JP6001595B2 - 有機エレクトロルミネセンスデバイス - Google Patents

Description

本発明は、向上された有機エレクトロルミネセンスデバイスに関し、より具体的には、デバイスによる湿気の吸収を低減するために保護された有機エレクトロルミネセンスデバイスに関する。本発明は、また、有機エレクトロルミネセンスデバイスを、望ましくない、デバイスによる湿気の吸収に対して保護する方法に関する。

有機エレクトロルミネセンスデバイス（たとえば、有機発光ダイオード）が、さまざまなライティング用途に、ならびに高解像度および低解像度ディスプレイの作製に有用である。これらのデバイスは、典型的には、アノードとカソードとの間に配置された有機エレクトロルミネセンス材料を含む。デバイスは、また、湿気反応性電極材料またはエレクトロルミネセンス材料を含有することができ、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）が湿気劣化を受けやすいことが、周知である。したがって、反応性材料を含有する有機エレクトロルミネセンスデバイスは、通常、デバイスの有用寿命を延ばすためにカプセル化される。カプセル化は、典型的には、電極およびエレクトロルミネセンス材料を、ガラスおよびポリマー材料などの２つの基板の間に、または基板と金属容器（ｍｅｔａｌ ｃａｎ）との間に、しばしば乾燥剤の存在下で、位置決めしシールすることを伴う。反応性材料の、湿気との接触をさらに低減するために、さまざまな他の保護層も含むことができる。

一実施形態において、本発明は、第１の電極、第２の電極、および第１の電極と第２の電極との間に配置された発光構造を支持する低透湿性基板（たとえば、ガラス、金属、ケイ素、または保護されたポリマーフィルム）と、基板と協働して、第１の電極、第２の電極、および発光構造をカプセル化する保護構造とを含む有機エレクトロルミネセンスデバイスを提供する。保護構造は、酸化ホウ素の層と、無機バリヤ層とを含む。好ましくは、無機バリヤ層は低透湿性を有する。

酸化ホウ素の層を、第１の電極、第２の電極、および発光構造の上に配置することができ、無機バリヤ層を酸化ホウ素の層の上に配置することができる。無機バリヤ層は、好ましくは、酸化ケイ素もしくは酸化アルミニウム、窒化ケイ素もしくは窒化アルミニウム、または炭化ケイ素もしくは炭化アルミニウムなどの、無機酸化物、ホウ化物、窒化物、炭化物、オキシ窒化物（ｏｘｙｎｉｔｒｉｄｅ）、オキシホウ化物（ｏｘｙｂｏｒｉｄｅ）、またはオキシ炭化物（ｏｘｙｃａｒｂｉｄｅ）；ダイヤモンド状炭素化合物；および、ケイ素、アルミニウム、またはそれらの組合せなどの金属を含む。具体的な例としては、酸化（一酸化または二酸化）ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、または酸化ケイ素アルミニウム（ｓｉｌｉｃｏｎ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｏｘｉｄｅ）が挙げられる。無機バリヤ層は、たとえば交互のポリマー層および無機層を含む多層構造であることができる。

デバイスは、酸化ホウ素の層を、第１の電極、第２の電極、および／または発光構造との反応から保護するために、バッファ層をさらに含むことができる。バッファ層を、第１の電極、第２の電極、および発光構造の上に配置することができ、酸化ホウ素の層をバッファ層の上に配置することができ、無機バリヤ層を酸化ホウ素の層の上に配置することができる。バッファ層は、好ましくは、トリス（８−ヒドロキシキノリン）アルミニウム（ＡｌＱ）または銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）などの、有機金属化合物またはキレート化合物を含む。

保護構造は、第２の無機バリヤ層をさらに含むことができる。そのような構造において、バッファ層（存在する場合）が、第１の電極、第２の電極、および発光構造の上に配置され、無機バリヤ層はバッファ層の上に配置され、酸化ホウ素の層は無機バリヤ層の上に配置され、第２の無機バリヤ層は酸化ホウ素の層の上に配置される。

別の実施形態において、本発明は、有機エレクトロルミネセンスデバイスを保護する方法に関する。この方法は、第１の電極、第２の電極、および第１の電極と第２の電極との間に配置された発光構造を支持する低透湿性基板を含む有機エレクトロルミネセンスアセンブリを提供する工程と、基板と協働して、第１の電極、第２の電極、および発光構造をカプセル化する保護構造を適用する工程とを含む。保護構造は、酸化ホウ素の層と、無機バリヤ層とを含む。

酸化ホウ素の層を熱的蒸発によって適用することができ、無機バリヤ層を蒸着によって適用することができ、デバイスがバッファ層をさらに含む場合、それを熱的蒸発または蒸着によって適用することができる。

本発明は、全体を通して同じ参照符号が同じまたは類似した構成要素を示す、次の非限定的な、縮尺通りでない図面を参照して、より完全に理解されるであろう。

本発明による有機エレクトロルミネセンスデバイスの第１の実施形態の概略断面図である。 本発明による有機エレクトロルミネセンスデバイスの第２の実施形態の概略断面図である。 本発明による有機エレクトロルミネセンスデバイスの第３の実施形態の概略断面図である。 本発明による有機エレクトロルミネセンスデバイス内の低透湿性基板として使用することができる保護されたポリマーフィルムの第１の実施形態の概略断面図である。 本発明による有機エレクトロルミネセンスデバイス内の低透湿性基板として使用することができる保護されたポリマーフィルムの第２の実施形態の概略断面図である。 本発明による有機エレクトロルミネセンスデバイス内の低透湿性基板として使用することができる保護されたポリマーフィルムの第３の実施形態の概略断面図である。 本発明による有機エレクトロルミネセンスデバイス内の低透湿性基板として使用することができる保護されたポリマーフィルムの第４の実施形態の概略断面図である。 本発明による有機エレクトロルミネセンスデバイス内の低透湿性基板として使用することができる保護されたポリマーフィルムの第５の実施形態の概略断面図である。 本発明による有機エレクトロルミネセンスデバイス内の低透湿性基板として使用することができる保護されたポリマーフィルムの第６の実施形態の概略断面図である。

広く、および一態様において、本発明は、第１の電極、第２の電極、および第１の電極と第２の電極との間に配置された発光構造を支持する低透湿性基板を含む有機エレクトロルミネセンスデバイスを提供する。保護構造が、基板と協働して、望ましくない湿気の吸収に対して、第１の電極、第２の電極、および発光構造をカプセル化する。保護構造は、酸化ホウ素の層と、無機バリヤ層とを含む。

便宜上、第１の電極、第２の電極、およびそれらの間に配置された発光構造を、まとめて、有機エレクトロルミネセンス（ＯＥＬ）デバイスの「動作構成要素」または有機エレクトロルミネセンスアセンブリとここで呼ぶことがあり、これらの構成要素は、電流を電極間に通すことが、光が発光構造によって発されることを引起すように動作可能に配列される。発光構造は、典型的には、有機エレクトロルミネセンス材料を含み、電極の少なくとも１つが、典型的には、有機エレクトロルミネセンス材料によって発された光を透過することができる。

「保護構造」は、広く、酸化ホウ素の層および無機バリヤ層を指し、これらの層は、低透湿性基板と協働して、ＯＥＬデバイスの動作構成要素をカプセル化する。「カプセル化する」とは、動作構成要素によって吸収されることがある湿気に曝されることを低減するように、保護構造および基板が、協働して、ＯＥＬデバイスの動作構成要素の露出した感湿性表面を囲むか閉じ込めることを意味する。本発明によるＯＥＬデバイスは、保護構造を有さない同じデバイスに対して、低減された、湿気を吸収する能力を有する。

有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）などのＯＥＬデバイスが、湿気の存在下で劣化することがあり、そのようなデバイス内の電極のために使用される反応性金属が、湿気に曝されると腐食することがある。これらの有機電子デバイス、ならびに、光弁、液晶ディスプレイ、薄膜トランジスタ、および他の電子構成要素などの他の有機電子デバイスは、本発明によって保護されることから利益を得るであろう。

ここで、図面を参照すると、図１は、第１の電極１４、第２の電極１６、および第１の電極と第２の電極との間に配置された発光構造１８を支持する低透湿性基板１２を含む有機エレクトロルミネセンス（ＯＥＬ）デバイス１０を示す。酸化ホウ素の層２０と、無機バリヤ層２２とを含む保護構造が、低透湿性基板１２と協働して、第１の電極１４、第２の電極１６、および発光構造１８（すなわち、ＯＥＬデバイス１０の動作構成要素）をカプセル化する。

ＯＥＬデバイス１０を電源に接続するのを促進するために、デバイスは、また、第１の電極１４と電気伝達するコンタクトパッド２４と、第２の電極１６と電気伝達するコンタクトパッド２６とを含む。典型的には、コンタクトパッド２４は、第１の電極１４の連続した切れ目のない延長であり、コンタクトパッド２６は、第２の電極１６の連続した切れ目のない延長である。この場合、保護構造の周囲が、第１の電極１４とコンタクトパッド２４との間の境界、および第２の電極１６とコンタクトパッド２６との間の境界を画定することが理解されるであろう。保護構造の周囲および２つの境界は、図１において、それぞれ、破線２８および３０によって表される。したがって、図１のＯＥＬデバイス１０の動作構成要素は、保護構造および基板１２の協働によってカプセル化される。

