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JP6144085B2 - 成形品生産装置、及び成形品生産方法 - Google Patents

成形品生産装置、及び成形品生産方法 Download PDF

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JP6144085B2 JP2013066872A JP2013066872A JP6144085B2 JP 6144085 B2 JP6144085 B2 JP 6144085B2 JP 2013066872 A JP2013066872 A JP 2013066872A JP 2013066872 A JP2013066872 A JP 2013066872A JP 6144085 B2 JP6144085 B2 JP 6144085B2
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Description

本発明は、液状樹脂(常温で液状の樹脂)を使用した樹脂成形に関するものである。特
に、液状樹脂を硬化させた硬化樹脂を支持体の上に成形する成形品生産装置、及び成形品生産方法に関するものである。
従来から、樹脂成形技術としてトランスファモールド法を用いた電子部品の樹脂封止が広く行われている。トランスファモールド法を用いた樹脂封止では、リードフレームや基板に装着した電子部品(集積回路(Integrated Circuit:IC)や発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)などのほか半導体以外の電子部品も含み、多くはチップ状であるので以下適宜「チップ」という。)を、硬化樹脂によって樹脂封止している。
トランスファモールド法を用いて基板に装着したチップを樹脂封止する方法は、次のように行われる。予め、樹脂成形部における成形型(上型及び下型)を加熱手段によって成形温度(例えば、175℃程度)に加熱し、上型と下型とを型開きする。次に、材料搬送機構を使用して、チップを装着した基板を下型の所定位置に供給し、樹脂タブレットを下型の所定位置に設けられたポット内に供給する。樹脂タブレットは、搬送や保管がしやすいようにポットの形状や大きさに合わせて固形状に打錠されている。次に、上型と下型とを型締めする。このとき、基板に装着されたチップは、上型と下型との少なくとも一方に設けられたキャビティの内部に収容される。次に、下型のポット内に供給された樹脂タブレットを加熱して溶融する。溶融した樹脂(流動性樹脂)をプランジャによって押圧して、キャビテイに注入する。引き続き、キャビティに注入した流動性樹脂を硬化に必要な時間だけ加熱することによって、硬化樹脂を成形して基板に装着したチップを樹脂封止する。
ところで、トランスファモールド法を用いた樹脂封止装置では、樹脂材料として熱硬化性樹脂からなる樹脂タブレットが一般的に使われる。樹脂タブレットは、粉状のエポキシ樹脂に硬化剤、充填剤(フィラー)、促進剤、離型剤、難燃剤、着色剤、添加剤などを必要に応じて混合し、円柱状に打錠して製造される。トランスファモールド法による樹脂封止装置は、樹脂タブレットを下型の所定位置に設けたポット内に供給して樹脂封止を行う装置として開発され、現在広く普及している。したがって、トランスファモールド法を用いた樹脂封止装置は、樹脂材料として樹脂タブレットを使用することがベースとなっている。
近年、省エネルギー化の進展に伴い、照明器具として消費電力の少ないLEDの需要が急速に高まっている。ICの樹脂封止では、樹脂材料として固形状の樹脂タブレットが一般的に用いられる。一方、LEDの樹脂封止では、樹脂材料として熱硬化性で光を透過する液状樹脂が一般的に用いられる。ところが、トランスファモールド法を用いた樹脂封止装置は、樹脂材料として固形状の樹脂タブレットを用いることをベースとしているので、液状樹脂を用いる樹脂封止はほとんど行われていなかった。以下、本出願書類においては、「液状樹脂」という用語は常温で液状の樹脂を意味する。
トランスファモールド法を用いた樹脂封止装置で、液状樹脂を用いた樹脂封止方法として、「リリースフィルムを下型の樹脂封止面とポット部分にエア吸着した後、ポットに樹脂タブレットを供給し、(略)ポットに供給する封止用の樹脂としては樹脂をタブレット状に固めて成形したものの他、(略)液体状の樹脂(略)が使用できる」ことが示されている(例えば、特許文献1の段落〔0020〕参照)。
特開2002−43345号公報
しかしながら、上記の特許文献に示されているように、トランスファモールド法を用いた樹脂封止装置で、「液体状の樹脂」を使用する場合には、次のような問題が発生する。トランスファモールド法を用いた樹脂封止装置において、下型のポット部分にリリースフィルムを供給してエア吸着する機構と、液体状の樹脂を供給して下型の所定位置まで搬送する機構と、下型のポット内に液体状の樹脂を供給する機構とを、新たに追加する必要がある。液体状の樹脂を供給する方法としては、ディスペンサなどを用いて下型のポット内に供給することが考えられる。しかし、液体状の樹脂を用いるための機構を新たに追加することによって、樹脂封止装置が大型化してしまう。
上記の特許文献に示される樹脂封止装置においては、ポット内に供給された液体状の樹脂は、ポットからカル、ランナ、ゲートなどの樹脂通路を経由してキャビテイに注入される。樹脂通路においても、液体状の樹脂は加熱されることによって硬化し硬化樹脂を成形する。樹脂通路において成形された硬化樹脂は製品とは関係のない不要樹脂となる。したがって、トランスファモールド法を用いた樹脂封止装置では、樹脂通路において不要樹脂が成形されるので、この不要樹脂をカットして廃棄する機構が必要となる。
このように、トランスファモールド法で液体状の樹脂を用いる樹脂封止装置では、樹脂タブレッットの供給機構や搬送機構に加えて、さらに液体状の樹脂を供給して搬送するための機構を追加する必要がある。さらに、樹脂通路において不要樹脂が成形されるので、樹脂の使用効率が下がるとともに、この不要樹脂をカットして廃棄する機構が必要となる。そのため、樹脂封止装置の構成が非常に複雑になり、装置が大型化して生産性が悪くなる。
本発明は上記の課題を解決するもので、成形品生産装置において簡単な構成を採用する
ことによって、液状樹脂を用いた樹脂成形を可能にする。さらに、不要樹脂の量を低減し
て樹脂材料の使用効率を向上することを可能にする成形品生産装置、及び成形品生産方法を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために、本発明に係る成形品生産装置は、第1の成形型と、第1の成形型に相対向して設けられた第2の成形型と、第1の成形型と第2の成形型とのうちいずれか一方の成形型に設けられたキャビティと、第1の成形型と第2の成形型とを型締めし、型開きする第1の駆動機構とを備え、キャビティにおいて硬化樹脂を成形することによって、第1の成形型と第2の成形型との間に配置された支持体と支持体の上に成形された硬化樹脂とを有する成形品を生産する成形品生産装置であって、第1の成形型と第2の成形型とのうち他方の成形型に設けられた貫通路と、貫通路において一方の成形型に対して進退できるようにして設けられた注入用部材と、注入用部材の内部に設けられた樹脂流路と、支持体に設けられた第1の開口に対して平面視して重なるようにして注入用部材の先端部に設けられた注入口と、注入用部材を進退させる第2の駆動機構と、熱硬化性樹脂からなる液状樹脂を樹脂流路に供給する供給機構と、樹脂流路から注入口を経由してキャビティに注入された液状樹脂を加熱する加熱機構とを備え、貫通路において注入用部材を前進させることによって第1の開口と注入口と樹脂流路とが連通した状態において、樹脂流路から少なくとも注入口を経由してキャビティに液状樹脂が注入され、キャビティに注入された液状樹脂が加熱されて成形された硬化樹脂から注入用部材が後退することによって硬化樹脂と先端部とが分