JP6116690B2 - 反射性電極を有するオプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法 - Google Patents
反射性電極を有するオプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法 Download PDFInfo
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Description
オプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法を特定する。
解決すべき１つの課題は、完成した半導体チップにおいて、半導体チップの特に大部分の活性領域を利用できるオプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法を特定することである。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、本方法によってオプトエレクトロニクス半導体チップを製造することができる。オプトエレクトロニクス半導体チップは、太陽電池やフォトダイオード等の放射を受け取る半導体チップとすることができる。さらに、オプトエレクトロニクス半導体チップは、発光ダイオードチップ等の発光半導体チップとすることができる。
本方法によって、特に、オプトエレクトロニクス半導体チップの上面に、作動中受け取るかまたは生成する電磁放射が通過する電流拡散金属ウェブ、およびボンディングパッド等の電気接触領域が存在しないオプトエレクトロニクス半導体チップを製造することができる。それにより、電気接触領域によって、電磁放射の一部を遮断および／または吸収してしまうリスクが低減される。そのことによって、有利なことに、接触領域の製造に関連する複雑な方法ステップ（例えば、半導体チップの上面を研磨する工程、および／もしくは電流拡散のための金属ウェブを形成する工程）、ならびに／または、オプトエレクトロニクス半導体チップの、電気接触領域の下方領域への電流注入を制限および／もしくは防止する手段（例えば、電気絶縁層、ショットキー障壁、および／もしくはイオン注入領域の接触領域下における形成）を省略することができる。上記のような半導体チップは、例えば、特許文献１に記載されており、この文献は、本明細書によって、参照により明示的に援用される。
本オプトエレクトロニクス半導体チップの少なくとも一実施形態によれば、始めに半導体積層体を設ける。半導体積層体を例えば成長基板上にエピタキシャルに堆積させる。成長基板は、例えばサファイアまたはシリコンを用いて形成することができる。例えば、少なくとも一つのｎ型導電性半導体領域、活性領域、およびｐ型導電性半導体領域を、成長基板上にエピタキシャル成長させる。活性領域はこの場合、電磁放射を受け取るかまたは生成するための、完成したオプトエレクトロニクス半導体チップ内に設けられ得る。さらに、半導体積層体は、結晶適応（crystallographic adaptation）のための緩衝領域、エッチング停止層、犠牲層、電流拡散層、および接触層等の、さらなる半導体領域を含むことができる。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、次いで、例えば金属ミラー層を、成長基板とは反対側の半導体積層体の上面に配置する。この場合、少なくとも１層の金属ミラー層を配置する。この場合、少なくとも１層の金属ミラー層を備えるミラー層積層体（mirror layer sequence）を配置することもできる。ミラー層積層体は、例えば純金属または金属合金からなる金属層を備えることができる。さらに、ミラー層積層体は、ドープした金属酸化物および／またはセラミック材料を含むことができる。金属ミラー層は、本実施形態では、半導体積層体に直接隣接させることもでき、または、金属ミラー層の材料の半導体積層体中への拡散を防止しかつ／または金属ミラー層と半導体積層体との電気的接続性を向上させるためのさらなる層を半導体積層体と金属ミラー層との間に配置することもできる。このような追加層は、配置される場合、作動中受け取るかもしくは生成する電磁放射を透過させる材料を用いて形成されるか、またはこのような追加層は開口部を有する。電磁放射は、当該追加層を通ってミラー層に達することができる。
次の方法ステップにおいて、ミラー保護層を、少なくともミラー層の露出側面に配置する。この目的のために、例えば、金属ミラー層が、金属ミラー層材料を有しない溝によって互いに隔てられ、互いに離間した複数の領域を有するように、金属ミラー層は、半導体積層体の上面に構造化して配置される。この時、金属ミラー層の、当該個々の領域の境界は、横方向の露出側面によって画定される。この場合、横方向は、例えば成長基板または半導体積層体の成長領域の主延在面と平行に広がる平面において延伸する。金属ミラー層の露出側面は、上記主延在面に対して、したがって横方向に対して垂直または横断方向に延在することができる。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、半導体積層体を、次の方法ステップにおいて部分的に除去する。半導体積層体の除去は、例えばエッチングなどの化学的処理によって行うことができ、当該処理において、半導体積層体の除去の間、ミラー保護層は、ミラー保護層が被覆する金属ミラー層の領域を保護する。ミラー保護層は、金属ミラー層に直接隣接することができる。すなわち金属ミラー層と直接接触していることができる。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー層は、半導体積層体に向かう開口部を有し、当該開口部は、横方向においてミラー保護層に囲われる。すなわち、当該開口部の境界は、横方向においてミラー層の露出側面によって画定され、次いで当該露出側面は、ミラー保護層により被覆され、その結果ミラー保護層は、横方向において開口部を囲う。この場合、ミラー保護層は、好ましくは完全に金属ミラー層の側面を被覆し、その結果金属ミラー層は、製造公差の範囲内において、少なくとも側面では全面において露出しない。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー層の開口部の領域内で、半導体積層体の部分的除去を行う。このことは、半導体積層体の材料が開口部を通じて除去されることを意味する。ミラー層における開口部から始まり、半導体積層体除去後、凹部または開口部は、半導体積層体内まで延在する。ただし、この場合、半導体積層体は、完全には貫通されず、凹部または開口部は、むしろ半導体積層体の所定の深さ（例えば、最大で、半導体積層体の厚さの８０％）まで延在するのみである。言い換えると、開口部の領域内での半導体積層体の部分的除去では、成長基板は露出せず、むしろミラー層の開口部により形成される半導体積層体内の凹部または開口部の底面が、例えば緩衝層等の半導体積層体材料によって形成される。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー層の露出側面へのミラー保護層の配置は、自己配置により行なう。換言すれば、例えば、ミラー層の側面との位置を合わせることが必須の感光技術（photo-technology）等の実施なしに、ミラー部の側壁のマッチングがなされる。つまり、ミラー層の露出側面にミラー保護層を配置する間の自己配置作用のため、特に、例えばミラー層の露出側面に位置を合わせたフォトレジストを感光させるマスク技術（mask technology）を省略できることを意味する。ミラー層の配置は、このように、特にマスク技術または感光技術を含まない処理ステップによって行われる。
