に排出し、一方で、前記第４加圧室から排出された流体の一部を前記第３加圧室に供給しつつ、他の一部を外部に排出する第８電磁弁を含み構成される。

これにより、外部から前記第７電磁弁及び前記第８電磁弁への制御信号の供給に基づいて、流体の供給及び排出の動作、又は、排出された流体の供給動作を、確実に切り替えることができるので、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンのスムーズな移動と、前記増圧装置の長寿命化とを容易に実現することが可能となる。

そして、前記第１排出リターン機構は、４方向５ポートの前記第７電磁弁、及び、第１チェック弁を含み構成される。この場合、前記第７電磁弁は、第１位置において前記第１加圧室が外部に連通すると共に前記第２加圧室が前記流体供給機構に連通し、一方で、第２位置において前記第２加圧室が前記第１チェック弁を介して前記第１加圧室に連通すると共に外部に連通する。

また、前記第２排出リターン機構は、４方向５ポートの前記第８電磁弁、及び、第２チェック弁を含み構成される。この場合、前記第８電磁弁は、第１位置において前記第４加圧室が前記第２チェック弁を介して前記第３加圧室に連通すると共に外部に連通し、一方で、第２位置において前記第３加圧室が外部に連通すると共に前記第４加圧室が前記流体供給機構に連通する。

これにより、外部から前記第７電磁弁及び前記第８電磁弁への制御信号の供給に基づいて、流体の供給及び排出の動作、又は、排出された流体の供給動作を、効率よく行うことができる。また、前記第１チェック弁及び前記第２チェック弁を含む簡単な回路構成であるため、前記増圧装置全体の簡素化を図ることができる。

そして、本発明において、前記増圧装置は、前記第１駆動用ピストン又は前記第２駆動用ピストンの位置を検出する位置検出センサをさらに有する。この場合、前記第１排出リターン機構及び前記第２排出リターン機構は、それぞれ、前記位置検出センサの検出結果に基づいて、一方の加圧室から排出される流体の他方の加圧室への供給を行う。これにより、前記第１増圧室及び前記第２増圧室に供給される流体の増圧を効率よく行うことができる。

また、従来は、ノックピンを装置に内蔵させ、ピストンを該ノックピンに当接させることに起因して、流体の供給及び排出の動作の切り替えを行っていた。しかしながら、前記ピストンが移動して前記ノックピンに当接する毎に発生する音（当打音）が騒音になり、該ピストンの動作時に増圧装置で発生する音（作動音）が大きいという問題があった。これに対して、本発明では、上記のように、前記位置検出センサの検出結果に基づいて、一方の加圧室から排出される流体の他方の加圧室への供給を行うため、前記ノックピンが不要となる。この結果、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンの移動時に発生する騒音が抑制され、前記増圧装置の作動音を低下させることができる。

この場合、前記位置検出センサは、前記第１駆動室又は前記第２駆動室の一端側への前記第１駆動用ピストン又は前記第２駆動用ピストンの到達を検出する第１位置検出センサと、前記第１駆動室又は前記第２駆動室の他端側への前記第１駆動用ピストン又は前記第２駆動用ピストンの到達を検出する第２位置検出センサとであればよい。

これにより、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンを駆動させるための方向制御弁が不要となり、前記増圧装置の内部構造が簡素化される。この結果、前記増圧装置の生産性を向上させることができる。

また、前記位置検出センサは、前記第１駆動用ピストン又は前記第２駆動用ピストンに装着された磁石による磁気を検出することにより、前記第１駆動用ピストン又は前記第２駆動用ピストンの位置を検出する磁気センサであればよい。これにより、前記第１駆動用ピストン及び前記第２駆動用ピストンの位置を容易に且つ精度よく検出することができる。

また、前記増圧装置は、一方の加圧室から排出されて他方の加圧室に供給される流体の圧力を検出する圧力センサをさらに有してもよい。これにより、前記第１排出リターン機構及び前記第２排出リターン機構は、それぞれ、前記圧力センサの検出結果に基づいて、一方の加圧室から排出される流体の他方の加圧室への供給を停止することができる。従って、前記圧力センサを利用した場合でも、前記位置検出センサの場合と同様に、前記第１増圧室及び前記第２増圧室に供給される流体の増圧を効率よく行うことができる。

なお、前記流体供給機構は、前記第１増圧室及び前記第２増圧室からの流体の逆流を阻止するチェック弁を含み構成されていればよい。また、前記増圧装置は、前記第１増圧室又は前記第２増圧室で増圧された流体を外部に出力する流体出力機構をさらに有し、前記流体出力機構は、前記第１増圧室及び前記第２増圧室への流体の逆流を阻止するチェック弁を含み構成されていればよい。いずれの場合でも、前記第１増圧室及び前記第２増圧室において、供給された流体に対する増圧を確実に行うことができる。

また、前記第１駆動室の径方向のサイズ、及び、前記第２駆動室の径方向のサイズが、前記増圧室の径方向のサイズよりも小さければ、前記増圧装置全体の小型化を実現することができる。また、前記第１駆動室及び前記第２駆動室のサイズが小さくなることにより、前記第１〜第４加圧室から排出される流体の流量が少なくなるため、排出時に発生する騒音を抑制することができる。

さらに、前記増圧装置では、前記第１増圧室と前記第１加圧室との間に第１カバー部材が介挿され、前記第２増圧室と前記第３加圧室との間に第２カバー部材が介挿され、前記第１カバー部材から遠位の前記第２加圧室の端部には、第３カバー部材が配設され、前記第２カバー部材から遠位の前記第４加圧室の端部には、第４カバー部材が配設されている。この場合、前記第１駆動用ピストンは、前記第１カバー部材及び前記第３カバー部材と接触することなく、前記第１駆動室内を変位し、前記第２駆動用ピストンは、前記第２カバー部材及び前記第４カバー部材と接触することなく、前記第２駆動室内を変位し、前記増圧用ピストンは、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材と接触することなく、前記増圧室内を変位する。

これにより、前記第１〜第４加圧室、前記第１増圧室及び前記第２増圧室に流体を供給し、又は、流体を排出する際、前記第１駆動用ピストン、前記増圧用ピストン及び前記第２駆動用ピストンをスムーズに移動させることが可能となる。

本発明によれば、簡単な構成で各ピストンの両側の圧力値を均衡させることなく該各ピストンを変位させることにより、第１増圧室又は第２増圧室に供給される流体を容易に増圧させることが可能になる。また、従来と比較して、供給される流体の消費量が削減されるので、増圧装置の省エネルギ化を実現することができる。

本実施形態に係る増圧装置の斜視図である。 図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。 図１のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。 図１の増圧装置内の一部構成を図示した斜視図である。 第１電磁弁ユニット及び第２電磁弁ユニットの構成図である。 第１電磁弁ユニット及び第２電磁弁ユニットの構成図である。 図１の増圧装置の動作原理を示す模式的断面図である。 図１の増圧装置の動作原理を示す模式的断面図である。 図１の増圧装置を模式的に図示した説明図である。 図１の増圧装置を模式的に図示した説明図である。 比較例の増圧装置を模式的に図示した説明図である。 第１変形例の増圧装置を模式的に図示した説明図である。 第１変形例の増圧装置を模式的に図示した説明図である。 第２変形例の増圧装置を模式的に図示した説明図である。 第２変形例の増圧装置を模式的に図示した説明図である。

本発明に係る増圧装置の好適な実施形態について、図面を参照しながら以下詳細に説明する。

［本実施形態の構成］
本実施形態に係る増圧装置１０は、図１〜図５に示すように、増圧用シリンダ１２の一端側（Ａ１方向側）に第１駆動用シリンダ１４が連設されると共に、他端側（Ａ２方向側）に第２駆動用シリンダ１６が連設された３連式のシリンダ構造を有する。従って、増圧装置１０では、Ａ１方向からＡ２方向に向かって、第１駆動用シリンダ１４、増圧用シリンダ１２及び第２駆動用シリンダ１６の順に連設されている。第１駆動用シリンダ１４と増圧用シリンダ１２との間には、ブロック状の第１カバー部材１８が介挿され、一方で、増圧用シリンダ１２と第２駆動用シリンダ１６との間には、ブロック状の第２カバー部材２０が介挿されている。なお、増圧用シリンダ１２は、第１駆動用シリンダ１４及び第２駆動用シリンダ１６よりも上下方向に突出している。

第１駆動用シリンダ１４及び第１カバー部材１８の上面にはブロック状の第１電磁弁ユニット２２（第１排出リターン機構）が配設され、第１電磁弁ユニット２２の上面には第１コネクタ２４が配設されている。一方、第２駆動用シリンダ１６及び第２カバー部材２０の上面にはブロック状の第２電磁弁ユニット２６（第２排出リターン機構）が配設され、第２電磁弁ユニット２６の上面には第２コネクタ２８が配設されている。第１コネクタ２４及び第２コネクタ２８は、増圧装置１０に対する上位の制御装置であるＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）３０と接続されている。

図２〜図４に示すように、増圧用シリンダ１２内には、増圧室３２が形成されている。また、第１駆動用シリンダ１４内には第１駆動室３４が形成されている。さらに、第２駆動用シリンダ１６内には第２駆動室３６が形成されている。この場合、第１駆動用シリンダ１４のＡ１方向の端部に第３カバー部材３８が固定され、Ａ２方向の端部に第１カバー部材１８が配設されることにより、第１駆動室３４が形成される。一方、第２駆動用シリンダ１６のＡ１方向の端部に第２カバー部材２０が配設され、Ａ２方向の端部に第４カバー部材４０が固定されることにより、第２駆動室３６が形成される。なお、第１駆動室３４及び第２駆動室３６の径方向（Ａ方向に直交する方向）のサイズは、増圧室３２の径方向のサイズよりも小さい。

そして、増圧装置１０内には、ピストンロッド４２が第１カバー部材１８、増圧室３２及び第２カバー部材２０をＡ方向に貫通して、第１駆動室３４及び第２駆動室３６にまで延在している。

増圧室３２では、ピストンロッド４２に増圧用ピストン４４が連結されている。これにより、増圧室３２は、Ａ１方向側の第１増圧室３２ａとＡ２方向側の第２増圧室３２ｂとに区画される。なお、増圧用ピストン４４は、第１カバー部材１８及び第２カバー部材２０と接触することなく、増圧室３２内をＡ方向に変位する。

