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JP6481458B2 - 発光装置の製造方法 - Google Patents

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JP6481458B2 JP2015065533A JP2015065533A JP6481458B2 JP 6481458 B2 JP6481458 B2 JP 6481458B2 JP 2015065533 A JP2015065533 A JP 2015065533A JP 2015065533 A JP2015065533 A JP 2015065533A JP 6481458 B2 JP6481458 B2 JP 6481458B2
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    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
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    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48464Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area also being a ball bond, i.e. ball-to-ball
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    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • H01L2224/49113Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain the connectors connecting different bonding areas on the semiconductor or solid-state body to a common bonding area outside the body, e.g. converging wires
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    • H01L2224/732Location after the connecting process
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    • H01L2224/838Bonding techniques
    • H01L2224/8385Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
    • H01L2224/83855Hardening the adhesive by curing, i.e. thermosetting
    • H01L2224/83862Heat curing
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    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/83909Post-treatment of the layer connector or bonding area
    • H01L2224/83951Forming additional members, e.g. for reinforcing, fillet sealant
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    • H01L2224/85438Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/85447Copper (Cu) as principal constituent
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    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • H01L2224/922Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
    • H01L2224/9222Sequential connecting processes
    • H01L2224/92242Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
    • H01L2224/92247Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a wire connector
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    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/02Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L24/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
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    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L24/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
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Description

本開示は、発光装置の製造方法に関する。
半導体を用いた、LED(発光ダイオード)などの発光素子を実装基板に実装する際には、発光素子は、樹脂や半田などのダイボンド部材を用いて実装基板と接合される。例えば、特許文献1には、ダイボンド部材としてダイボンド樹脂を用いて発光素子が実装されることが記載されている。
具体的には、ダイボンド部材として熱硬化性樹脂を含有する液状又はペースト状のダイボンド樹脂を用いる場合は、当該ダイボンド樹脂を実装基板に塗布した後、発光素子を載置し、ダイボンド樹脂を硬化させることで発光素子が実装基板に接合される。
また、ダイボンド部材として半田ペーストを用いる場合は、半田ペーストを実装基板に塗布した後、発光素子を載置し、リフロー炉によって半田を加熱溶融し、冷却して溶融したハンダを固化させることで、発光素子が実装基板に接合される。
特開2010−205775号公報
しかしながら、特許文献1に記載されたような従来の工法では、発光素子は、実装の過程において、硬化する前の液状のダイボンド樹脂や、溶融して液状となったハンダ上に浮遊した状態となる。このため、ダイボンド部材が硬化するまでに、ダイボンド部材が塗布された範囲で発光素子の位置が移動することがある。また、発光素子が実装基板と確実に接合されるためには、ダイボンド部材は、発光素子の実装面よりも広範囲に塗布されることが好ましいが、ダイボンド部材が多いほど、発光素子は広い範囲まで移動しやすくなる。
このように、従来の工法では、ダイボンド部材を用いた実装の際に発光素子を高精度に位置決めして接合することが難しかった。また、複数の発光素子を狭い間隔で高密度に配置すると、ダイボンド部材が広範囲に連続して配置されることとなるため、発光素子を位置精度よく接合することが更に難しかった。
