JP6298858B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
12 インレットフランジ
14 ポンプインレット
16 ハウジング
18 回転軸
20 ローター軸
22 ローターディスク
24 ステーターディスク
26 スペーサーリング
28 吸い込み領域
30 矢印
32 ローターハブ
34 ホルベックロータースリーブ
36 ホルベックロータースリーブ
38 ホルベックステータースリーブ
40 ホルベックステータースリーブ
42 ローラー支承部
44 永久磁石支承部
46 支承半部
48 支承半部
50 永久磁石リング
52 永久磁石リング
54 半径方向の支承間隙
56 緊急用又は安全用支承部
58 円すい形のスプラッシュナット
60 吸収性のディスク
62 駆動モーター
64 制御ユニット
66 材料空所部
68 材料空所部
70 ハウジングの吸入側と反対の部分
72 熱流パス
74 内壁部
76 中央の孔部
78 外周面
Claims (13)
- 真空ポンプ(10)、特にターボ分子ポンプであって、ハウジング(16)、ステーター及びローター軸を有するローターを有し、このローター軸が、ハウジング(16)の吸引側の領域に設けられる第一の支承部によって、及びハウジングの反対側の領域に設けられる別の支承部によって支持されており、その際、吸引側のハウジング部分と、別の支承部を含むハウジング部分との間の熱抵抗を高める為に、ハウジング(16)の吸引側と反対の部分(70)が、複数の材料空所部(66,68)を設けられており、これらが、ラビリンス状に、複数の方向変化によって延長された熱流パス(72)が生じるように、ハウジング(16)内に設けられていることを特徴とする真空ポンプ。
- 吸引側と反対の、材料空所部(66,68)を設けられているハウジング(16)の部分が、内壁部(74)によって境界づけられる中央の孔部(76)を有し、そして材料空所部(66,68)が、ハウジング(16)の内壁部(74)からもハウジング(16)の外周面(78)からも出発してハウジング(16)内に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 材料空所部(66,68)が、ハウジング(16)の軸方向でみて、ハウジング(16)の内壁部(74)から出発して、及びハウジング(16)の外周面(78)から出発して交互にハウジング(16)内へと設けられていることを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ。
- 材料空所部(66,68)がコーム状に入れ子式に介入する請求項3に記載の真空ポンプ。
- 少なくとも一つの材料空所部(66,68)が、少なくとも部分的に半径方向に延在していることを特徴とする請求項1から4の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
- 材料空所部(66,68)を設けられたハウジング(16)の部分(70)の半径方向の壁厚が、半径方向に延在する材料空所部の深さの3倍よりも大きいことを特徴とする請求項5に記載の真空ポンプ。
- ハウジング(16)の外周面(78)から出発してハウジング(16)内に設けられた、半径方向に延在する材料空所部(68)が、材料空所部(66,68)を設けられたハウジング(16)の部分の直径において終了する深さを有し、これが、材料空所部(66,68)を設けられたハウジング(16)の部分の内直径の1.1倍よりも大きく、外直径の0.75倍よりも小さいことを特徴とする請求項5または6に記載の真空ポンプ。
- 材料空所部(66,68)が、少なくとも部分的に軸方向に延在していることを特徴とする請求項1から7の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
- 材料空所部(66,68)が、少なくとも部分的に、穿孔、スリット及び/又は孔部の形式でハウジング(16)内に設けられていることを特徴とする請求項1から8の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
- 少なくとも一つの材料空所部(66,68)が、完全に、部分的に、又は段階的に、ハウジング(16)の長手方向軸を中心として推移する穿孔又はスリットとして設けられていることを特徴とする請求項1から9の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
- 材料空所部(66,68)が、少なくとも部分的に空気又はガスのみによって満たされた自由空間を形成することを特徴とする請求項1から10の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
- 材料空所部(66,68)内に少なくとも部分的に、熱隔離固体が組み込まれていることを特徴とする請求項1から11の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
- 吸引側のハウジング部分の領域に加熱装置が設けられていることを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
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