また、第１駆動室３４では、ピストンロッド４２のＡ１方向の一端に第１駆動用ピストン４６が連結されている。これにより、第１駆動室３４は、Ａ２方向側の第１加圧室３４ａとＡ１方向側の第２加圧室３４ｂとに区画される。なお、第１駆動用ピストン４６は、第１カバー部材１８及び第３カバー部材３８と接触することなく、第１駆動室３４内をＡ方向に変位する。

さらに、第２駆動室３６では、ピストンロッド４２のＡ２方向の他端に第２駆動用ピストン４８が連結されている。これにより、第２駆動室３６は、Ａ１方向側の第３加圧室３６ａとＡ２方向側の第４加圧室３６ｂとに区画される。なお、第２駆動用ピストン４８は、第２カバー部材２０及び第４カバー部材４０と接触することなく、第２駆動室３６内をＡ方向に変位する。

増圧用シリンダ１２の上面には、図示しない外部の流体供給源から流体（例えば、エア）が供給される入口ポート５０が形成されている。増圧用シリンダ１２には、入口ポート５０に連通し、供給された流体を第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂのうち、少なくとも一方に供給する流体供給機構５２が設けられている。

流体供給機構５２は、増圧用シリンダ１２における第１コネクタ２４及び第２コネクタ２８側の背面部分に設けられている。流体供給機構５２は、入口ポート５０と第１増圧室３２ａとを連通する断面略Ｊ字状の第１供給流路５２ａと、入口ポート５０と第２増圧室３２ｂとを連通する断面略Ｊ字状の第２供給流路５２ｂとを有する。

第１供給流路５２ａにおける第１増圧室３２ａ側には、入口ポート５０から第１増圧室３２ａへの流体の供給を許容する一方で、第１増圧室３２ａからの流体の逆流を阻止する第１入口チェック弁５２ｃが設けられている。また、第２供給流路５２ｂにおける第２増圧室３２ｂ側には、入口ポート５０から第２増圧室３２ｂへの流体の供給を許容する一方で、第２増圧室３２ｂからの流体の逆流を阻止する第２入口チェック弁５２ｄが設けられている。

増圧用シリンダ１２の前面には、増圧装置１０による後述の増圧動作によって増圧された流体を外部に出力する出力ポート５６が形成されている。増圧用シリンダ１２には、出力ポート５６に連通し、第１増圧室３２ａ又は第２増圧室３２ｂで増圧された流体を、出力ポート５６を介して外部に出力する流体出力機構５８が設けられている。

流体出力機構５８は、増圧用シリンダ１２における増圧室３２の下側部分に設けられている。流体出力機構５８は、出力ポート５６と第１増圧室３２ａとを連通する断面略Ｊ字状の第１出力流路５８ａと、出力ポート５６と第２増圧室３２ｂとを連通する断面略Ｊ字状の第２出力流路５８ｂとを有する。

第１出力流路５８ａにおける第１増圧室３２ａ側には、第１増圧室３２ａから出力ポート５６への増圧後の流体の出力を許容する一方で、第１増圧室３２ａへの流体の逆流を阻止する第１出口チェック弁５８ｃが設けられている。また、第２出力流路５８ｂにおける第２増圧室３２ｂ側には、第２増圧室３２ｂから出力ポート５６への増圧後の流体の出力を許容する一方で、第２増圧室３２ｂへの流体の逆流を阻止する第２出口チェック弁５８ｄが設けられている。

図５〜図７に示すように、第１電磁弁ユニット２２は、第１加圧室３４ａに接続される供給用電磁弁としての第１電磁弁２２ａと、第２加圧室３４ｂに接続される排出用電磁弁としての第２電磁弁２２ｂとを有する。第１電磁弁２２ａは、単動型の２位置３ポートの電磁弁であり、第１加圧室３４ａに接続される接続ポート６０ａと、第１供給流路５２ａに接続される供給ポート６２ａと、排出ポート６４ａと、ソレノイド６６ａとを有する。一方、第２電磁弁２２ｂは、単動型の２位置３ポートの電磁弁であり、第２加圧室３４ｂに接続される接続ポート６０ｂと、第１電磁弁２２ａの排出ポート６４ａに接続される供給ポート６２ｂと、増圧装置１０の背面に形成された排出ポート６８ａに連通する排出ポート６４ｂと、ソレノイド６６ｂとを有する。この場合、第１電磁弁２２ａの排出ポート６４ａと、第２電磁弁２２ｂの供給ポート６２ｂとは、第１排出リターン流路７０を介して常時接続されている。

従って、第１電磁弁ユニット２２は、第１電磁弁２２ａ及び第２電磁弁２２ｂを有することにより、４位置デュアル３ポートの電磁弁ユニットとして機能する。

すなわち、ＰＬＣ３０から第１コネクタ２４を介して各ソレノイド６６ａ、６６ｂに制御信号が供給されていない消磁時（第２位置）には、図６に示すように、供給ポート６２ａと接続ポート６０ａとが接続されると共に、接続ポート６０ｂと排出ポート６４ｂとが接続される。これにより、第１供給流路５２ａから第１加圧室３４ａに流体が供給される一方で、第２加圧室３４ｂの流体が排出ポート６８ａを介して外部に排出される。この結果、第１駆動用ピストン４６は、第１加圧室３４ａに供給された流体の圧力で第２加圧室３４ｂ側に変位する。

一方、ＰＬＣ３０から第１コネクタ２４を介して各ソレノイド６６ａ、６６ｂに制御信号が供給され励磁された場合（第１位置）には、図７に示すように、排出ポート６４ａと接続ポート６０ａとが接続されると共に、供給ポート６２ｂと接続ポート６０ｂとが接続される。これにより、第１加圧室３４ａと第２加圧室３４ｂとは、第１排出リターン流路７０等を介して連通する。この場合、第１加圧室３４ａにはピストンロッド４２が存在するため、第１加圧室３４ａの受圧面積が第２加圧室３４ｂの受圧面積よりも小さい。これにより、受圧面積の差に起因する第１加圧室３４ａと第２加圧室３４ｂとの圧力差で、第１加圧室３４ａから排出された流体は、第１排出リターン流路７０等を介して第２加圧室３４ｂに流入する。この結果、第１駆動用ピストン４６は、第２加圧室３４ｂに供給された流体の圧力で第１加圧室３４ａ側に変位する。

図５〜図７に示すように、第２電磁弁ユニット２６は、前述の第１電磁弁ユニット２２と同様の構成であり、第３加圧室３６ａに接続される供給用電磁弁としての第３電磁弁２６ａと、第４加圧室３６ｂに接続される排出用電磁弁としての第４電磁弁２６ｂとを有する。第３電磁弁２６ａは、単動型の２位置３ポートの電磁弁であり、第３加圧室３６ａに接続される接続ポート７２ａと、第２供給流路５２ｂに接続される供給ポート７４ａと、排出ポート７６ａと、ソレノイド７８ａとを有する。一方、第４電磁弁２６ｂは、単動型の２位置３ポートの電磁弁であり、第４加圧室３６ｂに接続される接続ポート７２ｂと、第３電磁弁２６ａの排出ポート７６ａに接続される供給ポート７４ｂと、増圧装置１０の背面に形成された排出ポート６８ｂに連通する排出ポート７６ｂと、ソレノイド７８ｂとを有する。この場合、第３電磁弁２６ａの排出ポート７６ａと、第４電磁弁２６ｂの供給ポート７４ｂとは、第２排出リターン流路８０を介して常時接続されている。

従って、第２電磁弁ユニット２６も、第３電磁弁２６ａ及び第４電磁弁２６ｂを有することにより、４位置デュアル３ポートの電磁弁ユニットとして機能する。

すなわち、ＰＬＣ３０から第２コネクタ２８を介して各ソレノイド７８ａ、７８ｂに制御信号が供給されていない消磁時（第２位置）には、図６に示すように、供給ポート７４ａと接続ポート７２ａとが接続されると共に、接続ポート７２ｂと排出ポート７６ｂとが接続される。これにより、第２供給流路５２ｂから第３加圧室３６ａに流体が供給される一方で、第４加圧室３６ｂの流体が排出ポート６８ｂを介して外部に排出される。この結果、第２駆動用ピストン４８は、第３加圧室３６ａに供給された流体の圧力で第４加圧室３６ｂ側に変位する。

一方、ＰＬＣ３０から第２コネクタ２８を介して各ソレノイド７８ａ、７８ｂに制御信号が供給され励磁された場合（第１位置）には、図７に示すように、排出ポート７６ａと接続ポート７２ａとが接続されると共に、供給ポート７４ｂと接続ポート７２ｂとが接続される。これにより、第３加圧室３６ａと第４加圧室３６ｂとは、第２排出リターン流路８０等を介して連通する。この場合、第３加圧室３６ａにはピストンロッド４２が存在するため、第３加圧室３６ａの受圧面積が第４加圧室３６ｂの受圧面積よりも小さい。これにより、受圧面積の差に起因する第３加圧室３６ａと第４加圧室３６ｂとの圧力差で、第３加圧室３６ａから排出された流体は、第２排出リターン流路８０等を介して第４加圧室３６ｂに流入する。この結果、第２駆動用ピストン４８は、第４加圧室３６ｂに供給された流体の圧力で第３加圧室３６ａ側に変位する。

第１駆動用シリンダ１４及び第２駆動用シリンダ１６の各側面（出力ポート５６側の前面、第１コネクタ２４及び第２コネクタ２８側の背面）には、それぞれ、Ａ方向に延在する２つの溝８２が上下に形成されている。第１駆動用シリンダ１４の前面に形成された２つの溝８２には、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂがそれぞれ埋設されている。また、第１駆動用ピストン４６の外周面には、環状の永久磁石８６が埋設されている。