本開示に係る実施形態は、実装基板上に発光素子が接合された発光装置の製造方法において、発光素子を実装基板に対して精度よく位置決めして接合できる製造方法を提供することを課題とする。
本開示の実施形態に係る発光装置の製造方法は、実装基板と、前記実装基板上に接合され、上面に電極を有する発光素子と、を備える発光装置の製造方法であって、前記実装基板の上面に液状又はペースト状の第1接合部材を配置し、前記発光素子の実装面が前記第1接合部材を介して前記実装基板と対向するように載置し、前記第1接合部材を硬化させ、平面視で、前記第1接合部材が前記発光素子の実装面に内包される領域に設けられて前記発光素子と前記実装基板とを接合する第1接合工程と、平面視で、前記実装基板の上面の、少なくとも前記発光素子の実装面の外縁部の一部に、液状又はペースト状の第2接合部材を配置し、前記第2接合部材を硬化させる第2接合工程と、を含むように構成される。
本開示の実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、平面視で発光素子の実装面に包含される領域に配置される第1接合部材で実装基板と接合した後、発光素子の外縁部を第2接合部材で実装基板と接合するため、発光素子を実装基板に対して精度よく位置決めして接合することができる。
実施形態に係る発光装置の構成を模式的に示す斜視図である。 実施形態に係る発光装置の構成を模式的に示す平面図である。 実施形態に係る発光装置の構成を模式的に示す断面図であり、図2AのIIB−IIB線における断面を示す。 実施形態に係る発光装置で用いられる発光素子の構成を模式的に示す平面図である。 実施形態に係る発光装置で用いられる発光素子の構成を模式的に示す断面図であり、図3AのIIIB−IIIB線における断面を示す。 実施形態に係る発光装置の製造方法の手順を示すフローチャートである。 実施形態に係る発光装置の製造方法における第1接合部材配置工程を模式的に示す断面図である。 実施形態に係る発光装置の製造方法における発光素子載置工程を模式的に示す断面図である。 実施形態に係る発光装置の製造方法における第1接合部材硬化工程を模式的に示す断面図である。 実施形態に係る発光装置の製造方法における第2接合部材配置工程を模式的に示す断面図である。 実施形態に係る発光装置の製造方法における第2接合部材硬化工程を模式的に示す断面図である。 実施形態に係る発光装置の製造方法における第2接合部材配置工程において、第2接合部材の供給直後の状態を模式的に示す平面図である。 実施形態に係る発光装置の製造方法における第2接合部材配置工程において、第2接合部材が広がった状態を模式的に示す平面図である。 実施形態に係る発光装置の製造方法における配線工程を模式的に示す断面図である。 実施形態に係る発光装置の製造方法における光反射部材形成工程を模式的に示す断面図である。 実施形態に係る発光装置の製造方法における封止工程を模式的に示す断面図である。
以下、実施形態に係る発光装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。なお、各図面が示す部材のサイズや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。更に以下の説明において、同一の名称、符号については、原則として同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。
<実施形態1>
[発光装置の構成]
実施形態に係る発光装置の構成について、図1、図2A及び図2Bを参照して説明する。なお、説明の便宜上、図2Aに示した平面図において、光反射部材6は外形を二点鎖線で、封止部材7は外形を破線でそれぞれ示し、内部を透視した状態で示している。また、図2Bにおいて、発光素子1の細部構造は省略して示しているが、上面側にn側電極13及びp側電極14を有し、下面側に基板11を有している。後記する図5B〜図6B、図8A〜図8Cに示した発光素子1についても同様である。
発光装置100は、複数の発光素子1が実装基板2上に配列されて構成されている。本実施形態では、具体的には、18個の発光素子1が、6行3列に配列されている。発光素子1は、それぞれ、第1接合部材31と第2接合部材32とで構成される接合部材3によって実装基板2の上面に接合されている。実装基板2の上面には正電極22、負電極23及び中継配線部24からなる配線パターンが、発光素子1が配置された領域を囲むように設けられている。発光素子1は、ワイヤ4を用いて発光素子1同士及びこれらの配線パターンとの間で電気的に接続され、正電極22及び負電極23に外部電源を接続することで、これらの発光素子1が発光するように構成されている。また、正電極22及び負電極23間には、保護素子5が設けられている。また、発光素子1が配置された領域を囲むように光反射部材6が設けられており、当該光反射部材6で囲まれた領域内に封止部材7が充填され、発光素子1やワイヤ4などが封止されている。
なお、実装基板2の外形形状及び発光素子1の配列態様は、矩形に限定されず、円形、多角形などに適宜に変更することができる。また、発光素子1は複数個が2次元配列されるものに限定されず、1次元配列されてもよく、1個であってもよい。
以下、各構成について順次に詳細に説明する。
発光素子1は、上面に一対の電極であるn側電極13及びp側電極14を有し、下面側が第1接合部材31及び第2接合部材32を用いて実装基板2の上面と接合されている。
本実施形態において、図2A中の上3行に配列された発光素子1は、n側電極13が右側に、p側電極14が左側になる向きで配置され、下3行に配列された発光素子1は、n側電極13が左側に、p側電極14が右側になる向きで配置されている。上3行の各行の3個の発光素子1は、行方向(横方向)に正電極22の配線部22bと中継配線部24との間にワイヤ4を用いて直列に接続され、上3行の各列の3個の発光素子1は並列に接続されている。また、下3行の各行の3個の発光素子1は、行方向(横方向)に負電極23の配線部23bと中継配線部24との間にワイヤ4を用いて直列に接続され、下3行の各列の3個の発光素子1は並列に接続されている。従って、18個の発光素子1は、正電極22及び負電極23に対して、6個で1組の発光素子1が直列に接続され、3組の直列接続が並列接続されている回路と等価となるように接続されている。
ここで、発光素子1の構成例について、図3A及び図3Bを参照して説明する。図3A及び図3Bを参照して説明する。
本実施形態の発光素子1は、LEDなどの半導体発光素子を好適に用いることができる。本実施形態における発光素子1は、平面視で矩形に形成され、基板11と、半導体積層体12と、n側電極13と、p側電極14と、保護膜15とを備えて構成されている。また、本実施形態における発光素子1は、基板11の一方の主面上に、LED(発光ダイオード)構造を有する半導体積層体12を備え、更に半導体積層体12の一方の面側にn側電極13及びp側電極14とを備え、上面側を発光面として実装する実装形態に適した構造を有している。
基板11は、半導体積層体12を支持する部材である。具体的な材料としては、サファイアやSiCのような材料を用いることができる。また、基板11は、例えば、半導体積層体12をエピタキシャル成長させる成長基板であってもよい。例えば、半導体積層体12をGaN(窒化ガリウム)などの窒化物半導体を用いて形成する場合には、サファイアを好適に用いることができる。
半導体積層体12は、基板11の上面である一方の主面上に、n型半導体層12n、活性層12a及びp型半導体層12pが積層されてなり、n側電極13及びp側電極14間に電流を通電することにより発光するように構成されている。