離され、成形品は最終製品を生産する際に使用され、第1の開口は最終製品の機能には影響しない部分に設けられたことを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産装置は、上述した成形品生産装置において、注入用部材を構成する壁の内部に設けられ、樹脂流路における液状樹脂を冷却する冷却機構を備えることを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産装置は、上述した成形品生産装置において、樹脂流路において注入口に対して進退自在に設けられ、前進した状態において樹脂流路と注入口とを遮断し、かつ、後退した状態において樹脂流路と注入口とを連通する開閉用部材と、開閉用部材を進退させる進退機構を備えることを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産装置は、上述した成形品生産装置において、貫通路の上部における他方の成形型に設けられた第2の開口を有し、貫通路において注入用部材を前進させることによって先端部と第2の開口周辺の部分とが接し、かつ、第1の開口と第2の開口と注入口と樹脂流路とが連通した状態において、樹脂流路から少なくとも注入口を経由してキャビティに液状樹脂が注入されることを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産装置は、上述した成形品生産装置において、支持体は電子部品のチップが装着された回路基板であることを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産装置は、上述した成形品生産装置において、液状樹脂は透光性を有し、粘着シートの上に成形された硬化樹脂は光学部品の集合体を含むことを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産装置は、上述した成形品生産装置において、第1の成形型と第2の成形型とが近接した状態において、注入用部材が露出した状態になることを特徴とする。
上記の課題を解決するために、本発明に係る成形品生産方法は、第1の成形型と第1の成形型に相対向して設けられた第2の成形型との間に支持体を配置する工程と、第1の成形型と第2の成形型とを型締めする工程と、第1の成形型と第2の成形型とのうちいずれか一方の成形型に設けられたキャビティに熱硬化性樹脂からなる液状樹脂を注入する工程と、キャビティに注入された液状樹脂を硬化させて支持体の上に硬化樹脂を成形する工程と、第1の成形型と第2の成形型とを型開きする工程と、支持体と硬化樹脂とを有する成形品を取り出す工程とを備える成形品生産方法であって、第1の成形型と第2の成形型とのうち他方の成形型に設けられた貫通路に注入用部材を進入させる工程と、貫通路において支持体に設けられた第1の開口に対して注入用部材を前進させる工程と、第1の開口と注入用部材の内部に設けられた樹脂流路とを、注入用部材の先端部に設けられた注入口を経由して連通させる工程と、硬化樹脂から注入用部材を後退させることによって硬化樹脂と先端部とを分離する工程とを備え、液状樹脂を注入する工程では、樹脂流路から注入口を経由してキャビティに液状樹脂を注入し、硬化樹脂を成形する工程では、キャビティに注入された液状樹脂を加熱して硬化させることによって硬化樹脂を成形し、成形品は最終製品を生産する際に使用され、第1の開口は最終製品の機能には影響しない部分に設けられたことを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産方法は、上述した成形品生産方法において、液状樹脂を注入する工程においては、注入用部材の内部における液状樹脂を冷却する工程を備えることを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産方法は、上述した成形品生産方法において、樹脂流路において注入口に対して進退自在に設けられた開閉用部材を前進させることによって注入口と樹脂流路とを遮断する工程を備え、連通させる工程では、開閉用部材を後退させることによって少なくとも第1の開口と樹脂流路とを連通させることを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産方法は、上述した成形品生産方法において、貫通路の上部における他方の成形型に設けられた第2の開口に対して注入用部材を前進させる工程とを備え、連通させる工程では、第1の開口と第2の開口と注入口と樹脂流路とを連通させることを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産方法は、上述した成形品生産方法において、支持体は電子部品のチップが装着された回路基板であることを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産方法は、上述した成形品生産方法において、液状樹脂は透光性を有し、粘着シートの上に成形された硬化樹脂は光学部品の集合体を含むことを特徴とする。
また、本発明に係る成形品生産方法は、上述した成形品生産方法において、第1の成形型と第2の成形型とを近接させた状態において、注入用部材を露出させる工程を備えることを特徴とする。
上記の課題を解決するために、本発明に係る成形品は、第1の成形型と、第1の成形型に相対向して設けられた第2の成形型と、第1の成形型と第2の成形型とのうちいずれか一方の成形型に設けられたキャビティとを使用して、熱硬化性樹脂からなりキャビティに注入された液状樹脂が硬化することによって成形された硬化樹脂と、キャビティに対応する一方の面において硬化樹脂が成形された支持体とを少なくとも備える成形品であって、支持体に設けられた第1の開口と、支持体が有する他方の面の側において硬化樹脂が露出する部分に形成され、少なくとも第1の開口を経由してキャビティに液状樹脂を注入し終わった注入用部材が後退することによって注入用部材の先端部と硬化樹脂とが分離された痕跡とを備え、成形品は最終製品を生産する際に使用され、第1の開口は最終製品の機能には影響しない部分に設けられたことを特徴とする。
また、本発明に係る成形品は、上述した成形品において、支持体は電子部品のチップが装着された回路基板であることを特徴とする。
また、本発明に係る成形品は、上述した成形品において、液状樹脂は透光性を有し、粘着シートの上に成形され硬化樹脂からなる光学部品の集合体を含むことを特徴とする。
本発明によれば、成形品生産装置において、キャビティに相対向する成形型に設けられた貫通路において、注入用部材を進退自在にできるようにした。熱硬化性樹脂からなる液状樹脂を注入用部材の内部に設けた樹脂流路に供給する。注入用部材の先端部に設けた注入口から支持体に設けられた開口を経由してキャビティに液状樹脂を注入する。この構成を採用することによって、液状樹脂を用いて不要樹脂の量を低減した樹脂封止を行うことができる。
また、成形品生産装置において、キャビティに注入された液状樹脂を加熱して成形された硬化樹脂から注入用部材を後退させる。このことによって、硬化樹脂と注入用部材の先端部とを容易に分離できる。いわゆる、ゲートカットを自動的に行うことができる。したがって、成形品から不要樹脂をカットする機構、及び、不要樹脂を廃棄するための搬送機構が不要になる。したがって、成形品生産装置の簡略化と装置面積の低減とを実現することができる。
本発明に係る成形品生産装置の概要を示す正面図である。 本発明に係る成形品生産装置において、電子部品のチップを樹脂封止する場合の成形型とゲートノズルと液状樹脂供給機構との構成を示す概略図である。 本発明に係る成形品生産装置において、エアシリンダを用いたゲートノズルの構造を示す断面図である。 図3で示したゲートノズルを分解した分解図である。 本発明に係る成形品生産装置において、スプリング(弾性部材)を用いたゲートノズルの構造を示す断面図である。 本発明に係る成形品生産装置を示す要部断面図で、型締めする前の状態を示している。 本発明に係る成形品生産装置を示す要部断面図で、型締めして液状樹脂を注入している状態を示している。 本発明に係る成形品生産装置を示す要部断面図で、型締めして液状樹脂を硬化させる状態を示している。 本発明に係る成形品生産装置を示す要部断面図で、型開きして成形品を取り出した状態を示している。 (a)、(b)、(c)は、本発明に係る成形品生産装置において、ゲートノズルにおけるゲートと支持体の開口部との連通状態を各々示す断面図である。 本発明に係る成形品生産装置において、LEDチップを樹脂封止する場合の成形型とゲートノズルとの構成を示す概略図である。