第１位置検出センサ８４ａは、第１駆動用ピストン４６が第１駆動室３４内の第１カバー部材１８寄りの箇所に変位したときに、永久磁石８６の磁気を検出し、その検出信号をＰＬＣ３０に出力する磁気センサである。第２位置検出センサ８４ｂは、第１駆動用ピストン４６が第１駆動室３４内の第３カバー部材３８寄りの箇所に変位したときに、永久磁石８６の磁気を検出し、その検出信号をＰＬＣ３０に出力する磁気センサである。すなわち、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂは、永久磁石８６による磁気を検出することにより、第１駆動用ピストン４６の位置を検出する。ＰＬＣ３０は、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂからの検出信号に基づいて、各ソレノイド６６ａ、６６ｂ、７８ａ、７８ｂを励磁するための制御信号を第１コネクタ２４又は第２コネクタ２８に出力する。

［本実施形態の動作］
以上のように構成される増圧装置１０の動作について、図８及び図９を参照しながら説明する。この動作説明では、必要に応じて、図１〜図７も参照しながら説明する。

なお、増圧装置１０では、図２〜図５に示すように、増圧装置１０の前後方向の異なる位置にピストンロッド４２、流体供給機構５２及び流体出力機構５８等が設けられている。但し、図８及び図９では、説明の便宜上、これらの構成要素を同一断面に図示していることに留意する。

ここでは、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８をＡ１方向及びＡ２方向に交互に変位させることにより、第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂに供給された流体（例えば、エア）を交互に増圧して外部に出力する場合について説明する。

先ず、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８をＡ１方向に変位させることにより、第１増圧室３２ａに供給された流体を増圧する場合について、図８を参照しながら説明する。

この場合、例えば、第１駆動用ピストン４６は、第１駆動室３４内で第１カバー部材１８から僅かな隙間を隔てて位置し、増圧用ピストン４４は、増圧室３２内で第２カバー部材２０から僅かな隙間を隔てて位置し、第２駆動用ピストン４８は、第２駆動室３６内で第４カバー部材４０から僅かな隙間を隔てて位置している。

外部の流体供給源から供給された流体は、入口ポート５０から流体供給機構５２に供給される。流体供給機構５２は、第２供給流路５２ｂを介して第２増圧室３２ｂに流体を供給する。なお、第１増圧室３２ａには、前回の動作により既に流体が充填されていることに留意する。

ここで、第１位置検出センサ８４ａは、第１駆動用ピストン４６に装着された永久磁石８６による磁気を検出し、その検出信号をＰＬＣ３０に出力する。ＰＬＣ３０は、第１位置検出センサ８４ａからの検出信号に基づいて、第２コネクタ２８に制御信号を出力する。これにより、第２電磁弁ユニット２６には、第２コネクタ２８を介して制御信号が入力される。

第２電磁弁ユニット２６内では、第３電磁弁２６ａのソレノイド７８ａ及び第４電磁弁２６ｂのソレノイド７８ｂが制御信号の供給によってそれぞれ励磁される。これにより、第３電磁弁２６ａ及び第４電磁弁２６ｂは、図７の第１位置に変化するので、第３加圧室３６ａは、接続ポート７２ａ、排出ポート７６ａ、第２排出リターン流路８０、供給ポート７４ｂ及び接続ポート７２ｂを介して、第４加圧室３６ｂと連通する。前述のように、ピストンロッド４２の存在により、第３加圧室３６ａの受圧面積が第４加圧室３６ｂの受圧面積よりも小さい。そのため、第３加圧室３６ａと第４加圧室３６ｂとの圧力差によって、第３加圧室３６ａ内の流体は、第３加圧室３６ａから排出され、第２排出リターン流路８０等を介して、第４加圧室３６ｂにスムーズに供給される。第４加圧室３６ｂに供給される流体によって、第２駆動用ピストン４８には、第３加圧室３６ａ側（Ａ１方向）への押圧力が作用する。

一方、第１電磁弁ユニット２２では、制御信号の供給がないため、第１電磁弁２２ａのソレノイド６６ａ及び第２電磁弁２２ｂのソレノイド６６ｂは、消磁状態にある。これにより、第１電磁弁２２ａ及び第２電磁弁２２ｂは、図６の第２位置を維持するので、第１加圧室３４ａは、接続ポート６０ａ及び供給ポート６２ａを介して第１供給流路５２ａと接続され、流体供給機構５２から流体の供給を受ける。一方、第２加圧室３４ｂは、接続ポート６０ｂ及び排出ポート６４ｂを介して排出ポート６８ａに接続され、該第２加圧室３４ｂ内の流体が外部に排出される。この結果、第１加圧室３４ａに供給される流体によって、第１駆動用ピストン４６には、第２加圧室３４ｂ側（Ａ１方向）への押圧力が作用する。

このように、図８の例では、第２増圧室３２ｂに流体が供給され、第１加圧室３４ａに流体が供給され、第２加圧室３４ｂ内の流体が排出され、第３加圧室３６ａ内の流体が第２排出リターン流路８０等を介して第４加圧室３６ｂに供給される。これにより、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８は、第１加圧室３４ａ、第２増圧室３２ｂ及び第４加圧室３６ｂに供給される流体によって、Ａ１方向への押圧力をそれぞれ受ける。この結果、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２は、図８に示すように、一体的にＡ１方向に変位する。

これにより、第１増圧室３２ａ内の流体は、増圧用ピストン４４のＡ１方向の変位によって圧縮され、その圧力値が増大する（増圧される）。第１増圧室３２ａでは、供給された流体を最大で３倍の圧力値まで増圧させることが可能である。増圧後の流体は、流体出力機構５８の第１出力流路５８ａ及び出力ポート５６を介して外部に出力される。

第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２のＡ１方向への移動によって、永久磁石８６が第１位置検出センサ８４ａの検出可能範囲から外れた場合、第１位置検出センサ８４ａは、ＰＬＣ３０に対する検出信号の出力を停止する。その後、第１駆動用ピストン４６が第３カバー部材３８寄りの位置（第３カバー部材３８から僅かな隙間を隔てた位置）に到達し、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２のＡ１方向への移動が停止する。

次に、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８をＡ２方向に変位させることにより、第２増圧室３２ｂに供給された流体を増圧する場合について、図９を参照しながら説明する。

先ず、流体供給機構５２は、第１供給流路５２ａを介して第１増圧室３２ａに流体を供給する。なお、図８の前回の動作で第２増圧室３２ｂには、既に流体が充填されている。また、第２位置検出センサ８４ｂは、永久磁石８６による磁気を検出し、その検出信号をＰＬＣ３０に出力する。ＰＬＣ３０は、第２位置検出センサ８４ｂからの検出信号に基づいて、第２コネクタ２８への制御信号の出力を停止する一方で、第１コネクタ２４への制御信号の出力を開始する。これにより、第１電磁弁ユニット２２には、第１コネクタ２４を介して制御信号が入力される。

第１電磁弁ユニット２２内では、第１電磁弁２２ａのソレノイド６６ａ及び第２電磁弁２２ｂのソレノイド６６ｂが制御信号の供給によってそれぞれ励磁される。これにより、第１電磁弁２２ａ及び第２電磁弁２２ｂは、図７の第１位置に変化するので、第１加圧室３４ａは、接続ポート６０ａ、排出ポート６４ａ、第１排出リターン流路７０、供給ポート６２ｂ及び接続ポート６０ｂを介して、第２加圧室３４ｂと連通する。この場合も、ピストンロッド４２の存在により、第１加圧室３４ａの受圧面積が第２加圧室３４ｂの受圧面積よりも小さい。そのため、第１加圧室３４ａと第２加圧室３４ｂとの圧力差によって、第１加圧室３４ａ内の流体は、第１加圧室３４ａから排出され、第１排出リターン流路７０等を介して、第２加圧室３４ｂにスムーズに供給される。第２加圧室３４ｂに供給される流体によって、第１駆動用ピストン４６には、第１加圧室３４ａ側（Ａ２方向）への押圧力が作用する。

一方、第２電磁弁ユニット２６では、ＰＬＣ３０からの制御信号の供給が停止するため、第３電磁弁２６ａのソレノイド７８ａ及び第４電磁弁２６ｂのソレノイド７８ｂは、消磁状態となる。これにより、第３電磁弁２６ａ及び第４電磁弁２６ｂは、図６の第２位置に変化するので、第３加圧室３６ａは、接続ポート７２ａ及び供給ポート７４ａを介して第２供給流路５２ｂと接続され、流体供給機構５２から流体の供給を受ける。一方、第４加圧室３６ｂは、接続ポート７２ｂ及び排出ポート７６ｂを介して排出ポート６８ｂに接続されるので、該第４加圧室３６ｂ内の流体は外部に排出される。この結果、第３加圧室３６ａに供給される流体によって、第２駆動用ピストン４８には、第４加圧室３６ｂ側（Ａ２方向）への押圧力が作用する。

このように、図９の例では、第１増圧室３２ａに流体が供給され、第１加圧室３４ａ内の流体が第１排出リターン流路７０等を介して第２加圧室３４ｂに供給され、第３加圧室３６ａに流体が供給され、第４加圧室３６ｂ内の流体が排出される。これにより、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８は、第２加圧室３４ｂ、第１増圧室３２ａ及び第３加圧室３６ａに供給される流体によって、Ａ２方向への押圧力をそれぞれ受ける。この結果、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２は、図９に示すように、一体的にＡ２方向に変位する。

これにより、第２増圧室３２ｂ内の流体は、増圧用ピストン４４のＡ２方向の変位によって圧縮され、その圧力値が増大する（増圧される）。第２増圧室３２ｂにおいても、供給された流体を最大で３倍の圧力値まで増圧させることが可能である。増圧後の流体は、流体出力機構５８の第２出力流路５８ｂを介して外部に出力される。

そして、本実施形態に係る増圧装置１０では、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２をＡ１方向及びＡ２方向に往復移動させて、図８及び図９に示す増圧動作を交互に行う。これにより、増圧装置１０では、外部の流体供給源から供給される流体の圧力値を、最大で３倍の圧力値にまで増圧させ、増圧後の流体を第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂから交互に出力ポート５６を介して外部に出力することができる。

図１０及び図１１は、本実施形態に係る増圧装置１０から出力された増圧後の流体を外部のタンク９０に溜め込み、該タンク９０から任意の流体圧機器９２に増圧後の流体を供給する場合を図示した模式的な説明図である。