半導体積層体12には、p型半導体層12p及び活性層12aが部分的に存在しない領域、つまりn型半導体層12nが露出した領域12bを有する。当該n型半導体層12nが露出した領域12bにはn側電極13が設けられ、n型半導体層12nと電気的に接続されている。
また、p型半導体層12pの上面の略全面には、透光性電極141が設けられ、更に透光性電極141の上面の一部にパッド電極142が設けられている。
n側電極13は、発光素子1に外部からの電流を供給するための負極側のパッド電極である。n側電極13は、ワイヤボンディングなどによる外部との接続に適するように、例えば、Cu、Au又はこれらの何れかの金属を主成分とする合金を用いることができる。
p側電極14は、p型半導体層12pの上面において、p型半導体層12pと電気的に接続されるように設けられ、発光素子1に外部からの電流を供給するための正極側の電極である。また、p側電極14は、透光性電極141とパッド電極142とが積層された構造を有している。
下層側の透光性電極141は、p型半導体層12pの上面の略全面を被覆するように設けられている。透光性電極141は、パッド電極142を介して外部から供給される電流をp型半導体層12pの全面に拡散するための電流拡散層として機能するものである。透光性電極141は、例えば、導電性金属酸化物から形成され、可視光(可視領域)において高い透光性を有し、導電率の高い材料であることから、ITO(SnドープIn)を好適に用いることができる。
上層側のパッド電極142は、透光性電極141の上面の一部に設けられ、外部の電極と接続するための層である。また、パッド電極142は、ワイヤボンディングなどにより外部と接続するための外部接続部142aと、外部接続部142aから延伸し、電流をより効率的に拡散させるための延伸部142bとから構成されている。パッド電極142は、前記したn側電極13と同様に、ワイヤボンディングなどによる外部との接続に適するように、例えば、Cu、Au又はこれらの何れかの金属を主成分とする合金を用いることができる。
保護膜15は、透光性及び絶縁性を有し、基板11の側面及び下面を除き、発光素子1の上面及び側面の略全体を被覆する膜である。また、保護膜15は、外部と接続するための領域であるn側電極13の上面及びパッド電極142の上面に、それぞれ開口部15n及び開口部15pを有している。保護膜15としては、例えば、SiO、TiO、Alなどの酸化物、SiNなどの窒化物、MgFなどのフッ化物を好適に用いることができる。
なお、発光素子1において、n側電極13及びp側電極14の配置領域や形状、層構造などは、本実施形態に限定されるものではなく、適宜に定めることができる。
また、発光素子1は、一方の面側にn側電極13及びp側電極14を有するものに限定されず、一方の面側にn側電極13を有し、他方の面側にp側電極14を有するものであってもよい。この場合は、発光素子1の実装面側に設けられた一方の電極が、実装基板2の上面に設けられた配線パターンと電気的に接続されるように、第1接合部材31として、導電性を有する接着剤、例えば、半田などの金属や、熱硬化性樹脂に導電性粒子を含有した異方導電性ペーストなどを用いることができる。また、発光素子1の反対側の面に設けられた他方の電極はワイヤボンディングにより配線パターンと電気的に接続することができる。
発光素子1は、接合部材3と接合される表面が、接合部材3と濡れ性のよい材料であることが好ましい。例えば、接合部材3が半田などの金属材料であって、発光素子1の下面に接合される場合には、発光素子1の下面にAuやSnを最表面とする金属膜を有することが好ましい。特に、第1接合部材31が半田などの金属である場合には、発光素子1の下面の一部に金属膜を設けることで、この金属膜が形成された部分において、発光素子1と第1接合部材31とを接合させることができる。このとき、金属膜を発光素子1の外縁から内側の部分に設け、金属膜に周囲を第1接合部材31と濡れ性が悪い材料(例えば、サファイア)とすることで、発光素子の外縁部には第1接合部材31が付着しない。この第1接合部材31が付着し難い部分において、熱硬化性樹脂を主材料とする第2接合部材32と接合することで、容易に本実施形態の発光装置100を製造することができる。
図1、図2A及び図2Bに戻って、発光装置100の構成について説明を続ける。
本実施形態の実装基板2は、発光素子1などの電子部品を実装するための基板であり、矩形平板状の基体21と、基体21の上面に設けられた配線パターンである正電極22、負電極23及び中継配線部24とを備えている。
基体21は、絶縁性材料を用いることが好ましく、かつ、発光素子1から放出される光や外光などが透過しにくい材料を用いることが好ましい。また、ある程度の強度を有する材料を用いることが好ましい。具体的には、セラミックス(Al、AlNなど)、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、BTレジン(bismaleimide triazine resin)、ポリフタルアミド(PPA)などの樹脂が挙げられる。また、基体21の上面は、少なくとも発光素子1を実装する領域は良好な光反射性を有することが好ましく、例えば、Ag、Alなどの金属や白色顔料を含有した白色樹脂などを用いた光反射層を設けることが好ましい。
正電極22は、外部電源と接続するためのパッド部22aと、発光素子1及び保護素子5とワイヤ接続するための配線部22bとを有している。配線部22bは、左上の領域に設けられたパッド部22aから矩形状の発光素子1の配置領域の左辺に沿って延伸するように設けられている。
負電極23は、外部電源と接続するためのパッド部23aと、発光素子1及び保護素子5とワイヤ接続するための配線部23bとを有している。また、配線部23bの近傍に、負電極であることを識別するためのカソードマークCMが設けられている。配線部23bは、右下の領域に設けられたパッド部23aから発光素子1の矩形状の配置領域の下辺及び左辺に沿って延伸するように設けられている。
中継配線部24は、正電極22と負電極23との間における配線を中継するためのものであり、発光素子1の矩形状の配置領域の右辺に沿って延伸するように設けられている。
配線部22b、配線部23b及び中継配線部24は、ワイヤ4を用いて、発光素子1と前記したように電気的に接続されている。また、保護素子5が、配線部22bの一端に半田などの導電性接着剤を用いて機械的及び電気的に接続されるとともに、ワイヤ4を用いて配線部23bと電気的に接続されている。配線パターンである正電極22,負電極23及び中継配線部24としては、例えば、Cu,Au,Ag,Alなどの金属膜を用いることができる。
なお、正電極22、負電極23及び中継配線部24は、図2Aに示した例に限定されず、発光素子1の配列の態様や電気的な接続の態様に応じて適宜な配線パターンとすることができる。
本実施形態においては、発光素子1は基体21上に接合されているが、これに限定されない。例えば、正電極22、負電極23、中継配線部24、基体21上に設けられたその他の金属部材の上に実装されていてもよい。また、本実施形態の実装基板2は、絶縁性の基体21の上面に導電性の電極などが設けられている構成であるが、これに限定されず、実装基板2は、基体21を備えない(つまり、電極のみで構成されている)ものであってもよい。
接合部材3は、発光素子1を実装基板2の上面に接合するための部材であり、第1接合部材31と第2接合部材32とから構成されている。本実施形態では、発光素子1は、まず、第1接合工程S103(図4参照)において、第1接合部材31を用いて実装基板2に対して良好な精度で位置決めされるように接合され、第2接合工程S104(図4参照)において、第2接合部材32を用いて実装基板2と接合される。