成形品生産装置において、キャビティに相対向する成形型に貫通路を設ける。貫通路において注入用部材を進退自在にできるようにする。熱硬化性樹脂からなる液状樹脂を注入用部材の内部に設けた樹脂流路に供給する。注入用部材の先端部に設けた注入口から支持体に設けられた開口を経由してキャビティに液状樹脂を注入する。注入された液状樹脂を加熱することによって硬化樹脂を成形する。硬化樹脂から注入用部材を後退させて硬化樹脂と注入用部材の先端部とを自動的に分離する。
本発明に係る成形品生産装置の実施例について、図1〜図11を参照して説明する。本出願書類におけるいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図1は本発明に係る成形品生産装置の概要を示す正面図である。成形品生産装置1には、基盤2と、基盤2上の四隅部に設けられたタイバー3と、タイバー3の上端部に固定された固定盤4とが設けられている。固定盤4の下部には、上型断熱板5を介して上型プレート6と、上型プレート6内に樹脂成形用の上型7とが設けられている。上型7の下方位置には、タイバー3に対して昇降可能な可動盤8と、可動盤8の上部には下型断熱板9を介して下型プレート10と、下型プレート10内に樹脂成形用の下型11とが設けられている。上型7と下型11とは相対向して設けられ、併せて成形型を構成する。上型プレート6及び下型プレート10には、上型7及び下型11を加熱するためのヒータ(図示なし)が内蔵されている。上型プレート6及び下型プレート10は175℃程度に加熱されている。上型7及び下型11は、樹脂封止する対象に応じて上型プレート6及び下型プレート10内で簡単に取り替えができるように構成されている。
型締め機構12は、型締めと型開きとを行うために可動盤8を昇降させる機構であり、例えば、トグル機構を用いることによって可動盤8を昇降させる。型締め機構12を用いて可動盤8を昇降させることによって、上型7及び下型11とで型締めと型開きとを行う。ここで、固定盤4と上型断熱板5と上型プレート6と上型7とを一体にセットした部分を上型セット部13と呼ぶ。同様に、可動盤8と下型断熱板9と下型プレート10と下型11とをセットした部分を下型セット部14と呼ぶ。上型7及び下型11とで型締めと型開きとを行うことは、上型セット部13及び下型セット部14とで型締めと型開きとを行うことと同様のことを意味する。
ゲートノズル15は、ゲートノズル駆動機構16によって、下型セット部14を連通して形成された貫通路を昇降できるようにして設けられた可動式のノズルである。ゲートノズル15は、下型セット部14を連通した貫通路を上昇して停止した状態で、上型7に設けられたキャビティ17に液状樹脂を供給する。したがって、ゲートノズル15はキャビテイ17に液状樹脂を供給する注入用部材として機能する。ゲートノズル15は、可動盤8の下方に位置するまで下降させて可動盤8から容易に着脱することができるように構成されている。また、下型11を交換するため下型11を取り外した状態において、ゲートノズル15を下型プレート10の上方に位置するまで上昇させて着脱することも可能である。ゲートノズル15の構造や機構については、図2〜図10を用いて詳細に説明する。
なお、実際の成形品生産装置においては、上型7及び下型11は、チェイスホルダと呼ばれる外側の部分と、チェイスと呼ばれる内側の部分と、キャビティブロックと呼ばれるキャビテイが設けられた部分とによって構成される場合が多い。図1においては、これらの構成要素については図示を省略した。
図2は、本発明に係る成形品生産装置1において、成形型とゲートノズル15と液状樹脂供給機構との構成を示す概略図である。図2において、上型7には樹脂成形用のキャビティ17が設けられている。下型11が含まれる下型セット部14(図1参照)には、電子部品のチップを装着した支持体を配置する支持体セット部18と、ゲートノズル15が昇降するための貫通路19とが設けられている。ゲートノズル15は、下型11が含まれる下型セット部14(図1参照)の貫通路19において、ゲートノズル駆動機構16によって昇降することができる。
離型フィルム20は、フィルム供給ロールから供給され、複数のローラによって方向と高さとを調整して、上型7の所定位置にセットされる。セットされた離型フィルム20は、上型7に設けられたキャビティ17に被覆して吸着される。
電子部品のチップ21を装着した支持体22は、搬送機構によって下型11の所定位置まで搬送され、支持体セット部18に配置される。チップ21の電極と支持体22の電極とは、金線などのワイヤ(図示なし)によって接続されている。
電子部品のチップ21の例として、次のものがある。第1に、集積回路(IC)、大規模集積回路(LSI)等の半導体のチップである。第2に、発光ダイオード(LED)、レーザダイオード(LD)、光センサ等の光半導体のチップである。第3に、トランジスタ、抵抗、コンデンサ、インダクタ(コイル)等のチップである。支持体22は、これらのうち、同一の仕様を有するチップを複数個実装した回路基板からなる支持体を対象とすることができる。更に、同一種類のチップを複数個実装した回路基板からなる支持体を対象とすることができる。加えて、異なる種類のチップを複数個実装した回路基板からなる支持体を対象とすることができる。
支持体22としての回路基板の例として、次のものがある。それは、金属系材料からなるリードフレーム、ガラスエポキシ基板等のプリント基板、セラミックス系材料を基材とするセラミックス基板、金属系材料を基材とするメタルベース基板、ポリイミド等の樹脂フィルムを基材とするフレキシブル基板等である。
以下、電子部品のチップとして半導体のチップ21が支持体22上に装着された場合について説明する。支持体22には、ゲートノズル15から上型7に設けられたキャビティ17に液状樹脂を供給するための開口23が形成されている。開口23は、樹脂封止する対象に応じて最適な樹脂供給を可能にするように支持体22の任意の位置に形成することができる。液状樹脂は、下型11の所定位置に配置された支持体22の裏面側から開口23を経由して、キャビティ17に供給される。
ゲートノズル15には、内部に液状樹脂を流動させる樹脂流路24が形成され、先端部に液状樹脂をキャビティ17に供給するための注入口であるゲート25が形成されている。このゲート25から、支持体22に形成された開口23を経由して、上型7に設けられたキャビティ17に液状樹脂を供給する。ゲート25を開閉することによって、樹脂流路24とキャビティ17とを連通させ、遮断することができる。
液状樹脂は液状樹脂供給機構26からゲートノズル15に供給される。ゲートノズル15には液状樹脂供給口27が設けられている。液状樹脂として熱硬化性樹脂を使用する。熱硬化性樹脂の例として、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂等がある。液状樹脂が周囲の温度の影響によって硬化反応を起こさないように、ゲートノズル15内には液状樹脂を冷却するための冷却機構が必要となる。したがって、冷却用の媒体(冷媒)をゲートノズル15に供給するための冷媒供給機構28を成形品生産装置1に配設する。
