JP6312548B2

JP6312548B2 - 機械剛性の自己測定機能および自己監視機能を有するサーボモータ制御装置

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Publication number: JP6312548B2
Application number: JP2014157147A
Authority: JP
Inventors: 一憲飯島; 聡史猪飼
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Filing date: 2014-07-31
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Description

本発明は、サーボモータ制御装置に関し、特に、機械剛性の自己測定機能および自己監視機能を有するサーボモータ制御装置に関する。

工作機械のサーボ制御系の安定化のために、トルク指令値へ帯域除去フィルタを適用するという技術が広く用いられている。一般的なフィルタ調整の手順は、トルク指令作成部と速度検出部とから構成される速度制御ループに対して、正弦波掃引または矩形波掃引を行うことによって、速度制御ループの周波数応答を計測し、ボード線図のように視覚化したグラフを精査することで共振周波数を目視で見つけるというものである。ボード線図を視覚化せずとも共振周波数の特定自体は可能であるため、帯域除去フィルタの自動調整という技術が考案されている。

自動調整の特性は、手動で調整する技術者の調整方針や力量によらないため、比較的バラツキの少ない調整結果が得られるところにある。フィルタ自動調整機能は、手動計測よりも少ないバラツキで工作機械の剛性を測定していることになる。

帯域除去フィルタの調整を行う方法として、機械共振を抑制するように、振動レベルがしきい値を超える周波数を検出することで、自動的に複数の帯域除去フィルタの調整を行う方法が報告されている（例えば、特許文献１）。この従来技術においては。２つの帯域除去フィルタが互いに近い中心周波数をもつ場合は、第１のフィルタのフィルタ幅を広げて対応するようにしている。

上記の従来技術には複数の帯域除去フィルタの自動調整アルゴリズムが開示されているが、その主題は単に共振を解決するための調整を行うというものに過ぎない。実用上は機械出荷直前のサーボ制御系の調整を代理するものに留まっている。長期的設備や量産工業製品としての工作機械の剛性の経年変化や個体差にどのように対応するべきかについては言及していない。

特開２０１２−２３８３４号公報

本発明の目的は、単なるサーボ制御系の安定化にとどまらず、非破壊・非分解形態での機械の保守点検予測を可能とする、総合的な検査技術を与えることが可能なサーボモータ制御装置を提供することにある。

本発明の実施例に係るサーボモータ制御装置は、工作機械を駆動するためのサーボモータを制御する制御装置であって、サーボモータの速度指令値を作成する速度指令作成部と、サーボモータの速度を検出する速度検出部と、速度指令値及び検出された速度に基づいてサーボモータのトルク指令値を作成するトルク指令作成部と、正弦波外乱値を生成する正弦波生成部と、正弦波生成部が生成した正弦波外乱値を速度指令値に加えることにより、トルク指令作成部及び速度検出部を含む速度制御ループへ正弦波外乱値を入力したときの速度検出部からの出力に基づいて周波数応答を算出する周波数応答算出部と、算出された周波数応答の利得が極大となる周波数である共振周波数を検出する共振周波数検出部と、共振周波数検出部が検出した共振周波数を記憶する共振周波数記憶部と、トルク指令値に含まれる特定の周波数帯成分を減衰させる少なくとも１個のフィルタと、共振周波数記憶部が記憶した共振周波数に基づいて工作機械の剛性を測定し、共振周波数に対してフィルタを調整する共振周波数比較部と、を具備することを特徴とする。

本発明によれば、単なるサーボ制御系の安定化にとどまらず、非破壊・非分解形態での機械の保守点検予測を可能とする、総合的な検査技術を与えることが可能なサーボモータ制御装置を提供することができる。

本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置の構成図である。機械を単純化して表した模型を示す図である。本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置の動作手順を説明するためのフローチャートである。複数の機械の剛性値を製造基準値と比較した例を示すグラフである。本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置の動作手順を説明するためのフローチャートである。機械の剛性の経時的変化の例を表すグラフである。本発明の実施例３に係るサーボモータ制御装置の動作手順を説明するためのフローチャートである。本発明の実施例４に係るサーボモータ制御装置の動作手順を説明するためのフローチャートである。本発明の実施例５に係るサーボモータ制御装置の構成図である。