「低透湿性基板」は、ＯＥＬデバイスの動作構成要素、ならびにＯＥＬデバイスまたは保護構造を構成することができる任意の他の材料、構成要素、および／または層を支持するのに適しているほど、透湿に対して十分に耐性のある任意の材料を意味し、これによって提供することができる。ＯＥＬデバイスは、典型的には、モコン（ＭＯＣＯＮ）（ミネソタ州ミネアポリスのモダン・コントロールズ（Ｍｏｄｅｒｎ Ｃｏｎｔｒｏｌｓ， Ｍｉｎｎｅａｐｏｌｉｓ， ＭＮ））によって提供されるような市販の設備によって測定することができるレベルを超える湿気からの保護を必要とする。モコン設備は、典型的には、５×１０^-4グラム／平方メートル／日（ｇ／ｍ²／日）の低い透湿速度を測定することができるが、１×１０^-6ｇ／ｍ²／日の低い浸透速度が、望ましい目標として説明されている。したがって、「低透湿性」基板は、より好ましくは、ＡＳＴＭテスト方法Ｆ−１２４９に従って測定された、５×１０^-4ｇ／ｍ²／日未満、好ましくは１×１０^-5ｇ／ｍ²／日未満、さらに好ましくは１×１０^-6ｇ／ｍ²／日未満の透湿速度を有する。

これらのガイドラインの範囲内で、適切な低透湿性基板としては、ガラス、ケイ素、金属および金属箔（たとえば、アルミニウム、銅、およびステンレス鋼）、ならびに、以下で、図４〜９と関連してより完全に説明されるように、湿気を透過する、ポリマーのいかなる固有の傾向にも対処するように処理されたポリマーシートまたはポリマーフィルムが挙げられる。

第１の電極１４および第２の電極１６は、同じ材料または異なった材料から形成することができる。典型的には、それらは、たとえば、金、白金、パラジウム、アルミニウム、カルシウム、チタン、窒化チタン、酸化インジウムスズ、酸化フッ素スズ（ｆｌｕｏｒｉｎｅ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ）、およびポリアニリンを含む、金属、合金、金属化合物、金属酸化物、導電性セラミックス、導電性分散系、および導電性ポリマーなどの導電性材料を使用して形成される。第１の電極１４および第２の電極１６は、導電性材料の１つの層、または多数の層であることができる。たとえば、電極は、アルミニウムの層および金の層、カルシウムの層およびアルミニウムの層、アルミニウムの層およびフッ化リチウムの層、または金属層および導電性有機層を含むことができる。電極を作製するための方法としては、スパッタリング、蒸着、レーザ熱パターニング、インクジェット印刷、スクリーン印刷、サーマルヘッド印刷、およびフォトリソグラフィパターニングが挙げられるが、これらに限定されない。

発光構造１８は、１つの層または多数の層であることができ、典型的には、蛍光またはりん光であることができる少なくとも１つの有機エレクトロルミネセンス材料を含有する。適切な例としては、小分子（ＳＭ）エミッタ（たとえば、非ポリマーエミッタ）、ＳＭドープポリマー、発光デンドリマー、発光ポリマー（ＬＥＰ）、ドープＬＥＰ、またはブレンドされたＬＥＰが挙げられる。有機エレクトロルミネセンス材料は、単独で、または有機エレクトロルミネセンスディスプレイもしくはデバイスにおいて機能的もしくは非機能的である任意の他の有機材料もしくは無機材料と組合せて、提供することができる。

有用なＳＭエレクトロルミネセンス材料としては、Ｎ，Ｎ’−ビス（３−メチルフェニル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニルベンジジン（ＴＰＤ）などの、電荷輸送、電荷ブロッキング、および半導性有機化合物または有機金属化合物、ならびにトリス（８−ヒドロキシキノリン）アルミニウム（ＡｌＱ）などの金属キレート化合物が挙げられる。典型的には、これらの材料を、真空蒸着するか溶液からコーティングして、デバイス内に薄い層を形成することができ、実際に、ＳＭ材料の多数の層が、しばしば、効率的な有機エレクトロルミネセンスデバイスを製造するために使用され、というのは、所与の材料が、一般に、所望の電荷輸送特性およびエレクトロルミネセンス特性の両方は有さないからである。

ＬＥＰ材料は、典型的には、好ましくは溶液処理のための十分なフィルム形成特性を有する共役ポリマー分子または共役オリゴマー分子である。「共役ポリマー分子または共役オリゴマー分子」は、ポリマー主鎖に沿って、非局在化π電子系を有するポリマーまたはオリゴマーを指す。そのようなポリマーまたはオリゴマーは、半導性であり、かつ、ポリマー鎖またはオリゴマー鎖に沿って、正および負電荷キャリヤを支持することができる。適切なＬＥＰ材料の例示的な種類としては、ポリ（フェニレンビニレン）、ポリ（パラ−フェニレン）、ポリフルオレン、現在知られているか後に開発される他のＬＥＰ材料、およびそれらのコポリマーまたはブレンドが挙げられる。適切なＬＥＰを、また、分子ドープすること、蛍光染料またはフォトルミネセンス材料を分散させること、活性または非活性材料とブレンドすること、活性または非活性材料を分散させることなどができる。

ＬＥＰ材料の溶媒溶液を基板上にキャストし、溶媒を蒸発させて、ポリマーフィルムを製造することによって、または、前駆体種の反応によって基板上に現場で、ＬＥＰ材料を発光構造に形成することができる。他の形成方法としては、レーザ熱パターニング、インクジェット印刷、スクリーン印刷、サーマルヘッド印刷、フォトリソグラフィパターニング、および押出コーティングが挙げられる。

図１において別々に示されていないが、発光構造１８は、正孔輸送層、電子輸送層、正孔注入層、電子注入層、正孔ブロッキング層、電子ブロッキング層などの他の機能層を、任意に含有することができ、好ましくは含有する。これらおよび他の層および材料を使用して、ＯＥＬデバイスの電子特性および特徴を変更または調整することができる。たとえば、そのような層および材料を使用して、所望の電流／電圧応答、所望のデバイス効率、所望の輝度などを達成することができる。さらに、有機エレクトロルミネセンス材料によって発される光を別の色に変えるために、フォトルミネセンス材料が存在することができる。

たとえば、１つの電極（たとえば、アノード）からＯＥＬデバイスへの正孔の注入、および再結合ゾーンの方へのそれらの移動を促進するために、正孔輸送層を、発光構造の他の層と第１または第２の電極との間に位置決めすることができる。正孔輸送層は、さらに、電子のアノードへの通過に対するバリヤとして作用することができる。正孔輸送層としての使用に適した材料としては、Ｎ，Ｎ’−ビス（３−メチルフェニル）−Ｎ，Ｎ’−ビス（フェニル）ベンジジンもしくはＮ，Ｎ’−ビス（３−ナフタレン−２−イル）−Ｎ，Ｎ’−ビス（フェニル）ベンジジンなどのジアミン誘導体、または４，４’，４”−トリス（Ｎ，Ｎ−ジフェニルアミノ）トリフェニルアミンもしくは４，４’，４”−トリス（Ｎ−３−メチルフェニル−Ｎ−フェニルアミノ）トリフェニルアミンなどのトリアリールアミン誘導体が挙げられる。他の適切な材料としては、銅フタロシアニン、１，３，５−トリス（４−ジフェニルアミノフェニル）ベンゼン、ならびに、エイチ・フジカワ（Ｈ．Ｆｕｊｉｋａｗａ）ら、シンセティック・メタルズ（Ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ Ｍｅｔａｌｓ）、９１、１６１（１９９７）、および、ジェイ・ブイ・グラズルビシウス（Ｊ．Ｖ． Ｇｒａｚｕｌｅｖｉｃｉｕｓ）、ピー・ストローリーグル（Ｐ． Ｓｔｒｏｈｒｉｅｇｌ）、「電荷輸送ポリマーおよび分子ガラス（Ｃｈａｒｇｅ−Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ Ｐｏｌｙｍｅｒｓ ａｎｄ Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｇｌａｓｓｅｓ）」、進歩した電子材料およびフォトニック材料ならびに電子デバイスおよびフォトニックデバイスハンドブック（Ｈａｎｄｂｏｏｋ ｏｆ Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ａｎｄ Ｐｈｏｔｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ）、エイチ・エス・ナルワ（Ｈ．Ｓ． Ｎａｌｗａ）（編）、１０、２３３−２７４（２００１）に記載されているような化合物が挙げられる。

同様に、電子の注入、および再結合ゾーンの方へのそれらの移動を促進するために、電子輸送層を、発光構造の他の層と第１または第２の電極との間に位置決めすることができる。電子輸送層は、さらに、正孔のカソードへの通過に対するバリヤとして作用することができる。正孔がカソードに達すること、および電子がアノードに達することを防止することは、より高い効率を有するエレクトロルミネセンスデバイスをもたらすであろう。有機金属化合物トリス（８−ヒドロキシキノラト）アルミニウム；１，３−ビス［５−（４−（１，１−ジメチルエチル）フェニル）−１，３，４−オキサジアゾール−２−イル］ベンゼン；２−（ビフェニル−４−イル）−５−（４−（１，１−ジメチルエチル）フェニル）−１，３，４−オキサジアゾール；ならびに、シー・エイチ・チェン（Ｃ．Ｈ． Ｃｈｅｎ）ら、マクロモルキュラー・シンポジア（Ｍａｃｒｏｍｏｌ． Ｓｙｍｐ．）１２５、１（１９９７）、および、ジェイ・ブイ・グラズルビシウス（Ｊ．Ｖ． Ｇｒａｚｕｌｅｖｉｃｉｕｓ）、ピー・ストローリーグル（Ｐ． Ｓｔｒｏｈｒｉｅｇｌ）、「電荷輸送ポリマーおよび分子ガラス（Ｃｈａｒｇｅ−Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ Ｐｏｌｙｍｅｒｓ ａｎｄ Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｇｌａｓｓｅｓ）」、進歩した電子材料およびフォトニック材料ならびに電子デバイスおよびフォトニックデバイスハンドブック（Ｈａｎｄｂｏｏｋ ｏｆ Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ａｎｄ Ｐｈｏｔｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ）、エイチ・エス・ナルワ（Ｈ．Ｓ． Ｎａｌｗａ）（編）、１０、２３３（２００１）に記載された化合物を使用して、電子輸送層を形成することができる。