冷媒は、冷媒供給機構28からゲートノズル15に設けられた冷媒供給口29に供給され、冷媒排出口30から排出される。ゲートノズル15内においては、液状樹脂が流動する樹脂流路24の壁の外側に冷媒を流動させる冷媒流路が形成されている。冷媒流路を流動する冷媒によって、樹脂流路24内を流動する液状樹脂を冷却する。冷媒としては液体又は気体のいずれかでも可能であり、冷却効果を有する液体又は気体であればいずれでも使用することができる。コストや作業性などの観点からは、水や空気など安全で安く、かつ扱いやすい冷媒を使用することが望ましい。
液状樹脂供給機構26は、液状樹脂の主剤を収容するタンク31と硬化剤を収容するタンク32とを備えている。主剤を収容するタンク31と硬化剤を収容するタンク32とから一定の割合で供給された2液は、混合タンク33内において混合される。液状樹脂には、必要に応じて触媒等の必要な材料も添加される。樹脂封止する対象に応じて主剤と硬化剤との混合比を調整し、液状樹脂の粘度などを最適化する。最適に混合された液状樹脂は混合タンク33からゲートノズル15の液状樹脂供給口27に供給される。液状樹脂は、液状樹脂の供給を制御する制御部(図示なし)によって、樹脂粘度、樹脂量、樹脂圧、注入速度などを制御して、ゲートノズル15に供給される。また、ゲートノズル15に供給された液状樹脂の樹脂圧などをモニタリングしてフィードバックする機能を追加することも可能である。
ここでは、主剤と硬化剤とを常温で別々のタンクに保管しておき、実際に使用する場合に2液を混合して、混合タンク33からゲートノズル15に液状樹脂を供給する場合を示した。これに代えて、予め主剤と硬化剤とを混合して1液にしておいた液状樹脂をゲートノズル15に供給するような供給機構にしてもよい。
図3は本発明に係る成形品生産装置1において、エアシリンダを用いたゲートノズル15の構造を示す断面図である。図3はエアシリンダによって、ゲート25を開いた状態を示している。ゲートノズル15の内部には、液状樹脂供給口27から供給された液状樹脂が流動する樹脂流路24が形成されている。樹脂流路24の壁34の外側、言い換えればゲートノズル15の壁の内部には、冷媒が流動する冷媒流路35が形成されている。冷媒は冷媒供給口29から供給され、樹脂流路24の壁34の外側に形成されたらせん状の冷媒用流路35を流動して、冷媒排出口30から排出される。また、ゲートノズル15には外付けの冷却ジャケットを設けてもよい。この場合には、ゲートノズル15と冷却ジャケットとが、併せて注入用部材として機能する。
樹脂流路24内には、エアシリンダ36によって昇降するピストン棒(ピストンロッド)37が設けられている。ピストン棒37は先端部が徐々に細くなるように形成されており、ピストン棒37の先端部によってゲート25を開閉する。ピストン棒37を上昇させている時は、ピストン棒37によってゲート25が閉じた状態になる。ピストン棒37を下降させている時は、ゲート25が開いた状態になる(図3参照)。したがって、ピストン棒37を昇降させることによってゲートノズル15のゲート25を開閉することができる。ゲート25を開閉することによって、ゲートノズル15から上型7に設けられたキャビティ17(図2参照)に液状樹脂を供給できる状態にすることができ、その供給を停止することができる。
図1において、ゲートノズル15は、下型プレート10に内蔵されたヒータ(図示なし)から輻射熱の影響を受ける。図3に示されるように、樹脂流路24の壁34の外側には、らせん状の冷媒流路35が形成されている。ゲートノズル15に供給された液状樹脂は、ヒータからの輻射熱で硬化反応が進まないように、冷媒流路35を流動する冷媒によって冷却される。ゲートノズル15内の樹脂流路24に供給された液状樹脂は、下型プレート10に内蔵されたヒータからの輻射熱によって硬化反応を起こさない程度に冷却される。
図4は図3で示したゲートノズル15を分解した分解図である。ゲートノズル15はゲートノズル本体部38、先端部39、樹脂通路部40、ピストン棒37などの部材から構成されている。まず、ゲートノズル本体部38と先端部39とを組み合わせ、その内部に樹脂通路部40を組み込む。さらに、樹脂通路部40の内部にピストン棒37を組み込む。このようにして、ゲートノズル15は簡単に組み立てることができる。また、逆にゲートノズル15を簡単に分解することができる。したがって、ゲートノズル15の分解や組み立てを簡単にすることができるので、ゲートノズル15自体のクリーニングやメンテナンスが容易にできる。
また、図1に示すように、ゲートノズル15は、下型セット部14を連通して形成された貫通路19において昇降できるように設けられている。加えて、例えば可動盤8を上昇して上型7と下型11とが近接した状態(型締めした状態を含む)において、ゲートノズル15は可動盤8の下方に位置するまで下降できる。したがって、ゲートノズル15は可動盤8から容易に着脱できる。さらに、ゲートノズル15は、ゲートノズル本体部38、先端部39、樹脂通路部40、ピストン棒37などの部材から構成されており、分解や組み立てを簡単にすることができる。成形品生産装置1において、ゲートノズル15の可動盤8からの着脱、及びゲートノズル15の分解や組み立てを簡単に行うことができる。したがって、成形品生産装置1のメンテナンス等を容易にすることができ、作業性を向上することが可能となる。
図5は本発明に係る成形品生産装置1において、スプリング(弾性部材)を用いたゲートノズル15の構造を示す断面図である。図5は、ゲートノズル15におけるゲート開閉機構としてエアシリンダ36ではなくスプリング41を用いる構成を示す。図5は、スプリング41によってピストン棒37を押し上げ、ゲート25を閉じた状態を示している。液状樹脂供給口27から供給される液状樹脂の樹脂圧が低い時は、スプリング41の押圧力でピストン棒37を押し上げ、ゲート25を閉じている。液状樹脂の樹脂圧が高くなり、スプリング41の押圧力以上の樹脂圧になると、樹脂圧によってピストン棒37を押し下げゲート25を開く。ゲート25が開くと、液状樹脂は上型7に設けられたキャビテイ17(図2参照)に注入される。キャビティ17への充填が完了して樹脂圧を下げると、スプリング41の押圧力が樹脂圧より高くなり、スプリング41がピストン棒37を押し上げゲート25を閉じる。スプリング41を用いる場合は、液状樹脂の樹脂圧によってゲート25を開閉することができる。
図6〜図9を参照して、本発明に係る成形品生産装置1における、型開きから型締め、次に液状樹脂の注入から樹脂硬化、そして成形品を取り出した状態に至るまでの動作について説明する。
図6は、成形品生産装置1における樹脂封止前の型開きした状態を示している。まず、上型7に設けられたキャビティ17を被覆する離型フィルム20を所定位置にセットする。電子部品のチップ21を装着した支持体22を搬送機構によって下型11の所定位置まで搬送する。ゲートノズル駆動機構16によって、ゲートノズル15を支持体セット部18における型面から下方に離れた位置まで下降させる。エアシリンダ36によってピストン棒37を上昇させ、この状態でゲートノズル15の先端部にあるゲート25を閉じた状態にする。ゲートノズル15に供給された液状樹脂を、樹脂流路24の壁34の外側を流動する冷媒によって冷却する(図3参照)。次に、離型フィルム20を吸着することによって、キャビティ17の内面に密着させる。次に、支持体22を下型11の支持体セット部18に配置する。次に、型締め機構12によって、可動盤8を上昇し、上型7と下型11とを型締めする(図1参照)。
図7は、上型7と下型11とを型締めした直後にゲートノズル15から液状樹脂をキャビテイ17に注入する状態を示している。ゲートノズル駆動機構16によって、ゲートノズル15を支持体22の開口23の所定位置まで上昇させる。次に、エアシリンダ36によってピストン棒37を下降させる。この状態でゲートノズル15の先端部にあるゲート25が開く。次に、液状樹脂注入口27からゲートノズル15の内部に液状樹脂を注入する。加圧された液状樹脂を、ゲート25から支持体22における開口23を経由してキャビティ17に注入する。