本発明のオプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法の少なくとも一実施形態によれば、当該方法は、少なくとも、
半導体積層体を設けるステップと；
前記半導体積層体の上面に金属ミラー層を配置するステップと；
前記ミラー層の少なくとも露出側面にミラー保護層を配置するステップと；
前記半導体積層体を部分的に除去するステップとを含み、
前記ミラー層は、横方向において前記ミラー保護層に囲われる、前記半導体積層体に向かう開口部を有し；
前記半導体積層体の部分的除去は、前記ミラー層の前記開口部の領域内で行われ；
前記ミラー層の前記露出側面への前記ミラー保護層の配置は、自己配置により行なう。
半導体積層体を設けるステップと；
前記半導体積層体の上面に金属ミラー層を配置するステップと；
前記ミラー層の少なくとも露出側面にミラー保護層を配置するステップと；
前記半導体積層体を部分的に除去するステップとを含み、
前記ミラー層は、横方向において前記ミラー保護層に囲われる、前記半導体積層体に向かう開口部を有し；
前記半導体積層体の部分的除去は、前記ミラー層の前記開口部の領域内で行われ；
前記ミラー層の前記露出側面への前記ミラー保護層の配置は、自己配置により行なう。
本方法は、本明細書に記載の方法ステップの経時的前後、または、本明細書に記載の方法ステップの途中で実行される方法ステップを含むことができる。特定した、方法ステップの順序が、本発明において好ましい。
本明細書に記載の方法によれば、ミラー保護層を、ミラー層の開口部の領域内での半導体積層体の部分的除去前に、ミラー層の露出側面に自己配置させる。
あるいは、金属ミラー層を構造化し、また、半導体積層体を部分的に除去するために、例えば二種類の異なる感光技術を用いることができる。信頼性のあるアライメントのために、金属ミラー層の構造化および半導体積層体の部分的除去を実現するために必要とされる二種類のマスクは、この場合、典型的には数マイクロメートルの相互のずれを必然的に生じる。当該ずれによって、相対的に高い面積損失が生じ得る。すなわち、活性領域は、この場合、金属ミラー層の露出側面を越えて、横方向に数マイクロメートルという非常に遠いところまで突出し得る。放射生成型オプトエレクトロニクス半導体チップの場合、放射は、突出領域内の活性領域においては生成されない。
本明細に記載の方法によれば、金属ミラー層の側面を越える活性領域の横方向への突出を縮小できるため、活性領域の有効面積を拡大することができる。このことによって、半導体の通電面積は拡大されるため、発光を増大することになる。ミラー部の金属（mirror metal）における凹部のサイズを維持することができる場合、代わりにスルーコンタクトの端部領域を拡大できる可能性がある。境界抵抗の低減によってコンポーネントの電気効率が向上する。さらに、両作用機序の複合利用を得ようとすることもできる。
さらに、本明細書において提案の、オプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法は、特に、半導体チップの個別層の材料を保護するものであり、それによって、例えば金属ミラー層および／または半導体積層体へのダメージを防ぐことができる。本明細書に記載の方法の場合、従来の方法の場合よりもオプトエレクトロニクス半導体チップに汚染物質が生じない。さらに、例えばスパッタリング工程によって半導体積層体に結晶欠陥を生じることがない。最後に、本方法は、特に、さらなる感光技術の省略によって、大いに時間を短縮できるため、特に費用効率よく実施可能である。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー層の露出側面にミラー保護層を自己配置させるために、以下の方法ステップが行われる。
始めに、半導体積層体とは反対側のミラー層の上面にミラー保護層を配置する。ミラー保護層は、ミラー層に向かう開口部を有する。このことは、ミラー保護層がこの方法ステップの段階ではまだミラー層の側面を被覆せず、半導体積層体の反対側のミラー層の面を部分的に被覆していることを意味する。ミラー保護層は、ミラー層に向かう開口部を有し、当該開口部を通してミラー層内に開口部を形成する。この場合、ミラー保護層を直接または間接的にミラー層の上面に配置することができる。ミラー保護層を直接ミラー層の上面に配置する場合、ミラー保護層は、金属ミラー層の上面において金属ミラー層と直接接触している。間接的に配置する場合、例えば、半導体積層体とは反対側の金属ミラー層の上面を完全に被覆する少なくとも一つのさらなる層を金属ミラー層と、ミラー保護層との間に配置する。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー保護層の開口部の領域内での金属ミラー層を部分的に除去してミラー層内に開口部を形成する。このような除去は、湿式化学エッチング等の湿式化学手法によって行う。この場合、ミラー保護層は、除去の間、当該手法のためのマスクとして利用される。ミラー保護層の開口部を通してのミラー層の除去の間、ミラー層の上面に配置されたミラー保護層がミラー層の露出側面を越えて横方向に突出するように、金属ミラー層を除去する。例えば、湿式化学エッチングステップによって、ミラー保護層の側面よりも内側にミラー層を後退させるために、ミラー保護層をエッチングマスクとして用いる。
さらなる方法ステップにおいて、ミラー層の側面を越えて横方向に突出するミラー保護層の少なくとも一部分がミラー層の側面に沿って流れ、流れた後に当該側面を被覆するように、ミラー保護層を軟化させる。このことは、熱処理等によってミラー保護層が軟化し、例えば重力に従って変形し得ることを意味する。金属ミラー層の露出側面は、このようにミラー保護層に包まれ、それによって後続の、半導体積層体の構造化工程の間、保護される。本方法の中で、追加の保護層は不要である。ミラー層の側面に沿う、軟化したミラー保護層の流れは、重力、静電力、毛管力、および／または遠心力等によって付勢される。この場合、半導体積層体は、例えば電界内および／または遠心分離機内に配置することができる。