以下、図面を参照して、本発明に係るサーボモータ制御装置について説明する。ただし、本発明の技術的範囲はそれらの実施の形態には限定されず、特許請求の範囲に記載された発明とその均等物に及ぶ点に留意されたい。

［実施例１］
まず、本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置の構成図である。本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置１０１は、速度指令作成部１と、速度検出部２と、トルク指令作成部３と、正弦波生成部４と、周波数応答算出部５と、共振周波数検出部６と、共振周波数記憶部７と、フィルタ８と、共振周波数比較部９と、を具備する。

速度指令作成部１は、サーボモータ２０を駆動するための速度指令値を作成する。速度指令作成部１により作成された速度指令値は加算器１３に対して出力される。加算器１３では、速度指令値と正弦波生成部４が作成した正弦波外乱値が加算され、減算器１４に対して出力される。

速度検出部２は、サーボモータ２０の速度を検出する。サーボモータ２０の速度は、例えば、サーボモータ２０にエンコーダを設けることにより検出することができるが、これには限られない。減算器１４では、正弦波外乱値が加えられた速度指令値から、速度検出部２が検出したサーボモータ２０の速度の値が減算され、トルク指令作成部３に対して出力される。

トルク指令作成部３は、速度指令値及び検出された速度に基づいてサーボモータのトルク指令値を作成する。ただし、上述したように、速度指令値には、正弦波生成部４が生成した正弦波外乱値が加えられている。トルク指令作成部３が作成したトルク指令値は、フィルタ８及び周波数応答算出部５に対して出力される。

周波数応答算出部５は、正弦波生成部４が生成した正弦波外乱値を速度指令値に加えることにより、トルク指令作成部３及び速度検出部２を含む速度制御ループ１０へ正弦波外乱値を入力したときの速度検出部２からの出力に基づいて周波数応答を算出する。周波数応答算出部５が算出した周波数応答は共振周波数検出部６に出力される。

共振周波数検出部６は、算出された周波数応答の利得が極大となる周波数である共振周波数を検出し、共振周波数記憶部７に対して出力する。

共振周波数記憶部７は、共振周波数検出部６が検出した共振周波数を記憶する。共振周波数記憶部７は、共振周波数の測定を複数回行った場合には、各回の共振周波数を記憶し、共振周波数の履歴を保存する。また、検出した共振周波数を比較するための基準となる基準共振周波数を記憶することもできる。さらに、所定の時間において共振周波数を測定する場合には、時間に関するデータと、検出した共振周波数に関するデータを関連付けて記憶することもできる。

フィルタ８は、トルク指令生成部３から出力されたトルク指令値に含まれる特定の周波数帯成分を減衰させる。図１には、フィルタ８が１個設けられている例を示しているが、これには限られず、２個以上設けられていてもよい。

共振周波数比較部９は、共振周波数記憶部７が記憶した共振周波数に基づいて工作機械の剛性を測定し、共振周波数に対してフィルタ８を調整する。

以上のように、本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置は共振周波数に基づいて工作機械の剛性を測定する点を特徴としている。以下、共振周波数に基づいて工作機械の剛性を測定する方法について説明する。

工作機械を単純化して、図２のような模型として扱う。即ち、工作機械を複数のばね要素３０及び負荷４０の集合とみなす。そうすると、機械剛性をばね要素ｋとして扱うことができる。このとき機械の共振角周波数（共振周波数）ω_nは以下の式（１）で与えられる。

ただし、Ｊは負荷の大きさである。

負荷の大きさＪは機械設計で定まっているので、周波数応答の測定からばね要素を推定することができる。共振角周波数が基準値ω_n0からω_n´へ変動し、バネ要素がｋ₀からｋ´へ変動したとすると、ｋ´／ｋ₀は以下の式（２）から求めることができる。

この基準値ω_n0の値自体は、機構設計上の値としてもよいし、量産機種の場合には試作機のもつ共振角周波数としてもよい。特定の個体の場合には製造時の共振角周波数として履歴を保存するのでもよい。ばね要素としての剛性は機械部品の組付け緩みなどで低下すると考えられるので、経年で変化する場合に剛性が低下することはあっても、向上することはないと前提してよい。