第1接合部材31は、平面視で、各発光素子1の実装面である基板11の下面に内包される領域に設けられる。第1接合部材31は、液状又はペースト状の状態で実装基板2と発光素子1との間に配置された後、加熱などの処理をされることにより硬化して接合強度を発揮するものである。第1接合部材31としては、金属、熱硬化性樹脂、金属粒子を含有する熱硬化性樹脂などを好適に用いることができる。
なお、第2接合部材32が加熱処理をされることによって硬化して接合強度を発揮する材料である場合、第1接合部材31が加熱により溶融ないし再溶融する性質を有する場合は、第1接合部材31が溶融する温度が、第2接合部材32の加熱温度よりも高くなるように第1接合部材31及び第2接合部材32の材料が選択される。
第2接合部材32は、平面視で、各発光素子1の実装面の外縁部の少なくとも一部に設けられる。第2接合部材32によって、発光素子1と実装基板2との接合を高めることができる。第2接合部材32は、液状又はペースト状の状態で発光素子1の外縁部に配置された後、加熱処理をされることにより硬化して接合強度を発揮する。第2接合部材32としては、金属、熱硬化性樹脂、金属粒子を含有する熱硬化性樹脂などを好適に用いることができる。
本実施形態においては、図2Bなどに示すように、第2接合部材32は、複数の発光素子1の間において連続して設けられている。しかし、第2接合部材32の構成はこれに限定されず、発光素子1ごとに分離していてもよい。言い換えると、各発光素子1の下方に、互いに分離した第2接合部材32が設けられていてもよい。
第2接合部材32は、発光素子1の下面の、例えば、99%以上、85%以上、又は50%以上の面積において接合していることが好ましい。
ここで、第1接合部材31及び第2接合部材32の材料の組み合わせの例について、表1を参照して説明する。表1は、第1接合部材31及び第2接合部材32の材料の組み合わせを例示するものである。第1接合部材31及び第2接合部材32の組み合わせとしては、金属同士を組み合わせる場合、金属と熱硬化性樹脂とを組み合わせる場合、熱硬化性樹脂同士を組み合わせる場合、金属を含有する熱硬化性樹脂と熱硬化性樹脂とを組み合わせる場合とを挙げることができる。また、第2接合部材32を硬化させるための加熱処理において、第1接合部材31の接合が維持されるように、第1接合部材31及び第2接合部材32の材料が選択される。
Figure 0006481458
(金属−金属)
表1の組み合わせNo.1〜No.4に示す例は、第1接合部材31の材料である第1金属及び第2接合部材32の材料である第2金属の何れもが、半田などの、比較的低温(例えば、300℃以下程度)で溶融する融点を有する金属を組み合わせたものである。
このような金属は、加熱処理によって溶融した後、冷却されて硬化(固化)することで、発光素子1と実装基板2とを接合するものである。また、金属は、硬化後であっても、融点以上の温度に加熱されることで、再溶融して接合力を消失する。そこで、金属同士を組み合わせる場合は、第2接合部材32の金属の融点(第1の温度)が、第1接合部材31の金属の融点(第2の温度)よりも低温となるようにそれぞれの材料が選択される。これによって、第2接合部材32を硬化させる際に、第1接合部材31が再溶融せずに、接合力を維持できる温度条件で加熱処理を行うことができる。
第1接合部材31、第2接合部材32の金属としては、例えば、AuSn系の低融点(217℃)の共晶組成(Au1:Sn9)の半田、AuSn系の高融点(278℃)の共晶組成(Au78:Sn22)の半田、JIS Z 3283:2006で定められたSnCu系などの鉛フリー半田などを好適に用いることができる。ここで、組成Au1:Sn9は、Auが10質量%、Snが90質量%であることを示し、組成Au78:Sn22は、Auが78質量%、Snが22質量%であることを示す。
なお、金属同士の組み合わせにおいて、硬化前の第1接合部材31及び第2接合部材32は、それぞれ第1ペースト及び第2ペーストとして、前記した金属の粒子をフラックスなどの溶剤に含有させて液状又はペースト状の状態で用いられる。
(金属−熱硬化性樹脂)
表1の組み合わせNo.4〜No.9に示す例は、第1接合部材31として、半田などの、比較的低温(好ましくは、300℃以下程度)で溶融する融点を有する金属を用い、第2接合部材32として、熱硬化性樹脂を用いるように組み合わせたものである。
第1接合部材31としては、前記した金属同士を組み合わせる場合と同様の金属を用いることができる。また、第2接合部材32としては、透光性が良好で、耐熱性、耐候性及び耐光性に優れる熱硬化性樹脂を用いることが好ましい。このような熱硬化性樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、エポキシ変性樹脂、ユリア樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、又はこれらの樹脂を1種類以上含むハイブリッド樹脂などを挙げることができ、なかでも、シリコーン樹脂又はエポキシ樹脂が好ましい。このような材料の硬化温度は、約120〜180℃である。
また、金属と熱硬化性樹脂とを組み合わせる場合は、第2接合部材32の熱硬化性樹脂の硬化温度が、第1接合部材31の金属の融点よりも低温となるようにそれぞれの材料が選択される。これによって、第2接合部材32を硬化させる際に、第1接合部材31が再溶融せずに、接合力を維持できる温度条件で加熱処理を行うことができる。
(熱硬化性樹脂−熱硬化性樹脂)
表1の組み合わせNo.10〜No.13に示す例は、第1接合部材31及び第2接合部材32の何れもが、熱硬化性樹脂を用いるように組み合わせたものである。熱硬化性樹脂は、加熱処理することにより硬化して発光素子1と実装基板2とを接合するものであるが、硬化した熱硬化性樹脂は再加熱されても再溶融せず、接合力が維持される。従って、第1接合部材31に用いられる熱硬化性樹脂と、第2接合部材32に用いられる熱硬化性樹脂とは、硬化温度が同じでも、何れかが高くなるように組み合わせてもよい。
(金属含有熱硬化性樹脂−熱硬化性樹脂)
表1の組み合わせNo.14及びNo.15に示す例は、第1接合部材31として比較的高温(少なくとも、熱硬化性樹脂の硬化温度よりも高い)の融点を有する金属の粒子を熱硬化性樹脂に含有させた金属ペーストを用い、第2接合部材32として熱硬化性樹脂を用いるように組み合わせたものである。金属としては、例えば、AgやCuを用いることができる。第1接合部材31の接合力は、熱硬化性樹脂の硬化によるものであるが、金属の粒子を含有させることで、発光素子1から実装基板2へ良好に熱伝導されるため、発光素子1の温度上昇を抑制することができる。また、金属の粒子を含有させることで第1接合部材31に導電性を持たせ、発光素子1と実装基板2との電気的な接続を行うこともできる。
また、第2接合部材32を硬化させるための加熱処理を行っても、第1接合部材31は熱硬化性樹脂であるため、第1接合部材31の接合力は維持される。従って、第1接合部材31に用いられる熱硬化性樹脂と、第2接合部材32に用いられる熱硬化性樹脂とは、硬化温度が同じでも、何れかが高くなるように組み合わせてもよい。
なお、第1接合部材31及び第2接合部材32に用いられる熱硬化性樹脂としては、前記した熱硬化性樹脂同士を組み合わせる場合と同様の材料を用いることができる。
なお、発光素子1として、一方の電極が実装面側に設けられている場合は、第1接合部材31として、半田などの金属、又は熱硬化性樹脂に導電性粒子を含有した金属含有熱硬化性樹脂の導電性接着剤を用いて、実装基板2の電極上に接合することで、発光素子1と実装基板2との電気的な接続と実装とを行うことができる。