引続き図１を参照すると、保護構造は、酸化ホウ素層２０と、無機バリヤ層２２とを含む。いくつかの利点が、本発明に酸化ホウ素を使用することと関連するが、あらゆる利点が、必ずしも、酸化ホウ素層を組入れる各用途に反映されないことが理解されるであろう。酸化ホウ素を、光学的にクリアなまたは透明なガラス状材料として、発光構造１８上に堆積させるか、発光構造１８に他の態様で適用することができ、これは、この層が、発光構造からの光を透過することができる必要がある場合、ＯＥＬデバイスに有利であろう。さらに、酸化ホウ素層は、製造の間内部に閉じ込められていようと、周囲環境からであろうと、湿気を吸収する、ＯＥＬデバイスの傾向を低減することができる。特定の理論に縛られることを望まないが、酸化ホウ素は、湿気と反応させて、ホウ酸、比較的弱い酸を生じさせることによって、湿気を除去する（ｓｃａｖｅｎｇｅｓ）と考えられ、ホウ酸の固体形態は、ＯＥＬデバイスに有害である可能性が低い。これは、酸化ホウ素の１つの分子の、水の３つの分子との反応によって表すことができる、Ｂ₂Ｏ₃＋３Ｈ₂Ｏ→２Ｂ（ＯＨ）₃。発生された気体または液体の形態の付加的な反応生成物は遊離されない。

酸化ホウ素は、また、用途によっては望ましいであろう特定の処理利点を提供する。たとえば、スパッタリング法、化学蒸着法、電子ビーム堆積法、および熱的蒸発法（たとえば、蒸着）を含むいくつかの技術によって、酸化ホウ素を発光構造１８に適用することができる。ターゲット表面が、スパッタリングなどのより強力な適用方法からの損傷を受けやすい場合、蒸着が好ましい方法である。望ましくは、酸化ホウ素を、受入れられる速度で、適度な条件（たとえば、約１０から５０Å／秒の堆積速度を約１０^-6から１０^-4トルの蒸気圧力下で達成することができる）下で、分解の徴候（たとえば、ソース材料の変色）を示さずに、蒸着することができる。

酸化ホウ素層２０は、透湿に対して保護されることが意図され、かつ個別の用途によって定められる、ＯＥＬデバイスの部分上に設けられる。酸化ホウ素層２０の厚さは、また、ＯＥＬデバイスの性質、使用の間ＯＥＬデバイスが曝されやすい湿気条件、保護構造内に存在する他の層、光学的透明性のための要件、コストなどによって、実質的に変わる。層厚さが増加すると、耐透湿性が増加するが、おそらく、低減された透明性、低減された可撓性、および増加されたコストという犠牲を払う。これらのガイドラインの範囲内で、酸化ホウ素層２０は有効厚さで設けられ、有効厚さとは、ＯＥＬデバイスによる湿気の吸収を、酸化ホウ素層を有さない同じＯＥＬデバイスに対して低減するのに十分な厚さを意味する。より具体的には、酸化ホウ素層は、好ましくは、約５０Åから１０，０００Å、より好ましくは約５００Åから５，０００Å、さらに好ましくは約３，０００Åから５，０００Åの厚さで設けられる。

依然として図１を参照すると、保護構造は、また、無機バリヤ層２２を含み、これは、酸化ホウ素層２０と協働して、ＯＥＬデバイスを保護する。無機バリヤ層２２は、湿気、酸素、および熱、および／または機械的衝撃に曝されることに対する保護をもたらすことができるが、それは、大抵の場合、湿気および／または酸素バリヤとして含まれる。この能力において、無機バリヤ層２２が、さらに、ＯＥＬデバイスの動作構成要素を湿気吸収から保護するように選択されることが好ましい。無機バリヤ層２２が、酸化ホウ素層２０、または無機バリヤ層に隣接した他の層と反応性でないことも好ましい。特定の用途において、無機バリヤ層２２が、光学的にクリアなまたは透明な材料として、堆積されるか他の態様で適用されることが望ましく、これは、この層が、発光構造１８からの光を透過することができる必要がある用途に有利であろう。

さまざまな材料を無機バリヤ層として使用することができる。好ましい無機バリヤ層材料としては、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属オキシ窒化物、金属オキシホウ化物、およびそれらの組合せ、たとえば、シリカなどの酸化ケイ素、アルミナなどの酸化アルミニウム、チタニアなどの酸化チタン、酸化インジウム、酸化スズ、酸化インジウムスズ、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ、炭化ホウ素、炭化タングステン、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、オキシ窒化アルミニウム、オキシ窒化ケイ素、オキシ窒化ホウ素、オキシホウ化ジルコニウム、オキシホウ化チタン、およびそれらの組合せが挙げられる。酸化インジウムスズ、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、およびそれらの組合せが、特に好ましい無機バリヤ層材料である。スパッタリング（たとえば、カソードまたはプレーナマグネトロンスパッタリング）、蒸着（たとえば、抵抗または電子ビーム蒸着）、化学蒸着、めっきなどのフィルム金属化技術に用いられる技術を用いて、無機バリヤ層を適用または形成することができる。無機バリヤ層２２に適した材料は、部分的に、それが果たすことが意図される保護機能によるが、ガラスおよび無機酸化物（たとえば、一酸化ケイ素、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、または酸化ケイ素アルミニウムなどの、ケイ素、アルミニウム、またはそれらの組合せの酸化物）が非常に有用である。本発明に有用な無機バリヤ層のさらなる例としては、米国特許第６，６９６，１５７号明細書（デービッド（Ｄａｖｉｄ））に記載されているような、プラズマ強化化学蒸着（Ｐｌａｓｍａ Ｅｎｈａｎｃｅｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）（ＰＥ−ＣＶＤ）を用いて製造された材料が挙げられる。

別の実施形態において、無機バリヤ層２２を、たとえば交互のポリマー層および無機層を含む多層構造によって提供することができる。無機層は、無機バリヤ層について上で示された材料のいずれかによって提供することができ、ポリマー層は、たとえば、（メタ）アクリレート、ポリエステル、フッ素化ポリマー、パリレン、シクロテン、またはポリアルキレンであることができる。多層構造は、「ＰＭＬ」（すなわち、ポリマー多層）プロセス、または、層が、スパッタリング、スピンコーティング、熱的蒸発、化学蒸着などによって、適宜適用される他の技術によって、作製することができる。多層構造の適切な例が、たとえば、米国特許第５，４４０，４４６号明細書（ショー（Ｓｈａｗ））、米国特許第６，４９７，５９８号明細書（アフィニート（Ａｆｆｉｎｉｔｏ））、欧州特許出願公開第０ ７７７ ２８０ Ａ２号明細書（モトローラ（Ｍｏｔｏｒｏｌａ））、国際公開第０１／８９００６ Ａ１号パンフレット（バッテル記念研究所（Ｂａｔｔｅｌｌｅ Ｍｅｍｏｒｉａｌ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ））、および米国特許出願公開第２００２／００６８１４３号明細書（シルバーネイル（Ｓｉｌｖｅｒｎａｉｌ）ら）に記載されている。

無機バリヤ層２２の厚さは、また、ＯＥＬデバイスの性質、使用の間ＯＥＬデバイスが曝されやすい湿気／空気条件、保護構造内に存在する他の層、光学的透明性のための要件、コストなどによって、実質的に変わる。層厚さが増加すると、耐透湿性が増加するが、おそらく、低減された透明性、低減された可撓性、および増加されたコストという犠牲を払う。これらのガイドラインの範囲内で、無機バリヤ層２２は有効厚さで設けられ、有効厚さとは、湿気の透過に耐え、熱衝撃および／または機械的衝撃などに耐える、ＯＥＬデバイスの能力を、無機バリヤ層を含む保護構造を有さない同じデバイスに対して増加させるのに十分な厚さを意味する。より具体的には、無機バリヤ層は、好ましくは、約０．５μｍから７０μｍ、より好ましくは約１．５μｍから４０μｍ、さらに好ましくは約３．５μｍから３０μｍの厚さで設けられる。

酸化ホウ素層２０が、中間無機バリヤ層２２、およびＯＥＬデバイスの動作構成要素である（すなわち、侵入する湿気が、酸化ホウ素層に当たる前、無機バリヤ層に当たる）、図１に示されたＯＥＬデバイスの実施形態は、特定の利点を提供する。この配列は、酸化ホウ素層２０が、本質的に連続した層で堆積されることを可能にするが、形成するピンホール、ならびに、蒸着および他のプロセスにしばしば付随する他の同様の欠陥を厳密に回避する必要がなく、というのは、無機バリヤ層２２が、また、透湿に耐え、かつ、最初に、侵入する湿気に当たる（酸化ホウ素層に対して）層であるからである。この配列は、また、酸化ホウ素層２０が、ＯＥＬデバイスによる湿気吸収を低減する際に「最後の防御線」を提供することを可能にする。

ここで、図２を参照すると、本発明によるＯＥＬデバイスの別の実施形態が示されている。図２の実施形態は、任意のバッファ層３２が酸化ホウ素層２０とＯＥＬデバイスの動作構成要素との間に介在された以外は、図１の実施形態と同様である。「バッファ層」は、保護構造をＯＥＬデバイスの動作構成要素から分離する層を指すが、それは電気的に活性であることができる。バッファ層は、多種多様な可能な機能を行うことができる。たとえば、バッファ層は、上に酸化ホウ素層または他の層を堆積させるための滑らかな表面を提供することができるか、それは、いかなるその後形成される層の接着を向上させる固着層または下塗り層を提供することができる。バッファ層は、いかなるその後形成される層も、無機バリヤ層または酸化ホウ素層との反応から保護することができる。バッファ層は光学機能を行うことができる。典型的には、バッファ層は、また、保護構造および低透湿性基板の協働によってカプセル化される。