例えば、共振角周波数が１０％低下した（基準に対して９０％になる）とするとｋ´／ｋ₀は以下の式（３）のようにして算出される。

上記の式（３）より、機械剛性は１９％低下したことがわかる。

以上のように、本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置によれば、検出した共振周波数から機械剛性を測定することができる。

次に、本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置の動作手順について、図３に示すフローチャートを用いて説明する。まず、ステップＳ１０１において、正弦波生成部４が正弦波外乱値を生成する。生成された正弦波外乱値は速度制御ループ１０に含まれる加算器１３に入力され、速度指令値に正弦波外乱値が加算される。

次に、ステップＳ１０２において、速度検出部２がサーボモータ２０の速度を検出する。検出された速度の値である速度検出値は減算器１４に入力される。

次に、ステップＳ１０３において、トルク指令作成部３が、速度指令値と速度検出値からトルク指令を作成する。作成されたトルク指令はフィルタ８及び周波数応答算出部５に出力される。

次に、ステップＳ１０４において、周波数応答算出部５が、正弦波外乱値とトルク指令値とから周波数応答を計算する。計算された周波数応答は、共振周波数検出部６に出力される。

次に、ステップＳ１０５において、共振周波数検出部６が、周波数応答の極大値を検出する。検出された周波数応答の極大値は、共振周波数記憶部７に出力される。

次に、ステップＳ１０６において、共振周波数記憶部７が、共振周波数を記憶する。

次に、ステップＳ１０７において、共振周波数比較部９が共振周波数記憶部７から共振周波数を取り出し、共振周波数に基づいて工作機械の剛性を測定する。さらに共振周波数比較部９は、共振周波数に対してフィルタ８を調整する。

以上のように、本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置によれば、共振周波数の測定に基づいて帯域減衰フィルタを自動調整する仕組みを前提とし、共振周波数を機械の剛性を表す物理量として捉えている。こうすることで、機械の分解なしで、サーボモータで駆動する機構系の動的な剛性の測定を行うことができる。

［実施例２］
次に、本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置について説明する。実施例２に係るサーボモータ制御装置は、図１に示す実施例１に係るサーボモータ制御装置と同様の構成を備えている。実施例２に係るサーボモータ制御装置が実施例１に係るサーボモータ制御装置と異なっている点は、共振周波数比較部９が、共振周波数記憶部７が記憶した共振周波数と基準共振周波数とを比較することによって機械の剛性の変化を検出する点である。実施例２に係るサーボモータ制御装置の他の構成は実施例１に係るサーボモータ制御装置における構成と同様であるので詳細な説明は省略する。

本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置を用いて、量産機械に対してそれぞれ剛性の個体差を測定・比較することによって、機構部の動的な剛性のバラツキを評価することができる。図４に、複数の機械、例えば、１号機〜６号機の機械の剛性値を製造基準値と比較したグラフの例を示す。図４において、斜線でハッチングされた１〜３及び５号機の機械剛性は製造基準を満たしていることを示し、ハッチングされていない４及び６号機の機械剛性は製造基準を満たしていないことを示している。図４に示した例では、機械を分解することなく、４号機と６号機が製造基準値を満足せず、点検が必要であることを容易に確認することができる。本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置を利用すれば、個々の機械部品ではなく、完成品としての工作機械に対する品質管理や製造ノウハウの向上を図ることができる。

次に、本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置の動作手順について、図５に示すフローチャートを用いて説明する。図５に示したフローチャートにおけるステップＳ２０１〜Ｓ２０７は、図３に示した実施例１に係るサーボモータ制御装置についてのフローチャートにおけるステップＳ１０１〜１０７と同様であるので、詳細な説明は省略する。

ステップＳ２０８において、共振周波数比較部９が、共振周波数記憶部７に記憶された共振周波数が基準共振周波数未満であるかを判断する。共振周波数比較部９が、共振周波数が基準共振周波数以上となっていると判断した場合には、ステップＳ２０１に戻って共振周波数の検出を再度実行する。なお、特定の機械について所定の期間に渡って共振周波数の測定を行った結果、測定した共振周波数が基準共振周波数未満とならないことが確認できた場合には、他の機械について共振周波数を測定して機械剛性の低下の有無を検出するようにしてもよい。