本方法において、必要とされるミラー部の後退、すなわちミラー層の露出側面を越える横方向へのミラー保護層の突出が、相対的に大きくなり、それによってミラー層の側面と、半導体積層体内の開口部との最短距離が限定的となることは不利であると考えられる。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー保護層は、感光技術で構造化可能な材料を用いて形成される。このことは、特に、ミラー保護層がフォトレジストを含むことを意味する。このことは、ミラー層に向かうミラー保護層の開口部を、特に容易に形成可能であるという利点を有する。さらに、感光技術で構造化可能な材料は、例えば加熱による軟化時に、ミラー層の側面に沿って流れることに特に適している。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー層の露出側面へのミラー保護層の自己配置として、次の方法ステップを実施する。すなわち、半導体積層体とは反対側のミラー層の上面と、ミラー層の露出側面とにミラー保護層の適合的堆積（conforming deposition）を行う。この方法によって、金属ミラー層の露出側面と、半導体積層体内の開口部との間の距離を非常に小さくすることができる。ミラー保護層の堆積によって、半導体積層体とは反対側のミラー層の面と、ミラー層の露出側面との両方の面を均一な厚さのミラー保護層材料で被覆する。この目的のために、特に、プラズマ化学気相成長法、原子層堆積法、または化学気相成長法等の方法を用いることができる。特に、原子層堆積法（ＡＬＤとも呼ばれる）が、非常に高密度のミラー保護層を適合的に（in a conforming manner）堆積させることに、特に適している。
ＳｉＯ２層は、やや適合性および密度が低いが、その代りに堆積速度が特に速く、前駆体材料であるオルトケイ酸テトラエチル（ＴＥＯＳ）を用いて、プラズマ化学気相成長（ＰＥＣＶＤ）法によって代替的に形成され得る。本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー保護層は、酸化物または窒化物を用いて形成される。例えば、ミラー保護層は、酸化シリコン、窒化シリコン、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、および／または酸化チタンを含むことができる。さまざまな方法を、ミラー保護層を具現化するために組合せることもできる。例えば、低密度の層をＡＬＤ層と組合せることができる。
本方法において、ミラー層の露出側面を被覆しない、中間保護層を、ミラー保護層を設ける前にミラー層の上面に設けることが有利であり得る。中間保護層の材料は、被覆材料として使用される。このような中間保護層は、ミラー保護層を設ける際の、ミラー保護層の高エネルギー物質、反応性イオン、またはガス等によるダメージから、下方のミラー層を保護する目的に適し得る。
ミラー保護層の適合的堆積後、ミラー保護層の表面を完全にエッチバックする。この目的のため、特に、反応性イオンを用いた乾式化学エッチング、または単に機械的バックスパッタリング処理等の最も異方性の大きいと思われる方法が選択される。中間保護層の除去を可能な限り少なくするために、当該工程には終点認知（endpoint recognition）が備わっている。異方性エッチングの反応によって、ミラー保護層の材料は、層の段差部おいてのみ維持され、自己配置による開口部が後工程の半導体材料のエッチングのために形成される。
代替として、ミラー層またはミラー層スタック、およびミラー保護層を、共通のフォトマスクを用い、リフトオフ法によって構造化する場合、ミラー保護層の開口部を形成しないこともできる。この場合、ミラー保護層は、中間保護層の機能を引き受けることにもなるであろう。リフトオフ法に関しては、この場合、誘電材料を堆積するために、低温の方法が必要である。誘電材料の堆積は、ＣＶＤ、ＰＥＣＶＤ、蒸着、またはスパッタリングによって行うことができる。レジストの温度応力は重要であり、最大で２００〜２２０℃とされる。ミラー層は、可能性ある中で最も所望の方法（例えば、蒸着）によって堆積され、ミラー保護層は、可能性ある中で最も望ましくない方法（例えば、低温ＣＶＤまたはスパッタリング）によって堆積されなければならない。このように、ミラー保護層により、ミラー層が完全に被覆される。
ミラー層の側面と対応する半導体積層体内の開口部との間に形成される距離は、本方法の場合、ミラー保護層の厚みの範囲内である。有利なことに、中間保護層および／またはミラー保護層の少なくとも一部が、さらなる一連の方法において、半導体コンポーネントにおける電気絶縁層として残存可能である。このように、本方法では、どのような場合にも必要とされる絶縁層の形成を追加的な方法ステップとして不要とし、それにより大いに時間を節約でき、かつ費用効率の良い、オプトエレクトロニクス半導体チップの製造を実現することができる。ミラー部の気密封止は、中間保護層および／またはミラー保護層によって形成することができる。
さらに、次の乾式化学エッチング工程までにミラー部の気密封止が既に形成され、気密性のチェックが行われることが有利である。漏れがある場合、ミラー部に顕著な腐食が生じるため、このような部分は、光学検査によって容易に位置を特定することができる。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー保護層をミラー層の露出側面に自己配置させる前に、半導体積層体とは反対を向くミラー層の上面に、少なくとも１層の中間保護層を配置する。
ミラー保護層をミラー層の露出側面に自己配置させる際、少なくとも１層の中間保護層の露出側面も、ミラー保護層で被覆する。この場合、中間保護層およびミラー保護層は、同一材料または異なる材料により形成することができる。中間保護層は、特にミラー保護層を設ける際のダメージからミラー層を保護することができる。
例えば、中間保護層は、酸化物または窒化物を用いて形成することができ、特に、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、または酸化チタンのうちの少なくとも１つを用いて形成される。
中間保護層は、特に本発明における実際のミラー層よりも厚くして具現化することができる。例えば、中間保護層は、少なくとも２００ｎｍの厚さを有する一方、金属ミラー層は、２００ｎｍ未満の厚さを有する。しかしながら、代替として、中間保護層をミラー層よりも薄くすることもできる。後続のエッチング処理時のわずかなオーバーエッチングが原因で中間保護層が薄くなる場合に、中間保護層が化学物質不浸透性（chemical-tight）であり、またその性質を維持することが中間保護層の厚さとして重要である。
中間保護層は、特に、ミラー保護層を適合的に堆積させる方法の場合の堆積工程時に生じるダメージからミラー層を保護する点において特に利点を有することを示した。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー層は銀を含み、半導体積層体の部分的除去は、ハロゲン化物含有材料を用いたエッチングによって行われる。この場合、特に、金属ミラー層は、銀からなることができる。銀は、可視スペクトル域の光に対する高い反射性で際立って優れている。しかしながら、銀は、さまざまな化学物質によって腐食し、この場合、好ましい光学的特性を失い得る。例えば、銀は、フッ素および塩素といったハロゲン元素と反応しやすい。ところが、これらのハロゲン元素は、半導体積層体の乾式化学手法による構造化のために、または例えば二酸化ケイ素を用いて形成される絶縁層を構造化するために、好ましく使用される。このように、半導体積層体の部分的除去は、好ましくは、塩素化したエッチング剤を用いるドライケミストリーによって行われる。
銀と代替的に、または銀に追加して、ミラー層は、例えばアルミニウム、金、またはロジウム等の別の金属を用いて形成することもできる。これらの金属もまた、ハロゲン元素と反応しやすく、ハロゲン元素と接触する場合に、良好な反射特性を失い得る。金は、赤色／赤外線スペクトル域の電磁放射の反射に関して、特に適している。