バッファ層３２は、多種多様な材料、有機および無機の両方から形成することができ、実際の選択は、バッファ層が果たすことが意図される１つまたは複数の特定の機能によって影響される。たとえば、ＯＥＬデバイスの一部を形成する層がバッファ層に隣接する場合、酸化剤でなく、吸湿性でなく、酸性でない材料、およびこれらの層と非反応性である材料が好ましいであろう。電気的に活性の層を提供するために使用することができる材料も、バッファ層として含むことができ、例としては、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）、４，４’，４”−トリス（Ｎ−３−メチルフェニル−Ｎ−フェニルアミノ）トリフェニルアミン（ＭＴＤＡＴＡ）、Ｎ，Ｎ’−ビス（３−ナフタレン−２−イル）−Ｎ，Ｎ’−ビス（フェニル）ベンジジン（ＮＰＤ）、トリス（８−ヒドロキシキノリン）アルミニウム（ＡＬＱ）、金、一酸化ケイ素などが挙げられる。バッファ層３２の厚さは、また、バッファ層が果たすことが意図される機能によるが、約５００Åから２，０００Åの範囲内の厚さが、一般に、有用であることが見出されている。

ここで、図３を参照すると、本発明によるＯＥＬデバイスの別の実施形態が示されている。図３の実施形態は、任意の第２の無機バリヤ層３４がバッファ層３２と酸化ホウ素層２０との間に介在された以外は、図２の実施形態と同様である。第２の無機バリヤ層３４は、無機バリヤ層２２と同様であり、無機バリヤ層２２の先の説明は、第２の無機バリヤ層３４に適用できる。図３の実施形態は、第２の無機バリヤ層３４の結果として、向上された保護をＯＥＬデバイス１０に与えるという付加的な利点を提供する。

低透湿性基板１２を、湿気を透過する、ポリマーフィルムのいかなる固有の傾向にも対処するように処理されたポリマーフィルムによって提供することができることを先に記載した。そのようなポリマーフィルムは、「保護されたポリマーフィルム」と呼ばれ、図４〜９に示されている。図４は、第１の主面１１２ａと、第１の主面１１２ａと反対側の第２の主面１１２ｂとを有するポリマーフィルム基板１１２を含む保護されたポリマーフィルム１１０を示す。保護構造１１４が、少なくとも基板１１２の第１の主面１１２ａ上に設けられる。保護構造１１４は、酸化ホウ素の層１１６と、無機バリヤ層１１８とを含む。好ましくは、基板１１２と保護構造１１４との間の介在層がなく、というのは、これは、湿気の、基板の透過を低減する、保護構造の能力を損なうことがあるからである。同様に、酸化ホウ素層１１６と無機バリヤ層１１８との間の介在層がないことが好ましく、というのは、これも、基板１１２による湿気の透過を低減する、保護構造１１４の能力を損なうことがあるからである。

図４は、酸化ホウ素層１１６を、中間基板１１２および無機バリヤ層１１８であるように示すが、これらの２つの層の相対位置を、無機バリヤ層１１８が中間基板１１２および酸化ホウ素層１１６であるように逆にすることができる。無機バリヤ層および酸化ホウ素層が、侵入する酸素および湿気が、酸化ホウ素層に当たる前、無機バリヤ層に当たるように配列された構造が好ましい。

基板１１２はポリマーフィルムである。「フィルム」とは、材料の厚さよりかなり大きい長さおよび幅寸法を有する材料を意味する。テープ、リボン、およびロールが、「フィルム」の概念内に含まれ、これらは、一般に、また、幅よりかなり大きい長さ寸法を有し、幅が、また、厚さよりかなり大きい材料を説明する。そのような材料は、しばしば、中心コアで提供され、これの周りに、材料が多数の巻きで巻付けられ、保護構造が基板に適用される（たとえば、ロールツーロール製造で）処理工程、付加的な製造作業、または処理後の取扱い、保管、および運送を促進する。シート、ページ、またはパネルも、「フィルム」の概念内に含まれ、これらは、一般に、より近く等しい長さおよび幅寸法を有する材料を説明する。そのような材料は、しばしば、多数の個別の層のスタックで取扱われ、それは、保護構造がシート供給または同様のシーティングタイプ作業で基板に適用される処理工程を促進する。

「ポリマー」という用語は、ホモポリマーおよびコポリマー、ならびに、たとえば、共押出によって、または、たとえばエステル交換反応を含む反応によって、混和性ブレンドで形成することができるホモポリマーまたはコポリマーを指す。「コポリマー」という用語は、２つ以上の異なったモノマー単位から得られる材料を説明し、ランダムコポリマー、ブロックコポリマー、およびグラフトコポリマーを含む。基板１１２を提供するのに適したポリマーは、アクリレート（ポリメチルメタクリレートなどのメタクリレートを含む）、ポリオール（ポリビニルアルコールを含む）、エポキシ樹脂、シラン、シロキサン（それらの変形のすべてのタイプとともに）、ポリビニルピロリドン、ポリイミド、ポリアミド、ポリ（フェニレンスルフィド）、ポリスルホン、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、セルロースエーテルおよびエステル（たとえば、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレートなど）、ニトロセルロース、ポリウレタン、ポリエステル（たとえば、ポリ（エチレンテレフタレート）、ポリ（エチレンナフタレート））、ポリカーボネート、ポリオレフィン（たとえば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリクロロプレン、ポリイソブチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリ（ｐ−クロロスチレン）、ポリフッ化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレンなど）、フェノール樹脂（たとえば、ノボラック樹脂およびレゾール樹脂）、ポリビニルアセテート、スチレン／アクリロニトリル、スチレン／無水マレイン酸、ポリオキシメチレン、ポリビニルナフタレン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアリールエーテルケトン、フルオロポリマー、ポリα−メチルスチレン、ポリアリレート（ｐｏｌｙａｒｙｌａｔｅｓ）、ポリフェニレンオキシド、ポリエーテルイミド、ポリアリールスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリフタルアミド、ならびにポリ塩化ビニリデンを含む、フィルムに形成することができる、熱硬化（架橋）ポリマー、熱硬化性（架橋性）ポリマー、または熱可塑性ポリマーなどのいくつかの既知のポリマーのいずれかであることができる。

いくつかの用途の場合、基板１１２が、可視光透過、たとえば、目的とする可視光波長における、少なくとも約７０％の透過を有することが望ましいであろう。他の用途において、基板が、延伸、二軸延伸、および／または熱安定化されることが望ましいであろう。いくつかの場合、基板１１２が可撓性であることが望ましく、可撓性とは、上で説明されたように、多数の巻きを有するロールを製造するために、基板１１２をコアの周りに巻付けることができることを意味する。基板１１２の厚さは、主として、保護されたポリマーフィルムのための意図された用途によって決められるが、多くの用途の場合、約０．０１から１ｍｍの厚さ、より好ましくは約０．０５から０．２５ｍｍが非常に有用である。

引続き図４を参照すると、保護構造１１４は、酸化ホウ素の層１１６と、無機バリヤ層１１８とを含む。いくつかの利点が、酸化ホウ素を使用することと関連するが、あらゆる利点が、必ずしも、保護されたポリマーフィルムを組入れる各用途に反映されないことが理解されるであろう。酸化ホウ素を、光学的にクリアなまたは透明なガラス状材料として、ポリマーフィルム基板上に堆積させるか、ポリマーフィルム基板に他の態様で適用することができ、これは、この層が、有機エレクトロルミネセンスデバイス内などで光に対して透過性である必要がある用途に有利であろう。さらに、酸化ホウ素層は、周囲環境から生じようと、基板上に形成されたか基板に付着された構成要素から生じようと、湿気を透過する、ポリマーフィルム基板の固有の傾向を低減することができる。

酸化ホウ素層１１６が、透湿に対して保護されることが意図され、かつ個別の用途によって定められる、ポリマーフィルム基板１１２の部分上に設けられる。酸化ホウ素層１１６の厚さは、また、保護されたポリマーフィルム１１０のための用途の性質、使用の間保護されたポリマーフィルムが曝されやすい湿気条件、保護構造１１４内に存在する他の層、保護されたポリマーフィルムの光学的透明性および機械的可撓性のための要件、コストなどによって、実質的に変わる。層厚さが増加すると、耐透湿性が増加するが、おそらく、低減された透明性、低減された可撓性、および増加されたコストという犠牲を払う。

酸化ホウ素層１１６は、酸化ホウ素層１６と同様であり、酸化ホウ素層１６の先の説明は、酸化ホウ素層１１６に適用できる。

依然として図４を参照すると、保護構造１１４は、また、無機バリヤ層１１８を含み、これは、酸化ホウ素層１１６と協働して、ポリマーフィルム基板１１２を保護する。無機バリヤ層１１８は、湿気、酸素、および熱、および／または機械的衝撃に曝されることに対する保護をもたらすことができるが、それは、大抵の場合、湿気および／または酸素バリヤとして含まれる。この能力において、無機バリヤ層１１８が湿気に対して不浸透性であること、または、それが、少なくとも、湿気の透過に対して強く耐性があることが好ましい。無機バリヤ層１１８が、酸化ホウ素層１１６、ポリマーフィルム基板１１２、無機バリヤ層に隣接した他の層、およびポリマーフィルム基板上に形成されたかポリマーフィルム基板に付着されたいかなる構成要素とも反応性でないことも好ましい。特定の用途において、無機バリヤ層１１８が、光学的にクリアなまたは透明な材料として、堆積されるか他の態様で適用されることが望ましく、これは、この層が、有機エレクトロルミネセンスデバイス内などで光に対して透過性である必要がある用途に有利であろう。無機バリヤ層１１８は、無機バリヤ層２２と同様であり、無機バリヤ層２２の先の説明は、無機バリヤ層１１８に適用できる。