一方、共振周波数比較部９が、共振周波数が基準共振周波数未満となっていると判断した場合には、ステップＳ２０９において、共振周波数比較部９が、機械剛性の低下を検出する。

次に、ステップＳ２１０において、後述する剛性変動通知部を設けた場合には、剛性変動通知部が機械の点検の必要性を表示する。

以上のように、本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置によれば、共振周波数の基準値と実測値とを比較することによって、基準値からのバラツキを測定することができ、部品組み付けの検査を行うことができる。例えば、同型の工作機械を１０機生産する場合、第１号機の測定結果を基準値とすることによって、以降の９機に対して製造上の剛性バラツキを把握・管理し、品質向上を図ることができる。

［実施例３］
次に、本発明の実施例３に係るサーボモータ制御装置について説明する。実施例３に係るサーボモータ制御装置は、図１に示す実施例１に係るサーボモータ制御装置と同様の構成を備えている。実施例３に係るサーボモータ制御装置が実施例１に係るサーボモータ制御装置と異なっている点は、共振周波数記憶部７が、測定回毎の共振周波数の履歴を保存し、共振周波数比較部９が、共振周波数記憶部７が記憶した共振周波数と共振周波数の履歴とを比較することによって機械の剛性の低下傾向を検出する点である。実施例３に係るサーボモータ制御装置の他の構成は実施例１に係るサーボモータ制御装置における構成と同様であるので詳細な説明は省略する。

実施例３に係るサーボモータ制御装置によれば、製造時の剛性を基準として、機械の剛性の経年変化を監視することで、機械の点検時期を予測することができる。図６に機械の剛性の経時的変化のグラフを例示する。図６において、黒丸は機械剛性が要点検水準を超えていること、即ち、機械剛性が十分であることを示している。一方、白丸は機械剛性が要点検水準以下であること、即ち、機械剛性が十分ではないことを示している。図６に示した例では製造後２年では剛性低下が起きていないが、３年以降は機械剛性が低下傾向にあることがわかる。５年後には要点検水準付近にまで剛性低下が起きている。通常は予定された時期にしか、生産設備としての工作機械の点検を行うことはない。本実施例に係るサーボモータ制御装置によれば、低下傾向曲線（または直線）を使うことで、製造６年後に点検が必要であることを予測できる。特に、５年後の剛性測定まで待つことなく、４年経過時点で点検時期を予測することができる。むしろ、測定時点の機械剛性を保証することにもなるのである。このように、本発明の実施例３に係るサーボモータ制御装置によれば、個々の機械部品への分解なしに、完全な状態の機械で測定し、点検時期を予測することが可能である。

次に、点検時期の推定方法について具体的に説明する。例えば、経年変化によって機械剛性が基準値より８％下回った場合（基準の０．９２倍）に「点検時期通知」を行う場合を考える。この場合、点検時期を通知する目安とする共振角周波数ω_n´は、以下の式（４）を用いて逆算することができる。

従って、共振角周波数が４％低下したときに点検時期通知を行えばよいことがわかる。

次に、本発明の実施例３に係るサーボモータ制御装置の動作手順について、図７に示すフローチャートを用いて説明する。図７に示したフローチャートにおけるステップＳ３０１〜Ｓ３０７は、図３に示した実施例１に係るサーボモータ制御装置についてのフローチャートにおけるステップＳ１０１〜１０７と同様であるので、詳細な説明は省略する。

ステップＳ３０８において、共振周波数比較部９が、共振周波数記憶部７に記憶された共振周波数の低下傾向が有るか否かを判断する。共振周波数比較部９が、共振周波数の低下傾向が無いと判断した場合には、ステップＳ３０１に戻って共振周波数の検出を所定の期間経過後に再度実行する。そして、測定回毎の共振周波数の履歴を保存する。

一方、共振周波数比較部９が、共振周波数の低下傾向が有ると判断した場合には、ステップＳ３０９において、共振周波数比較部９が、機械剛性の低下傾向を検出する。

次に、ステップＳ３１０において、後述する剛性変動通知部を設けた場合には、剛性変動通知部が、機械の点検の必要性、または点検時期予測を表示する。

以上のように、本発明の実施例３に係るサーボモータ制御装置によれば、測定回毎の共振周波数の履歴を保存しておき、この履歴から共振周波数の変動傾向を監視する。例えば、ある１台の工作機械に対して定期的にフィルタ自動調整を実行することを考えると、共振周波数の履歴から、機械共振がどの程度の時間をかけて何Ｈｚ変動してきているかを追跡することができる。即ち、剛性低下の傾向（どのくらいの速さで機械剛性が経時劣化しているか）を調べることができる。

