JP6004728B2

JP6004728B2 - Blade cover device and cutting device provided with blade cover device

Info

Publication number: JP6004728B2
Application number: JP2012100416A
Authority: JP
Inventors: 祝子伊藤
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-04-25
Filing date: 2012-04-25
Publication date: 2016-10-12
Anticipated expiration: 2032-04-25
Also published as: JP2013229451A

Description

本発明は、ブレードカバー装置およびブレードカバー装置を備えた切削装置に関するものである。 The present invention relates to a blade cover device and a cutting device including the blade cover device.

半導体デバイス装置製造工程においては、略円盤形状である半導体ウェーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域に区画し、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成する。そして、半導体ウェーハを分割予定ラインに沿って、切断することにより回路が形成された領域を分割して、個々の半導体デバイスを製造している。 In the semiconductor device manufacturing process, a substantially disc-shaped surface of a semiconductor wafer is divided into a plurality of regions by dividing lines called streets arranged in a lattice pattern on the surface of the semiconductor wafer, and a circuit such as an IC or LSI is divided into the partitioned regions. Form. Then, each semiconductor device is manufactured by dividing the region where the circuit is formed by cutting the semiconductor wafer along the planned division line.

半導体ウェーハを切削する切削装置では、切削ブレードを高速回転させ、周囲に配設されたノズルによって切削液を供給しながら半導体ウェーハを切削加工する。切削により発生した熱や、コンタミネーションは、切削液によって冷却・除去される。切削ブレードは、回転スピンドルに装着された状態では、回転したときの刃先の回転軌道は完全な真円ではなく、楕円となりやすい。この場合、実際の加工に用いられる刃先は、一周（３６０°）のうち数％となり、本来の切削力を発揮できない。従って、切削ブレード装着後に、ドレッシングを実行する（例えば、特許文献１参照）。 In a cutting apparatus that cuts a semiconductor wafer, a cutting blade is rotated at a high speed, and the semiconductor wafer is cut while a cutting fluid is supplied by a nozzle disposed around the cutting blade. Heat generated by cutting and contamination are cooled and removed by the cutting fluid. When the cutting blade is mounted on the rotary spindle, the rotation trajectory of the cutting edge when rotating is not a perfect circle but tends to be an ellipse. In this case, the cutting edge used for actual machining is several percent of one round (360 °), and the original cutting force cannot be exhibited. Accordingly, dressing is performed after the cutting blade is mounted (see, for example, Patent Document 1).

また、切削ブレードは、砥粒からなる研磨剤を結合材料に保持させた状態で構成されており、切削の衝撃によって順次刃先の砥粒と結合材料が脱落することにより、常に一定以上の切削力が保たれるようになっている。そのため、適度な消耗が必要であり、それを達成するために切削ブレードの種類（砥粒サイズや接着剤の種類）、回転数や切削ブレードの切削進行速度を調整する必要がある。 In addition, the cutting blade is configured in such a state that abrasives made of abrasive grains are held in the bonding material, and the abrasive grains and the bonding material on the cutting edge are sequentially dropped by the impact of cutting, so that the cutting force always exceeds a certain level. Is to be maintained. Therefore, moderate consumption is necessary, and in order to achieve this, it is necessary to adjust the type of cutting blade (abrasive grain size and type of adhesive), the number of rotations, and the cutting progress speed of the cutting blade.

特開２００６−２１８５７１号公報JP 2006-218571 A

しかしながら、求める加工結果（加工時間、半導体ウェーハの欠け許容サイズなど）を優先すると、切削ブレードの適切な消耗が得られず、徐々に目詰まりや変形が発生するため、定期的にドレッシングを行い、目詰まりを除去する作業が必要となる場合がある。ドレッシングは、通常、チャックテーブルに固定されたドレッシングボードを用いて行われるため、ドレッシングボードのチャックテーブルに対する着脱、切削ブレードに対するドレッシングボードの位置合わせなどの作業工数が必要であった。また、刃先の形状が重要な加工の場合、消耗によって形状が変化してしまうため、形状の変化によって本来、長く使用可能な切削ブレードも、新品と交換する場合がある。 However, if priority is given to the desired processing results (processing time, chipping tolerance size of semiconductor wafer, etc.), the cutting blade will not be properly consumed, and clogging and deformation will occur gradually. An operation to remove clogging may be required. Since dressing is usually performed using a dressing board fixed to the chuck table, work steps such as attachment / detachment of the dressing board to / from the chuck table and alignment of the dressing board with respect to the cutting blade are required. In the case of machining where the shape of the cutting edge is important, the shape changes due to wear, so that a cutting blade that can be used for a long time due to the change in shape may be replaced with a new one.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、少なくともドレッシングを行う際の作業工数を削減することができるブレードカバー装置およびブレードカバー装置を備えた切削装置を提供することを目的とする。 This invention is made | formed in view of the above, Comprising: It aims at providing the cutting device provided with the blade cover apparatus and blade cover apparatus which can reduce the work man-hour at the time of dressing at least.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、回転スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって、前記ブレードカバー装置は、前記切削ブレードを修正するブロック状の修正部材と、前記回転スピンドルに装着された前記切削ブレードを覆うカバー手段と、前記カバー手段に配設され、着脱自在に保持した前記修正部材を前記切削ブレードの外周から回転中心に向かって移動させ、前記修正部材に前記切削ブレードが切り込むことで、前記切削ブレードを修正する切削ブレード修正手段と、を含んで構成され、前記切削ブレード修正手段は、前記修正部材を所定距離移動して前記切削ブレードを修正した後、前記修正部材の位置を維持し、次回の修正時に、位置を維持していた前記修正部材を所定距離同一方向へさらに移動させることで、前記切削ブレードを再度修正することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides a blade cover device that covers a cutting blade attached to a tip of a rotary spindle, and the blade cover device includes a block for correcting the cutting blade. And a cover means for covering the cutting blade mounted on the rotary spindle, and the correction member disposed on the cover means and detachably held from the outer periphery of the cutting blade toward the center of rotation. And a cutting blade correction means for correcting the cutting blade by cutting the cutting blade into the correction member, and the cutting blade correction means moves the correction member by a predetermined distance to move the correction blade. After correcting the cutting blade, the position of the correction member is maintained, and the correction member that has maintained the position at the next correction is removed. By is further moved to the constant distance same direction, characterized by modifying the cutting blade again.

また、本発明に係る切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された前記被加工物を切削する切削ブレードが先端に装着される回転スピンドルを含む加工手段と、制御手段による判定結果を表示する表示手段と、前記加工手段および前記表示手段を制御する制御手段と、を備えた切削装置であって、前記回転スピンドルは、上記ブレードカバー装置を有し、前記制御手段は、前記切削ブレード修正手段によって前記修正部材が移動した累積距離が規定の距離に達したと判定すると、前記判定結果を前記表示手段に表示させ、前記修正部材の交換を促すことを特徴とする。 Further, the cutting device according to the present invention includes a chuck table for holding a workpiece, and a processing means including a rotary spindle on which a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table is mounted at a tip end; A cutting apparatus comprising: display means for displaying a determination result by the control means; and control means for controlling the processing means and the display means, wherein the rotary spindle includes the blade cover device, and the control When the means determines that the cumulative distance that the correction member has moved by the cutting blade correction means has reached a predetermined distance, the means displays the determination result on the display means, and prompts replacement of the correction member. To do.