ミラー保護層は、本発明においては、ハロゲン化物を含有する、乾式化学エッチング剤への耐性を有する点で適するように選択される。
本発明の少なくとも一実施形態によれば、半導体積層体の部分的除去の際、半導体積層体の活性領域は貫通され、活性領域の側面は露出する。このことは、半導体積層体の部分的除去は、活性領域を通る経路を形成するために用いられることを意味する。例えば、当該除去によって、ｐ型導電層および活性層を貫通してｎ型導電半導体層内部またはそれを越えて延在する凹部または開口部が、半導体積層体内に設けられる。このように、半導体積層体内に形成された凹部または開口部であって、半導体積層体の活性領域とは反対側のミラー層の面に配置される凹部または開口部を介して、半導体層との接続を行う。
活性領域の側面を露出させた後、好ましくは、さらなる保護層を活性領域の露出側面に自己配置させる。すなわち、ミラー部の露出側面にミラー保護層を自己配置させることに加えて、後続の方法ステップにおいて、半導体積層体を貫通して延在する凹部または開口部内の活性領域の露出側面に、さらなる保護層を自己配置させる。これにより、スルーコンタクト内の、露出したｐｎ接合の自己配置によるパシベーションがもたらされる。さらなる保護層は、特に半導体パシベーション層として用いられ、部分的に半導体材料と直接隣接することができる。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、さらなる保護層の自己配置は、半導体積層体とは反対側のミラー層の上面および活性領域の露出側面への、さらなる保護層を適合的に堆積することによって行われる。したがって、特に、さらなる保護層は、半導体積層体内の凹部または開口部の全壁面に沿って延在することができ、また、特に凹部または開口部の底面を被覆することができる。適合的堆積はこの工程でも、上述の方法の内の１つを用いて行うことができる。特に、二酸化ケイ素、Ｓｉ３Ｎ４、および／もしくはＡｌ２Ｏ３等の酸化物または窒化物を、さらなる保護層の材料としてこの工程でも用いることができる。この場合、特に、上記材料から形成される層スタックを用いることもでき、層スタック中のさまざまな層を異なる材料を用いて形成することもできる。
さらなる保護層の局所的除去については、例えば、半導体積層体の部分的除去によって形成された凹部または開口部の底面上に、異方性エッチングステップを行うことができる。このステップは、例えばＦ−ＲＩＥを用いた、例えばプラズマエッチングによって行われる。エッチング処理の間、好ましくは、終点認知を行い、設けた場合の中間保護層の除去を可能な限り少なくする。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、半導体積層体の半導体緩衝領域を、ミラー層とは反対側の活性領域の側において露出させる。特に、半導体緩衝領域の一部である、半導体積層体の電気端子層を露出させる。半導体緩衝領域は、成長基板と、実際の活性領域との間の結晶適応層として利用される。例えば、半導体緩衝領域は、ドープしても、非ドープでもよい。特に、半導体緩衝領域を、例えばｎ型導電性として具現化することもできる。さらなる保護層に沿って延在し得る導電性材料を、露出した半導体緩衝領域、すなわち、例えば電気端子層に設けることができる。この場合、さらなる保護層は、導電材料から、活性領域の側面を特に電気的に絶縁し、その結果、半導体積層体のｐｎ接合において、導電材料による短絡は起こらない。言い換えれば、さらなる保護層はこの場合、活性領域を通り、例えば半導体積層体のｎ型導電性側から半導体積層体のｐ型導電性側の中まで延在するスルーコンタクトを電気的に絶縁するための電気絶縁層を形成する。このように、コンタクト面を、上述のように、オプトエレクトロニクス半導体チップの放射通過面に配置しなければならないという不都合なく、例えば半導体ボディのｐ型導電性側またはｎ型導電性側の接続を形成することができる。
本明細書に記載の方法の少なくとも一実施形態によれば、活性領域および／または中間保護層は、活性領域の側面の露出後、ミラー層を越えて横方向に突出し、活性領域および／または中間保護層は、最大で２０００ｎｍ、特に、最大で１０００ｎｍ、ミラー層を越えて横方向に突出する。このことは、特に放射を生成するために使用することができない、金属ミラー層の側面と活性領域の側面との間の、活性層の面積を非常に小さくとどめることができることを意味する。
本明細書に記載の方法の少なくとも一実施形態によれば、中間保護層および／またはミラー保護層は、完成したオプトエレクトロニクス半導体チップ中に残り、半導体チップのコンポーネントを保護および／または電気的に絶縁するために用いられる。この場合、半導体積層体の側面にはミラー保護層が存在しない状態とすることができる。
以下では、例示的な実施形態および関連する図面に基づき、本明細書に記載の方法を詳細に説明する。
図面において、同一もしくは類似の構成要素、または機能が同じである構成要素には、同一の参照符号を付す。図面、および図示した要素の互いのサイズの比率は一定ではない。むしろ、個別の要素は、より上手く図示できるように、かつ／またはより深く理解されるように、誇張した大きさで図示され得る。図１〜図４は、製造されるオプトエレクトロニクス半導体チップの一部の詳細を示す。この詳細はいずれも、断面図の左右に適宜拡大され得る。
本明細書に記載の方法の第一の例示的な実施形態を、図１Ａ〜図１Ｊの模式的な断面図に関連して詳細に説明する。図１Ａは、第一の方法ステップを示しており、このステップでは、半導体緩衝領域１４を成長基板５の上面に堆積する。例えば、成長基板は、サファイア基板またはシリコン基板であり、この成長基板上に、例えば窒化物化合物半導体材料をベースとする半導体積層体１０を堆積させる。例えば、半導体緩衝領域１４は、ＧａＮを用いて形成される層である。次いで、ｎドープ領域１３、活性領域１２、およびｐドープ領域を、エピタキシャルに堆積させる（図１Ｂ）。
次いで、成長基板５とは反対側の半導体積層体１０の上面への金属ミラー層２１の配置を行う（図１Ｃ）。例えば、金属ミラー層２１は銀ミラーであり、その厚さは、例えば少なくとも１００ｎｍ、かつ最大で２００ｎｍ、特に、約１４０ｎｍとすることができる。例えば、金属ミラー層は、蒸着またはスパッタリングによって形成する。
次の方法ステップでは、ミラー保護層３を、金属ミラー層２１の上面２１ａに設ける。本発明では、ミラー保護層３は、感光技術で構造化可能な材料であり、例えばポジ型フォトレジストである（図１Ｄ）。
次いで、保護層３を、例えばマスク（図示せず）を介して露光させる（図１Ｅ）。このように、構造化されたミラー保護層３を形成する（図１Ｆ）。
次の方法ステップでは、湿式化学エッチングステップＡを行う（図１Ｇ）。当該ステップの際、ミラー保護層３の部分３０が金属ミラー層２１の露出側面２１ｃを越えて横方向ｌに突出するように、ミラー層２１は、保護層３の側面３ｃよりも内側に横方向ｌに後退する。ミラー層における開口部２３は、ミラー層２１の構造化によって形成される。
次いで、例えば、熱処理によってミラー保護層３を軟化させる。ミラー保護層３の、少なくとも横方向に突出する部分３０は、重力等によって、半導体積層体１０方向に、ミラー層２１の露出側面２１ｃに沿って流れ、それによって露出側面２１ｃをミラー保護層３で濡らし、被覆する。ミラー層２１の側面２１ｃは、この時点でミラー保護層３によって保護される（図１Ｈ）。