［実施例４］
次に、本発明の実施例４に係るサーボモータ制御装置について説明する。実施例４に係るモータ制御装置は、図１に示す実施例１に係るモータ制御装置と同様の構成を備えている。実施例４に係るサーボモータ制御装置が実施例１に係るサーボモータ制御装置と異なっている点は、共振周波数比較部９が、共振周波数記憶部７が記憶した共振周波数と基準共振周波数とを比較することによって機械の剛性の変化を検出し、さらに、共振周波数記憶部７が、測定回毎の共振周波数の履歴を保存し、共振周波数比較部９が、共振周波数記憶部７が記憶した共振周波数と共振周波数の履歴とを比較することによって機械の剛性の低下傾向を検出する点である。実施例４に係るサーボモータ制御装置の他の構成は実施例１に係るサーボモータ制御装置における構成と同様であるので詳細な説明は省略する。

次に、本発明の実施例４に係るサーボモータ制御装置の動作手順について、図８に示すフローチャートを用いて説明する。図８に示したフローチャートにおけるステップＳ４０１〜Ｓ４０７は、図３に示した実施例１に係るサーボモータ制御装置についてのフローチャートにおけるステップＳ１０１〜１０７と同様であるので、詳細な説明は省略する。

ステップＳ４０８において、共振周波数比較部９が、共振周波数記憶部７に記憶された共振周波数が基準共振周波数未満であるかを判断する。

共振周波数比較部９が、共振周波数が基準共振周波数未満となっていると判断した場合には、ステップＳ４０９において、共振周波数比較部９が機械剛性の低下を検出する。

次に、ステップＳ４１２において、後述する剛性変動通知部を設けた場合には、剛性変動通知部が機械の点検の必要性を表示する。

一方、共振周波数比較部９が、共振周波数が基準共振周波数以上となっていると判断した場合には、ステップＳ４１０において、共振周波数比較部９が、共振周波数記憶部７に記憶された共振周波数の低下傾向が有るか否かを判断する。共振周波数比較部９が、共振周波数の低下傾向が無いと判断した場合には、ステップＳ４０１に戻って共振周波数の検出を再度実行する。

一方、共振周波数比較部９が、共振周波数の低下傾向が有ると判断した場合には、ステップＳ４１１において、共振周波数比較部９が、機械剛性の低下傾向を検出する。

次に、ステップＳ４１２において、後述する剛性変動通知部を設けた場合には、剛性変動通知部が、機械の点検の必要性、または点検時期予測を表示する。

以上のように、本発明の実施例４に係るサーボモータ制御装置によれば、共振周波数の基準値と実測値とを比較することによって、基準値からのバラツキを測定することができ、部品組み付けの検査を行うことができる。例えば、同型の工作機械を１０機生産する場合、第１号の測定結果を基準値とすることによって、以降の９機に対して製造上の剛性バラツキを把握・管理し、品質向上を図ることができる。さらに、測定回毎の共振周波数の履歴を保存しておき、この履歴から共振周波数の変動傾向を監視する。例えば、ある一台の工作機械に対して定期的にフィルタ自動調整を実行することを考えると、共振周波数の履歴から、機械共振がどの程度の時間をかけて何Ｈｚ変動してきているかを追跡することができる。すなわち、剛性低下の傾向（どのくらいの速さで機械剛性が経時劣化しているか）を調べることができる。

即ち、共振周波数が基準共振周波数未満となっているか否かによって機械剛性の低下の有無を検出し、機械剛性が低下していないと判断した場合には機械剛性の低下傾向の有無を検出することができる。従って、機械剛性の低下が無い場合であっても将来的な機械剛性の低下に備えることができる。