本発明のブレードカバー装置は、予め配設された修正部材を切削ブレードの外周から回転中心に向かって移動させ、修正部材に切削ブレードが切り込むことで、切削ブレードを修正するので、チャックテーブルにドレッシングボードを固定する必要がなく、ドレッシングボードのチャックテーブルに対する着脱や、切削ブレードに対するドレッシングボードの位置合わせなどの作業工数を削減することができるという効果を奏する。また、本発明のブレードカバー装置を備えた切削装置は、上記ブレードカバー装置のブレード修正手段によって修正部材が移動した累積距離が規定の距離に達したと判定すると、判定結果を表示手段に表示させ、修正部材の交換を促すので、オペレータは切削ブレードのドレッシングが実行できなくなる前に、修正部材の交換を行うことができるという効果を奏する。 The blade cover device of the present invention moves the correction member arranged in advance from the outer periphery of the cutting blade toward the center of rotation, and the cutting blade cuts into the correction member to correct the cutting blade. There is no need to fix the board, and it is possible to reduce the number of work steps such as attachment / detachment of the dressing board to / from the chuck table and alignment of the dressing board with respect to the cutting blade. In addition, when the cutting device provided with the blade cover device of the present invention determines that the cumulative distance that the correction member has moved by the blade correction unit of the blade cover device has reached a specified distance, the determination result is displayed on the display unit. Since the replacement of the correction member is urged, there is an effect that the operator can replace the correction member before it becomes impossible to perform dressing of the cutting blade.

図１は、ブレードカバー装置を備える切削装置の構成例を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a cutting device including a blade cover device. 図２は、加工手段の構成例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of the processing means. 図３−１は、実施形態に係るブレードカバー装置の構成例を示す図である。FIG. 3A is a diagram illustrating a configuration example of the blade cover device according to the embodiment. 図３−２は、ブレードカバー装置の動作説明図である。FIG. 3-2 is an operation explanatory diagram of the blade cover device. 図３−３は、ブレードカバー装置の動作説明図である。FIG. 3C is an operation explanatory diagram of the blade cover device. 図３−４は、ブレードカバー装置の動作説明図である。FIG. 3-4 is an operation explanatory diagram of the blade cover device. 図４は、ブレードカバー装置の他の構成例を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating another configuration example of the blade cover device. 図５−１は、ブレードカバー装置の他の構成例を示す図である。FIG. 5A is a diagram illustrating another configuration example of the blade cover device. 図５−２は、ブレードカバー装置の動作説明図である。FIG. 5B is an explanatory diagram of the operation of the blade cover device. 図５−３は、ブレードカバー装置の動作説明図である。FIG. 5C is an operation explanatory diagram of the blade cover device. 図５−４は、ブレードカバー装置の動作説明図である。FIG. 5-4 is an operation explanatory diagram of the blade cover device. 図５−５は、ブレードカバー装置の動作説明図である。FIG. 5-5 is an operation explanatory diagram of the blade cover device.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態〕
図１は、ブレードカバー装置を備える切削装置の構成例を示す図である。図２は、加工手段の構成例を示す図である。図３−１は、実施形態に係るブレードカバー装置の構成例を示す図である。図３−２〜図３−４は、ブレードカバー装置の動作説明図である。なお、図２は切削ブレードを軸方向から見た図であり、図３−１は切削ブレードを径方向から見た図である。 Embodiment
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a cutting device including a blade cover device. FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of the processing means. FIG. 3A is a diagram illustrating a configuration example of the blade cover device according to the embodiment. 3-2 to 3-4 are explanatory diagrams of the operation of the blade cover device. 2 is a view of the cutting blade as viewed from the axial direction, and FIG. 3A is a view of the cutting blade as viewed from the radial direction.

本実施形態に係るブレードカバー装置を備える切削装置は、被加工物の分割あるいは被加工物のエッジトリミングなどを行うために、被加工物を保持したチャックテーブルと、切削ブレードを有する加工手段とを相対移動させることで、被加工物に対して切削加工を行うものである。切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、ブレードカバー装置２３を有する加工手段２０と、図示しないＸ軸移動手段と、Ｙ軸移動手段３０と、Ｚ軸移動手段４０と、制御装置５０と、表示装置６０とを含んで構成されている。 A cutting apparatus including a blade cover device according to the present embodiment includes a chuck table that holds a workpiece and a processing unit having a cutting blade in order to divide the workpiece or perform edge trimming of the workpiece. The workpiece is cut by relative movement. As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 includes a chuck table 10, a processing means 20 having a blade cover device 23, an X-axis moving means (not shown), a Y-axis moving means 30, a Z-axis moving means 40, A control device 50 and a display device 60 are included.

チャックテーブル１０は、被加工物を保持するものである。チャックテーブル１０は、表面に載置された被加工物Ｗを吸引することで、被加工物Ｗの表面を露出させた状態で保持するものである。なお、チャックテーブル１０は、テーブル移動基台２に着脱可能に固定されている。また、チャックテーブル１０の周囲には、クランプ部１１が設けられており、クランプ部１１がエアーアクチュエータにより駆動することで、ダイシングテープＴを介して被加工物Ｗが保持されているフレームＦを挟持する。 The chuck table 10 holds a workpiece. The chuck table 10 holds the workpiece W in an exposed state by sucking the workpiece W placed on the surface. The chuck table 10 is detachably fixed to the table moving base 2. In addition, a clamp portion 11 is provided around the chuck table 10, and the clamp portion 11 is driven by an air actuator so that the frame F holding the workpiece W is held via the dicing tape T. To do.

ここで、被加工物Ｗは、切削装置１により加工される加工対象であり、本実施形態ではシリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする半導体ウェーハや、ＣＳＰ基板、ガラス、樹脂等からなる板状部材である。被加工物Ｗは、例えば、デバイスが複数形成されているデバイス側の表面と反対側の裏面がダイシングテープＴに貼着され、被加工物Ｗに貼着されたダイシングテープＴがフレームＦに貼着されることで、フレームＦに固定される。 Here, the workpiece W is a workpiece to be processed by the cutting apparatus 1, and in the present embodiment, a semiconductor wafer having a base material of silicon, sapphire, gallium or the like, a plate made of CSP substrate, glass, resin, or the like. It is a shaped member. The workpiece W has, for example, a device-side surface on which a plurality of devices are formed and a back surface opposite to the device-side surface attached to the dicing tape T, and the dicing tape T attached to the workpiece W is attached to the frame F. By being worn, it is fixed to the frame F.