次いで、ドライエッチングステップを行う。このステップ中、半導体積層体１０の材料を、少なくとも部分的に除去し、その結果、凹部または開口部が半導体積層体１０内に形成される。開口部の領域では、ミラー保護層３の側面３ｃ、ｐ型導電性領域の側面１１ｃ、活性領域の側面１２ｃ、およびｎ型導電性領域の側面１３ｃが露出している。
図１Ｊに関連して説明されるさらなる方法ステップにおいて、ミラー保護層３を例えば剥離によって除去する。オプトエレクトロニクス半導体チップを接続し、また完成させるための後続の方法ステップを例えば図２Ｌ〜図２Ｐに関連して記載するように実施する。当該後続の方法ステップを以下に説明する。
本明細書に記載の方法のさらなる例示的な実施形態を、図２Ａ〜２Ｐの模式的な断面図に関連して詳細に説明する。
始めに、成長基板５を設け、成長基板５上に、例えば半導体緩衝領域１４をエピタキシャルに堆積する（図２Ａ）。
次いで、半導体積層体１０にｎ型導電性領域１３、活性領域１２、およびｐ型導電性領域１１をエピタキシャルに設ける（図２Ｂ）。それにより、例えば、オプトエレクトロニクス半導体チップが放射生成型の半導体チップであれば、完成した半導体チップの活性領域１２において電磁放射が生成する。
次の方法ステップにおいて、金属ミラー層２１を、半導体基板５とは反対側の半導体積層体１０の上面に堆積させる（図２Ｃ）。
図２Ｄに関連して記載される方法ステップでは、例えばネガ型フォトレジストを用いて形成されるフォトレジスト層８１を、成長基板５とは反対側の半導体積層体１０の上面に、例えばスピン堆積（spin-deposit）させて設ける。
次の方法ステップでは（図２Ｅ）、フォトレジスト８１を露光して、現象させてフォトマスク８１を形成する（図２および図２Ｆを参照）。このように、ミラー層２１が構造化された形で設けられ得る領域を、フォトマスク８１を介して構造化する。半導体積層体上の、フォトマスク８１を介して形成された開口部内にミラー層２１を設けた後、中間保護層４を、半導体積層体とは反対側の側に設ける。中間保護層４は、例えばシランから作製される二酸化ケイ素を用いて形成される。あるいは、中間保護層は、蒸着またはスパッタリングによっても形成することができる。
さらなる方法ステップでは、フォトマスク８１を除去し、ミラー層２１の側面２１ｃを露出させる（図２Ｈ）。すなわち、側面２１ｃは、ミラー層２１の開口部２３において、自由にアクセス可能である。また、中間保護層４の側面４ｃは、自由にアクセス可能である。
次の方法ステップにおいて、ミラー保護層３を、成長基板５とは反対側の中間保護層４の上面と、中間保護層４およびミラー層２１の側面とに、適合的に堆積させる（図２Ｉ）。中間保護層４は、この堆積作業中のダメージからミラー層を保護する。適合的堆積によって、金属ミラー層２１の露出側面と、後に形成される、半導体積層体１０内の開口部との間の距離を非常に小さくすることができる。ミラー保護層３の適合的堆積によって、ミラー層２１の、半導体積層体１０とは反対側の面および露出側面２１ｃの両方を、ミラー保護層３の材料で均一な厚さで被覆する。この目的のために、特に、プラズマ化学気相成長法、原子層堆積法、または化学気相成長法等の方法を用いることができる。特に、原子層堆積法（ＡＬＤとも呼ばれる）が、とりわけ高密度のミラー保護層３を適合的に堆積させるには特に適している。ＳｉＯ２層は、やや適合性および密度が低いが、その代りに堆積速度が特に速く、前駆体材料であるオルトケイ酸テトラエチル（ＴＥＯＳ）を用いて、ＰＥＣＶＤ法によって代替的に形成することができる。
本方法の少なくとも一実施形態によれば、ミラー保護層は、酸化物または窒化物を用いて形成される。例えば、ミラー保護層は、酸化シリコン、窒化シリコン、窒化アルミニウム、および／または酸化アルミニウムを含むことができる。
次の方法ステップでは、異方性エッチングを行う。この異方性エッチングでは、成長基板５とは反対側の中間保護層４の上面のミラー保護層３を完全に除去し、また、開口部２３において、ミラー保護層３の材料を除去し、半導体積層体１０を露出させる（図２Ｊ）。中間保護層は、この時、反応性であり、激しく加速した塩素およびアルゴンイオンからミラー部を保護する。
次いで、例えば塩化物等のハロゲン化物を用いて乾式化学エッチングを行う。乾式化学エッチングによって、ミラー層２１の開口部２３内で、半導体積層体を、部分的に除去する。そうして形成された凹部または開口部の底面において、例えば、半導体緩衝領域１４が、開口部２３内に露出される（図２Ｋ）。
次の方法ステップでは、ミラー層２１の側面２１ｃおよび活性領域１２の側面がさらなる保護層８で被覆されるように、さらなる保護層８を、また、適合的に堆積させる（図２Ｌ）。上記の状態を図２Ｌに示す。
以上のように、特に、さらなる保護層８が、半導体積層体１０における凹部または開口部の全壁面に沿って延在することができ、また、特に、当該凹部または開口部の底面を被覆することもできる。
この場合も、適合的堆積は、上記の方法の内の１つによって行うことができる。この場合も、特に、二酸化ケイ素、Ｓｉ３Ｎ４、および／もしくはＡｌ２Ｏ３等の酸化物または窒化物を、さらなる保護層８の材料として使用することができる。この場合、特に、上記材料から形成される層スタックを用いることもでき、層スタック中のさまざまな層を異なる材料を用いて形成することもできる。
図２Ｍに関連して記載される方法ステップでは、成長基板５とは反対側のさらなる保護層８の面にフォトマスク８１を設ける。次いで、さらなる保護層８を、異方性エッチバックによって部分的に除去する（図２Ｎ）。このように、半導体緩衝層１４を部分的に露出させ、さらなる保護層８を、ｐｎ接合、すなわち活性領域の側面１２ｃのパシベーションとして特に用いる。さらなる保護層８は、中間保護層４上に部分的に残存可能であり、フォトマスク８１は、例えば導電材料７等の金属層を、例えばリフトオフ法によって構造化するために利用可能である。
代替として、図２Ｏに関連して記載される方法ステップでは、成長基板５とは反対側の半導体緩衝層の面から異方性エッチングによってさらなる保護層８を除去する。このように、半導体緩衝層１４を露出させ、さらなる保護層８を、ｐｎ接合、すなわち、活性領域の側面１２ｃのパシベーションとして特に用いる。さらなる保護層８は、この場合、成長基板５とは反対側の中間保護層４の面から完全に除去することもできる。
次の方法ステップでは、例えば、半導体緩衝領域１４の半導体材料を電気的に接続する、導電材料７を開口部２３に注入する（図２Ｐ）。さらに、キャリア６を設け、成長基板５を除去することができ、この場合、キャリア６とは反対側の半導体緩衝領域１４の上面を粗面化することができる。
全般的に、オプトエレクトロニクス半導体チップは、以上のように製造される。キャリア６とは反対側のオプトエレクトロニクス半導体チップの上面であって、検出されるか、または生成される放射が通過する箇所の上面には、コンタクトポイントが存在しない。
本明細書に記載の方法のさらなる例示的な実施形態を、図３Ａ〜図３Ｈの模式的な断面図に関連して、詳細に説明する。
始めに、成長基板５を設け、成長基板５上に、例えば半導体緩衝領域１４をエピタキシャルに堆積する（図３Ａ）。次いで、半導体積層体１０にｎ型導電性領域１３、活性領域１２、およびｐ型導電性領域１１をエピタキシャルに設ける。例えば、オプトエレクトロニクス半導体チップが放射生成型の半導体チップであれば、完成した半導体チップの活性領域１２において電磁放射を生成する。
