JP6128772B2 - 化学分析装置の校正方法及び化学分析装置 - Google Patents
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Description
気体の測定対象物質の濃度を測定する化学分析装置に交換可能な検出器を基準装置に接続する第1のステップと、
予め気体の複数の濃度が判明している基準対象物質に接触させ、基準対象物質の検出値と基準対象物質の濃度値から基準検量線を得て、この基準検量線の単位濃度当たりの基準勾配係数を求め、
前記求めた基準勾配係数を予め前記基準装置に記憶させてある理論検量線の単位濃度当たりの理論勾配係数と等しくなるように補正する補正係数を算出し、
この算出した補正係数を前記検出器に記録する第2のステップと、
前記補正係数が記録された前記検出器を化学分析装置に接続する第3のステップと、
前記化学分析装置に前記検出器に記録された補正係数を入力する第4のステップと、
前記第4のステップにおいて、
前記化学分析装置は、気体の測定対象物質を含まない大気中にてゼロ点校正を行った後、
前記化学分析装置に前記検出器に記録されている補正係数を入力することを特徴とする化学分析装置の校正方法である。
この実施の形態の化学分析装置の校正方法を、図1乃至図4に基づいて説明する。図1は化学分析装置の校正方法を説明する概略図、図2は基準装置の概略構成図、図3は化学分析装置の校正方法を説明する工程図、図4は基準勾配係数を求める方法を示す図、図5は補正係数を算出する方法を示す図、図6は測定対象物質の検量線を示す図である。
この実施の形態の化学分析装置30を、図7乃至図9に基づいて説明する。図7は化学分析装置の正面図、図8は化学分析装置の側面図、図9は化学分析装置の構成ブロック図である。
11 基準オゾンガス発生装置
12 チャンバー
13 データロガー
14 処理装置
20 検出器
30 化学分析装置
A 検出情報入力手段
B 基準検量線作成手段
C 基準勾配係数算出手段
D 理論勾配係数記憶手段
E 補正係数算出手段
Claims (2)
- 気体の測定対象物質の濃度を測定する化学分析装置に交換可能な検出器を基準装置に接続する第1のステップと、
予め気体の複数の濃度が判明している基準対象物質に接触させ、基準対象物質の検出値と基準対象物質の濃度値から基準検量線を得て、この基準検量線の単位濃度当たりの基準勾配係数を求め、
前記求めた基準勾配係数を予め前記基準装置に記憶させてある理論検量線の単位濃度当たりの理論勾配係数と等しくなるように補正する補正係数を算出し、
この算出した補正係数を前記検出器に記録する第2のステップと、
前記補正係数が記録された前記検出器を化学分析装置に接続する第3のステップと、
前記化学分析装置に前記検出器に記録された補正係数を入力する第4のステップと、
前記第4のステップにおいて、
前記化学分析装置は、気体の測定対象物質を含まない大気中にてゼロ点校正を行った後、
前記化学分析装置に前記検出器に記録されている補正係数を入力することを特徴とする化学分析装置の校正方法。 - 前記測定対象物質が、少なくとも酸素、水素、オゾン、硫化水素、アルシン、ホスフィンのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の化学分析装置の校正方法。
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