加工手段２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗに対して切削加工を行うものである。加工手段２０は、切削ブレード２１と、回転スピンドル２２と、ブレードカバー装置２３と、ハウジング２４と、ノズル２５ａ，２５ｂとを含んで構成されている。切削ブレード２１は、被加工物Ｗを切削加工する環状に形成されており、砥粒からなる研磨剤を結合材料に保持させた状態で構成され、高速回転することで被加工物に切削加工を行うものである。切削ブレード２１は、回転スピンドル２２の先端に形成されたマウントに対して固定ナットにより着脱自在に固定される。回転スピンドル２２は、円筒形状のハウジング２４に回転可能に支持され、ハウジング２４に連結されている図示しない回転駆動源に連結されている。切削ブレード２１は、回転駆動源により発生した回転力により高速回転（数千〜数万ｒｐｍ）する。 The processing means 20 performs cutting on the workpiece W held on the chuck table 10. The processing means 20 includes a cutting blade 21, a rotary spindle 22, a blade cover device 23, a housing 24, and nozzles 25a and 25b. The cutting blade 21 is formed in an annular shape for cutting the workpiece W, and is configured in a state where a polishing agent made of abrasive grains is held in a binding material, and the workpiece is cut by rotating at high speed. Is what you do. The cutting blade 21 is detachably fixed to a mount formed at the tip of the rotary spindle 22 by a fixing nut. The rotary spindle 22 is rotatably supported by a cylindrical housing 24 and is connected to a rotation drive source (not shown) connected to the housing 24. The cutting blade 21 rotates at a high speed (several thousand to several tens of thousands rpm) by the rotational force generated by the rotational drive source.

ブレードカバー装置２３は、回転スピンドル２２の先端に装着された切削ブレード２１を覆うものであり、修正部材２６と、カバー手段２７と、切削ブレード修正手段２８とを含んで構成されている。 The blade cover device 23 covers the cutting blade 21 attached to the tip of the rotary spindle 22 and includes a correction member 26, a cover means 27, and a cutting blade correction means 28.

修正部材２６は、切削ブレード２１を修正するものであり、切削ブレード２１が切り込むことで、切削ブレード２１をドレッシングするものである。修正部材２６は、砥粒としてのアルミナ粉末や炭化珪素粉末等からなる研磨剤を、ガラスや樹脂（レジン）からなる結合材料中に保持させ、ブロック状に形成されている。修正部材２６は、後述する保持部材２８ｃにより保持されることで、切削ブレード修正手段２８と連結されている。 The correction member 26 corrects the cutting blade 21, and dresses the cutting blade 21 by cutting the cutting blade 21. The correction member 26 is formed in a block shape by holding an abrasive made of alumina powder or silicon carbide powder as abrasive grains in a binding material made of glass or resin (resin). The correction member 26 is connected to the cutting blade correction means 28 by being held by a holding member 28c described later.

カバー手段２７は、切削ブレード２１を覆うものであり、ブレードカバー装置２３の本体部である。カバー手段２７には、水平方向における両端部のうち、一端に切削ブレード２１と径方向において対向するノズル２５ａが配設され、他端から切削ブレード２１に向かって水平方向に延在し、切削ブレード２１と軸方向において対向する２つのノズル２５ｂが配設されている。各ノズル２５ａ，２５ｂは、制御装置５０により開閉制御が行われる開閉弁７０を介して接続された切削液供給源８０から、切削液が供給されることで、切削ブレード２１および被加工物Ｗに切削液を供給する。 The cover means 27 covers the cutting blade 21 and is a main body portion of the blade cover device 23. Of the both ends in the horizontal direction, the cover means 27 is provided with a nozzle 25a that faces the cutting blade 21 in the radial direction at one end and extends in the horizontal direction from the other end toward the cutting blade 21. Two nozzles 25b that are opposed to 21 in the axial direction are arranged. The nozzles 25a and 25b are supplied to the cutting blade 21 and the workpiece W by being supplied with a cutting fluid from a cutting fluid supply source 80 connected via an on-off valve 70 that is controlled to be opened and closed by the control device 50. Supply cutting fluid.

切削ブレード修正手段２８は、カバー手段２７に配設され、修正部材２６を着脱自在に保持するものである。切削ブレード修正手段２８は、本実施形態では、電動アクチュエータであり、直動機構２８ａと、モータ２８ｂと、保持部材２８ｃとを含んで構成されている。直動機構２８ａは、モータ２８ｂの回転を直動方向の移動に変換するものであり、例えば、モータ２８ｂに連結された図示しない雌ネジ部材と、雌ネジ部材と螺合し、保持部材２８ｃにシャフト２８ｄを介して連結された図示しない雄ネジ部材とにより構成されている。つまり、直動機構２８ａは、モータ２８ｂが一方に回転することで保持部材２８ｃを下方に移動させ、他方に回転することで保持部材２８ｃを上方に移動させ、回転を停止することで、保持部材２８ｃの上下方向の位置を維持するものである。モータ２８ｂは、制御装置５０と接続されており、駆動が制御装置５０により行われる。保持部材２８ｃは、修正部材２６を着脱自在に保持するものであり、本実施形態では、ボルトなどの固定手段により修正部材２６を着脱自在に保持する。ここで、保持部材２８ｃは、修正部材２６を予め切削ブレード２１と径方向において対向するように配設するものであり、さらに修正部材２６の中央部（切削ブレード２１の軸方向における中央部）が切削ブレード２１の回転中心と径方向において対向する位置となるように保持する。従って、直動機構２８ａにより、保持部材２８ｃが下方に移動することで、修正部材２６を切削ブレード２１の外周から中心に向かって移動させることができ、修正部材２６に回転する切削ブレード２１が切り込むことで、切削ブレード２１を修正することとなる。 The cutting blade correction means 28 is disposed on the cover means 27 and holds the correction member 26 in a detachable manner. In this embodiment, the cutting blade correcting means 28 is an electric actuator, and includes a linear motion mechanism 28a, a motor 28b, and a holding member 28c. The linear motion mechanism 28a converts the rotation of the motor 28b into movement in the linear motion direction. For example, the linear motion mechanism 28a is screwed with a female screw member (not shown) connected to the motor 28b and the holding member 28c. It is comprised by the external thread member which is not shown in figure connected via the shaft 28d. That is, the linear motion mechanism 28a moves the holding member 28c downward by rotating the motor 28b in one direction, moves the holding member 28c upward by rotating in the other direction, and stops the rotation by stopping the rotation. The vertical position of 28c is maintained. The motor 28 b is connected to the control device 50 and is driven by the control device 50. The holding member 28c detachably holds the correction member 26. In the present embodiment, the holding member 28c detachably holds the correction member 26 by a fixing means such as a bolt. Here, the holding member 28c is arranged so that the correction member 26 is opposed to the cutting blade 21 in the radial direction in advance, and a central portion of the correction member 26 (a central portion in the axial direction of the cutting blade 21) is provided. The cutting blade 21 is held so as to be opposed to the rotation center in the radial direction. Accordingly, the holding member 28c is moved downward by the linear movement mechanism 28a, whereby the correction member 26 can be moved from the outer periphery of the cutting blade 21 toward the center, and the rotating cutting blade 21 is cut into the correction member 26. As a result, the cutting blade 21 is corrected.