図２Ａ〜図２Ｐに関連して記載された方法とは異なり、次のステップでは、例えばチタンを含むか、またはチタンからなり、かつ厚さが最大で２０ｎｍ、また例えば１０ｎｍである、さらなる層２２を、例えば厚さを１４０ｎｍとすることができ、かつ、例えば銀からなる金属半導体層２１に設ける。例えば厚さが少なくとも３００ｎｍ、また例えば３３０ｎｍである、中間保護層４は、成長基板５とは反対側のさらなるミラー層２３の面上に設けられる。
次のステップでは、フォトマスク８１を中間保護層４の上面に設ける。本発明において、フォトマスク８１は、感光技術で構造化可能な材料であり、例えば、ポジ型フォトレジストである（図３Ｃ）。
次いで、湿式化学エッチングステップを行う（図３Ｄ）。このステップでは、ミラー層２１は、中間保護層４およびさらなるミラー層２２の一部分が、金属ミラー層２１の露出側面２１ｃを越えて横方向ｌに突出するように中間保護層４およびさらなるミラー層２２よりも内側に横方向ｌに後退する。このようにミラー２１を構造化することによって、ミラー層中に開口部２３を形成する。次いで、フォトマスク８１を除去する（図３Ｅ）。
次の方法ステップでは、成長基板５とは反対側の中間保護層４の上面、ならびに中間保護層４、さらなるミラー層２２、およびミラー層２１の各側面に、ミラー保護層３を適合的に堆積させる（図３Ｆ）。中間保護層４は、上記堆積作業中のダメージからミラー層２１および２２を保護する。
次の方法ステップでは、異方性エッチングを行う。異方性エッチングでは、成長基板５とは反対側の中間保護層４の上面のミラー保護層３を完全に除去し、また、開口部２３における半導体積層体１０を、ミラー保護層３の材料を除去して露出させる（図３Ｇ）。次いで、半導体積層体１０に対する乾式エッチングを行う。
図３Ｈに示す通り、本明細書に記載の方法によって、ミラー層２１またはミラー層積層体２０それぞれを越える、活性領域１２の横方向への非常に小さな突出を実現することができる。このように、活性領域中の、放射生成または放射検知に使用することができない領域を非常に小さくとどめることができる。このことは、例えば図５Ａ〜図５Ｃの上面図を見ても明らかである。
次の方法ステップでは、少なくともミラー層積層体２０の側面および活性領域１２の側面がさらなる保護層８で被覆されるように、この場合も、さらなる保護層８を、適合的に堆積させる（図３Ｉ）。
したがって、特に、さらなる保護層８が半導体積層体１０内の凹部または開口部の全壁面に沿って延在し、また特に、当該凹部または開口部の底面を被覆することができる。この場合も、適合的堆積を、上述の方法のうちの１つを用いて行うことができる。特に、さらなる保護層８の材料としては、この場合も、二酸化ケイ素、Ｓｉ３Ｎ４、および／もしくはＡｌ２Ｏ３等の酸化物または窒化物を用いることができる。この場合、特に、上記材料から形成される層スタックを用いることもでき、層スタック中のさまざまな層を異なる材料を用いて形成することもできる。
図３Ｊに関連して記載される方法ステップでは、異方性エッチングによって、成長基板５とは反対側の半導体緩衝層の上面からさらなる保護層８を除去する。このように、半導体緩衝層１４を露出させ、また、さらなる保護層８を、ｐｎ接合、すなわち活性領域の側面１２ｃのパシベーションとして特に用いる。
次の方法ステップでは、例えば、半導体緩衝領域１４の半導体材料を電気的に接続する導電材料７を開口部２３に注入する。さらに、キャリア６を設け、成長基板５を除去することができ、この場合、キャリア６とは反対側の半導体緩衝層１４の上面を粗面化することができる（図３Ｋ参照）。
本明細書に記載の方法のさらなる例示的な実施形態を、図４Ａ〜図４Ｈの模式的な断面図に関連して、詳細に説明する。
図４Ａは、第１の方法ステップを示しており、このステップでは、半導体緩衝領域１４を成長基板５の上面に堆積させる。例えば、成長基板は、サファイア基板またはシリコン基板とすることができる。例えば、窒化物化合物半導体材料をベースとする半導体積層体１０を、上記成長基板上に堆積させる。例えば半導体緩衝領域１４は、ＧａＮを用いて形成される層である。
次いで、ｎドープ領域１３、活性領域１２、およびｐドープ領域をエピタキシャルに堆積させる（図４Ｂ）。
次いで、成長基板５とは反対側の半導体積層体１０の上面に、金属ミラー層２１を配置する（図４Ｃ）。例えば、金属ミラー層２１は銀ミラーである。例えば、金属ミラー層は、蒸着またはスパッタリングによって堆積させる。この場合、ミラー層２１は、上述のとおり、ミラー層積層体の一部とすることもできる。
ミラー層２１またはミラー層積層体を設けた後、中間保護層４を、半導体積層体とは反対側のミラー層２１の面に設ける。中間保護層４は、例えば、シランから作製される二酸化ケイ素を用いて形成される。あるいは、中間保護層は、蒸着またはスパッタリングによって堆積させることもできる。
次の方法ステップでは、例えば、ポジ型フォトレジストを用いて形成されるフォトレジスト層８１を、例えば、スピン堆積法によって、成長基板５とは反対側の中間保護層４の上面に設ける（図４Ｄ）。ついで、フォトレジスト層８１を露光させ、現象してフォトマスク８１を形成する（図４Ｅ参照）。
次いで、中間保護層４およびミラー層２１を、フォトマスク８１を用いたエッチングステップによって構造化する（図４Ｆ）。この場合、チャンファ１５が中間保護層４の下部に形成され得る。このチャンファの領域では、ミラー層が中間保護層４に対して横方向に後退している。次いで、チャンファ１５を、ミラー保護層３の材料で埋める。この目的のために、成長基板５とは反対側の面の全体をミラー保護層３で被覆することができる（図４Ｇ）。
ミラー保護層３は、本例示において、ＡＬＤ工程によって堆積させた材料からなる。ミラー保護層３の層厚さは、少なくともチャンファ１５の高さの半分であることが、本発明において有利である。それによって、チャンファ１５は、ミラー保護層３によって完全に満たされる。
本例示においても、等方性の湿式化学エッチング工程によって、ミラー保護層３は、特定の範囲においては完全に除去され、少なくともミラー層との界面を形成する、チャンファ１５領域において除去されずに残るのみである（図４Ｈ）。特に、ミラー保護層３のエッチング速度との関連においてチャンファ１５の深さが十分であれば、この工程の成功にとって有利である。中間保護層４の縁部よりも内側への、ミラー保護層３の後退は、自動的に生じるからである。中間保護層４との関連において可能な限り選択的に、ミラー保護層３をエッチングでき、かつ／または両層の厚さが大きく異なる場合、このプロセスにとって有利である。以上のように、チャンファ１５は、ミラー保護層３で満たされる。ミラー保護層３の縁部は、わずかに中間保護層４の縁部よりも内側に後退している。
さらなる方法ステップは、図２Ｋ〜図２Ｐに関連して記載した通りである。
図５Ａはミラー層２１を貫通するスルーコンタクトを示しており、このスルーコンタクトを介して、半導体緩衝領域１４との接続を形成することができる。従来のオプトエレクトロニクス半導体チップについての同じ状況を示す図６との比較が示す通り、本明細書に記載の方法により製造した半導体チップ１の突出ｄは、非常に小さい。このように、不活性領域１００も、非常に小さくとどめることができる。例えば、図５Ａの例示的実施形態における不活性領域１００の厚さが最大で１０００ｎｍである一方、図６の半導体チップ１の場合には、対照的に、数マイクロメートルであり得る。Ａ−Ａ'線に沿った断面図の詳細は、例えば、図２、３、または４に関連して示されている。