また、図１２は、比較例に係る増圧装置９４の模式的な説明図である。比較例に係る増圧装置９４は、左右のシリンダ９６、９８が連結された２連式のシリンダ構造を有し、シリンダ９６、９８間にカバー部材１００が介挿されている。左側のシリンダ９６内にはシリンダ室１０２が形成され、右側のシリンダ９８内にはシリンダ室１０４が形成されている。この場合、ピストンロッド１０６がカバー部材１００を貫通して、左右のシリンダ室１０２、１０４に臨入している。左側のシリンダ室１０２は、ピストンロッド１０６の一端に連結されたピストン１０８によって、内側の増圧室１０２ａと外側の加圧室１０２ｂとに区画される。一方、右側のシリンダ室１０４は、ピストンロッド１０６の他端に連結されたピストン１１０によって、内側の増圧室１０４ａと外側の加圧室１０４ｂとに区画される。

比較例に係る増圧装置９４では、実線の矢印で示すように、外部の流体供給源から加圧室１０２ｂ及び増圧室１０４ａに流体を供給すると共に、加圧室１０４ｂの流体を排出することにより、ピストン１０８、１１０及びピストンロッド１０６をＡ２方向に一体的に変位させ、増圧室１０２ａ内の流体を増圧する。また、増圧装置９４では、破線の矢印で示すように、流体供給源から増圧室１０２ａ及び加圧室１０４ｂに流体を供給すると共に、加圧室１０２ｂの流体を排出することにより、ピストン１０８、１１０及びピストンロッド１０６をＡ１方向に一体的に変位させ、増圧室１０４ａ内の流体を増圧する。従って、増圧装置９４でも、ピストン１０８、１１０及びピストンロッド１０６のＡ１方向及びＡ２方向への往復動作によって、増圧室１０２ａ、１０４ａ内で流体を交互に増圧し、増圧後の流体をタンク９０に出力することができる。

しかしながら、比較例に係る増圧装置９４では、供給される流体の圧力値を最大で２倍の圧力値にしか増圧することができない。また、各加圧室１０２ｂ、１０４ｂにも流体供給源から流体が供給され、且つ、ピストン１０８、１１０及びピストンロッド１０６が往復移動する毎に、いずれか一方の加圧室１０２ｂ、１０４ｂの流体が排出されるので、流体の消費量が多くなる。さらに、ピストン１０８、１１０を挟んだ両側の室の圧力の均衡を回避するため、図示しないばね部材等の部品を使用する必要があり、増圧装置９４の内部構造が複雑となる。

これに対して、図１０及び図１１に示す本実施形態に係る増圧装置１０では、前述のように、供給される流体の圧力値を最大で３倍の圧力値にまで増圧することができる。また、第１電磁弁ユニット２２及び第２電磁弁ユニット２６を用いて、一方の加圧室から排出された流体を他方の加圧室に供給している。これにより、流体が無駄に排出されることを回避することができ、省エネルギ化を実現できる。さらに、第１駆動用ピストン４６及び第２駆動用ピストン４８の両側の受圧面積の違いによる圧力差を利用して、一方の加圧室から排出された流体を他方の加圧室に供給するため、圧力の均衡による第１駆動用ピストン４６及び第２駆動用ピストン４８の停止を回避することができ、増圧装置１０の内部構造を簡素化することができる。従って、増圧装置１０では、増圧後の流体を効率よくタンク９０に溜め込み、溜め込んだ流体を流体圧機器９２に好適に供給することができる。

［本実施形態の効果］
以上説明したように、本実施形態に係る増圧装置１０によれば、ピストンロッド４２（Ａ方向）に沿って、第１駆動室３４、増圧室３２及び第２駆動室３６が順に形成された３連式のシリンダ構造を有する。この場合、流体供給機構５２から第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂのうち少なくとも一方に流体を供給する際、外側の第１駆動室３４及び第２駆動室３６では、第１電磁弁ユニット２２又は第２電磁弁ユニット２６により、増圧室３２側の内側の第１加圧室３４ａ又は第３加圧室３６ａから排出された流体を外側の第２加圧室３４ｂ又は第４加圧室３６ｂに供給することで、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８をＡ方向に沿って移動させることができる。

すなわち、第２加圧室３４ｂに流体が流入して第１駆動用ピストン４６が第１加圧室３４ａ側に押圧された場合には、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８を第２駆動室３６側（Ａ２方向）に移動させることができる。この結果、第２増圧室３２ｂ内の流体を増圧させることができる。

一方、第４加圧室３６ｂに流体が流入して第２駆動用ピストン４８が第３加圧室３６ａ側に押圧された場合、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８を第１駆動室３４側（Ａ１方向）に移動させることができる。この結果、第１増圧室３２ａ内の流体を増圧させることができる。

いずれの場合でも、増圧装置１０において、外部から流体供給機構５２を介して供給される流体は、中央の第１増圧室３２ａ又は第２増圧室３２ｂ内での増圧に使用され、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８の移動は、第１電磁弁ユニット２２及び第２電磁弁ユニット２６による加圧室間での排出流体の移動に起因して行われる。

これにより、本実施形態では、簡単な構成で第１駆動用ピストン４６及び第２駆動用ピストン４８の両側の圧力値を均衡させることなく、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８を変位させることにより、第１増圧室３２ａ又は第２増圧室３２ｂに供給される流体を容易に増圧させることが可能となる。

また、増圧装置１０では、第１電磁弁ユニット２２及び第２電磁弁ユニット２６による加圧室間での排出流体の移動を交互に行わせ、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８を往復移動させることにより、第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂに供給される流体を交互に増圧させて、増圧後の流体を外部に出力することができる。これにより、外部から流体供給機構５２を介して第１増圧室３２ａ又は第２増圧室３２ｂに供給される流体の圧力を、最大で３倍の圧力値まで増圧して外部に出力することが可能となる。

但し、増圧した流体の供給先である流体圧機器９２の仕様によっては、３倍未満の圧力値、例えば、２倍の圧力値で十分な場合もあり得る。このような仕様に対応して、増圧装置１０の径方向（Ａ方向に直交する方向）のサイズを小さく設定すると、外部から流体供給機構５２を介して第１増圧室３２ａ又は第２増圧室３２ｂに供給される流体の流量が少なくなり、２倍の圧力値の流体を外部に容易に出力することが可能となる。これにより、従来と比較して、供給される流体の消費量が削減され、具体的には、図１２の増圧装置９４と比較して、流体の消費量を５０％程度削減することができ、増圧装置１０の省エネルギ化を実現することができる。また、２倍の圧力値の仕様とすることで、増圧装置１０の増圧動作の能力に余裕ができるので、該増圧装置１０の長寿命化も図ることができる。

このように、装置の小型化が可能であるため、設備の軽量小型化に伴ってシリンダの重量を制限せざるを得ない自動組立設備に増圧装置１０を好適に採用することが可能である。

また、本実施形態では、流体供給機構５２から第１増圧室３２ａに流体が供給される場合、少なくとも、第１電磁弁ユニット２２が第１加圧室３４ａから排出された流体を第２加圧室３４ｂに供給する。一方、流体供給機構５２から第２増圧室３２ｂに流体が供給される場合、少なくとも、第２電磁弁ユニット２６が第３加圧室３６ａから排出された流体を第４加圧室３６ｂに供給する。

これにより、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８が往復移動する際、一方向への移動のときに第１加圧室３４ａ又は第３加圧室３６ａに供給された流体を、他方向への移動のときには第１加圧室３４ａから第２加圧室３４ｂ、又は、第３加圧室３６ａから第４加圧室３６ｂに供給することができる。すなわち、本実施形態では、一方の加圧室から排出された流体を回収して他方の加圧室に供給することにより、該流体を再利用している。これにより、従来のように、ピストンが移動する毎に加圧室から流体を排出する場合と比較して、増圧装置１０全体の流体の消費量を削減しつつ、第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂに供給される流体を増圧させることができる。

そして、本実施形態に係る増圧装置１０は、第１駆動用ピストン４６及び第２駆動用ピストン４８の両側における受圧面積の差を利用した第１の流体供給方式を採用している。

すなわち、流体供給機構５２から第１増圧室３２ａに流体が供給される場合、第１電磁弁ユニット２２は、第１駆動用ピストン４６における第１加圧室３４ａ側の受圧面積と第２加圧室３４ｂ側の受圧面積との差に基づいて、第１加圧室３４ａから排出された流体を第２加圧室３４ｂに供給する。また、第２電磁弁ユニット２６は、第３加圧室３６ａに流体を供給すると共に第４加圧室３６ｂから流体を排出する。

一方、流体供給機構５２から第２増圧室３２ｂに流体が供給される場合、第１電磁弁ユニット２２は、第１加圧室３４ａに流体を供給すると共に第２加圧室３４ｂから流体を排出する。また、第２電磁弁ユニット２６は、第２駆動用ピストン４８における第３加圧室３６ａ側の受圧面積と第４加圧室３６ｂ側の受圧面積との差に基づいて、第３加圧室３６ａから排出された流体を第４加圧室３６ｂに供給する。

すなわち、第１加圧室３４ａ及び第２加圧室３４ｂを比較すると、第１加圧室３４ａにはピストンロッド４２が存在するので、受圧面積が小さくなる。従って、第１加圧室３４ａと第２加圧室３４ｂとの間での受圧面積の差に起因する圧力差によって、第１加圧室３４ａから排出された流体が第２加圧室３４ｂにスムーズに移動する。これにより、第１駆動用ピストン４６は、第２加圧室３４ｂに流入した流体によって第１加圧室３４ａ側に押圧されるので、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８を第２駆動室３６側に移動させることができる。この結果、第２増圧室３２ｂに供給される流体を容易に増圧させることができる。

一方、第１加圧室３４ａ及び第２加圧室３４ｂの場合と同様に、第３加圧室３６ａ及び第４加圧室３６ｂを比較すると、第３加圧室３６ａにはピストンロッド４２が存在するので、受圧面積が小さくなる。従って、第３加圧室３６ａと第４加圧室３６ｂとの間での受圧面積の差に起因する圧力差によって、第３加圧室３６ａから排出された流体が第４加圧室３６ｂにスムーズに移動する。これにより、第２駆動用ピストン４８は、第４加圧室３６ｂに流入した流体によって第３加圧室３６ａ側に押圧されるので、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８を第１駆動室３４側に移動させることができる。この結果、第１増圧室３２ａに供給される流体を容易に増圧させることができる。