Ｘ軸移動手段は、切削ブレード２１に対してチャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗを切削装置１におけるＸ軸方向に相対移動させるものである。Ｘ軸移動手段は、図示しないＸ軸パルスモータにより発生した回転力により、テーブル移動基台２を図示しないＸ軸ガイドレールによりガイドしつつ、装置本体３に対してＸ軸方向に移動させる。ここで、テーブル移動基台２は、テーブル移動基台２の中心軸線を中心とする切削装置１におけるθ方向に回転自在に支持されている。テーブル移動基台２は、図示しない回転駆動源に連結されており、回転駆動源が発生した回転力により、θ方向に任意の角度、例えば９０度回転や連続回転することができ、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗを切削ブレード２１に対してテーブル移動基台２の中心軸線を中心に任意の角度回転や連続回転などの回転駆動をさせることができる。 The X-axis moving means moves the workpiece W held on the chuck table 10 relative to the cutting blade 21 in the X-axis direction in the cutting apparatus 1. The X-axis moving means moves the table main body 2 in the X-axis direction while guiding the table moving base 2 with an X-axis guide rail (not shown) by a rotational force generated by an X-axis pulse motor (not shown). Here, the table moving base 2 is supported so as to be rotatable in the θ direction in the cutting apparatus 1 around the central axis of the table moving base 2. The table moving base 2 is connected to a rotational drive source (not shown), and can be rotated at an arbitrary angle, for example, 90 degrees or continuous rotation in the θ direction by the rotational force generated by the rotational drive source. The workpiece W held in the center can be driven to rotate at an arbitrary angular rotation or continuous rotation around the central axis of the table moving base 2 with respect to the cutting blade 21.

Ｙ軸移動手段３０は、図１に示すように、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗに対して切削ブレード２１を切削装置１におけるＹ軸方向に相対移動させるものである。Ｙ軸移動手段３０は、図示しないＹ軸パルスモータにより発生した回転力により、加工手段２０を図示しないＹ軸ガイドレールによりガイドしつつ、装置本体３に対してＹ軸方向に移動させる。 As shown in FIG. 1, the Y-axis moving unit 30 moves the cutting blade 21 relative to the workpiece W held on the chuck table 10 in the Y-axis direction of the cutting apparatus 1. The Y-axis moving means 30 moves the processing means 20 in the Y-axis direction while guiding the processing means 20 by a Y-axis guide rail (not shown) by a rotational force generated by a Y-axis pulse motor (not shown).

Ｚ軸移動手段４０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗに対して切削ブレード２１を切削装置１におけるＺ軸方向に相対移動させるものである。Ｚ軸移動手段４０は、図示しないＺ軸パルスモータにより発生した回転力により、加工手段２０を図示しないＺ軸ガイドレールによりガイドしつつ、装置本体３に対してＺ軸方向に移動させる。 The Z-axis moving unit 40 moves the cutting blade 21 relative to the workpiece W held on the chuck table 10 in the Z-axis direction in the cutting apparatus 1. The Z-axis moving means 40 moves the machining means 20 in the Z-axis direction while guiding the machining means 20 by a Z-axis guide rail (not shown) by a rotational force generated by a Z-axis pulse motor (not shown).

制御装置５０は、制御手段であり、切削装置１を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御するものである。制御装置５０は、切削ブレード２１を高速回転させ、チャックテーブル１０と切削ブレード２１とをＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、θ方向において相対移動させることで、被加工物Ｗを切削する加工を加工手段２０に行わせるものである。また、制御装置５０は、切削ブレード修正手段２８により修正部材２６に切削ブレード２１を切り込ませ、切削ブレード２１を修正するものでもある。また、制御装置５０は、切削ブレード修正手段２８によって修正部材２６が移動した累積距離が規定の距離に達したか否かを判定するものである。なお、制御装置５０は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されており、切削装置１の加工動作の状態や、累積距離が規定の距離に達したと判定した場合の判定結果を表示する例えばＬＣＤなどの表示手段である表示装置６０や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる操作手段と接続されている。 The control device 50 is a control means, and controls each of the above-described components constituting the cutting device 1. The control device 50 rotates the cutting blade 21 at a high speed and cuts the workpiece W by relatively moving the chuck table 10 and the cutting blade 21 in the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction, and the θ direction. Processing is performed by the processing means 20. The control device 50 also corrects the cutting blade 21 by causing the cutting blade correction means 28 to cut the cutting blade 21 into the correction member 26. The control device 50 determines whether or not the cumulative distance that the correction member 26 has moved by the cutting blade correction means 28 has reached a specified distance. The control device 50 is mainly composed of an arithmetic processing device constituted by, for example, a CPU or the like and a microprocessor (not shown) provided with a ROM, a RAM, etc., and the state of the machining operation of the cutting device 1 and the cumulative distance are defined. Is connected to a display device 60 that is a display means such as an LCD for displaying a determination result when it is determined that the distance is reached, and an operation means used when an operator registers machining content information.

次に、本実施形態に係るブレードカバー装置２３を有する切削装置１の切削加工動作について説明する。オペレータが切削装置１に、加工条件を登録し、チャックテーブル１０に被加工物Ｗを保持させ、切削加工動作の開始指示があった場合に、切削加工動作を開始する。切削加工動作において、制御装置５０は、撮像手段が撮像した画像に基づいてアライメント調整を行い、保持された被加工物の加工手段２０に対する相対位置が調整される。次に、制御装置５０は、撮像位置の被加工物Ｗを保持したチャックテーブル１０を加工位置までＸ軸方向に移動し、加工内容情報に基づいて、切削ブレード２１を高速回転させるとともに、被加工物Ｗと切削ブレード２１とを相対移動させて切削加工を実行する。 Next, the cutting operation of the cutting device 1 having the blade cover device 23 according to the present embodiment will be described. When the operator registers the machining conditions in the cutting apparatus 1, holds the workpiece W on the chuck table 10, and starts the cutting operation, the cutting operation is started. In the cutting operation, the control device 50 performs alignment adjustment based on the image captured by the imaging unit, and the relative position of the held workpiece with respect to the processing unit 20 is adjusted. Next, the control device 50 moves the chuck table 10 holding the workpiece W at the imaging position in the X-axis direction to the machining position, and rotates the cutting blade 21 at high speed based on the machining content information. Cutting is performed by relatively moving the object W and the cutting blade 21.