図8は、図7に示されたキャビティ17に注入された液状樹脂を硬化させる状態を示している。キャビティ17に液状樹脂を注入する動作が完了した時点で、エアシリンダ36によってピストン棒37を上昇させ、ゲート25を閉じる。ゲート25を閉じることによってキャビティ17内への樹脂封止の注入を止める。液状樹脂を所定時間加熱して硬化させることによって、硬化樹脂42を成形する。ここまでの工程によって、支持体22に装着されたチップ21を、硬化樹脂42によって樹脂封止する。
図9は、上型7と下型11とを型開きして、樹脂封止された成形品43を取り出した状態を示している。樹脂封止が完了した後、ゲート25を閉じた状態でゲートノズル駆動機構16によってゲートノズル15を所定位置まで下降させる。ゲートノズル15を下降させることによって、成形品43における硬化樹脂42とゲートノズル15におけるゲート25付近とを分離する、いわゆるゲートカットを自動的に行う。次に、上型7と下型11とを型開きする。次にエジェクタピン(図示なし)によって成形品43を押し上げ、成形品43を取り出す。成形品43は、硬化樹脂42からゲート25付近を分離した際の痕跡44(誇張して描かれている)を有する。その後、必要に応じて、成形品43を1個又は複数個のチップ21を単位として個片化する。これにより、最終製品である電子デバイスが完成する。
図10(a)、(b)、(c)は、本発明に係る成形品生産装置1において、ゲートノズル15のゲート25と支持体(22、22A、22B)に形成された開口(23、23A、23B)との連通状態を各々示す断面図である。例えば、ゲートノズル15の先端部の径は5mm〜15mm程度に設計され、液状樹脂を注入するゲート25の径は0.3mm〜1.0mm程度に設計される。支持体(22、22A、22B)の開口(23、23A、23B)はゲート25の径より大きく、1mm〜3mm程度に開口される。ゲートノズル15の先端部の径、及び、ゲート25の径は、樹脂封止する対象や液状樹脂の粘度などに対応して最適に設計される。
図10(a)は、下型11における貫通路19を、上面から下面まで同じ大きさの径で開口した場合を示す。貫通路19においてゲートノズル15を上昇させ、ゲートノズル15の先端部と支持体22における開口23の周辺(支持体22の下面)とを密着させる。このことによって、ゲート25と開口23とキャビティ17とが連通する。したがって、樹脂流路24からキャビテイ17に液状樹脂を注入することができる。
図10(b)は、下型11Aに形成された貫通路19Aの上面側において、下型11Aに開口45Aを設けた場合を示す。開口45Aは支持体22Aに形成された開口23Aと同じ大きさに開口する。貫通路19Aにおいてゲートノズル15を上昇させ、ゲートノズル15の先端部と下型11Aにおける開口45Aの周辺(下型11Aにおける張り出し部の下面)とを密着させる。このことによって、ゲート25と開口45Aと開口23Aとキャビティ17とが連通する。したがって、樹脂流路24からキャビテイ17に液状樹脂を注入することができる。
図10(c)は、支持体22Bの開口23Bに段差を設けた場合を示す。貫通路19Bの上面側に、下型11Bの表面より高い位置において開口45Bを形成する。開口23Bは、支持体22Bの裏面側から所定位置において、開口45Bを含む下型11Bの張り出し部が挿入される程度の径を有する。開口45Bは支持体22Bに形成された開口23Bと同じ大きさに開口する。貫通路19Bにおいてゲートノズル15を上昇させ、ゲートノズル15の先端部と下型11Bにおける開口45Bの周辺(下型11Bにおける張り出し部の下面)とを密着させる。このことによって、ゲート25と開口45Bと開口23Bとキャビティ17とが連通する。したがって、樹脂流路24からキャビテイ17に液状樹脂を注入することができる。
図10(a)、(b)、(c)いずれの場合においても、ゲート25とキャビテイ17とは、支持体22、22A、22Bに形成された開口23、23A、23B及び下型11A、11Bに形成された開口45A、45Bとを経由して、連通する。したがって、樹脂流路24からキャビテイ17に液状樹脂を注入することができる。さらに、ゲートノズル15の先端部は支持体22に形成された開口23の周辺、又は、下型11A、11Bに形成された開口45A、45Bの周辺と密着する。このことによって、下型11、11A、11Bに形成された貫通路19、19A、19Bとゲートノズル15との隙間部分にキャビテイ17から液状樹脂が漏れることを防止できる。
また、図10(a)、(b)、(c)いずれの場合においても、液状樹脂を硬化させて樹脂封止が完了した後、ゲートノズル15を所定位置まで下降させることができる(図9参照)。ゲートノズル15を下降させることによって、成形品43における硬化樹脂42とゲートノズル15の先端部におけるゲート25付近とを分離するゲートカットを自動的に行うことができる。
図11は、本発明に係る成形品生産装置1において、チップとしてLEDチップを樹脂封止する場合の成形型とゲートノズルとの構成を示す概略図である。LEDチップを樹脂封止する場合は、支持体22に装着したLEDチップ21Aの位置と数とに対応して、上型7Aに設けられた全体キャビティ17A内にさらにLED対応用の個別キャビティ17Bを設けて樹脂封止してもよい。すなわち、全体キャビティ17A内に個別キャビティ17Bを設けることによって、LED本体部の樹脂封止とレンズ部分の成形とを同一工程で一括して行うことができる。したがって、LED製品を製造する場合の工程数削減とレンズ部分のズレ防止とを同時に実現することができ、製造コストの削減とLED製品の性能を向上することができる。上型7Aに設けた全体キャビテイ17A及び個別キャビティ17Bの構成以外は、図2で示した成形品生産装置1の構成と全く同じものであり、半導体のチップ21を樹脂成形する場合と同様の効果を奏することは言うまでもない。
また、本発明に係る成形品生産装置1は、支持体22に装着された半導体や光半導体のチップ21を樹脂封止するだけでなく、光学部品の集合体を樹脂成形することも可能である。光学部品の集合体の例として、次のものがある。それは、凸レンズの集合体、フレネルレンズの集合体、光学プリズムの集合体、LED用の反射部材(リフレクタ)の集合体等である。この場合には、支持体として粘着フィルムを使用してもよい。粘着フィルムを使用することによって、光学部品の集合体を一括して対象物に貼ることができる。
また、リフレクタとLEDチップとが装着された支持体22を対象として、凸レンズの集合体を本発明に係る成形品生産装置1を用いて一括して成形することができる。加えて、リフレクタとLEDチップとが装着された支持体22と、この凸レンズの集合体とを貼り合わせることも可能である。本発明に係る成形品生産装置1は液状樹脂を用いた樹脂成形を可能としたもので、光学部品の集合体でも容易に樹脂成形をすることができる。
本実施例における成形品生産装置1では、ゲートノズル15を下型セット部14(図1参照)に設け、ゲートノズル15から液状樹脂を上型7に設けられたキャビテイ17に供給して、支持体22に装着されたチップ21を樹脂封止する場合について説明してきた。これに代えて、ゲートノズル15を上型セット部13(図1参照)に設け、キャビティ17を下型11に設けた場合においても同様の効果を奏することは言うまでもない。
本実施例では、支持体22に装着した電子部品のチップ21を樹脂封止する場合について説明してきた。本発明は、支持体22に装着した半導体のチップ21やLEDのチップ21Aを樹脂封止するだけでなく、光学部品の集合体のように電子部品のチップを含まない成形品を樹脂成形する場合においても適用される。さらに、本発明は、半導体製品や光学部品の集合体を樹脂成形する場合だけでなく、プラスチック製品やゴム製品などを樹脂成形する場合においても適用される。
ここまで説明してきたように、本発明に係る成形品生産装置1においては、下型セット部14に設けたゲートノズル15を用いて、支持体22に形成された開口23を経由して、上型7に設けられたキャビティ17内に直接液状樹脂を注入して樹脂封止することが可能となる(図1、図2参照)。したがって、本発明によれば、トランスファモールド法を用いた樹脂封止装置において必要であったカル、ランナ、ゲートなどの樹脂通路を、設ける必要がなくなる。すなわち、キャビティ17へ連通する樹脂通路を形成することが不要となるので、不要樹脂の量を低減して、樹脂材料の使用効率を大幅に向上することができる。