このように、例えば、図５Ｂに示されるオプトエレクトロニクス半導体チップ１を具現化することができ、このオプトエレクトロニクス半導体チップ１は、非常に細い溝によって互いに隔てられた、複数の個別に活性可能な活性領域を有する。このことは、本明細書に記載の方法を用いて、半導体チップの活性領域１２の面積使用率を低下させ得る、個々の画素間の許容程度以上の広さの分離溝を存在させることなく、例えば、縁部長さが数マイクロメートルの画素サイズを有する、いわゆるＬＥＤマイクロディスプレイ（LED micro-display）を具現化可能であることを意味している。
図６に示される半導体チップ１を製造する従来の製造方法を用いると、ミラー部におけるコンタクト凹部の面積使用率を約５０％とすることができる。この場合、チップ面積１平方ミリメートル毎の活性領域に約１０〜３０のスルーコンタクトが形成される。
本明細書に記載の方法を用いると、図５Ｃに示される半導体チップ１が可能となる。この半導体チップでは、スルーコンタクトの数は、少なくとも１平方ミリメートルあたり１００から１平方ミリメートルあたり数千までとすることができる。コンタクト凹部の面積使用率を、９０％超とすることができ、特に均一な電流分散を実現し、したがって、チップ面積全体にわたる特に均一な放射生成または放射検知を実現する。さらに、本発明によって、スルーコンタクトの下部、すなわちキャリア６と半導体積層体１０との間の、導電材料７中の区画における含有物を減少させる。
図７Ａ〜図７Ｉは、オプトエレクトロニクス半導体チップの部分領域の模式図を示す。図７Ａ〜図７Ｉは、この場合、開口部２３、すなわち活性領域１２を通るスルーコンタクトの領域における断面図を示す。
図７Ａは、中間保護層４を有しない半導体チップを通る断面図を示す。この図において、ミラー保護層３の上縁部、すなわちミラー層２１とは反対側のミラー保護層３の上面をスルーコンタクトの中心方向にたどると、ミラー保護層３の移行段状部（transition step）は、直接的または間接的にミラー部の縁部の後に隣接している。Ａ１−Ａ２領域が移行段状部に続き、このＡ１−Ａ２領域では、ミラー保護層３の上縁部は、ミラー層２１と、半導体積層体１０との間の界面と平行に延在している。半導体の移行縁部（semiconductor transition edge）が、続いて隣接し、ミラー保護層３は、開口部２３方向を向く、半導体積層体の側面を被覆し、Ｂ１−Ｂ２領域が続いている。ミラー保護層３の上縁部は、Ｂ１−Ｂ２領域においても同様に、ミラー層２１と、半導体積層体１０との間の界面と平行に延在する。
図７Ｂおよび７Ｃは、中間保護層４を有する半導体チップを通る断面図を示す。図７Ｂは、中間保護層４の下にチャンファを具現化していない変形を示し、図７Ｃは、中間保護層４の下にチャンファを具現化した変形を示す。
ミラー保護層３の上縁部をスルーコンタクトの中心方向にたどると、ミラー保護層３の上縁部がミラー層２１と、半導体積層体１０との間の界面と平行に延在するような、Ａ１−Ａ２領域は、ミラー層の縁部、および、直接的または間接的に続く移行段状部の後に隣接していない。また、ミラー保護層３の上縁部が、ミラー層２１と、半導体積層体１０との間の界面と平行して延在し得る、半導体部の移行段状部の後に続くＢ１−Ｂ２領域もない。したがって、この場合、ミラー保護層３は、ミラー層２１および中間保護層４の側面を被覆するのみである。半導体積層体１０の側面には、ミラー保護層３が存在しないままである。これらの例示的な実施形態において、ミラー保護層３が被覆する面積が小さいために、また、ミラー保護層が、例えば、半導体積層体と、半導体積層体の側面との間の段状部に具現化されていないために、この例示的な実施形態において、ミラー保護層を特に高密度で具現化可能である。
図７Ｄおよび図７Ｅは、図７Ｃに関連して記載した例示的な実施形態の変形であり、最適化されていない工程に起因する空間３１が保護層３内に存在する。ただし、この空間３１が保護層３の機能を損ねることはほとんどないか、またはまったく損ねることはない。
図７Ｃ〜図７Ｅに示した、中間保護層４の下のチャンファの長さは、１μｍ未満である。
チャンファの長さが１μｍ超である変形を、図７Ｆ〜図７Ｉに関連して示す。この場合、保護層３は、中間保護層４を越えて横方向に突出しない。
ＡＬＤ法を用いて、チャンファを完全に満たす変形を、図７Ｆに関連して示す。
チャンファが、最適化されていない工程に起因する空間３１を有する変形を図７Ｇに関連して示す。
図７Ｈの変形においては、ミラー層２１に隣接する空間３１が具現化されている。
図７Ｉが示す変形では、チャンファは、ミラー層２１と対向する側に具現化されるのみであり、また、さらなる保護層８側に空間３１が存在する。
図８Ａは、ミラー層２１を貫通するスルーコンタクトを示す。このスルーコンタクトを通して半導体緩衝領域１４との接続を形成することができる。電気的接続に関して、半導体緩衝領域１４が、スルーコンタクトにおいて、およびミラー層２１の周囲において電気的に接続されるように、メタライゼーション７１を設けることができる。このことは、図８Ｂに関連して示す。このことは、本明細書に記載の方法を用いて、例えば、サファイアフリップチップまたはディスプレイチップに用いることができる、フレームコンタクトを製造することもできることを意味する。
あるいは、メタライゼーション７１を隔てる溝７２を、ミラー層２１の領域と、半導体緩衝領域１４との間に配置し、電気的接続を、スルーコンタクトの領域においてのみ形成する。このことは、メタライゼーション７１を遮断状態にすることで、フレームコンタクトを電気的に不活性に切替えることを意味する。
図９Ａ〜図９Ｃは、オプトエレクトロニクス半導体チップの部分領域の模式図を示す。図９Ａ〜図９Ｃは、この場合、開口部２３、すなわち活性領域１２を通るスルーコンタクトの領域の断面図を示す。
図９Ａは、スルーコンタクトを示す。図９Ａにおいて、半導体層１１〜１４およびミラー層２１は、機械的スパッタリングのみによって堆積させる。このような方法の場合、保護層３を省くこともできる。
図９Ｂに関連して記載される変形では、エッチングの際に形成する側壁パシベーション９９によって、保護層３を形成する。当該側壁パシベーションを使用することで、例えば、ＣＨＦ３および／またはＢＣＩ３を、乾式化学エッチング工程の際に付加することができる。
図９Ｃの変形において、側壁パシベーション９９は、この場合も、さらなる保護層８を設ける前に除去される。
本特許出願は、独国特許出願第１０２０１２１０７９２１．８号の優先権を主張し、この開示内容は参照によって本明細書に援用される。
本発明は、例示的な実施形態に基づく記載によっては限定されない。むしろ、本発明は、請求項または例示的な実施の形態に明示的に特定されていないとしても、新規な特徴すべて、または特徴の任意の組合せすべて、特に請求項に特定された特徴の組合せすべてを含む。
Claims (15)
- −半導体積層体（１０）を設けるステップと、
−前記半導体積層体（１０）の上面に金属ミラー層（２１）を配置するステップと、