ここで、切削ブレード２１は、被加工物Ｗに対する切削加工を繰り返すことで、切削の衝撃によって刃先の砥粒と結合材料が脱落し、外形が徐々に小さくなっていき、図３−１に示す切削力を有する状態から、次第に目詰まりを起こすようになる。この場合は、本来の切削力で被加工物Ｗを切削することが困難になるため、ドレッシングを実行する。制御装置５０は、操作手段を介したオペレータからの指示、あるいはドレッシングを実行するか否かを判定し、実行すると判定すると、切削ブレード２１が回転している状態で、切削ブレード修正手段２８により、図３−１に示す状態から、修正部材２６を所定距離だけ下方に移動させる（同図に示す矢印Ｄ１）。ここで、所定距離とは、現在位置から修正部材２６を下方に移動させることで切削ブレード２１が切り込まれ、切削ブレード２１を修正部材２６の１回の移動で修正することができる距離であり、切削装置１、切削ブレード２１、修正部材２６の種類、形状、大きさなどで任意に設定されるものである。また、制御装置５０は、修正部材２６の下方への移動距離をモータ２８ｂの回転数で算出することができる。また、切削ブレード２１の回転数や修正部材２６の下方への移動速度は、修正部材２６により切削ブレード２１を修正することができる最適な回転数や移動速度に設定されている。なお、制御装置５０がドレッシングを実行するか否かの判定は、例えば、切削ブレード２１の加工距離が、切削装置１、切削ブレード２１、被加工物Ｗの種類、形状、大きさや、加工条件などに基づいて算出された加工距離の閾値以上であるか否かで行われる。 Here, the cutting blade 21 repeats the cutting process on the workpiece W, whereby the abrasive grains and the binding material of the cutting edge are dropped by the impact of the cutting, and the outer shape gradually decreases, as shown in FIG. From the state of having a cutting force, clogging gradually occurs. In this case, since it becomes difficult to cut the workpiece W with the original cutting force, dressing is performed. The control device 50 determines whether or not to perform an instruction from the operator via the operation means or dressing, and if it is determined to execute, the cutting blade correction means 28 causes the cutting blade 21 to rotate in a state where the cutting blade 21 is rotating. From the state shown in FIG. 3A, the correction member 26 is moved downward by a predetermined distance (arrow D1 shown in the figure). Here, the predetermined distance is a distance at which the cutting blade 21 is cut by moving the correction member 26 downward from the current position, and the cutting blade 21 can be corrected by one movement of the correction member 26. The cutting device 1, the cutting blade 21, and the correction member 26 are arbitrarily set according to the type, shape, size, and the like. Further, the control device 50 can calculate the downward movement distance of the correction member 26 based on the number of rotations of the motor 28b. Further, the rotational speed of the cutting blade 21 and the downward movement speed of the correction member 26 are set to the optimal rotational speed and movement speed at which the cutting blade 21 can be corrected by the correction member 26. The control device 50 determines whether or not to perform dressing, for example, the processing distance of the cutting blade 21 is the type, shape, size, processing conditions, etc. of the cutting device 1, the cutting blade 21, and the workpiece W. This is performed based on whether or not the machining distance is calculated based on the above.

修正部材２６が所定距離だけ下方に移動すると、図３−２に示すように、修正部材２６に切削ブレード２１が切り込み、切削ブレード２１が修正部材２６により修正され、切削ブレード２１の切削力が復帰する。このとき、切削ブレード修正手段２８は、修正部材２６の位置、すなわち所定距離だけ下方に移動した位置を維持させる。本実施形態では、制御装置５０によりモータ２８ｂの回転を停止させることで、修正部材２６の位置を維持する。この状態で、切削ブレード２１は、被加工物Ｗに対する切削加工を再び繰り返すことで、切削の衝撃によって刃先の砥粒と結合材料が脱落し、外形が徐々に小さくなっていき、図３−３に示すように、修正部材２６との間に隙間が形成されるようになり、目詰まりを再度起こすこととなる。そこで、制御装置５０は、操作手段を介したオペレータからの再度の指示、あるいはドレッシングを実行するか否かを判定し、再度実行すると判定すると、切削ブレード２１が回転している状態で、切削ブレード修正手段２８により、図３−３に示す状態から、修正部材２６を所定距離だけ下方に移動させる（同図に示す矢印Ｄ２）。これにより、図３−４に示すように、修正部材２６に切削ブレード２１が再度切り込み、切削ブレード２１が修正部材２６により再度修正される。つまり、切削ブレード修正手段２８は、切削ブレード２１のドレッシングを実行する毎に、修正部材２６を所定距離下方に移動させ、移動後その位置を維持させることとなる。 When the correction member 26 moves downward by a predetermined distance, as shown in FIG. 3-2, the cutting blade 21 is cut into the correction member 26, the cutting blade 21 is corrected by the correction member 26, and the cutting force of the cutting blade 21 is restored. To do. At this time, the cutting blade correction means 28 maintains the position of the correction member 26, that is, the position moved downward by a predetermined distance. In the present embodiment, the position of the correction member 26 is maintained by stopping the rotation of the motor 28b by the control device 50. In this state, the cutting blade 21 repeats the cutting process on the workpiece W again, whereby the abrasive grains and the binding material of the cutting edge are dropped due to the impact of the cutting, and the outer shape is gradually reduced. As shown in FIG. 4, a gap is formed between the correction member 26 and clogging occurs again. Therefore, the control device 50 determines whether or not to execute a re-instruction from the operator via the operating means or whether or not to perform dressing, and if it is determined to execute again, the cutting blade 21 is rotating and the cutting blade 21 is rotating. The correcting member 26 is moved downward by a predetermined distance from the state shown in FIG. 3-3 by the correcting means 28 (arrow D2 shown in FIG. 3). As a result, as shown in FIG. 3-4, the cutting blade 21 is cut into the correction member 26 again, and the cutting blade 21 is corrected again by the correction member 26. That is, every time the cutting blade 21 is dressed, the cutting blade correction means 28 moves the correction member 26 downward by a predetermined distance and maintains the position after the movement.

また、制御装置５０は、切削ブレード２１のドレッシングを実行する毎に、ブレード修正手段２８によって修正部材２６が移動した距離を累積加算した累積距離を図示しない記憶部に記憶しておき、累積距離が規定の距離に達したか否かを判定する。ここで、規定の距離とは、切削ブレード２１が修正部材２６に繰り返し切り込むことで、例えば、修正部材２６による切削ブレード２１の修正が困難となる、または修正部材２６の破損の恐れがある距離をいい、切削ブレード２１、修正部材２６の種類、形状、大きさ、切削ブレード２１の回転数や修正部材２６の下方への移動速度などに基づいて設定される。 Further, every time the cutting blade 21 is dressed, the control device 50 stores an accumulated distance obtained by accumulating the distance traveled by the correcting member 26 by the blade correcting means 28 in a storage unit (not shown). Determine whether the specified distance has been reached. Here, the specified distance is a distance at which the cutting blade 21 is repeatedly cut into the correction member 26, for example, it becomes difficult to correct the cutting blade 21 by the correction member 26, or the correction member 26 may be damaged. That is, it is set based on the type, shape, and size of the cutting blade 21 and the correction member 26, the number of rotations of the cutting blade 21, the moving speed of the correction member 26 downward, and the like.