加えて、貫通路19においてゲートノズル15を下降させることによって、成形品43における硬化樹脂42からゲート25付近を分離するゲートカットを自動的に行う(図9参照)。このことによって、トランスファモールド法を用いた樹脂成形装置を使用する場合に必要とされていた樹脂通路における硬化樹脂の不要部分(不要樹脂)を成形品からカットする機構(デゲート機構)が、不要になる。さらに、不要樹脂が成形されないことから、不要樹脂を廃棄するための搬送機構が不要になる。したがって、成形品生産装置1の構成の簡略化と装置面積の低減とが可能となり、装置の小型化とコストダウンとを実現することができる。
また、樹脂封止する対象や支持体22の大きさなどに対応して、下型11に配置された支持体22の任意の位置に開口23を形成し、支持体22の裏面側から開口23を経由して上型7に設けられたキャビティ17に液状樹脂を注入することができる。したがって、樹脂封止する対象に応じて効果的な液状樹脂の注入を行うことができる。キャビティ17内における成形不良やワイヤ流れなどを防止して、製品の品質向上や歩留まり向上を図ることができる。
また、ゲートノズル15は、下型セット部14又は上型セット部13に設けられ、下型セット部14又は上型セット部13の貫通路において昇降する。加えて、ゲートノズル15は可動盤8の下方位置又は固定盤4の上方位置において、可動盤8又は固定盤4から露出することができる。したがって、ゲートノズル15は成形品生産装置1から容易に着脱できる。さらに、ゲートノズル15は、ゲートノズル本体部38、先端部39、樹脂通路部40、ピストン棒37などを構成する各部材を組み立てることによって構成されている(図4参照)。したがって、ゲートノズル15の着脱、及び分解や組み立てを簡単にすることができ、メンテナンス等が容易に行えるので、作業性を向上することが可能となる。
また、従来のトランスファモールド法による樹脂封止装置では、樹脂タブレットを用いるのでLEDのように液状樹脂を用いる樹脂封止を行うことは非常に困難であった。一方、本発明に係る成形品生産装置1は、ゲートノズル15を設けた構成を採用することによって、液状樹脂を用いた樹脂成形を容易にすることを可能にした。したがって、本発明によれば簡単な構成を備えた成形品生産装置を使用して、半導体製品を含むあらゆる分野の製品についても液状樹脂を用いて樹脂成形をすることができる。
本発明は、上述した各実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。
1 成形品生産装置
2 基盤
3 タイバー
4 固定盤
5 上型断熱板
6 上型プレート
7、7A 上型(一方の成形型)
8 可動盤
9 下型断熱板
10 下型プレート
11、11A、11B 下型(他方の成形型)
12 型締め機構(第1の駆動機構)
13 上型セット部
14 下型セット部
15 ゲートノズル(注入用部材)
16 ゲートノズル駆動機構(第2の駆動機構)
17 キャビティ
17A 全体キャビティ
17B 個別キャビテイ
18 支持体セット部
19、19A、19B 貫通路
20 離型フィルム
21 チップ
21A LEDチップ
22、22A、22B 支持体
23、23A、23B 開口(第1の開口)
24 樹脂流路
25 ゲート(注入口)
26 液状樹脂供給機構
27 液状樹脂供給口
28 冷媒供給機構
29 冷媒供給口
30 冷媒排出口
31 主剤収容タンク
32 硬化剤収容タンク
33 混合タンク
34 壁
35 冷媒流路
36 エアシリンダ(進退機構)
37 ピストン棒(開閉用部材)
38 ゲートノズル本体部
39 先端部
40 樹脂通路部
41 スプリング
42 硬化樹脂
43 成形品
44 痕跡
45A、45B 開口(第2の開口)

Claims (12)

  1. 第1の成形型と、該第1の成形型に相対向して設けられた第2の成形型と、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうちいずれか一方の成形型に設けられたキャビティと、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とを型締めし、型開きする第1の駆動機構とを備え、
    前記キャビティにおいて硬化樹脂を成形することによって、前記第1の成形型と前記第2の成形型との間に配置された支持体と該支持体の上に成形された前記硬化樹脂とを有する成形品を生産する成形品生産装置であって、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうち他方の成形型に設けられた貫通路と、
    前記貫通路において前記一方の成形型に対して進退できるようにして設けられた注入用部材と、
    前記注入用部材の内部に設けられた樹脂流路と、
    前記支持体に設けられた第1の開口に対して平面視して重なるようにして前記注入用部材の先端部に設けられた注入口と、
    前記注入用部材を進退させる第2の駆動機構と、
    熱硬化性樹脂を含む液状樹脂を前記樹脂流路に供給する供給機構と、
    前記注入用部材を構成する壁の内部に設けられ、前記樹脂流路における前記液状樹脂を冷却する冷却機構と、
    前記樹脂流路において前記注入口に対して進退自在に設けられ、前進した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを遮断し、かつ、後退した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを連通する開閉用部材と、
    前記開閉用部材を進退させる進退機構と、
    前記樹脂流路から前記注入口を経由して前記キャビティに注入された前記液状樹脂を加熱する加熱機構とを備え、
    前記貫通路において前記注入用部材を前進させることによって、前記注入用部材の前記先端部を前記支持部材に設けられた前記第1の開口の周辺に押し当てて、前記支持部材に設けられた前記第1の開口の周辺と前記注入用部材の前記先端部とを密着させ、前記第1の開口と前記注入口と前記樹脂流路とが連通した状態となり、
    前記樹脂流路から少なくとも前記注入口を経由して前記キャビティに前記液状樹脂が注入され、
    前記キャビティに注入された前記液状樹脂が加熱されて成形された前記硬化樹脂となり、
    前記硬化樹脂から前記注入用部材が後退することによって前記硬化樹脂と前記先端部とが分離され、
    前記成形品は最終製品を生産する際に使用され、
    前記第1の開口は前記最終製品の機能には影響しない部分に設けられたことを特徴とする成形品生産装置。
  2. 第1の成形型と、該第1の成形型に相対向して設けられた第2の成形型と、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうちいずれか一方の成形型に設けられたキャビティと、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とを型締めし、型開きする第1の駆動機構とを備え、
    前記キャビティにおいて硬化樹脂を成形することによって、前記第1の成形型と前記第2の成形型との間に配置された支持体と該支持体の上に成形された前記硬化樹脂とを有する成形品を生産する成形品生産装置であって、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうち他方の成形型に設けられた貫通路と、
    前記他方の成形型における前記貫通路の前記支持体が配置される側に設けられた第2の開口と、
    前記貫通路において前記一方の成形型に対して進退できるようにして設けられた注入用部材と、
    前記注入用部材の内部に設けられた樹脂流路と、