上記の実施例４に係るサーボモータ制御装置においては、まず、共振周波数が基準共振周波数未満となっているか否かを判断し、次に、共振周波数の低下傾向の有無を判断する例について示したが、このような例には限られない。即ち、まず、共振周波数の低下傾向の有無を判断し、次に、共振周波数が基準共振周波数未満となっているか否かを判断するようにしてもよい。この場合は、共振周波数の低下傾向がないことに基づいて機械剛性の低下がないことが確認できるため、共振周波数を基準共振周波数と比較するステップを省略することができる。

［実施例５］
次に、本発明の実施例５に係るサーボモータ制御装置について説明する。実施例５に係るサーボモータ制御装置の構成図を図９に示す。実施例５に係るサーボモータ制御装置１０２が実施例１に係るサーボモータ制御装置１０１と異なっている点は、共振周波数比較部９が機械剛性の基準値からの低下、もしくは保持する剛性測定の履歴における低下傾向を検出した場合に、工作機械の部品または全体を点検するべきことを通知、または点検するべき時期を予測する剛性変動通知部１１をさらに有する点である。実施例５に係るサーボモータ制御装置１０２の他の構成は実施例１に係るサーボモータ制御装置１０１（図１参照）における構成と同様であるので詳細な説明は省略する。

実施例５に係るサーボモータ制御装置によれば、非分解での剛性の個体差や経時変化に基づいて、機械部品の組み付け具合を調べるための点検の必要性や、その点検時期予測を制御装置自身で行うことができる。製造時の剛性のバラツキが顕著な場合は共振周波数の測定値と基準値との比較によって速やかに検査の必要性が判断できるため機械の品質管理に活用でき、経年劣化が顕著な場合は、予め部品点検すべき時期を予測して機械の稼働率を向上させるのに役立てることができる。

以上説明したように本発明の実施例に係るサーボモータ制御装置によれば、機械組み立て時に共振周波数を基準値と比較することにより製造上の剛性バラツキを測定することができ、さらに、機械出荷後は定期測定によって機械剛性の経時変化を監視することができる。また、機械の分解なしに剛性測定を行うとともに、メンテナンス時期の自己予測が可能となる。

１速度指令作成部
２速度検出部
３トルク指令作成部
４正弦波生成部
５周波数応答算出部
６共振周波数検出部
７共振周波数記憶部
８フィルタ
９共振周波数比較部
１０速度制御ループ
１１剛性変動通知部

Claims

工作機械を駆動するためのサーボモータを制御する制御装置であって、
サーボモータの速度指令値を作成する速度指令作成部と、
サーボモータの速度を検出する速度検出部と、
前記速度指令値及び検出された前記速度に基づいてサーボモータのトルク指令値を作成するトルク指令作成部と、
正弦波外乱値を生成する正弦波生成部と、
前記正弦波生成部が生成した前記正弦波外乱値を前記速度指令値に加えることにより、前記トルク指令作成部及び前記速度検出部を含む速度制御ループへ正弦波外乱値を入力したときの前記速度検出部からの出力に基づいて周波数応答を算出する周波数応答算出部と、
算出された前記周波数応答の利得が極大となる周波数である共振周波数を検出する共振周波数検出部と、
前記共振周波数検出部が検出した前記共振周波数を記憶する共振周波数記憶部と、
前記トルク指令値に含まれる特定の周波数帯成分を減衰させる少なくとも１個のフィルタと、
前記共振周波数記憶部が記憶した前記共振周波数に基づいて工作機械の剛性を測定し、前記共振周波数に対して前記フィルタを調整する共振周波数比較部と、
を具備することを特徴とするサーボモータ制御装置。
前記共振周波数比較部は、前記共振周波数記憶部が記憶した前記共振周波数と基準共振周波数とを比較することによって機械の剛性の変化を検出する、請求項１に記載のサーボモータ制御装置。
前記共振周波数記憶部は、測定回毎の共振周波数の履歴を保存し、
前記共振周波数比較部は、前記共振周波数記憶部が記憶した前記共振周波数と前記共振周波数の履歴とを比較することによって機械の剛性の低下傾向を検出する、請求項１または２に記載のサーボモータ制御装置。
前記共振周波数比較部が機械剛性の基準値からの低下、もしくは剛性測定の履歴における低下傾向を検出した場合に、工作機械の部品または全体を点検するべきことを通知、または点検するべき時期を予測する剛性変動通知部をさらに有する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のサーボモータ制御装置。