制御装置５０は、累積距離が規定の距離に達したか否かを判定すると、判定結果を表示装置６０に表示させる。判定結果の表示態様は、オペレータが認識した際に、オペレータに修正部材２６の交換を促すことができるものである。なお、制御装置５０は、累積距離が規定の距離に達していないと判定した場合、表示装置６０に修正部材２６の交換が必要ないことをオペレータが認識できる表示をさせてもよい。 When the control device 50 determines whether or not the cumulative distance has reached a specified distance, the control device 50 causes the display device 60 to display the determination result. The display mode of the determination result can prompt the operator to replace the correction member 26 when the operator recognizes it. Note that when the control device 50 determines that the cumulative distance has not reached the specified distance, the control device 50 may cause the display device 60 to display that the correction member 26 need not be replaced.

以上のように、本実施形態に係るブレードカバー装置２３では、予め配設された修正部材２６を下方に移動させ、修正部材２６に切削ブレード２１が切り込むことで、切削ブレード２１を修正することができるので、チャックテーブルにドレッシングボードを固定する必要がなく、ドレッシングのチャックテーブルに対する着脱作業を省略することができる。ここで、ドレッシングボードでは、切削ブレード２１が切り込むと溝が形成されるため、再度同一のドレッシングボードを使用する場合は、形成された溝を避けた位置に切削ブレード２１を再び切り込ませることとなる。一方、本実施形態に係るブレードカバー装置２３では、修正部材２６を同一方向に移動させることを繰り返すことで、同一の修正部材２６を使用して複数回のドレッシングを実行することができる。従って、切削ブレード２１に対するドレッシングボードの位置合わせを省略することができる。これらにより、切削ブレード２１に対するドレッシングの作業工数を削減することができる。また、切削ブレード２１の修正、すなわちドレッシングを実行した後では、修正部材２６の位置を維持し、修正部材２６が上方に移動、すなわち後退させる必要がないので、修正部材２６を移動させる機構を簡単なものとすることができる。また、修正部材２６が予め配設されているので、１枚の被加工物Ｗに対する切削加工の途中や、複数枚の被加工物Ｗに対する連続した切削加工の途中（例えば、１枚の被加工物Ｗの切削加工が終了した後、次の被加工物Ｗの切削加工を開始するまでの間）に切削ブレード２１のドレッシングを実行することができる。 As described above, in the blade cover device 23 according to the present embodiment, the cutting member 21 can be corrected by moving the correction member 26 arranged in advance downward and cutting the cutting blade 21 into the correction member 26. Therefore, it is not necessary to fix the dressing board to the chuck table, and the attaching / detaching work of the dressing to the chuck table can be omitted. Here, in the dressing board, a groove is formed when the cutting blade 21 is cut. Therefore, when the same dressing board is used again, the cutting blade 21 is cut again at a position avoiding the formed groove. Become. On the other hand, in the blade cover device 23 according to the present embodiment, by repeatedly moving the correction member 26 in the same direction, dressing can be performed a plurality of times using the same correction member 26. Therefore, the positioning of the dressing board with respect to the cutting blade 21 can be omitted. As a result, the number of dressing operations for the cutting blade 21 can be reduced. Further, after the cutting blade 21 is corrected, that is, dressing is performed, the position of the correcting member 26 is maintained, and the correcting member 26 does not need to move upward, that is, retract, so that the mechanism for moving the correcting member 26 can be simplified. Can be. Further, since the correction member 26 is provided in advance, the cutting process for one workpiece W or the continuous cutting process for a plurality of workpieces W (for example, one workpiece) The dressing of the cutting blade 21 can be performed after the cutting of the workpiece W is finished and before the cutting of the next workpiece W is started.

また、本実施形態に係るブレードカバー装置２３を備えた切削装置１は、上記ブレードカバー装置２３の切削ブレード修正手段２８によって修正部材２６が移動した累積距離が規定の距離に達したと判定すると、判定結果を表示手段に表示させ、修正部材２６の交換を促すので、オペレータは切削ブレード２１のドレッシングが実行できなくなる前に、修正部材２６の交換を行うことができる。 Further, when the cutting device 1 including the blade cover device 23 according to the present embodiment determines that the cumulative distance that the correction member 26 has moved by the cutting blade correction means 28 of the blade cover device 23 has reached a specified distance, Since the determination result is displayed on the display means and the replacement of the correction member 26 is urged, the operator can replace the correction member 26 before dressing the cutting blade 21 becomes impossible.

なお、上記実施形態では、切削ブレード修正手段２８を電動アクチュエータとしたが、修正部材２６を下方に移動させることができ、移動後の修正部材２６の位置を維持することができればいずれの構成であってもよい。図４は、ブレードカバー装置の他の構成例を示す図である。同図に示すように、切削ブレード修正手段２９をエアーアクチュエータとしてもよい。切削ブレード修正手段２９は、シリンダー２９ａと、シリンダー２９ａ内に移動自在に支持されたシャフト２９ｂとを含んで構成されている。シリンダー２９ａは、制御装置５０により開閉制御が行われる開閉弁９０を介して接続された圧縮空気供給源１００から圧縮空気が供給されることで、シャフト２９ｂに圧縮空気の圧力が作用し、シャフト２９ｂを下方に移動する。なお、１１０は、シリンダー２９ａに供給される圧縮空気の圧力を検出する圧力センサである。 In the above embodiment, the cutting blade correction means 28 is an electric actuator. However, any configuration is possible as long as the correction member 26 can be moved downward and the position of the correction member 26 after the movement can be maintained. May be. FIG. 4 is a diagram illustrating another configuration example of the blade cover device. As shown in the figure, the cutting blade correcting means 29 may be an air actuator. The cutting blade correcting means 29 includes a cylinder 29a and a shaft 29b that is movably supported in the cylinder 29a. The cylinder 29a is supplied with compressed air from a compressed air supply source 100 connected via an on-off valve 90 that is controlled to be opened and closed by the control device 50, whereby the pressure of the compressed air acts on the shaft 29b. Move down. Reference numeral 110 denotes a pressure sensor that detects the pressure of the compressed air supplied to the cylinder 29a.

ここで、切削ブレード修正手段２９は、シリンダー２９ａに圧縮空気が供給されていない状態、すなわち開閉弁９０が閉弁状態において、シャフト２９ｂに外力が加わらなければ、シリンダー２９ａとシャフト２９ｂとの相対位置が変化しないように構成する。例えば、シャフト２９ｂのシリンダー２９ａに対する摺動抵抗を大きくしておき、シリンダー２９ａ内を大気に開放する、あるいは開閉弁９０が閉弁時に、シャフト２９ｂのシリンダー２９ａに対する移動を規制する規制手段を設ける。 Here, the cutting blade correcting means 29 is a relative position between the cylinder 29a and the shaft 29b when no compressed air is supplied to the cylinder 29a, that is, when the on-off valve 90 is closed and no external force is applied to the shaft 29b. Is configured not to change. For example, the sliding resistance of the shaft 29b with respect to the cylinder 29a is increased to provide a regulating means for regulating the movement of the shaft 29b with respect to the cylinder 29a when the inside of the cylinder 29a is opened to the atmosphere or when the on-off valve 90 is closed.