    前記支持体に設けられた第1の開口に対して平面視して重なるようにして前記注入用部材の先端部に設けられた注入口と、
    前記注入用部材を進退させる第2の駆動機構と、
    熱硬化性樹脂を含む液状樹脂を前記樹脂流路に供給する供給機構と、
    前記注入用部材を構成する壁の内部に設けられ、前記樹脂流路における前記液状樹脂を冷却する冷却機構と、
    前記樹脂流路において前記注入口に対して進退自在に設けられ、前進した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを遮断し、かつ、後退した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを連通する開閉用部材と、
    前記開閉用部材を進退させる進退機構と、
    前記樹脂流路から前記注入口を経由して前記キャビティに注入された前記液状樹脂を加熱する加熱機構とを備え、
    前記貫通路において前記注入用部材を前進させることによって、前記注入用部材の前記先端部を前記他方の成形型に設けられた前記第2の開口の周辺に押し当てて、前記他方の成形型に設けられた前記第2の開口の周辺と前記注入用部材の前記先端部とを密着させ、前記第1の開口と前記第2の開口と前記注入口と前記樹脂流路とが連通した状態となり、
    前記樹脂流路から少なくとも前記注入口を経由して前記キャビティに前記液状樹脂が注入され、
    前記キャビティに注入された前記液状樹脂が加熱されて成形された前記硬化樹脂となり、
    前記硬化樹脂から前記注入用部材が後退することによって前記硬化樹脂と前記先端部とが分離され、
    前記成形品は最終製品を生産する際に使用され、
    前記第1の開口は前記最終製品の機能には影響しない部分に設けられたことを特徴とする成形品生産装置。
  3. 第1の成形型と、該第1の成形型に相対向して設けられた第2の成形型と、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうちいずれか一方の成形型に設けられたキャビティと、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とを型締めし、型開きする第1の駆動機構とを備え、
    前記キャビティにおいて硬化樹脂を成形することによって、前記第1の成形型と前記第2の成形型との間に配置された支持体と該支持体の上に成形された前記硬化樹脂とを有する成形品を生産する成形品生産装置であって、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうち他方の成形型に設けられた貫通路と、
    前記貫通路において前記一方の成形型に対して進退できるようにして設けられた注入用部材と、
    前記注入用部材の内部に設けられた樹脂流路と、
    前記支持体に設けられた第1の開口に対して平面視して重なるようにして前記注入用部材の先端部に設けられた注入口と、
    前記注入用部材を進退させる第2の駆動機構と、
    熱硬化性樹脂を含む液状樹脂を前記樹脂流路に供給する供給機構と、
    前記注入用部材を構成する壁の内部に設けられ、前記樹脂流路における前記液状樹脂を冷却する冷却機構と、
    前記樹脂流路において前記注入口に対して進退自在に設けられ、前進した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを遮断し、かつ、後退した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを連通する開閉用部材と、
    前記開閉用部材を進退させる弾性部材と、
    前記樹脂流路から前記注入口を経由して前記キャビティに注入された前記液状樹脂を加熱する加熱機構とを備え、
    前記貫通路において前記注入用部材を前進させ、前記供給機構が前記液状樹脂に樹脂圧を加えることで、前記弾性部材が弾性変形し、前記開閉用部材が前記注入口に対して後退することによって前記第1の開口と前記注入口と前記樹脂流路とが連通した状態となり、
    前記樹脂流路から少なくとも前記注入口を経由して前記キャビティに前記液状樹脂が注入され、
    前記キャビティに注入された前記液状樹脂が加熱されて成形された前記硬化樹脂となり、
    前記硬化樹脂から前記注入用部材が後退することによって前記硬化樹脂と前記先端部とが分離され、
    前記成形品は最終製品を生産する際に使用され、
    前記第1の開口は前記最終製品の機能には影響しない部分に設けられたことを特徴とする成形品生産装置。
  4. 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載された成形品生産装置において、
    前記支持体は電子部品のチップが装着された回路基板であることを特徴とする成形品生
    産装置。
  5. 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載された成形品生産装置において、
    前記液状樹脂は透光性を有し、
    前記支持体の上に成形された前記硬化樹脂は光学部品の集合体を含むことを特徴とする
    成形品生産装置。
  6. 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載された成形品生産装置において、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とが近接した状態において、前記注入用部材の前記先端部に設けられた前記注入口が、前記第1の成形型又は前記第2の成形型が固定された、可動盤又は固定盤から露出した状態になることを特徴とする成形品生産装置。
  7. 第1の成形型と該第1の成形型に相対向して設けられた第2の成形型との間に支持体を
    配置する工程と、前記第1の成形型と前記第2の成形型とを型締めする工程と、前記第1
    の成形型と前記第2の成形型とのうちいずれか一方の成形型に設けられたキャビティに熱
    硬化性樹脂を含む液状樹脂を注入する工程と、前記キャビティに注入された前記液状樹
    脂を硬化させて前記支持体の上に硬化樹脂を成形する工程と、前記第1の成形型と前記第
    2の成形型とを型開きする工程と、前記支持体と前記硬化樹脂とを有する成形品を取り出
    す工程とを備える成形品生産方法であって、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうち他方の成形型に設けられた貫通路と、前記貫通路において前記一方の成形型に対して進退できるようにして設けられた注入用部材と、前記注入用部材の内部に設けられた樹脂流路と、前記支持体に設けられた第1の開口に対して平面視して重なるようにして前記注入用部材の先端部に設けられた注入口と、前記樹脂流路において前記注入口に対して進退自在に設けられ、前進した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを遮断し、かつ、後退した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを連通する開閉用部材とを準備する工程と、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうち前記他方の成形型に設けられた前記貫通路に前記注入用部材を進入させる工程と、
    前記貫通路において前記支持体に設けられた前記第1の開口に対して前記注入用部材を前進させる工程と、
    前記注入用部材の前記先端部を前記支持部材に設けられた前記第1の開口の周辺に押し当てて、前記支持部材に設けられた前記第1の開口の周辺と前記注入用部材の前記先端部とを密着させる工程と、
    前記第1の開口と前記注入用部材の内部に設けられた前記樹脂流路とを、前記注入用部材の前記先端部に設けられた前記注入口を経由して連通させる工程と、
    前記硬化樹脂から前記注入用部材を後退させることによって前記硬化樹脂と前記先端部