また、第１電磁弁ユニット２２は、第１電磁弁２２ａ、第２電磁弁２２ｂ及び第１排出リターン流路７０を含み構成され、第１電磁弁２２ａ及び第２電磁弁２２ｂの第１位置において、第１加圧室３４ａ及び第２加圧室３４ｂが第１排出リターン流路７０等を介して連通する。一方、第１電磁弁２２ａ及び第２電磁弁２２ｂの第２位置において、第１加圧室３４ａが流体供給機構５２に連通すると共に、第２加圧室３４ｂが外部に連通する。

さらに、第２電磁弁ユニット２６は、第３電磁弁２６ａ、第４電磁弁２６ｂ及び第２排出リターン流路８０を含み構成され、第３電磁弁２６ａ及び第４電磁弁２６ｂの第１位置において、第３加圧室３６ａ及び第４加圧室３６ｂが第２排出リターン流路８０等を介して連通する。一方、第３電磁弁２６ａ及び第４電磁弁２６ｂの第２位置において、第３加圧室３６ａが流体供給機構５２に連通すると共に、第４加圧室３６ｂが外部に連通する。

これにより、第１電磁弁ユニット２２及び第２電磁弁ユニット２６は、外部のＰＬＣ３０から第１〜第４電磁弁２２ａ、２２ｂ、２６ａ、２６ｂへの制御信号の供給に基づいて、流体の供給及び排出の動作と、排出された流体の供給動作（排出リターン）とを、確実に且つ効率よく切り替えることができる。

また、増圧装置１０において、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂが第１駆動用ピストン４６の位置を検出し、第１電磁弁ユニット２２及び第２電磁弁ユニット２６は、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂの検出結果に基づくＰＬＣ３０からの制御信号に従って、流体の供給及び外部への排出の動作、又は、一方の加圧室から排出された流体の他方の加圧室への供給の動作を切り替えて実行する。これにより、第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂに供給される流体の増圧を効率よく行うことができる。

また、従来は、ノックピンを増圧装置に内蔵させ、ピストンを該ノックピンに当接させることに起因して、流体の供給及び排出の動作の切り替えを行っていた。しかしながら、ピストンが移動してノックピンに当接する毎に発生する音（当打音）が騒音になり、該ピストンの動作時に増圧装置で発生する音（作動音）が大きいという問題があった。

これに対して、本実施形態に係る増圧装置１０では、上記のように、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂの検出結果に基づいて、一方の加圧室から排出される流体の他方の加圧室への供給を行うため、ノックピンが不要となる。この結果、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８の移動時に発生する騒音が抑制され、増圧装置１０の作動音を低下させることができる。

この場合、第１位置検出センサ８４ａは、第１駆動室３４のＡ２方向側への第１駆動用ピストン４６の到達を検出し、一方で、第２位置検出センサ８４ｂは、第１駆動室３４のＡ１方向側への第１駆動用ピストン４６の到達を検出するので、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８を駆動させるための方向制御弁が不要となり、増圧装置１０の内部構造が簡素化される。この結果、増圧装置１０の生産性を向上させることができる。

また、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂは、第１駆動用ピストン４６に装着された永久磁石８６による磁気を検出することにより、第１駆動用ピストン４６の位置を検出する磁気センサであるため、第１駆動用ピストン４６の位置を容易に且つ精度よく検出することができる。

また、流体供給機構５２は、第１増圧室３２ａからの流体の逆流を阻止する第１入口チェック弁５２ｃと、第２増圧室３２ｂからの流体の逆流を阻止する第２入口チェック弁５２ｄとを含み構成されている。一方、流体出力機構５８は、第１増圧室３２ａへの流体の逆流を阻止する第１出口チェック弁５８ｃと、第２増圧室３２ｂへの流体の逆流を阻止する第２出口チェック弁５８ｄとを含み構成されている。これにより、第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂにおいて、供給された流体に対する増圧を確実に行うことができる。

さらに、本実施形態では、第１駆動室３４の径方向のサイズ、及び、第２駆動室３６の径方向のサイズが、増圧室３２の径方向のサイズよりも小さいため、増圧装置１０全体の小型化を実現することができる。また、第１駆動室３４及び第２駆動室３６のサイズが小さくなることにより、第１〜第４加圧室３４ａ、３４ｂ、３６ａ、３６ｂから排出される流体の流量（消費量）を少なくすることができる。これにより、排出ポート６８ａ、６８ｂから流体を排出する際に発生する騒音（図示しないサイレンサを通過する際に発生する騒音）を抑制することができる。

さらに、増圧装置１０には第１〜第４カバー部材１８、２０、３８、４０が配設されている。この場合、第１駆動用ピストン４６は、第１カバー部材１８及び第３カバー部材３８と接触することなく、第１駆動室３４内を変位する。また、第２駆動用ピストン４８は、第２カバー部材２０及び第４カバー部材４０と接触することなく、第２駆動室３６内を変位する。さらに、増圧用ピストン４４は、第１カバー部材１８及び第２カバー部材２０と接触することなく、増圧室３２内を変位する。

これにより、第１〜第４加圧室３４ａ、３４ｂ、３６ａ、３６ｂ、第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂに流体を供給し、又は、流体を排出する際、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２をスムーズに移動させることが可能となる。

なお、上記の説明では、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂが第１駆動用ピストン４６の位置を検出する場合について説明したが、第２駆動用シリンダ１６の溝８２に第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂを埋設し、第２駆動用ピストン４８に永久磁石８６を装着して、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂにより第２駆動用ピストン４８の位置を検出する場合でも、同様の効果が得られることは勿論である。

［変形例の説明］
次に、本実施形態に係る増圧装置１０の変形例（第１変形例の増圧装置１０Ａ及び第２変形例の増圧装置１０Ｂ）について、図１３〜図１６を参照しながら説明する。なお、増圧装置１０（図１〜図１１参照）と同じ構成要素については、同じ参照符号を付けて、その詳細な説明を省略する。

先ず、第１変形例の増圧装置１０Ａについて、図１３及び図１４を参照しながら説明する。第１変形例の増圧装置１０Ａは、第２の流体供給方式として、第１電磁弁ユニット２２及び第２電磁弁ユニット２６が共に排出リターンの動作を行うことにより、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８をＡ方向に移動させる点で、増圧装置１０とは異なる。なお、第１変形例では、増圧装置１０とは異なり、受圧面積の差に基づく流体の供給動作は行われないことに留意する。

第２の流体供給方式を実現するため、第１変形例の増圧装置１０Ａは、下記の構成を有する。すなわち、第１電磁弁ユニット２２において、第１加圧室３４ａと第２加圧室３４ｂとを連通する第１排出リターン流路７０の途中に、単動型の２位置３ポートの三方弁である第５電磁弁１２０と第１圧力スイッチ１２２（圧力センサ）とが配設されている。また、第２電磁弁ユニット２６において、第３加圧室３６ａと第４加圧室３６ｂとを連通する第２排出リターン流路８０の途中に、単動型の２位置３ポートの三方弁である第６電磁弁１２４と第２圧力スイッチ１２６（圧力センサ）とが配設されている。

第１電磁弁ユニット２２において、第５電磁弁１２０は、第１加圧室３４ａに接続される接続ポート１２８と、第１圧力スイッチ１２２を介して第２加圧室３４ｂに接続される接続ポート１３０と、ソレノイド１３２とを有する。また、第１圧力スイッチ１２２は、第５電磁弁１２０を介して第１加圧室３４ａと第２加圧室３４ｂとが連通している場合に、第１排出リターン流路７０を流れる流体の圧力値が所定の閾値まで低下したことを検出したときに、その検出結果を示す圧力信号を、第１コネクタ２４を介してＰＬＣ３０に出力する。ＰＬＣ３０は、圧力信号の入力に基づき、第１コネクタ２４を介してソレノイド１３２を制御する。

一方、第２電磁弁ユニット２６において、第６電磁弁１２４は、第３加圧室３６ａに接続される接続ポート１３４と、第２圧力スイッチ１２６を介して第４加圧室３６ｂに接続される接続ポート１３６と、ソレノイド１３８とを有する。また、第２圧力スイッチ１２６は、第６電磁弁１２４を介して第３加圧室３６ａと第４加圧室３６ｂとが連通している場合に、第２排出リターン流路８０を流れる流体の圧力値が所定の閾値まで低下したことを検出したときに、その検出結果を示す圧力信号を、第２コネクタ２８を介してＰＬＣ３０に出力する。ＰＬＣ３０は、圧力信号の入力に基づき、第２コネクタ２８を介してソレノイド１３８を制御する。

そして、第１変形例では、図１３に示すように、第２増圧室３２ｂに流体が供給（蓄積）されている状態で、流体供給機構５２から第１増圧室３２ａに流体を供給する場合、先ず、ＰＬＣ３０から第２コネクタ２８に制御信号を供給する。これにより、ソレノイド１３８が励磁され（第１位置）、２つの接続ポート１３４、１３６が接続されるので、第３加圧室３６ａと第４加圧室３６ｂとが連通する。この場合、ＰＬＣ３０から第１コネクタ２４への制御信号の供給が行われないので、ソレノイド１３２は消磁状態であり（第２位置）、２つの接続ポート１２８、１３０が接続され、第１加圧室３４ａと第２加圧室３４ｂとが連通する。

この結果、第１加圧室３４ａの流体は、第１排出リターン流路７０に排出され、２つの接続ポート１２８、１３０及び第１圧力スイッチ１２２を介して第２加圧室３４ｂに供給される。第１駆動用ピストン４６は、第２加圧室３４ｂに供給された流体の圧力で第１加圧室３４ａ側に押圧される。また、第４加圧室３６ｂの流体は、第２排出リターン流路８０に排出され、第２圧力スイッチ１２６及び２つの接続ポート１３４、１３６を介して第３加圧室３６ａに供給される。第２駆動用ピストン４８は、第３加圧室３６ａに供給された流体の圧力で第４加圧室３６ｂ側に押圧される。