ドレッシングを実行する場合は、制御装置５０により、切削ブレード２１を回転させ、開閉弁９０を開弁し、シャフト２９ｂをシリンダー２９ａに対して下方に移動させることで、修正部材２６を所定距離だけ下方に移動させる。修正部材２６が所定距離だけ下方に移動すると、修正部材２６に切削ブレード２１が切り込み、切削ブレード２１が修正部材２６により修正され、切削ブレード２１の切削力が復帰する。ここで、切削ブレード修正手段２９は、修正部材２６の位置、すなわち所定距離だけ下方に移動した位置を維持させる。このとき、制御装置５０は、修正部材２６の下方への移動距離を圧力センサ１１０により検出された圧縮空気の圧力、切削ブレード２１、修正部材２６の種類、形状、大きさ、ドレッシング時間などに基づいて算出することができる。この場合は、切削ブレード修正手段２８と比較して、モータ２８ｂなどを用いずに、切削装置１に供給される既存の圧縮空気供給源１００から供給される圧縮空気を用いて修正部材２６を下方への移動および位置の維持を行うことができるので、簡単な構成でドレッシングを実行することができる。 When performing dressing, the control device 50 rotates the cutting blade 21, opens the on-off valve 90, and moves the shaft 29b downward relative to the cylinder 29a, thereby moving the correction member 26 downward by a predetermined distance. Move to. When the correction member 26 moves downward by a predetermined distance, the cutting blade 21 cuts into the correction member 26, the cutting blade 21 is corrected by the correction member 26, and the cutting force of the cutting blade 21 is restored. Here, the cutting blade correcting means 29 maintains the position of the correcting member 26, that is, the position moved downward by a predetermined distance. At this time, the control device 50 determines the downward movement distance of the correction member 26 based on the pressure of the compressed air detected by the pressure sensor 110, the type, shape, size, dressing time, etc. of the cutting blade 21 and the correction member 26. Can be calculated. In this case, compared with the cutting blade correction means 28, the correction member 26 is moved downward by using compressed air supplied from the existing compressed air supply source 100 supplied to the cutting apparatus 1 without using the motor 28b or the like. Therefore, it is possible to perform dressing with a simple configuration.

なお、上記実施形態では、切削ブレード２１の目詰まりを主に解消して、切削力を復帰させることを目的に、ドレッシングを実行するが、これに限定されるものではなく、主に切削ブレード２１の刃先の変形を修正することを目的にドレッシングを実行してもよい。図５−１は、ブレードカバー装置の他の構成例を示す図である。図５−２〜図５−５は、ブレードカバー装置の動作説明図である。切削ブレード２１によっては、刃先の側面を用いた切削加工に対応するため、図５−１に示すように、刃先の両側面が傾斜し、刃先の径方向の断面形状が三角形状に形成されているものがある。ドレッシングを実行することで、このような切削ブレード２１の両側面の変形を修正するために、修正部材２６は、同図に示すように、切削ブレード２１の軸方向における中央部で、第１修正部材２６ａと、第２修正部材２６ｂとに分割されて形成され、間に隙間が形成された状態で保持部材２８ｃに着脱自在に保持されている。第１修正部材２６ａおよび第２修正部材２６ｂは、切削ブレード２１と径方向において対向する面の上記隙間側に、上下方向に対する傾斜角が刃先の両側面と同一の傾斜面２６ｃ，２６ｄを有する切欠きがそれぞれ形成されている。 In the above embodiment, dressing is performed for the purpose of mainly eliminating clogging of the cutting blade 21 and restoring the cutting force, but the present invention is not limited to this, and the cutting blade 21 is mainly used. Dressing may be performed for the purpose of correcting the deformation of the cutting edge. FIG. 5A is a diagram illustrating another configuration example of the blade cover device. FIGS. 5-2 to 5-5 are explanatory diagrams of the operation of the blade cover device. Depending on the cutting blade 21, in order to cope with the cutting process using the side surface of the blade edge, as shown in FIG. 5-1, both side surfaces of the blade edge are inclined, and the radial cross-sectional shape of the blade edge is formed in a triangular shape. There is something. In order to correct such deformation of both side surfaces of the cutting blade 21 by performing dressing, the correction member 26 has a first correction at the central portion in the axial direction of the cutting blade 21 as shown in FIG. The member 26a and the second correction member 26b are divided and formed, and are detachably held by the holding member 28c with a gap formed therebetween. The first correction member 26a and the second correction member 26b are cut surfaces having inclined surfaces 26c and 26d having an inclination angle with respect to the vertical direction that is the same as that of both side surfaces of the blade edge on the gap side of the surface facing the cutting blade 21 in the radial direction. Each notch is formed.

上記切削ブレード２１は、被加工物Ｗに対する切削加工を繰り返すことで、切削の衝撃によって刃先の砥粒と結合材料が脱落し、外形が徐々に小さくなっていき、図５−２に示すように、次第に刃先の変形（同図に示すＳ１）が進行する。この場合は、刃先の両側面が本来の形状や傾斜角でなくなり、被加工物Ｗに対して所望の切削加工を行うことが困難になるため、ドレッシングを実行する。制御装置５０は、上記実施形態と同様に、操作手段を介したオペレータからの指示、あるいはドレッシングを実行するか否かを判定し、実行すると判定すると、切削ブレード２１が回転している状態で、切削ブレード修正手段２８により、図５−２に示す状態から、修正部材２６を所定距離だけ下方に移動させる（同図に示す矢印Ｄ３）。ここで、所定距離とは、現在位置から修正部材２６を下方に移動させることで切削ブレード２１が切り込まれ、切削ブレード２１、特に刃先の両側面を修正部材２６の１回の移動で修正することができる距離であり、切削装置１、切削ブレード２１、修正部材２６の種類、形状、大きさなどで任意に設定されるものである。 The cutting blade 21 repeats the cutting process on the workpiece W, whereby the abrasive grains and the binding material at the cutting edge are dropped by the impact of cutting, and the outer shape gradually decreases, as shown in FIG. The blade edge is gradually deformed (S1 shown in the figure). In this case, since both side surfaces of the cutting edge are not in the original shape and the inclination angle, it becomes difficult to perform a desired cutting process on the workpiece W, so that dressing is performed. As in the above embodiment, the control device 50 determines whether or not to perform an instruction from the operator via the operation means or whether or not to perform dressing, and if it is determined to execute, the cutting blade 21 is rotating. The correction member 26 is moved downward by a predetermined distance from the state shown in FIG. 5-2 by the cutting blade correction means 28 (arrow D3 shown in the figure). Here, the predetermined distance means that the cutting blade 21 is cut by moving the correction member 26 downward from the current position, and the cutting blade 21, particularly both side surfaces of the cutting edge, are corrected by one movement of the correction member 26. The distance can be arbitrarily set according to the type, shape, size, and the like of the cutting device 1, the cutting blade 21, and the correction member 26.