無機バリヤ層１１８の厚さは、また、保護されたポリマーフィルム１１０のための用途の性質、使用の間保護されたポリマーフィルムが曝されやすい湿気条件、保護構造１１４内に存在する他の層、保護されたポリマーフィルムの光学的透明性および機械的可撓性のための要件、コストなどによって、実質的に変わる。層厚さが増加すると、耐透湿性が増加するが、おそらく、低減された透明性、低減された可撓性、および増加されたコストという犠牲を払う。これらのガイドラインの範囲内で、無機バリヤ層１１８は有効厚さで設けられ、有効厚さとは、湿気の透過に耐え、熱衝撃および／または機械的衝撃などに耐える、ポリマーフィルムの能力を、無機バリヤ層を含む保護構造を有さない同じポリマーフィルムに対して増加させるのに十分な厚さを意味する。より具体的には、無機バリヤ層は、好ましくは、約０．５μｍから７０μｍ、より好ましくは約１．５μｍから４０μｍ、さらに好ましくは約３．５μｍから３０μｍの厚さで設けられる。

酸化ホウ素層１１６が、中間無機バリヤ層１１８およびポリマーフィルム基板１１２である（すなわち、侵入する湿気が、酸化ホウ素層に当たる前、無機バリヤ層に当たる）、図４に示された保護されたポリマーフィルム１１０の実施形態は、特定の利点を提供する。この配列は、酸化ホウ素層１１６が、本質的に連続した層で堆積されることを可能にするが、形成するピンホール、ならびに、蒸着および他のプロセスにしばしば付随する他の同様の欠陥を厳密に回避する必要がなく、というのは、無機バリヤ層１１８が、また、透湿に耐え、かつ、最初に、侵入する湿気に当たる（酸化ホウ素層に対して）層であるからである。この配列は、また、酸化ホウ素層１１６が、ポリマーフィルム基板１１２による透湿を低減する際に「最後の防御線」を提供することを可能にする。

ここで、図５を参照すると、保護されたポリマーフィルム１１０の別の実施形態が示されており、これは、図４の実施形態と同様であるが、無機バリヤ層１１８が酸化ホウ素層１１６の横方向の側縁１１６ａおよび１１６ｂをカプセル化またはシールして、さらに、この層をその端縁において湿気に曝されることから保護するというさらなる利点を提供する。この実施形態は、より高い湿気の環境において、または、酸化ホウ素層１１６が、無機バリヤ層１１８を通った湿気の透過に耐えるだけのために利用可能にされるべきである場合、特に有用であることができる。

図６の実施形態は、図４の実施形態と同様であるが、酸化ホウ素層１１６とポリマーフィルム基板１１２との間に配置された第２の無機バリヤ層１２０をさらに含む。第２の無機バリヤ層１２０は、無機バリヤ層１１８と同様であり、無機バリヤ層１１８の先の説明は、第２の無機バリヤ層１２０に適用できる。図６の実施形態は、第２の無機バリヤ層１２０の結果として、向上された保護をポリマーフィルム基板１１２に与えるという付加的な利点を提供する。図７の実施形態は、図５の実施形態と同様であるが、図６に示されたものと同様の第２の無機バリヤ層１２０をさらに含む。したがって、図７において、無機バリヤ層１１８および１２０は、協働して、酸化ホウ素層１１６をカプセル化またはシールして、さらに、この層をその端縁において湿気に曝されることから保護する。

ここで、図８を参照すると、保護されたポリマーフィルム１１０の別の実施形態が提示されており、これは、図４に示された実施形態と同様であるが、基板に固定されるか基板上にその後形成される構成要素または他の層から保護構造を分離する任意のバッファ層１２２をさらに含み、そのような構成要素または層は、一般に、図８において参照符号１２４で表される。任意のバッファ層１２２は、任意のバッファ層３２と同様であり、任意のバッファ層３２の先の説明は、任意のバッファ層１２２に適用できる。

図９は、ポリマーフィルム基板１１２の第１の主面１１２ａおよび第２の主面１１２ｂの両方に、酸化ホウ素の層１１６と、無機バリヤ層１１８とを含む保護構造１１４が設けられた実施形態を示す。図９の実施形態は、各保護構造と関連する第２の無機バリヤ層１２０をさらに含むが、第２の無機バリヤ層が、任意であり、一方または両方の保護構造から除くことができることが理解されるであろう。同様に、図９は、酸化ホウ素の各層１１６を、無機バリヤ層によってカプセル化されたように示すが、これは任意にすぎない。

図面に示されていないが、特にフィルムの表面において、物理的または化学的特性を変更するか向上させるために、さまざまな機能層またはコーティングを、保護されたポリマーフィルム１１０に加えることができる。そのような層またはコーティングとしては、たとえば、可視光透過性導電層または電極（たとえば、酸化インジウムスズの）；帯電防止コーティングまたはフィルム；難燃剤；ＵＶ安定剤；耐摩耗性材料またはハードコート材料；光学コーティングまたはフィルタ；防曇材料；磁気もしくは磁気光学コーティングまたは磁気もしくは磁気光学フィルム；写真乳剤；プリズムフィルム；ホログラフィフィルムまたは画像；感圧接着剤またはホットメルト接着剤などの接着剤；隣接した層への接着を促進するためのプライマー；およびバリヤアセンブリが接着ロール形態で使用されるべきである場合の使用のための低接着バックサイズ材料を挙げることができる。これらの機能的構成要素を、バリヤアセンブリの最も外側の層の１つ以上に組入れることができるか、別個のフィルムまたはコーティングとして適用することができる。

ここで、本発明を、次の非限定的な実施例に関して説明し、実施例において、部およびパーセンテージはすべて、特に明記しない限り、重量による。

特に明記しない限り、次の略記は、実施例に使用された材料および／またはそれらの供給源を説明する。

実施例において言及されるが、先の表において特定されない材料を、ウィスコンシン州ミルウォーキーのアルドリッチ・ケミカル・カンパニー（Ａｌｄｒｉｃｈ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏｍｐａｎｙ， Ｍｉｌｗａｕｋｅｅ， ＷＩ）から得ることができる。

次の実施例において、特に明記しない限り、すべてのガラス基板を、使用前、次の洗浄手順にかけた：約５分間の温かい（約１１０°Ｆ）洗剤溶液（デコネックス（Ｄｅｃｏｎｅｘ）１２ ＮＳ、スイス、ズックウィルのボーラー・ケミー（Ｂｏｒｅｒ Ｃｈｅｍｉｅ， Ｚｕｃｈｗｉｌ， Ｓｗｉｔｚｅｒｌａｎｄ））中での超音波処理；約１０分間の温かい（約１１０°Ｆ）脱イオン水中でのすすぎ；および、少なくとも４時間の、窒素パージされたオーブン内での乾燥。

実施例１
本発明によるＯＥＬデバイスを実施例１で作製し、これは、第１の電極、第２の電極、および第１の電極と第２の電極との間配置された発光構造を支持するガラス（すなわち、低透湿性）基板を含んだ。酸化ホウ素の層と、無機バリヤ層とを含む保護構造も、酸化ホウ素の層がＯＥＬデバイスの動作層（すなわち、発光構造ならびに第１および第２の電極）と直接接触する状態で設けた。

５０ｍｍ×５０ｍｍの正方形であるガラス基板を、各々が０．２５ｃｍ²である４のピクセルの形態のＩＴＯ層でパターニングした（ミネソタ州スティルウォーターのデルタ・テクノロジーズ・リミテッド（Ｄｅｌｔａ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｌｔｄ．， Ｓｔｉｌｌｗａｔｅｒ ＭＮ）から入手可能な２０オーム／ｓｑのＩＴＯコーティングガラス）。ＰＥＤＯＴ（１％固形分）の溶液を、２５００ＲＰＭで３０秒間基板上にスピンコーティングし（ｓｐｕｎ ｃｏａｔ）、次に、８５℃で１５分間窒素雰囲気下で乾燥させた。次に、緑色発光ＯＬＥＤスタックを、約５×１０^-6トルで真空チャンバを使用して熱的蒸発によって、ＰＥＤＯＴ層の上に堆積させた。より具体的には、次の層をＰＥＤＯＴ層の上に堆積させる（記載される順で）ことによって、ＯＬＥＤスタックを提供した：ＮＰＤ（１Å／秒で４００Å）／ＡｌＱ：Ｃ５４５Ｔ（１％のドーピング、１Å／秒で３００Å）／ＡｌＱ（１Å／秒で２００Å）／ＬｉＦ（０．５Å／秒で７Å）／Ａｌ（２５Å／秒で２５００Å）。

次に、ＯＥＬデバイスの動作構成要素をカプセル化するように、３０００ÅのＢ₂Ｏ₃をアルミニウム層の上に堆積させることによって、ＯＥＬデバイスのための保護構造を適用した。Ｂ₂Ｏ₃を、タングステンディンプルソース（Ｓ８Ａ−０．０１０Ｗ、カリフォルニア州シグナルヒルのＲ・Ｄ・マティス（Ｒ． Ｄ． Ｍａｔｈｉｓ， Ｓｉｇｎａｌ Ｈｉｌｌ， ＣＡ））から熱的蒸発（約３〜５Å／秒の速度で）によって適用した。

保護構造による動作構成要素のカプセル化前および後、光光学的に（ｐｈｏｔｏ−ｏｐｔｉｃａｌｌｙ）補正されたシリコンフォトダイオード（カリフォルニア州ホーソーンのＵＤＴセンサーズ（ＵＤＴ Ｓｅｎｓｏｒｓ， Ｈａｗｔｈｏｒｎｅ， ＣＡ））を使用して、デバイス効率を測定し、デバイス効率の実質的な差は観察されなかった。