従って、図１３の例では、第１増圧室３２ａ、第２加圧室３４ｂ及び第３加圧室３６ａへの流体の供給によって、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２は、一体的にＡ２方向に変位する。これにより、第２増圧室３２ｂ内の流体は増圧されてタンク９０に排出される。

第１排出リターン流路７０及び第２排出リターン流路８０を流れる各流体の圧力は、時間経過と共に低下する。そして、第１排出リターン流路７０を流れる流体の圧力が所定の閾値にまで低下したことを第１圧力スイッチ１２２が検出した場合、該第１圧力スイッチ１２２は、その検出結果を圧力信号として、第１コネクタ２４を介してＰＬＣ３０に出力する。また、第２排出リターン流路８０を流れる流体の圧力が所定の閾値にまで低下したことを第２圧力スイッチ１２６が検出した場合、該第２圧力スイッチ１２６は、その検出結果を圧力信号として、第２コネクタ２８を介してＰＬＣ３０に出力する。

第１圧力スイッチ１２２及び第２圧力スイッチ１２６から各圧力信号が入力された場合、ＰＬＣ３０は、第１排出リターン流路７０及び第２排出リターン流路８０を介した流体の供給によって、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２が、第１駆動室３４、増圧室３２及び第２駆動室３６のＡ２方向の端部近傍にまでそれぞれ変位したと判断する。そして、ＰＬＣ３０は、第２コネクタ２８に対する制御信号の供給を停止すると共に、ＰＬＣ３０から第１コネクタ２４への制御信号の供給を開始する。これにより、ソレノイド１３２が励磁状態となり（第１位置）、２つの接続ポート１２８、１３０が遮断され、第１加圧室３４ａから第２加圧室３４ｂへの流体の供給が停止する。一方、ソレノイド１３８は消磁状態となり（第２位置）、２つの接続ポート１３４、１３６が遮断され、第４加圧室３６ｂから第３加圧室３６ａへの流体の供給が停止する。

次に、図１４に示すように、図１３の動作で第１増圧室３２ａに流体が既に供給された状態において、流体供給機構５２から第２増圧室３２ｂに流体を供給する場合も、先ず、ＰＬＣ３０は、第１コネクタ２４を介したソレノイド１３２への制御信号の供給を停止する共に、第２コネクタ２８を介したソレノイド１３８への制御信号の供給を開始する。これにより、ソレノイド１３２は消磁状態となり（第２位置）、２つの接続ポート１２８、１３０が接続され、第１加圧室３４ａと第２加圧室３４ｂとが連通する。また、ソレノイド１３８は励磁状態となり（第１位置）、２つの接続ポート１３４、１３６が接続され、第３加圧室３６ａと第４加圧室３６ｂとが連通する。

この結果、図１３の例とは異なり、第２加圧室３４ｂの流体は、第１排出リターン流路７０に排出され、第１圧力スイッチ１２２及び２つの接続ポート１２８、１３０を介して第１加圧室３４ａに供給される。第１駆動用ピストン４６は、第１加圧室３４ａに供給された流体の圧力で第２加圧室３４ｂ側に押圧される。また、第３加圧室３６ａの流体は、第２排出リターン流路８０に排出され、２つの接続ポート１３４、１３６及び第２圧力スイッチ１２６を介して第４加圧室３６ｂに供給される。第２駆動用ピストン４８は、第４加圧室３６ｂに供給された流体の圧力で第３加圧室３６ａ側に押圧される。

従って、図１４の例では、第２増圧室３２ｂ、第１加圧室３４ａ及び第４加圧室３６ｂへの流体の供給によって、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２は、一体的にＡ１方向に変位する。これにより、第１増圧室３２ａ内の流体は増圧されてタンク９０に排出される。

この場合も、第１圧力スイッチ１２２は、第１排出リターン流路７０を流れる流体の圧力が閾値にまで低下したときに、第１コネクタ２４を介してＰＬＣ３０に圧力信号を出力する。また、第２圧力スイッチ１２６も、第２排出リターン流路８０を流れる流体の圧力が閾値にまで低下したときに、第２コネクタ２８を介してＰＬＣ３０に圧力信号を出力する。第１圧力スイッチ１２２及び第２圧力スイッチ１２６から各圧力信号が入力された場合、ＰＬＣ３０は、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２が、第１駆動室３４、増圧室３２及び第２駆動室３６のＡ１方向の端部近傍にまでそれぞれ変位したと判断し、第２コネクタ２８に対する制御信号の供給を停止すると共に、ＰＬＣ３０から第１コネクタ２４への制御信号の供給を開始する。これにより、ソレノイド１３２が励磁状態となり（第１位置）、２つの接続ポート１２８、１３０が遮断され、第２加圧室３４ｂから第１加圧室３４ａへの流体の供給が停止する。一方、ソレノイド１３８は消磁状態となり（第２位置）、２つの接続ポート１３４、１３６は遮断され、第３加圧室３６ａから第４加圧室３６ｂへの流体の供給が停止する。

そして、第１変形例の増圧装置１０Ａでは、第１圧力スイッチ１２２及び第２圧力スイッチ１２６の検出結果（圧力信号）に基づいて、ＰＬＣ３０からソレノイド１３２、１３８への制御信号の供給を切り替えることにより、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２をＡ１方向及びＡ２方向に往復移動させて、図１３及び図１４に示す増圧動作を交互に行うことができる。これにより、増圧装置１０Ａにおいても、増圧装置１０と同様に、外部の流体供給源から供給される流体の圧力値を、最大で３倍の圧力値にまで増圧させ、増圧後の流体を第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂから交互に出力ポート５６を介してタンク９０に出力することができる。

このように、第１変形例の増圧装置１０Ａでは、一方の加圧室から排出されて他方の加圧室に供給される流体の圧力を検出する第１圧力スイッチ１２２及び第２圧力スイッチ１２６をさらに有するので、第１電磁弁ユニット２２及び第２電磁弁ユニット２６は、それぞれ、第１圧力スイッチ１２２及び第２圧力スイッチ１２６の検出結果に基づいて、一方の加圧室から排出される流体の他方の加圧室への供給開始や供給停止をスムーズに行うことができる。従って、増圧装置１０Ａでは、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂを用いた場合と同様に、第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂに供給される流体の増圧を効率よく行うことができる。なお、増圧装置１０Ａに第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂを併設し、ＰＬＣ３０は、第１圧力スイッチ１２２及び第２圧力スイッチ１２６の検出結果に加え、第１位置検出センサ８４ａ及び第２位置検出センサ８４ｂの検出結果も加味して、第１電磁弁ユニット２２及び第２電磁弁ユニット２６を制御してもよいことは勿論である。

次に、第２変形例の増圧装置１０Ｂについて、図１５及び図１６を参照しながら説明する。第２変形例の増圧装置１０Ｂは、第３の流体供給方式として、第１電磁弁ユニット２２及び第２電磁弁ユニット２６が排出リターンの動作を行う際、一方の加圧室に蓄積された流体の一部を他方の加圧室に供給すると共に、他の一部を外部に排出することにより、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８をＡ方向に移動させる点で、前述の増圧装置１０、１０Ａとは異なる。なお、第２変形例でも、増圧装置１０とは異なり、受圧面積の差に基づく流体の供給動作は行われないことに留意する。

第３の流体供給方式を実現するため、第２変形例の増圧装置１０Ｂは、下記の構成を有する。すなわち、第１電磁弁ユニット２２は、４方向５ポートの第７電磁弁１４０、第１チェック弁１４２及び第１絞り弁１４４を含み構成される。また、第２電磁弁ユニット２６は、４方向５ポートの第８電磁弁１４６、第２チェック弁１４８及び第２絞り弁１５０を含み構成される。

第１電磁弁ユニット２２において、第７電磁弁１４０は、第１加圧室３４ａに接続される第１接続ポート１５２と、第２加圧室３４ｂに接続される第２接続ポート１５４と、第１チェック弁１４２を介して第２加圧室３４ｂに接続される第３接続ポート１５６と、第１絞り弁１４４を介して排出ポート６８ａに接続される第４接続ポート１５８と、流体供給機構５２に接続される第５接続ポート１６０と、ソレノイド１６２とを有する。第１チェック弁１４２は、第１排出リターン流路７０の途中に設けられ、第２加圧室３４ｂから第１加圧室３４ａへの流体の流れを許容する一方で、第１加圧室３４ａから第２加圧室３４ｂへの流体の流れを阻止する。第１絞り弁１４４は、排出ポート６８ａを介して外部に排出される流体の量を調整可能な可変絞り弁である。

一方、第２電磁弁ユニット２６において、第８電磁弁１４６は、第７電磁弁１４０と同様に、第３加圧室３６ａに接続される第１接続ポート１６４と、第４加圧室３６ｂに接続される第２接続ポート１６６と、第２チェック弁１４８を介して第４加圧室３６ｂに接続される第３接続ポート１６８と、第２絞り弁１５０を介して排出ポート６８ｂに接続される第４接続ポート１７０と、流体供給機構５２に接続される第５接続ポート１７２と、ソレノイド１７４とを有する。第２チェック弁１４８は、第２排出リターン流路８０の途中に設けられ、第４加圧室３６ｂから第３加圧室３６ａへの流体の流れを許容する一方で、第３加圧室３６ａから第４加圧室３６ｂへの流体の流れを阻止する。第２絞り弁１５０は、排出ポート６８ｂを介して外部に排出される流体の量を調整可能な可変絞り弁である。

そして、第２変形例では、図１５に示すように、第２増圧室３２ｂに流体が供給（蓄積）されている状態で、流体供給機構５２から第１増圧室３２ａに流体を供給する場合、先ず、ＰＬＣ３０から第１コネクタ２４及び第２コネクタ２８に制御信号を供給する。これにより、ソレノイド１６２、１７４がそれぞれ励磁される（第１位置）。これにより、第７電磁弁１４０では、第１接続ポート１５２と第４接続ポート１５８とが接続されると共に、第２接続ポート１５４と第５接続ポート１６０とが接続される。一方、第８電磁弁１４６では、第１接続ポート１６４と第３接続ポート１６８とが接続されると共に、第２接続ポート１６６と第４接続ポート１７０とが接続される。