なお、第1接合部材31又は第2接合部材32にエポキシ樹脂やシリコーン樹脂のような透光性の材料を用いる場合は、当該熱硬化性樹脂に光反射性物質の粒子を含有させるようにしてもよい。第1接合部材31又は/及び第2接合部材32に光反射性物質の粒子を含有させて光反射性を付与することにより、発光素子1の上面側からの光を取り出し効率を向上させることができ、その結果として、発光装置100としての光取り出し効率を向上させることができる。光反射性物質としては、母材である透光性の材料との屈折率の差が大きい材料が好ましく、例えば、TiO、Al、ZrO、MgOなどを好適に用いることができる。
本実施形態の発光装置100は、ワイヤ4を備える。ワイヤ4は、発光素子1同士、及び発光素子1と配線部22b,23b及び中継配線部24との間を電気的に接続するための配線部材である。また、ワイヤ4は、保護素子5と配線部23bとを電気的に接続するためにも用いられる。ワイヤ4としては、良好な導電性を有するCu,Au,Ag,Alなどの金属又はこれらの金属を主成分とする合金を用いた金属ワイヤを好適に用いることができる。
本実施形態の発光装置100は、保護素子5を備える。保護素子5は、発光素子1を静電放電から保護するなどの目的で設けられる。保護素子5としては、例えば、ツェナーダイオードを、正電極22及び負電極23の間に発光素子1と逆極性に接続して用いることができる。また、保護素子5として、バリスタ、抵抗、キャパシタなどを用いることもできる。
本実施形態の保護素子5は、配線部22b上に半田などの導電性接着剤を用いて接合されることで、一方の電極が電気的に接続されている。また、保護素子5の他方の電極は、ワイヤ4を用いて配線部23bと電気的に接続されている。
本実施形態の発光装置100は、光反射部材6を備える。光反射部材6は、配線部22b,23bの一部、中継配線部24、保護素子5及びこれらに接続されるワイヤ4の一部を覆うように形成される。そのため、配線部22b,23b、中継配線部24及びワイヤ4を、光を吸収しやすいAuで形成した場合であっても、発光素子1から出射された光が配線部22b,23b、中継配線部24及びワイヤ4には到達せずに光反射部材6によって反射される。従って、出射光のロスを軽減することができ、発光装置100の光の取り出し効率を向上させることができる。更に、配線部22b,23bの一部、中継配線部24、保護素子5及びこれらに接続されるワイヤ4の一部を光反射部材6で覆うことによって、これらの部材を塵芥、水分、外力等から保護することができる。
光反射部材6は、実装基板2上において発光素子1の配置領域を囲うように四角枠状に形成されることが好ましい。このように発光素子1の配置領域の周囲を囲うように光反射部材6を形成することで、例えば、図2Aの上下左右の端部に配置された発光素子1から横方向に出射されて発光素子1の配置領域の周囲に向う光も光反射部材6によって上方に反射することができる。従って、出射光のロスを軽減することができ、発光装置100の光の取り出し効率を向上させることができる。
光反射部材6の材料としては、良好な透過性と絶縁性とを有する樹脂材料、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂などを好適に用いることができる。また、母体となる樹脂に、例えば、TiO,Al,ZrO,MgOなど光反射性物質の粒子を分散することで、光反射性を付与することができる。
本実施形態の発光装置100は、封止部材7を備える。封止部材7は、光反射部材6で囲まれた領域である凹部内を充填するように設けられ、実装基板2上に配置された発光素子1、保護素子5及びワイヤ4を、塵芥、水分、外力などから保護するための部材である。
封止部材7の材料としては、良好な透光性、耐候性及び耐光性を有するものが好ましく、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂などを好適に用いることができる。また、このような樹脂材料に、適宜に、波長変換物質(蛍光体)、着色剤、光拡散性物質、その他のフィラーを含有させてもよい。また、封止部材7の表面を盛り上がらせて砲弾型形状や凸レンズ形状として、封止部材7にレンズ機能をもたせるようにしてもよい。
[発光装置の動作]
次に、本実施形態の発光装置100の動作について、図2A〜図3を参照して説明する。
実装基板2の正電極22及び負電極23に外部電源を接続することで、ワイヤ4及び中継配線部24を介して各発光素子1に電力が供給されて発光する。発光素子1から上方に出射される光は、封止部材7を通って上面から外部に取り出される。また、発光素子1から横方向に出射される光は、光反射部材6の側面で反射されて、封止部材7を介して上面から外部に取り出される。また、発光素子1から下方に出射される光は、第1接合部材31、第2接合部材32又は基体21によって反射され、封止部材7を介して上面から外部に取り出される。
また、各発光素子1は、第1接合部材31によって良好な精度で位置決めされて実装基板2と接合されているため、発光装置100は良好な配光特性を得ることができる。
[発光装置の製造方法]
次に、本実施形態に係る発光装置の製造方法について、図4〜図8Cを参照して説明する。本実施形態に係る発光装置の製造方法は、発光素子準備工程S101と、実装基板準備工程S102と、第1接合工程S103と、第2接合工程S104と、配線工程S105と、光反射部材形成工程S106と、封止工程S107とが含まれている。
また、第1接合工程S103は、第1接合部材配置工程S103aと、発光素子載置工程S103bと、第1接合部材硬化工程S103cとを含んでいる。第2接合工程S104は、第2接合部材配置工程S104aと、第2接合部材硬化工程S104bとを含んでいる。
発光素子準備工程S101は、図3A及び図3Bに示したような構成の、個片化された発光素子1を準備する工程である。以下に、発光素子1を製造する工程例について説明するが、これに限定されるものではない。
具体的には、まず、サファイアなどの基板11の上面に、MOCVD法などにより、窒化物半導体などの半導体材料を用いて、n型半導体層12n、活性層12a及びp型半導体層12pを順次積層した半導体積層体12を形成する。次に、半導体積層体12の表面の一部の領域について、上面側からp型半導体層12p及び活性層12aの全部、並びにn型半導体層12nの一部を除去してn型半導体層12nを露出させる。
その後、p型半導体層12pの上面の略全面を覆うように、ITOなどの透光性導電材料を用いて透光性電極141を形成する。更に、透光性電極141の上面の一部に、Cu、Auなどの金属材料を用いてパッド電極142を形成することで、p側電極14を形成する。また、露出されたn型半導体層12nの上面に、Cu、Auなどの金属材料を用いてパッド電極132を形成することで、n側電極13を形成する。
次に、n側電極13及びパッド電極142の上面の外部と接続するための領域に開口部15n,15pを有するように、SiOなどの透光性の絶縁材料を用いて、ウエハ全体を被覆する保護膜15を形成する。
次に、ダイシング法やスクライブ法を用いてウエハを切断することで、発光素子1を個片化する。なお、ウエハを切断する前に、基板11の半導体積層体12が設けられていない側の面を研磨して、基板11を薄くしてもよい。
なお、基板11の底面に金属材料との接合性を高める金属膜を設ける工程を有してもよい。
実装基板準備工程S102は、絶縁性の基体21の上面に配線パターンである正電極22、負電極23及び中継配線部24が形成された実装基板2を準備する工程である。これらの配線パターンは、例えば、基体21の上面全体に金属膜を形成し、当該金属膜上に配線パターンとして残す領域を被覆するマスクを設け、露出した金属膜をエッチングすることで形成するサブトラクティブ法などで形成することができる。