修正部材２６が所定距離だけ下方に移動すると、図５−３に示すように、修正部材２６に切削ブレード２１が切り込み、すなわち刃先の両側面が傾斜面２６ｃ，２６ｄに接触しながら切り込まれることで、切削ブレード２１の刃先の両側面が修正部材２６により修正され、切削ブレード２１の刃先の形状が復帰する。このとき、切削ブレード修正手段２８は、修正部材２６の位置、すなわち所定距離だけ下方に移動した位置を維持させる。本実施形態では、制御装置５０によりモータ２８ｂの回転を停止させることで、修正部材２６の位置を維持する。この状態で、切削ブレード２１は、被加工物Ｗに対する切削加工を再び繰り返すことで、切削の衝撃によって刃先の砥粒と結合材料が脱落し、外形が徐々に小さくなっていき、図５−４に示すように、次第に修正部材２６との間に隙間が形成されながら、刃先の変形（同図に示すＳ２）が進行する。そこで、制御装置５０は、操作手段を介したオペレータからの再度の指示、あるいはドレッシングを実行するか否かを判定し、再度実行すると判定すると、切削ブレード２１が回転している状態で、切削ブレード修正手段２８により、図５−４に示す状態から、修正部材２６を所定距離だけ下方に移動させる（同図に示す矢印Ｄ４）。これにより、図５−５に示すように、修正部材２６に切削ブレード２１が再度切り込み、切削ブレード２１の刃先の両側面が修正部材２６により再度修正される。つまり、切削ブレード修正手段２８は、切削ブレード２１のドレッシングを実行する毎に、修正部材２６を所定距離下方に移動させ、移動後その位置を維持させることとなる。 When the correction member 26 moves downward by a predetermined distance, as shown in FIG. 5-3, the cutting blade 21 is cut into the correction member 26, that is, the both side surfaces of the cutting edge are cut in contact with the inclined surfaces 26c and 26d. Thus, both side surfaces of the cutting edge of the cutting blade 21 are corrected by the correction member 26, and the shape of the cutting edge of the cutting blade 21 is restored. At this time, the cutting blade correction means 28 maintains the position of the correction member 26, that is, the position moved downward by a predetermined distance. In the present embodiment, the position of the correction member 26 is maintained by stopping the rotation of the motor 28b by the control device 50. In this state, the cutting blade 21 repeats the cutting process on the workpiece W again, so that the abrasive grains and the binding material on the cutting edge are dropped by the impact of the cutting, and the outer shape is gradually reduced. As shown in FIG. 3, the blade edge is deformed (S2 shown in the figure) while a gap is gradually formed between the correction member 26 and the blade. Therefore, the control device 50 determines whether or not to execute a re-instruction from the operator via the operating means or whether or not to perform dressing, and if it is determined to execute again, the cutting blade 21 is rotating and the cutting blade 21 is rotating. The correcting member 26 is moved downward by a predetermined distance from the state shown in FIG. 5-4 by the correcting means 28 (arrow D4 shown in FIG. 5). As a result, as shown in FIG. 5-5, the cutting blade 21 is cut again into the correction member 26, and both side surfaces of the cutting edge of the cutting blade 21 are corrected again by the correction member 26. That is, every time the cutting blade 21 is dressed, the cutting blade correction means 28 moves the correction member 26 downward by a predetermined distance and maintains the position after the movement.

これにより、切削ブレード２１の主に刃先形状を復帰させる目的のドレッシングにおいても、切削ブレード２１に対するドレッシングの作業工数を削減することができ、修正部材２６を移動させる機構を簡単なものとすることができ、１枚の被加工物Ｗに対する切削加工の途中や、複数枚の被加工物Ｗに対する連続した切削加工の途中に切削ブレード２１のドレッシングを実行することができる。 Thereby, also in dressing intended to restore the cutting edge shape mainly of the cutting blade 21, the number of dressing work steps for the cutting blade 21 can be reduced, and the mechanism for moving the correction member 26 can be simplified. In addition, the dressing of the cutting blade 21 can be performed during the cutting process for one workpiece W or during the continuous cutting process for a plurality of workpieces W.

また、上記実施形態では、修正部材２６および切削ブレード修正手段２８，２９が一組であるが、これに限定されるものではなく、複数組予め配設されていてもよい。この場合は、ドレッシングの実行時に、同時に複数の修正部材２６により切削ブレード２１を修正してもよいし、ドレッシングの実行毎に交互に修正部材２６により切削ブレード２１を修正してもよい。また、１つの修正部材２６が切削ブレード２１の修正を行えなくなった場合に、他の修正部材２６により切削ブレード２１の修正を行ってもよい。これにより、修正部材２６の交換頻度を低減することができる。 Moreover, in the said embodiment, although the correction member 26 and the cutting blade correction means 28 and 29 are 1 set, it is not limited to this, Plural sets may be arrange | positioned previously. In this case, at the time of performing dressing, the cutting blade 21 may be corrected by the plurality of correcting members 26 at the same time, or the cutting blade 21 may be corrected by the correcting member 26 alternately every time dressing is performed. When one correction member 26 cannot correct the cutting blade 21, the correction blade 26 may be corrected by another correction member 26. Thereby, the replacement frequency of the correction member 26 can be reduced.

１切削装置
１０チャックテーブル
２０加工手段
２１切削ブレード
２２回転スピンドル
２３ブレードカバー装置
２４ハウジング
２５ａ，２５ｂノズル
２６修正部材
２７カバー手段
２８，２９切削ブレード修正手段
３０Ｙ軸移動手段
４０Ｚ軸移動手段
５０制御装置
６０表示装置
７０開閉弁
８０切削液供給源
９０開閉弁
１００圧縮空気供給源
１１０圧力センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cutting device 10 Chuck table 20 Processing means 21 Cutting blade 22 Rotating spindle 23 Blade cover device 24 Housing 25a, 25b Nozzle 26 Correction member 27 Cover means 28, 29 Cutting blade correction means 30 Y-axis moving means 40 Z-axis moving means 50 Control Device 60 Display device 70 On-off valve 80 Cutting fluid supply source 90 On-off valve 100 Compressed air supply source 110 Pressure sensor

Claims

A chuck table for holding the workpiece;
Processing means including a rotating spindle to which a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table is mounted at a tip;
Display means for displaying the determination result by the control means;
Control means for controlling the processing means and the display means;
A cutting device comprising:
The rotary spindle has a blade cover device for covering the cutting blade mounted on the tip of the rotating spindle,
The blade cover device is
A block-shaped correction member for correcting the cutting blade;
Cover means for covering the cutting blade mounted on the rotating spindle;
Cutting that corrects the cutting blade by moving the correction member disposed on the cover means and detachably held from the outer periphery of the cutting blade toward the center of rotation and cutting the cutting blade into the correction member. Blade correction means;
Comprising
The cutting blade correcting means moves the correcting member by a predetermined distance to correct the cutting blade, and then maintains the position of the correcting member. By further moving in the same direction, the cutting blade is corrected again,
When the control means determines that the cumulative distance that the correction member has moved by the cutting blade correction means has reached a specified distance, the control means displays the determination result on the display means and prompts replacement of the correction member. A cutting device characterized.