この結果、第１電磁弁ユニット２２では、流体供給機構５２から第５接続ポート１６０及び第２接続ポート１５４を介して、第２加圧室３４ｂに流体が供給されると共に、第１加圧室３４ａから第１接続ポート１５２、第４接続ポート１５８、第１絞り弁１４４及び排出ポート６８ａを介して、外部に流体が排出される。従って、第１駆動用ピストン４６は、第２加圧室３４ｂに供給された流体の圧力で第１加圧室３４ａ側に押圧される。

また、第２電磁弁ユニット２６では、第４加圧室３６ｂから排出された流体のうち、一部の流体については、第２排出リターン流路８０の第２チェック弁１４８、第３接続ポート１６８及び第１接続ポート１６４を介して、第３加圧室３６ａに供給され、他の一部の流体については、第２接続ポート１６６、第４接続ポート１７０、第２絞り弁１５０及び排出ポート６８ｂを介して、外部に排出される。これにより、第２駆動用ピストン４８は、第３加圧室３６ａに供給された流体の圧力で第４加圧室３６ｂ側に押圧される。

従って、図１５の例では、第１増圧室３２ａ、第２加圧室３４ｂ及び第３加圧室３６ａへの流体の供給によって、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２は、一体的にＡ２方向に変位する。これにより、第２増圧室３２ｂ内の流体は増圧されてタンク９０に排出される。

なお、第３加圧室３６ａ内の流体の圧力と、第４加圧室３６ｂ内の流体の圧力とが略等しくなると、第２チェック弁１４８の作用により、第４加圧室３６ｂから第３加圧室３６ａへの流体の供給が停止される。この結果、第４加圧室３６ｂ内の流体は、第２接続ポート１６６、第４接続ポート１７０、第２絞り弁１５０及び排出ポート６８ｂを介して、外部に排出される。

このようにして、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２がＡ２方向側に変位し、第１増圧室３２ａに流体が供給（蓄積）された場合、次に、ＰＬＣ３０は、第１コネクタ２４及び第２コネクタ２８への制御信号の供給を停止する。これにより、ソレノイド１６２、１７４はそれぞれ消磁状態に切り替わる（図１６に示す第２位置）。これにより、第７電磁弁１４０では、第１接続ポート１５２と第３接続ポート１５６とが接続されると共に、第２接続ポート１５４と第４接続ポート１５８とが接続される。一方、第８電磁弁１４６では、第１接続ポート１６４と第４接続ポート１７０とが接続されると共に、第２接続ポート１６６と第５接続ポート１７２とが接続される。

この結果、第１電磁弁ユニット２２では、第２加圧室３４ｂから排出された流体のうち、一部の流体については、第１排出リターン流路７０の第１チェック弁１４２、第３接続ポート１５６及び第１接続ポート１５２を介して、第１加圧室３４ａに供給され、他の一部の流体については、第２接続ポート１５４、第４接続ポート１５８、第１絞り弁１４４及び排出ポート６８ａを介して、外部に排出される。これにより、第１駆動用ピストン４６は、第１加圧室３４ａに供給された流体の圧力で第２加圧室３４ｂ側に押圧される。

また、第２電磁弁ユニット２６では、流体供給機構５２から第５接続ポート１７２及び第２接続ポート１６６を介して、第４加圧室３６ｂに流体が供給されると共に、第３加圧室３６ａから第１接続ポート１６４、第４接続ポート１７０、第２絞り弁１５０及び排出ポート６８ｂを介して、外部に流体が排出される。従って、第２駆動用ピストン４８は、第４加圧室３６ｂに供給された流体の圧力で第３加圧室３６ａ側に押圧される。

従って、図１６の例では、第２増圧室３２ｂ、第１加圧室３４ａ及び第４加圧室３６ｂへの流体の供給によって、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２は、一体的にＡ１方向に変位する。これにより、第１増圧室３２ａ内の流体は増圧されてタンク９０に排出される。

なお、第１加圧室３４ａ内の流体の圧力と、第２加圧室３４ｂ内の流体の圧力とが略等しくなると、第１チェック弁１４２の作用により、第２加圧室３４ｂから第１加圧室３４ａへの流体の供給が停止される。この結果、第２加圧室３４ｂ内の流体は、第２接続ポート１５４、第４接続ポート１５８、第１絞り弁１４４及び排出ポート６８ａを介して、外部に排出される。

そして、第２変形例の増圧装置１０Ｂでは、ＰＬＣ３０からソレノイド１６２、１７４に対する制御信号の供給の開始又は停止を交互に行うことにより、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４、第２駆動用ピストン４８及びピストンロッド４２をＡ１方向及びＡ２方向に往復移動させて、図１５及び図１６に示す増圧動作を交互に行うことができる。これにより、増圧装置１０Ｂにおいても、増圧装置１０、１０Ａと同様に、外部の流体供給源から供給される流体の圧力値を、最大で３倍の圧力値にまで増圧させ、増圧後の流体を第１増圧室３２ａ及び第２増圧室３２ｂから交互に出力ポート５６を介してタンク９０に出力することができる。

このように、第２変形例の増圧装置１０Ｂでは、一方の加圧室に蓄積された流体が他方の加圧室に向けて供給されると共に外部に排出されるので、他方の加圧室の圧力が増加すると共に、一方の加圧室の圧力を急速に減少させることができる。これにより、前述した増圧装置１０の効果に加え、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８をスムーズに移動させることが可能になると共に、増圧装置１０Ｂの高寿命化を図ることができる。

ＰＬＣ３０から第７電磁弁１４０及び第８電磁弁１４６への制御信号の供給に基づいて、流体の供給及び排出の動作、又は、排出された流体の供給動作を、確実に且つ効率よく切り替えることができるので、第１駆動用ピストン４６、増圧用ピストン４４及び第２駆動用ピストン４８のスムーズな移動と、増圧装置１０Ｂの長寿命化とを容易に実現することが可能となる。しかも、第１チェック弁１４２第２チェック弁１４８を含む簡単な回路構成であるため、増圧装置１０Ｂ全体の簡素化を図ることができる。

なお、本発明は、上述の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることは勿論である。

１０、１０Ａ、１０Ｂ…増圧装置 １２…増圧用シリンダ
１４…第１駆動用シリンダ １６…第２駆動用シリンダ
１８…第１カバー部材 ２０…第２カバー部材
２２…第１電磁弁ユニット ２２ａ…第１電磁弁
２２ｂ…第２電磁弁 ２４…第１コネクタ
２６…第２電磁弁ユニット ２６ａ…第３電磁弁
２６ｂ…第４電磁弁 ２８…第２コネクタ
３０…ＰＬＣ ３２…増圧室
３２ａ…第１増圧室 ３２ｂ…第２増圧室
３４…第１駆動室 ３４ａ…第１加圧室
３４ｂ…第２加圧室 ３６…第２駆動室
３６ａ…第３加圧室 ３６ｂ…第４加圧室
３８…第３カバー部材 ４０…第４カバー部材
４２…ピストンロッド ４４…増圧用ピストン
４６…第１駆動用ピストン ４８…第２駆動用ピストン
５０…入口ポート ５２…流体供給機構
５２ａ…第１供給流路 ５２ｂ…第２供給流路
５２ｃ…第１入口チェック弁 ５２ｄ…第２入口チェック弁
５６…出力ポート ５８…流体出力機構
５８ａ…第１出力流路 ５８ｂ…第２出力流路
５８ｃ…第１出口チェック弁 ５８ｄ…第２出口チェック弁
６０ａ、６０ｂ、７２ａ、７２ｂ、１２８、１３０、１３４、１３６…接続ポート
６２ａ、６２ｂ、７４ａ、７４ｂ…供給ポート
６４ａ、６４ｂ、６８ａ、６８ｂ、７６ａ、７６ｂ…排出ポート
６６ａ、６６ｂ、７８ａ、７８ｂ、１３２、１３８、１６２、１７４…ソレノイド
７０…第１排出リターン流路 ８０…第２排出リターン流路
８２…溝 ８４ａ…第１位置検出センサ
８４ｂ…第２位置検出センサ ８６…永久磁石
９０…タンク ９２…流体圧機器
１２０…第５電磁弁 １２２…第１圧力スイッチ
１２４…第６電磁弁 １２６…第２圧力スイッチ
１４０…第７電磁弁 １４２…第１チェック弁
１４４…第１絞り弁 １４６…第８電磁弁
１４８…第２チェック弁 １５０…第２絞り弁
１５２、１６４…第１接続ポート １５４、１６６…第２接続ポート
１５６、１６８…第３接続ポート １５８、１７０…第４接続ポート
１６０、１７２…第５接続ポート

Claims (18)