なお、発光素子準備工程S101と実装基板準備工程S102とは、何れの工程を先に行ってもよく、並行して行うようにしてもよい。また、本明細書において、準備工程とは、発光素子1又は実装基板2を前記したような方法で製造することに限定されず、購入などにより入手することも含むものである。
第1接合工程S103は、第1接合部材31を用いて、発光素子1を実装基板2の上面の所定位置に精度よく位置決めして接合する工程である。前記したように、この工程には、3つの工程が含まれる。
まず、第1接合部材配置工程S103aにおいて、液状又はペースト状の第1接合部材31を、実装基板2の上面の、各発光素子1が配置される予定である所定の個別配置領域1aごとに、当該個別配置領域1a内に、ディスペンス法などによって適量を供給する。ここで適量とは、次工程である発光素子載置工程S103bにおいて、第1接合部材31上に発光素子1が載置されることで、液状又はペースト状の第1接合部材31が押し広げられた際に、第1接合部材31が発光素子1の実装面からはみ出さない量である。また、第1接合部材31は、少なくとも、第2接合工程S104において、発光素子1が強固に固着されるまでの間に、発光素子1が実装基板2から剥がれたり、位置がずれたりしない程度の強度で接合できる量が供給される。第1接合部材31は、平面視で発光素子1の略中央部に設けられるように配置されることが好ましい。
次に、発光素子載置工程S103bにおいて、例えば、コレットなどを用いて、発光素子1を実装基板2の上面の各個別配置領域1aに第1接合部材31を介して載置する。
次に、第1接合部材硬化工程S103cにおいて、加熱装置201を用いた加熱処理を行うことによって、第1接合部材31を硬化させることで発光素子1と実装基板2と接合させる。
ここで、硬化前の第1接合部材31が半田などの金属粒子がフラックスなどの溶剤に混合されたペーストである場合は、当該金属粒子の融点以上の温度に加熱することで金属粒子を溶融させ、その後に当該金属が冷却されて硬化(固化)することで、発光素子1と実装基板2とが接合される。
なお、冷却は冷却装置を用いてもよく、室温下に放置する放冷であってもよい。
また、硬化前の第1接合部材31が熱硬化性樹脂である場合、又は、例えば、Agペーストのように、比較的融点の高い金属の粒子と熱硬化性樹脂とを含有する場合は、熱硬化性樹脂の仮硬化温度以上に加熱することで、第1接合部材31を硬化させることができる。言い換えると、第1接合部材硬化工程S103cにおける第1接合部材31の硬化は、発光素子1と実装基板2とを接合できるものであればよく、仮硬化であってもよい。
なお、この工程において、熱硬化性樹脂を本硬化させる条件の温度及び加熱時間で行い、第1接合部材31を本硬化させてもよい。
なお、加熱装置201としては、第1接合部材31の種類や硬化させるために必要な加熱温度などによって適宜に選択することができ、例えば、リフロー炉、オーブン、赤外線加熱装置、レーザ加熱装置、温風加熱装置、実装基板2を載置できる板状ヒーターなどを用いることがきる。
また、本実施形態の第1接合工程S103において、第1接合部材31が、平面視で発光素子1の実装面を包含する領域内に配置される。第1接合部材31が、硬化前の液状又はペースト状の状態、加熱処理の途中で粘度が低下した状態、又は第1接合部材31が低融点の金属である場合においては溶融して液状となった状態においても、当該第1接合部材31を介して実装基板2上に載置された発光素子1が所定の個別配置領域1aの範囲から大きく位置ズレすることがなく、精度よく発光素子1を位置決めすることができる。そして、第1接合部材31を硬化させることで、発光素子1を精度よく位置決めしたまま実装基板2と接合することができる。
第2接合工程S104は、第1接合工程S103の後に、第2接合部材32を用いて、発光素子1の外縁部と実装基板2とを接合する工程である。前記したように、この工程には、2つの工程が含まれる。
まず、第2接合部材配置工程S104aにおいて、液状又はペースト状の第2接合部材32をディスペンサなどを用いて供給し、各発光素子1の外縁部の少なくとも一部が被覆されるように配置する。第2接合部材32は、発光素子1が実装基板2と、より強固に接合されるように、各発光素子1の外縁部の全周を囲むように配置することが好ましい。また、第2接合部材32は、第1接合部材31と接し、第1接合部材31の全周を囲むように配置することが好ましい。また、第2接合部材32は、発光素子1ごとに互いに分離して配置されてもよいが、発光素子1の間を埋めるように配置することで、複数の発光素子1の全体と実装基板2とを更に強固に接合することができる。
また、複数の発光素子1が、例えば、1mm以下のように、比較的狭い間隔で配置されている場合は、発光素子1の角部に適量を滴下するように供給して(図7A参照)、そのまま放置することにより、発光素子1の外縁部の全周に配置することができる(図7B参照)。このとき、第2接合部材32を当該配置間隔に応じた粘度に調製することで、重力及び毛細管現象によって、第2接合部材32を発光素子1の外周や発光素子1同士の間に広げることができる(図7B参照)。
なお、ここで適量とは、第2接合部材32が、発光素子1の外縁部を全周に亘って広がることができる量をいうものである。
更にまた、発光素子1が第1接合部材31で接合されている実装基板2を減圧下に配置して、第2接合部材32を供給することで、発光素子1の下面と実装基板2の上面との間の隙間が狭い場合でも、当該隙間により良好に第2接合部材32を浸透させることができる。これによって、発光素子1と実装基板2との接合強度を高めることができる。
次に、第2接合部材硬化工程S104bにおいて、加熱装置201を用いた加熱処理を行い、第2接合部材32を硬化させて発光素子1と実装基板2とを接合させる。加熱装置201は、第2接合部材32の種類や硬化させるために必要な加熱温度などに応じて、第1接合部材硬化工程S103cと同様のものを用いることができる。また、第2接合部材硬化工程S104bにおける加熱処理は、前記した第1接合部材硬化工程S103cと同様に、用いる第2接合部材32を硬化させることができる温度で行われる。
また、第1接合部材31が加熱処理によって溶融する金属材料である場合は、第2接合部材硬化工程S104bにおける加熱処理は、第1接合部材31が再溶融しないように、第1接合部材硬化工程S103cにおける加熱処理よりも低温で行われる。
表1に示した組み合わせNo.1〜No.3のように、第1接合部材31が加熱処理により溶融する金属である場合は、第2接合部材32として用いられる金属は、第1接合部材31として用いられる金属よりも低い融点の材料が用いられる。従って、第2接合部材硬化工程S104bの加熱処理は、第2接合部材32の金属が溶融可能で、第1接合部材31の金属が溶融しない温度で行われる。これによって、第1接合部材31による接合力が維持され、発光素子1が剥がれたり位置ズレしたりすることなく、第2接合部材32によって、発光素子1と実装基板2とを強固に接合することができる。
また、表1に示した組み合わせNo.4〜No.9のように、第1接合部材31が加熱処理により溶融する金属である場合は、第2接合部材32として用いられる熱硬化性樹脂は、第1接合部材31として用いられる金属の融点よりも低い温度で本硬化可能な材料が用いられる。従って、第2接合部材硬化工程S104bの加熱処理は、第2接合部材32の熱硬化性樹脂が本硬化可能で、第1接合部材31の金属が溶融しない温度で行われる。これによって、第1接合部材31による接合力が維持され、発光素子1が剥がれたり位置ズレしたりすることなく、第2接合部材32によって、発光素子1と実装基板2とを強固に接合することができる。