実施例２
保護構造カプセル化を伴うおよび伴わない、水溶液から形成された層を有するＯＥＬデバイスを実施例２で作製した。ＰＥＤＯＴ層を、２５００ＲＰＭで３０秒間、パターニングされたＩＴＯガラス基板上にスピンコーティングし、後者は、実施例１で説明された通りであり、次に、コーティングされた基板を、１５分間８５℃で窒素雰囲気下で乾燥させた。次に、実施例１の緑色発光ＯＬＥＤスタックを、実施例１で説明されたように、ＰＥＤＯＴコーティングガラス基板の上に蒸着した。

次に、３０００ÅのＢ₂Ｏ₃を動作構成要素の上に熱的蒸発し（Ｂ₂Ｏ₃の層を適用するために実施例１で説明された手順を用いて）、サーモ−ボンド８４５−ＥＧ−２．５ホットメルト接着剤を使用して、銅箔をＢ₂Ｏ₃層の上に手で積層することによって、これらのデバイス（「テストデバイス」）の少数を保護構造でカプセル化した。サーモ−ボンド８４５−ＥＧ−２．５ホットメルト接着剤を使用して、銅箔をＯＥＬデバイス動作構成要素の上に手で積層し、しかし、Ｂ₂Ｏ₃の層を含まないことによって、少数の他のデバイス（「対照デバイス」）を完成させた。

テストデバイスおよび対照デバイスの両方を、周囲条件下で１週間保管し、すべてのピクセルのエレクトロルミネセンス（ＥＬ）画像を、カラーＣＣＤカメラ（ＤＣ３３０、インディアナ州ミシガンシティーのダゲＭＴＩインコーポレイテッド（ＤＡＧＥ ＭＴＩ Ｉｎｃ．， Ｍｉｃｈｉｇａｎ Ｃｉｔｙ， ＩＮ））が装備された立体顕微鏡（ステミ（Ｓｔｅｍｉ）ＳＶ１１ ＡＰＯ、ドイツのツァイス（Ｚｅｉｓｓ， Ｇｅｒｍａｎｙ））を使用して撮った。次に、ＥＬ画像を２週ごとに撮り、「ダークスポット（ｄａｒｋ ｓｐｏｔ）」成長を、テストデバイスおよび対照デバイスについて比較した。（ダークスポット成長は、湿気によるデバイスの劣化の徴候である。）対照デバイスは、テストデバイスに対して著しく劣化した。約３ヶ月の周囲条件下での保管後、対照デバイスは非発光領域（すなわち、ダークスポット）によってほとんど完全に被覆され、テストデバイスは、ごくわずかなダークスポット成長を示した。

実施例３
保護構造カプセル化を伴うおよび伴わないＯＥＬデバイスを実施例３で作製し、これらのデバイスを、水溶液からキャストされた層なしで製造した。平面化ＨＩＬ（ＭＴＤＡＴＡ：ＦＴＣＮＱ（２．８％のドーピング、３０００Å））を、パターニングされたＩＴＯガラス基板の上に蒸着し、基板は、実施例１で説明された通りであった。次に、実施例１で説明された堆積手順を用いて、実施例１の緑色発光ＯＬＥＤスタックをＨＩＬの上に堆積させた。

少数のこれらのサンプルを、アルミニウムカソードの上に熱堆積されたＡｌＱバッファ層（１０００Å、１Å／秒）でコーティングした。次に、３０００ÅのＢ₂Ｏ₃を動作構成要素およびバッファ層の上に熱的蒸発し（Ｂ₂Ｏ₃の層を適用するために実施例１で説明された手順を用いて）、サーモ−ボンド８４５−ＥＧ−２．５ホットメルト接着剤を使用して、銅箔をＢ₂Ｏ₃層の上に手で積層することによって、これらのデバイスを保護構造でカプセル化した。これらのサンプルを「テストデバイス」と呼ぶ。

サーモ−ボンド８４５−ＥＧ−２．５ホットメルト接着剤を使用して、銅箔をＯＥＬデバイス動作構成要素の上に手で積層し、しかし、バッファ層またはＢ₂Ｏ₃の層を含まないことによって、少数の他のデバイスを完成させた。これらのサンプルを「対照デバイス」と呼ぶ。

次に、テストデバイスおよび対照デバイスを周囲条件下で保管し、次に、デバイスのＥＬ画像を、実施例２で説明された技術を用いて、時間に応じて撮って、テストデバイスおよび対照デバイスにおけるダークスポット成長を比較した。１週間の保管後、対照デバイスは、湿気侵入を示す著しいダークスポット成長を示し、テストデバイスはごくわずかなダークスポット成長を示した。テストデバイスの場合、デバイスに入る湿気がＢ₂Ｏ₃の層によって消費されたと考えられ、それにより、Ｂ₂Ｏ₃が、製造後ＯＥＬデバイスに入ることがあり、デバイスの外部の源から生じる水を除去することができることを示す。

実施例４
高反応性カルシウム金属層に対する湿気の透過を低減する際のＢ₂Ｏ₃層の上の蒸着無機バリヤ層の有効性を評価するために、実施例４を準備した。窒素雰囲気グローブボックス内で、６の酸素プラズマ洗浄された（フルパワーおよび５ｐｓｉの酸素で５分、プラズマ−プリーン（Ｐｌａｓｍａ−Ｐｒｅｅｎ）ＩＩ−９７３、ニュージャージー州ノースブランズウィックのプラズマティック・システムズ・インコーポレイテッド（Ｐｌａｓｍａｔｉｃ Ｓｙｓｔｅｍｓ， Ｉｎｃ．， Ｎｏｒｔｈ Ｂｒｕｎｓｗｉｃｋ， Ｎｅｗ Ｊｅｒｓｅｙ））２２ｍｍのカバーガラス（ｇｌａｓｓ ｃｏｖｅｒ ｓｌｉｐ）基板を、中心に１０ｍｍ×１０ｍｍ正方形開口部を含む金属シャドーマスクの上に配置した。これらをグローブボックスの内側に配置された薄膜蒸着チャンバ内に装填し、チャンバを７×１０^-7トルに排気した。カルシウムを、２０００Åが堆積されてしまうまで、ＢＮるつぼから約２Å／秒で熱的蒸発した。

３つのカルシウムコーティングカバーガラス基板を「テストデバイス」として処理した。Ｂ₂Ｏ₃（５００Å）を、１０ｍｍ×１０ｍｍ正方形シャドーマスクを介して、約１．５Å／秒（６×１０^-7トルのチャンバ圧力）でタングステンボートから堆積させた。次に、１０ｍｍ×１０ｍｍ正方形シャドーマスクを、２０×２０ｍｍの開口部を有するシャドーマスクと取替え、元の１０ｍｍ×１０ｍｍ正方形堆積物が２０×２０ｍｍのマスク内で中心に置かれるように配置した。次に、一酸化ケイ素無機バリヤ層（１０００Å）を、タングステンボートから約１Å／秒（５×１０^-6トルのチャンバ圧力）で蒸着して、カバーガラス基板、ならびに、順に、２０００Åのカルシウム、５００ÅのＢ₂Ｏ₃、および１０００Åの一酸化ケイ素を有する３つのテストデバイスをもたらした。

３つの残りのカルシウムコーティングカバーガラス基板を、無機バリヤ一酸化ケイ素層を含有しない「対照デバイス」として処理した。基板を、２０×２０ｍｍの開口部を含むシャドーマスクの上に配置し、薄膜蒸着チャンバを１×１０^-7トルに排気した。酸化ホウ素（１５００Å）を約１Å／秒でタングステンボートから蒸着して、１５００ÅのＢ₂Ｏ₃によって被覆された２０００Åのカルシウムからなるが、一酸化ケイ素無機バリヤ層のない、３つの対照デバイスをもたらした。

１つの対照デバイスおよび１つのテストデバイスを、グローブボックスから取出し、２０００Åのカルシウムのみでコーティングされたカバーガラス基板とともに、周囲空気中に保管した。カルシウム層の状態を目視監視し、次の結果が得られた。

カバーガラス基板上に２０００Åのカルシウム層のみを含有するデバイスにおいて、カルシウム層は急速に劣化し、金属鏡状外観は、約２０分空気に曝された後、見えなくなり、カルシウム層は、約２〜３時間後、ほとんど透明であった。

各対照デバイスは、２．７５時間空気に曝された後、依然として、その金属鏡状外観を維持したが、もともと光学的にクリアなＢ₂Ｏ₃層のわずかなヘイズが観察された。約２４時間空気に曝された後、カルシウム層の光学濃度の顕著な低減が、カルシウム層の少数の明らかな穴とともに検出されたが、一般に、カルシウム層は、カバーガラスを通して観察すると、その金属鏡状外観を維持した。約５４時間空気に曝された後、カルシウム層の金属鏡状外観は、対照デバイスから本質的に消えていた。

各テストデバイスは、２．７５時間空気に曝された後、その金属鏡状外観を維持した。２４時間空気に曝された後、テストデバイスの金属鏡状外観のほとんどが残ったが、人の目によって観察されるようなカルシウム層の光学濃度のわずかな低減があった（すなわち、いくつかの小さい曇ったスポットがカルシウム層に観察された）。約５４時間空気に曝された後、カルシウム層は、外観が非常にまだらであったが、依然として、多くの領域においてその金属鏡状外観を維持した。約１１９時間空気に曝された後、カルシウム層は、かなり透明であると考えられたが、金属鏡状外観を有するいくつかの小さいスポットが依然として残った。