1. 増圧室と、
   該増圧室の一端側に設けられた第１駆動室と、
   該増圧室の他端側に設けられた第２駆動室と、
   前記増圧室を貫通して前記第１駆動室及び前記第２駆動室に延在するピストンロッドと、
   前記増圧室内で前記ピストンロッドに連結されることにより、前記増圧室を前記第１駆動室側の第１増圧室と前記第２駆動室側の第２増圧室とに区画する増圧用ピストンと、
   前記第１駆動室内で前記ピストンロッドの一端に連結されることにより、前記第１駆動室を前記第１増圧室側の第１加圧室と前記第１増圧室よりも遠位の第２加圧室とに区画する第１駆動用ピストンと、
   前記第２駆動室内で前記ピストンロッドの他端に連結されることにより、前記第２駆動室を前記第２増圧室側の第３加圧室と前記第２増圧室よりも遠位の第４加圧室とに区画する第２駆動用ピストンと、
   前記第１増圧室及び前記第２増圧室のうち、少なくとも一方に流体を供給する流体供給機構と、
   前記第１加圧室から排出された流体を前記第２加圧室に供給するか、又は、前記第２加圧室から排出された流体を前記第１加圧室に供給する第１排出リターン機構と、
   前記第３加圧室から排出された流体を前記第４加圧室に供給するか、又は、前記第４加圧室から排出された流体を前記第３加圧室に供給する第２排出リターン機構と、
   を有することを特徴とする増圧装置。
2. 請求項１記載の増圧装置において、
   前記流体供給機構から前記第１増圧室に流体が供給される場合、少なくとも、前記第１排出リターン機構が前記第１加圧室から排出された流体を前記第２加圧室に供給するか、又は、前記第２排出リターン機構が前記第４加圧室から排出された流体を前記第３加圧室に供給し、
   一方で、前記流体供給機構から前記第２増圧室に流体が供給される場合、少なくとも、前記第２排出リターン機構が前記第３加圧室から排出された流体を前記第４加圧室に供給するか、又は、前記第１排出リターン機構が前記第２加圧室から排出された流体を前記第１加圧室に供給することを特徴とする増圧装置。
3. 請求項２記載の増圧装置において、
   前記流体供給機構から前記第１増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第１駆動用ピストンにおける前記第１加圧室側の受圧面積と前記第２加圧室側の受圧面積との差に基づいて、前記第１加圧室から排出された流体を前記第２加圧室に供給し、且つ、前記第２排出リターン機構は、前記第３加圧室に流体を供給すると共に前記第４加圧室から流体を排出し、
   一方で、前記流体供給機構から前記第２増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第１加圧室に流体を供給すると共に前記第２加圧室から流体を排出し、且つ、前記第２排出リターン機構は、前記第２駆動用ピストンにおける前記第３加圧室側の受圧面積と前記第４加圧室側の受圧面積との差に基づいて、前記第３加圧室から排出された流体を前記第４加圧室に供給することを特徴とする増圧装置。
4. 請求項３記載の増圧装置において、
   前記第１排出リターン機構は、外部から前記流体供給機構に供給される流体を前記第１加圧室に供給すると共に前記第２加圧室の流体を外部に排出し、一方で、前記第１加圧室から排出された流体を前記第２加圧室に供給する電磁弁を含み構成され、
   前記第２排出リターン機構は、外部から前記流体供給機構に供給される流体を前記第３加圧室に供給すると共に前記第４加圧室の流体を外部に排出し、一方で、前記第３加圧室から排出された流体を前記第４加圧室に供給する電磁弁を含み構成されることを特徴とする増圧装置。
5. 請求項４記載の増圧装置において、
   前記第１排出リターン機構は、前記第１加圧室に接続される第１電磁弁、前記第２加圧室に接続される第２電磁弁、及び、前記第１電磁弁と前記第２電磁弁とを接続する第１排出リターン流路を含み構成され、
   前記第１電磁弁及び前記第２電磁弁の第１位置において、前記第１加圧室及び前記第２加圧室が前記第１排出リターン流路を介して連通し、
   前記第１電磁弁及び前記第２電磁弁の第２位置において、前記第１加圧室が前記流体供給機構に連通すると共に、前記第２加圧室が外部に連通し、
   前記第２排出リターン機構は、前記第３加圧室に接続される第３電磁弁、前記第４加圧室に接続される第４電磁弁、及び、前記第３電磁弁と前記第４電磁弁とを接続する第２排出リターン流路を含み構成され、
   前記第３電磁弁及び前記第４電磁弁の第１位置において、前記第３加圧室及び前記第４加圧室が前記第２排出リターン流路を介して連通し、
   前記第３電磁弁及び前記第４電磁弁の第２位置において、前記第３加圧室が前記流体供給機構に連通すると共に、前記第４加圧室が外部に連通することを特徴とする増圧装置。
6. 請求項２記載の増圧装置において、
   前記流体供給機構から前記第１増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第１加圧室から排出された流体を前記第２加圧室に供給すると共に、前記第２排出リターン機構は、前記第４加圧室から排出された流体を前記第３加圧室に供給し、
   一方で、前記流体供給機構から前記第２増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第２加圧室から排出された流体を前記第１加圧室に供給すると共に、前記第２排出リターン機構は、前記第３加圧室から排出された流体を前記第４加圧室に供給することを特徴とする増圧装置。
7. 請求項６記載の増圧装置において、
   前記第１排出リターン機構は、第１位置において前記第１加圧室と前記第２加圧室とを遮断し、一方で、第２位置において前記第１加圧室と前記第２加圧室とを連通する三方弁の第５電磁弁を含み構成され、
   前記第５電磁弁は、遮断状態と連通状態とを切り替えることにより、前記第１加圧室から排出された流体の前記第２加圧室への供給、又は、前記第２加圧室から排出された流体の前記第１加圧室への供給を行い、
   前記第２排出リターン機構は、第１位置において前記第３加圧室と前記第４加圧室とを連通し、一方で、第２位置において前記第３加圧室と前記第４加圧室とを遮断する三方弁の第６電磁弁を含み構成され、
   前記第６電磁弁は、遮断状態と連通状態とを切り替えることにより、前記第３加圧室から排出された流体の前記第４加圧室への供給、又は、前記第４加圧室から排出された流体の前記第３加圧室への供給を行うことを特徴とする増圧装置。
8. 請求項２記載の増圧装置において、
   前記流体供給機構から前記第１増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第１加圧室から流体を排出すると共に前記第２加圧室に流体を供給し、且つ、前記第２排出リターン機構は、前記第４加圧室から排出された流体の一部を前記第３加圧室に供給しつつ、他の一部を外部に排出し、
   一方で、前記流体供給機構から前記第２増圧室に流体が供給される場合、前記第１排出リターン機構は、前記第２加圧室から排出された流体の一部を前記第１加圧室に供給しつつ、他の一部を外部に排出し、且つ、前記第２排出リターン機構は、前記第３加圧室から流体を排出すると共に前記第４加圧室に流体を供給することを特徴とする増圧装置。
9. 請求項８記載の増圧装置において、
   前記第１排出リターン機構は、外部から前記流体供給機構に供給される流体を前記第２加圧室に供給すると共に前記第１加圧室の流体を外部に排出し、一方で、前記第２加圧室から排出された流体の一部を前記第１加圧室に供給しつつ、他の一部を外部に排出する第７電磁弁を含み構成され、
   前記第２排出リターン機構は、外部から前記流体供給機構に供給される流体を前記第４加圧室に供給すると共に前記第３加圧室の流体を外部に排出し、一方で、前記第４加圧室から排出された流体の一部を前記第３加圧室に供給しつつ、他の一部を外部に排出する第８電磁弁を含み構成されることを特徴とする増圧装置。
10. 請求項９記載の増圧装置において、
    前記第１排出リターン機構は、４方向５ポートの前記第７電磁弁、及び、第１チェック弁を含み構成され、
    前記第７電磁弁は、第１位置において前記第１加圧室が外部に連通すると共に前記第２加圧室が前記流体供給機構に連通し、一方で、第２位置において前記第２加圧室が前記第１チェック弁を介して前記第１加圧室に連通すると共に外部に連通し、
    前記第２排出リターン機構は、４方向５ポートの前記第８電磁弁、及び、第２チェック弁を含み構成され、
    前記第８電磁弁は、第１位置において前記第４加圧室が前記第２チェック弁を介して前記第３加圧室に連通すると共に外部に連通し、一方で、第２位置において前記第３加圧室が外部に連通すると共に前記第４加圧室が前記流体供給機構に連通することを特徴とする増圧装置。
11. 請求項１〜１０のいずれか１項に記載の増圧装置において、
    前記第１駆動用ピストン又は前記第２駆動用ピストンの位置を検出する位置検出センサをさらに有し、
    前記第１排出リターン機構及び前記第２排出リターン機構は、それぞれ、前記位置検出センサの検出結果に基づいて、一方の加圧室から排出される流体の他方の加圧室への供給を行うことを特徴とする増圧装置。
12. 請求項１１記載の増圧装置において、
    前記位置検出センサは、前記第１駆動室又は前記第２駆動室の一端側への前記第１駆動用ピストン又は前記第２駆動用ピストンの到達を検出する第１位置検出センサと、前記第１駆動室又は前記第２駆動室の他端側への前記第１駆動用ピストン又は前記第２駆動用ピストンの到達を検出する第２位置検出センサとであることを特徴とする増圧装置。
13. 請求項１１又は１２記載の増圧装置において、
    前記位置検出センサは、前記第１駆動用ピストン又は前記第２駆動用ピストンに装着された磁石による磁気を検出することにより、前記第１駆動用ピストン又は前記第２駆動用ピストンの位置を検出する磁気センサであることを特徴とする増圧装置。
14. 請求項１〜１３のいずれか１項に記載の増圧装置において、
    一方の加圧室から排出されて他方の加圧室に供給される流体の圧力を検出する圧力センサをさらに有し、
    前記第１排出リターン機構及び前記第２排出リターン機構は、それぞれ、前記圧力センサの検出結果に基づいて、一方の加圧室から排出される流体の他方の加圧室への供給を停止することを特徴とする増圧装置。
15. 請求項１〜１４のいずれか１項に記載の増圧装置において、
    前記流体供給機構は、前記第１増圧室及び前記第２増圧室からの流体の逆流を阻止するチェック弁を含み構成されることを特徴とする増圧装置。
16. 請求項１５記載の増圧装置において、
    前記第１増圧室又は前記第２増圧室で増圧された流体を外部に出力する流体出力機構をさらに有し、
    前記流体出力機構は、前記第１増圧室及び前記第２増圧室への流体の逆流を阻止するチェック弁を含み構成されることを特徴とする増圧装置。
17. 請求項１〜１６のいずれか１項に記載の増圧装置において、
    前記第１駆動室の径方向のサイズ、及び、前記第２駆動室の径方向のサイズは、前記増圧室の径方向のサイズよりも小さいことを特徴とする増圧装置。
18. 請求項１〜１７のいずれか１項に記載の増圧装置において、
    前記第１増圧室と前記第１加圧室との間に第１カバー部材が介挿され、
    前記第２増圧室と前記第３加圧室との間に第２カバー部材が介挿され、
    前記第１カバー部材から遠位の前記第２加圧室の端部には、第３カバー部材が配設され、
    前記第２カバー部材から遠位の前記第４加圧室の端部には、第４カバー部材が配設され、
    前記第１駆動用ピストンは、前記第１カバー部材及び前記第３カバー部材と接触することなく、前記第１駆動室内を変位し、
    前記第２駆動用ピストンは、前記第２カバー部材及び前記第４カバー部材と接触することなく、前記第２駆動室内を変位し、
    前記増圧用ピストンは、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材と接触することなく、前記増圧室内を変位することを特徴とする増圧装置。

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