また、表1に示した組み合わせNo.10〜No.13又はNo.14〜No.15のように、第1接合部材31が熱硬化性樹脂又は比較的高い融点を有する金属を含有する熱硬化性樹脂である場合は、加熱処理によって、第1接合部材31が再溶融しない。このため、第2接合部材32として用いられる熱硬化性樹脂は、第1接合部材31として用いられる熱硬化性樹脂と硬化温度が同じでも、高くても、低くてもよい。また、この場合は、第2接合部材硬化工程S104bにおける加熱処理の温度に拘わらず、第1接合部材31による接合力が維持されるため、発光素子1が剥がれたり位置ズレしたりすることなく、第2接合部材32によって、発光素子1と実装基板2とを強固に接合することができる。
また、第1接合部材硬化工程S103cにおいて第1接合部材31を仮硬化させる場合は、第1接合部材31の熱硬化性樹脂は、第2接合部材硬化工程S104bにおいて第2接合部材32の熱硬化性樹脂を本硬化させる加熱温度で、本硬化できる材料を用いることが好ましい。これによって、第1接合部材31の熱硬化性樹脂及び第2接合部材32の熱硬化性樹脂を、ともに本硬化させることができ、その結果として、発光素子1と実装基板2とを、より強固の接合することができる。
本実施形態は、配線工程S105を含む。これは、第2接合工程S104の後に、ワイヤボンダを用いて、配線部22b,23b、中継配線部24及び各発光素子1のn側電極13及びp側電極14の間を、前記した回路となるように配線する工程である。
また、配線工程S105において、又は配線工程S105の前後において、保護素子5の一方の電極を半田などの導電性接合部材を用いて配線部22bと接合し、その後、ワイヤボンダを用いて保護素子5の他方の電極と配線部23bとをワイヤ4で接続する。
本実施形態は、光反射部材形成工程S106を含む。これは、配線工程S105の後に、実装基板2の上面の発光素子1の配置領域の外周部に、枠状の光反射部材6を形成する工程である。光反射部材6は、配線部22b,23b、中継配線部24及びワイヤ4の一部を被覆するように設けられる。
光反射部材6は、前記した樹脂材料などを、例えばディスペンサを用いて供給することで形成することができる。また、光反射部材6は、例えば、シルクスクリーン法やインクジェット法などの印刷法を用いて形成することもできる。
本実施形態は、封止工程S107を含む。これは、光反射部材形成工程S106の後に、枠状に形成された光反射部材6の内側に封止部材7を充填することで、発光素子1、ワイヤ4などを封止する工程である。封止部材7は、前記した樹脂材料などをポッティング法などによって光反射部材6の内側の領域に供給することで形成することができる。また、封止部材7は、金型を用いた成形法で形成することもできる。
以上説明した手順により、本実施形態の発光装置100を製造することができる。
以上、本発明に係る発光装置について、発明を実施するための形態により具体的に説明したが、本発明の趣旨はこれらの記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて広く解釈されなければならない。また、これらの記載に基づいて種々変更、改変などしたものも本発明の趣旨に含まれることはいうまでもない。
本開示の実施形態に係る発光装置は、液晶ディスプレイのバックライト光源、各種照明器具、大型ディスプレイ、広告や行き先案内などの各種表示装置、更には、デジタルビデオカメラ、ファクシミリ、コピー機、スキャナなどにおける画像読取装置、プロジェクタ装置など、種々の光源に利用することができる。
1 発光素子
1a 個別配置領域
11 基板
12 半導体積層体
12n n型半導体層
12a 活性層
12p p型半導体層
12b n型半導体層12nの露出領域
13 n側電極
14 p側電極
141 透光性電極
142 パッド電極
142a 外部接続部
142b 延伸部
15 保護膜
15n 開口部
15p 開口部
2 実装基板
21 基体
22 正電極
22a パッド部
22b 配線部
23 負電極
23a パッド部
23b 配線部
24 中継配線部
3 接合部材
31 第1接合部材
32 第2接合部材
4 ワイヤ
5 保護素子
6 光反射部材
7 封止部材
100 発光装置
201 加熱装置
CM カソードマーク

Claims (14)

  1. 実装基板と、前記実装基板上に接合され、上面に電極を有する複数の発光素子と、を備える発光装置の製造方法であって、
    前記実装基板の上面に液状又はペースト状の第1接合部材を複数配置し、複数の前記発光素子の実装面が複数の前記第1接合部材を介して前記実装基板と対向するように載置し、複数の前記第1接合部材を硬化させ、平面視で、複数の前記第1接合部材の個々複数の前記発光素子の個々の実装面に内包される領域に設けられて複数の前記発光素子と前記実装基板とを接合する第1接合工程と、
    平面視で、前記実装基板の上面の、少なくとも複数の前記発光素子の実装面の外縁部の一部に、液状又はペースト状の複数の第2接合部材を配置し、複数の前記発光素子の外周及び前記発光素子同士の間を前記第2接合部材で埋めて、前記第2接合部材を硬化させる第2接合工程と、を含む発光装置の製造方法。
  2. 前記第2接合工程は、平面視で、前記実装基板の上面の、少なくとも複数の前記発光素子の実装面の外縁部の一部に、複数の前記第2接合部材を配置し、前記第2接合部材の重力及び毛細管現象によって、複数の前記発光素子の外周及び前記発光素子同士の間を前記第2接合部材で埋めて、前記第2接合部材を硬化させる請求項1に記載の発光装置の製造方法。
  3. 前記第2接合工程は、平面視で、前記実装基板の上面の、少なくとも複数の前記発光素子の実装面の外縁部の一部に、複数の前記第2接合部材を減圧下で配置することによって、複数の前記発光素子の外周及び前記発光素子同士の間を前記第2接合部材で埋める請求項1に記載の発光装置の製造方法。
  4. 前記第1接合工程及び前記第2接合工程は、何れも加熱することが含まれる請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
  5. 前記第1接合部材は、硬化前において、第1の温度を融点とする第1金属の粒子を含有する第1ペーストであり、
    前記第2接合部材は、硬化前において、前記第1の温度よりも低い第2の温度を融点とする第2金属の粒子を含有する第2ペーストであり、
    前記第2接合工程において、前記第2接合部材の硬化は、前記第2の温度より高温で、かつ、前記第1の温度より低温に加熱する請求項に記載の発光装置の製造方法。
  6. 前記第1接合部材は、硬化前において、第1の温度を融点とする金属の粒子を含有するペーストであり、
    前記第2接合部材は、熱硬化性樹脂を含有し、
    前記第2接合工程において、前記第2接合部材の硬化は、前記第1の温度よりも低い温度に加熱する請求項に記載の発光装置の製造方法。
  7. 前記第1接合部材及び前記第2接合部材は、何れも熱硬化性樹脂を含有し、
    前記第1接合工程における前記第1接合部材の硬化及び前記第2接合工程における前記第2接合部材の硬化は、何れも加熱して前記熱硬化性樹脂を硬化させることにより行われる請求項に記載の発光装置の製造方法。
  8. 前記第1接合工程において、前記第1接合部材に含有される熱硬化性樹脂を仮硬化可能な温度以上で加熱し、
    前記第2接合工程において、前記第2接合部材に含有される熱硬化性樹脂を本硬化可能な温度以上で加熱する請求項に記載の発光装置の製造方法。
  9. 前記第1接合部材は、金属の粒子及び熱硬化性樹脂を含有し、
    前記第1接合工程において、前記第1接合部材に含有される前記熱硬化性樹脂を硬化させる請求項又は請求項に記載の発光装置の製造方法。