    とを分離する工程とを備え、
    前記連通させる工程では、前記開閉用部材を後退させることによって少なくとも前記第1の開口と前記樹脂流路とを連通させ、
    前記液状樹脂を注入する工程では、前記樹脂流路から前記注入口を経由して前記キャビ
    ティに前記液状樹脂を注入し、
    さらに、前記液状樹脂を注入する工程においては、前記注入用部材の内部における前記液状樹脂を冷却する工程を備え、
    前記硬化樹脂を成形する工程では、前記キャビティに注入された前記液状樹脂を加熱し
    て硬化させることによって前記硬化樹脂を成形し、
    前記成形品は最終製品を生産する際に使用され、
    前記第1の開口は前記最終製品の機能には影響しない部分に設けられたことを特徴とす
    る成形品生産方法。
  8. 第1の成形型と該第1の成形型に相対向して設けられた第2の成形型との間に支持体を
    配置する工程と、前記第1の成形型と前記第2の成形型とを型締めする工程と、前記第1
    の成形型と前記第2の成形型とのうちいずれか一方の成形型に設けられたキャビティに熱
    硬化性樹脂を含む液状樹脂を注入する工程と、前記キャビティに注入された前記液状樹
    脂を硬化させて前記支持体の上に硬化樹脂を成形する工程と、前記第1の成形型と前記第
    2の成形型とを型開きする工程と、前記支持体と前記硬化樹脂とを有する成形品を取り出
    す工程とを備える成形品生産方法であって、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうち他方の成形型に設けられた貫通路と、前記他方の成形型における前記貫通路の前記支持体が配置される側に設けられた第2の開口と、前記貫通路において前記一方の成形型に対して進退できるようにして設けられた注入用部材と、前記注入用部材の内部に設けられた樹脂流路と、前記支持体に設けられた第1の開口に対して平面視して重なるようにして前記注入用部材の先端部に設けられた注入口と、前記樹脂流路において前記注入口に対して進退自在に設けられ、前進した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを遮断し、かつ、後退した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを連通する開閉用部材とを準備する工程と、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうち前記他方の成形型に設けられた前記貫通路に前記注入用部材を進入させる工程と、
    前記貫通路において前記支持体に設けられた前記第1の開口に対して前記注入用部材を前進させる工程と、
    前記注入用部材の前記先端部を前記他方の成形型に設けられた前記第2の開口の周辺に押し当てて、前記他方の成形型に設けられた前記第2の開口の周辺と前記注入用部材の前記先端部とを密着させる工程と、
    前記第1の開口と前記第2の開口と前記注入用部材の内部に設けられた前記樹脂流路とを、前記注入用部材の前記先端部に設けられた前記注入口を経由して連通させる工程と、
    前記硬化樹脂から前記注入用部材を後退させることによって前記硬化樹脂と前記先端部
    とを分離する工程とを備え、
    前記連通させる工程では、前記開閉用部材を後退させることによって少なくとも前記第1の開口と前記樹脂流路とを連通させ、
    前記液状樹脂を注入する工程では、前記樹脂流路から前記注入口を経由して前記キャビ
    ティに前記液状樹脂を注入し、
    さらに、前記液状樹脂を注入する工程においては、前記注入用部材の内部における前記液状樹脂を冷却する工程を備え、
    前記硬化樹脂を成形する工程では、前記キャビティに注入された前記液状樹脂を加熱し
    て硬化させることによって前記硬化樹脂を成形し、
    前記成形品は最終製品を生産する際に使用され、
    前記第1の開口は前記最終製品の機能には影響しない部分に設けられたことを特徴とす
    る成形品生産方法。
  9. 第1の成形型と該第1の成形型に相対向して設けられた第2の成形型との間に支持体を
    配置する工程と、前記第1の成形型と前記第2の成形型とを型締めする工程と、前記第1
    の成形型と前記第2の成形型とのうちいずれか一方の成形型に設けられたキャビティに熱
    硬化性樹脂を含む液状樹脂を注入する工程と、前記キャビティに注入された前記液状樹脂を硬化させて前記支持体の上に硬化樹脂を成形する工程と、前記第1の成形型と前記第2の成形型とを型開きする工程と、前記支持体と前記硬化樹脂とを有する成形品を取り出す工程とを備える成形品生産方法であって、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうち他方の成形型に設けられた貫通路と、前記貫通路において前記一方の成形型に対して進退できるようにして設けられた注入用部材と、前記注入用部材の内部に設けられた樹脂流路と、前記支持体に設けられた第1の開口に対して平面視して重なるようにして前記注入用部材の先端部に設けられた注入口と、前記樹脂流路において前記注入口に対して進退自在に設けられ、前進した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを遮断し、かつ、後退した状態において前記樹脂流路と前記注入口とを連通する開閉用部材と、前記開閉用部材を進退させる弾性部材とを準備する工程と、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とのうち前記他方の成形型に設けられた前記貫通路に前記注入用部材を進入させる工程と、
    前記貫通路において前記支持体に設けられた前記第1の開口に対して前記注入用部材を前進させる工程と、
    前記第1の開口と前記注入用部材の内部に設けられた前記樹脂流路とを、前記注入用部材の前記先端部に設けられた前記注入口を経由して連通させる工程と、
    前記硬化樹脂から前記注入用部材を後退させることによって前記硬化樹脂と前記先端部
    とを分離する工程とを備え、
    前記連通させる工程では、前記供給機構が前記液状樹脂に樹脂圧を加え、前記弾性部材を弾性変形させることで、前記開閉用部材が後退し、少なくとも前記第1の開口と前記樹脂流路とを連通させ、
    前記液状樹脂を注入する工程では、前記樹脂流路から前記注入口を経由して前記キャビ
    ティに前記液状樹脂を注入し、
    さらに、前記液状樹脂を注入する工程においては、前記注入用部材の内部における前記液状樹脂を冷却する工程を備え、
    前記硬化樹脂を成形する工程では、前記キャビティに注入された前記液状樹脂を加熱し
    て硬化させることによって前記硬化樹脂を成形し、
    前記成形品は最終製品を生産する際に使用され、
    前記第1の開口は前記最終製品の機能には影響しない部分に設けられたことを特徴とす
    る成形品生産方法。
  10. 請求項7から請求項9のいずれか一項に記載された成形品生産方法において、
    前記支持体は電子部品のチップが装着された回路基板であることを特徴とする成形品生
    産方法。
  11. 請求項7から請求項9のいずれか一項に記載された成形品生産方法において、
    前記液状樹脂は透光性を有し、
    前記支持体の上に成形された前記硬化樹脂は光学部品の集合体を含むことを特徴とする
    成形品生産方法。
  12. 請求項7から請求項9のいずれか一項に記載された成形品生産方法において、
    前記第1の成形型と前記第2の成形型とを近接させた状態において、前記注入用部材の前記先端部に設けられた前記注入口を、前記第1の成形型又は前記第2の成形型が固定された、可動盤又は固定盤から露出させる工程を備えることを特徴とする成形品生産方法。
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