−前記ミラー層の少なくとも露出側面（２１ｃ）にミラー保護層（３）を配置するステップと、
−前記半導体積層体（１０）を部分的に除去するステップと、
を含む、オプトエレクトロニクス半導体チップ（１）の製造方法であって、
−前記ミラー層（２１）は、横方向（ｌ）において前記ミラー保護層（３）に囲われる、前記半導体積層体（１０）に向かう開口部（２３）を有し、
−前記半導体積層体（１０）の前記部分的除去は、前記ミラー層（２１）の前記開口部（２３）の領域内で行われ、
−前記ミラー層（２１）の前記露出側面（２１ｃ）への前記ミラー保護層（３）の配置は、自己配置により行ない、
−前記ミラー層（２１）の前記露出側面（２１ｃ）への前記ミラー保護層（３）の前記自己配置のために、前記半導体積層体（１０）とは反対側の前記ミラー層（２１）の前記上面と、前記ミラー層（２１）の前記露出側面（２１ｃ）とに前記ミラー保護層（３）が適合的に堆積されるステップが実行され、
前記ミラー保護層（３）は、前記半導体積層体（１０）の前記部分的除去前に前記ミラー層（２１）の前記露出側面（２１ｃ）に設けられ、
前記半導体積層体（１０）の活性領域は、前記半導体積層体（１０）の前記部分的除去の際に貫通され、前記活性領域の側面は露出し、
さらなる保護層（８）が、前記活性領域の前記側面の前記露出後、前記活性領域の前記露出側面に自己配置する、
オプトエレクトロニクス半導体チップ（１）の製造方法。 - 前記ミラー保護層（３）は、マスク技術または感光技術を含まない処理により、前記ミラー層（２１）の前記露出側面（２１ｃ）に設けられる、請求項１に記載の方法。
- 前記ミラー保護層（３）は、酸化物または窒化物を用いて形成され、また、前記ミラー保護層（３）の前記適合的堆積は、プラズマ化学気相成長法、原子層成長法、気相成長法、スパッタリング、または、蒸着法の中の一つを用いて行われ得る、請求項１または２に記載の方法。
- −少なくとも一つの中間保護層（４）が、前記ミラー層（２１）の前記露出側面（２１ｃ）への前記ミラー保護層（３）の前記自己配置前に、前記半導体積層体（１０）とは反対側の前記ミラー層（２１）の前記上面に配置され、
−前記少なくとも一つの中間保護層（４）の露出側面もまた、前記ミラー層（２１）の前記露出側面への前記ミラー保護層（３）の前記自己配置中に、前記ミラー保護層（３）によって被覆される、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。 - 前記中間保護層（４）および前記ミラー層（２１）を構造化する際、前記ミラー層（２１）が前記中間保護層（４）よりも前記横方向（ｌ）に後退している箇所のチャンファ（１５）が、前記中間保護層（４）の下部に具現化される、請求項４に記載の方法。
- −前記ミラー層（２１）は、銀を含み、
−前記半導体積層体（１０）の前記部分的除去は、ハロゲン化物含有材料を用いたエッチングによって行われる、請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。 - 前記さらなる保護層（８）の前記自己配置は、前記半導体積層体（１０）とは反対側の前記ミラー層（２１）の前記上面、および前記活性領域の前記露出側面への前記さらなる保護層の適合的堆積によって行われる、請求項１〜６のいずれかに記載の方法。
- −半導体緩衝領域（１４）が、前記ミラー層（２１）とは反対側の前記活性領域の側で露出し、
−導電性材料（７）が、前記半導体緩衝領域（１４）に設けられ、
−前記導電性材料（７）は、前記さらなる保護層（８）に沿って延在する、請求項１〜７のいずれかに記載の方法。 - −前記活性領域および／または前記中間保護層は、前記活性領域の前記側面の露出後、前記横方向（ｌ）に前記ミラー層（２１）を越えて突出し、
−前記活性領域および／または前記中間保護層（４）は、前記ミラー層を最大で２０００ｎｍ越えて突出する、請求項４に記載の方法。 - 前記中間保護層（４）および／または前記ミラー保護層（３）は、前記完成したオプトエレクトロニクス半導体チップ（１）内に残存する、請求項４に記載の方法。
- 前記ミラー保護層（３）は、前記半導体積層体（１０）の側面には存在しない、請求項１０に記載の方法。
- −半導体積層体（１０）を設けるステップと、
−前記半導体積層体（１０）の上面に金属ミラー層（２１）を配置するステップと、
−前記ミラー層（２１）の少なくとも露出側面（２１ｃ）にミラー保護層（３）を配置するステップと、
−前記半導体積層体（１０）を部分的に除去するステップと、
を含む、オプトエレクトロニクス半導体チップ（１）の製造方法であって、
−前記ミラー層（２１）は、横方向（ｌ）において前記ミラー保護層（３）に囲われる、前記半導体積層体（１０）に向かう開口部（２３）を有し、
−前記半導体積層体（１０）の前記部分的除去は、前記ミラー層（２１）の前記開口部（２３）の領域内で行われ、
−前記ミラー層（２１）の前記露出側面（２１ｃ）への前記ミラー保護層（３）の配置は、自己配置により行ない、
−前記半導体積層体（１０）とは反対側の前記ミラー層の上面（２１ａ）に、前記ミラー層（２１）に向かう開口部を有する前記ミラー保護層（３）を配置するステップと、
−前記ミラー層（２１）の前記開口部（２３）内で露出する、前記ミラー層（２１）の前記側面（２１ｃ）を越えて前記横方向（ｌ）に突出する、前記ミラー保護層（３）の、前記開口部の領域内で前記ミラー層（２１）を除去して前記ミラー層（２１）の前記開口部（２３）を形成するステップと、
−前記ミラー層（２１）の前記側面（２１ｃ）を越えて前記横方向（ｌ）に突出している前記ミラー保護層（３）の少なくとも一部（３０）が前記ミラー層（２１）の前記側面（２１ｃ）に沿って流れ、被覆するように、前記ミラー保護層（３）を軟化させるステップとは、
前記ミラー層（２１）の前記露出側面（２１ｃ）上に前記ミラー保護層（３）を自己配置させるために実行される、方法。 - 前記ミラー保護層（３）は、感光技術で構造化可能な材料を用いて形成される、請求項１２に記載の方法。
- −半導体積層体（１０）を設けるステップと、
−前記半導体積層体（１０）の上面に金属ミラー層（２１）を配置するステップと、
−前記半導体積層体（１０）を部分的に除去するステップと、
を含む、オプトエレクトロニクス半導体チップ（１）の製造方法であって、
−前記ミラー層（２１）は、前記半導体積層体（１０）に向かう開口部（２３）を有し、
−前記半導体積層体（１０）の前記部分的除去は、前記ミラー層（２１）の前記開口部（２３）の領域内で行われ、
前記半導体積層体（１０）の活性領域は、前記半導体積層体（１０）の前記部分的除去の際に貫通され、前記活性領域の側面は露出し、
さらなる保護層（８）が、前記活性領域の前記側面の前記露出後、前記活性領域の前記露出側面に自己配置し、
前記さらなる保護層（８）は、前記ミラー層（２１）の側面全面を被覆し、
前記半導体積層体（１０）の反対側の前記ミラー層（２１）の面には、前記さらなる保護層（８）は存在しない、方法。 - −半導体緩衝領域（１４）が、前記ミラー層（２１）とは反対側の前記活性領域の側で露出し、
−導電性材料（７）が、前記半導体緩衝領域（１４）に設けられ、
−前記導電性材料（７）は、前記さらなる保護層（８）に沿って延在する、請求項１４に記載の方法。
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