実施例５
Ｂ₂Ｏ₃層の、ＯＥＬデバイスの発光能力への影響を評価するために、本発明によるＯＥＬデバイスを実施例５で作製した。９の２２ｍｍ正方形（厚さ１ｍｍ）ＩＴＯコーティングガラス基板（１５オーム／平方、コロラド州ロングモントのコロラド・コンセプト・コーティングスＬＬＣ（Ｃｏｌｏｒａｄｏ Ｃｏｎｃｅｐｔ Ｃｏａｔｉｎｇｓ ＬＬＣ， Ｌｏｎｇｍｏｎｔ， Ｃｏｌｏｒａｄｏ））を、メタノール浸漬リントフリークロス（ベクトラ・アルファ（Ｖｅｃｔｒａ Ａｌｐｈａ）１０、ニュージャージー州アッパーサドルリバーのテックスワイプ・カンパニー・ＬＬＣ（Ｔｅｘｗｉｐｅ Ｃｏ．， ＬＬＣ， Ｕｐｐｅｒ Ｓａｄｄｌｅ Ｒｉｖｅｒ， Ｎｅｗ Ｊｅｒｓｅｙ））でこすり、次いで、５０ワットおよび２００ｍトルの酸素における４分の酸素プラズマ処理（マイクロ−ＲＩＥシリーズ（Ｍｉｃｒｏ−ＲＩＥ Ｓｅｒｉｅｓ）８０、カリフォルニア州ダブリンのテクニクス・インコーポレイテッド（Ｔｅｃｈｎｉｃｓ， Ｉｎｃ．， Ｄｕｂｌｉｎ， Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ））によって、洗浄した。ＰＥＤＯＴを、２５００ＲＰＭで３０秒間、洗浄された基板上にスピンコーティングし、基板を、１１０℃のホットプレート上で２０分間窒素雰囲気下で乾燥させた。基板をベルジャータイプＯＬＥＤ堆積チャンバ内に配置し、システムを５×１０^-6トルに排気した。ＮＰＤ（３００Å、１Å／秒）、２％のＣ５４５ＴでドープされたＡｌＱ（３００Å、１Å／秒）、およびＡｌＱ（２００Å、１Å／秒）を、２０ｍｍ正方形シャドーマスクを介して、示された順に順次蒸着し、サンプルを、カソードの熱堆積のため、薄膜蒸着チャンバ（エドワーズ（Ｅｄｗａｒｄｓ）５００、英国のＢＯＣエドワーズ（ＢＯＣ Ｅｄｗａｒｄｓ， Ｅｎｇｌａｎｄ））を収容するグローブボックスに移送した。

次に、各々が３つの基板を含有する３つのサンプルを作製した。１つのサンプルにおいて、ＡｌＱ（３００Å、１Å／秒）、ＬｉＦ（７Å、０．５Å／秒）、アルミニウム（２００Å、１Å／秒）、および銀（１，０００Å、２Å／秒）を、１ｃｍ²円形シャドーマスクを介して、約１０^-7トルで、示された順に順次堆積させた。第２のサンプルにおいて、Ｂ₂Ｏ₃：ＡｌＱ（およそ１：２の比、３００Å、２Å／秒）、フッ化リチウム（７Å、０．５Å／秒）、アルミニウム（２００Å、１Å／秒）、および銀（１，０００Å、２Å／秒）を、１ｃｍ²円形シャドーマスクを介して、約１０^-7トルで、示された順に順次堆積させた。第３のサンプルにおいて、Ｂ₂Ｏ₃：ＡｌＱ（およそ２：１の比、２００Å、２Å／秒）、フッ化リチウム（７Å、０．５Å／秒）、アルミニウム（２００Å、１Å／秒）、および銀（１，０００Å、２Å／秒）を、１ｃｍ²円形シャドーマスクを介して、約１０^-7トルで、示された順に順次堆積させた。９のデバイスすべてが、６ボルトのＤＣで電力供給されると、緑色光を発した。Ｂ₂Ｏ₃層の存在は、ＯＥＬデバイスの発光特徴に悪影響を及ぼさなかった。

実施例６
保護されたポリマーフィルムを組入れる、本発明によるＯＬＥＤデバイスを、実施例６で作製した。ＭＥＫ１０００グラムに溶解した、８０グラムのエベクリル６２９、２０グラムのＳＲ３９９、および２グラムのイルガキュア１８４を組合せることによって、ＵＶ硬化性溶液を作製した。結果として生じる溶液を、２０フィート／分で動作するＣＡＧ １５０マイクログラビアコータを使用して、幅６．５インチのＨＳＰＥ １００ ＰＥＴフィルム基板のロール上にコーティングした。その後、コーティングを、７０℃でインライン乾燥させ、次に、１００％のパワーで動作するフュージョンＤ ＵＶランプで、窒素雰囲気下で硬化させた。これは、上に厚さ約０．７μｍの透明なコーティングを有する透明なＰＥＴフィルム基板をもたらした。

３Ｍカンパニーから商品名スコッチパク（Ｓｃｏｔｃｈｐａｋ）１２２０で市販されるポリマーウェブマスクを、ダイカットし、次に、ロールツーロールラミネータを使用して、ＰＥＴフィルム基板のコーティング表面に熱積層した。１ｍトルの圧力、１ｋＷの電力、ならびに、ＩＴＯをコーティングするための、それぞれ、１５０ｓｃｃｍおよび６ｓｃｃｍのアルゴン流量および酸素流量、およびＡｇをコーティングするための１５０ｓｃｃｍのアルゴン流量を使用するＤＣスパッタリングプロセスを用いて、厚さ約３５ｎｍのＩＴＯ層、次いで、厚さ約１０ｎｍのＡｇ層、次いで、別の厚さ約３５ｎｍのＩＴＯ層を、ＰＥＴフィルム基板のコーティング表面上に順次堆積させた。これらのコーティング条件は、１０オーム／平方のシート抵抗をもたらした。ＩＴＯ層は、アノードとして、および、その後形成されるＯＬＥＤデバイスのためのカソードのための頑丈なコンタクトとして役立った。

次に、ポリマーマスクを剥離し、ＰＥＴフィルム基板上の導電パターンをもたらした。５０ｍｍ×５０ｍｍである導電パターニングされた基板のサンプルを、ロールからカットし、これは、各々が０．２５ｃｍ²である４のピクセルを含有した。約５分間の温かい（約１１０°Ｆ）洗剤溶液（デコネックス１２ ＮＳ、スイス、ズックウィルのボーラー・ケミー）中での超音波処理、約１０分間の温かい（約１１０°Ｆ）脱イオン水中でのすすぎ、および、少なくとも４時間の、窒素パージされたオーブン内での乾燥によって、サンプルを超音波洗浄した。次に、マサチューセッツ州ビルリカのＡＳＴインコーポレイテッド（ＡＳＴ， Ｉｎｃ．， Ｂｉｌｌｅｒｉｃａ， ＭＡ）から商品名モデルＰＳ ５００で市販されるプラズマ処理装置内で、３００ｍトルの圧力、５００ｓｃｃｍの酸素流量、および４００ワットのＲＦ電力で、２分間、ＩＴＯ／Ａｇ／ＩＴＯ表面をプラズマ処理した。

正孔注入層（ＭＴＤＡＴＡ：ＦＴＣＮＱ（２．８％のドーピング））を、１．８Å／秒の速度で、ＰＥＴフィルム基板上の導電パターンの上に、３，０００Åの厚さに蒸着した。次に、実施例１の緑色発光ＯＬＥＤスタックを、約５×１０^-6トルで真空チャンバ内で熱的蒸発を用いて、正孔注入層の上に蒸着した。デバイス構造を、正孔注入層の上の次の順次堆積を用いて完成させた：ＮＰＤ（４００Å、１Å／秒）／ＡｌＱ：Ｃ５４５Ｔ（１％のドーピング、３００Å、１Å／秒）／ＡｌＱ（２００Å、１Å／秒）／ＬｉＦ（７Å、０．５Å／秒）／Ａｌ（２５００Å、２５Å／秒）。

次に、タングステンディンプルソース（Ｓ８Ａ−０．０１０Ｗ、カリフォルニア州シグナルヒルのＲ・Ｄ・マティス）から熱的蒸発（約３〜５Å／秒）を用いて、３，０００ÅのＢ₂Ｏ₃をデバイス構造層の上に堆積させることによって、ＯＬＥＤデバイスの動作構成要素をカプセル化した。次に、厚さ２ミルの保護銅箔無機バリヤ層を、約８０℃の温度で、手動ゴムローラを使用して、Ｂ₂Ｏ₃層の上に、サーモ−ボンド８４５−ＥＧ−２．５で熱積層した。銅箔は、４のピクセルの発光領域をカプセル化するのに十分大きかったが、ＰＥＴフィルム基板の端縁は、電気的接触のためのポイントを提供するために露出したままであった。便宜上、これを「ＯＬＥＤデバイスＡ」と呼ぶ。光光学的に補正されたシリコンフォトダイオード（カリフォルニア州ホーソーンのＵＤＴセンサーズ）を使用して、ＯＬＥＤデバイスＡのデバイス効率を測定した。

次に、本発明による保護されたポリマーフィルムをＯＬＥＤデバイスＡに組入れることの、デバイス効率への影響を評価した。

厚さ３，０００ÅのＢ₂Ｏ₃層を、予め適用されたＢ₂Ｏ₃層について上で説明された堆積条件を用いて、ＰＥＴフィルム基板の、デバイス構造が堆積された表面と反対側の表面上に堆積させた。

次に、１対の多層アセンブリを、光学接着剤で、向い合せに積層することによって、多層無機バリヤ層を作製した。各アセンブリは、ＰＥＴベース上に形成されたポリマーおよび無機材料の６の交互の層を含んだ。完成されると、積層された多層無機バリヤは次の構造を有した：ＰＥＴベース／ポリマー１／ＳｉＡｌＯ／ポリマー２／ＳｉＡｌＯ／ポリマー２／ＳｉＡｌＯ／光学接着剤／ＳｉＡｌＯ／ポリマー２／ＳｉＡｌＯ／ポリマー２／ＳｉＡｌＯ／ポリマー１／ＰＥＴベース。各アセンブリを、次の段落で説明されるように形成した。