  10. 前記第1金属及び前記第2金属は、それぞれ、AuSn系半田、SnCu系半田から選択される請求項に記載の発光装置の製造方法。
  11. 前記金属は、AuSn系半田、SnCu系半田から選択され、
    前記熱硬化性樹脂は、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂から選択される請求項に記載の発光装置の製造方法。
  12. 前記第1接合部材に含有される前記熱硬化性樹脂及び前記第2接合部材に含有される前記熱硬化性樹脂は、それぞれ、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂から選択される請求項に記載の発光装置の製造方法。
  13. 前記金属は、Ag、Cuから選択され、
    前記第1接合部材に含有される前記熱硬化性樹脂及び第2接合部材に含有される前記熱硬化性樹脂は、それぞれ、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂から選択される請求項に記載の発光装置の製造方法。
  14. 前記熱硬化性樹脂は、光反射性物質の粒子を含有する請求項6乃至請求項9のいずれか一項、又は、請求項11乃至請求項13のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6481458B2 (ja) * 2015-03-27 2019-03-13 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法
US10439114B2 (en) 2017-03-08 2019-10-08 Cree, Inc. Substrates for light emitting diodes and related methods
JP7048879B2 (ja) 2017-10-12 2022-04-06 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP7366337B2 (ja) * 2018-12-25 2023-10-23 日亜化学工業株式会社 光源装置の製造方法および光源装置
EP3675190B1 (en) 2018-12-25 2023-05-03 Nichia Corporation Method of manufacturing light source device and light source device
JP2023044026A (ja) * 2021-09-17 2023-03-30 東芝ライテック株式会社 車両用照明装置、および車両用灯具
CN116264233A (zh) * 2021-12-15 2023-06-16 合肥京东方瑞晟科技有限公司 发光二极管驱动背板及显示装置

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5664495A (en) * 1979-10-31 1981-06-01 Tdk Electronics Co Ltd Method of soldering electronic part
JPS58124292A (ja) * 1982-01-21 1983-07-23 株式会社日立製作所 混成集積回路装置とその製造方法
JPH03153372A (ja) * 1989-10-26 1991-07-01 Hewlett Packard Co <Hp> 発光ダイオード・プリントヘッド
JPH0521523A (ja) 1991-07-17 1993-01-29 Matsushita Electric Works Ltd 半導体装置実装用基板
JPH07254632A (ja) * 1994-03-15 1995-10-03 Clarion Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
JP3267183B2 (ja) * 1997-02-25 2002-03-18 松下電工株式会社 半導体装置
JP3475426B2 (ja) * 1997-03-24 2003-12-08 セイコーエプソン株式会社 半導体装置の製造方法
JPH10284515A (ja) 1997-04-10 1998-10-23 Murata Mfg Co Ltd ダイボンディング方法およびそれを用いた電子部品の実装構造
JP3575222B2 (ja) * 1997-04-22 2004-10-13 株式会社村田製作所 チップ状部品の実装構造および実装方法
JP2002158238A (ja) * 2000-11-16 2002-05-31 Mitsubishi Electric Corp 電子部品の接合方法、電子装置の製造方法、及び電子装置
TW480749B (en) * 2001-03-15 2002-03-21 Opto Tech Corp Structure and fabrication method for electro-optics device
JP2002324912A (ja) * 2001-04-24 2002-11-08 Seiwa Electric Mfg Co Ltd 発光ダイオードチップ及びこれを用いた発光ダイオードランプ
JP2003174201A (ja) * 2001-12-04 2003-06-20 Rohm Co Ltd Ledチップの実装方法、およびledチップの実装構造
JP3655267B2 (ja) * 2002-07-17 2005-06-02 株式会社東芝 半導体発光装置
DE10333841B4 (de) * 2003-07-24 2007-05-10 Infineon Technologies Ag Verfahren zur Herstellung eines Nutzens mit in Zeilen und Spalten angeordneten Halbleiterbauteilpositionen und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils
JP4443367B2 (ja) * 2004-10-01 2010-03-31 株式会社フジクラ 発光装置及び発光装置製造方法
JP5196097B2 (ja) * 2006-08-29 2013-05-15 日亜化学工業株式会社 半導体発光素子の製造方法及び半導体発光素子、並びにそれを用いた発光装置
JP2009081349A (ja) * 2007-09-27 2009-04-16 Toshiba Lighting & Technology Corp 照明装置
JP2010087051A (ja) * 2008-09-29 2010-04-15 Toyoda Gosei Co Ltd 発光装置
JP5212178B2 (ja) 2009-02-27 2013-06-19 東芝ライテック株式会社 発光モジュール
JP2013093491A (ja) 2011-10-27 2013-05-16 Toshiba Corp 半導体装置およびその製造方法
WO2013115379A1 (ja) * 2012-02-02 2013-08-08 シチズンホールディングス株式会社 半導体発光装置及びその製造方法
JP2014099584A (ja) 2012-10-18 2014-05-29 Denso Corp 半導体装置及びその製造方法
JP6481458B2 (ja) * 2015-03-27 2019-03-13 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法

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