ＰＥＴベース＋ポリマー１（「層１」）。６．１ｍ／分で動作するＣＡＧ−１５０マイクログラビアコータを使用して、９７２グラムのＭＥＫに溶解した、１４５．５グラムのエベクリル６２９、３７．５グラムのβ−ＣＥＡ、および９．０３グラムのイルガキュア１８４を混合することによって作製されたＵＶ硬化性溶液で、ＨＳＰＥ ５０ ＰＥＴベースフィルムをコーティングした。１００％のパワーで動作するフュージョンＨ ＵＶランプを使用して、コーティングを硬化させて、ポリマー１を提供した。

ＳｉＡｌＯ層（「層２」）。次に、ポリマー１でコーティングされたＰＥＴベースフィルム（すなわち、層１）を、ロールツーロールスパッタコータ内に装填し、堆積チャンバを２×１０^-6トルの圧力にポンピングした。２ｋＷおよび６００Ｖ、５１ｓｃｃｍのアルゴンおよび３０ｓｃｃｍの酸素を含有するガス混合物を使用して、１ｍトルの圧力、および０．４３ｍ／分のウェブ速度で、Ｓｉ−Ａｌターゲット（ニューメキシコ州アルバカーキのアカデミー・プレシジョン・マテリアルズ（Ａｃａｄｅｍｙ Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ａｌｂｕｑｕｅｒｑｕｅ， ＮＭ）から市販される９０％−１０％のＳｉ−Ａｌターゲット）を反応性スパッタリングすることによって、厚さ６０ｎｍのＳｉＡｌＯ無機酸化物層をポリマー１の上に堆積させた。

ポリマー２（「層３」）。ポリマー１の適用および硬化について説明された条件を用いて、しかし、４．６ｍ／分の速度で動作するＣＡＧ １５０マイクログラビアコータで、４０５グラムのＭＥＫ中で、２．２５グラムのＵＶＩ−６９７４、４２．７５グラムのＥＨＰＥ３１５０を組合せることによって作製されたＵＶ硬化性溶液で、予め適用されたＳｉＡｌＯ層をオーバコーティングし、次に、硬化させて、ポリマー２を提供した。

それぞれ、層２および層３と同じ条件を用いて、第２のＳｉＡｌＯ層を層３の上に堆積させて、層４を形成し、ポリマー２の第２の層を層４の上にコーティングして、層５を形成し、ＳｉＡｌＯの第３の層を層５の上に堆積させて、層６を形成し、それにより、ＰＥＴベース／ポリマー１／ＳｉＡｌＯ／ポリマー２／ＳｉＡｌＯ／ポリマー２／ＳｉＡｌＯ構成を有するアセンブリを提供した。

結果として生じるアセンブリを、２つのロールに分け、８１４１接着剤および２ロールラミネータを使用して、向い合せにともに積層して、多層無機バリヤを形成した。

次に、多層無機バリヤを、８１４１接着剤で、露出したＢ₂Ｏ₃層に積層し、それにより、保護されたポリマーフィルムの、ＯＬＥＤデバイスＡへの組入れを完了した。再び、先に用いられたのと同じ手順を用いて、デバイス効率を測定した。本発明による保護されたポリマーフィルムをＯＬＥＤデバイスＡに組入れることは、結果として生じるデバイスの効率を著しく変化させなかった。

実施例７
保護されたポリマーフィルムを組入れる、本発明によるＯＬＥＤデバイスを、実施例２で作製した。実施例６からのＯＬＥＤデバイスＡの付加的なサンプルを作製し、銅箔を、エポキシ（ミシガン州イーストランシングのハンツマンＬＬＣ、アドバンスド・マテリアルズ・ディビィジョン、バンティコ（Ｈｕｎｔｓｍａｎ ＬＬＣ， Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ， Ｖａｎｔｉｃｏ， Ｅａｓｔ Ｌａｎｓｉｎｇ， ＭＩ）から入手可能なアラルダイト（Ａｒａｌｄｉｔｅ）２０１４）の薄いビードを使用して端縁シールした。エポキシを、１２時間にわたってＮ₂雰囲気中で室温で硬く硬化させた。便宜上、これを「ＯＬＥＤデバイスＢ」と呼ぶ。

次に、次の手順に従って、無機バリヤ層を作製した。４０５グラムのＭＥＫ中で２．２５グラムのＵＶＩ−６９７４を４２．７５グラムのＥＨＰＥ３１５０と組合せることによって、ＵＶ硬化性ポリマー溶液を作製した。１５フィート／分の速度で動作するＣＡＧ １５０マイクログラビアコータを使用して、結果として生じる溶液を、イタリアのフェラニア・イメージング・テクノロジーズ（Ｆｅｒｒａｎｉａ Ｉｍａｇｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｔａｌｙ）から商品名アリーライト（Ａｒｙｌｉｔｅ）で市販される、幅６．５インチ、厚さ１００ミクロンのフッ素ポリエステルフィルム上にコーティングした。その後、コーティングを、７０℃でインライン乾燥させ、次に、１００％のパワーで動作するフュージョンＤ ＵＶランプで、窒素雰囲気下で硬化させた。これは、上に厚さ約０．７μｍの透明なコーティングを有する透明なフィルムをもたらした。

コーティングされたフィルムを、スパッタコータ内に装填し、堆積チャンバを２×１０^-6トルの圧力にポンピングした。３７０Ｗおよび３７５Ｖ、２０ｓｃｃｍのアルゴンおよび１８ｓｃｃｍの酸素を含有するガス混合物を使用して、６ｍトルの圧力、および７インチ／分のウェブ速度で、厚さ６０ｎｍのＳｉＡｌＯ無機酸化物層を堆積させた。ニューメキシコ州アルバカーキのアプライド・プレシジョン・マテリアルズ（Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ａｌｂｕｑｕｅｒｑｕｅ， ＮＭ）から入手可能なＳｉ／Ａｌの９０／１０ターゲットを、ターゲット材料として使用した。

次に、無機バリヤ層を、予め作製されたＯＬＥＤデバイスＢのサンプルに組入れて、それぞれ、ＯＬＥＤデバイスＢ１およびＯＬＥＤデバイスＢ２を形成した。

厚さ３，０００ÅのＢ₂Ｏ₃層を、ＰＥＴフィルム基板の、デバイス構造が作られた表面と反対側の表面上に堆積させることによって、ＯＬＥＤデバイスＢ１を作製した。タングステンディンプルソース（Ｓ８Ａ−０．０１０Ｗ、カリフォルニア州シグナルヒルのＲ・Ｄ・マティス）から熱的蒸発（約３〜５Å／秒）を用いて、Ｂ₂Ｏ₃を堆積させた。次に、８１４１接着剤および２ロールラミネータを使用して、予め作製された無機バリヤ層を、露出したＢ₂Ｏ₃層の上に積層して、ＯＬＥＤデバイスＢ１を完成させた。

８１４１接着剤およびロールツーロールラミネータを使用することによって、予め作製された無機バリヤ層をＰＥＴフィルム基板の「前面」表面（すなわち、デバイス構造が作られた表面と反対側の表面）に積層することによって、ＯＬＥＤデバイスＢ２を作製した。したがって、ＯＬＥＤデバイスＢ２は、ＯＬＥＤデバイスＢ１の前面上に使用されるＢ₂Ｏ₃層を欠く点で、ＯＬＥＤデバイスＢ１と異なった。

サンプル（ＯＬＥＤデバイスＢ１およびＯＬＥＤデバイスＢ２）を周囲条件下で保管した。ライティングされたデバイス（すなわち、ＯＬＥＤデバイスＢ１およびＯＬＥＤデバイスＢ２）の写真を定期的に撮って、ダークスポット成長を比較した。ＯＬＥＤデバイスＢ２（すなわち、前面上のＢ₂Ｏ₃のない）のサンプルは、経時的に、前面上にＢ₂Ｏ₃層を有するＯＬＥＤデバイスＢ１のサンプルより著しく大きいダークスポット成長を示した。

本発明は、さまざまな変更および代替形態が可能であり、その特定のものが、先の図面および説明に例として示されている。しかし、本発明が、これらの特定の実施形態に限定されないことが理解されるであろう。それどころか、特許請求の範囲によって規定される本発明の趣旨および範囲内である変更、均等物、および代替例をすべて網羅することが意図される。さまざまな変更および均等なプロセス、ならびに本発明が適用可能であろう多数の構造は、本発明が関連する技術における当業者には容易に明らかであろう。

Claims (2)

1. ａ）第１の電極、第２の電極、および前記第１の電極と前記第２の電極との間に配置された発光構造を支持する低透湿性基板と、
   ｂ）前記基板と協働して、前記第１の電極、前記第２の電極、および前記発光構造をカプセル化する保護構造であって、
   前記保護構造が酸化ホウ素の層および無機バリヤ層を含み、前記低透湿性基板が酸化ホウ素の層と無機バリヤ層とを含む保護されたポリマーフィルムである、有機エレクトロルミネセンスデバイス。
2. 前記デバイスが、前記保護構造と、前記第１の電極、前記第２の電極、および前記発光構造との間に配置されたバッファ層をさらに含み、
   前記バッファ層が、前記第１の電極、前記第２の電極、および前記発光構造の上に配置され、前記酸化ホウ素の層が前記バッファ層の上に配置され、前記無機バリヤ層が前記酸化ホウ素の層の上に配置され、そして
   前記バッファ層が、有機金属化合物またはキレート化合物を含む、請求項１に記載の有機エレクトロルミネセンスデバイス。

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